JP5722094B2 - 円二色性測定装置及び円二色性測定方法 - Google Patents
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- 238000002983 circular dichroism Methods 0.000 title claims description 35
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 16
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 72
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 70
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 42
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 23
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 13
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 12
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 7
- 238000001142 circular dichroism spectrum Methods 0.000 claims description 5
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 claims 1
- 229940125730 polarisation modulator Drugs 0.000 claims 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 33
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 33
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 17
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 11
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 10
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 6
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000013074 reference sample Substances 0.000 description 5
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 5
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 4
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 3
- 230000005274 electronic transitions Effects 0.000 description 3
- 238000000572 ellipsometry Methods 0.000 description 3
- 108010076504 Protein Sorting Signals Proteins 0.000 description 2
- 229920001222 biopolymer Polymers 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 150000002605 large molecules Chemical class 0.000 description 2
- 229920002521 macromolecule Polymers 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 2
- 102000004190 Enzymes Human genes 0.000 description 1
- 108090000790 Enzymes Proteins 0.000 description 1
- 239000013543 active substance Substances 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- RDYMFSUJUZBWLH-UHFFFAOYSA-N endosulfan Chemical compound C12COS(=O)OCC2C2(Cl)C(Cl)=C(Cl)C1(Cl)C2(Cl)Cl RDYMFSUJUZBWLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000006911 enzymatic reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 238000002798 spectrophotometry method Methods 0.000 description 1
- 238000012916 structural analysis Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
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Description
基本に戻って、CD測定における高感度化のネックとなっている要因を考えると、CDが吸光度の1/100から1/1000程度という微小な値であることが挙げられる。CDは、左円偏光に対する吸光度(Al)と右円偏光に対する吸光度(Ar)の差(ΔA=Al−Ar)として定義されている。ところがその差は小さく、大きな分子の場合でも吸光度の1/100、通常は1/1000くらいしかないのが普通である。この事実は、単純な見積では、CD測定は吸光光度法の1/100から1/1000程度の感度しか期待できないことを意味している。それでも現在のCD測定装置では、偏光変調法とロックイン増幅法を組み合わせることによって、この単純な期待値より10倍程度の感度向上が達成されているが、吸光度の1/100から1/1000の差を検出していることには変わりない。
最初に、従来のECD測定法について説明する。その光学系は図5、図6に示すようなものである。光源ランプ10を出た光を、分光器11で単色光に分光し、偏光子12でY-Z平面に偏光面を有する直線偏光にして位相変調子(PEM)13に通す。このPEMは、ピエゾ効果を利用した素子で、その軸が入射する直線偏光の偏光面と45°の角度で交わるように設置されている。入射する直線偏光は、±45°方向の2つの直線偏光の和と表すことができるが、これらがこのPEMを透過するとき位相差を与えられ、変調周波数f(市販の装置では50kHz)で決まる周期で左/右に交替する円偏光となる。但しこの表現は、理解を助けるためのもので、正確でない。正確には、加わる位相差δ=δ0・sin2πftによって偏光状態が周期的に変わる。その変調の強さ、つまり変調振幅δ0は、1次のベッセル関数J1(δ0)が最大値となるδ0=1.84に設定される。これは従来装置において、CDを反映する交流成分が最大となる最適値である。位相差δが、δ=π/2=1.57のとき円偏光になるから、位相差が最大となるδ=±δ0のところでは、直線偏光が円偏光を通り越して長短が入れ替わった楕円偏光まで変調されることになる。
最初に述べたように、一般に円二色性は非常に小さいものであり、大きな分子でもΔA/Aで高々10−2、通常は10−3から10−4であるのが普通である。そうすると、上述の従来のECD測定装置の計測では、非常に大きな直流成分に極僅かに重畳する交流成分を抽出することになり、大きな直流成分に由来する比較的大きな信号ゆらぎが支配的となっていた。このことは、さらに高いS/Nで交流成分を抽出してCDの測定感度を上げることを難しくする大きな要因となっていた。
高速CD時間変化測定装置は、高速CD時間変化測定を可能にするために、従来の偏光変調CD測定装置が改良された装置で、その基本となる構成を図7に示す。白色光の光源側から順番に、偏光子31、位相子32、試料部34、検光子35、分光器36および検出器37が光軸上に並ぶ。白色光は偏光子31によってX-Z平面に偏光面を有する直線偏光にされる。直線偏光は位相子32を透過する。この位相子32の進相軸はX軸から微小角度θだけ傾いている。また、位相子32として、適切に小さな位相差δを有するものを選ぶ。その結果、位相子32を通った後の光は、X方向の偏光成分のみではなく、Y方向の偏光成分も僅かに持つ偏光、つまり、直線偏光に近く極めて扁平率の大きい楕円偏光になっている。この楕円偏光が試料を透過すると、試料のCDにより、扁平率が変化する。この変化した楕円偏光が、先の偏光子31とクロスニコルの位置に設置した検光子35を透過する。検光子35によって楕円偏光からY軸方向の偏光成分だけが取り出される。取り出された偏光成分を分光器36に通して単色化し、その偏光強度を検出器37で検出している。このときの測定結果をI+(λ)とする。単一波長だけのデータを取得するほか、分光器36で波長に分光したあとアレイ検出器で波長ごとの複数のデータを同時に取得することで、CDスペクトルを効率的に得るシステムとしてもよい。
従来の偏光変調CD測定装置では、偏光変調の速さによって、CD測定における時間分解の限界が決まってしまう。これに対し、上述の高速CD時間変化測定装置では位相差の変調を行わず、一定の位相差を有する位相子32を用いて、その進相軸を偏光面に対して±θの角度に合わせる。このようにして左右の円偏光に偏った状態を個々に作り、それぞれの状態で高速時間変化測定を行い、式(3)の演算によって時間変化に伴った左右の円偏光に対する吸光度の差(円二色性ΔA)を求めるものであった。その効果として、感度の向上が得られていた。
従来のVCD測定装置も、本発明によって改良しようとする対象である。従来のVCD測定装置の基本となる構成を図8に示す。
以上のVCD測定装置では、干渉計を通したインターフェログラムを計測に使っている。そこには全波長λ(波数)の光が含まれているので、位相変調の振幅δ0を波長λ毎に適切な大きさに調節することは不可能である。そのため、中心波長を適切に選択し、そこで感度が最適になるように変調振幅δ0を決めることになる。ところが、VCD測定の測定波数範囲(測定波長範囲)は、600cm−1(16μm)から5000cm−1(2μm)に亘る。その結果、ある波長の光については位相差が過大となって感度がなくなる不感帯が生じ、さらにその先では信号が逆転することも起こってしまう。逆転するのは負の係数を掛けて対処することができるとは言え、感度がなくなる不感帯については対処不能であり、位相差の変調振幅δ0を変えて測定をやり直すしかなかった。
この構成によれば、偏光子と検光子とが直交ニコルの関係にあるので、検光子が左右の楕円偏光の短軸方向の偏光成分を正確に透過させることができる。
この構成によれば、従来のECD測定法での変調振幅がδ0=1.84ラジアンであることと比べると、変調振幅が極微小となる。よって、位相差の小さく変調精度の高い位相変調子を採用できる。
検光子504は、試料部503の後段に偏光子501とクロスニコルとなるように設けられている。この検光子504により、試料部503の試料を透過した左右の楕円偏光から、短軸方向(X方向)の偏光成分が取り出される。そして、検出器505は、短軸方向の偏光成分の強度変化を測定する。
図2は本実施形態のECD測定装置の具体的な測定光学系の構成を示す光路図である。測定光学系は、光源室、分光器室、位相変調室、試料室および検出室に大別される。光源室には、光源ランプ600および集光鏡601が配置され、分光器室へ測定光を供給する。
前述のように、CDを算出するには光強度の検出信号から得られたAC/DCに変調の強度に関係する係数(変調振幅δ0)を掛ける必要があり、予めこの変調振幅δ0が分かっていなければならない。この発明のきっかけとなった先行の高速CD時間変化測定装置においても、図7に示したように位相子32を機械的に動かして2つの偏光状態を作り出しており、ここでもその位相子32の位相差が既知であるは必要であった。しかし、位相子32はスタティックなものであって、エリプソメトリーなどのような既知の手段によって実測可能なものであった。ところが本発明では、この変調振幅δ0は、図1のようにPEM502を構成する結晶に振動を与え、その振動からひずみを生じさせ、そのひずみが結晶に屈折率の異方性を生起し、それが直交する2つの直線偏光に位相差を与え、それが変調の強度となっているダイナミックなものである。従って、スタティックな位相差を測定するエリプソメトリーなどのような通常の手段によっては実測できない。このダイナミックな位相変調の強度(変調振幅δ0)を、実測・確定する手段がなければ、本発明は成り立たない。この点も、先行技術と決定的に違うところである。
次に、本発明の第2実施形態に係るVCD測定装置について説明する。
図4は、VCD測定装置の全体構成図である。基本的な構成は、図1の光学系の構成と共通しているが、前述の第1実施形態では、測定光として分光計からの単色光を用いるのに対して、本実施形態では、測定光として干渉計からの干渉光を用いる点で相違する。
次に、本発明のCDの測定原理が適正であることを、ジョーンズベクトル、ジョーンズ行列の手法を用いて説明する。図1の偏光子501を通過した後のY軸方向の直線偏光をジョーンズベクトルでJ1は式(8)のように表される。
次に、位相差Δのスタティックな位相子を基準試料として使って、PEMの変調振幅δ0を実測する方法の根拠を、ジョーンズベクトル、ジョーンズ行列の手法を用いて説明する。
続いて本発明による方法が感度の点で従来法に優れることを説明する。そのために、従来の偏光変調CD測定装置と本発明による偏光変調CD測定装置で検出される直流信号および交流信号を比較する。簡単のために、偏光子を通って直線偏光になったときの光の強度を1.0として、信号強度の比較を行う。また簡単のために、試料の平均の吸光度を1.0、ΔA/Aを1/1000として比較を行う。
本発明による方法では、PEMの変調振幅δ0を0.01ラジアンにするのが至適である。波数1250cm−1(波長で8μm)で、この変調振幅δ0にすると、他の波数では表3のような変調振幅δ0となる。振動円二色性測定がカバーするこれら全部の波数領域で、不感あるいは符号の反転が起きる変調振幅δ0からは十分小さく、好適な感度が得られる条件で測定ができる。
502、608、709 位相変調子(楕円偏光変調手段)
504、611、711 検光子(偏光強度測定手段)
505、612、713 検出器(偏光強度測定手段)
507、620 DCアンプ(演算手段)
508、619、717 ロックインアンプ(演算手段)
511、622、718 データ処理装置(演算手段)
720 コントロールPC(演算手段)
602 分光計
606 第2プリズム(偏光子)
702 干渉計
Claims (6)
- 直線偏光の互いに直交する2つの偏光成分間の位相差(δ)を変調して、長軸方向の一致する扁平率の大きい左右の楕円偏光を交互に形成する楕円偏光変調手段と、
被測定試料を透過した前記左右の楕円偏光から短軸方向の偏光成分を取り出して、該偏光成分の強度変化を測定する偏光強度測定手段と、
前記強度変化の直流成分(DC)、および、前記位相差の変調に同期する前記強度変化の交流成分(AC)をそれぞれ抽出して、該交流成分および該直流成分の比(AC/DC)に前記位相差の変調振幅(δ0)を掛けた値を算出して、被測定試料の円二色性を取得する演算手段と、を備え、前記楕円偏光変調手段の位相差(δ)の変調振幅(δ 0 )が、1/10ラジアン以下であることを特徴とする円二色性測定装置。 - 光源からの赤外光を固定鏡および移動鏡に向かうように2分割し、かつ、前記固定鏡および前記移動鏡からの反射光を合成して、光路差(D)の変化に応じた干渉光を形成する干渉手段と、
前記干渉光から直線偏光を取り出して、前記光路差(D)の変化よりも大きい変調周波数(f)で、前記直線偏光の互いに直交する2つの偏光成分間の位相差(δ)を変調して、長軸方向の一致する扁平率の大きい左右の楕円偏光を交互に形成する楕円偏光変調手段と、
被測定試料を透過した前記左右の楕円偏光から短軸方向の偏光成分を取り出して、該偏光成分の強度変化を測定する偏光強度測定手段と、
前記強度変化の直流成分(DC)、および、前記位相差の変調に同期する前記強度変化の交流成分(AC)をそれぞれ抽出し、該交流成分および該直流成分の比(AC/DC)を縦軸、前記光路差(D)を横軸とするインターフェログラムにフーリエ変換を施し、フーリエ変換後の値に前記位相差の変調振幅(δ0)を掛けた値を算出して、被測定試料の円二色性を取得する演算手段と、を備え、前記楕円偏光変調手段の位相差(δ)の変調振幅(δ 0 )が、1/10ラジアン以下であることを特徴とする円二色性測定装置。 - 請求項1または2記載の測定装置において、
前記楕円偏光変調手段は、入射光から直線偏光を取り出す偏光子と、前記直線偏光を変調して左右の楕円偏光を形成する位相変調子と、を含み、
前記偏光強度測定手段は、被測定試料を透過した前記左右の楕円偏光のうちの短軸方向の直線偏光を透過する検光子と、この透過した直線偏光の強度を検出する検出器と、を含み、
前記検光子は、前記偏光子に対して直交ニコルに設置されていることを特徴とする円二色性測定装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の測定装置は、所定の測定波長領域の円二色性スペクトルを取得する測定装置であって、
前記楕円偏光変調手段の位相差(δ)の変調振幅(δ0)は、前記測定波長領域の全領域で1/10ラジアン以下であることを特徴とする円二色性測定装置。 - 直線偏光の互いに直交する2つの偏光成分間の位相差(δ)を変調して、長軸方向の一致する扁平率の大きい左右の楕円偏光を交互に形成する楕円偏光変調工程と、
被測定試料を透過した前記左右の楕円偏光から短軸方向の偏光成分を取り出して、該偏光成分の強度変化を測定する偏光強度測定工程と、
前記強度変化の直流成分(DC)、および、前記位相差の変調に同期する前記強度変化の交流成分(AC)をそれぞれ抽出して、該交流成分および該直流成分の比(AC/DC)に前記位相差の変調振幅(δ0)を掛けた値を算出して、被測定試料の円二色性を取得する演算工程と、を備え、前記位相差(δ)の変調振幅(δ 0 )が、1/10ラジアン以下であることを特徴とする円二色性測定方法。 - 請求項5記載の測定方法において、
さらに、光源からの赤外光を固定鏡および移動鏡に向かうように2分割し、かつ、前記固定鏡および前記移動鏡からの反射光を合成して、光路差(D)の変化に応じた干渉光を形成する干渉光形成工程を備え、
前記楕円偏光変調工程では、前記干渉光から直線偏光を取り出して、前記光路差(D)の変化よりも大きい変調周波数(f)で、前記直線偏光の互いに直交する2つの偏光成分間の位相差(δ)を変調し、
前記演算工程では、前記強度変化の直流成分(DC)、および、前記位相差の変調に同期する前記強度変化の交流成分(AC)をそれぞれ抽出して、該交流成分および該直流成分の比(AC/DC)を縦軸、前記光路差(D)を横軸とするインターフェログラムにフーリエ変換を施し、フーリエ変換後の値に前記位相差の変調振幅(δ0)を掛けた値を算出して、被測定試料の円二色性を取得することを特徴とする円二色性測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011067514A JP5722094B2 (ja) | 2011-03-25 | 2011-03-25 | 円二色性測定装置及び円二色性測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011067514A JP5722094B2 (ja) | 2011-03-25 | 2011-03-25 | 円二色性測定装置及び円二色性測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012202812A JP2012202812A (ja) | 2012-10-22 |
JP5722094B2 true JP5722094B2 (ja) | 2015-05-20 |
Family
ID=47183984
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011067514A Active JP5722094B2 (ja) | 2011-03-25 | 2011-03-25 | 円二色性測定装置及び円二色性測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5722094B2 (ja) |
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- 2011-03-25 JP JP2011067514A patent/JP5722094B2/ja active Active
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CN110736544A (zh) * | 2019-10-08 | 2020-01-31 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及标定方法 |
CN110736544B (zh) * | 2019-10-08 | 2021-11-30 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及标定方法 |
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