JP3340145B2 - スト−クスメ−タ - Google Patents
スト−クスメ−タInfo
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- JP3340145B2 JP3340145B2 JP35591191A JP35591191A JP3340145B2 JP 3340145 B2 JP3340145 B2 JP 3340145B2 JP 35591191 A JP35591191 A JP 35591191A JP 35591191 A JP35591191 A JP 35591191A JP 3340145 B2 JP3340145 B2 JP 3340145B2
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- Japan
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はストークスメータ、特に
ストークスパラメータの符号判別機構の改良に関する。
ストークスパラメータの符号判別機構の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶等の各種物質の特性を調べるため、
該物質への偏光の透過時の偏光状態変化を測定するスト
ークスメータが周知である。そして、この透過光の偏光
状態変化を測定し、解析計算を行なうことによって被測
定試料の各種特性値を求めることができる。
該物質への偏光の透過時の偏光状態変化を測定するスト
ークスメータが周知である。そして、この透過光の偏光
状態変化を測定し、解析計算を行なうことによって被測
定試料の各種特性値を求めることができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、液晶ディス
プレイ（ＬＣＤ）素子等に見られるように、異方性の軸
方位と複屈折量との予測が困難な試料では、既知の入射
偏光に対する出射光の偏光状態を解析して、素子の性能
評価を行なう必要がある一方で、電圧印加時の応答特性
等から応答時間やしきい値電圧等、動的なパラメータも
重要となるので、リアルタイムでの測定が望まれる。こ
こで、光弾性変調器（ＰＥＭ）を用いた測定系は、高速
データサンプリングが可能であるという点で、このよう
な異方性測定装置に適している。
プレイ（ＬＣＤ）素子等に見られるように、異方性の軸
方位と複屈折量との予測が困難な試料では、既知の入射
偏光に対する出射光の偏光状態を解析して、素子の性能
評価を行なう必要がある一方で、電圧印加時の応答特性
等から応答時間やしきい値電圧等、動的なパラメータも
重要となるので、リアルタイムでの測定が望まれる。こ
こで、光弾性変調器（ＰＥＭ）を用いた測定系は、高速
データサンプリングが可能であるという点で、このよう
な異方性測定装置に適している。
【０００４】しかしながら、反射偏光測定用のエリプソ
メータの構成では、ストークスパラメータＳ2の符号を
判別できないという欠点がある。また、回転検光子法に
よるエリプソメータを、透過配置で用いても、同様なゾ
ーン判別の困難が伴う。ゾーン判別のために位相子を光
路に出し入れする方法もあるが、このような方法では素
子が追加されるので、ゾーン判別用位相子の軸方位やリ
ターディションの波長依存性等、新たなパラメータが加
わって解析が複雑となるという課題があった。更に、数
十Ｈｚから数キロＨｚに渡る広い周波数応答特性の測定
が、応答時間等の動的評価に不可欠となる渡品評価の場
合等には、回転検光子法では、変調周波数が通常数十Ｈ
ｚであり、ビ−トを生じる為に解析が困難となる。本発
明は前記従来技術の課題に鑑みなされたものであり、そ
の目的は被測定試料の異方性の測定を容易に行なうこと
のできるストークスメータを提供することにある。
メータの構成では、ストークスパラメータＳ2の符号を
判別できないという欠点がある。また、回転検光子法に
よるエリプソメータを、透過配置で用いても、同様なゾ
ーン判別の困難が伴う。ゾーン判別のために位相子を光
路に出し入れする方法もあるが、このような方法では素
子が追加されるので、ゾーン判別用位相子の軸方位やリ
ターディションの波長依存性等、新たなパラメータが加
わって解析が複雑となるという課題があった。更に、数
十Ｈｚから数キロＨｚに渡る広い周波数応答特性の測定
が、応答時間等の動的評価に不可欠となる渡品評価の場
合等には、回転検光子法では、変調周波数が通常数十Ｈ
ｚであり、ビ−トを生じる為に解析が困難となる。本発
明は前記従来技術の課題に鑑みなされたものであり、そ
の目的は被測定試料の異方性の測定を容易に行なうこと
のできるストークスメータを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明にかかるストークスメータは、特定方位への直
線偏光を出射可能な出光手段と、試料を透過した偏光の
位相遅れを制御する光弾性変調素子と、−３度から３度
の範囲の微小角だけ回転可能に形成され偏光状態を検出
する検光子と、検光子を通過した光を検出する受光器
と、を含む受光手段と、前記光弾性変調素子と検光子を
特定の回転角の組み合わせに設定して測定を行った後、
前記測定で設定された回転角から前記検光子を−３度か
ら３度の範囲の微小角だけ回転させ、前記微小角がプラ
スの場合における測定データ（Ａ ＋ (ω)，Ａ ＋ (２ω)）
及び前記微小角がマイナスの場合における測定データ
（Ａ − (ω)，Ａ − (２ω)）を取り込むように制御する制
御手段と、前記制御手段により取り込んだ微小角回転後
の前記測定データ（Ａ ＋ (ω)，Ａ ＋ (２ω)）及び（Ａ −
(ω)，Ａ − (２ω)）と、微小角回転前の測定データ（Ａ
０ (ω)，Ａ ０ (２ω)）を以下の判別式にあてはめストー
クスパラメータＳ ２ 成分の符号を判別する判別手段を備
えたこと特徴とする。 ＜判別式＞ ｜Ａ ＋ (ω)｜＞｜Ａ ０ (ω)｜＞｜Ａ − (ω)｜ 又は ｜Ａ ＋ (２ω)｜＞｜Ａ ０ (２ω)｜＞｜Ａ − (２ω)｜ である場合には、Ｓ ２ ＞０ ｜Ａ ＋ (ω)｜＜｜Ａ ０ (ω)｜＜｜Ａ − (ω)｜ 又は ｜Ａ ＋ (２ω)｜＜｜Ａ ０ (２ω)｜＜｜Ａ − (２ω)｜ である場合には、Ｓ ２ ＜０
に本発明にかかるストークスメータは、特定方位への直
線偏光を出射可能な出光手段と、試料を透過した偏光の
位相遅れを制御する光弾性変調素子と、−３度から３度
の範囲の微小角だけ回転可能に形成され偏光状態を検出
する検光子と、検光子を通過した光を検出する受光器
と、を含む受光手段と、前記光弾性変調素子と検光子を
特定の回転角の組み合わせに設定して測定を行った後、
前記測定で設定された回転角から前記検光子を−３度か
ら３度の範囲の微小角だけ回転させ、前記微小角がプラ
スの場合における測定データ（Ａ ＋ (ω)，Ａ ＋ (２ω)）
及び前記微小角がマイナスの場合における測定データ
（Ａ − (ω)，Ａ − (２ω)）を取り込むように制御する制
御手段と、前記制御手段により取り込んだ微小角回転後
の前記測定データ（Ａ ＋ (ω)，Ａ ＋ (２ω)）及び（Ａ −
(ω)，Ａ − (２ω)）と、微小角回転前の測定データ（Ａ
０ (ω)，Ａ ０ (２ω)）を以下の判別式にあてはめストー
クスパラメータＳ ２ 成分の符号を判別する判別手段を備
えたこと特徴とする。 ＜判別式＞ ｜Ａ ＋ (ω)｜＞｜Ａ ０ (ω)｜＞｜Ａ − (ω)｜ 又は ｜Ａ ＋ (２ω)｜＞｜Ａ ０ (２ω)｜＞｜Ａ − (２ω)｜ である場合には、Ｓ ２ ＞０ ｜Ａ ＋ (ω)｜＜｜Ａ ０ (ω)｜＜｜Ａ − (ω)｜ 又は ｜Ａ ＋ (２ω)｜＜｜Ａ ０ (２ω)｜＜｜Ａ − (２ω)｜ である場合には、Ｓ ２ ＜０
【０００６】
【作用】本発明にかかるストークスメータは、光弾性変
調素子を備えるので測定の高速性が確保され、しかも検
光子を微小角回転し、その際の信号値の絶対値の増減か
らストークスパラメータのＳ2成分の符号を判別するこ
とができる。
調素子を備えるので測定の高速性が確保され、しかも検
光子を微小角回転し、その際の信号値の絶対値の増減か
らストークスパラメータのＳ2成分の符号を判別するこ
とができる。
【０００７】
【実施例】以下、図面に基づき本発明の好適な実施例を
説明する。図１には本発明の一実施例にかかるストーク
スメータの概略構成図が示されている。本実施例にかか
るストークスメータは、出光手段１０と、受光手段１２
とを含み、両測定手段の間に被測定試料１４を配置す
る。
説明する。図１には本発明の一実施例にかかるストーク
スメータの概略構成図が示されている。本実施例にかか
るストークスメータは、出光手段１０と、受光手段１２
とを含み、両測定手段の間に被測定試料１４を配置す
る。
【０００８】前記出光系１０は、モノクロメータ１６
と、偏光子１８とよりなり、前記モノクロメータ１６に
より一定の波長に調整された光が偏光子１８により所定
の偏光方位の偏光となり、前記被測定試料１４に向けて
出射される。そして、試料１４を透過した光は受光系１
２に入射される。ここで、試料１４の通過により一般的
には楕円偏光となった光が受光系１２の光弾性変調素子
（ＰＥＭ）２２に入射され、所定の変調角速度ωで位相
変調される。ＰＥＭ２２により偏光変調された光は検光
子２４に入射され、更にその検光子２４から出射された
光はフォトマルチプライヤ等の光検出器（ＰＭ）２６に
入射され、偏光状態が電気信号に変換される。
と、偏光子１８とよりなり、前記モノクロメータ１６に
より一定の波長に調整された光が偏光子１８により所定
の偏光方位の偏光となり、前記被測定試料１４に向けて
出射される。そして、試料１４を透過した光は受光系１
２に入射される。ここで、試料１４の通過により一般的
には楕円偏光となった光が受光系１２の光弾性変調素子
（ＰＥＭ）２２に入射され、所定の変調角速度ωで位相
変調される。ＰＥＭ２２により偏光変調された光は検光
子２４に入射され、更にその検光子２４から出射された
光はフォトマルチプライヤ等の光検出器（ＰＭ）２６に
入射され、偏光状態が電気信号に変換される。
【０００９】本実施例にかかるストークスメータの制御
はパーソナルコンピュータ２８により行なわれており、
該コンピュータ２８はＡ／Ｄ，Ｄ／Ａ変換器３４を介し
てＰＥＭコントローラ３６に指令を与え、ＰＥＭ２２の
変調振幅δ0を調整する。ＰＥＭコントローラ３６によ
る変調位相情報は参照情報としてアンプユニット３８に
送られ、ＰＭ２６の検出情報の中から変調周波数（ω／
２π）成分及び一次高調波（２ω／２π）成分がロック
イン検波され、変換器３４を介してコンピュータ２８に
入力される。
はパーソナルコンピュータ２８により行なわれており、
該コンピュータ２８はＡ／Ｄ，Ｄ／Ａ変換器３４を介し
てＰＥＭコントローラ３６に指令を与え、ＰＥＭ２２の
変調振幅δ0を調整する。ＰＥＭコントローラ３６によ
る変調位相情報は参照情報としてアンプユニット３８に
送られ、ＰＭ２６の検出情報の中から変調周波数（ω／
２π）成分及び一次高調波（２ω／２π）成分がロック
イン検波され、変換器３４を介してコンピュータ２８に
入力される。
【００１０】また、これら二つの信号成分はＤＣ（直
流）成分を一定に保つ帰還ループの機能により実効的に
ＤＣ成分で除されている。尚、コンピュータ２８への指
示はキーボード４１を介して行なわれ、また処理データ
はＣＲＴ４２，プリンター４４に出力される。一方、モ
ノクロドライバー４６はＸｅ（キセノン）電源４７を介
して光源４８に点灯電力を与えると共に、モノクロメー
タ１６を制御し、出射される光の波長等を調整する。ま
た、コンピュータ２８は変換器３４を介してローテータ
５０を制御し、検光子２４の所望の回転制御を行なう。
流）成分を一定に保つ帰還ループの機能により実効的に
ＤＣ成分で除されている。尚、コンピュータ２８への指
示はキーボード４１を介して行なわれ、また処理データ
はＣＲＴ４２，プリンター４４に出力される。一方、モ
ノクロドライバー４６はＸｅ（キセノン）電源４７を介
して光源４８に点灯電力を与えると共に、モノクロメー
タ１６を制御し、出射される光の波長等を調整する。ま
た、コンピュータ２８は変換器３４を介してローテータ
５０を制御し、検光子２４の所望の回転制御を行なう。
【００１１】次に本実施例にかかるストークスメータに
よる演算作用について図２（複屈折のポアンカレ球表
示）ないし図３（二色性のポアンカレ球表示）に示す光
学特性図を参照しつつ説明する。まず、ストークスベク
トルＳは、次の数１に示すように４５度方位のＰＥＭ
（Ｍ４５,δ）及び０度方位の検光子（Ｐ０）によって
検出される。
よる演算作用について図２（複屈折のポアンカレ球表
示）ないし図３（二色性のポアンカレ球表示）に示す光
学特性図を参照しつつ説明する。まず、ストークスベク
トルＳは、次の数１に示すように４５度方位のＰＥＭ
（Ｍ４５,δ）及び０度方位の検光子（Ｐ０）によって
検出される。
【００１２】
【数１】 但し、δはＰＥＭ２２の変調の角周波数（角速度）を
ω、振幅をδ0として δ＝δ0・sinωｔ で定義される。従って、出力光の強度は、 Ｉ＝Ｓ0＋Ｓ1＊Cos(δ)−Ｓ3＊Sin(δ) となる。規格化されたストークスベクトル、すなわちＳ
0＝１とし、Ｉをフーリエ分解すれば、直流、５０KHz，
１００KHz成分はそれぞれ次のように与えられる。 Ｉ(DC)＝１＋Ｊ0（δ0）＊Ｓ1 Ｉ(ω)＝−２Ｊ1（δ0）＊Ｓ3 Ｉ(2ω)＝２Ｊ2（δ0）＊Ｓ1
ω、振幅をδ0として δ＝δ0・sinωｔ で定義される。従って、出力光の強度は、 Ｉ＝Ｓ0＋Ｓ1＊Cos(δ)−Ｓ3＊Sin(δ) となる。規格化されたストークスベクトル、すなわちＳ
0＝１とし、Ｉをフーリエ分解すれば、直流、５０KHz，
１００KHz成分はそれぞれ次のように与えられる。 Ｉ(DC)＝１＋Ｊ0（δ0）＊Ｓ1 Ｉ(ω)＝−２Ｊ1（δ0）＊Ｓ3 Ｉ(2ω)＝２Ｊ2（δ0）＊Ｓ1
【００１３】規格化された５０KHz，１００KHz信号か
ら、Ｓ1，Ｓ3を求め、Ｓ2は完全偏光を仮定して次式よ
り求める。 Ｓ2＝±（１−Ｓ1 2−Ｓ3 2）1/2 ここで、検光子が０度（又は９０度）方位の情報だけで
はパラメータＳ2の符号については原理的に判別できな
い。そこで、ローテータ５０により検光子２４を±２〜
３度程度回転させ、信号の絶対値の増減からストークス
パラメータＳ2の符号を判別する。
ら、Ｓ1，Ｓ3を求め、Ｓ2は完全偏光を仮定して次式よ
り求める。 Ｓ2＝±（１−Ｓ1 2−Ｓ3 2）1/2 ここで、検光子が０度（又は９０度）方位の情報だけで
はパラメータＳ2の符号については原理的に判別できな
い。そこで、ローテータ５０により検光子２４を±２〜
３度程度回転させ、信号の絶対値の増減からストークス
パラメータＳ2の符号を判別する。
【００１４】すなわち、まず検光子２４の方位角ゼロで
データを取込む（Ａ0(ω)，Ａ0(2ω)）。次に、検光子
２４の方位角プラス微小角（２〜３度程度）でデータを
取込む（Ａ+(ω)，Ａ+(2ω)）。また、検光子２４の方
位角マイナス微小角（−２〜３度程度）でデータを取込
む（Ａ-(ω)，Ａ-(2ω)）。この場合、 ｜Ａ+(ω)｜＞｜Ａ0(ω)｜＞｜Ａ-(ω)｜ 又は ｜Ａ+(2ω)｜＞｜Ａ0(2ω)｜＞｜Ａ-(2ω)｜ である場合には、Ｓ2＞０である。また逆に ｜Ａ+(ω)｜＜｜Ａ0(ω)｜＜｜Ａ-(ω)｜ 又は ｜Ａ+(2ω)｜＜｜Ａ0(2ω)｜＜｜Ａ-(2ω)｜ である場合には、Ｓ2＜０である。
データを取込む（Ａ0(ω)，Ａ0(2ω)）。次に、検光子
２４の方位角プラス微小角（２〜３度程度）でデータを
取込む（Ａ+(ω)，Ａ+(2ω)）。また、検光子２４の方
位角マイナス微小角（−２〜３度程度）でデータを取込
む（Ａ-(ω)，Ａ-(2ω)）。この場合、 ｜Ａ+(ω)｜＞｜Ａ0(ω)｜＞｜Ａ-(ω)｜ 又は ｜Ａ+(2ω)｜＞｜Ａ0(2ω)｜＞｜Ａ-(2ω)｜ である場合には、Ｓ2＞０である。また逆に ｜Ａ+(ω)｜＜｜Ａ0(ω)｜＜｜Ａ-(ω)｜ 又は ｜Ａ+(2ω)｜＜｜Ａ0(2ω)｜＜｜Ａ-(2ω)｜ である場合には、Ｓ2＜０である。
【００１５】そして、図１のコンピュータ２８が、制御
手段及び判別手段として機能し、制御手段（コンピュー
タ２８）は光弾性変調素子２２と検光子２４を特定の回
転角の組み合わせに設定して測定を行った後、前記測定
で設定された回転角から検光子２４を−３度から３度の
範囲の微小角だけ回転させ、前記微小角がプラスの場合
における測定データ（Ａ ＋ (ω)，Ａ ＋ (２ω)）及び前記
微小角がマイナスの場合における測定データ（Ａ
− (ω)，Ａ − (２ω)）を取り込むように制御する。ま
た、判別手段（コンピュータ２８）は前記制御手段によ
り取り込んだ微小角回転後の前記測定データ（Ａ
＋ (ω)，Ａ ＋ (２ω)）及び（Ａ − (ω)，Ａ − (２ω)）
と、微小角回転前の測定データ（Ａ ０ (ω)，Ａ ０ (２
ω)）を、コンピュータ２８にあらかじめ設定されてい
る以下の判別式にあてはめストークスパラメータＳ ２ 成
分の符号を判別する。 ＜判別式＞ ｜Ａ ＋ (ω)｜＞｜Ａ ０ (ω)｜＞｜Ａ − (ω)｜ 又は ｜Ａ ＋ (２ω)｜＞｜Ａ ０ (２ω)｜＞｜Ａ − (２ω)｜ である場合には、Ｓ ２ ＞０ ｜Ａ ＋ (ω)｜＜｜Ａ ０ (ω)｜＜｜Ａ − (ω)｜ 又は ｜Ａ ＋ (２ω)｜＜｜Ａ ０ (２ω)｜＜｜Ａ − (２ω)｜ である場合には、Ｓ ２ ＜０ 以 上のように、本実施例にかかるストークスメータによ
れば、被測定試料のストークパラメータＳ２の符号判別
を容易に行なうことができる。
手段及び判別手段として機能し、制御手段（コンピュー
タ２８）は光弾性変調素子２２と検光子２４を特定の回
転角の組み合わせに設定して測定を行った後、前記測定
で設定された回転角から検光子２４を−３度から３度の
範囲の微小角だけ回転させ、前記微小角がプラスの場合
における測定データ（Ａ ＋ (ω)，Ａ ＋ (２ω)）及び前記
微小角がマイナスの場合における測定データ（Ａ
− (ω)，Ａ − (２ω)）を取り込むように制御する。ま
た、判別手段（コンピュータ２８）は前記制御手段によ
り取り込んだ微小角回転後の前記測定データ（Ａ
＋ (ω)，Ａ ＋ (２ω)）及び（Ａ − (ω)，Ａ − (２ω)）
と、微小角回転前の測定データ（Ａ ０ (ω)，Ａ ０ (２
ω)）を、コンピュータ２８にあらかじめ設定されてい
る以下の判別式にあてはめストークスパラメータＳ ２ 成
分の符号を判別する。 ＜判別式＞ ｜Ａ ＋ (ω)｜＞｜Ａ ０ (ω)｜＞｜Ａ − (ω)｜ 又は ｜Ａ ＋ (２ω)｜＞｜Ａ ０ (２ω)｜＞｜Ａ − (２ω)｜ である場合には、Ｓ ２ ＞０ ｜Ａ ＋ (ω)｜＜｜Ａ ０ (ω)｜＜｜Ａ − (ω)｜ 又は ｜Ａ ＋ (２ω)｜＜｜Ａ ０ (２ω)｜＜｜Ａ − (２ω)｜ である場合には、Ｓ ２ ＜０ 以 上のように、本実施例にかかるストークスメータによ
れば、被測定試料のストークパラメータＳ２の符号判別
を容易に行なうことができる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明にかかるスト
ークスメータによれば、光弾性変調手段を有し、しかも
検光子を−３度から３度の範囲の微小角回転可能とする
ことで、被測定試料のストークスパラメータＳ２の符号
判定を容易に行なうことが可能となる。
ークスメータによれば、光弾性変調手段を有し、しかも
検光子を−３度から３度の範囲の微小角回転可能とする
ことで、被測定試料のストークスパラメータＳ２の符号
判定を容易に行なうことが可能となる。
【図１】本発明の一実施例にかかるストークスメータの
概略構成の説明図である。
概略構成の説明図である。
【図２】複屈折時のポアンカレ球表示による光学特性図
である。
である。
【図３】二色性のポアンカレ球表示による光学特性図で
ある。
ある。
１０ 出光手段 １２ 受光手段 ２２ 光弾性変調素子 ２４ 検光子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01J 4/00 - 4/04 G01N 21/00 - 21/01 G01N 21/17 - 21/61 実用ファイル（ＰＡＴＯＬＩＳ) 特許ファイル（ＰＡＴＯＬＩＳ)
Claims (1)
- 【請求項１】 特定方位への直線偏光を出射可能な出光
手段と、 試料を透過した偏光の位相遅れを制御する光弾性変調素
子と、−３度から３度の範囲の微小角だけ回転可能に形
成され偏光状態を検出する検光子と、検光子を通過した
光を検出する受光器と、を含む受光手段と、前記光弾性変調素子と検光子を特定の回転角の組み合わ
せに設定して測定を行った後、前記測定で設定された回
転角から前記検光子を−３度から３度の範囲の微小角だ
け回転させ、前記微小角がプラスの場合における測定デ
ータ（Ａ ＋ (ω)，Ａ ＋ (２ω)）及び前記微小角がマイナ
スの場合における測定データ（Ａ − (ω)，Ａ − (２ω)）
を取り込むように制御する制御手段と、 前記制御手段により取り込んだ微小角回転後の前記測定
データ（Ａ ＋ (ω)，Ａ ＋ (２ω)）及び（Ａ − (ω)，Ａ −
(２ω)）と、微小角回転前の測定データ（Ａ ０ (ω)，Ａ
０ (２ω)）を以下の判別式にあてはめストークスパラメ
ータＳ ２ 成分の符号を判別する判別手段を備えたこと特
徴とするストークスメータ。 ＜判別式＞ ｜Ａ ＋ (ω)｜＞｜Ａ ０ (ω)｜＞｜Ａ − (ω)｜ 又は ｜Ａ ＋ (２ω)｜＞｜Ａ ０ (２ω)｜＞｜Ａ − (２ω)｜ である場合には、Ｓ ２ ＞０ ｜Ａ ＋ (ω)｜＜｜Ａ ０ (ω)｜＜｜Ａ − (ω)｜ 又は ｜Ａ ＋ (２ω)｜＜｜Ａ ０ (２ω)｜＜｜Ａ − (２ω)｜ である場合には、Ｓ ２ ＜０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35591191A JP3340145B2 (ja) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | スト−クスメ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35591191A JP3340145B2 (ja) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | スト−クスメ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05172644A JPH05172644A (ja) | 1993-07-09 |
| JP3340145B2 true JP3340145B2 (ja) | 2002-11-05 |
Family
ID=18446367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35591191A Expired - Lifetime JP3340145B2 (ja) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | スト−クスメ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3340145B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2713190B2 (ja) * | 1994-10-31 | 1998-02-16 | 日本電気株式会社 | 光学特性測定装置 |
| JP3023443B2 (ja) * | 1996-11-25 | 2000-03-21 | 佐藤 進 | 液晶セルパラメータ検出方法 |
| US6300954B1 (en) | 1997-09-12 | 2001-10-09 | Meiryo Tekunika Kabushiki Kaisha | Methods and apparatus for detecting liquid crystal display parameters using stokes parameters |
| JP6180311B2 (ja) | 2013-12-13 | 2017-08-16 | 大塚電子株式会社 | 偏光解析装置 |
-
1991
- 1991-12-20 JP JP35591191A patent/JP3340145B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05172644A (ja) | 1993-07-09 |
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