JPS63163152A - 透明基材又は半透明基材の検査方法とその検査装置 - Google Patents
透明基材又は半透明基材の検査方法とその検査装置Info
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- JPS63163152A JPS63163152A JP31457286A JP31457286A JPS63163152A JP S63163152 A JPS63163152 A JP S63163152A JP 31457286 A JP31457286 A JP 31457286A JP 31457286 A JP31457286 A JP 31457286A JP S63163152 A JPS63163152 A JP S63163152A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
- G01N21/896—Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は透明基材又は半透明基材の検査方法とその装置
に関し、特に基材のキズを容易に検出しうる透明基材又
は半透明基材の検査方法とその検査装置に関するもので
ある。
に関し、特に基材のキズを容易に検出しうる透明基材又
は半透明基材の検査方法とその検査装置に関するもので
ある。
（従来の技術）
高分子フィルムやガラス等の透明基材又は半透明基材は
その表面にキズが付き易く、このキズを検出するために
、従来は基材の下から光を照射しその透過光の状態によ
り判別する方法が採られてい ｌこ 。 − （発明が解決しようとする問題点） しかし、この方法では、基材が高透過率の場合、基材ど
キズとのコントラストが小さく、判別し難い欠点があっ
た。
その表面にキズが付き易く、このキズを検出するために
、従来は基材の下から光を照射しその透過光の状態によ
り判別する方法が採られてい ｌこ 。 − （発明が解決しようとする問題点） しかし、この方法では、基材が高透過率の場合、基材ど
キズとのコントラストが小さく、判別し難い欠点があっ
た。
本発明の目的は、以上の欠点を改良し、基材上のキズを
容易に判別しうる透明基材又は半透明基材の検査方法と
その検査装置を提供するものである。
容易に判別しうる透明基材又は半透明基材の検査方法と
その検査装置を提供するものである。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、上記の目的を達成するために、複数枚の偏光
板が該偏光板を通る光を遮１！Ｆｉする位置に配置され
、前記偏光板間に透明基材又は半透明基材を走行し、前
記偏光板を透過した光により前記透明基材又は前記半透
明基材のキズを検出する透明基材又は半透明基拐の検査
方法を提供するものである。
板が該偏光板を通る光を遮１！Ｆｉする位置に配置され
、前記偏光板間に透明基材又は半透明基材を走行し、前
記偏光板を透過した光により前記透明基材又は前記半透
明基材のキズを検出する透明基材又は半透明基拐の検査
方法を提供するものである。
本発明は、また、光を遮断する位置に互いに配置され間
に透明基材又は半透明基材を走行させられる２枚の偏光
板と、該偏光板の一方から光を照射しうる光源と、前記
偏光板を透過した前記光源からの光を受光しうる受光部
とからなる透明基材又は半透明基材の検査ｇ＠を提供す
るものである。
に透明基材又は半透明基材を走行させられる２枚の偏光
板と、該偏光板の一方から光を照射しうる光源と、前記
偏光板を透過した前記光源からの光を受光しうる受光部
とからなる透明基材又は半透明基材の検査ｇ＠を提供す
るものである。
（作用）
本発明によれば、通常の状態では光源からの光は一枚１
１の偏光板によって一方向の振動面の光のみが透過し、
次に２枚目の偏光板によってこの透過光が遮られる。従
って受光部には光源からの光はほとんど入射しない。
１の偏光板によって一方向の振動面の光のみが透過し、
次に２枚目の偏光板によってこの透過光が遮られる。従
って受光部には光源からの光はほとんど入射しない。
そして偏光板の間に透明基材又は半透明基材を走行させ
た場合、基材にキズがあると、一枚目の偏光板を透過し
た光のうちこのキズを透過するものは、散乱され他の部
分とその振動面が変化する。
た場合、基材にキズがあると、一枚目の偏光板を透過し
た光のうちこのキズを透過するものは、散乱され他の部
分とその振動面が変化する。
そのため基材のキズを透過した光は二枚目の偏光板によ
り遮られることなく透過し、受光部に透過光としで検出
される。１なわち、受光部は基材のキズを通る光を偏光
板からの透過光の輝点として検出する。
り遮られることなく透過し、受光部に透過光としで検出
される。１なわち、受光部は基材のキズを通る光を偏光
板からの透過光の輝点として検出する。
特に、基材が２軸延伸フイルムのときには、このフィル
ムを偏光板の偏光方向に対して４５°の角度にして走行
させると一方の偏光板から入射した光はこのフィルムに
より透過を遮断され対向する偏光板には到達しない。そ
してフィルム面にキズがあると、このキズの部分で光が
散乱され光がフィルム及び偏光板を透過する。なお、こ
の場合、フィルムを４５°にして走行させなくても、フ
ィルムの面の結晶方向により偏光板どうしを偏光方向が
９００になるようにしたり平行となるように配置するこ
とにより、偏光板により光を連部したり透過したりでき
る。
ムを偏光板の偏光方向に対して４５°の角度にして走行
させると一方の偏光板から入射した光はこのフィルムに
より透過を遮断され対向する偏光板には到達しない。そ
してフィルム面にキズがあると、このキズの部分で光が
散乱され光がフィルム及び偏光板を透過する。なお、こ
の場合、フィルムを４５°にして走行させなくても、フ
ィルムの面の結晶方向により偏光板どうしを偏光方向が
９００になるようにしたり平行となるように配置するこ
とにより、偏光板により光を連部したり透過したりでき
る。
（実施例）
以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
図において、１及び２は、偏光板であり、互いに偏光方
向が直角となるように配置されている。
向が直角となるように配置されている。
偏光板１及び２としては、多ハロゲン偏光フィルムや染
料偏光フィルム、金属偏光フィルム、ポリビニレン漏光
フィルム、赤外漏光フィルム、近紫外偏光フィルム笠を
用い、光源３の種類、雰囲気の温度等により任意に選択
される。光源３は偏光板１の下方に配置され偏光板１に
可視光や赤外線、近紫外線等を照射するしので・ある。
料偏光フィルム、金属偏光フィルム、ポリビニレン漏光
フィルム、赤外漏光フィルム、近紫外偏光フィルム笠を
用い、光源３の種類、雰囲気の温度等により任意に選択
される。光源３は偏光板１の下方に配置され偏光板１に
可視光や赤外線、近紫外線等を照射するしので・ある。
４は、偏光板２の上方に配置されたビデオカメラ等の受
光部であり、偏光板２の透過光を受光するものである。
光部であり、偏光板２の透過光を受光するものである。
５は透明又は半透明の高分子フィルムやガラスからなる
基材であり、偏光板１及び２間に配置されている。
基材であり、偏光板１及び２間に配置されている。
次に上記実施例の作用について説明する。
基材５が偏光板１及び２の間を走行している状態におい
て基４４５表面にキズが無い場合には、光源３からの光
は偏光板１によって所定の振動面のみのらのが透過し基
材５がより散乱されることなく偏光板２に到達し、この
偏光板２に遮必される。
て基４４５表面にキズが無い場合には、光源３からの光
は偏光板１によって所定の振動面のみのらのが透過し基
材５がより散乱されることなく偏光板２に到達し、この
偏光板２に遮必される。
従って、受光部４には光源３からの光ははとノυと入射
しない。
しない。
そして基材５にキズがあるとこのキズによって偏光板１
の透過光の一部が散乱され、この散乱光が偏光板２を透
過し、受光部４に入射する。
の透過光の一部が散乱され、この散乱光が偏光板２を透
過し、受光部４に入射する。
第２図は、基材６として２軸延伸フイルムを用いた場の
図面を示し、特に、基材６が偏光板７及び８の偏光方向
に対して約４５゛の角度に走行されている。この場合に
は、基材６表面にキズが無いときには光源９の光は基材
６により遮断される。
図面を示し、特に、基材６が偏光板７及び８の偏光方向
に対して約４５゛の角度に走行されている。この場合に
は、基材６表面にキズが無いときには光源９の光は基材
６により遮断される。
ぞして表面にキズがあるとぎには第１図と同様にこのキ
ズで光が散乱され、基材６を透過し、偏光板８を透過す
る。
ズで光が散乱され、基材６を透過し、偏光板８を透過す
る。
なお、基材の幅が広い場合やより品質の向上をはかる場
合等には、複数箇所にこの偏光板と光源、受光部からな
る検出機構を設ｃノ、全体として一つの検出装置として
もよい。
合等には、複数箇所にこの偏光板と光源、受光部からな
る検出機構を設ｃノ、全体として一つの検出装置として
もよい。
また、ガラス等のように一枚板になっているものは全体
を複数個に分割し、各分π１部分を１！１位として順番
に偏光板間を通し、キズを検出するようにしてもよい。
を複数個に分割し、各分π１部分を１！１位として順番
に偏光板間を通し、キズを検出するようにしてもよい。
（発明効果）
以上の通り、本発明によれば、偏光板を用いることによ
り基板のキズのみを評点として検出てきるためキズの判
別を容易にかつ正確に行なえる逍明基材及σ半透明基材
の検出方法とその検出装置がをられる。
り基板のキズのみを評点として検出てきるためキズの判
別を容易にかつ正確に行なえる逍明基材及σ半透明基材
の検出方法とその検出装置がをられる。
第１図は本発明の実施例の機構図、第２図は本発明の他
の実施例のｖ１溝図を示づ−０１，２，７，８・・・偏
光板、 ３，９・・・光源、４・・・受光部、 ５，６
・・・基材。 特許出願人 日立コンデンサ株式会社 第１図 第２図
の実施例のｖ１溝図を示づ−０１，２，７，８・・・偏
光板、 ３，９・・・光源、４・・・受光部、 ５，６
・・・基材。 特許出願人 日立コンデンサ株式会社 第１図 第２図
Claims (2)
- （１）複数枚の偏光板が該偏光板を通る光を遮断する位
置に配置され、前記偏光板間に透明基材又は半透明基材
を走行させ、前記偏光板を透過した光により前記透明基
材又は前記半透明基材のキズを検出する透明基材又は半
透明基材の検査方法とその検査装置。 - （２）光を遮断する位置に互いに配置され間に透明基材
又は半透明基材を走行させられる複数枚の偏光板と、該
偏光板の一方から光を照射しうる光源と、前記偏光板を
透過した前記光源からの光を受光しうる受光部とからな
る透明基材又は半透明基材の検査方法とその検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31457286A JPS63163152A (ja) | 1986-12-24 | 1986-12-24 | 透明基材又は半透明基材の検査方法とその検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31457286A JPS63163152A (ja) | 1986-12-24 | 1986-12-24 | 透明基材又は半透明基材の検査方法とその検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63163152A true JPS63163152A (ja) | 1988-07-06 |
Family
ID=18054897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31457286A Pending JPS63163152A (ja) | 1986-12-24 | 1986-12-24 | 透明基材又は半透明基材の検査方法とその検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63163152A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0618445A (ja) * | 1992-06-30 | 1994-01-25 | Toray Ind Inc | ピンホール検査装置 |
| JPH11190699A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-13 | Hoya Corp | 透光性物質の不均一性検査方法及びその装置 |
| JP2000028546A (ja) * | 1998-07-08 | 2000-01-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光学補償フィルムの欠陥検査方法及び装置 |
| JP2005274383A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 配向フィルムの穴明き欠陥の検査方法 |
| JP2006226910A (ja) * | 2005-02-18 | 2006-08-31 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | 固体絶縁体の異常検出方法及び異常検出装置 |
| JP2012519265A (ja) * | 2009-02-27 | 2012-08-23 | サン−ゴバン グラス フランス | 基板の欠陥を検出するシステム及び方法 |
| JP2012159487A (ja) * | 2011-01-31 | 2012-08-23 | Samsung Corning Precision Materials Co Ltd | 平板ガラスの異物検査装置及び検査方法 |
| JP2013501211A (ja) * | 2009-07-31 | 2013-01-10 | サン−ゴバン グラス フランス | 基板の欠陥を検出及び分類する方法及びシステム |
| JP2015190957A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | 三菱マテリアル株式会社 | セラミックス基板の内部欠陥検査方法 |
-
1986
- 1986-12-24 JP JP31457286A patent/JPS63163152A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2015190957A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | 三菱マテリアル株式会社 | セラミックス基板の内部欠陥検査方法 |
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