KR20120040257A - 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 방법 및 시스템 - Google Patents

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Abstract

기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 방법 및 시스템이 제공된다. 이 시스템은, 투명 또는 반투명 기판(260)에 광을 조사하도록 구성되는 제1 조명 유닛(210)과 제1 조명 유닛(210)이 기판(260)에 광을 조사할 때 기판(260)으로부터 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 제1 이미지형성 유닛(220)을 포함하는 제1 채널; 기판(260)에 광을 조사하도록 구성되는 제2 조명 유닛(210)과 제2 조명 유닛(210)이 기판(260)에 광을 조사할 때 기판(260)으로부터 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 제2 이미지형성 유닛(230)을 포함하는 제2 채널; 각각 제1 이미지형성 유닛(220)에 의해 촬영된 이미지와 제2 이미지형성 유닛(230)에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 기판(260)의 두 이미지를 구성하도록 구성되는 이미지 구성 모듈(240); 및 기판(260)이 결함을 가질 경우, 기판(260)의 결함이 기판(260)의 두 이미지에서 나타나는 위치의 관계에 기초하여, 결함이 기판(260) 상에 있는지 또는 기판(260) 내에 있는지를 검출하도록 구성되는 이미지 처리 모듈(250)을 포함한다. 이 방법 및 시스템을 사용함으로써, 투명 또는 반투명 기판(260)이 결함을 갖는지가 검출되고 분류될 수 있다.

Description

기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 방법 및 시스템{METHOD AND SYSTEM FOR DETECTING AND CLASSIFYING DEFECTS OF SUBSTRATE}
본 출원은 2009년 7월 31일자로 출원된 중국 특허 출원 제200910161107.3호 및 2009년 11월 27일자로 출원된 중국 특허 출원 제200910246381.0호의 우선권을 주장한다. 두 중국 특허 출원의 모든 내용은 본 명세서에 참고로 포함된다.
본 발명은 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 방법 및 시스템에 관한 것이다.
현재, 많은 분야에서 투명 또는 반투명 기판, 예컨대 태양광 모듈 산업에서 광전지 또는 광발전 모듈에 사용되는 패턴 또는 구조를 갖는 기판을 사용한다. 제조 과정에서, 투명 또는 반투명 기판은 다양한 결함, 예를 들어 기판의 표면상에 위치되는 스크래치, 얼룩(smudge) 및 개방 기포(open bubble)와 기판의 내부에 위치되는 폐쇄 기포(close bubble) 및 결석(calculus)(흑석, 백석 및 다른 색의 돌)을 산출할 것이다. 종래 기술은 투명 또는 반투명 기판의 결함을 검사하기 위한 많은 결함 검사 해법을 제안하였다.
그러나, 투명 또는 반투명 기판의 품질의 요건이 더욱 높아짐에 따라, 상이한 유형의 결함에 대한 품질 제어 표준이 필요하다. 이러한 상황 하에서, 투명 또는 반투명 기판의 결함을 검출하는 것뿐만 아니라 검출된 결함이 기판상에 위치되는지 또는 기판 내에 위치되는지를 구별하는 것도 또한 필요하다.
본 발명의 실시예는 투명 또는 반투명 기판의 결함을 검출하고 분류할 수 있는, 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 방법 및 시스템을 제공한다.
본 발명에 따르면, 투명 또는 반투명 기판에 광을 조사하도록 구성되는 제1 조명 유닛과 제1 조명 유닛이 기판에 광을 조사할 때 기판으로부터 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 제1 이미지형성 유닛을 포함하는 제1 채널; 기판에 광을 조사하도록 구성되는 제2 조명 유닛과 제2 조명 유닛이 기판에 광을 조사할 때 기판으로부터 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 제2 이미지형성 유닛을 포함하는 제2 채널; 각각 제1 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지와 제2 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 기판의 두 이미지를 구성하도록 구성되는 이미지 구성 모듈; 및 기판이 결함을 가질 경우, 기판의 결함이 기판의 두 이미지에서 나타나는 위치의 관계에 기초하여, 결함이 기판 상의 결함인지 또는 기판 내의 결함인지를 검출하도록 구성되는 이미지 처리 모듈을 포함하는, 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 시스템이 제공된다.
본 발명에 따르면, 투명 또는 반투명 기판에 광을 조사하도록 구성되는 제1 조명 유닛과, 기판의 하나의 표면의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 제1 조명 유닛이 기판에 광을 조사할 때 기판으로부터 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 제1 이미지형성 유닛을 포함하는 제1 채널; 기판에 광을 조사하도록 구성되는 제2 조명 유닛과, 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 제2 조명 유닛이 기판에 광을 조사할 때 기판으로부터 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 제2 이미지형성 유닛을 포함하는 제2 채널; 기판에 광을 조사하도록 구성되는 제3 조명 유닛과, 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 제3 조명 유닛이 기판에 광을 조사할 때 기판으로부터 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 제3 이미지형성 유닛을 포함하는 제3 채널; 각각 제1 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지, 제2 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지 및 제3 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 기판의 세 이미지를 구성하도록 구성되는 이미지 구성 모듈; 및 기판의 세 이미지에 이미지 처리를 수행함으로써 기판의 결함을 검출하도록, 그리고 결함이 각각 제1 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지와 제2 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지에 의해 구성된 기판의 두 이미지에서 나타나는 위치의 관계에 기초하여 결함이 기판 상의 결함인지 또는 기판 내의 결함인지를 검출하도록, 그리고 결함이 기판의 세 이미지 상에서 나타나는 상이한 특징과 결함이 기판 상의 결함인지 또는 기판 내의 결함인지에 기초하여 결함을 분류하도록 구성되는 이미지 처리 모듈을 포함하는, 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 시스템이 제공된다.
본 발명에 따르면, 투명 또는 반투명 기판에 광을 조사하도록 구성되는 제1 조명 유닛과 제1 조명 유닛이 기판에 광을 조사할 때 기판으로부터 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 제1 이미지형성 유닛을 포함하는 제1 채널을 설치하는 단계; 기판에 광을 조사하도록 구성되는 제2 조명 유닛과 제2 조명 유닛이 기판에 광을 조사할 때 기판으로부터 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 제2 이미지형성 유닛을 포함하는 제2 채널을 설치하는 단계; 각각 제1 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지와 제2 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 기판의 두 이미지를 구성하도록 구성되는 이미지 구성 모듈을 설치하는 단계; 및 기판이 결함을 가질 경우, 기판의 결함이 기판의 두 이미지에서 나타나는 위치의 관계에 기초하여, 결함이 기판 상의 결함인지 또는 기판 내의 결함인지를 검출하도록 구성되는 이미지 처리 모듈을 설치하는 단계를 포함하는, 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 방법이 제공된다.
본 발명에 따르면, 투명 또는 반투명 기판에 광을 조사하도록 구성되는 제1 조명 유닛과, 기판의 하나의 표면의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 제1 조명 유닛이 기판에 광을 조사할 때 기판으로부터 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 제1 이미지형성 유닛을 포함하는 제1 채널을 설치하는 단계; 기판에 광을 조사하도록 구성되는 제2 조명 유닛과, 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 제2 조명 유닛이 기판에 광을 조사할 때 기판으로부터 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 제2 이미지형성 유닛을 포함하는 제2 채널을 설치하는 단계; 기판에 광을 조사하도록 구성되는 제3 조명 유닛과, 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 제3 조명 유닛이 기판에 광을 조사할 때 기판으로부터 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 제3 이미지형성 유닛을 포함하는 제3 채널을 설치하는 단계; 각각 제1 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지, 제2 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지 및 제3 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 기판의 세 이미지를 구성하도록 구성되는 이미지 구성 모듈을 설치하는 단계; 및 기판의 세 이미지에 이미지 처리를 수행함으로써 기판의 결함을 검출하도록, 그리고 결함이 각각 제1 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지와 제2 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지에 의해 구성된 기판의 두 이미지에서 나타나는 위치의 관계에 기초하여 결함이 기판 상의 결함인지 또는 기판 내의 결함인지를 검출하도록, 그리고 결함이 기판의 세 이미지 상에서 나타나는 상이한 특징과 결함이 기판 상의 결함인지 또는 기판 내의 결함인지에 기초하여 결함을 분류하도록 구성되는 이미지 처리 모듈을 설치하는 단계를 포함하는, 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 방법이 제공된다.
본 발명의 이들 및 그 밖의 특징, 특성 및 이점은 도면과 함께 상세한 설명의 조합에 의해 더욱 명백해질 것이다.
도 1a 내지 도 1k는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 해법을 도시한 개략화된 개략도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 시스템을 도시한 구조화된 개략도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 조명 유닛 및 이미지형성 유닛의 작동 시간 시퀀스를 도시한 개략도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예의 변형예에 따른 조명 유닛 및 이미지형성 유닛의 작동 시간 시퀀스를 도시한 개략도이다.
도 5a 내지 도 5g 및 도 5i 내지 도 5l은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 해법을 도시한 개략화된 개략도이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 시스템을 도시한 구조화된 개략도이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 조명 유닛 및 이미지형성 유닛의 작동 시간 시퀀스를 도시한 개략도이다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 제2 실시예의 변형예에 따른 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 시스템을 도시한 구조화된 개략도이다.
이하에서는, 본 발명의 실시예를 도면과 함께 설명할 것이다.
(제1 실시예)
본 발명의 제1 실시예는 기판의 결함을 검출하고 분류하는 기술을 제공한다.
도 1a 내지 도 1k는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 해법을 도시한 개략화된 개략도이다.
첫째로, 도 1a에 도시된 바와 같이, 조명 유닛(L)이 투명 또는 반투명 기판(S)에 광을 조사하기 위해 기판(S)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고, 2개의 선형 이미지형성 유닛(M1, M2)이 조명 유닛(L)에 의해 기판(S)에 조사되어 기판(S)을 통해 투과된 광을 감지함으로써 각각 일차원 이미지를 촬영하기 위해 기판(S)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치된다. 선형 이미지형성 유닛(M1)의 광축 및 선형 이미지형성 유닛(M2)의 협각(included angle)은 α이다. 이때, 설명의 편의를 위해, 선형 이미지형성 유닛(M1)의 광축이 기판(S)의 표면(B1, B2)에 수직한 것으로 가정한다. 기판(S)이 방향 z를 따라 이동할 때, 선형 이미지형성 유닛(M1, M2)은 조명 유닛(L)에 의해 기판(S)에 조사되어 기판(S)을 통해 투과된 광을 소정 간격을 두고 연속적으로 감지함으로써 각각 일차원 이미지를 촬영하고, 선형 이미지형성 유닛(M1)에 의해 촬영된 일차원 이미지는 이어서 기판(S)의 이미지를 구성하기 위해 사용되며, 선형 이미지형성 유닛(M2)에 의해 촬영된 일차원 이미지도 또한 기판(S)의 이미지를 구성하기 위해 사용된다.
도 1b에 도시된 바와 같이, 기판(S)이 기판(S)의 좌측 에지에 대해 거리 z1을 갖는 그리고 기판(S)에 수직한 위치에서 두 결함(D1, D2)을 가지며, 여기에서 결함(D1)은 선형 이미지형성 유닛(M1, M2)과 동일측에 있는 기판(S)의 표면(B2) 상에 위치되고, 결함(D2)은 기판(S) 내에 위치되고 기판(S)의 표면(B2)에 대해 거리 h를 갖는 것으로 가정한다.
선형 이미지형성 유닛(M1, M2)이 조명 유닛(L)에 의해 기판(S)에 조사되어 기판(S)을 통해 투과된 광을 소정 간격을 두고 연속적으로 감지함으로써 각각 일차원 이미지를 촬영하는 과정에서, 기판(S)이 도 1c에 도시된 위치로 방향 z를 따라 이동할 때, 선형 이미지형성 유닛(M1)에 의해 촬영된 일차원 이미지는 결함(D1, D2)을 포함하고; 기판(S)이 도 1d에 도시된 위치로 방향 z를 따라 이동할 때, 선형 이미지형성 유닛(M2)에 의해 촬영된 일차원 이미지는 결함(D1)을 포함하며; 기판(S)이 도 1e에 도시된 위치로 방향 z를 따라 이동할 때, 선형 이미지형성 유닛(M2)에 의해 촬영된 일차원 이미지는 결함(D2)을 포함한다.
선형 이미지형성 유닛(M1)에 의해 촬영된 일차원 이미지를 사용하여 구성된 기판(S)의 이미지(X1)가 도 1f에 도시되고, 선형 이미지형성 유닛(M2)에 의해 촬영된 일차원 이미지를 사용하여 구성된 기판(S)의 이미지(X2)가 도 1g에 도시된다.
도 1f에 도시된 기판(S)의 이미지(X1)를 도 1g에 도시된 기판(S)의 이미지(X2)와 비교함으로써, 기판(S)의 표면(B2) 상에 위치된 결함(D1)이 기판(S)의 이미지(X1)에 나타나는 위치와 기판(S)의 표면(B2) 상에 위치된 결함(D1)이 기판(S)의 이미지(X2)에 나타나는 위치가 동일한 반면, 기판(S) 내에 위치된 결함(D2)이 기판(S)의 이미지(X1)에 나타나는 위치와 기판(S) 내에 위치된 결함(D2)이 기판(S)의 이미지(X2)에 나타나는 위치는 동일하지 않고 편차(offset) d'를 갖는 것을 알 수 있다. 편차 d'는 도 1e에 도시된 d에 정비례하며,
Figure pct00001
여기에서, n은 기판(S)의 굴절률이고, α는 선형 이미지형성 유닛(M1)의 광축과 기판(S)의 표면의 수직선의 협각[이때, 선형 이미지형성 유닛(M1)의 광축과 선형 이미지형성 유닛(M2)의 광축의 협각을 지칭함]이다. h와 α가 증가함에 따라 d가 증가하고 편차 d'도 또한 증가하는 것을 알 수 있다. 바꾸어 말하면, α가 커질수록, h의 검출이 더욱 정확해진다.
또한, 결함(D2)이 기판(S)의 표면(B2)에 대해 갖는 거리 h가 최대일 때, 즉 결함(D2)이 기판(S)의 다른 대향 표면(B1) 상에 위치될 때, 결함(D2)이 이미지(X1)에 나타나는 위치와 결함(D2)이 이미지(X2)에 나타나는 위치가 상이하고(동일하지 않고) 최대 편차를 갖는다.
전술한 사항은 다음의 규칙: 선형 이미지형성 유닛(M1)의 광축과 선형 이미지형성 유닛(M2)의 광축의 소정 협각이 존재하고 선형 이미지형성 유닛(M1)의 광축이 기판(S)의 표면에 수직하면, 선형 이미지형성 유닛(M1)에 의해 촬영된 일차원 이미지를 사용하여 구성된 기판(S)의 이미지(X1)와 선형 이미지형성 유닛(M2)에 의해 촬영된 일차원 이미지를 사용하여 구성된 기판(S)의 이미지(X2)에서, 기판(S)의 표면상에 위치된 결함이 이미지(X1)에 나타나는 위치와 기판(S)의 표면상에 위치된 결함이 이미지(X2)에 나타나는 위치는 동일하거나 최대 편차를 가지며, 기판(S) 내에 위치된 결함이 이미지(X1)에 나타나는 위치와 기판(S) 내에 위치된 결함이 이미지(X2)에 나타나는 위치는 동일하지 않고, 두 위치 사이의 편차는 기판(S)의 표면(B1) 상에 위치된 결함이 이미지(X1)에 나타나는 위치와 기판(S)의 표면(B1) 상에 위치된 결함이 이미지(X2)에 나타나는 위치 사이의 편차보다 작은 것을 개시할 수 있다.
실제로, 선형 이미지형성 유닛(M1, M2)의 광축이 기판(S)의 표면에 수직한 것이 반드시 필요하지는 않으며, 선형 이미지형성 유닛(M1)의 광축과 선형 이미지형성 유닛(M2)의 광축의 소정 협각이 존재하는 한, 선형 이미지형성 유닛(M1)에 의해 촬영된 일차원 이미지를 사용하여 구성된 기판(S)의 이미지(X1)와 선형 이미지형성 유닛(M2)에 의해 촬영된 일차원 이미지를 사용하여 구성된 기판(S)의 이미지(X2)에서, 기판(S)의 표면상에 위치된 결함이 이미지(X1)에 나타나는 위치와 기판(S)의 표면상에 위치된 결함이 이미지(X2)에 나타나는 위치는 동일하거나 최대 편차를 가지며, 기판(S) 내에 위치된 결함이 이미지(X1)에 나타나는 위치와 기판(S) 내에 위치된 결함이 이미지(X2)에 나타나는 위치는 동일하지 않고, 두 위치 사이의 편차는 기판(S)의 표면(B1) 상에 위치된 결함이 이미지(X1)에 나타나는 위치와 기판(S)의 표면(B1) 상에 위치된 결함이 이미지(X2)에 나타나는 위치 사이의 편차보다 작다.
위의 규칙은 선형 이미지형성 유닛이 이미지형성 유닛으로서 사용되는 조건뿐만 아니라 이차원 이미지형성 유닛이 이미지형성 유닛으로서 사용되는 조건에도 또한 적용될 수 있다.
그러나, 이차원 이미지형성 유닛이 이미지형성 유닛으로서 사용되는 조건에서, 이차원 이미지형성 유닛이 기판(S)에 대해 비스듬히 배치되면, 즉 이차원 이미지형성 유닛의 광축과 기판(S)의 표면의 수직선의 협각이 0보다 크면, 이때 이차원 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지는 이차원 이미지형성 유닛의 광축과 기판(S)의 표면의 수직선의 협각이 0일 때 이차원 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지에 대해 압축 변형을 갖는다. 예를 들어, 도 1h에 도시된 정사각형의 경우, 이차원 이미지형성 유닛의 광축과 기판(S)의 표면의 수직선의 협각이 0일 때, 이차원 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지가 도 1j에 도시되고, 이차원 이미지형성 유닛의 광축과 기판(S)의 표면의 수직선의 협각이 0보다 클 때, 이차원 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지가 도 1k에 도시된다. 도 1j에서, 촬영된 이미지는 정사각형인 반면, 도 1k에서, 촬영된 이미지는 사다리꼴이다. 도 1j에 도시된 이미지와 비교시, 도 1k에 도시된 이미지의 밑변(bottom side)은 변화가 없고, 그 윗변(top side) 및 높이가 압축된다. 또한, 이차원 이미지형성 유닛의 광축과 기판(S)의 표면의 수직선의 협각이 증가함에 따라, 이차원 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지는 더욱 큰 압축 변형을 갖는다.
따라서, 이차원 이미지형성 유닛이 이미지형성 유닛으로서 사용되는 조건에서, 이차원 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지가 기판(S)의 이미지를 구성하기 위해 사용되기 전에, 이차원 이미지형성 유닛의 광축과 기판(S)의 표면의 수직선의 협각이 0보다 크면, 이차원 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지 각각의 윗변 및 높이는 이차원 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지의 압축 변형을 제거하기 위해, 이차원 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지 각각의 길이 및 밑변에 따라 신장된다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 방법 및 시스템은 위의 규칙에 기초하여 형성된다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 시스템을 도시한 구조화된 개략도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 기판의 결함을 구별하기 위한 시스템(200)은 조명 유닛(210), 제1 이미지형성 유닛(220), 제2 이미지형성 유닛(230), 이미지 구성 모듈(240) 및 이미지 처리 모듈(250)을 포함할 수 있다.
조명 유닛(210)은 투명 또는 반투명 기판(260)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고, 기판(260)에 광을 조사하도록 구성된다. 조명 유닛(210)에 의해 기판(260)에 조사된 광은 비-확산 광 또는 확산 광일 수 있다. 조명 유닛(210)에 의해 기판(260)에 조사된 광이 확산 광인 조건에서, 기판(260)이 패턴 또는 구조를 갖는 기판이면, 기판(260)의 결함의 검출에 미치는 기판(260)의 패턴 또는 구조의 영향이 감소되거나 심지어 제거될 수 있다. 조명 유닛(210)은 하나 이상의 광원(light resource)을 포함할 수 있어, 조명 유닛(210)은 기판(260)의 전폭의 범위에 걸쳐 기판(260)에 광을 조사할 수 있다.
제1 이미지형성 유닛(220)과 제2 이미지형성 유닛(230)은 기판(260)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고, 조명 유닛(210)에 의해 기판(260)에 조사되어 기판(260)을 통해 투과된 광을 감지함으로써 각각 이미지를 촬영하도록 구성된다. 제1 이미지형성 유닛(220)의 광축과 제2 이미지형성 유닛(230)의 광축의 협각 α는 0보다 크다. 제1 이미지형성 유닛(220)과 조명 유닛(210)은 제1 채널을 형성하고, 제2 이미지형성 유닛(230) 및 조명 유닛(210)은 제2 채널을 형성하며, 여기에서 제1 채널 및 제2 채널 둘 모두는 명시야 조명(bright field illumination)에 속한다. 시스템(200)이 작동하는 과정에서, 기판(260)이 방향 z를 따라 이동할 때, 제1 이미지형성 유닛(220)과 제2 이미지형성 유닛(230)은 조명 유닛(210)에 의해 기판(260)에 조사되어 기판(260)을 통해 투과된 광을 감지함으로써 각각 사전결정된 시간 간격을 두고 이미지를 촬영한다.
제1 이미지형성 유닛(220)과 제2 이미지형성 유닛(230)은 선형 이미지형성 요소 또는 면 배열(area array) 이미지형성 요소에 의해 형성될 수 있으며, 여기에서 선형 이미지형성 요소는 예를 들어 CCD(전하 결합 소자) 선형 이미지형성 요소, CMOS(상보성 금속 산화막 반도체) 선형 이미지형성 요소 또는 다른 유형의 선형 이미지형성 요소를 포함할 수 있고, 면 배열 이미지형성 요소는 예를 들어 CCD 면 배열 이미지형성 요소, CMOS 면 배열 이미지형성 요소 또는 다른 유형의 면 배열 이미지형성 요소를 포함할 수 있다. 제1 이미지형성 유닛(220)과 제2 이미지형성 유닛(230)이 선형 이미지형성 유닛일 때, 제1 이미지형성 유닛(220) 및 제2 이미지형성 유닛(230) 각각은 일렬로 놓인, 선의 양측에 엇갈리게 놓인, 또는 사전결정된 간격을 두고 그리고 선에 대해 사전결정된 협각을 갖고서 배치된 하나 이상의 선형 이미지형성 요소를 포함할 수 있다. 제1 이미지형성 유닛(220)과 제2 이미지형성 유닛(230)이 면 배열 이미지형성 유닛일 때, 제1 이미지형성 유닛(220) 및 제2 이미지형성 유닛(230) 각각은 일렬로 놓인, 선의 양측에 엇갈리게 놓인, 또는 사전결정된 간격을 두고 그리고 선에 대해 사전결정된 협각을 갖고서 배치된 하나 이상의 면 배열 이미지형성 요소를 포함할 수 있다.
이미지 구성 모듈(240)은 제1 이미지형성 유닛(220)과 제2 이미지형성 유닛(230)에 연결되고, 각각 제1 이미지형성 유닛(220)에 의해 촬영된 이미지와 제2 이미지형성 유닛(230)에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 기판(260)의 두 이미지를 구성하도록, 즉 제1 이미지형성 유닛(220)에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 기판(260)의 하나의 이미지를 구성하고 제2 이미지형성 유닛(230)에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 기판(260)의 다른 이미지를 구성하도록 구성된다. 설명의 편의를 위해, 제1 이미지형성 유닛(220)에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 구성된 기판(260)의 이미지는 이미지(T1)로 지칭되고, 제2 이미지형성 유닛(230)에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 구성된 기판(260)의 이미지는 이미지(T2)로 지칭된다.
여기에서, 제1 이미지형성 유닛(220)과 제2 이미지형성 유닛(230)이 이차원 이미지형성 유닛일 때, 제1 이미지형성 유닛(220) 및/또는 제2 이미지형성 유닛(230)에 의해 촬영된 이미지가 압축 변형을 가지면, 제1 이미지형성 유닛(220)과 제2 이미지형성 유닛(230)에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 기판(260)의 두 이미지가 구성되기 전에, 이미지 구성 모듈(240)은 제1 이미지형성 유닛(220) 및/또는 제2 이미지형성 유닛(230)에 의해 촬영된 이미지의 압축 변형을 제거하기 위해, 제1 이미지형성 유닛(220) 및/또는 제2 이미지형성 유닛(230)에 의해 촬영된 이미지 각각의 밑변의 길이에 따라 제1 이미지형성 유닛(220) 및/또는 제2 이미지형성 유닛(230)에 의해 촬영된 이미지 각각의 윗변 및 높이를 신장시킨다.
이미지 처리 모듈(250)은 이미지 구성 모듈(240)에 연결되고, 기판(260)이 결함을 갖는지를 결정하기 위해, 그리고 기판(260)이 결함(Q)을 갖는 것으로 결정된 때, 결함(Q)이 이미지(T1)에 나타나는 위치와 결함(Q)이 이미지(T2)에 나타나는 위치의 관계에 기초하여 결함(Q)이 기판(260) 상에 위치되는지 또는 기판(260) 내에 위치되는지를 검출하기 위해 이미지 구성 모듈(240)에 의해 구성된 이미지(T1, T2)를 처리하도록 구성된다. 여기에서, 결함(Q)이 이미지(T1)에 나타나는 위치와 결함(Q)이 이미지(T2)에 나타나는 위치가 동일하거나, 결함(Q)이 이미지(T1)에 나타나는 위치와 결함(Q)이 이미지(T2)에 나타나는 위치가 최대 편차 ZL과 동일할 때, 이미지 처리 모듈(250)은 결함(Q)이 기판(260) 상에 위치됨을 검출하고; 결함(Q)이 이미지(T1)에 나타나는 위치와 결함(Q)이 이미지(T2)에 나타나는 위치가 동일하지 않고, 결함(Q)이 이미지(T1)에 나타나는 위치와 결함(Q)이 이미지(T2)에 나타나는 위치 사이의 편차가 최대 편차 ZL보다 작을 때, 이미지 처리 모듈(250)은 결함(Q)이 기판(260) 내에 위치됨을 검출한다.
이때, 이미지 처리 모듈은 동일 출원인에 의해 2009년 2월 27일자로 출원된 중국 특허 출원 제200910117993.X호에 개시된 해법, 또는 기판이 결함을 갖는지를 결정하도록 이미지를 처리하기 위해 현재 존재하고 미래에 제안되는 다른 해법을 사용하여, 기판(260)이 결함을 갖는지를 결정할 수 있다.
최대 편차 ZL은 기판(260)의 표면(B1) 상에 위치된 결함이 제1 이미지형성 유닛(220)에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 구성된 기판(260)의 이미지에 나타나는 위치와 기판(260)의 표면(B1) 상에 위치된 결함이 제2 이미지형성 유닛(230)에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 구성된 기판(260)의 이미지에 나타나는 위치 사이의 편차이다. 이때, 원 및 다각형과 같은 복수의 동일하게 이격된 패턴에 의해 형성된 보정판(calibration board)이 기판(260)의 표면(B1) 상에 배치될 수 있고, 보정판 내의 동일한 패턴이 제1 이미지형성 유닛(220)에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 구성된 기판(260)의 이미지에 나타나는 위치와 보정판 내의 동일한 패턴이 제2 이미지형성 유닛(230)에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 구성된 기판(260)의 이미지에 나타나는 위치 사이의 편차가 최대 편차 ZL로서 계산된다. 명백히, 통상의 기술자는 최대 편차 ZL을 얻기 위해 다른 공지 기술을 또한 사용할 수 있다.
이하는 결함(Q)이 이미지(T1, T2)에 나타나는 위치의 관계에 기초하여, 결함(Q)이 기판(260) 상에 위치되는지 또는 기판(260) 내에 위치되는지를 검출하는 일례이다. 첫째로, 이미지 처리 모듈(250)은 결함(Q)이 이미지(T1)에 나타나는 위치의 좌표 WZ1과 결함(Q)이 이미지(T2)에 나타나는 위치의 좌표 WZ2를 계산할 수 있다. 둘째로, 이미지 처리 모듈(250)은 좌표 WZ1과 WZ2의 차이의 절대값 JZ를 계산할 수 있다. 셋째로, 이미지 처리 모듈(250)은 값 JZ가 0과 동일한지 또는 최대 편차 ZL과 동일한지를 판단할 수 있다. 판단 결과가 값 JZ가 0 또는 최대 편차 ZL과 동일하다고 지시하면, 이미지 처리 모듈(250)은 결함(Q)이 기판(260) 상에 위치된 결함임을 검출할 수 있고, 판단 결과가 값 JZ가 0 및 최대 편차 ZL과 동일하지 않다고 지시하면, 이미지 처리 모듈(250)은 결함(Q)이 기판(260) 내에 위치된 결함임을 검출할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 조명 유닛 및 이미지형성 유닛의 작동 시간 시퀀스를 도시한 개략도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 조명 유닛(210)은 매 펄스(T1, T2, T3, ..., Tn)마다 한번 기판(260)에 광을 조사하고, 모든 조사의 지속 시간은 하나의 펄스의 폭과 동일하다. 제1 이미지형성 유닛(220)과 제2 이미지형성 유닛(230)은 매 두 펄스의 간격으로 각각 이미지를 촬영하며, 여기에서 제2 이미지형성 유닛(230)이 이미지를 촬영하는 시점은 제1 이미지형성 유닛(220)이 이미지를 촬영하는 시점에 대해 하나의 펄스 폭의 시간 간격을 가지며, 즉 제2 이미지형성 유닛(230)은 짝수 펄스(T2, T4, T6, ...)에서 이미지를 촬영하고, 제1 이미지형성 유닛(220)은 홀수 펄스(T1, T3, T5, ...)에서 이미지를 촬영한다.
제1 실시예의 변형예
통상의 기술자는 위의 제1 실시예에서, 기판(260)이 결함을 갖는지를 결정하기 위해 이미지 구성 모듈(240)에 의해 구성된 이미지(T1, T2)를 처리하는 것이 이미지 처리 모듈(250)이지만, 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 이미지 처리 모듈(250) 대신에 다른 모듈이 기판(260)이 결함을 갖는지를 결정하기 위해 사용될 수 있다. 이 경우에서, 이미지 처리 모듈(250)은 기판(260)이 결함(Q)을 갖는 것으로 결정된 때에만, 결함(Q)이 이미지(T1, T2)에 나타나는 위치의 관계에 기초하여 결함(Q)이 기판(260) 상에 위치되는지 또는 기판(260) 내에 위치되는지를 검출하도록 구성된다.
통상의 기술자는 위의 제1 실시예 및 그 변형예에서, 조명 유닛(210)은 매 펄스마다 한번 기판(260)에 광을 조사하고, 모든 조사의 지속 시간은 하나의 펄스의 폭과 동일하지만, 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 조명 유닛(210)은 또한 시스템(200)이 작동 중인 때에는 항상 기판(260)에 광을 연속적으로 조사할 수 있다.
통상의 기술자는 위의 제1 실시예 및 그 변형예에서, 제1 이미지형성 유닛(220)과 제2 이미지형성 유닛(230)은 매 두 펄스의 간격으로 각각 이미지를 촬영하지만, 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 제1 이미지형성 유닛(220)과 제2 이미지형성 유닛(230)은 매 하나의 펄스 또는 2개 초과의 펄스의 간격으로 각각 이미지를 촬영한다.
통상의 기술자는 위의 제1 실시예 및 그 변형예에서, 제2 이미지형성 유닛(230)이 이미지를 촬영하는 시점은 제1 이미지형성 유닛(220)이 이미지를 촬영하는 시점에 대해 하나의 펄스 폭의 시간 간격을 갖지만, 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 제2 이미지형성 유닛(230)이 이미지를 촬영하는 시점은 또한 제1 이미지형성 유닛(220)이 이미지를 촬영하는 시점에 대해 0 또는 하나 초과의 펄스 폭의 간격을 가질 수 있다.
통상의 기술자는 위의 제1 실시예 및 그 변형예에서, 제1 이미지형성 유닛(220)과 제2 이미지형성 유닛(230)은 동일한 조명 유닛, 즉 조명 유닛(210)을 사용하지만, 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 조명 유닛(210)은 제1 조명 유닛(210-1) 및 제2 조명 유닛(210-2)을 포함할 수 있으며, 여기에서 제1 이미지형성 유닛(220)은 제1 조명 유닛(210-1)에 의해 기판(260)에 조사되어 기판(260)을 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하고, 제2 이미지형성 유닛(230)은 제2 조명 유닛(210-2)에 의해 기판(260)에 조사되어 기판(260)을 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영한다. 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 조명 유닛 및 이미지형성 유닛의 작동 시간 시퀀스를 도시한 개략도이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 조명 유닛(210-1)과 제2 조명 유닛(210-2)은 각각 매 두 펄스마다 한번 기판(260)에 광을 조사하고, 모든 조사의 지속 시간은 하나의 펄스의 폭과 동일하며, 여기에서 제1 조명 유닛(210-1)이 기판(260)에 광을 조사하는 시점은 제2 조명 유닛(210-2)이 기판(260)에 광을 조사하는 시점에 대해 하나의 펄스 폭의 시간 간격을 갖는다. 제1 이미지형성 유닛(220)은 제1 조명 유닛(210-1)이 기판(260)에 광을 조사하는 펄스 각각에서 이미지를 촬영하고, 제2 이미지형성 유닛(230)은 제2 조명 유닛(210-2)이 기판(260)에 광을 조사하는 펄스 각각에서 이미지를 촬영한다. 제1 조명 유닛(210-1) 및 제2 조명 유닛(210-2) 각각은 일렬로 놓인 또는 배열을 이루어 놓인 하나 이상의 광원을 포함할 수 있다.
도 4에 도시된 상태에 더하여, 통상의 기술자는 제1 조명 유닛(210-1)이 기판(260)에 광을 조사하는 시점과 제2 조명 유닛(210-2)이 기판(260)에 광을 조사하는 시점은 또한 동일할 수 있거나, 또는 제1 조명 유닛(210-1)이 기판(260)에 광을 조사하는 시점은 또한 제2 조명 유닛(210-2)이 기판(260)에 광을 조사하는 시점에 대해 2개 이상의 펄스의 시간 간격을 가질 수 있음을 이해할 것이다.
통상의 기술자는 위의 제1 실시예 및 그 변형예에서, 시스템(200)이 작동할 때, 기판(260)은 이동하는 반면, 제1 이미지형성 유닛(220), 제2 이미지형성 유닛(230) 및 조명 유닛(210)은 이동하지 않지만, 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 시스템(200)이 작동할 때, 기판(260)은 이동하지 않고, 제1 이미지형성 유닛(220), 제2 이미지형성 유닛(230) 및 조명 유닛(210)이 이동하는 것도 또한 실현가능하다.
통상의 기술자는 위의 제1 실시예 및 그 변형예에 인용된 기판은 태양광 모듈 산업에서 광전지 또는 광발전 모듈에 사용되는 패턴 또는 구조를 갖는 기판을 포함할 수 있음을 이해할 것이다.
통상의 기술자는 제1 이미지형성 유닛과 제2 이미지형성 유닛의 수가 기판의 폭, 이미지형성 개구수, 검출 정확성, 및 기판의 결함의 추정 최대수와 최소 검출 치수에 기초하여 결정될 수 있음을 이해할 것이다.
통상의 기술자는 이미지 구성 모듈(240)과 이미지 처리 모듈(250)은 소프트웨어, 하드웨어 및 소프트웨어와 하드웨어의 조합에 의해 구현될 수 있음을 이해할 것이다.
통상의 기술자는 위의 제1 실시예 및 그 변형예에서, 기판(260)으로부터 나와 제1 이미지형성 유닛(220)에 의해 수광된 광과 기판(260)으로부터 나와 제2 이미지형성 유닛(230)에 의해 수광된 광은 조명 유닛(210)에 의해 조사되어 기판(260)을 통해 투과된 광이지만(즉, 명시야 조명), 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 조명 유닛(210)이 기판(260)에 광을 조사하는 각도는 기판(260)으로부터 나와 제1 이미지형성 유닛(220)에 의해 수광된 광 및/또는 기판(260)으로부터 나와 제2 이미지형성 유닛(230)에 의해 수광된 광이 기판(260)이 조명 유닛(210)에 의해 조사된 광을 산란시키는 것으로부터 유래된 광이도록 설정될 수 있다(암시야 조명). 구체적으로, 조명 유닛(210)이 기판(260)에 광을 조사하는 각도는 기판(260)으로부터 나와 제1 이미지형성 유닛(220)에 의해 수광된 광과 기판(260)으로부터 나와 제2 이미지형성 유닛(230)에 의해 수광된 광이 기판(260)이 조명 유닛(210)에 의해 조사된 광을 산란시키는 것으로부터 유래된 광이도록 설정될 수 있거나; 또는 조명 유닛(210)이 기판(260)에 광을 조사하는 각도는 기판(260)으로부터 나와 제1 이미지형성 유닛(220)에 의해 수광된 광이 조명 유닛(210)에 의해 조사되어 기판(260)을 통해 투과된 광이고 기판(260)으로부터 나와 제2 이미지형성 유닛(230)에 의해 수광된 광이 기판(260)이 조명 유닛(210)에 의해 조사된 광을 산란시키는 것으로부터 유래된 광이도록 설정될 수 있거나; 또는 조명 유닛(210)이 기판(260)에 광을 조사하는 각도는 기판(260)으로부터 나와 제1 이미지형성 유닛(220)에 의해 수광된 광이 기판(260)이 조명 유닛(210)에 의해 조사된 광을 산란시키는 것으로부터 유래된 광이고 기판(260)으로부터 나와 제2 이미지형성 유닛(230)에 의해 수광된 광이 조명 유닛(210)에 의해 조사되어 기판(260)을 통해 투과된 광이도록 설정될 수 있다.
통상의 기술자는 위의 제1 실시예 및 그 변형예에서, 제1 이미지형성 유닛(220)과 제2 이미지형성 유닛(230)은 기판(260)의 표면(B2) 외부에 배치되고, 조명 유닛(210)은 기판(260)의 표면(B1) 외부에 배치되지만, 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 조명 유닛(210)은 또한 제1 이미지형성 유닛(220) 및 제2 이미지형성 유닛(230)과 같이 기판(260)의 표면(B2) 외부에 배치될 수 있다. 조명 유닛(210)이 기판(260)의 표면(B2) 외부에 배치되면, 제1 이미지형성 유닛(220)은 조명 유닛(210)에 의해 조사된 광의 기판(260)을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영할 수 있고, 제2 이미지형성 유닛(230)은 조명 유닛(210)에 의해 조사된 광의 기판(260)을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영할 수 있다.
또한, 조명 유닛(210)이 제1 조명 유닛(210-1) 및 제2 조명 유닛(210-2)을 포함하면, 제1 조명 유닛(210-1)이 기판(260)에 광을 조사하는 각도와 제2 조명 유닛(210-2)이 기판(260)에 광을 조사하는 각도는 기판(260)으로부터 나와 제1 이미지형성 유닛(220)에 의해 수광된 광이 기판(260)이 제1 조명 유닛(210-1)에 의해 조사된 광을 산란시키는 것으로부터 유래된 광이고 기판(260)으로부터 나와 제2 이미지형성 유닛(230)에 의해 수광된 광이 기판(260)이 제2 조명 유닛(210-2)에 의해 조사된 광을 산란시키는 것으로부터 유래된 광이도록 설정될 수 있거나; 또는 제1 조명 유닛(210-1)이 기판(260)에 광을 조사하는 각도와 제2 조명 유닛(210-2)이 기판(260)에 광을 조사하는 각도는 기판(260)으로부터 나와 제1 이미지형성 유닛(220)에 의해 수광된 광이 제1 조명 유닛(210-1)에 의해 조사되어 기판(260)을 통해 투과된 광이고 기판(260)으로부터 나와 제2 이미지형성 유닛(230)에 의해 수광된 광이 기판(260)이 제2 조명 유닛(210-2)에 의해 조사된 광을 산란시키는 것으로부터 유래된 광이도록 설정될 수 있거나; 또는 제1 조명 유닛(210-1)이 기판(260)에 광을 조사하는 각도와 제2 조명 유닛(210-2)이 기판(260)에 광을 조사하는 각도는 기판(260)으로부터 나와 제1 이미지형성 유닛(220)에 의해 수광된 광이 기판(260)이 제1 조명 유닛(210-1)에 의해 조사된 광을 산란시키는 것으로부터 유래된 광이고 기판(260)으로부터 나와 제2 이미지형성 유닛(230)에 의해 수광된 광이 제2 조명 유닛(210-2)에 의해 조사되어 기판(260)을 통해 투과된 광이도록 설정될 수 있다. 제1 조명 유닛(210-1)과 제2 조명 유닛(210-2)은 기판(260)에 광을 교번하여 또는 동시에 조사할 수 있다.
통상의 기술자는 위의 변형예에서, 제1 조명 유닛(210-1)과 제2 조명 유닛(210-2)은 기판(260)의 표면(B1) 외부에 배치되지만, 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 제1 조명 유닛(210-1)과 제2 조명 유닛(210-2)은 또한 제1 이미지형성 유닛(220) 및 제2 이미지형성 유닛(230)과 같이 기판(260)의 표면(B2) 외부에 배치될 수 있다. 제1 조명 유닛(210-1)과 제2 조명 유닛(210-2)이 기판(260)의 표면(B2) 외부에 배치되면, 제1 이미지형성 유닛(220)은 제1 조명 유닛(210-1)이 기판(260)에 광을 조사할 때 제1 조명 유닛(210-1)에 의해 조사된 광의 기판(260)을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영할 수 있고, 제2 이미지형성 유닛(230)은 제2 조명 유닛(210-2)이 기판(260)에 광을 조사할 때 제2 조명 유닛(210-2)에 의해 조사된 광의 기판(260)을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영할 수 있다.
통상의 기술자는 위의 변형예에서, 조명 유닛(210)이 제1 조명 유닛(210-1) 및 제2 조명 유닛(210-2)을 포함하면, 제1 채널은 제1 이미지형성 유닛(220)과 제1 조명 유닛(210-1)을 포함하고, 제2 채널은 제2 이미지형성 유닛(230)과 제2 조명 유닛(210-2)을 포함하지만, 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다.
본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 제1 채널은 제1 편광 방향을 갖는 제1 편광 요소와 제1 편광 방향에 직교하는 제2 편광 방향을 갖는 제2 편광 요소를 또한 포함할 수 있으며, 여기에서 제1 편광 요소는 기판(260)의 표면(B1) 외부에 배치되고 제1 조명 유닛(210-1)과 기판(260) 사이에 놓이며, 제2 편광 요소는 기판(260)의 표면(B2) 외부에 배치되고 제1 이미지형성 유닛(220)과 기판(260) 사이에 놓이며, 제1 이미지형성 유닛(220)은 제1 조명 유닛(210-1)에 의해 조사되어 제1 편광 요소, 기판(260) 및 제2 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제1 조명 유닛(210-1)에 의해 조사되어 제1 편광 요소를 통해 투과된 광의 기판(260)을 통한 산란으로부터 유래되어서 제2 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영할 수 있고, 제2 이미지형성 유닛(230)은 제2 조명 유닛(210-2)에 의해 조사되어 기판(260)을 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제2 조명 유닛(210-2)에 의해 조사된 광의 기판(260)을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영할 수 있다.
또는, 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 제2 채널은 제1 편광 방향을 갖는 제3 편광 요소와 제2 편광 방향을 갖는 제4 편광 요소를 또한 포함할 수 있으며, 여기에서 제3 편광 요소는 기판(260)의 표면(B1) 외부에 배치되고 제2 조명 유닛(210-2)과 기판(260) 사이에 놓이며, 제4 편광 요소는 기판(260)의 표면(B2) 외부에 배치되고 제2 이미지형성 유닛(230)과 기판(260) 사이에 놓이며, 제2 이미지형성 유닛(230)은 제2 조명 유닛(210-2)에 의해 조사되어 제3 편광 요소, 기판(260) 및 제4 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제2 조명 유닛(210-2)에 의해 조사되어 제3 편광 요소를 통해 투과된 광의 기판(260)을 통한 산란으로부터 유래되어서 제4 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영할 수 있고, 제1 이미지형성 유닛(220)은 제1 조명 유닛(210-1)에 의해 조사되어 기판(260)을 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제1 조명 유닛(210-1)에 의해 조사된 광의 기판(260)을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영할 수 있다.
또는, 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 제1 채널은 제1 편광 방향을 갖는 제1 편광 요소와 제2 편광 방향을 갖는 제2 편광 요소를 또한 포함할 수 있고, 제2 채널은 제1 편광 방향을 갖는 제3 편광 요소와 제2 편광 방향을 갖는 제4 편광 요소를 또한 포함할 수 있으며, 여기에서 제1 편광 요소는 기판(260)의 표면(B1) 외부에 배치되고 제1 조명 유닛(210-1)과 기판(260) 사이에 놓이며, 제2 편광 요소는 기판(260)의 표면(B2) 외부에 배치되고 제1 이미지형성 유닛(220)과 기판(260) 사이에 놓이며, 제3 편광 요소는 기판(260)의 표면(B1) 외부에 배치되고 제2 조명 유닛(210-2)과 기판(260) 사이에 놓이며, 제4 편광 요소는 기판(260)의 표면(B2) 외부에 배치되고 제2 이미지형성 유닛(230)과 기판(260) 사이에 놓이며, 제1 이미지형성 유닛(220)은 제1 조명 유닛(210-1)에 의해 조사되어 제1 편광 요소, 기판(260) 및 제2 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제1 조명 유닛(210-1)에 의해 조사되어 제1 편광 요소를 통해 투과된 광의 기판(260)을 통한 산란으로부터 유래되어서 제2 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영할 수 있고, 제2 이미지형성 유닛(230)은 제2 조명 유닛(210-2)에 의해 조사되어 제3 편광 요소, 기판(260) 및 제4 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제2 조명 유닛(210-2)에 의해 조사되어 제3 편광 요소를 통해 투과된 광의 기판(260)을 통한 산란으로부터 유래되어서 제4 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영할 수 있다.
통상의 기술자는 기판(260)의 결함이 기판(260) 내의 결함인지 또는 기판(260) 상의 결함인지가 검출된 후에, 기판(260)의 결함은 기판(260)의 결함이 기판(260)의 이미지(T1, T2)에 나타나는 상이한 특징과 기판(260)의 결함이 기판(260) 내의 결함인지 또는 기판(260) 상의 결함인지에 기초하여 분류될 수 있음을 이해할 것이다.
예를 들어, 기판(260)의 이미지(T1)가 제1 조명 유닛(210-1)에 의해 조사되어 기판(260)을 통해 투과된 광을 감지함으로써 촬영된 이미지를 사용하여 구성되고, 기판(260)의 이미지(T2)가 제2 조명 유닛(210-2)에 의해 조사된 광의 기판(260)을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 촬영된 이미지를 사용하여 구성되며, 제2 조명 유닛(210-2)이 광을 조사하는 각도가 제2 이미지형성 유닛(230)에 의해 촬영된 이미지에서 기판(260)의 개방 기포가 보이도록 설정되는 것으로 가정할 때; 기판(260)의 결함이 기판(260)의 이미지(T1)에 나타나는 것이 타원체이고, 이미지(T1, T2)의 비교에 의해 기판(260)의 결함이 기판(260) 상에 있는 것으로 알려지면, 기판(260)의 결함은 개방 기포로서 분류된다.
또한 예를 들어, 기판(260)의 이미지(T1)가 제1 조명 유닛(210-1)에 의해 조사되어 제1 편광 요소, 기판(260) 및 제2 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써 제1 이미지형성 유닛(220)에 의해 촬영된 이미지에 의해 구성되고, 기판(260)의 이미지(T2)가 제2 조명 유닛(210-2)에 의해 조사되어 제3 편광 요소, 기판(260) 및 제4 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써 제2 이미지형성 유닛(230)에 의해 촬영된 이미지에 의해 구성되는 것으로 가정할 때, 기판(260)의 결함이 이미지(T1, T2)에 나타나고, 기판(260)의 결함이 기판(260) 내의 결함인 것으로 검출되면, 기판(260)의 결함은 내포물(inclusion) 또는 재결정과 같은 기판(260) 내의 응력 또는 광-왜곡(optical-distortion) 유형 결함으로서 분류된다.
(제2 실시예)
본 발명의 제2 실시예는 기판의 결함을 검출하고 분류하는 기술을 제공한다.
도 5a 내지 도 5l은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 해법을 도시한 개략화된 개략도이다.
첫째로, 도 5a에 도시된 바와 같이, 조명 유닛(L)이 투명 또는 반투명 기판(S)에 광을 조사하기 위해 기판(S)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고, 반사기(F)와 이미지형성 유닛(M)이 기판(S)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치된다. 반사기(F)는 조명 유닛(L)에 의해 기판(S)에 조사되어 기판(S)을 통해 반사기(F)로 투과된 광을 반사하도록 구성되고, 그 광축이 기판(S)의 표면(B1, B2)에 수직한 이미지형성 유닛(M)은 조명 유닛(L)에 의해 기판(S)에 조사되어 기판(S)을 통해 투과된 광과 반사기(F)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이차원 이미지를 촬영하도록 구성된다. 이미지형성 유닛(M)에 의해 촬영된 이차원 이미지는 조명 유닛(L)에 의해 기판(S)에 조사되어 기판(S)을 통해 투과된 광을 감지함으로써 촬영된 제1 이미지와 반사기(F)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 촬영된 제2 이미지를 포함하며, 이때 제1 이미지와 제2 이미지는 도 5b에 도시된 바와 같이 서로 분리된다.
조명 유닛(L)에 의해 기판(S)에 조사되어 기판(S)을 통해 반사기(F)로 투과된 광은 기판(S)의 표면(B1, B2)에 수직하지 않으며, 따라서 이미지형성 유닛(M)에 의해 촬영된 이차원 이미지에서, 반사기(F)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 촬영된 제2 이미지는 조명 유닛(L)에 의해 기판(S)에 조사되어 기판(S)을 통해 투과된 광을 감지함으로써 촬영된 제1 이미지와 비교시 압축 변형을 갖는다. 예를 들어, 도 5c에 도시된 정사각형의 경우, 이미지형성 유닛(M)에 의해 촬영된 이차원 이미지에서, 조명 유닛(L)에 의해 기판(S)에 조사되어 기판(S)을 통해 투과된 광을 감지함으로써 촬영된 제1 이미지가 도 5d에 도시되고, 반사기(F)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 촬영된 제2 이미지가 도 5e에 도시된다. 도 5d에서, 촬영된 이미지는 여전히 정사각형인 반면, 도 5e에서, 촬영된 이미지는 사다리꼴이다. 도 5d에 도시된 이미지와 비교시, 도 5e에 도시된 이미지의 밑변은 변화가 없고, 그 윗변 및 높이가 압축되는 것을 알 수 있다. 반사기(F)와 이미지형성 유닛(M)이 기판(S)에 대해 설치된 후, 이미지형성 유닛(M)에 의해 촬영된 이차원 이미지의 제2 이미지의 압축 변형이 결정되었다. 이때, 예를 들어, 이미지형성 유닛(M)에 의해 촬영된 이차원 이미지의 제2 이미지의 압축 변형량은 원 및 다각형과 같은 패턴에 의해 형성된 보정판을 기판(S) 상에 배치하고 이미지형성 유닛(M)에 의해 촬영된 이차원 이미지의 제2 이미지 내의 패턴의 압축 변형량을 계산함으로써 사전결정될 수 있다.
기판(S)이 방향 z를 따라 이동할 때, 이미지형성 유닛(M)은 조명 유닛(L)에 의해 기판(S)에 조사되어 기판(S)을 통해 투과된 광과 반사기(F)에 의해 반사된 광을 소정 간격을 두고 연속적으로 감지함으로써 적어도 하나의 이차원 이미지를 촬영한다. 이미지형성 유닛(M)에 의해 촬영된 적어도 하나의 이차원 이미지 각각에 포함된 제2 이미지는 이미지형성 유닛(M)에 의해 촬영된 적어도 하나의 이차원 이미지 각각의 제2 이미지의 압축 변형을 제거하기 위해, 사전결정된 압축 변형량에 따라 신장된다. 이어서, 이미지형성 유닛(M)에 의해 촬영된 적어도 하나의 이차원 이미지에 포함된 제2 이미지는 기판(S)의 이미지를 구성하기 위해 사용되고, 이미지형성 유닛(M)에 의해 촬영된 적어도 하나의 이차원 이미지에 포함된 제1 이미지도 또한 기판(S)의 이미지를 구성하기 위해 사용된다.
도 5f에 도시된 바와 같이, 기판(S)이 기판(S)의 좌측 에지에 대해 거리 z1을 갖는 그리고 기판(S)에 수직한 위치에서 두 결함(D1, D2)을 가지며, 여기에서 결함(D1)은 이미지형성 유닛(M)과 동일측에 있는 기판(S)의 표면(B2) 상에 위치되고, 결함(D2)은 기판(S) 내에 위치되고 기판(S)의 표면(B2)에 대해 거리 h를 갖는 것으로 가정한다.
이미지형성 유닛(M)이 조명 유닛(L)에 의해 기판(S)에 조사되어 기판(S)을 통해 투과된 광과 반사기(F)에 의해 반사된 광을 소정 간격을 두고 연속적으로 감지함으로써 적어도 하나의 이차원 이미지를 촬영하는 과정에서, 기판(S)이 도 5g에 도시된 위치로 방향 z를 따라 이동할 때, 이미지형성 유닛(M)에 의해 촬영된 이차원 이미지의 제1 이미지는 결함(D1, D2)을 포함하고; 기판(S)이 도 5i에 도시된 위치로 방향 z를 따라 이동할 때, 이미지형성 유닛(M)에 의해 촬영된 이차원 이미지의 제2 이미지는 결함(D2)을 포함하며; 기판(S)이 도 5j에 도시된 위치로 방향 z를 따라 이동할 때, 이미지형성 유닛(M)에 의해 촬영된 이차원 이미지의 제2 이미지는 결함(D1)을 포함한다.
이미지형성 유닛(M)에 의해 촬영된 적어도 하나의 이차원 이미지에 포함된 제1 이미지를 사용하여 구성된 기판(S)의 이미지(X1)가 도 5k에 도시되고, 이미지형성 유닛(M)에 의해 촬영된 적어도 하나의 이차원 이미지에 포함된 신장된 제2 이미지를 사용하여 구성된 기판(S)의 이미지(X2)가 도 5l에 도시된다. 도 5k에 도시된 기판(S)의 이미지(X1)를 도 5l에 도시된 기판(S)의 이미지(X2)와 비교함으로써, 기판(S)의 표면(B2) 상에 위치된 결함(D1)이 기판(S)의 이미지(X1)에 나타나는 위치와 기판(S)의 표면(B2) 상에 위치된 결함(D1)이 기판(S)의 이미지(X2)에 나타나는 위치가 동일한 반면, 기판(S) 내에 위치된 결함(D2)이 기판(S)의 이미지(X1)에 나타나는 위치와 기판(S) 내에 위치된 결함(D2)이 기판(S)의 이미지(X2)에 나타나는 위치는 동일하지 않고 편차 d'를 갖는 것을 알 수 있다. 연구에 의하면, h가 중가함에 따라, 편차 d'가 증가하는 것을 보여준다. 또한, 결함(D2)과 기판(S)의 표면(B2) 사이의 거리 h가 최대에 도달한 때, 즉 결함(D2)이 기판(S)의 표면(B1) 상에 위치된 때, 결함(D2)이 기판(S)의 이미지(X1)에 나타나는 위치와 결함(D2)이 기판(S)의 이미지(X2)에 나타나는 위치는 동일하지 않고, 편차 d'는 최대이다.
전술한 사항은 다음의 규칙: 이미지형성 유닛(M)에 의해 촬영된 적어도 하나의 이차원 이미지의 제1 이미지를 사용하여 구성된 기판(S)의 이미지(X1)와 이미지형성 유닛(M)에 의해 촬영된 적어도 하나의 이차원 이미지의 제2 이미지를 사용하여 구성된 기판(S)의 이미지(X2)에 대해, 기판(S)의 표면상에 위치된 결함이 기판(S)의 이미지(X1)에 나타나는 위치와 기판(S)의 표면상에 위치된 결함이 기판(S)의 이미지(X2)에 나타나는 위치는 동일하거나, 또는 두 위치 사이의 편차는 최대인 반면, 기판(S) 내에 위치된 결함이 기판(S)의 이미지(X1)에 나타나는 위치와 기판(S) 내에 위치된 결함이 기판(S)의 이미지(X2)에 나타나는 위치는 동일하지 않고, 두 위치 사이의 편차는 기판(S)의 표면(B1) 상에 위치된 결함이 기판(S)의 이미지(X1)에 나타나는 위치와 기판(S)의 표면(B1) 상에 위치된 결함이 기판(S)의 이미지(X2)에 나타나는 위치 사이의 편차보다 작은 것을 개시할 수 있다.
본 발명의 제2 실시예에 따른 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 방법 및 시스템은 위의 규칙에 기초하여 형성된다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 시스템을 도시한 구조화된 개략도이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 기판의 결함을 구별하기 위한 시스템(300)은 조명 유닛(310), 반사기(320), 이미지형성 유닛(330), 이미지 구성 모듈(340) 및 이미지 처리 모듈(350)을 포함할 수 있다.
조명 유닛(310)은 투명 또는 반투명 기판(360)의 표면(B1) 외부에 배치되고, 기판(360)에 광을 조사하도록 구성된다. 조명 유닛(310)에 의해 기판(360)에 조사된 광은 비-확산 광 또는 확산 광일 수 있다. 조명 유닛(310)에 의해 기판(360)에 조사된 광이 확산 광인 조건에서, 기판(360)이 패턴 또는 구조를 갖는 기판이면, 기판(360)의 결함의 검사에 미치는 기판(360)의 패턴 또는 구조의 영향이 감소되거나 심지어 제거될 수 있다. 조명 유닛(310)은 하나 이상의 광원을 포함할 수 있어, 조명 유닛(310)은 기판(360)의 전폭의 범위에 걸쳐 기판(360)에 광을 조사할 수 있다.
반사기(320)는 기판(360)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고, 조명 유닛(310)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 반사기(320)로 투과된 광을 반사하도록 구성된다.
이미지형성 유닛(330)은 기판(360)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고, 이미지형성 유닛(330)의 광축은 기판(360)의 표면(B1, B2)에 수직하다. 이미지형성 유닛(330)은 조명 유닛(310)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광과 반사기(320)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이차원 이미지를 촬영하도록 구성된다. 이미지형성 유닛(330)에 의해 촬영된 이차원 이미지는 조명 유닛(310)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광을 감지함으로써 촬영된 제1 이미지와 반사기(320)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 촬영된 제2 이미지를 포함하며, 이때 제1 이미지와 제2 이미지는 공간에서 서로 분리된다. 이미지형성 유닛(330)과 조명 유닛(310)은 제3 채널을 형성할 수 있고, 반사기(320), 이미지형성 유닛(330) 및 조명 유닛(310)은 제4 채널을 형성할 수 있으며, 여기에서 제3 채널 및 제4 채널 둘 모두는 명시야 조명에 속한다. 시스템(300)이 작동하는 과정에서, 기판(360)이 방향 z를 따라 이동할 때, 이미지형성 유닛(330)은 조명 유닛(310)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광과 반사기(320)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 사전결정된 시간 간격을 두고 적어도 하나의 이차원 이미지를 촬영한다.
이미지형성 유닛(330)은 하나 이상의 이미지형성 요소에 의해 형성될 수 있다. 이미지형성 유닛(330)을 형성하기 위한 복수의 이미지형성 요소가 있을 때, 복수의 이미지형성 요소는 배열을 이루어 놓이거나, 일렬로 놓이거나, 선의 양측에 엇갈리게 놓이거나, 또는 사전결정된 간격을 두고 그리고 선에 대해 사전결정된 협각을 갖고서 배치된다.
이미지 구성 모듈(340)은 이미지형성 유닛(330)에 연결되고, 이미지형성 유닛(330)에 의해 촬영된 적어도 하나의 이차원 이미지에 포함된 제1 이미지와 제2 이미지를 각각 사용하여 기판(260)의 두 이미지를 구성하도록, 즉 이미지형성 유닛(330)에 의해 촬영된 적어도 하나의 이차원 이미지에 포함된 제1 이미지를 사용하여 기판(360)의 하나의 이미지를 구성하고 이미지형성 유닛(330)에 의해 촬영된 적어도 하나의 이차원 이미지에 포함된 제2 이미지를 사용하여 기판(360)의 다른 이미지를 구성하도록 구성된다. 설명의 편의를 위해, 이미지형성 유닛(330)에 의해 촬영된 적어도 하나의 이차원 이미지에 포함된 제1 이미지를 사용하여 구성된 기판(360)의 이미지는 이미지(TT1)로 지칭되고, 이미지형성 유닛(330)에 의해 촬영된 적어도 하나의 이차원 이미지에 포함된 제2 이미지를 사용하여 구성된 기판(360)의 이미지는 이미지(TT2)로 지칭된다.
여기에서, 이미지형성 유닛(330)에 의해 촬영된 적어도 하나의 이차원 이미지 각각에 포함된 제2 이미지를 사용하여 기판(360)의 이미지(TT2)가 구성되기 전에, 이미지 구성 모듈(340)은 이미지형성 유닛(330)에 의해 촬영된 적어도 하나의 이차원 이미지 각각에 포함된 제2 이미지의 압축 변형을 제거하기 위해 이미지형성 유닛(330)에 의해 촬영된 적어도 하나의 이차원 이미지 각각에 포함된 제2 이미지를 신장시킨다. 이미지형성 유닛(330)에 의해 촬영된 적어도 하나의 이차원 이미지 각각에 포함된 제2 이미지의 압축 변형량은 예를 들어 원 및 다각형과 같은 패턴에 의해 형성된 보정판을 기판(360) 상에 배치하고 이미지형성 유닛(330)에 의해 촬영된 이차원 이미지에 포함된 제2 이미지 내의 패턴의 압축 변형량을 계산함으로써 사전결정될 수 있다.
이미지 처리 모듈(350)은 이미지 구성 모듈(340)에 연결되고, 기판(360)이 결함을 갖는지를 결정하기 위해, 그리고 기판(360)이 결함(Q)을 갖는 것으로 결정된 때, 결함(Q)이 이미지(TT1)에 나타나는 위치와 결함(Q)이 이미지(TT2)에 나타나는 위치의 관계에 기초하여 결함(Q)이 기판(360) 상에 위치되는지 또는 기판(360) 내에 위치되는지를 검출하기 위해 이미지 구성 모듈(340)에 의해 구성된 이미지(TT1, TT2)를 처리하도록 구성된다. 여기에서, 결함(Q)이 이미지(TT1)에 나타나는 위치와 결함(Q)이 이미지(TT2)에 나타나는 위치가 동일하거나, 결함(Q)이 이미지(TT1)에 나타나는 위치와 결함(Q)이 이미지(TT2)에 나타나는 위치 사이의 편차가 최대 편차 ZL과 동일할 때, 이미지 처리 모듈(350)은 결함(Q)이 기판(360) 상에 위치됨을 검출하고; 결함(Q)이 이미지(TT1)에 나타나는 위치와 결함(Q)이 이미지(TT2)에 나타나는 위치가 동일하지 않고, 결함(Q)이 이미지(TT1)에 나타나는 위치와 결함(Q)이 이미지(TT2)에 나타나는 위치 사이의 편차가 최대 편차 ZL보다 작을 때, 이미지 처리 모듈(350)은 결함(Q)이 기판(360) 내에 위치됨을 검출한다.
이때, 이미지 처리 모듈(350)은 동일 출원인에 의해 2009년 2월 27일자로 출원된 중국 특허 출원 제200910117993.X호에 개시된 해법, 또는 기판이 결함을 갖는지를 결정하도록 이미지를 처리하기 위해 현재 존재하고 미래에 제안되는 다른 해법을 사용하여, 기판(360)이 결함을 갖는지를 결정할 수 있다.
최대 편차 ZL은 기판(360)의 표면(B1) 상에 위치된 결함이 이미지형성 유닛(330)에 의해 촬영된 적어도 하나의 이차원 이미지에 포함된 제1 이미지를 사용하여 구성된 기판(360)의 이미지에 나타나는 위치와 기판(360)의 표면(B1) 상에 위치된 결함이 이미지형성 유닛(330)에 의해 촬영된 적어도 하나의 이차원 이미지에 포함된 신장된 제2 이미지를 사용하여 구성된 기판(360)의 이미지에 나타나는 위치 사이의 편차이다. 이때, 원 및 다각형과 같은 복수의 동일하게 이격된 패턴에 의해 형성된 보정판이 기판(360)의 표면(B1) 상에 배치될 수 있고, 보정판 내의 동일한 패턴이 이미지형성 유닛(330)에 의해 촬영된 이차원 이미지의 제1 이미지를 사용하여 구성된 기판(360)의 이미지에 나타나는 위치와 보정판 내의 동일한 패턴이 이미지형성 유닛(330)에 의해 촬영된 이차원 이미지의 신장된 제2 이미지를 사용하여 구성된 기판(360)의 이미지에 나타나는 위치 사이의 편차가 최대 편차 ZL로서 계산된다. 명백히, 통상의 기술자는 최대 편차 ZL을 얻기 위해 다른 공지 기술을 또한 사용할 수 있다.
이하는 결함(Q)이 이미지(TT1, TT2)에 나타나는 위치의 관계에 기초하여, 결함(Q)이 기판(360) 상에 위치되는지 또는 기판(360) 내에 위치되는지를 검출하는 일례이다. 첫째로, 이미지 처리 모듈(350)은 결함(Q)이 이미지(TT1)에 나타나는 위치의 좌표 WZ1과 결함(Q)이 이미지(TT2)에 나타나는 위치의 좌표 WZ2를 계산할 수 있다. 둘째로, 이미지 처리 모듈(350)은 좌표 WZ1과 WZ2의 차이의 절대값 JZ를 계산할 수 있다. 셋째로, 이미지 처리 모듈(350)은 값 JZ가 0과 동일한지 또는 최대 편차 ZL과 동일한지를 판단할 수 있다. 판단 결과가 값 JZ가 0 또는 최대 편차 ZL과 동일하다고 지시하면, 이미지 처리 모듈(350)은 결함(Q)이 기판(360) 상에 위치된 결함임을 검출할 수 있고, 판단 결과가 값 JZ가 0 및 최대 편차 ZL과 동일하지 않다고 지시하면, 이미지 처리 모듈(350)은 결함(Q)이 기판(360) 내에 위치된 결함임을 검출할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 조명 유닛 및 이미지형성 유닛의 작동 시간 시퀀스를 도시한 개략도이다. 도 7에 도시된 바와 같이, 조명 유닛(310)은 매 펄스(T1, T2, T3, ..., Tn)마다 한번 기판(360)에 광을 조사하고, 모든 조사의 지속 시간은 하나의 펄스의 폭과 동일하다. 이미지형성 유닛(330)은 매 펄스의 간격으로 이차원 이미지를 촬영한다.
위의 실시예로부터, 두 채널의 이미지가 단지 하나의 이미지형성 유닛만을 사용하여 촬영되기 때문에 비용이 절감되고, 또한 두 채널의 이미지가 단지 하나의 이미지형성 유닛만을 사용하여 촬영되기 때문에, 이미지의 촬영 간섭 요인에 의해 초래되는, 기판의 결함이 두 채널의 이미지에 나타나는 위치의 변화가 동일하며, 따라서 기판의 결함이 기판의 표면상에 위치되는지 또는 기판 내에 위치되는지가 촬영된 이미지를 사용하여 구별되는 것이 더욱 정확한 것을 알 수 있다.
제2 실시예의 변형예
통상의 기술자는 위의 제2 실시예에서, 기판(360)이 결함을 갖는지를 결정하기 위해 이미지 구성 모듈(340)에 의해 구성된 이미지(TT1, TT2)를 처리하는 것이 이미지 처리 모듈(350)이지만, 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 이미지 처리 모듈(350) 대신에 다른 모듈이 기판(360)이 결함을 갖는지를 결정하기 위해 사용될 수 있다. 이 경우에서, 이미지 처리 모듈(350)은 기판(360)이 결함(Q)을 갖는 것으로 결정된 때에만, 결함(Q)이 이미지(TT1, TT2)에 나타나는 위치의 관계에 기초하여 결함(Q)이 기판(360) 상에 위치되는지 또는 기판(360) 내에 위치되는지를 검출하도록 구성된다.
통상의 기술자는 위의 제2 실시예 및 그 변형예에서, 이미지형성 유닛(330)의 광축은 기판(360)의 표면(B1, B2)에 수직하지만, 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 이미지형성 유닛(330)의 광축은 또한 기판(360)의 표면(B1, B2)에 수직하지 않을 수 있다. 이미지형성 유닛(330)의 광축이 기판(360)의 표면(B1, B2)에 수직하지 않으면, 이미지형성 유닛(330)에 의해 촬영된 이차원 이미지에서, 조명 유닛(310)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광을 감지함으로써 형성된 제1 이미지도 또한 압축 변형을 갖고, 제1 이미지의 압축 변형은 제2 이미지와 대한 바와 동일한 방식으로 결정될 수 있으며; 또한, 이미지형성 유닛(330)에 의해 촬영된 적어도 하나의 이차원 이미지에 포함된 제1 이미지를 사용하여 기판(360)의 이미지(TT1)가 구성되기 전에, 이미지 구성 모듈(340)은 이미지형성 유닛(330)에 의해 촬영된 적어도 하나의 이차원 이미지 각각에 포함된 제1 이미지의 압축 변형을 제거하기 위해 이미지형성 유닛(330)에 의해 촬영된 적어도 하나의 이차원 이미지 각각에 포함된 제1 이미지를 신장시킨다.
통상의 기술자는 이미지형성 유닛(330)이 반사기(320)에 의해 반사된 광을 수광할 수 있고, 반사기(320)에 의해 반사된 광과 조명 유닛(310)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광이 이미지형성 유닛(330)에서 분리될 수 있는 한, 반사기(320)와 기판(360) 사이의 간격은 실제 요건에 따라 조절될 수 있음을 이해할 것이다.
통상의 기술자는 위의 제2 실시예 및 그 변형예에서, 이미지형성 유닛(330)은 매 펄스마다 이차원 이미지를 촬영하지만, 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 이미지형성 유닛(330)은 매 더욱 많은 펄스에서 이차원 이미지를 촬영한다.
통상의 기술자는 위의 실시예에서, 조명 유닛(310)은 매 펄스(T1, T2, T3, ..., Tn)마다 한번 기판(360)에 광을 조사하고, 모든 조사의 지속 시간은 하나의 펄스의 폭과 동일하지만, 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 조명 유닛(310)은 또한 시스템(300)이 작동할 때 연속적으로 기판(360)에 광을 조사할 수 있다.
통상의 기술자는 위의 제2 실시예 및 그 변형예에서, 시스템(300)이 작동할 때, 기판(360)은 이동하는 반면, 반사기(320), 이미지형성 유닛(330) 및 조명 유닛(310)은 이동하지 않지만, 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 시스템(300)이 작동할 때, 기판(360)은 이동하지 않고, 반사기(320), 이미지형성 유닛(330) 및 조명 유닛(310)이 이동하는 것도 또한 실현가능하다.
통상의 기술자는 위의 제2 실시예 및 그 변형예에서, 반사기(320)에 입사한 광은 조명 유닛(310)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광이고(즉, 명시야 조명), 기판(360)으로부터 나와 이미지형성 유닛(330)에 의해 수광된 광은 조명 유닛(310)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광이지만(즉, 명시야 조명), 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 반사기(320)에 입사한 광 및/또는 기판(360)으로부터 나와 이미지형성 유닛(330)에 의해 수광된 광은 또한 조명 유닛(310)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광일 수 있다(즉, 암시야 조명). 구체적으로, 조명 유닛(310)이 기판(360)에 광을 조사하는 각도는 반사기(320)에 입사한 광과 기판(360)으로부터 나와 이미지형성 유닛(330)에 의해 수광된 광이 조명 유닛(310)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이도록 설정될 수 있거나; 또는 조명 유닛(310)이 기판(360)에 광을 조사하는 각도는 반사기(320)에 입사한 광이 조명 유닛(310)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이고 기판(360)으로부터 나와 이미지형성 유닛(330)에 의해 수광된 광이 조명 유닛(310)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광이도록 설정될 수 있거나; 또는 조명 유닛(310)이 기판(360)에 광을 조사하는 각도는 반사기(320)에 입사한 광이 조명 유닛(310)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광이고 기판(360)으로부터 나와 이미지형성 유닛(330)에 의해 수광된 광이 조명 유닛(310)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이도록 설정될 수 있다.
통상의 기술자는 위의 제2 실시예 및 그 변형예에서, 시스템(300)은 단지 하나의 조명 유닛, 즉 조명 유닛(310)만을 포함하고, 제3 채널 및 제4 채널 둘 모두는 조명 유닛(310)을 포함하지만, 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 조명 유닛(310)은 제1 조명 유닛(F1)과 제2 조명 유닛(F2)을 또한 포함할 수 있고, 제3 채널은 제1 조명 유닛(F1) 및 이미지형성 유닛(330)을 포함할 수 있으며, 제4 채널은 제2 조명 유닛(F2), 반사기(320) 및 이미지형성 유닛(330)을 포함할 수 있고, 제1 조명 유닛(F1)과 제2 조명 유닛(F2)은 기판(360)의 표면(B1) 외부에 배치되고 기판(360)에 확산 광 또는 비-확산 광을 조사하도록 구성된다.
조명 유닛(310)이 제1 조명 유닛(F1)과 제2 조명 유닛(F2)을 포함하면, 제1 조명 유닛(F1)과 제2 조명 유닛(F2)이 기판(360)에 광을 조사하는 각도는 반사기(320)에 입사한 광이 제2 조명 유닛(F2)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이거나 제2 조명 유닛(F2)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광이고, 기판(360)으로부터 나와 이미지형성 유닛(330)에 의해 수광된 광이 제1 조명 유닛(F1)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이거나 제1 조명 유닛(F1)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광이도록 설정될 수 있다. 구체적으로, 제1 조명 유닛(F1)과 제2 조명 유닛(F2)이 기판(360)에 광을 조사하는 각도는 반사기(320)에 입사한 광이 제2 조명 유닛(F2)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이고, 기판(360)으로부터 나와 이미지형성 유닛(330)에 의해 수광된 광이 제1 조명 유닛(F1)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광이도록 설정되거나; 또는 제1 조명 유닛(F1)과 제2 조명 유닛(F2)이 기판(360)에 광을 조사하는 각도는 반사기(320)에 입사한 광이 제2 조명 유닛(F2)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이고, 기판(360)으로부터 나와 이미지형성 유닛(330)에 의해 수광된 광이 제1 조명 유닛(F1)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이도록 설정되거나; 또는 제1 조명 유닛(F1)과 제2 조명 유닛(F2)이 기판(360)에 광을 조사하는 각도는 반사기(320)에 입사한 광이 제2 조명 유닛(F2)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광이고, 기판(360)으로부터 나와 이미지형성 유닛(330)에 의해 수광된 광이 제1 조명 유닛(F1)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이도록 설정되거나; 또는 제1 조명 유닛(F1)과 제2 조명 유닛(F2)이 기판(360)에 광을 조사하는 각도는 반사기(320)에 입사한 광이 제2 조명 유닛(F2)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광이고, 기판(360)으로부터 나와 이미지형성 유닛(330)에 의해 수광된 광이 제1 조명 유닛(F1)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광이도록 설정된다. 제1 조명 유닛(F1)과 제2 조명 유닛(F2)은 기판(360)에 광을 교번하여 또는 동시에 조사할 수 있다.
통상의 기술자는 위의 제2 실시예의 변형예에서, 조명 유닛(310)에 포함된 제1 조명 유닛(F1)과 제2 조명 유닛(F2)은 기판(360)의 표면(B1) 외부에 배치되지만, 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 제1 조명 유닛(F1)은 기판(360)의 표면(B1) 외부에 배치될 수 있고, 제2 조명 유닛(F2)은 기판(360)의 표면(B2) 외부에 배치될 수 있다.
제1 조명 유닛(F1)이 기판(360)의 표면(B1) 외부에 배치되고, 제2 조명 유닛(F2)이 기판(360)의 표면(B2) 외부에 배치되면, 반사기(320)에 입사한 광은 제2 조명 유닛(F2)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이고, 제1 조명 유닛(F1)이 기판(360)에 광을 조사하는 각도를 설정함으로써, 기판(360)으로부터 나와 이미지형성 유닛(330)에 의해 수광된 광은 제1 조명 유닛(F1)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이거나 제1 조명 유닛(F1)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광일 수 있다.
통상의 기술자는 제1 조명 유닛(F1)이 기판(360)의 표면(B1) 외부에 배치되면, 제1 조명 유닛(F1)과 이미지형성 유닛(330)에 더하여, 제3 채널은 제1 편광 방향(FX1)을 갖는 제1 편광 요소(P1)와 제1 편광 방향(FX1)에 직교하는 제2 편광 방향(FX2)을 갖는 제2 편광 요소(P2)를 또한 포함할 수 있고, 여기에서 제1 편광 요소(P1)는 기판(360)의 표면(B1) 외부에 배치되고 제1 조명 유닛(F1)과 기판(360) 사이에 배치되며, 제2 편광 요소(P2)는 기판(360)의 표면(B2) 외부에 배치되고 기판(360)과 이미지형성 유닛(330) 사이에 배치되며, 기판(360)으로부터 나와 이미지형성 유닛(330)에 의해 수광된 광은 제1 조명 유닛(F1)에 의해 기판(360)에 조사되어 제1 편광 요소(P1), 기판(360) 및 제2 편광 요소(P2)를 통해 투과된 광이거나 제1 조명 유닛(F1)에 의해 조사되어 제1 편광 요소(P1)를 통해 투과된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래되어서 제2 편광 요소(P2)를 통해 투과된 광이고, 반사기(320)에 입사한 광은 제2 조명 유닛(F2)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이거나 제2 조명 유닛(F2)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광일 수 있음을 이해할 것이다.
통상의 기술자는 제2 조명 유닛(F2)이 기판(360)의 표면(B1) 외부에 배치되면, 제2 조명 유닛(F2), 반사기(320) 및 이미지형성 유닛(330)에 더하여, 제4 채널은 제1 편광 방향(FX1)을 갖는 제3 편광 요소(P3)와 제2 편광 방향(FX2)을 갖는 제4 편광 요소(P4)를 또한 포함할 수 있고, 여기에서 제3 편광 요소(P3)는 기판(360)의 표면(B1) 외부에 배치되고 제2 조명 유닛(F2)과 기판(360) 사이에 배치되며, 제4 편광 요소(P4)는 기판(360)의 표면(B2) 외부에 배치되고 반사기(320)와 이미지형성 유닛(330) 사이에 배치되며, 반사기(320)에 입사한 광은 제2 조명 유닛(F2)에 의해 조사되어 제3 편광 요소(P3)와 기판(360)을 통해 투과된 광이거나 제2 조명 유닛(F2)에 의해 조사되어 제3 편광 요소(P3)를 통해 투과된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이고, 반사기(320)로부터 나와 이미지형성 유닛(330)에 의해 수광된 광은 반사기(320)에 의해 반사되어 제4 편광 요소(P4)를 통해 투과된 광이며, 기판(360)으로부터 나와 이미지형성 유닛(330)에 의해 수광된 광은 제1 조명 유닛(F2)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이거나 제1 조명 유닛(F1)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광일 수 있음을 이해할 것이다.
통상의 기술자는 제1 조명 유닛(F1)과 제2 조명 유닛(F2)이 기판(360)의 표면(B1) 외부에 배치되면, 제1 조명 유닛(F1)과 이미지형성 유닛(330)에 더하여, 제3 채널은 제1 편광 방향(FX1)을 갖는 제1 편광 요소(P1)와 제2 편광 방향(FX2)을 갖는 제2 편광 요소(P2)를 또한 포함할 수 있고, 제2 조명 유닛(F2), 반사기(320) 및 이미지형성 유닛(330)에 더하여, 제4 채널은 제1 편광 방향(FX1)을 갖는 제3 편광 요소(P3)와 제2 편광 방향(FX2)을 갖는 제4 편광 요소(P4)를 또한 포함할 수 있음을 이해할 것이다. 여기에서, 제1 편광 요소(P1)는 기판(360)의 표면(B1) 외부에 배치되고 제1 조명 유닛(F1)과 기판(360) 사이에 배치되며, 제2 편광 요소(P2)는 기판(360)의 표면(B2) 외부에 배치되고 기판(360)과 이미지형성 유닛(330) 사이에 배치되며, 기판(360)으로부터 나와 이미지형성 유닛(330)에 의해 수광된 광은 제1 조명 유닛(F1)에 의해 기판(360)에 조사되어 제1 편광 요소(P1), 기판(360) 및 제2 편광 요소(P2)를 통해 투과된 광이거나 제1 조명 유닛(F1)에 의해 조사되어 제1 편광 요소(P1)를 통해 투과된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래되어서 제2 편광 요소(P2)를 통해 투과된 광이다. 제3 편광 요소(P3)는 기판(360)의 표면(B1) 외부에 배치되고 제2 조명 유닛(F2)과 기판(360) 사이에 배치되며, 제4 편광 요소(P4)는 기판(360)의 표면(B2) 외부에 배치되고 반사기(320)와 이미지형성 유닛(330) 사이에 배치되며, 반사기(320)에 입사한 광은 제2 조명 유닛(F2)에 의해 조사되어 제3 편광 요소(P3)와 기판(360)을 통해 투과된 광이거나 제2 조명 유닛(F2)에 의해 조사되어 제3 편광 요소(P3)를 통해 투과된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이고, 반사기(320)로부터 나와 이미지형성 유닛(330)에 의해 수광된 광은 반사기(320)에 의해 반사되어 제4 편광 요소(P4)를 통해 투과된 광이다.
통상의 기술자는 제1 조명 유닛(F1)과 제2 조명 유닛(F2)은 확산 광 또는 비-확산 광을 교번하여 또는 동시에 조사할 수 있음을 이해할 것이다.
통상의 기술자는 위의 제2 실시예에서, 단지 하나의 반사기, 즉 반사기(320)만이 시스템(300) 내에 설치되고, 이미지형성 유닛(330)은 조명 유닛(310)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광과 반사기(320)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이차원 이미지를 촬영하도록 구성되며, 이미지형성 유닛(330)에 의해 촬영된 이차원 이미지는 조명 유닛(310)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광을 감지함으로써 촬영된 제1 이미지와 반사기(320)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 촬영된 제2 이미지를 포함하고, 이때 제1 이미지와 제2 이미지는 공간에서 서로 분리되지만, 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다.
본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 2개의 반사기, 즉 반사기(320)와 제2 반사기(SE)가 시스템(300) 내에 설치된다. 반사기(320)와 동일하게, 제2 반사기(SE)는 기판(360)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고, 조명 유닛(310)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 제2 반사기(SE)로 투과된 광을 반사하도록 구성된다. 이미지형성 유닛(330)은 제2 반사기(SE)에 의해 반사된 광과 반사기(320)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이차원 이미지를 촬영하도록 구성되고, 이미지형성 유닛(330)에 의해 촬영된 이차원 이미지는 제2 반사기(SE)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 촬영된 제1 이미지와 반사기(320)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 촬영된 제2 이미지를 포함하며, 이때 제1 이미지와 제2 이미지는 공간에서 서로 분리된다. 제2 반사기(SE), 이미지형성 유닛(330) 및 조명 유닛(310)은 제3 채널을 형성할 수 있고, 반사기(320), 이미지형성 유닛(330) 및 조명 유닛(310)은 제4 채널을 형성할 수 있다. 반사기(320)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 촬영된 제2 이미지와 동일하게, 제2 반사기(SE)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 촬영된 제1 이미지도 또한 압축 변형을 갖는다. 따라서, 제2 반사기(SE)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 촬영된 제1 이미지를 사용하여 기판(360)의 이미지가 구성되기 전에, 제2 반사기(SE)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 촬영된 제1 이미지는 제2 반사기(SE)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 촬영된 제1 이미지의 압축 변형을 제거하기 위해 신장될 필요가 있다.
통상의 기술자는 위의 제2 실시예의 변형예에서, 반사기(320)와 제2 반사기(SE)가 시스템(300) 내에 설치되고, 조명 유닛(310)이 기판(360)의 표면(B1) 외부에 배치되면, 반사기(320)에 입사한 광과 제2 반사기(SE)에 입사한 광은 조명 유닛(310)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광이지만(즉, 명시야 조명), 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 반사기(320)와 제2 반사기(SE)가 시스템(300) 내에 설치되고, 조명 유닛(310)이 기판(360)의 표면(B1) 외부에 배치되면, 반사기(320)에 입사한 광 및/또는 제2 반사기(SE)에 입사한 광은 또한 조명 유닛(310)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광일 수 있다(즉, 암시야 조명). 구체적으로, 조명 유닛(310)이 기판(360)에 광을 조사하는 각도는 반사기(320)에 입사한 광이 조명 유닛(310)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이고, 제2 반사기(SE)에 입사한 광이 조명 유닛(310)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광이도록 설정되거나; 또는 조명 유닛(310)이 기판(360)에 광을 조사하는 각도는 반사기(320)에 입사한 광이 조명 유닛(310)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광이고, 제2 반사기(SE)에 입사한 광이 조명 유닛(310)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이도록 설정되거나; 또는 반사기(320)에 입사한 광과 제2 반사기(SE)에 입사한 광이 조명 유닛(310)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이도록 설정된다.
통상의 기술자는 위의 제2 실시예의 변형예에서, 반사기(320)와 제2 반사기(SE)가 시스템(300) 내에 설치되면, 조명 유닛(310)이 기판(360)의 표면(B1) 외부에 배치되지만, 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 조명 유닛(310)은 또한 기판(360)에 확산 광 또는 비-확산 광을 조사하기 위해 기판(360)의 표면(B2) 외부에 배치될 수 있다(도 8a에 도시된 바와 같이). 조명 유닛(310)이 기판(360)의 표면(B2) 외부에 배치되면, 기판(360)으로부터 나와 반사기(320)에 입사한 광과 기판(360)으로부터 나와 제2 반사기(SE)에 입사한 광은 조명 유닛(310)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이다.
통상의 기술자는 위의 제2 실시예의 변형예에서, 반사기(320)와 제2 반사기(SE)가 시스템(300) 내에 설치되면, 시스템(300)은 단지 하나의 조명 유닛, 즉 조명 유닛(310)만을 포함하지만, 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다.
본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 반사기(320)와 제2 반사기(SE)가 시스템(300) 내에 설치되면, 시스템(300)은 제1 조명 유닛(ZM1)과 제2 조명 유닛(ZM2)을 포함할 수 있다. 여기에서, 제1 조명 유닛(ZM1)과 제2 조명 유닛(ZM2)은 기판(360)에 확산 광 또는 비-확산 광을 조사하기 위해 기판(360)의 표면(B1) 외부에 배치되고, 제2 반사기(SE), 이미지형성 유닛(330) 및 제1 조명 유닛(ZM1)은 제3 채널을 형성하며, 반사기(320), 이미지형성 유닛(330) 및 제2 조명 유닛(ZM2)은 제4 채널을 형성하고, 기판(360)으로부터 나와 반사기(320)에 입사한 광은 제2 조명 유닛(ZM2)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광이거나 제2 조명 유닛(ZM2)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광일 수 있으며, 기판(360)으로부터 나와 제2 반사기(SE)에 입사한 광은 제1 조명 유닛(ZM1)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광이거나 제1 조명 유닛(ZM1)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광일 수 있다. 구체적으로, 제1 조명 유닛(ZM1)과 제2 조명 유닛(ZM2)이 기판(360)에 광을 조사하는 각도는 기판(360)으로부터 나와 반사기(320)에 입사한 광이 제2 조명 유닛(ZM2)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광이고, 기판(360)으로부터 나와 제2 반사기(SE)에 입사한 광이 제1 조명 유닛(ZM1)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광이도록 설정될 수 있거나; 또는 제1 조명 유닛(ZM1)과 제2 조명 유닛(ZM2)이 기판(360)에 광을 조사하는 각도는 기판(360)으로부터 나와 반사기(320)에 입사한 광이 제2 조명 유닛(ZM2)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광이고, 기판(360)으로부터 나와 제2 반사기(SE)에 입사한 광이 제1 조명 유닛(ZM1)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이도록 설정될 수 있거나; 또는 제1 조명 유닛(ZM1)과 제2 조명 유닛(ZM2)이 기판(360)에 광을 조사하는 각도는 기판(360)으로부터 나와 반사기(320)에 입사한 광이 제2 조명 유닛(ZM2)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이고, 기판(360)으로부터 나와 제2 반사기(SE)에 입사한 광이 제1 조명 유닛(ZM1)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광이도록 설정될 수 있거나; 또는 제1 조명 유닛(ZM1)과 제2 조명 유닛(ZM2)이 기판(360)에 광을 조사하는 각도는 기판(360)으로부터 나와 반사기(320)에 입사한 광이 제2 조명 유닛(ZM2)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이고, 기판(360)으로부터 나와 제2 반사기(SE)에 입사한 광이 제1 조명 유닛(ZM1)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이도록 설정될 수 있다.
통상의 기술자는 반사기(320)와 제2 반사기(SE)가 시스템(300) 내에 설치되면, 제2 반사기(SE), 이미지형성 유닛(330) 및 제1 조명 유닛(ZM1)에 더하여, 제3 채널은 제1 편광 방향(FX1)을 갖는 제1 편광 요소(P1)와 제1 편광 방향(FX1)에 직교하는 제2 편광 방향(FX2)을 갖는 제2 편광 요소(P2)를 또한 포함할 수 있고, 여기에서 제1 편광 요소(P1)는 기판(360)의 표면(B1) 외부에 배치되고 제1 조명 유닛(ZM1)과 기판(360) 사이에 배치되며, 제2 편광 요소(P2)는 기판(360)의 표면(B2) 외부에 배치되고 기판(360)과 이미지형성 유닛(330) 사이에 배치되며, 제2 반사기(SE)에 입사한 광은 제1 조명 유닛(ZM1)에 의해 기판(360)에 조사되어 제1 편광 요소(P1) 및 기판(360)을 통해 투과된 광이거나 제1 조명 유닛(ZM1)에 의해 조사되어 제1 편광 요소(P1)를 통해 투과된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이고, 이미지형성 유닛(330)은 제2 반사기(SE)에 의해 반사되어 제2 편광 요소(P2)를 통해 투과된 광을 감지함으로써 제1 이미지를 촬영할 수 있으며, 반사기(320)에 입사한 광은 제2 조명 유닛(ZM2)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이거나 제2 조명 유닛(ZM2)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광일 수 있음을 이해할 것이다.
통상의 기술자는 반사기(320)와 제2 반사기(SE)가 시스템(300) 내에 설치되면, 제2 조명 유닛(ZM2), 반사기(320) 및 이미지형성 유닛(330)에 더하여, 제4 채널은 제1 편광 방향(FX1)을 갖는 제3 편광 요소(P3)와 제2 편광 방향(FX2)을 갖는 제4 편광 요소(P4)를 또한 포함할 수 있음을 이해할 것이다. 여기에서, 제3 편광 요소(P3)는 기판(360)의 표면(B1) 외부에 배치되고 제2 조명 유닛(ZM2)과 기판(360) 사이에 배치되며, 제4 편광 요소(P4)는 기판(360)의 표면(B2) 외부에 배치되고 반사기(320)와 이미지형성 유닛(330) 사이에 배치되며, 반사기(320)에 입사한 광은 제2 조명 유닛(ZM2)에 의해 조사되어 제3 편광 요소(P3)와 기판(360)을 통해 투과된 광이거나 제2 조명 유닛(ZM2)에 의해 조사되어 제3 편광 요소(P3)를 통해 투과된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이고, 이미지형성 유닛(330)은 반사기(320)에 의해 반사되어 제4 편광 요소(P4)를 통해 투과된 광을 감지함으로써 제2 이미지를 촬영할 수 있으며, 제2 반사기(SE)에 입사한 광은 제1 조명 유닛(ZM1)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이거나 제1 조명 유닛(ZM1)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광일 수 있다.
통상의 기술자는 반사기(320)와 제2 반사기(SE)가 시스템(300) 내에 설치되면, 제2 반사기(SE), 이미지형성 유닛(330) 및 제1 조명 유닛(ZM1)에 더하여, 제3 채널은 제1 편광 방향(FX1)을 갖는 제1 편광 요소(P1)와 제2 편광 방향(FX2)을 갖는 제2 편광 요소(P2)를 또한 포함할 수 있고, 제2 조명 유닛(ZM2), 반사기(320) 및 이미지형성 유닛(330)에 더하여, 제4 채널은 제1 편광 방향(FX1)을 갖는 제3 편광 요소(P3)와 제2 편광 방향(FX2)을 갖는 제4 편광 요소(P4)를 또한 포함할 수 있음을 이해할 것이다. 여기에서, 제1 편광 요소(P1)는 기판(360)의 표면(B1) 외부에 배치되고 제1 조명 유닛(ZM1)과 기판(360) 사이에 배치되며, 제2 편광 요소(P2)는 기판(360)의 표면(B2) 외부에 배치되고 기판(360)과 이미지형성 유닛(330) 사이에 배치되며, 제2 반사기(SE)에 입사한 광은 제1 조명 유닛(ZM1)에 의해 기판(360)에 조사되어 제1 편광 요소(P1)와 기판(360)을 통해 투과된 광이거나 제1 조명 유닛(ZM1)에 의해 조사되어 제1 편광 요소(P1)를 통해 투과된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이고, 이미지형성 유닛(330)은 제2 반사기(SE)에 의해 반사되어 제2 편광 요소(P2)를 통해 투과된 광을 감지함으로써 제1 이미지를 촬영할 수 있다. 제3 편광 요소(P3)는 기판(360)의 표면(B1) 외부에 배치되고 제2 조명 유닛(ZM2)과 기판(360) 사이에 배치되며, 제4 편광 요소(P4)는 기판(360)의 표면(B2) 외부에 배치되고 반사기(320)와 이미지형성 유닛(330) 사이에 배치되며, 반사기(320)에 입사한 광은 제2 조명 유닛(ZM2)에 의해 조사되어 제3 편광 요소(P3)와 기판(360)을 통해 투과된 광이거나 제2 조명 유닛(ZM2)에 의해 조사되어 제3 편광 요소(P3)를 통해 투과된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이고, 이미지형성 유닛(330)은 반사기(320)에 의해 반사되어 제4 편광 요소(P4)를 통해 투과된 광을 감지함으로써 제2 이미지를 촬영할 수 있다.
통상의 기술자는 위의 제2 실시예의 변형예에서, 반사기(320)와 제2 반사기(SE)가 시스템(300) 내에 설치되면, 제1 조명 유닛(ZM1)과 제2 조명 유닛(ZM2)은 기판(360)의 표면(B1) 외부에 배치되지만, 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 제1 조명 유닛(ZM1)과 제2 조명 유닛(ZM2)은 또한 기판(360)의 표면(B2) 외부에 배치될 수 있다(도 8b에 도시된 바와 같이). 제1 조명 유닛(ZM1)과 제2 조명 유닛(ZM2)이 또한 기판(360)의 표면(B2) 외부에 배치될 수 있으면, 제2 반사기(SE)에 입사한 광은 제1 조명 유닛(ZM1)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이고, 반사기(320)에 입사한 광은 제2 조명 유닛(ZM2)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이다.
통상의 기술자는 제1 조명 유닛(ZM1)과 제2 조명 유닛(ZM2)은 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(360)에 교번하여 또는 동시에 조사할 수 있음을 이해할 것이다.
통상의 기술자는 위의 실시예에 인용된 기판은 태양광 모듈 산업에서 광전지 또는 광발전 모듈에 사용되는 패턴 또는 구조를 갖는 기판을 포함할 수 있음을 이해할 것이다.
통상의 기술자는 이미지 구성 모듈(340)과 이미지 처리 모듈(350)은 소프트웨어, 하드웨어 및 소프트웨어와 하드웨어의 조합에 의해 구현될 수 있음을 이해할 것이다.
통상의 기술자는 기판(360)의 결함이 기판(360) 내의 결함인지 또는 기판(360) 상의 결함인지가 검출된 후에, 기판(360)의 결함은 기판(360)의 결함이 기판(360)의 이미지(TT1, TT2)에 나타나는 상이한 특징과 기판(360)의 결함이 기판(360) 내의 결함인지 또는 기판(360) 상의 결함인지에 기초하여 분류될 수 있음을 이해할 것이다.
예를 들어, 기판(360)으로부터 나와 제2 반사기(SE)에 입사한 광이 조명 유닛(310) 또는 제1 조명 유닛(ZM1)에 의해 기판(360)에 조사되어 기판(360)을 통해 투과된 광이고, 기판(360)으로부터 나와 반사기(320)에 입사한 광이 조명 유닛(310) 또는 제2 조명 유닛(ZM2)에 의해 조사된 광의 기판(360)을 통한 산란으로부터 유래된 광이며, 조명 유닛(310) 또는 제2 조명 유닛(ZM2)이 기판(360)에 조사하는 각도가 이미지형성 유닛(330)에 의해 촬영된 제2 이미지에서 기판(360)의 개방 기포가 보이지 않도록 설정되는 것으로 가정할 때; 기판(360)의 결함이 기판(360)의 이미지(TT1)에 나타나는 것이 타원체이고, 이미지(TT1, TT2)의 비교에 의해 기판(360)의 결함이 기판(360) 상에 있는 것으로 알려지면, 기판(360)의 결함은 개방 기포로서 분류된다.
또한 예를 들어, 기판(360)으로부터 나와 제2 반사기(SE)에 입사한 광은 제1 조명 유닛(ZM1)에 의해 조사되어 제1 편광 요소(P1)와 기판(360)을 통해 투과된 광이고, 이미지형성 유닛(330)은 제2 반사기(SE)에 의해 반사되어 제2 편광 요소(P2)를 통해 투과된 광을 감지함으로써 제1 이미지를 촬영하며, 기판(360)으로부터 나와 반사기(320)에 입사한 광은 제2 조명 유닛(ZM2)에 의해 조사되어 제3 편광 요소(P3)와 기판(360)을 통해 투과된 광이고, 이미지형성 유닛(330)은 반사기(320)에 의해 반사되어 제4 편광 요소(P4)를 통해 투과된 광을 감지함으로써 제2 이미지를 촬영하는 것으로 가정할 때, 기판(360)의 결함이 이미지(TT1, TT2)에 나타나고, 기판(360)의 결함이 기판(360) 내의 결함인 것으로 검출되면, 기판(360)의 결함은 내포물 또는 재결정과 같은 기판(360) 내의 응력 또는 광-왜곡 유형 결함으로서 분류된다.
(제3 실시예)
통상의 기술자는 위의 제1 및 제2 실시예와 그 변형예에서, 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 시스템은 단지 2개의 채널만을 포함하지만, 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다.
본 발명의 제3 실시예에서, 시스템은 이미지 구성 모듈(GJ)과 이미지 처리 모듈(CL)에 더하여, 3개의 채널, 즉 제5 채널(TD1), 제6 채널(TD2) 및 제7 채널(TD3)을 또한 포함할 수 있다.
제5 채널(TD1)은 명시야 조명에 속한다. 제5 채널(TD1)은 제1 조명 유닛(ZD1)과 제1 이미지형성 유닛(CD1)을 포함할 수 있거나, 제1 조명 유닛(ZD1), 제1 반사기(FJ1) 및 제1 이미지형성 유닛(CD1)을 포함할 수 있다.
제5 채널(TD1)이 제1 조명 유닛(ZD1)과 제1 이미지형성 유닛(CD1)을 포함하면, 제1 조명 유닛(ZD1)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제1 이미지형성 유닛(CD1)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제1 조명 유닛(ZD1)에 의해 기판(JB)에 조사되어 기판(JB)을 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다.
제5 채널(TD1)이 제1 조명 유닛(ZD1), 제1 반사기(FJ1) 및 제1 이미지형성 유닛(CD1)을 포함하면, 제1 조명 유닛(ZD1)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제1 반사기(FJ1)는 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제1 조명 유닛(ZD1)에 의해 기판(JB)에 조사되어 기판(JB)을 통해 투과되어서 제1 반사기(FJ1)에 입사한 광을 반사하도록 구성되며, 제1 이미지형성 유닛(CD1)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제1 반사기(FJ1)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다.
제6 채널(TD2)은 암시야 조명에 속한다. 제6 채널(TD2)은 제2 조명 유닛(ZD2)과 제2 이미지형성 유닛(CD2)을 포함할 수 있거나, 제2 조명 유닛(ZD2), 제2 반사기(FJ2) 및 제2 이미지형성 유닛(CD2)을 포함할 수 있다.
제6 채널(TD2)이 제2 조명 유닛(ZD2)과 제2 이미지형성 유닛(CD2)을 포함하면, 제2 조명 유닛(ZD2)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제2 이미지형성 유닛(CD2)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제2 조명 유닛(ZD2)에 의해 조사된 광의 기판(JB)을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다.
제6 채널(TD2)이 제2 조명 유닛(ZD2), 제2 반사기(FJ2) 및 제2 이미지형성 유닛(CD2)을 포함하면, 제2 조명 유닛(ZD2)은 기판(JB)의 표면(B1 또는 B2) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제2 반사기(FJ2)는 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제2 조명 유닛(ZD2)에 의해 조사된 광의 기판(JB)을 통한 산란으로부터 유래되어 제2 반사기(FJ2)에 입사한 광을 반사하도록 구성되며, 제2 이미지형성 유닛(CD2)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제2 반사기(FJ2)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다.
제7 채널(TD3)은 제3 조명 유닛(ZD3), 제1 편광 방향을 갖는 제5 편광 요소(PZ5), 제1 편광 방향에 직교하는 제2 편광 방향을 갖는 제6 편광 요소(PZ6) 및 제3 이미지형성 유닛(CD3)을 포함할 수 있다.
제3 조명 유닛(ZD3)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제5 편광 요소(PZ5)는 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 그리고 제3 조명 유닛(ZD3)과 기판(JB) 사이에 배치되고, 제3 이미지형성 유닛(CD3)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되며, 제6 편광 요소(PZ6)는 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 그리고 제3 이미지형성 유닛(CD3)과 기판(JB) 사이에 배치되고, 제3 이미지형성 유닛(CD3)은 제3 조명 유닛(ZD3)에 의해 조사되어 제5 편광 요소(PZ5), 기판(JB) 및 제6 편광 요소(PZ6)를 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제3 조명 유닛(ZD3)에 의해 조사되어 제5 편광 요소(PZ5)를 통해 투과된 광의 기판(JB)을 통한 산란으로부터 유래되어서 제6 편광 요소(PZ6)를 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다.
여기에서, 제1 조명 유닛(ZD1), 제2 조명 유닛(ZD2) 및 제3 조명 유닛(ZD3)은 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 교번하여 또는 동시에 조사한다.
이미지 구성 모듈(GJ)은 위의 제1 실시예에 개시된 이미지 구성 모듈(240)과 동일한 작동 원리이다. 구체적으로, 이미지 구성 모듈(GJ)은 제1 이미지형성 유닛(CD1), 제2 이미지형성 유닛(CD2) 및 제3 이미지형성 유닛(CD3)에 연결되고, 각각 제1 이미지형성 유닛(CD1)에 의해 촬영된 이미지, 제2 이미지형성 유닛(CD2)에 의해 촬영된 이미지 및 제3 이미지형성 유닛(CD3)에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 기판(JB)의 세 이미지를 구성하도록 구성된다. 설명의 편의를 위해, 제1 이미지형성 유닛(CD1)에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 구성된 기판(JB)의 이미지는 이미지(TTT1)로 지칭되고, 제2 이미지형성 유닛(CD2)에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 구성된 기판(JB)의 이미지는 이미지(TTT2)로 지칭되며, 제3 이미지형성 유닛(CD3)에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 구성된 기판(JB)의 이미지는 이미지(TTT3)로 지칭된다.
여기에서, 제1 이미지형성 유닛(CD1), 제2 이미지형성 유닛(CD2) 및 제3 이미지형성 유닛(CD3)이 이차원 이미지형성 유닛일 때, 제1 이미지형성 유닛(CD1) 및/또는 제2 이미지형성 유닛(CD2) 및/또는 제3 이미지형성 유닛(CD3)에 의해 촬영된 이미지가 압축 변형을 가지면, 제1 이미지형성 유닛(CD1), 제2 이미지형성 유닛(CD2) 및 제3 이미지형성 유닛(CD3)에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 기판(JB)의 세 이미지가 구성되기 전에, 이미지 구성 모듈(GJ)은 제1 이미지형성 유닛(CD1) 및/또는 제2 이미지형성 유닛(CD2) 및/또는 제3 이미지형성 유닛(CD3)에 의해 촬영된 이미지의 압축 변형을 제거하기 위해, 제1 이미지형성 유닛(CD1) 및/또는 제2 이미지형성 유닛(CD2) 및/또는 제3 이미지형성 유닛(CD3)에 의해 촬영된 이미지 각각의 밑변의 길이에 따라 제1 이미지형성 유닛(CD1) 및/또는 제2 이미지형성 유닛(CD2) 및/또는 제3 이미지형성 유닛(CD3)에 의해 촬영된 이미지 각각의 윗변 및 높이를 신장시킨다.
이미지 처리 모듈(CJ)은 위의 제1 실시예에 개시된 이미지 처리 모듈(250)과 동일한 작동 원리이다. 구체적으로, 이미지 처리 모듈(CJ)은 이미지 구성 모듈(GJ)에 연결되고, 기판(JB)의 결함(Q)을 검출하기 위해, 그리고 결함(Q)이 이미지(TTT1-TTT3)의 두 이미지에서 나타나는 위치의 관계에 기초하여 결함(Q)이 기판(JB) 상에 위치되는지 또는 기판(JB) 내에 위치되는지를 검출하기 위해 이미지 구성 모듈(GJ)에 의해 구성된 이미지(TTT1-TTT3)를 처리하도록 구성된다. 여기에서, 결함(Q)이 두 이미지에서 나타나는 위치가 동일하거나, 결함(Q)이 두 이미지에서 나타나는 위치 사이의 편차가 최대 편차 ZL과 동일할 때, 이미지 처리 모듈(CL)은 결함(Q)이 기판(JB) 상에 위치됨을 검출하고; 결함(Q)이 두 이미지에서 나타나는 위치가 동일하지 않고, 결함(Q)이 두 이미지에서 나타나는 위치 사이의 편차가 최대 편차 ZL보다 작을 때, 이미지 처리 모듈(CL)은 결함(Q)이 기판(JB) 내에 위치됨을 검출한다.
결함(Q)이 기판(JB) 내의 결함인지 또는 기판(JB) 상의 결함인지가 검출된 후에, 이미지 처리 모듈은 결함(Q)이 기판(JB)의 이미지(TTT1-TTT3)에 나타나는 상이한 특징과 결함(Q)이 기판(JB) 내의 결함인지 또는 기판(JB) 상의 결함인지에 기초하여 결함(Q)을 분류할 수 있다.
예를 들어, 제2 조명 유닛(ZD2)이 광을 조사하는 각도가 제2 조명 유닛(CD1)에 의해 촬영된 이미지에서 기판(JB)의 개방 기포가 보이지 않도록 설정되는 것으로 가정할 때; 결함(Q)이 기판(JB)의 이미지(TTT1)에 나타나는 것이 타원체이고, 결함(Q)이 기판(JB)의 이미지(TTT2)에 나타나지 않으면, 결함(Q)은 개방 기포로서 분류될 수 있다.
또한 예를 들어, 결함(Q)이 기판(JB)의 이미지(TTT1, TTT2)에 나타나는 것이 타원체이고, 결함(Q)이 기판(JB)의 이미지(TTT3)에 나타나지 않으며, 결함(Q)이 기판(JB) 내의 결함인 것이 검출되면, 결함(Q)은 기판(JB) 내의 비 응력 또는 광-왜곡 유형 결함으로서 분류될 수 있다.
제3 실시예의 변형예
통상의 기술자는 위의 제3 실시예에서, 제6 채널(TD2)이 제2 조명 유닛(ZD2), 제2 반사기(FJ2) 및 제2 이미지형성 유닛(CD2)을 포함하면, 제2 조명 유닛(ZD2)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되지만, 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 제6 채널(TD2)이 제2 조명 유닛(ZD2), 제2 반사기(FJ2) 및 제2 이미지형성 유닛(CD2)을 포함하면, 제2 조명 유닛(ZD2)은 또한 기판(JB)의 표면(B2) 외부에 배치될 수 있다.
통상의 기술자는 위의 제3 실시예 및 그 변형예에서, 제5 채널(TD1), 제6 채널(TD2) 및 제7 채널(TD3)은 상이한 조명 모드를 사용하지만, 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 제5 채널(TD1)과 제6 채널(TD2)은 동일한 조명 모드를 사용할 수 있고, 제7 채널(TD3)은 제5 채널(TD1)과 제6 채널(TD2)에 의해 사용된 것과는 상이한 조명 모드를 사용할 수 있다. 세부 사항이 후술된다.
첫째로, 제5 채널(TD1)과 제6 채널(TD2)은 명시야 조명을 사용하고, 제7 채널(TD3)은 암시야 조명을 사용한다.
구체적으로, 제5 채널(TD1)은 제1 조명 유닛(ZD1)과 제1 이미지형성 유닛(CD1)을 포함할 수 있거나, 제1 조명 유닛(ZD1), 제1 반사기(FJ1) 및 제1 이미지형성 유닛(CD1)을 포함할 수 있다. 제5 채널(TD1)이 제1 조명 유닛(ZD1)과 제1 이미지형성 유닛(CD1)을 포함하면, 제1 조명 유닛(ZD1)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제1 이미지형성 유닛(CD1)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제1 조명 유닛(ZD1)에 의해 기판(JB)에 조사되어 기판(JB)을 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다. 제5 채널(TD1)이 제1 조명 유닛(ZD1), 제1 반사기(FJ1) 및 제1 이미지형성 유닛(CD1)을 포함하면, 제1 조명 유닛(ZD1)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제1 반사기(FJ1)는 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제1 조명 유닛(ZD1)에 의해 기판(JB)에 조사되어 기판(JB)을 통해 투과되어서 제1 반사기(FJ1)에 입사한 광을 반사하도록 구성되며, 제1 이미지형성 유닛(CD1)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제1 반사기(FJ1)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다.
제6 채널(TD2)은 제2 조명 유닛(ZD2)과 제2 이미지형성 유닛(CD2)을 포함할 수 있거나, 제2 조명 유닛(ZD2), 제2 반사기(FJ2) 및 제2 이미지형성 유닛(CD2)을 포함할 수 있다. 제6 채널(TD2)이 제2 조명 유닛(ZD2)과 제2 이미지형성 유닛(CD2)을 포함하면, 제2 조명 유닛(ZD2)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제2 이미지형성 유닛(CD2)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제2 조명 유닛(ZD2)에 의해 조사되어 기판(JB)을 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다. 제6 채널(TD2)이 제2 조명 유닛(ZD2), 제2 반사기(FJ2) 및 제2 이미지형성 유닛(CD2)을 포함하면, 제2 조명 유닛(ZD2)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제2 반사기(FJ2)는 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제2 조명 유닛(ZD2)에 의해 조사되어 기판(JB)을 통해 투과되어서 제2 반사기(FJ2)에 입사한 광을 반사하도록 구성되며, 제2 이미지형성 유닛(CD2)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제2 반사기(FJ2)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다.
제7 채널(TD3)은 제3 조명 유닛(ZD3)과 제3 이미지형성 유닛(CD3)을 포함할 수 있거나, 제3 조명 유닛(ZD3), 제3 반사기(FJ3) 및 제3 이미지형성 유닛(CD3)을 포함할 수 있다. 제7 채널(TD3)이 제3 조명 유닛(ZD3)과 제3 이미지형성 유닛(CD3)을 포함하면, 제3 조명 유닛(ZD3)은 기판(JB)의 표면(B1 또는 B2) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제3 이미지형성 유닛(CD3)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제3 조명 유닛(ZD3)에 의해 조사된 광의 기판(JB)을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다. 제7 채널(TD3)이 제3 조명 유닛(ZD3), 제3 반사기(FJ3) 및 제3 이미지형성 유닛(CD3)을 포함하면, 제3 조명 유닛(ZD3)은 기판(JB)의 표면(B1 또는 B2) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제3 반사기(FJ3)는 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제3 조명 유닛(ZD3)에 의해 조사된 광의 기판(JB)을 통한 산란으로부터 유래되어 제3 반사기(FJ3)에 입사한 광을 반사하도록 구성되며, 제3 이미지형성 유닛(CD3)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제3 반사기(FJ3)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다.
둘째로, 제5 채널(TD1)과 제6 채널(TD2)은 암시야 조명을 사용하고, 제7 채널(TD3)은 명시야 조명을 사용한다.
구체적으로, 제5 채널(TD1)은 제1 조명 유닛(ZD1)과 제1 이미지형성 유닛(CD1)을 포함할 수 있거나, 제1 조명 유닛(ZD1), 제1 반사기(FJ1) 및 제1 이미지형성 유닛(CD1)을 포함할 수 있다. 제5 채널(TD1)이 제1 조명 유닛(ZD1)과 제1 이미지형성 유닛(CD1)을 포함하면, 제1 조명 유닛(ZD1)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제1 이미지형성 유닛(CD1)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제1 조명 유닛(ZD1)에 의해 조사된 광의 기판(JB)을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다. 제5 채널(TD1)이 제1 조명 유닛(ZD1), 제1 반사기(FJ1) 및 제1 이미지형성 유닛(CD1)을 포함하면, 제1 조명 유닛(ZD1)은 기판(JB)의 표면(B1 또는 B2) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제1 반사기(FJ1)는 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제1 조명 유닛(ZD1)에 의해 조사된 광의 기판(JB)을 통한 산란으로부터 유래되어 제1 반사기(FJ1)에 입사한 광을 반사하도록 구성되며, 제1 이미지형성 유닛(CD1)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제1 반사기(FJ1)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다.
제6 채널(TD2)은 제2 조명 유닛(ZD2)과 제2 이미지형성 유닛(CD2)을 포함할 수 있거나, 제2 조명 유닛(ZD2), 제2 반사기(FJ2) 및 제2 이미지형성 유닛(CD2)을 포함할 수 있다. 제6 채널(TD2)이 제2 조명 유닛(ZD2)과 제2 이미지형성 유닛(CD2)을 포함하면, 제2 조명 유닛(ZD2)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제2 이미지형성 유닛(CD2)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제2 조명 유닛(ZD2)에 의해 조사된 광의 기판(JB)을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다. 제6 채널(TD2)이 제2 조명 유닛(ZD2), 제2 반사기(FJ2) 및 제2 이미지형성 유닛(CD2)을 포함하면, 제2 조명 유닛(ZD2)은 기판(JB)의 표면(B1 또는 B2) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제2 반사기(FJ2)는 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제2 조명 유닛(ZD2)에 의해 조사된 광의 기판(JB)을 통한 산란으로부터 유래되어 제2 반사기(FJ2)에 입사한 광을 반사하도록 구성되며, 제2 이미지형성 유닛(CD2)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제2 반사기(FJ2)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다.
제7 채널(TD3)은 제3 조명 유닛(ZD3)과 제3 이미지형성 유닛(CD3)을 포함할 수 있거나, 제3 조명 유닛(ZD3), 제3 반사기(FJ3) 및 제3 이미지형성 유닛(CD3)을 포함할 수 있다. 제7 채널(TD3)이 제3 조명 유닛(ZD3)과 제3 이미지형성 유닛(CD3)을 포함하면, 제3 조명 유닛(ZD3)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제3 이미지형성 유닛(CD3)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제3 조명 유닛(ZD3)에 의해 조사되어 기판(JB)을 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다. 제7 채널(TD3)이 제3 조명 유닛(ZD3), 제3 반사기(FJ3) 및 제3 이미지형성 유닛(CD3)을 포함하면, 제3 조명 유닛(ZD3)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제3 반사기(FJ3)는 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제3 조명 유닛(ZD3)에 의해 조사되어 기판(JB)을 통해 투과되어서 제3 반사기(FJ3)에 입사한 광을 반사하도록 구성되며, 제3 이미지형성 유닛(CD3)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제3 반사기(FJ3)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다.
셋째로, 제5 채널(TD1)과 제6 채널(TD2)은 명시야 조명을 사용하고, 제7 채널(TD3)은 편광 시야 조명(polarization field illumination)을 사용한다.
구체적으로, 제5 채널(TD1)은 제1 조명 유닛(ZD1)과 제1 이미지형성 유닛(CD1)을 포함할 수 있거나, 제1 조명 유닛(ZD1), 제1 반사기(FJ1) 및 제1 이미지형성 유닛(CD1)을 포함할 수 있다. 제5 채널(TD1)이 제1 조명 유닛(ZD1)과 제1 이미지형성 유닛(CD1)을 포함하면, 제1 조명 유닛(ZD1)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제1 이미지형성 유닛(CD1)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제1 조명 유닛(ZD1)에 의해 기판(JB)에 조사되어 기판(JB)을 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다. 제5 채널(TD1)이 제1 조명 유닛(ZD1), 제1 반사기(FJ1) 및 제1 이미지형성 유닛(CD1)을 포함하면, 제1 조명 유닛(ZD1)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제1 반사기(FJ1)는 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제1 조명 유닛(ZD1)에 의해 기판(JB)에 조사되어 기판(JB)을 통해 투과되어서 제1 반사기(FJ1)에 입사한 광을 반사하도록 구성되며, 제1 이미지형성 유닛(CD1)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제1 반사기(FJ1)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다.
제6 채널(TD2)은 제2 조명 유닛(ZD2)과 제2 이미지형성 유닛(CD2)을 포함할 수 있거나, 제2 조명 유닛(ZD2), 제2 반사기(FJ2) 및 제2 이미지형성 유닛(CD2)을 포함할 수 있다. 제6 채널(TD2)이 제2 조명 유닛(ZD2)과 제2 이미지형성 유닛(CD2)을 포함하면, 제2 조명 유닛(ZD2)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제2 이미지형성 유닛(CD2)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제2 조명 유닛(ZD2)에 의해 조사된 광의 기판(JB)을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다. 제6 채널(TD2)이 제2 조명 유닛(ZD2), 제2 반사기(FJ2) 및 제2 이미지형성 유닛(CD2)을 포함하면, 제2 조명 유닛(ZD2)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제2 반사기(FJ2)는 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제2 조명 유닛(ZD2)에 의해 조사된 광의 기판(JB)을 통한 산란으로부터 유래되어 제2 반사기(FJ2)에 입사한 광을 반사하도록 구성되며, 제2 이미지형성 유닛(CD2)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제2 반사기(FJ2)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다.
제7 채널(TD3)은 제3 조명 유닛(ZD3), 제1 편광 방향을 갖는 제5 편광 요소(PZ5), 제1 편광 방향에 직교하는 제2 편광 방향을 갖는 제6 편광 요소(PZ6) 및 제3 이미지형성 유닛(CD3)을 포함할 수 있다. 제3 조명 유닛(ZD3)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제5 편광 요소(PZ5)는 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 그리고 제3 조명 유닛(ZD3)과 기판(JB) 사이에 배치되고, 제3 이미지형성 유닛(CD3)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되며, 제6 편광 요소(PZ6)는 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 그리고 제3 이미지형성 유닛(CD3)과 기판(JB) 사이에 배치되고, 제3 이미지형성 유닛(CD3)은 제3 조명 유닛(ZD3)에 의해 조사되어 제5 편광 요소(PZ5), 기판(JB) 및 제6 편광 요소(PZ6)를 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제3 조명 유닛(ZD3)에 의해 조사되어 제5 편광 요소(PZ5)를 통해 투과된 광의 기판(JB)을 통한 산란으로부터 유래되어서 제6 편광 요소(PZ6)를 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다.
넷째로, 제5 채널(TD1)과 제6 채널(TD2)은 암시야 조명을 사용하고, 제7 채널(TD3)은 편광 시야 조명을 사용한다.
구체적으로, 제5 채널(TD1)은 제1 조명 유닛(ZD1)과 제1 이미지형성 유닛(CD1)을 포함할 수 있거나, 제1 조명 유닛(ZD1), 제1 반사기(FJ1) 및 제1 이미지형성 유닛(CD1)을 포함할 수 있다. 제5 채널(TD1)이 제1 조명 유닛(ZD1)과 제1 이미지형성 유닛(CD1)을 포함하면, 제1 조명 유닛(ZD1)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제1 이미지형성 유닛(CD1)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제1 조명 유닛(ZD1)에 의해 조사된 광의 기판(JB)을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다. 제5 채널(TD1)이 제1 조명 유닛(ZD1), 제1 반사기(FJ1) 및 제1 이미지형성 유닛(CD1)을 포함하면, 제1 조명 유닛(ZD1)은 기판(JB)의 표면(B1 또는 B2) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제1 반사기(FJ1)는 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제1 조명 유닛(ZD1)에 의해 조사된 광의 기판(JB)을 통한 산란으로부터 유래되어 제1 반사기(FJ1)에 입사한 광을 반사하도록 구성되며, 제1 이미지형성 유닛(CD1)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제1 반사기(FJ1)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다.
제6 채널(TD2)은 제2 조명 유닛(ZD2)과 제2 이미지형성 유닛(CD2)을 포함할 수 있거나, 제2 조명 유닛(ZD2), 제2 반사기(FJ2) 및 제2 이미지형성 유닛(CD2)을 포함할 수 있다. 제6 채널(TD2)이 제2 조명 유닛(ZD2)과 제2 이미지형성 유닛(CD2)을 포함하면, 제2 조명 유닛(ZD2)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제2 이미지형성 유닛(CD2)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제2 조명 유닛(ZD2)에 의해 조사된 광의 기판(JB)을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다. 제6 채널(TD2)이 제2 조명 유닛(ZD2), 제2 반사기(FJ2) 및 제2 이미지형성 유닛(CD2)을 포함하면, 제2 조명 유닛(ZD2)은 기판(JB)의 표면(B1 또는 B2) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제2 반사기(FJ2)는 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제2 조명 유닛(ZD2)에 의해 조사된 광의 기판(JB)을 통한 산란으로부터 유래되어 제2 반사기(FJ2)에 입사한 광을 반사하도록 구성되며, 제2 이미지형성 유닛(CD2)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제2 반사기(FJ2)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다.
제7 채널(TD3)은 제3 조명 유닛(ZD3), 제1 편광 방향을 갖는 제5 편광 요소(PZ5), 제1 편광 방향에 직교하는 제2 편광 방향을 갖는 제6 편광 요소(PZ6) 및 제3 이미지형성 유닛(CD3)을 포함할 수 있다. 제3 조명 유닛(ZD3)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제5 편광 요소(PZ5)는 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 그리고 제3 조명 유닛(ZD3)과 기판(JB) 사이에 배치되고, 제3 이미지형성 유닛(CD3)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되며, 제6 편광 요소(PZ6)는 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 그리고 제3 이미지형성 유닛(CD3)과 기판(JB) 사이에 배치되고, 제3 이미지형성 유닛(CD3)은 제3 조명 유닛(ZD3)에 의해 조사되어 제5 편광 요소(PZ5), 기판(JB) 및 제6 편광 요소(PZ6)를 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제3 조명 유닛(ZD3)에 의해 조사되어 제5 편광 요소(PZ5)를 통해 투과된 광의 기판(JB)을 통한 산란으로부터 유래되어서 제6 편광 요소(PZ6)를 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다.
다섯째로, 제5 채널(TD1)과 제6 채널(TD2)은 편광 시야 조명을 사용하고, 제7 채널(TD3)은 명시야 조명을 사용한다.
구체적으로, 제5 채널(TD1)은 제1 조명 유닛(ZD1), 제1 편광 방향을 갖는 제1 편광 요소(PZ1), 제1 편광 방향에 직교하는 제2 편광 방향을 갖는 제2 편광 요소(PZ2) 및 제1 이미지형성 유닛(CD1)을 포함할 수 있다. 제1 조명 유닛(ZD1)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제1 편광 요소(PZ1)는 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 그리고 제1 조명 유닛(ZD1)과 기판(JB) 사이에 배치되고, 제1 이미지형성 유닛(CD1)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되며, 제2 편광 요소(PZ2)는 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 그리고 제1 이미지형성 유닛(CD1)과 기판(JB) 사이에 배치되고, 제1 이미지형성 유닛(CD1)은 제1 조명 유닛(ZD1)에 의해 조사되어 제1 편광 요소(PZ1), 기판(JB) 및 제2 편광 요소(PZ2)를 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제1 조명 유닛(ZD1)에 의해 조사되어 제1 편광 요소(PZ1)를 통해 투과된 광의 기판(JB)을 통한 산란으로부터 유래되어서 제2 편광 요소(PZ2)를 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다.
제6 채널(TD2)은 제2 조명 유닛(ZD2), 제1 편광 방향을 갖는 제3 편광 요소(PZ3), 제1 편광 방향에 직교하는 제2 편광 방향을 갖는 제4 편광 요소(PZ4) 및 제2 이미지형성 유닛(CD2)을 포함할 수 있다. 제2 조명 유닛(ZD2)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제3 편광 요소(PZ3)는 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 그리고 제2 조명 유닛(ZD2)과 기판(JB) 사이에 배치되고, 제2 이미지형성 유닛(CD2)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되며, 제4 편광 요소(PZ4)는 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 그리고 제2 이미지형성 유닛(CD2)과 기판(JB) 사이에 배치되고, 제2 이미지형성 유닛(CD2)은 제2 조명 유닛(ZD2)에 의해 조사되어 제3 편광 요소(PZ3), 기판(JB) 및 제4 편광 요소(PZ4)를 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제2 조명 유닛(ZD2)에 의해 조사되어 제3 편광 요소(PZ3)를 통해 투과된 광의 기판(JB)을 통한 산란으로부터 유래되어서 제4 편광 요소(PZ4)를 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다.
제7 채널(TD3)은 제3 조명 유닛(ZD3)과 제3 이미지형성 유닛(CD3)을 포함할 수 있거나, 제3 조명 유닛(ZD3), 제3 반사기(FJ3) 및 제3 이미지형성 유닛(CD3)을 포함할 수 있다. 제7 채널(TD3)이 제3 조명 유닛(ZD3)과 제3 이미지형성 유닛(CD3)을 포함하면, 제3 조명 유닛(ZD3)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제3 이미지형성 유닛(CD3)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제3 조명 유닛(ZD3)에 의해 조사되어 기판(JB)을 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다. 제7 채널(TD3)이 제3 조명 유닛(ZD3), 제3 반사기(FJ3) 및 제3 이미지형성 유닛(CD3)을 포함하면, 제3 조명 유닛(ZD3)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제3 반사기(FJ3)는 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제3 조명 유닛(ZD3)에 의해 조사되어 기판(JB)을 통해 투과되어서 제3 반사기(FJ3)에 입사한 광을 반사하도록 구성되며, 제3 이미지형성 유닛(CD3)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제3 반사기(FJ3)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다.
여섯째로, 제5 채널(TD1)과 제6 채널(TD2)은 편광 시야 조명을 사용하고, 제7 채널(TD3)은 암시야 조명을 사용한다.
구체적으로, 제5 채널(TD1)은 제1 조명 유닛(ZD1), 제1 편광 방향을 갖는 제1 편광 요소(PZ1), 제1 편광 방향에 직교하는 제2 편광 방향을 갖는 제2 편광 요소(PZ2) 및 제1 이미지형성 유닛(CD1)을 포함할 수 있다. 제1 조명 유닛(ZD1)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제1 편광 요소(PZ1)는 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 그리고 제1 조명 유닛(ZD1)과 기판(JB) 사이에 배치되고, 제1 이미지형성 유닛(CD1)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되며, 제2 편광 요소(PZ2)는 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 그리고 제1 이미지형성 유닛(CD1)과 기판(JB) 사이에 배치되고, 제1 이미지형성 유닛(CD1)은 제1 조명 유닛(ZD1)에 의해 조사되어 제1 편광 요소(PZ1), 기판(JB) 및 제2 편광 요소(PZ2)를 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제1 조명 유닛(ZD1)에 의해 조사되어 제1 편광 요소(PZ1)를 통해 투과된 광의 기판(JB)을 통한 산란으로부터 유래되어서 제2 편광 요소(PZ2)를 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다.
제6 채널(TD2)은 제2 조명 유닛(ZD2), 제1 편광 방향을 갖는 제3 편광 요소(PZ3), 제1 편광 방향에 직교하는 제2 편광 방향을 갖는 제4 편광 요소(PZ4) 및 제2 이미지형성 유닛(CD2)을 포함할 수 있다. 제2 조명 유닛(ZD2)은 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제3 편광 요소(PZ3)는 기판(JB)의 하나의 표면(B1) 외부에 그리고 제2 조명 유닛(ZD2)과 기판(JB) 사이에 배치되고, 제2 이미지형성 유닛(CD2)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되며, 제4 편광 요소(PZ4)는 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 그리고 제2 이미지형성 유닛(CD2)과 기판(JB) 사이에 배치되고, 제2 이미지형성 유닛(CD2)은 제2 조명 유닛(ZD2)에 의해 조사되어 제3 편광 요소(PZ3), 기판(JB) 및 제4 편광 요소(PZ4)를 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제2 조명 유닛(ZD2)에 의해 조사되어 제3 편광 요소(PZ3)를 통해 투과된 광의 기판(JB)을 통한 산란으로부터 유래되어서 제4 편광 요소(PZ4)를 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다.
제7 채널(TD3)은 제3 조명 유닛(ZD3)과 제3 이미지형성 유닛(CD3)을 포함할 수 있거나, 제3 조명 유닛(ZD3), 제3 반사기(FJ3) 및 제3 이미지형성 유닛(CD3)을 포함할 수 있다. 제7 채널(TD3)이 제3 조명 유닛(ZD3)과 제3 이미지형성 유닛(CD3)을 포함하면, 제3 조명 유닛(ZD3)은 기판(JB)의 표면(B1 또는 B2) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제3 이미지형성 유닛(CD3)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제3 조명 유닛(ZD3)에 의해 조사된 광의 기판(JB)을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다. 제7 채널(TD3)이 제3 조명 유닛(ZD3), 제3 반사기(FJ3) 및 제3 이미지형성 유닛(CD3)을 포함하면, 제3 조명 유닛(ZD3)은 기판(JB)의 표면(B1 또는 B2) 외부에 배치되고 확산 광 또는 비-확산 광을 기판(JB)에 조사하도록 구성되며, 제3 반사기(FJ3)는 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제3 조명 유닛(ZD3)에 의해 조사된 광의 기판(JB)을 통한 산란으로부터 유래되어 제3 반사기(FJ3)에 입사한 광을 반사하도록 구성되며, 제3 이미지형성 유닛(CD3)은 기판(JB)의 다른 대향 표면(B2) 외부에 배치되고 제3 반사기(FJ3)에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성된다.
통상의 기술자는 위의 제3 실시예 및 그 변형예에서, 제1 이미지형성 유닛(CD1), 제2 이미지형성 유닛(CD2) 및 제3 이미지형성 유닛(CD3)은 별개의 이미지형성 유닛이지만, 본 발명은 그렇게 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서, 제1 이미지형성 유닛(CD1), 제2 이미지형성 유닛(CD2) 및 제3 이미지형성 유닛(CD3)이 하나의 동일한 이미지형성 유닛이거나, 또는 제1 이미지형성 유닛(CD1)과 제2 이미지형성 유닛(CD2)이 하나의 동일한 이미지형성 유닛이다. 제1 이미지형성 유닛(CD1), 제2 이미지형성 유닛(CD2) 및 제3 이미지형성 유닛(CD3)이 하나의 동일한 이미지형성 유닛이면, 제1 이미지형성 유닛(CD1)에 의해 촬영된 이미지, 제2 이미지형성 유닛(CD2)에 의해 촬영된 이미지 및 제3 이미지형성 유닛(CD3)에 의해 촬영된 이미지는 하나의 동일한 이미지형성 유닛에서 서로 분리된다. 제1 이미지형성 유닛(CD1)과 제2 이미지형성 유닛(CD2)이 하나의 동일한 이미지형성 유닛이면, 제1 이미지형성 유닛(CD1)에 의해 촬영된 이미지와 제2 이미지형성 유닛(CD2)에 의해 촬영된 이미지는 하나의 동일한 이미지형성 유닛에서 서로 분리된다.
통상의 기술자는 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않고서 본 발명의 실시예에 다양한 수정 및 변경이 이루어질 수 있고, 이러한 수정 및 변경은 본 발명의 보호 범위 내에 속해야 함을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 보호 범위는 첨부 특허청구범위에 의해 한정될 것이다.

Claims (50)

  1. 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 시스템으로서,
    투명 또는 반투명 기판에 광을 조사하도록 구성되는 제1 조명 유닛과 제1 조명 유닛이 기판에 광을 조사할 때 기판으로부터 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 제1 이미지형성 유닛을 포함하는 제1 채널;
    기판에 광을 조사하도록 구성되는 제2 조명 유닛과 제2 조명 유닛이 기판에 광을 조사할 때 기판으로부터 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 제2 이미지형성 유닛을 포함하는 제2 채널;
    각각 제1 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지와 제2 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 기판의 두 이미지를 구성하도록 구성되는 이미지 구성 모듈; 및
    기판이 결함을 가질 경우, 기판의 결함이 기판의 두 이미지에서 나타나는 위치의 관계에 기초하여, 결함이 기판 상의 결함인지 또는 기판 내의 결함인지를 검출하도록 구성되는 이미지 처리 모듈
    을 포함하는 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    제1 조명 유닛과 제2 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되고,
    제1 이미지형성 유닛과 제2 이미지형성 유닛은 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고, 제1 이미지형성 유닛의 광축과 제2 이미지형성 유닛의 광축의 협각(included angle)은 0보다 큰 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    제1 이미지형성 유닛은 제1 조명 유닛에 의해 기판에 조사되어 기판을 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제1 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되고, 제2 이미지형성 유닛은 제2 조명 유닛에 의해 기판에 조사되어 기판을 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제2 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되며,
    제1 조명 유닛과 제2 조명 유닛은 하나의 동일한 조명 유닛인 시스템.
  4. 제2항에 있어서,
    제1 채널은 제1 편광 방향을 갖는 제1 편광 요소와 제1 편광 방향에 직교하는 제2 편광 방향을 갖는 제2 편광 요소를 더 포함하고, 제1 편광 요소는 제1 조명 유닛과 기판 사이에 배치되며, 제2 편광 요소는 기판과 제1 이미지형성 유닛 사이에 배치되고,
    제1 이미지형성 유닛은 제1 조명 유닛에 의해 조사되어 제1 편광 요소, 기판 및 제2 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제1 조명 유닛에 의해 조사되어 제1 편광 요소를 통해 투과된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어서 제2 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되고,
    제2 이미지형성 유닛은 제2 조명 유닛에 의해 기판에 조사되어 기판을 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제2 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  5. 제2항에 있어서,
    제1 채널은 제1 편광 방향을 갖는 제1 편광 요소와 제1 편광 방향에 직교하는 제2 편광 방향을 갖는 제2 편광 요소를 더 포함하고, 제1 편광 요소는 제1 조명 유닛과 기판 사이에 배치되며, 제2 편광 요소는 기판과 제1 이미지형성 유닛 사이에 배치되고,
    제2 채널은 제1 편광 방향을 갖는 제3 편광 요소와 제2 편광 방향을 갖는 제4 편광 요소를 더 포함하고, 제3 편광 요소는 제2 조명 유닛과 기판 사이에 배치되며, 제4 편광 요소는 기판과 제2 이미지형성 유닛 사이에 배치되고,
    제1 이미지형성 유닛은 제1 조명 유닛에 의해 조사되어 제1 편광 요소, 기판 및 제2 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제1 조명 유닛에 의해 조사되어 제1 편광 요소를 통해 투과된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어서 제2 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되고,
    제2 이미지형성 유닛은 제2 조명 유닛에 의해 조사되어 제3 편광 요소, 기판 및 제4 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제2 조명 유닛에 의해 조사되어 제3 편광 요소를 통해 투과된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어서 제4 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    제1 채널은 제1 반사기를 더 포함하고,
    제1 반사기는 기판의 하나의 표면의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 기판으로부터 나와 제1 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되며,
    제1 이미지형성 유닛과 제2 이미지형성 유닛은 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고, 제1 이미지형성 유닛은 제1 반사기에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되며, 제2 이미지형성 유닛은 기판으로부터 나온 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되고,
    제1 이미지형성 유닛과 제2 이미지형성 유닛은 하나의 동일한 이미지형성 유닛이고, 제1 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지와 제2 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지는 하나의 동일한 이미지형성 유닛에서 서로 분리되는 시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    제1 조명 유닛과 제2 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되고,
    제1 반사기는 제1 조명 유닛에 의해 기판에 조사되어 기판을 통해 투과되어서 제1 반사기에 입사한 광을 반사하도록, 또는 제1 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어 제1 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되고,
    제2 이미지형성 유닛은 제2 조명 유닛에 의해 조사되어 기판을 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제2 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하며,
    제1 조명 유닛과 제2 조명 유닛은 하나의 동일한 조명 유닛인 시스템.
  8. 제6항에 있어서,
    제1 조명 유닛과 제2 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되고,
    제1 채널은 제1 편광 방향을 갖는 제1 편광 요소와 제1 편광 방향에 직교하는 제2 편광 방향을 갖는 제2 편광 요소를 더 포함하고, 제1 편광 요소는 제1 조명 유닛과 기판 사이에 배치되며, 제2 편광 요소는 제1 반사기와 제1 이미지형성 유닛 사이에 배치되고,
    제1 반사기는 제1 조명 유닛에 의해 조사되어 제1 편광 요소와 기판을 통해 투과되어서 제1 반사기에 입사한 광을 반사하도록, 또는 제1 조명 유닛에 의해 조사되어 제1 편광 요소를 통해 투과된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어서 제1 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되고,
    제1 이미지형성 유닛은 제1 반사기에 의해 반사되어 제2 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되고,
    제2 이미지형성 유닛은 제2 조명 유닛에 의해 기판에 조사되어 기판을 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제2 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  9. 제6항에 있어서,
    제1 조명 유닛과 제2 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되고,
    제1 채널은 제1 편광 방향을 갖는 제1 편광 요소와 제1 편광 방향에 직교하는 제2 편광 방향을 갖는 제2 편광 요소를 더 포함하고, 제1 편광 요소는 제1 조명 유닛과 기판 사이에 배치되며, 제2 편광 요소는 제1 반사기와 제1 이미지형성 유닛 사이에 배치되고,
    제2 채널은 제1 편광 방향을 갖는 제3 편광 요소와 제2 편광 방향을 갖는 제4 편광 요소를 더 포함하고, 제3 편광 요소는 제2 조명 유닛과 기판 사이에 배치되며, 제4 편광 요소는 기판과 제2 이미지형성 유닛 사이에 배치되고,
    제1 반사기는 제1 조명 유닛에 의해 조사되어 제1 편광 요소와 기판을 통해 투과되어서 제1 반사기에 입사한 광을 반사하도록, 또는 제1 조명 유닛에 의해 조사되어 제1 편광 요소를 통해 투과된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어서 제1 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되고,
    제1 이미지형성 유닛은 제1 반사기에 의해 반사되어 제2 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되고,
    제2 이미지형성 유닛은 제2 조명 유닛에 의해 조사되어 제3 편광 요소, 기판 및 제4 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제2 조명 유닛에 의해 조사되어 제1 편광 요소를 통해 투과된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어서 제4 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  10. 제6항에 있어서,
    제1 조명 유닛은 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고, 제2 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되며,
    제1 반사기는 제1 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어 제1 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되고,
    제2 이미지형성 유닛은 제2 조명 유닛에 의해 기판에 조사되어 기판을 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제2 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  11. 제6항에 있어서,
    제1 조명 유닛은 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고, 제2 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되며,
    제2 채널은 제1 편광 방향을 갖는 제3 편광 요소와 제1 편광 방향에 직교하는 제2 편광 방향을 갖는 제4 편광 요소를 더 포함하고, 제3 편광 요소는 제2 조명 유닛과 기판 사이에 배치되며, 제4 편광 요소는 기판과 제2 이미지형성 유닛 사이에 배치되고,
    제1 반사기는 제1 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어 제1 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되고,
    제1 이미지형성 유닛은 제1 반사기에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되고,
    제2 이미지형성 유닛은 제2 조명 유닛에 의해 조사되어 제3 편광 요소, 기판 및 제4 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제2 조명 유닛에 의해 조사되어 제1 편광 요소를 통해 투과된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어서 제4 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  12. 제1항에 있어서,
    제1 채널은 제1 반사기를 더 포함하고, 제1 반사기는 기판의 하나의 표면의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 기판으로부터 나와 제1 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되며,
    제2 채널은 제2 반사기를 더 포함하고, 제2 반사기는 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 기판으로부터 나와 제2 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되며,
    제1 이미지형성 유닛과 제2 이미지형성 유닛은 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고, 제1 이미지형성 유닛은 제1 반사기에 의해 반사된 광을 감지함으로써 제1 이미지를 촬영하도록 구성되며, 제2 이미지형성 유닛은 제2 반사기에 의해 반사된 광을 감지함으로써 제2 이미지를 촬영하도록 구성되고,
    제1 이미지형성 유닛과 제2 이미지형성 유닛은 하나의 동일한 이미지형성 유닛이고, 제1 이미지와 제2 이미지는 하나의 동일한 이미지형성 유닛에서 서로 분리되는 시스템.
  13. 제12항에 있어서,
    제1 조명 유닛과 제2 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되고,
    제1 반사기는 제1 조명 유닛에 의해 기판에 조사되어 기판을 통해 투과되어서 제1 반사기에 입사한 광을 반사하도록, 또는 제1 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어 제1 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되고,
    제2 반사기는 제2 조명 유닛에 의해 기판에 조사되어 기판을 통해 투과되어서 제2 반사기에 입사한 광을 반사하도록, 또는 제2 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어 제2 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되는 시스템.
  14. 제12항에 있어서,
    제1 조명 유닛과 제2 조명 유닛은 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고,
    제1 반사기는 제1 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어 제1 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되며,
    제2 반사기는 제2 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어 제2 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되는 시스템.
  15. 제13항 또는 제14항에 있어서,
    제1 조명 유닛과 제2 조명 유닛은 하나의 동일한 조명 유닛인 시스템.
  16. 제12항에 있어서,
    제1 조명 유닛과 제2 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되고,
    제1 채널은 제1 편광 방향을 갖는 제1 편광 요소와 제1 편광 방향에 직교하는 제2 편광 방향을 갖는 제2 편광 요소를 더 포함하고, 제1 편광 요소는 제1 조명 유닛과 기판 사이에 배치되며, 제2 편광 요소는 제1 반사기와 하나의 동일한 이미지형성 유닛 사이에 배치되고,
    제1 반사기는 제1 조명 유닛에 의해 조사되어 제1 편광 요소와 기판을 통해 투과되어서 제1 반사기에 입사한 광을 반사하도록, 또는 제1 조명 유닛에 의해 조사되어 제1 편광 요소를 통해 투과된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어서 제1 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되고,
    하나의 동일한 이미지형성 유닛은 제1 반사기에 의해 반사되어 제2 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써 제1 이미지를 촬영하도록 구성되고,
    하나의 동일한 이미지형성 유닛은 제2 조명 유닛에 의해 기판에 조사되어 기판을 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제2 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 제2 이미지를 촬영하도록 추가로 구성되는 시스템.
  17. 제12항에 있어서,
    제1 조명 유닛과 제2 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되고,
    제1 채널은 제1 편광 방향을 갖는 제1 편광 요소와 제1 편광 방향에 직교하는 제2 편광 방향을 갖는 제2 편광 요소를 더 포함하고, 제1 편광 요소는 제1 조명 유닛과 기판 사이에 배치되며, 제2 편광 요소는 제1 반사기와 하나의 동일한 이미지형성 유닛 사이에 배치되고,
    제2 채널은 제1 편광 방향을 갖는 제3 편광 요소와 제2 편광 방향을 갖는 제4 편광 요소를 더 포함하고, 제3 편광 요소는 제2 조명 유닛과 기판 사이에 배치되며, 제4 편광 요소는 제2 반사기와 하나의 동일한 이미지형성 유닛 사이에 배치되고,
    제1 반사기는 제1 조명 유닛에 의해 조사되어 제1 편광 요소와 기판을 통해 투과되어서 제1 반사기에 입사한 광을 반사하도록, 또는 제1 조명 유닛에 의해 조사되어 제1 편광 요소를 통해 투과된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어서 제1 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되고,
    하나의 동일한 이미지형성 유닛은 제1 반사기에 의해 반사되어 제2 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써 제1 이미지를 촬영하도록 구성되고,
    제2 반사기는 제2 조명 유닛에 의해 조사되어 제3 편광 요소와 기판을 통해 투과되어서 제2 반사기에 입사한 광을 반사하도록, 또는 제2 조명 유닛에 의해 조사되어 제3 편광 요소를 통해 투과된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어서 제2 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되고,
    하나의 동일한 이미지형성 유닛은 제2 반사기에 의해 반사되어 제4 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써 제2 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  18. 제1항에 있어서,
    이미지 처리 모듈은, 결함이 두 이미지에서 나타나는 위치가 동일하거나, 또는 위치 사이의 편차가 최대 편차와 동일할 경우, 결함이 기판 상의 결함임을 검출하도록 추가로 구성되고, 최대 편차는, 기판의 하나의 표면 상에 위치된 결함이 두 이미지에서 나타나는 위치 사이의 편차와 동일한 시스템.
  19. 제1항에 있어서,
    이미지 처리 모듈은, 결함이 두 이미지에서 나타나는 위치가 동일하지 않고, 위치 사이의 편차가 최대 편차보다 작을 경우, 결함이 기판 내의 결함임을 검출하도록 추가로 구성되고, 최대 편차는, 기판의 하나의 표면 상에 위치된 결함이 두 이미지에서 나타나는 위치 사이의 편차와 동일한 시스템.
  20. 제1항에 있어서,
    제1 이미지형성 유닛과 제2 이미지형성 유닛은 기판으로부터 나온 광을 동시에 또는 사전결정된 분리된 시간에 소정의 시간 간격으로 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 추가로 구성되는 시스템.
  21. 제1항에 있어서,
    제1 이미지형성 유닛 및 제2 이미지형성 유닛 각각은 이차원 이미지형성 유닛이고,
    이미지 구성 모듈은 제1 이미지형성 유닛 및/또는 제2 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지가 압축 변형을 가질 경우 제1 이미지형성 유닛 및/또는 제2 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지를 신장시키도록, 그리고 제1 이미지형성 유닛 및/또는 제2 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지가 신장된 후에, 각각 제1 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지와 제2 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 기판의 두 이미지를 구성하도록 추가로 구성되는 시스템.
  22. 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 시스템으로서,
    투명 또는 반투명 기판에 광을 조사하도록 구성되는 제1 조명 유닛과, 기판의 하나의 표면의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 제1 조명 유닛이 기판에 광을 조사할 때 기판으로부터 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 제1 이미지형성 유닛을 포함하는 제1 채널;
    기판에 광을 조사하도록 구성되는 제2 조명 유닛과, 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 제2 조명 유닛이 기판에 광을 조사할 때 기판으로부터 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 제2 이미지형성 유닛을 포함하는 제2 채널;
    기판에 광을 조사하도록 구성되는 제3 조명 유닛과, 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 제3 조명 유닛이 기판에 광을 조사할 때 기판으로부터 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 제3 이미지형성 유닛을 포함하는 제3 채널;
    각각 제1 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지, 제2 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지 및 제3 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 기판의 세 이미지를 구성하도록 구성되는 이미지 구성 모듈; 및
    기판의 세 이미지에 이미지 처리를 수행함으로써 기판의 결함을 검출하도록, 그리고 결함이 각각 제1 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지와 제2 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지에 의해 구성된 기판의 두 이미지에서 나타나는 위치의 관계에 기초하여 결함이 기판 상의 결함인지 또는 기판 내의 결함인지를 검출하도록, 그리고 결함이 기판의 세 이미지 상에서 나타나는 상이한 특징과 결함이 기판 상의 결함인지 또는 기판 내의 결함인지에 기초하여 결함을 분류하도록 구성되는 이미지 처리 모듈
    을 포함하는 시스템.
  23. 제22항에 있어서,
    제1 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되고, 제1 이미지형성 유닛은 제1 조명 유닛에 의해 조사되어 기판을 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되며,
    제2 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되고, 제2 이미지형성 유닛은 제2 조명 유닛에 의해 조사되어 기판을 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되며,
    제3 이미지형성 유닛은 제3 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  24. 제23항에 있어서,
    제3 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되는 시스템.
  25. 제23항에 있어서,
    제3 채널은 제3 반사기를 더 포함하고, 제3 조명 유닛은 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되며, 제3 반사기는 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 제3 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어 제3 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되며, 제3 이미지형성 유닛은 제3 반사기에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  26. 제23항에 있어서,
    제1 채널은 제1 반사기를 더 포함하고, 제1 반사기는 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 제3 조명 유닛에 의해 조사되어 기판을 통해 투과되어서 제1 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되며, 제1 이미지형성 유닛은 제1 반사기에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  27. 제22항에 있어서,
    제3 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되고, 제3 이미지형성 유닛은 제3 조명 유닛에 의해 조사되어 기판을 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되며,
    제1 이미지형성 유닛은 제1 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되고,
    제2 이미지형성 유닛은 제2 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  28. 제27항에 있어서,
    제1 조명 유닛과 제2 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되는 시스템.
  29. 제27항에 있어서,
    제1 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되고,
    제2 채널은 제2 반사기를 더 포함하고, 제2 조명 유닛은 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되며, 제2 반사기는 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 제2 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어 제2 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되며, 제2 이미지형성 유닛은 제2 반사기에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  30. 제27항에 있어서,
    제3 채널은 제3 반사기를 더 포함하고, 제3 반사기는 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 제2 조명 유닛에 의해 조사되어 기판을 통해 투과되어서 제3 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되며, 제3 이미지형성 유닛은 제3 반사기에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  31. 제22항에 있어서,
    제1 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되고, 제1 이미지형성 유닛은 제1 조명 유닛에 의해 조사되어 기판을 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되며,
    제2 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되고, 제2 이미지형성 유닛은 제2 조명 유닛에 의해 조사되어 기판을 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되며,
    제3 채널은 제1 편광 방향을 갖는 제5 편광 요소와 제1 편광 방향에 직교하는 제2 편광 방향을 갖는 제6 편광 요소를 더 포함하고, 제3 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되며, 제5 편광 요소는 제3 조명 유닛과 기판 사이에 배치되고, 제6 편광 요소는 기판과 제3 이미지형성 유닛 사이에 배치되며, 제3 이미지형성 유닛은 제3 조명 유닛에 의해 조사되어 제5 편광 요소, 기판 및 제6 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제3 조명 유닛에 의해 조사되어 제5 편광 요소를 통해 투과된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어서 제6 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  32. 제31항에 있어서,
    제1 채널은 제1 반사기를 더 포함하고, 제1 반사기는 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 제1 조명 유닛에 의해 조사되어 기판을 통해 투과되어서 제1 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되며, 제1 이미지형성 유닛은 제1 반사기에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  33. 제22항에 있어서,
    제3 채널은 제1 편광 방향을 갖는 제5 편광 요소와 제1 편광 방향에 직교하는 제2 편광 방향을 갖는 제6 편광 요소를 더 포함하고, 제3 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되며, 제5 편광 요소는 제3 조명 유닛과 기판 사이에 배치되고, 제6 편광 요소는 기판과 제3 이미지형성 유닛 사이에 배치되며, 제3 이미지형성 유닛은 제3 조명 유닛에 의해 조사되어 제5 편광 요소, 기판 및 제6 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제3 조명 유닛에 의해 조사되어 제5 편광 요소를 통해 투과된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어서 제6 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되고,
    제1 이미지형성 유닛은 제1 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되고,
    제2 이미지형성 유닛은 제2 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  34. 제33항에 있어서,
    제1 조명 유닛과 제2 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되는 시스템.
  35. 제33항에 있어서,
    제1 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되고,
    제2 채널은 제2 반사기를 더 포함하고, 제2 조명 유닛은 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되며, 제2 반사기는 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 제2 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어 제2 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되며, 제2 이미지형성 유닛은 제2 반사기에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  36. 제22항에 있어서,
    제1 채널은 제1 편광 방향을 갖는 제1 편광 요소와 제1 편광 방향에 직교하는 제2 편광 방향을 갖는 제2 편광 요소를 더 포함하고, 제1 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되며, 제1 편광 요소는 제1 조명 유닛과 기판 사이에 배치되고, 제2 편광 요소는 기판과 제1 이미지형성 유닛 사이에 배치되며, 제1 이미지형성 유닛은 제1 조명 유닛에 의해 조사되어 제1 편광 요소, 기판 및 제2 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제1 조명 유닛에 의해 조사되어 제1 편광 요소를 통해 투과된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어서 제2 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되고,
    제2 채널은 제1 편광 방향을 갖는 제3 편광 요소와 제2 편광 방향을 갖는 제4 편광 요소를 더 포함하고, 제2 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되며, 제3 편광 요소는 제2 조명 유닛과 기판 사이에 배치되고, 제4 편광 요소는 기판과 제2 이미지형성 유닛 사이에 배치되며, 제2 이미지형성 유닛은 제2 조명 유닛에 의해 조사되어 제3 편광 요소, 기판 및 제4 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제2 조명 유닛에 의해 조사되어 제3 편광 요소를 통해 투과된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어서 제4 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  37. 제36항에 있어서,
    제3 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되고, 제3 이미지형성 유닛은 제1 조명 유닛에 의해 조사되어 기판을 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  38. 제37항에 있어서,
    제3 채널은 제3 반사기를 더 포함하고, 제3 반사기는 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 제2 조명 유닛에 의해 조사되어 기판을 통해 투과되어서 제3 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되며, 제3 이미지형성 유닛은 제3 반사기에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  39. 제36항에 있어서,
    제3 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되고, 제3 이미지형성 유닛은 제3 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  40. 제36항에 있어서,
    제3 채널은 제3 반사기를 더 포함하고,
    제3 조명 유닛은 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고, 제3 반사기는 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 제2 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어 제3 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되며, 제3 이미지형성 유닛은 제3 반사기에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  41. 제22항에 있어서,
    제1 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되고, 제1 이미지형성 유닛은 제1 조명 유닛에 의해 조사되어 기판을 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되며,
    제2 이미지형성 유닛은 제1 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되고,
    제3 채널은 제1 편광 방향을 갖는 제5 편광 요소와 제1 편광 방향에 직교하는 제2 편광 방향을 갖는 제6 편광 요소를 더 포함하고, 제3 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되며, 제5 편광 요소는 제3 조명 유닛과 기판 사이에 배치되고, 제6 편광 요소는 기판과 제3 이미지형성 유닛 사이에 배치되며, 제3 이미지형성 유닛은 제3 조명 유닛에 의해 조사되어 제5 편광 요소, 기판 및 제6 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써, 또는 제3 조명 유닛에 의해 조사되어 제5 편광 요소를 통해 투과된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어서 제6 편광 요소를 통해 투과된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  42. 제41항에 있어서,
    제2 조명 유닛은 기판의 하나의 표면 외부에 배치되는 시스템.
  43. 제41항에 있어서,
    제2 채널은 제2 반사기를 더 포함하고, 제2 반사기는 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 제2 조명 유닛에 의해 조사된 광의 기판을 통한 산란으로부터 유래되어 제2 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되며, 제2 이미지형성 유닛은 제2 반사기에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  44. 제41항에 있어서,
    제1 채널은 제1 반사기를 더 포함하고, 제1 반사기는 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 제1 조명 유닛에 의해 조사되어 기판을 통해 투과되어서 제1 반사기에 입사한 광을 반사하도록 구성되며, 제1 이미지형성 유닛은 제1 반사기에 의해 반사된 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 시스템.
  45. 제22항에 있어서,
    제1 이미지형성 유닛, 제2 이미지형성 유닛 및 제3 이미지형성 유닛은 하나의 동일한 이미지형성 유닛이고, 제1 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지, 제2 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지 및 제3 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지는 하나의 동일한 이미지형성 유닛에서 서로 분리되는 시스템.
  46. 제22항에 있어서,
    제1 이미지형성 유닛과 제2 이미지형성 유닛은 하나의 동일한 이미지형성 유닛이고, 제1 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지와 제2 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지는 하나의 동일한 이미지형성 유닛에서 서로 분리되는 시스템.
  47. 제22항에 있어서,
    이미지 처리 모듈은, 결함이 두 이미지에서 나타나는 위치가 동일하거나, 또는 위치 사이의 편차가 최대 편차와 동일할 경우, 결함이 기판 상의 결함임을 검출하도록 추가로 구성되고, 최대 편차는, 기판의 하나의 표면 상에 위치된 결함이 두 이미지에서 나타나는 위치 사이의 편차와 동일한 시스템.
  48. 제22항에 있어서,
    이미지 처리 모듈은, 결함이 두 이미지에서 나타나는 위치가 동일하지 않고, 위치 사이의 편차가 최대 편차보다 작을 경우, 결함이 기판 내의 결함임을 검출하도록 추가로 구성되고, 최대 편차는, 기판의 하나의 표면 상에 위치된 결함이 두 이미지에서 나타나는 위치 사이의 편차와 동일한 시스템.
  49. 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 방법으로서,
    투명 또는 반투명 기판에 광을 조사하도록 구성되는 제1 조명 유닛과 제1 조명 유닛이 기판에 광을 조사할 때 기판으로부터 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 제1 이미지형성 유닛을 포함하는 제1 채널을 설치하는 단계;
    기판에 광을 조사하도록 구성되는 제2 조명 유닛과 제2 조명 유닛이 기판에 광을 조사할 때 기판으로부터 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 제2 이미지형성 유닛을 포함하는 제2 채널을 설치하는 단계;
    각각 제1 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지와 제2 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 기판의 두 이미지를 구성하도록 구성되는 이미지 구성 모듈을 설치하는 단계; 및
    기판이 결함을 가질 경우, 기판의 결함이 기판의 두 이미지에서 나타나는 위치의 관계에 기초하여, 결함이 기판 상의 결함인지 또는 기판 내의 결함인지를 검출하도록 구성되는 이미지 처리 모듈을 설치하는 단계
    를 포함하는 방법.
  50. 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 방법으로서,
    투명 또는 반투명 기판에 광을 조사하도록 구성되는 제1 조명 유닛과, 기판의 하나의 표면의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 제1 조명 유닛이 기판에 광을 조사할 때 기판으로부터 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 제1 이미지형성 유닛을 포함하는 제1 채널을 설치하는 단계;
    기판에 광을 조사하도록 구성되는 제2 조명 유닛과, 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 제2 조명 유닛이 기판에 광을 조사할 때 기판으로부터 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 제2 이미지형성 유닛을 포함하는 제2 채널을 설치하는 단계;
    기판에 광을 조사하도록 구성되는 제3 조명 유닛과, 기판의 다른 대향 표면 외부에 배치되고 제3 조명 유닛이 기판에 광을 조사할 때 기판으로부터 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 제3 이미지형성 유닛을 포함하는 제3 채널을 설치하는 단계;
    각각 제1 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지, 제2 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지 및 제3 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 기판의 세 이미지를 구성하도록 구성되는 이미지 구성 모듈을 설치하는 단계; 및
    기판의 세 이미지에 이미지 처리를 수행함으로써 기판의 결함을 검출하도록, 그리고 결함이 각각 제1 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지와 제2 이미지형성 유닛에 의해 촬영된 이미지에 의해 구성된 기판의 두 이미지에서 나타나는 위치의 관계에 기초하여 결함이 기판 상의 결함인지 또는 기판 내의 결함인지를 검출하도록, 그리고 결함이 기판의 세 이미지 상에서 나타나는 상이한 특징과 결함이 기판 상의 결함인지 또는 기판 내의 결함인지에 기초하여 결함을 분류하도록 구성되는 이미지 처리 모듈을 설치하는 단계
    를 포함하는 방법.
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