JPH07113757A - 透光性物体の欠点検出方法 - Google Patents
透光性物体の欠点検出方法Info
- Publication number
- JPH07113757A JPH07113757A JP25723493A JP25723493A JPH07113757A JP H07113757 A JPH07113757 A JP H07113757A JP 25723493 A JP25723493 A JP 25723493A JP 25723493 A JP25723493 A JP 25723493A JP H07113757 A JPH07113757 A JP H07113757A
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- JP
- Japan
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- defect
- glass
- camera
- optical axis
- detected
- Prior art date
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- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】透光性物体４の欠点による受光量の変化を、検
出器１、２により検出する欠点検出方法である。透光性
物体を走査し、透光性物体の表面に対し、角度が互いに
異なる光軸上で、それぞれ欠点信号を検出し、検出した
両欠点信号の時間より欠点の深さ方向の位置を検出す
る。 【効果】欠点の位置を、基準位置よりの深さとして検出
できるので、簡易に、確実に表面だけ、内部だけ、特定
の深さだけといった透光性物体の検査可能である。
出器１、２により検出する欠点検出方法である。透光性
物体を走査し、透光性物体の表面に対し、角度が互いに
異なる光軸上で、それぞれ欠点信号を検出し、検出した
両欠点信号の時間より欠点の深さ方向の位置を検出す
る。 【効果】欠点の位置を、基準位置よりの深さとして検出
できるので、簡易に、確実に表面だけ、内部だけ、特定
の深さだけといった透光性物体の検査可能である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は透光性物体の欠点の検出
方法に関するものである。
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、透光性物体内部の欠点を検出する
さい、表面欠点あるいは汚れと内部の欠点を弁別するの
は困難であった。また、検出角度の異なる複数の検出器
を用いて、それぞれの検出光量より表面欠点あるいは汚
れと内部の欠点を弁別する方法が一般的であった。
さい、表面欠点あるいは汚れと内部の欠点を弁別するの
は困難であった。また、検出角度の異なる複数の検出器
を用いて、それぞれの検出光量より表面欠点あるいは汚
れと内部の欠点を弁別する方法が一般的であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、検出光量より
表面欠点あるいは汚れと内部の欠点を弁別する方法は、
同じ種類の欠点であっても欠点個々の特徴によるばらつ
きがあり、膨大なサンプル調査が必要となる。その上、
そのばらつきの影響による誤判定等の検出の不確定さは
避けられない。また、一般的なステレオ撮影による３次
元形状測定器等は存在するが、それらは複雑な装置、処
理を必要とし、たとえガラスの泡検査のような高速な検
査の目的には対応できない。
表面欠点あるいは汚れと内部の欠点を弁別する方法は、
同じ種類の欠点であっても欠点個々の特徴によるばらつ
きがあり、膨大なサンプル調査が必要となる。その上、
そのばらつきの影響による誤判定等の検出の不確定さは
避けられない。また、一般的なステレオ撮影による３次
元形状測定器等は存在するが、それらは複雑な装置、処
理を必要とし、たとえガラスの泡検査のような高速な検
査の目的には対応できない。
【０００４】本発明は上記従来技術の欠点を解決し、簡
単な構成で容易に確実に透光性物体内部及び表面の欠点
を深さ情報とともに検出する検査方法及び装置の提供を
目的とする。
単な構成で容易に確実に透光性物体内部及び表面の欠点
を深さ情報とともに検出する検査方法及び装置の提供を
目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、透光性物体の
欠点による受光量の変化を、検出器により欠点信号とし
て検出する透光性物体の欠点検出方法において、透光性
物体を走査し、透光性物体の表面に対し、角度が互いに
異なる光軸上で、それぞれ欠点信号を検出し、検出した
両欠点信号の時間より欠点の深さ方向の位置を検出する
ことを特徴とする透光性物体の欠点検出方法を提供する
ものである。
欠点による受光量の変化を、検出器により欠点信号とし
て検出する透光性物体の欠点検出方法において、透光性
物体を走査し、透光性物体の表面に対し、角度が互いに
異なる光軸上で、それぞれ欠点信号を検出し、検出した
両欠点信号の時間より欠点の深さ方向の位置を検出する
ことを特徴とする透光性物体の欠点検出方法を提供する
ものである。
【０００６】以下、本発明の実施例について説明する。
図１は本発明の方法を実施する装置の概略的斜視図であ
る。１，２は、１次元の検出器、例えばライセンサカメ
ラ、４は、ガラスである。カメラ１はガラスに垂直、即
ち、ガラス４の表面に対しその法線との角度が０度にな
る光軸上に設けられている。一方、カメラ２は、カメラ
１の光軸に対し角度が３０になる光軸上に設けられてい
る。これらの光軸はガラス表面の法線との角度が互いに
異なり、かつそれぞれの角度が臨界角より小さい範囲で
あれば、上記以外の角度も使用できる。
図１は本発明の方法を実施する装置の概略的斜視図であ
る。１，２は、１次元の検出器、例えばライセンサカメ
ラ、４は、ガラスである。カメラ１はガラスに垂直、即
ち、ガラス４の表面に対しその法線との角度が０度にな
る光軸上に設けられている。一方、カメラ２は、カメラ
１の光軸に対し角度が３０になる光軸上に設けられてい
る。これらの光軸はガラス表面の法線との角度が互いに
異なり、かつそれぞれの角度が臨界角より小さい範囲で
あれば、上記以外の角度も使用できる。
【０００７】カメラ１，２は、光電変換機能を有し、ガ
ラス４よりの受光量の変化を欠点信号とするものであ
る。このカメラ１，２は、ＣＣＤカメラが好適である。
３は信号処理装置であり、後述する作用をする。ガラス
４は、矢印のようにカメラ１，２の光軸との角度が一定
の面内で走査される。
ラス４よりの受光量の変化を欠点信号とするものであ
る。このカメラ１，２は、ＣＣＤカメラが好適である。
３は信号処理装置であり、後述する作用をする。ガラス
４は、矢印のようにカメラ１，２の光軸との角度が一定
の面内で走査される。
【０００８】図２は、本発明の原理を示す模式図であ
る。矢印のようにガラス４は、右方向に水平に走査され
ている。ガラス４の上方には、カメラ１，２が設けられ
ている。これらのカメラ１，２の光軸は、図１の装置と
同じである。８はガラスの欠点であり、この欠点がカメ
ラの光軸上に到達したときカメラ１で検出され、図には
省略したが、その検出時刻が信号処理装置に記憶され
る。次いで欠点８がカメラ２の光軸上に到達したときカ
メラ２で検出され、その検出時刻が信号処理装置に記憶
される。信号処理装置はこれらの検出時刻の差、即ち時
間ｔ、両光軸の角度θ及びガラスの走査速度ｖより次式
に従って、表面からの欠点の位置ｄを求める。
る。矢印のようにガラス４は、右方向に水平に走査され
ている。ガラス４の上方には、カメラ１，２が設けられ
ている。これらのカメラ１，２の光軸は、図１の装置と
同じである。８はガラスの欠点であり、この欠点がカメ
ラの光軸上に到達したときカメラ１で検出され、図には
省略したが、その検出時刻が信号処理装置に記憶され
る。次いで欠点８がカメラ２の光軸上に到達したときカ
メラ２で検出され、その検出時刻が信号処理装置に記憶
される。信号処理装置はこれらの検出時刻の差、即ち時
間ｔ、両光軸の角度θ及びガラスの走査速度ｖより次式
に従って、表面からの欠点の位置ｄを求める。
【０００９】ｖｔ／ｄ＝ｔａｎ ｉ ｓｉｎ θ／ｓｉｎ ｉ＝ｎ（ｎ：ガラスの屈折率） 当然、欠点８がガラス表面（上面）にある場合は、この
時間が０になる。
時間が０になる。
【００１０】なお、本発明においては、２台のカメラを
使用する代りに１台のカメラにより、欠点の位置を求め
ることもできる。即ち、一方の光軸にビームスプリッタ
ー、ミラー等を設け、その光線が他方の光軸上に設けた
カメラに受光できるようにする。
使用する代りに１台のカメラにより、欠点の位置を求め
ることもできる。即ち、一方の光軸にビームスプリッタ
ー、ミラー等を設け、その光線が他方の光軸上に設けた
カメラに受光できるようにする。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では透光性
物体の内部の欠点の位置を、基準位置よりの深さとして
検出できるので、簡易に、確実に表面だけ、内部だけ、
特定の深さだけといった透光性物体の検査可能となっ
た。
物体の内部の欠点の位置を、基準位置よりの深さとして
検出できるので、簡易に、確実に表面だけ、内部だけ、
特定の深さだけといった透光性物体の検査可能となっ
た。
【図１】本発明の実施する装置の斜視図
【図２】本発明の原理を示す模式図
１，２：カメラ
Claims (1)
- 【請求項１】透光性物体の欠点による受光量の変化を、
検出器により欠点信号として検出する透光性物体の欠点
検出方法において、透光性物体を走査し、透光性物体の
表面に対し、角度が互いに異なる光軸上で、それぞれ欠
点信号を検出し、検出した両欠点信号の時間より欠点の
深さ方向の位置を検出することを特徴とする透光性物体
の欠点検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25723493A JPH07113757A (ja) | 1993-10-14 | 1993-10-14 | 透光性物体の欠点検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25723493A JPH07113757A (ja) | 1993-10-14 | 1993-10-14 | 透光性物体の欠点検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07113757A true JPH07113757A (ja) | 1995-05-02 |
Family
ID=17303549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25723493A Pending JPH07113757A (ja) | 1993-10-14 | 1993-10-14 | 透光性物体の欠点検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07113757A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009174918A (ja) * | 2008-01-22 | 2009-08-06 | Asahi Glass Co Ltd | 欠陥検査装置、欠陥検査方法及び板状体の製造方法 |
| CN101988908A (zh) * | 2009-07-31 | 2011-03-23 | 法国圣-戈班玻璃公司 | 用于对基板的缺陷进行区分的方法和系统 |
| CN102081047A (zh) * | 2009-11-27 | 2011-06-01 | 法国圣-戈班玻璃公司 | 用于对基板的缺陷进行区分的方法和系统 |
| EP2459989A1 (en) * | 2009-07-31 | 2012-06-06 | Saint-Gobain Glass France | Method and system for detecting and classifying defects of substrate |
-
1993
- 1993-10-14 JP JP25723493A patent/JPH07113757A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009174918A (ja) * | 2008-01-22 | 2009-08-06 | Asahi Glass Co Ltd | 欠陥検査装置、欠陥検査方法及び板状体の製造方法 |
| CN101988908A (zh) * | 2009-07-31 | 2011-03-23 | 法国圣-戈班玻璃公司 | 用于对基板的缺陷进行区分的方法和系统 |
| EP2459989A1 (en) * | 2009-07-31 | 2012-06-06 | Saint-Gobain Glass France | Method and system for detecting and classifying defects of substrate |
| JP2013501211A (ja) * | 2009-07-31 | 2013-01-10 | サン−ゴバン グラス フランス | 基板の欠陥を検出及び分類する方法及びシステム |
| EP2459989A4 (en) * | 2009-07-31 | 2017-03-29 | Saint-Gobain Glass France | Method and system for detecting and classifying defects of substrate |
| CN102081047A (zh) * | 2009-11-27 | 2011-06-01 | 法国圣-戈班玻璃公司 | 用于对基板的缺陷进行区分的方法和系统 |
| CN102081047B (zh) * | 2009-11-27 | 2015-04-08 | 法国圣-戈班玻璃公司 | 用于对基板的缺陷进行区分的方法和系统 |
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