JP6180311B2 - 偏光解析装置 - Google Patents
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Description
図1は、第1の例に係る偏光解析装置1の概略を示す図である。本第1の例に係る偏光解析装置1は、分光エリプソメータである。
図6は、第2の例に係る偏光解析装置10の概略を示す図である。上述の第1の例と重複する構成については、同番号を付すことで詳細な説明を省略する。本第2の例では、投光ユニット3と受光ユニット4とが対向して配置されており、受光ユニット4は、サンプルSを透過した光を受光する。
図7は、変形例に係る受光ユニット40の概略を示す図である。同図では、受光ユニット40に含まれる空間位相変調器5と検光子42のみを示しており、イメージ分光器6の図示を省略している。本変形例は、上述の第1の例にも第2の例にも適用可能である。
図8は、変形例に係る受光ユニット40を、第1の例に係る偏光解析装置1(図1を参照)に適用した場合の測定を示すフローチャートである。
図9は、変形例に係る受光ユニット40を、第2の例に係る偏光解析装置10(図6を参照)に適用した場合の測定を示すフローチャートである。
ストークスパラメーターS1〜S3の導出について、数式を参照しながら説明する。
Claims (6)
- 所定の波長領域を有する光を出射する光源と、
前記光源から出射された光が透過する偏光子であって、前記偏光子を透過した光がサンプルに照射される、偏光子と、
前記サンプルからの光が透過する空間位相変調器であって、複屈折材料からなり、光軸と直交する面内の第1の方向の各位置で位相差が互いに異なる、空間位相変調器と、
前記空間位相変調器を透過した光が透過する検光子と、
前記検光子を透過した光を受光するイメージ分光器であって、前記光軸と直交する面内の前記第1の方向とは異なる第2の方向に分光する、イメージ分光器と、
を備える偏光解析装置。 - 前記空間位相変調器の位相差は、前記第1の方向に沿って連続的に変化する、
請求項1に記載の偏光解析装置。 - 前記空間位相変調器の複屈折率差は、前記第1の方向に沿って連続的に変化する、
請求項1または2に記載の偏光解析装置。 - 前記サンプルからの光のビーム径を拡大して前記空間位相変調器に照射するビーム拡大器をさらに備える、
請求項1ないし3の何れかに記載の偏光解析装置。 - 前記空間位相変調器は、進相軸または遅相軸の方向が互いに異なる、前記第1の方向に隣り合う2つの領域を含む、
請求項1ないし4の何れかに記載の偏光解析装置。 - 前記検光子は、前記空間位相変調器の前記2つの領域にそれぞれ対応する、偏光方向が互いに異なる、前記第1の方向に隣り合う2つの領域を含む、
請求項5に記載の偏光解析装置。
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