JP2005257508A - 複屈折特性測定装置および複屈折特性測定方法 - Google Patents
複屈折特性測定装置および複屈折特性測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005257508A JP2005257508A JP2004070216A JP2004070216A JP2005257508A JP 2005257508 A JP2005257508 A JP 2005257508A JP 2004070216 A JP2004070216 A JP 2004070216A JP 2004070216 A JP2004070216 A JP 2004070216A JP 2005257508 A JP2005257508 A JP 2005257508A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- birefringence
- phase difference
- width direction
- light receiving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
【解決手段】 この複屈折特性測定装置は、受光部13bが2次元配列されたCCD13と、所定の帯域成分を含む光を、対象物201の幅方向の所定の範囲に透過させ、その透過光を分光し、対象物201の幅方向の各所定の位置を透過し分光した光を、CCD13の受光部列ごとに入射させる光学系(発光装置1〜グリズム12)とを備える。
【選択図】 図3
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る複屈折特性測定装置の構成を示す図である。図1において、発光装置1は、所定の波長(波数)帯域成分を含む光を発生し出射する装置である。この実施の形態1では、発光装置1として白色光源が使用され、その光源には、例えばハロゲンランプが使用される。
本発明の実施の形態2に係る複屈折特性測定装置は、実施の形態1に係る複屈折特性測定装置に加え、測定に係る所定の波長帯域において光強度の透過率が周期的に変化しその波長帯域での光強度特性が既知である複屈折位相差板を、偏光子3から検光子4までの光学系に挿入したものである。
2 リニアライトガイド(光学系の一部)
5 レンズ(光学系の一部)
7 演算装置
12 グリズム(分光手段、光学系の一部)
13 CCD(受光手段)
13a 受光部列
13b 受光部
41 制御手段
47 計算手段
47a フーリエ変換処理手段
47b オフセット計算手段
47c 逆フーリエ変換処理手段
47d 複屈折位相差計算手段
50 判定手段
81 複屈折位相差板(光学素子)
201 測定対象物(対象物)
Claims (8)
- 受光部が2次元配列された受光手段と、
所定の帯域成分を含む光を、所定方向に連続しその方向に搬送される透過性のある対象物の幅方向の所定の範囲に透過させ、その透過光を分光し、上記対象物の幅方向の各所定の位置を透過し分光した光を、上記受光手段の2次元配列された上記受光部の列ごとまたは行ごとに入射させる光学系と、
を備えることを特徴とする複屈折特性測定装置。 - 前記受光手段による1回の受光により、前記対象物の幅方向の所定の範囲のすべての位置のそれぞれに対応する1列または1行の受光部により得られた光強度の分布からその位置の複屈折位相差を計算し、前記対象物の幅方向の所定の範囲のすべての位置の複屈折位相差を計算する計算手段と、
前記対象物の搬送に応じて、上記計算手段により対象物の搬送方向の各位置における複屈折位相差を繰り返し計算させる制御手段と、
を備えることを特徴とする請求項1記載の複屈折特性測定装置。 - 前記計算手段は、
前記対象物の幅方向の各位置に対応する1列または1行の受光部により得られた光強度の分布をフーリエ変換するフーリエ変換処理手段と、
上記フーリエ変換処理手段によるフーリエ変換後のフーリエスペクトルのうちの直流成分以外の1つのピーク波形部分を逆フーリエ変換する逆フーリエ変換処理手段と、
上記1つのピーク波形部分の位置および形状に基づいて複屈折位相差のオフセット値を計算するオフセット計算手段と、
上記オフセット値と逆フーリエ変換後の各波長での位相成分との和を、各波数での複屈折位相差として計算する複屈折位相差計算手段と、
を有することを特徴とする請求項2記載の複屈折特性測定装置。 - 前記計算手段により計算された複屈折位相差の値に基づいて、対象物の搬送方向およびまたは幅方向の各位置の特性が適正であるか否かを判定する判定手段を備えることを特徴とする請求項2記載の複屈折特性測定装置。
- 前記判定手段により適正ではないと判定された位置に対応する位置に所定のマーキングを行うことを特徴とする請求項4記載の複屈折特性測定装置。
- 測定に係る所定の波長帯域において透過光の光強度が周期的に変化しその波長帯域での透過光の光強度特性が既知である、前記光学系に挿入された光学素子を備えることを特徴とする請求項1記載の複屈折特性測定装置。
- 受光部が2次元配列された受光手段と、
所定の帯域成分を含む白色光を生成する白色光源と、
上記白色光を、所定方向に連続しその方向に搬送される透過性のある対象物の幅方向に広げるリニアライトガイドと、
上記対象物を透過した光を収束するレンズと、
その透過光を波長別に分光し、対象物の幅方向の各所定の位置を透過した光を、上記受光手段の2次元配列された上記受光部の列ごとまたは行ごとに入射させる分光手段と、
対象物の搬送に伴って繰り返し、対象物の幅方向の各位置について上記受光手段の列ごとまたは行ごとに得られた光強度分布に基づいて対象物の幅方向の所定の範囲の複屈折位相差を計算する演算装置と、
を備えることを特徴とする複屈折特性測定装置。 - 所定の帯域成分を含む白色光を、所定方向に連続しその方向に搬送される透過性のある対象物の幅方向の所定の範囲に透過させ、
その透過光を分光し、
対象物の幅方向の各所定の位置を透過し分光した光を、所定の受光手段の2次元配列された受光部の列ごとまたは行ごとに入射させ、
上記受光手段による1回の受光により、上記対象物の幅方向の所定の範囲のすべての位置のそれぞれに対応する1列または1行の受光部により得られた光強度の分布からその位置の複屈折位相差を計算して、上記対象物の幅方向の所定の範囲のすべての位置の複屈折位相差を計算し、
上記対象物の搬送に応じて、対象物の搬送方向に沿って、幅方向の所定の範囲の複屈折位相差を繰り返し計算すること、
を特徴とする複屈折特性測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004070216A JP2005257508A (ja) | 2004-03-12 | 2004-03-12 | 複屈折特性測定装置および複屈折特性測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004070216A JP2005257508A (ja) | 2004-03-12 | 2004-03-12 | 複屈折特性測定装置および複屈折特性測定方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009236565A Division JP4969631B2 (ja) | 2009-10-13 | 2009-10-13 | 複屈折特性測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005257508A true JP2005257508A (ja) | 2005-09-22 |
Family
ID=35083364
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004070216A Pending JP2005257508A (ja) | 2004-03-12 | 2004-03-12 | 複屈折特性測定装置および複屈折特性測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005257508A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007099791A1 (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-07 | National University Corporation Tokyo University Of Agriculture And Technology | 計測装置及び計測方法 |
JP2008139274A (ja) * | 2006-12-01 | 2008-06-19 | Optimax Technology Corp | 偏光板軸向測量装置および測量方法 |
JP2008256591A (ja) * | 2007-04-06 | 2008-10-23 | Fujifilm Corp | 分光器を用いた位相差測定装置 |
JP2009281787A (ja) * | 2008-05-20 | 2009-12-03 | Oji Keisoku Kiki Kk | 位相差分布測定装置 |
US8107075B2 (en) | 2005-03-28 | 2012-01-31 | Utsunomiya University | Optical characteristic measuring apparatus and optical characteristics measuring method |
CN102749189A (zh) * | 2012-07-23 | 2012-10-24 | 哈尔滨工业大学 | 二维光子准晶楔形棱镜折射效应的双直线轨道探测方法 |
JP2013024774A (ja) * | 2011-07-22 | 2013-02-04 | Panasonic Corp | 偏光解析装置 |
WO2016031567A1 (ja) * | 2014-08-26 | 2016-03-03 | 学校法人同志社 | 複屈折測定装置および複屈折測定方法 |
JP7483423B2 (ja) | 2020-03-12 | 2024-05-15 | 大塚電子株式会社 | 光学測定方法、光学測定装置及び光学測定プログラム |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0325347A (ja) * | 1989-06-22 | 1991-02-04 | Shimadzu Corp | 複屈折測定方法 |
JPH06235624A (ja) * | 1992-12-15 | 1994-08-23 | Hitachi Ltd | 透明シートの検査方法とその装置 |
JPH09127012A (ja) * | 1995-10-27 | 1997-05-16 | Nkk Corp | 表面疵の検出方法およびその装置 |
JPH1110728A (ja) * | 1997-05-01 | 1999-01-19 | Mitsui Chem Inc | 延伸フィルム製造設備と複屈折測定方法 |
JPH11211654A (ja) * | 1998-01-27 | 1999-08-06 | Otsuka Denshi Kk | 偏光解析装置 |
JPH11241990A (ja) * | 1998-02-25 | 1999-09-07 | Nippon Steel Corp | 光学的異方性を示す熱可塑性樹脂の断面構造の測定方法 |
JP2000111472A (ja) * | 1998-09-30 | 2000-04-21 | Mitsui Chemicals Inc | 複屈折測定装置及びフィルムの配向測定装置 |
JP2003172691A (ja) * | 2001-12-06 | 2003-06-20 | Unie Opt:Kk | 波長依存性を考慮した複屈折測定装置及び方法 |
-
2004
- 2004-03-12 JP JP2004070216A patent/JP2005257508A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0325347A (ja) * | 1989-06-22 | 1991-02-04 | Shimadzu Corp | 複屈折測定方法 |
JPH06235624A (ja) * | 1992-12-15 | 1994-08-23 | Hitachi Ltd | 透明シートの検査方法とその装置 |
JPH09127012A (ja) * | 1995-10-27 | 1997-05-16 | Nkk Corp | 表面疵の検出方法およびその装置 |
JPH1110728A (ja) * | 1997-05-01 | 1999-01-19 | Mitsui Chem Inc | 延伸フィルム製造設備と複屈折測定方法 |
JPH11211654A (ja) * | 1998-01-27 | 1999-08-06 | Otsuka Denshi Kk | 偏光解析装置 |
JPH11241990A (ja) * | 1998-02-25 | 1999-09-07 | Nippon Steel Corp | 光学的異方性を示す熱可塑性樹脂の断面構造の測定方法 |
JP2000111472A (ja) * | 1998-09-30 | 2000-04-21 | Mitsui Chemicals Inc | 複屈折測定装置及びフィルムの配向測定装置 |
JP2003172691A (ja) * | 2001-12-06 | 2003-06-20 | Unie Opt:Kk | 波長依存性を考慮した複屈折測定装置及び方法 |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8107075B2 (en) | 2005-03-28 | 2012-01-31 | Utsunomiya University | Optical characteristic measuring apparatus and optical characteristics measuring method |
JPWO2007099791A1 (ja) * | 2006-02-28 | 2009-07-16 | 国立大学法人東京農工大学 | 計測装置及び計測方法 |
WO2007099791A1 (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-07 | National University Corporation Tokyo University Of Agriculture And Technology | 計測装置及び計測方法 |
KR101267119B1 (ko) | 2006-02-28 | 2013-05-23 | 고꾸리쯔 다이가꾸호우징 도쿄노우코우다이가쿠 | 계측 장치 및 계측 방법 |
JP4677570B2 (ja) * | 2006-02-28 | 2011-04-27 | 国立大学法人東京農工大学 | 計測装置及び計測方法 |
JP2008139274A (ja) * | 2006-12-01 | 2008-06-19 | Optimax Technology Corp | 偏光板軸向測量装置および測量方法 |
KR101497695B1 (ko) * | 2007-04-06 | 2015-03-02 | 후지필름 가부시키가이샤 | 분광기를 이용한 위상차 측정 장치 |
JP2008256591A (ja) * | 2007-04-06 | 2008-10-23 | Fujifilm Corp | 分光器を用いた位相差測定装置 |
JP2009281787A (ja) * | 2008-05-20 | 2009-12-03 | Oji Keisoku Kiki Kk | 位相差分布測定装置 |
JP2013024774A (ja) * | 2011-07-22 | 2013-02-04 | Panasonic Corp | 偏光解析装置 |
CN102749189A (zh) * | 2012-07-23 | 2012-10-24 | 哈尔滨工业大学 | 二维光子准晶楔形棱镜折射效应的双直线轨道探测方法 |
CN102749189B (zh) * | 2012-07-23 | 2014-12-10 | 哈尔滨工业大学 | 二维光子准晶楔形棱镜折射效应的双直线轨道探测方法 |
WO2016031567A1 (ja) * | 2014-08-26 | 2016-03-03 | 学校法人同志社 | 複屈折測定装置および複屈折測定方法 |
US10119904B2 (en) | 2014-08-26 | 2018-11-06 | National Institute Of Advanced Industrial Science | Birefringence measurement device and birefringence measurement method |
JP7483423B2 (ja) | 2020-03-12 | 2024-05-15 | 大塚電子株式会社 | 光学測定方法、光学測定装置及び光学測定プログラム |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10928187B2 (en) | Compensation for Goos-Hanchen error in autofocus systems | |
TWI773766B (zh) | 光學測定裝置及光學測定方法 | |
JP5904793B2 (ja) | 可視及び近赤外域における分光偏光測定装置及び方法 | |
JP6516691B2 (ja) | コンパクトな分光計 | |
JP4779124B2 (ja) | 光学特性計測装置及び光学特性計測方法 | |
WO2012081252A1 (ja) | 表面形状測定方法及び表面形状測定装置 | |
JP2009204512A5 (ja) | ||
JP2006329975A (ja) | 干渉計及び干渉計の校正方法 | |
JP2005257508A (ja) | 複屈折特性測定装置および複屈折特性測定方法 | |
JP2022504731A (ja) | スナップショットエリプソメータ | |
JP4011902B2 (ja) | 波長依存性を考慮した複屈折測定装置及び方法 | |
JP6923909B2 (ja) | 偏光特性測定方法および偏光特性測定装置 | |
JP4969631B2 (ja) | 複屈折特性測定装置 | |
US20140029006A1 (en) | Surface plasmon sensor and method of measuring refractive index | |
JP7289643B2 (ja) | 不均一なリターダンス間隔での経路遅延の液晶可変リターダを通じた測定 | |
US11158548B2 (en) | Overlay measurement using multiple wavelengths | |
JP5041508B2 (ja) | 光学特性計測装置および方法 | |
JP6180311B2 (ja) | 偏光解析装置 | |
JP2000111472A (ja) | 複屈折測定装置及びフィルムの配向測定装置 | |
JP2018044865A (ja) | 光学機器のキャリブレーション法 | |
US10983338B2 (en) | Exit-pupil expander used distribute light over a liquid-crystal variable retarder | |
JP5480479B2 (ja) | 形状測定装置および形状測定装置の校正方法 | |
JP7283190B2 (ja) | 分光測定装置及び分光測定方法 | |
JP2017207431A (ja) | 偏光センサ、偏光情報取得装置および撮像装置 | |
JP2020030166A (ja) | 距離測定装置および方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070111 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20090408 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20090526 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090706 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090818 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20091013 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20100420 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20100817 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |