JPH06235624A - 透明シートの検査方法とその装置 - Google Patents

透明シートの検査方法とその装置

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JPH06235624A
JPH06235624A JP17687793A JP17687793A JPH06235624A JP H06235624 A JPH06235624 A JP H06235624A JP 17687793 A JP17687793 A JP 17687793A JP 17687793 A JP17687793 A JP 17687793A JP H06235624 A JPH06235624 A JP H06235624A
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sheet
light
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JP17687793A
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Mineo Nomoto
峰生 野本
Takanori Ninomiya
隆典 二宮
Ichiro Suehiro
一郎 末廣
Hideharu Shigyo
秀春 執行
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Hitachi Ltd
Nitto Denko Corp
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Hitachi Ltd
Nitto Denko Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 透明なシート表面の微小な凹凸欠陥やシート
内部に生じる異物混入、気泡欠陥さらにシート表面に施
す反射防止膜部に生じる突起や塊欠陥を確実かつ高速で
自動的に検出できるようにする。 【構成】 透明シート１にスリット状の光源２２４で斜
方から低ＮＡの光を照射し、照射光が正反射する方向か
ら、シート表面の光学画像を検出レンズ２２５でライン
センサ２２６にデフォーカスして検出し、該光学画像を
画像処理装置２２９で平滑化して２次微分処理した画像
から、欠陥部に対応した明暗部分抽出用のしきい値に基
づいて凹凸欠陥、へこみ欠陥を検出すると共に、透明シ
ート１にランダムな方向に指向する光を照射し、シート
１を透過した光照射部のシートの光学画像をレンズ２０
５でラインセンサ２０６で検出し、該光学画像を平滑化
して２次微分処理した画像から、欠陥部に対応した明暗
部分抽出用のしきい値に基づいてシート内部に生じる欠
陥を確実に検出するようにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はシート状の透明フィルム
の検査方法およびその方法による検査を行うための装置
に関し、特に偏光フィルム等の複数のフィルムが貼り合
わされたシート状のフィルム表面の凹凸や、シート内部
の貼り合わせ部の状態を光学的に検査する方法及びその
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】偏光フィルムは光を一定の方向に揃える
機能を持つもので、例えば液晶表示素子に用いられてい
る。この例を図１６および図１７に示す。図１６は液晶
表示素子が電界オフの状態にあるときの説明図で、図１
７は電界オンの状態にあるときの説明図である。
【０００３】これらの図において、液晶表示素子は一定
の方向の振動の光のみを透過させる偏光板１ａ，１ｂ、
電気光学効果を示す液晶材料４０３に電界を印加するた
めの透明電極をもった２枚のガラス基板４０２ａ，４０
２ｂからなっている。液晶材料４０３は２枚のガラス基
板４０２ａ，４０２ｂの間で９０度捩じれて並ぶように
組み合わされている。このような構成で、入射光は、１
枚目の偏光板１ａで直線偏光となる。電界がかかってな
い状態（図１６）では，液晶材料４０３に入った直線偏
光は９０度捩じれた状態で出て行き、２枚目の偏光板４
０２ｂを透過する。一方、電界がかかったときは（図１
７）、液晶分子４０３が電界方向に向きを変えるため光
は捩じれることなく直進する。そのため、２枚目の偏光
板１ｂを透過できない。
【０００４】また、複屈折効果により表示する液晶素子
に用いられている偏光板は、図１８に示すように上記の
偏光板１ｂに位相差板１ｃを貼り付けて、液晶素子によ
る楕円偏光を方位角の揃った直線偏光するようにしてい
る。このように、液晶表示素子は電界効果によって表示
を行うため、低消費電力で表示ができしかも薄形軽量等
の理由から近年の表示素子の主流となっている。なお、
図１８（ａ）は電解がかかっていない状態を示し、図１
８（ｂ）は電解がかかった状態を示している。
【０００５】この液晶表示素子等に用いられている一般
的な偏光板の構造を図１９に示す。偏光板４１０は一般
にヨウ素や２色性染料を吸着・延伸したポリビニルアル
コールフィルム等からなる偏光子４１１の両側に、保護
層４１２ａ，４１２ｂとしてアクリルやトリアセテート
セルロースを接着剤で貼合わせたものである。また、図
２０は図１９の偏光板４１０の保護層４１２ａの表面に
ガラス粉末を貼着して反射防止膜４１３を形成したもの
である。
【０００６】また、図２１に位相差板付偏光板の製造方
法を示し、図２２に構造を示す。すなわち、位相差板４
２１は、ポリカーボネートなどの透明プラスチックフィ
ルムを精度よく延伸して均一な複屈折性を有しており、
接着剤４２２で偏光板４１０に貼り合わせる。位相差板
付偏光板には偏光板を保護するため、保護膜４２３が貼
られており、位相差板付偏光板を液晶表示素子に用いる
ときには、この保護膜は剥がして使用する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
に構成された偏光板４１０では、種々の欠陥が生じる場
合がある。これらの偏光板に生じる欠陥例を図２３に示
す。欠陥には、表面に生じる凹凸やへこみ、貼り合わせ
部に生じる異物混入や気泡、反射防止処理面に生じる突
起や塊がある。図２３（ａ）は凹凸５０１の状態を、
（ｂ）はへこみ５０２の状態を、（ｃ）は異物混入５０
３の状態を、（ｄ）は気泡５０４の状態を、（ｅ）は突
起５０５の状態を、（ｆ）は塊５０６の状態をそれぞれ
示す。これらの欠陥が生じている偏光板４１０を液晶表
示素子に用いると、凹凸５０１やへこみ５０２の場合は
液晶の画面がゆがんで見えたり、異物混入５０３、気泡
５０４、突起５０５、あるいは塊５０６がある場合は光
が遮られ、本来明るくなる部分が暗くなったりして、液
晶表示素子の機能を低下させるおそれがある。
【０００８】また、位相差板付偏光板に生じる欠陥例を
図２４に示す。位相差板４２１と偏光板４１０を貼り合
わせる時に生じやすく、図２４（ａ）は貼り合わせ気泡
５０７の状態を、（ｂ）は貼り合わせ異物５０８の状態
を示す。これらの欠陥も上記と同様に液晶表示素子の機
能を低下させるおそれがある。しかも、（ｃ）は偏光板
保護のための保護膜４２３と偏光板４１０の間に生じる
保護膜気泡５０９であり、位相差板付偏光板を液晶表示
素子に用いるときは、保護膜４２３を剥がして使用する
ため、（ｃ）の保護膜気泡５０９は欠陥としないで、上
記（ａ）貼り合わせ気泡５０７、（ｂ）貼り合わせ異物
５０８を欠陥として検出する必要がある。
【０００９】従来では、これらの欠陥の検出は目視に頼
っており、この目視検査の結果によって不良品を排除し
ていた。しかし、近年この種の表示素子の高精細化が著
しく、現状では目視検査の信頼性および検出能力が限界
にきていた。そこで、自動的にこの種の検査を行うこと
ができる検査装置の出現が望まれていた。
【００１０】一方、この種の公知技術としては、特開昭
６１−２８３８５７、特開平１−２３９４３９、特開平
３−２６４８５２公報開示のものが知られている。これ
らの公知技術では、検出光からの光強度の差や、明るさ
の濃度線のゆがみから欠陥部と正常部を識別している。
しかし、接着剤などで貼り合わされている偏光板の数μ
ｍ以内の凹凸欠陥を検出する場合、ガラス板のような光
学的に均一な素材でないため、接着剤やアクリル、ある
いはトリアセテートセルロース等のプラスチック材料の
粒子がノイズとして検出され、数μｍ以内のなだらかな
凹凸欠陥を検出することは困難である。また、魔鏡現象
を用いた方法として特開昭５７−１８６１０６、特開昭
５８−１７９３０３、特開平１−３１８９０８公報開示
の技術も知られているが、偏光板４１０は光学的に透明
であり、半導体のウエハや磁気ディスク表面等の検査の
ように検査面に対して垂直入射あるいは垂直に近い角度
で入射した光は透過するため、反射光を検出することは
できず、上記検出法を適用することはできない。すなわ
ち、これらの従来技術では偏光板に生じる深さ０．５μ
ｍ〜数μｍ、幅０．５ｍｍ〜数ｍｍ程度の表面の凹凸欠
陥を精度良く、確実かつ高速で自動的に検出することは
困難である。
【００１１】また、上記検出法で微小凹凸を検出するた
めには、平行光照明が不可欠であるが、平行性を良くす
るためには、点光源にして焦点距離の長い光学系が必要
であり、このように構成すると光路長が長くなり、装置
が大型になる欠点もある。また、上記従来技術では、偏
光板の内部に生じる欠陥を検出する点については、考慮
されていない。
【００１２】さらに、偏光板（偏光フィルム）は一般に
シート状（帯状）で製作されるため、連続送りされる偏
光板を連続送りを中断しないで順次検査できることが望
ましい。しかし、上記従来技術では、連続送り時に偏光
板が振動して、照明光が照射される箇所や、検出する箇
所が変動して検出不良が生じる具体的な問題点について
も考慮されてはいない。
【００１３】本発明は、このような従来技術の実情に鑑
みてなされたもので、その目的は、光学的に透明な偏光
板等のシート状物質の表面に表れる欠陥、シート状物質
の張り合わせ部に生じる欠陥、および反射防止処理面に
生じる欠陥などを精度良く、確実かつ高速で自動的に検
出することができる透明シートの検査方法とその装置を
提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、透明シー
トにスリット状の光源で斜方から低ＮＡの光を照射し、
照射光が正反射する方向からシート表面の光学画像をデ
フォーカスして検出し、検出した光学画像を平滑化して
２次微分処理し、２次微分処理した画像から、欠陥部に
対応した明暗部分抽出用のしきい値に基づいて、透明シ
ートの欠陥を検出する第１の手段によって達成される。
【００１５】また、上記目的は、透明シートにランダム
な方向に指向する光を照射し、シートを透過した光照射
部のシートの光学画像を検出し、検出した光学画像を平
滑化して２次微分処理し、２次微分処理した画像から、
欠陥部に対応した明暗部分抽出用のしきい値に基づい
て、透明シートの欠陥を検出する第２の手段によっても
達成される。
【００１６】また、上記目的は、連続送りされる透明シ
ートの表面にスリット状の光源で低ＮＡの光を照射する
手段と、照射光が正反射する方向から、シート表面の光
学画像をデフォーカスして検出する手段と、検出する手
段によって検出された光学画像を平滑化する手段と、平
滑化する手段によって平滑化された画像をさらに２次微
分処理する手段と、２次微分処理する手段によって処理
された画像から、欠陥部に対応した明暗部分抽出用のし
きい値に基づいて、凹凸欠陥またはへこみ欠陥の少なく
とも何れかの欠陥を検出する欠陥検出手段とを備えた第
３の手段によっても達成される。
【００１７】また、上記目的は、連続送りされる透明シ
ートを、正反射しにくい表面を有している回転体に接触
させる手段と、回転体に接触させる手段によって該回転
体に接触させられて連続送りされている透明シートの表
面にスリット状の光源で低ＮＡの光を照射する手段と、
照射光が正反射する方向から、シート表面の光学画像を
デフォーカスして検出する手段と、検出する手段によっ
て検出された光学画像を平滑化する手段と、平滑化する
手段によって平滑化された光学画像を２次微分処理する
手段と、２次微分処理する手段によって処理された光学
画像から、欠陥部に対応した明暗部分抽出用のしきい値
に基づいて、凹凸欠陥またはへこみ欠陥の少なくともい
ずれかの欠陥を検出する欠陥検出手段とを備えた第４の
手段によっても達成される。
【００１８】また、上記目的は、連続送りされる透明シ
ートに、ライン状の光源手段でランダムな方向に指向す
る光を照射する手段と、透明シートを透過した光照射部
の光学画像を検出する手段と、検出する手段によって検
出された光学画像を平滑化する手段と、平滑化する手段
によって平滑化された光学画像を２次微分処理する手段
と、２次微分処理する手段によって処理されたされた光
学画像から、欠陥部に対応した明暗部分抽出用のしきい
値に基づいて、シート内部のシート状物質の貼り合わせ
部に生じる異物混入、気泡、シート表面に施した反射防
止処理面に生じる突起または塊の少なくともいずれかの
欠陥を検出する欠陥検出手段とを備えた第５の手段によ
っても達成される。
【００１９】また、上記目的は、位相差板付偏光フィル
ムに光を位相差板側から斜方照射する手段と、位相差板
付偏光フィルムの偏光方向を該斜方照明光のＰ偏光が通
過する方向にする手段と、斜方照射光が正反射する方向
からシート表面の光学画像を検出する手段と、検出する
手段によって検出された光学画像を平滑化する手段と、
平滑化する手段によって平滑化された画像をさらに２次
微分処理する手段と、２次微分処理する手段によって処
理された画像から、欠陥部に対応した明暗部分抽出用の
しきい値に基づいて透明シートの欠陥を検出する欠陥検
出手段とを備えた第６の手段によっても達成される。
【００２０】また、上記目的は、位相差板付偏光フィル
ムに光を位相差板側から斜方照射する手段と、斜方照射
光が正反射する方向からシート表面の光学画像を検出す
る手段と、検出する手段によって検出された光学画像を
平滑化する手段と、平滑化する手段によって平滑化され
た画像をさらに２次微分処理する手段と、２次微分処理
する手段によって処理された画像から、欠陥部に対応し
た明暗部分抽出用のしきい値を、偏光フィルムの偏光軸
に応じて可変する手段により透明シートの欠陥を検出す
る欠陥検出手段とを備えた第７の手段によっても達成さ
れる。
【００２１】また、上記目的は、位相差板付偏光フィル
ムに光を位相差板側から斜方照射する手段と、位相差板
付偏光フィルムを保持する手段と、位相差板付偏光フィ
ルムを回転する手段と、斜方照射光が正反射する方向か
らシート表面の光学画像を検出する手段と、検出する手
段によって検出された光学画像を平滑化する手段と、平
滑化する手段によって平滑化された画像をさらに２次微
分処理する手段と、２次微分処理する手段によって処理
された画像から、欠陥部に対応した明暗部分抽出用のし
きい値に基づいて透明シートの欠陥を検出する欠陥検出
手段とを備えた第８の手段によっても達成される。
【００２２】
【作用】上述の第１および第３の手段では、シートにス
リット状の光源で斜方から照明するため、透明なシート
であっても表面からの正反射光を検出でき、表面の微小
な凹凸やへこみにより生じる魔鏡現象を利用でき、シー
トの光学画像をデフォーカスして検出することにより、
短い光路長の光学系で反射光の集束や発散現象により生
じる表面の凹凸やへこみの明暗画像を高コントラストで
検出できる。また、スリット状の光源を用いるため、低
ＮＡの平行性の良い照明ができ、光源から対象物までの
光路長が短かくなる利点があり、コンパクトな検出系が
実現できる。しかも、検出した該光学画像を平滑化して
２次微分処理するため、凹凸やへこみ等の微少な画像信
号の変化のみを強調することができ、欠陥部に対応した
明暗部分抽出用のしきい値に基づき、凹凸欠陥、へこみ
欠陥を確実に検出し得る。また、上述の第２および第５
の手段では、反射防止処理面の凹凸面にランダム方向か
ら光が照射されるため、反射防止膜の凹凸により生じる
明暗ノイズを低減でき、シート状物質の貼り合わせ部に
生じる異物混入や気泡欠陥だけでなく、反射防止処理面
に生じる突起や塊等の欠陥を確実に顕在化でき、これら
の欠陥を安定に検出し得る。
【００２３】連続送りされるシートについても、第４の
手段のようにローラを介してシートの送り方向と相対向
する方向に張力を作用させながら、正反射しにくい表面
状態の回転ローラ表面に接触した状態で、回転するロー
ラ上を連続送りされるシートの表面の画像を検出し、ま
た、連続送りされるシートにランダム方向から光を照射
してその透過画像を検出するため、連続送り時のシート
のたわみや変形による焦点ずれや位置ずれの影響を受け
ることなく、また、ローラの表面反射の悪影響を低減で
き安定に画像が検出でき、上記欠陥を安定に検出し得
る。
【００２４】第６の手段では、位相差板と偏光板の境界
面に生じる貼り合わせ気泡欠陥には、偏光板を通過しな
いＳ偏光が照射されるが、保護フィルム気泡にはＳ偏光
は照射されず、偏光板を通過したＰ偏光が照射されるた
め、表面反射の光学的性質から照明入射角４５度程度の
時、Ｓ偏光の反射率はＰ偏光に比べ１０〜２０倍程度高
くなり、保護フィルム気泡を誤検出しないで、貼り合わ
せ気泡欠陥を確実に検出し得る。
【００２５】第７の手段では、位相差板付偏光フィルム
の偏光方向と斜方照明手段の照明軸の角度により、貼り
合わせ気泡と保護フィルム気泡のそれぞれの出力が定ま
るため、欠陥部に対応した明暗部分抽出用のしきい値
を、偏光フィルムの偏光軸に応じて貼り合わせ気泡と保
護フィルム気泡の間になるよう、可変して設定すること
により、保護フィルム気泡を誤検出しないで、貼り合わ
せ気泡欠陥を確実に検出し得る。
【００２６】第８の手段では、貼り合わせ気泡欠陥に
は、偏光板を通過しないＳ偏光が照射され、保護フィル
ム気泡には偏光板を通過するＰ偏光が照射されるよう
に、位相差板付偏光フィルムの偏光方向と斜方照明手段
の照明軸の角度を最適にすることができるため、保護フ
ィルム気泡を誤検出しないで、貼り合わせ気泡欠陥を確
実に検出し得る。
【００２７】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
【００２８】図１は第１の実施例に係る透明シート検査
装置の構成を示す概略構成図で、この実施例は透明シー
ト表面の微小凹凸欠陥を検査する場合の例である。
【００２９】図１において、透明シート検査装置は、偏
光シート１を搬送するローラ２、ローラ２によって送ら
れた偏光シート１の送り量を検出する送り測長器３、偏
光シート１を照明するためのスリット状光源４、検出レ
ンズ５及びラインセンサ６からなる機械的要素と、画像
検出回路７、シェーディング補正回路８、画像処理装置
９、マイクロコンピュータ１３、座標発生装置１４、座
標測長回路１５、プリンタ１６及びフロッピディスク１
７からなる電気的要素とから基本的に構成されている。
【００３０】被検出物体である透明シートとしての偏光
シート１は回転するローラ２上に接しながら連続送りさ
れ、ローラ２の外周に接して設けられた送り測長器３に
よって偏光シート１の送り量が測定される。回転するロ
ーラ２に接触している偏光シート１の表面はスリット状
光源４で照明され、照明光が偏光シート１表面で正反射
する方向（図１では上方）に検出レンズ５とラインセン
サ６が配され、偏光シート１表面の画像を検出レンズ５
によりデフォーカスして検出する。
【００３１】上記構成において、偏光シート１を矢印Ｙ
方向に移動させれば、ラインセンサ６からの画像信号は
画像検出回路７でＡ／Ｄ変換処理により多値画像信号と
して得られ、さらにシェーディング補正回路（例えば、
特開昭５８−１５３３２８に開示されたものと同様なも
の）８で照明むら、ラインセンサ６の感度むらがディジ
タル的に補正された後、画像処理装置９に入力される。
画像処理装置９には、平滑化回路１０、２次微分回路１
１及び２値化回路１２を備え、平滑化回路１０で偏光子
を張り合わせるときに使用する接着剤微粒子のノイズ成
分を平均化して画像信号を滑らかにする平滑化処理を行
い、平滑化処理を行った後、２次微分回路１１で欠陥部
の明暗を画像強調する２次微分処理を行い、さらに、２
値化回路１２において２次微分処理された画像から欠陥
部を抽出する２値化処理を行った後、結果をマイクロコ
ンピュタ１３に入力する。
【００３２】座標発生回路１４では画像検出回路７を介
し、現に画像検出に係っているラインセンサ６の走査ク
ロックに基づいてＸ方向の走査位置座標が作成され、一
方では送り測長器３からのＹ方向移動量に基づいて座標
測長回路１５により、ラインセンサ６による偏光シート
１上での実検査位置座標が検出されるようになってい
る。この検出された実検査位置座標からマイクロコンピ
ュータ１３はその時点での実検査位置を知る。すなわ
ち、実際の偏光シート検査においては、偏光シート１は
矢印Ｙ方向に連続送りされながら、その全面が走査検出
され、画像処理装置９で２次微分後に２値化された各座
標での結果は、マイクロコンピュタ１３に入力され、欠
陥がある場合「１」、欠陥がない場合「０」と各座標毎
に判定される。この判定結果は、マイクロコンピュータ
１３による制御下に、プリンタ１６、あるいはフロッピ
ーディスク１７に出力される。
【００３３】図２、図３、図４及び図５は本検査装置の
実施例をさらに具体的に示す説明図である。
【００３４】図２は偏光シートの平坦面を検出する場合
を模式的に示した図である。発明者の実験では図２にお
いて、スリット状光源４からの入射光平面４ａと法線を
含む平面１８とのなす角ｉは、３０°〜６０°、スリッ
ト状光源４の幅ｔは０．５〜２．０ｍｍ、スリット状光
源４から偏光シート１までの距離Ｐは６０〜８０ｍｍと
し、検出レンズ５で偏光シート１表面を０．１〜０．２
倍でラインセンサ６に結像して、約６０〜８０μｍ角の
画素寸法でデフォーカスして検出すると、偏光シート１
表面に生じている凹凸やへこみ欠陥からの明暗画像をコ
ントラスト良く検出することができた。本実施例の場
合、スリット状光源４からの光は、共役像４´からの光
が検出レンズ５を介してラインセンサ６に結像されるの
と同じであるため、偏光シート１表面の幅Ｌ1 全体の画
像を検出するためには、スリット状光源４の幅Ｌ2 は、
Ｌ1 ＜Ｌ2 でなければならない。すなわち、ラインセン
サ６に１１μｍ角の素子が２５９２画素ライン状に配列
されているものを用い、検出画素寸法７０μｍ角の場
合、検出できる偏光シート１の幅Ｌ1 は１８１．４４０
ｍｍとなる。この時のスリット状光源４の幅Ｌ2 は、ス
リット状光源４から偏光シート１までの距離Ｐを７０ｍ
ｍとした場合、約２４０ｍｍ必要となる。
【００３５】スリット状光源４から偏光シート１までの
距離Ｐは短ければ短いほど幅Ｌ2 を小さくできるが、こ
の場合に、照明系のＮＡを一定小さく保つためにはスリ
ット状光源４の幅ｔを細くしなければならない。実際の
検査装置においては、シート送り時に振動や蛇行が多少
生じても、連続送りされる偏光シート１からの反射光を
安定に検出するためには、検出画素寸法の５倍以上の幅
で照明されていることが望ましく、光源には光ファイバ
ーや直管蛍光灯などを用いると好適である。
【００３６】図３及び図４は本実施例においてデフォー
カス結像して検出する場合の効果を説明するための説明
図である。図３は偏光シート１の表面をデフォーカス結
像しないで検出する場合を示すもので、スリット状光源
４で偏光シート１の表面を低ＮＡ照明すると、その反射
光は検出レンズ５でラインセンサ６に縮小結像される。
このとき偏光シート１の表面が平坦なときは、反射光線
は照明光のＮＡと同様な拡がりで検出レンズ５に集光す
るため、低ＮＡ照明の場合、反射光がほぼ均一な明るさ
で検出される。また、表面に凹凸がある場合、反射光線
は、凹凸により生じる斜面により光線が収束したり発散
したりするため、平坦面に比べ明るい、または、暗い画
像として検出される。しかし、平坦面に焦点を合わせて
検出した場合は、高さが数μｍ以下の凹凸は傾斜角の変
化が０．５°程度と小さいため、ラインセンサ６上で凹
凸部の反射光が集光( あるいは散光) されきれず明暗と
して顕在化されない。
【００３７】そこで、図４に示すように、偏光シート１
の表面をレンズの光軸方向に沿って前方に移動してデフ
ォーカス結像して検出した場合は、ラインセンサ上での
凹凸部の反射光の集光性( あるいは散光性) が向上し、
鮮明な明暗像として結像しないが平坦面に比べ明暗のあ
る像として顕在化される。この効果は照明光の照度が均
一であればあるほど著しい。発明者の実験では、スリッ
ト状光源４に幅１ｍｍ程度のファイバ用光源を用い、約
７０ｍｍの距離から４５°の入射角で斜方照明し、検出
レンズに焦点距離２２ｍｍのものを用い、０．１５７倍
でラインセンサに画素寸法７０μｍで結像し（図３のａ
＝１６２．１ｍｍ、ｂ＝２５．４ｍｍ)、検出レンズを
光軸前方に１０ｍｍ程度デフォーカスして検出（図４の
ａ´＝１５２．１ｍｍ、ｂ´＝３５．４ｍｍ) すると、
高さ１μｍ程度、幅１ｍｍ程度の偏光シート１表面の凹
凸欠陥の明暗像を検出することができた。
【００３８】図５は上記凹凸欠陥の明暗像を画像処理装
置９において微小信号の強調処理を説明するものであ
る。図５（ａ），（ｂ）は図１の画像検出回路７および
シェーディング補正回路８から画像処理装置に入力され
る画像信号を示している。（ａ）は合焦点時、（ｂ）は
ディフォーカス検出時の凹凸欠陥が生じている場合の画
像信号である。この画像信号を平滑化回路１０における
平滑化処理により偏光子を張り合わせるときに使用する
接着剤微粒子や極めて微小な表面凹凸等の高周波成分ノ
イズを除去して画像信号を滑らかにする（ｃ）。次に、
２次微分回路１１において２次微分処理を行い、欠陥部
の明暗を画像強調する（ｄ）。この２次微分処理された
画像から２値化回路１２において２値化処理され、２値
化閾値より高いまたは低いレベルの微分値が生じている
場合、欠陥として検出する。図２〜図５は説明を容易に
するため平坦なシートを検出する場合について説明した
が、ローラ上を回転送りされているシートについても同
様に適用できることは明らかである。
【００３９】以上のように、この第１の実施例において
は、偏光シート１の表面に生じる凹凸欠陥を、低ＮＡ照
明とデフォーカス結像検出による光学的顕在化と、平滑
化２次微分画像処理による画像強調処理により高精度に
検出できる。
【００４０】次にシート状物質の貼り合わせ部に生じる
異物混入や気泡、反射防止処理面に生じる突起や塊等の
欠陥を検出する第２の実施例について図６を参照して説
明する。なお、以下の説明において、第１の実施例と同
等な各部には同一の参照符号を付し、重複する説明は省
略する。
【００４１】この第２の実施例は、第１の実施例におけ
るスリット状光源４をライン状照明光源１０４と拡散板
１２０に置換し、ローラ２によって送る代わりにそのま
ま平面状に搬送するように構成したもので、その他の構
成は図１の各部と同様である。すなわち、この第２の実
施例では、ライン状照明光源１０４の照明光を、拡散板
１２０を介して偏光シート１に透過させて照明し、検出
レンズ５を偏光シート１の表面に焦点合わせしてライン
センサ６上に結像して画像を検出するようになってい
る。
【００４２】本実施例では拡散照明するため反射防止処
理面の凹凸面にランダム方向に指向する光が照射される
ため、反射防止膜４１３（図２０）の凹凸により生じる
明暗ノイズを低減でき、シート状物質の貼り合わせ部に
生じる異物５０３の混入や気泡５０４の欠陥だけでな
く、反射防止処理面に生じる突起５０５や塊５０６等の
欠陥を光学的に顕在化できる。さらにこれらの欠陥の明
暗像を上記図５に示したように画像処理装置９で微小信
号の強調処理を行うことにより、表面凹凸欠陥と同様に
高感度な欠陥検出ができる。
【００４３】図７は連続送りされる偏光フィルム表面に
反射防止膜２００を形成した被検査物体を検査する第３
の実施例を示す説明図である。
【００４４】この実施例では、ライン状照明光源２０４
の照明光によって拡散板２２０を介して偏光シート１を
透過照明し、検出レンズ２０５を偏光シート１の表面あ
るいは裏面に焦点合わせしてラインセンサ２０６上に結
像し、画像検出回路２０７、シェーディング補正回路２
０８、画像処理回路２０９で画像を検出してシート状物
質の貼り合わせ部に生じる異物混入や気泡、反射防止処
理面に生じる突起や塊等の欠陥を検出する。また、偏光
シート１の上記透過照明部とは異なる位置をスリット状
光源２２４で斜方照明し、照明光が偏光シート１表面で
正反射する方向に検出レンズ２２５とラインセンサ２２
６を配し、偏光シート１表面の画像をデフォーカス結像
し、画像検出回路２２７、シェーディング補正回路２２
８、画像処理回路２２９で画像を検出して偏光シート１
の表面に生じる凹凸欠陥を検出する。なお、画像処理装
置２０９，２２９における処理回路は図１及び図６に示
したものと同様であり、処理内容も図５を参照して説明
したものと同様である。
【００４５】本実施例では、ライン状照明光源２０４の
照明光を、拡散板２２０を介して偏光シート１の反射防
止膜２００側から透過照明し、その透過光を検出してい
るが、偏光シート１の反射防止膜２００を形成していな
い側から透過照明し、その透過光を検出してもシート状
物質の貼り合わせ部に生じる異物混入や気泡、反射防止
処理面に生じる突起や塊等の欠陥を検出することができ
る。なお、凹凸検出については、偏光シート１の反射防
止膜２００が形成されていない側を照明、検出したほう
が検出感度が高い。
【００４６】図８は第４の実施例を示す説明図で、この
実施例は図７の偏光シート１の表面に反射防止膜２００
が形成されていない場合の例である。この実施例が第３
の実施例と異なるのは、図７のライン状照明光源２０４
をスリット状光源２２４で兼用し、斜方からの透過光を
検出レンズ２０５でラインセンサ２０６上に結像して検
出するように構成した点であり、その他の構成および動
作は図７を参照して説明した第３の実施例と同様であ
る。
【００４７】本実施例では、反射防止処理面に生じる突
起や塊等の欠陥を検出する必要がないため、図７の実施
例に比べ照明光源一つで、同一箇所を検出でき、小形で
簡単な構造にすることができる。
【００４８】図９は第５の実施例に係る説明図で、この
実施例は、連続送りされる偏光シートの表面の凹凸など
の欠陥と、シート状物質の貼り合わせ部に生じる異物混
入や気泡、反射防止処理面に生じる突起や塊等の欠陥を
検出し、その検出結果をもとにマーキング装置３１６に
よって欠陥検出箇所にマーキングするように構成したも
のである。
【００４９】本実施例では、回転可能なローラ３０２に
巻き付けられている偏光シート１は、矢印ａ，ｂ，ｃ方
向にローラ３０３，３０４の表面を連続送りされなが
ら、回転可能なローラ３０５に巻き付けられる。回転可
能なローラ３０２，３０５はシャフト３０６，３０７に
同軸に固定され、シャフト３０６，３０７はさらにモー
タ等（図示せず）の連続回転可能な動力源に連結され
る。この場合、ローラ３０２の回転数を、ローラ３０５
の回転数より僅かに遅くしておけば、偏光シート１には
一定の張力が作用し、シートはたるむことなく連続送り
される。回転可能なローラ３０２，３０５の回転にむら
がある場合には、さらに支持部材３０８に固定されたシ
ャフト３０９にテンションローラ３１０を回転可能に支
持させ、さらに、当該テンションローラ３１０を固定板
３１１に保持されたバネ３１２により一定の力で弾発
し、テンションローラ３１０を偏光シート１に押しつけ
るようにする。これにより偏光シート１には一定の張力
が作用することになる。
【００５０】このようにして連続送りされる偏光シート
１は、図１に示す凹凸検査装置３１３、図６に示す透過
検出装置３１４で欠陥を検出する。さらに、ホストコン
ピュター３１５では、凹凸検査装置３１３、透過検出装
置３１４から一定の距離離れているマーキング装置３１
６に、検査結果に基づく欠陥の座標を出力し、マーキン
グ装置３１６は当該欠陥位置がマーキング可能位置に達
したときに、その検出した座標に基づいてマーキングす
る。なお、マーキング装置３１６は印字等に用いられて
いるインクジェット噴射式や接触式のペン式のものを用
いれば良い。
【００５１】本実施例では、連続送り時に偏光板が振動
して、照明光が照射される箇所や、検出する箇所が変動
して検出不良が生じる問題も解消され、検査後、マーキ
ングをするため不良箇所を後の工程で容易に排除でき、
検査工数が低減し、偏光シートの生産効率を向上させる
ことができる。
【００５２】次に位相差板付偏光板の位相差板と偏光板
の貼り合わせ部に生じる気泡欠陥を検出する実施例（第
６の実施例）について図１０を参照して説明する。な
お、以下の説明において、第１の実施例と同等な各部に
は同一の参照符号を付し、重複する説明は省略する。
【００５３】本実施例は、図１に示した第１の実施例の
偏光シート１を搬送するローラ２、ローラ２によって送
られた偏光シートの送り量を検出する送り測長器３、偏
光シート１を照明するためのスリット状光源４、検出レ
ンズ５およびラインセンサ６からなる機械的要素を以下
の、位相差板付偏光板６０１を保持するホルダ６０２、
ホルダをθ回転するθステージ６０３、θステージ６０
３を矢印Ｙ2 およびＹ3 方向に往復移動させるパルスモ
ータ６０４と送りねじ６０５、位相差板付偏光板６０１
を斜方照明する斜方照明ユニット６０６、照明光の正反
射光を検出する検出レンズ６２７及びラインセンサ６２
８に置換し、位相差板付偏光板６０１表面の画像を検出
するように構成したもので、その他の構成と動作は図１
と基本的に同じである。なお、位相差板付偏光板６０１
は、位相差板６０１ａと偏光板６０１ｂと保護膜６０１
ｃとからなっている。
【００５４】上記構成において、位相差板付偏光板６０
１を矢印Ｙ2 方向に移動させれば、ラインセンサ６２８
からの画像信号は画像検出回路７でＡ／Ｄ変換処理によ
り多値画像信号として得られ、さらにシェーディング補
正回路８で照明むら、ラインセンサ６２８の感度むらが
ディジタル的に補正された後、画像処理装置９に入力さ
れる。画像処理装置９には、平滑化回路１０、２次微分
回路１１及び２値化回路１２を備え、平滑化回路１０で
偏光子や位相差板を張り合わせるときに使用する接着剤
微粒子のノイズ成分を平均化して画像信号を滑らかにす
る平滑化処理を行い、平滑化処理を行った後、２次微分
回路１１で欠陥部の明暗を画像強調する２次微分処理を
行い、さらに、２値化回路１２において２次微分処理さ
れた画像から欠陥部を抽出する２値化処理を行った後、
結果をマイクロコンピュタ１３に入力する。
【００５５】座標発生回路１４では画像検出回路７を介
し、現に画像検出に係っているラインセンサ６２８の走
査クロックに基づいてＸ方向の走査位置座標が作成さ
れ、一方では送り測長器パルスモータ６０４からのＹ方
向移動量に基づいて座標測長回路１５により、ラインセ
ンサ６２８による位相差板付偏光板６０１の実検査位置
座標が検出されるようになっている。この検出された実
検査位置座標からマイクロコンピュータ１３はその時点
での実検査位置を知る。すなわち、実際の偏光シート検
査においては、位相差板付偏光板６０１は矢印Ｙ2 方向
に連続送りされながら、その全面が走査検出され、画像
処理装置９で２次微分後に２値化された各座標での結果
は、マイクロコンピュタ１３に入力され、欠陥がある場
合「１」、欠陥がない場合「０」と各座標毎に判定され
る。この判定結果は、マイクロコンピュータ１３による
制御下に、プリンタ１６、あるいはフロッピーディスク
１７に出力される。
【００５６】図１１、図１２、図１３、図１４及び図１
５は本検査装置の実施例をさらに具体的に示す説明図で
ある。
【００５７】図１１は斜方照明の光軸面６２０と位相差
板付偏光板６０１の偏光板６０１ｂの偏光軸６２１とな
す角度、すなわち偏光角αを示したものである。ここで
照明入射角はβとする。
【００５８】図１２は位相差板付偏光板６０１に照明入
射角βで照明した場合の気泡欠陥５０７の検出原理を示
した図である。位相差板付偏光板６０１の位相差板６０
１ａ側から斜方照明する場合、偏光板６０１ｂの偏光角
αを図１２に示す斜方照明の光軸面６２０と同じ方向に
すると、位相差板６０１ａと偏光板６０１ｂの界面で
は、Ｐ偏光は偏光板６０１ｂを通過するため、反射光は
Ｓ偏光の反射光となり、一方、偏光板６０１ｂと保護膜
６０１ｃの界面ではＰ偏光の反射光となる。位相差板付
偏光板６０１の屈折率はほぼ１．５程度であるため、照
明入射角βを４５°とした場合の反射光強度は図１３に
示すようにＳ偏光の場合約１２％、Ｐ偏光の場合約１％
程度となり、位相差板６０１ａと偏光板６０１ｂの界面
に生じる貼り合わせ気泡欠陥５０７を、保護フィルム気
泡５０９に比べ１０倍以上のＳ／Ｎで検出できる。
【００５９】図１４は図１１に示す偏光角αを０°から
±９０°の範囲に可変して検査した場合の画像処理装置
９の出力結果である。この場合の照明傾斜角βは４５°
である。偏光角αを照明光軸面と一致させる（偏光角α
が０°）と、貼り合わせ気泡欠陥５０７と、保護フィル
ム気泡５０９の出力が共に小さくなる。偏光角αを照明
光軸面に対し９０°と大きくすると、貼り合わせ気泡欠
陥５０７と、保護フィルム気泡５０９の出力が共に大き
くなる。このため、偏光板６０１ｂの偏光角αをあらか
じめ検出しておき、検査装置の２次微分後の２値化閾値
を偏光板６０１ｂの偏光角αに応じて、貼り合わせ気泡
欠陥５０７と、保護フィルム気泡５０９の出力の間、即
ち図１４の「偏光角に応じた２値化閾値６４３」で示し
たように設定することにより、貼り合わせ気泡欠陥５０
７を確実に検出することができる。また、偏光板６０１
ｂの偏光角αが±４５°の範囲では、２次微分後の２値
化閾値を偏光角に関係なく、固定の２値化閾値で貼り合
わせ気泡欠陥５０７を検出することができる。この場合
の検査方法は、図１５（ａ），（ｂ）に第７の実施例と
して示すように、位相差板付偏光板６０１をＹ2 方向の
走査で検査後、位相差板付偏光板６０１を９０°回転し
てＹ3 方向の走査で検査することにより、偏光角αに依
存することなく、すなわち、位相差板付偏光板６０１の
偏光方向がどの方向であっても、確実に気泡欠陥を検出
でき、しかも、容易に自動検査が可能である。
【００６０】本実施例では切断されている角形形状の位
相差板付偏光板６０１について一実施例を説明したが、
連続送りされる位相差板付偏光板についても、あらかじ
め偏光角αが分かっていれば、図１４で示した偏光角に
応じた２値化閾値を設定することにより、貼り合わせ気
泡欠陥５０７を検出できることは明らかである。
【００６１】また、以上説明した位相差板付偏光板６０
１の検査においても図９で示した、検出結果をもとにマ
ーキング装置３１６によって欠陥検出箇所にマーキング
するようにすることは容易であり、不良箇所を後の工程
で容易に排除でき、検査工数が低減し、偏光シートの生
産効率を向上させることができる。。
【００６２】
【発明の効果】これまでの説明で明らかなように、上述
のように構成された本発明によれば、上述の光学的な手
段と画像処理のための手段を導入したので、透明シート
表面の微小な凹凸やへこみ等の欠陥、透明シート内部の
シート状物質の張り合わせ部に生じた異物混入や気泡等
の欠陥、あるいは透明シート表面に形成した反射防止処
理面に生じた突起や塊等の欠陥、さらに位相差板付偏光
板の位相差板と偏光板の貼り合わせ部に生じる気泡欠陥
を確実かつ高速で自動的に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例に係る透明シート検査装
置の構成を示す概略構成図である。
【図２】平坦な状態での透明シート表面を検出する場合
を模式的に説明するための説明図である。
【図３】平坦な透明シート表面をデフォーカスしないで
検出する場合を示す説明図である。
【図４】平坦な透明シート表面をデフォーカスして検出
する場合を示す説明図である。
【図５】本発明の実施例に係る画像処理装置における画
像処理による画像信号の強調変化を示す説明図である。
【図６】本発明の第２の実施例に係る透明シート検査装
置の構成を示す概略構成図である。
【図７】本発明の第３の実施例に係る透明シート検査装
置の構成を示す概略構成図である。
【図８】本発明の第４の実施例に係る透明シート検査装
置の構成を示す概略構成図である。
【図９】本発明の第５の実施例に係る透明シート検査装
置の構成を示す概略構成図である。
【図１０】本発明の第６の実施例に係る位相差板付偏光
板検査装置の構成を示す概略構成図である。
【図１１】位相差板付偏光板を検出する場合の斜方照明
光軸と偏光板の偏光角の関係を模式的に説明するための
説明図である。
【図１２】位相差板付偏光板を検出する場合の反射光強
度を模式的に説明するための説明図である。
【図１３】Ｓ偏光とＰ偏光の相対反射光強度を説明する
ための説明図である。
【図１４】本発明の実施例に係る画像処理装置における
画像処理による２値画像信号の出力の変化を示す説明図
である。
【図１５】本発明の第７の実施例に係る位相差板付偏光
板検査装置の構成を示す概略構成図である。
【図１６】従来例に係る偏光フィルムを使用した液晶素
子における電界オフの状態を示す説明図である。
【図１７】従来例に係る偏光フィルムを使用した液晶素
子における電界オンの状態を示す説明図である。
【図１８】従来例に係る位相差板付偏光フィルムを使用
した液晶素子における電界オフおよび電界オンの状態を
示す説明図である。
【図１９】偏光フィルムの構造を示す断面図である。
【図２０】表面に反射防止膜が形成された偏光フィルム
の構造を示す断面図である。
【図２１】位相差板付偏光フィルムの製造方法を示す断
面図である。
【図２２】位相差板付偏光フィルムの構造を示す断面図
である。
【図２３】偏光フィルムに生じる欠陥例を示す断面図で
ある。
【図２４】位相差板付偏光フィルムに生じる欠陥例を示
す断面図である。
【符号の説明】
１ 偏光シート ２ ローラ ３ 測長器 ４，２２４ スリット状光源 ５，２２５，６２７ 検出レンズ ６，２０６，２２６，６２８ ラインセンサ ７，２０７，２２７ 画像検出回路 ８，２０８，２２８ シェーディング回路 ９，２０９，２２９ 画像処理装置 １０ 平滑化回路 １１ ２次微分回路 １２ ２値化回路 １３ マイクロコンピュタ １４ 座標発生回路 １５ 座標測長回路 １０４，２０４ ライン状照明光源 １２０，２２０ 拡散板 ２００ 反射防止膜 ３１３ 凹凸検査装置 ３１４ 透過検出装置 ３１６ マーキング装置 ６０１ 位相差板付偏光板 ６０２ ホルダ ６０３ θステージ ６０４ パルスモータ ６０６ 斜方照明ユニット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 末廣 一郎 大阪府茨木市下穂積一丁目１番２号 日東 電工 株式会社内 (72)発明者 執行 秀春 大阪府茨木市下穂積一丁目１番２号 日東 電工 株式会社内

Claims (25)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 透明シートにスリット状の光源で斜方か
    ら低ＮＡの光を照射し、 照射光が正反射する方向からシート表面の光学画像をデ
    フォーカスして検出し、 検出した光学画像を平滑化して２次微分処理し、 ２次微分処理した画像から、欠陥部に対応した明暗部分
    抽出用のしきい値に基づいて透明シートの欠陥を検出す
    る透明シートの検査方法。
  2. 【請求項２】 前記透明シートの欠陥がシート表面の凹
    凸またはへこみの少なくともいずれかである請求項１記
    載の透明シートの検査方法。
  3. 【請求項３】 透明シートにランダムな方向に指向する
    光を照射し、 シートを透過した光照射部のシートの光学画像を検出
    し、 検出した光学画像を平滑化して２次微分処理し、 ２次微分処理した画像から、欠陥部に対応した明暗部分
    抽出用のしきい値に基づいて透明シートの欠陥を検出す
    る透明シートの検査方法。
  4. 【請求項４】 前記ランダムな方向に指向する光がライ
    ン状の光源から出射される請求項３記載の透明シート検
    査方法。
  5. 【請求項５】 前記透明シートの欠陥がシート内部のシ
    ート状物質の貼り合わせ部に生じる異物混入、気泡、ま
    たは偏光フィルムと位相差フィルムの貼り合わせ部に生
    じる異物混入の少なくともいずれかである請求項３記載
    の透明シートの検査方法。
  6. 【請求項６】 前記透明シートの欠陥がシート表面に形
    成した反射防止処理面に生じる突起または塊の少なくと
    もいずれかである請求項３記載の透明シートの検査方
    法。
  7. 【請求項７】 光を一定の偏光方向に揃える偏光フィル
    ムに位相差フィルムを貼り付けた透明シートに対し、該
    偏光フィルムの偏光方向をＰ偏光が通過する方向にして
    光を位相差板側から斜方照射し、 照射光が正反射する方向からシート表面の光学画像を検
    出し、 検出した光学画像を平滑化して２次微分処理し、 ２次微分処理した画像から、欠陥部に対応した明暗部分
    抽出用のしきい値に基づいて透明シートの欠陥を検出す
    る透明シートの検査方法。
  8. 【請求項８】 欠陥部に対応した明暗部分抽出用のしき
    い値を、偏光フィルムの偏光軸に応じて可変する請求項
    ７記載の透明シートの検査方法。
  9. 【請求項９】 前記透明シートが連続送りされる請求項
    １、３または７記載の透明シートの検査方法。
  10. 【請求項１０】 前記透明シートが、正反射しにくい表
    面を有している回転体に接触して連続送りされる請求項
    ９記載の透明シートの検査方法。
  11. 【請求項１１】 光を一定の偏光方向に揃える偏光フィ
    ルムに位相差フィルムを貼り付けた透明シートに対して
    光を位相差板側から斜方照射し、 照射光が正反射する方向からシート表面の光学画像を検
    出し、 検出した光学画像を平滑化して２次微分処理し、 ２次微分処理した画像から、欠陥部に対応した明暗部分
    抽出用のしきい値に基づいて透明シートの欠陥を検出す
    ると共に、透明シートを９０度回転させて光を位相差板
    側から斜方照射し、 照射光が正反射する方向からシート表面の光学画像を検
    出し、 検出した光学画像を平滑化して２次微分処理し、 ２次微分処理した画像から、欠陥部に対応した明暗部分
    抽出用のしきい値に基づいて、透明シートの欠陥を検出
    する透明シートの検査方法。
  12. 【請求項１２】 前記透明シートの欠陥がシート内部の
    偏光フィルムと位相差フィルムの貼り合わせ部に生じる
    気泡である請求項７または１１記載の透明シートの検査
    方法。
  13. 【請求項１３】 前記透明シートの欠陥がシート内部の
    シート状物質の張り合わせ部に生じる異物混入または気
    泡の少なくともいずれかである請求項１１記載の透明シ
    ートの検査方法。
  14. 【請求項１４】 連続送りされる透明シートの表面にス
    リット状の光源で低ＮＡの光を照射する手段と、 照射光が正反射する方向から、シート表面の光学画像を
    デフォーカスして検出する手段と、 検出する手段によって検出された光学画像を平滑化する
    手段と、 平滑化する手段によって平滑化された画像をさらに２次
    微分処理する手段と、 ２次微分処理する手段によって処理された画像から、欠
    陥部に対応した明暗部分抽出用のしきい値に基づいて透
    明シートの欠陥を検出する欠陥検出手段と、を備えた透
    明シートの検査装置。
  15. 【請求項１５】 連続送りされる透明シートを、正反射
    しにくい表面を有する回転体に接触させる手段をさらに
    備え、透明シートは回転体に接触させる手段によって該
    回転体に接触させられて連続送りされる請求項１４記載
    の透明シートの検査装置。
  16. 【請求項１６】 スリット状の光源から出射され、透明
    シートを透過した光照射部の光学画像を検出する手段
    と、 検出する手段によって検出された画像を平滑化する手段
    と、 平滑化する手段によって平滑化された画像を２次微分処
    理する手段と、 ２次微分処理する手段によって処理された画像から、欠
    陥部に対応した明暗部分抽出用のしきい値に基づいて透
    明シートの欠陥を検出する欠陥検出手段と、をさらに備
    えた請求項１４記載の透明シートの検査装置。
  17. 【請求項１７】 前記透明シートの欠陥がシート表面の
    凹凸またはへこみの少なくともいずれかである請求項１
    ４記載の透明シートの検査装置。
  18. 【請求項１８】 光を一定の偏光方向に揃える偏光フィ
    ルムに位相差フィルムを貼り付けた透明シートに対して
    該偏光フィルムの偏光方向をＰ偏光が通過する方向にす
    る手段と、 光を位相差板側から斜方照射する手段と、 照射光が正反射する方向からシート表面の光学画像を検
    出する手段と、 検出する手段によって検出された光学画像を平滑化する
    手段と、 平滑化する手段によって平滑化された画像をさらに２次
    微分処理する手段と、 ２次微分処理する手段によって処理された画像から、欠
    陥部に対応した明暗部分抽出用のしきい値に基づいて透
    明シートの欠陥を検出する欠陥検出手段と、を備えた透
    明シートの検査装置。
  19. 【請求項１９】 連続送りされる透明シートに、ライン
    状の光源手段でランダムな方向に指向する光を照射する
    手段と、 透明シートを透過した光照射部の光学画像を検出する手
    段と、 検出する手段によって検出された画像を平滑化する手段
    と、 平滑化する手段によって平滑化された画像を２次微分処
    理する手段と、 ２次微分処理する手段によって処理された画像から、欠
    陥部に対応した明暗部分抽出用のしきい値に基づいて透
    明シートの欠陥を検出する欠陥検出手段と、を備えた透
    明シートの検査装置。
  20. 【請求項２０】 前記透明シートの欠陥がシート内部の
    シート状物質の張り合わせ部に生じる異物混入または気
    泡の少なくともいずれかである請求項１９記載の透明シ
    ートの検査装置。
  21. 【請求項２１】 前記透明シートの欠陥がシート表面に
    形成した反射防止処理面に生じる突起または塊の少なく
    ともいずれかである請求項１６または１９記載の透明シ
    ートの検査装置。
  22. 【請求項２２】 連続送りされる透明シートに対し、欠
    陥検出個所にマーキングするマーキング手段をさらに備
    えた請求項１４、１５、１８または１９のいずれかに記
    載の透明シートの検査装置。
  23. 【請求項２３】 光を一定の偏光方向に揃える偏光フィ
    ルムに位相差フィルムを貼り付けた透明シートを保持す
    る手段と、 該透明シートを回転させる手段と、 該透明シートに光を位相差板側から斜方照射する手段
    と、 照射光が正反射する方向からシート表面の光学画像を検
    出する手段と、 検出する手段によって検出された光学画像を平滑化する
    手段と、 平滑化する手段によって平滑化された画像をさらに２次
    微分処理する手段と、 ２次微分処理する手段によって処理された画像から、欠
    陥部に対応した明暗部分抽出用のしきい値に基づいて透
    明シートの欠陥を検出する欠陥検出手段と、を備えた透
    明シートの検査装置。
  24. 【請求項２４】 欠陥部に対応した明暗部分抽出用のし
    きい値を、偏光フィルムの偏光軸に応じて可変する手段
    により透明シートの欠陥を検出する欠陥検出手段をさら
    に備えた請求項１８または２３記載の透明シートの検査
    装置。
  25. 【請求項２５】 光を一定の偏光方向に揃える偏光フィ
    ルムに位相差フィルムを貼り付けた透明シートを保持す
    る手段と、 光を位相差板側から斜方照射する手段と、 照射光が正反射する方向からシート表面の光学画像を検
    出する手段と、 検出する手段によって検出された光学画像を平滑化する
    手段と、 平滑化する手段によって平滑化された画像をさらに２次
    微分処理する手段と、 ２次微分処理する手段によって処理された画像から、欠
    陥部に対応した明暗部分抽出用のしきい値に基づいて透
    明シートの欠陥を検出する欠陥検出手段と、 透明シートを９０度回転させる手段と、を備えた透明シ
    ートの検査装置。
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