JP6533632B1 - 円二色性測定装置および円二色性測定方法 - Google Patents

円二色性測定装置および円二色性測定方法 Download PDF

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Abstract

【課題】標準試料に基づく校正作業を必要としない円二色性測定装置の提供。【解決手段】試料を有する試料部4と、試料部4への入射光または試料部4からの出射光の偏光状態を変調させるPEM3と、試料部4からの出射光の光強度の変化を検出する光検出器5と、光検出器5からの検出信号を増幅させるアンプ7と、アンプ7による増幅後の検出信号をデジタル信号に変換するADコンバータ8と、ADコンバータ8からのデジタル信号を信号処理して試料の円二色性の測定値を取得するデジタル処理装置10とを備える。ADコンバータ8は、PEM3の変調周波数と同じ周波数で変化する光強度のAC成分およびDC成分を含んだ状態で増幅された検出信号をデジタル信号に変換するように構成されている。【選択図】 図1

Description

本発明は円二色性(Circular Dichroism、略してCD)の測定に関し、標準試料による校正作業を不要とするもので、円二色性の絶対的な値を測定可能な円二色性測定装置に関する。
従来のCD測定装置における標準試料を用いた校正作業の必要性について簡単に説明する。CD測定の基本に戻ると、CD測定の高感度化を妨げるネックの一つは、CDが吸光度の1/100から1/1000程度という微小な値であることである。従来のCD測定装置では、偏光変調法とロックイン増幅法を組み合わせることによって、ある程度の感度向上が達成されてきた。
偏光変調法およびロックイン増幅法を利用した従来型のCD測定装置の代表例として、特許文献1(図5)および特許文献2(図3)を挙げる。これらのCD測定装置では、AC成分の信号経路が直流成分(DC成分)の信号経路から分岐しており、AC成分の信号経路には交流アンプおよびロックインアンプがあり、DC成分の信号経路には直流アンプがある。そして、検出信号の微小な交流成分(AC成分)を検出するために、ロックインアンプに大きなゲインを設定するとともに、各々のアンプのゲインを独立に設定するようになっている。
CD値の定義によれば、検出信号のAC成分とDC成分の比から、CD値を算出することができるはずであるが、従来のCD測定装置の構成では、各々のアンプのゲインの相違により、AC成分とDC成分の比をとってもアンプ特性を示すファクタが打ち消されずに残存してしまう。その要因には、ロックインアンプのゲインが非常に大きいことも含まれている。そのため、適切な標準試料に基づく校正を行って、残存する装置ファクタを打ち消すようなゲイン調整が必要だった。
特開平11−23466号公報 特開2012−202812号公報
上述のように従来のCD測定装置は、特定の標準試料に基づく校正作業が必要であり、測定データの信頼性は、その標準試料の信頼性に依拠することになる。このような事情から、最近では標準試料に基づく校正作業を省きたいというユーザーの要望もあった。本発明の目的は、標準試料に基づく校正作業を必要としないCD測定装置の提供である。
本発明の円二色性測定装置は、試料を有する試料部と、
前記試料部への入射光または前記試料部からの出射光の偏光状態を変調させる偏光変調手段と、
前記試料部からの出射光の光強度の変化を検出する光検出手段と、
前記光検出手段からの検出信号を増幅させる増幅手段と、
前記増幅手段による増幅後の検出信号をデジタル信号に変換するAD変換手段と、
前記AD変換手段からの前記デジタル信号を信号処理して試料の円二色性の測定値を取得するデジタル処理手段と、を備え、
前記AD変換手段は、前記偏光変調手段の変調周波数と同じ周波数で変化する前記光強度の交流成分(AC成分)および直流成分(DC成分)を含んだ状態で増幅された検出信号をデジタル信号に変換するように構成されている、ことを特徴とする。
これらの構成によれば、AD変換手段には、光強度の交流成分(AC成分)および直流成分(DC成分)を含んだ状態で増幅された検出信号が入力され、デジタル処理手段によってそのデジタル信号から抽出されるAD信号中のAC成分およびAD信号中のDC成分に基づいてCD値が取得される。従って、本発明の円二色性測定装置によれば、ロックインアンプによらず、つまり、特定の標準試料に基づく校正作業を必要としないで、CD値を測定することができる。
また、本発明の円二色性測定装置において、前記デジタル処理手段は、
前記AD変換手段からの前記デジタル信号に含まれているAD信号中のAC成分(ADsignal(AC))およびAD信号中のDC成分(ADsignal(DC))をそれぞれ抽出するとともに、
前記AD信号中のAC成分をAC成分に対する当該測定装置のシステムゲイン(g1)で割り戻した値(ADsignal(AC)/g1)と、前記AD信号中のDC成分をDC成分に対する当該測定装置のシステムゲイン(g2)で割り戻した値(ADsignal(DC)/g2)の比の値( (ADsignal(AC)/ADsignal(DC))×(g2/g1) )に基づいて、前記試料の円二色性の測定値を取得するように構成されている、ことが好ましい。
また、当該測定装置のシステムゲインは、前記光検出手段から前記AD変換手段までを直線で結ぶ信号経路上に配置されたシステム構成機器の全体のゲインであり、少なくとも前記増幅手段のゲインを含んでいることが好ましい。
或いは、当該測定装置のシステムゲインは、前記光検出手段から前記AD変換手段までを直線で結ぶ信号経路上に配置されたシステム構成機器の全体のゲインであり、少なくとも前記光検出手段のゲインおよび前記増幅手段のゲインを含んでいることが好ましい。
以上の構成によれば、デジタル処理手段が、AD信号中のAC成分をAC成分に対するシステムゲインで割り戻した値と、AD信号中のDC成分をDC成分に対するシステムゲインで割り戻した値とを用いて、検出光のAC成分およびDC成分の比を算出し、CD値を取得する。従って、本発明の円二色性測定装置によれば、CD値の定義に厳密に従った測定原理に基づくCD値を測定することができる。このように測定されたCD値は、絶対的な値として、試料の評価や分析に有効に用いることができる。
また、本発明の円二色性測定装置において、前記デジタル処理手段は、
前記AD変換手段からの前記デジタル信号に含まれている前記偏光変調手段の変調の1周期毎の波形データを積算するとともに、
当該1周期分の積算波形データに基づいて、前記AD信号中のAC成分および前記AD信号中のDC成分をそれぞれ抽出するように構成されていることが好ましい。
この構成によれば、偏光変調の1周期毎の波形データを積算することによって、平均的な波形が分かり、AC成分およびDC成分のS/Nが向上する。
また、本発明の円二色性測定装置において、
前記デジタル処理手段は、前記AD変換手段からの前記デジタル信号に含まれている波形データを、基本波からn次(nは正の整数)高調波までを合成した合成波によるフィッティングを実行することによって、前記AD信号中のAC成分および前記AD信号中のDC成分をそれぞれ抽出することが好ましい。
また、本発明の円二色性測定装置において、
前記デジタル処理手段は、前記AD変換手段からの前記デジタル信号に含まれている波形データをFFT処理することによって、前記AD信号中のAC成分および前記AD信号中のDC成分をそれぞれ抽出することが好ましい。
これらの構成によれば、AD変換されたデジタル信号に対して、正弦波の基本波からn次の高調波までを合成した合成波によるフィッティングを実行する、もしくは、FFT処理などのデジタル処理を実行することによって、誤差の少ないAC成分およびDC成分の抽出が可能になる。
本発明の円二色性測定方法は、
偏光変調法に基づく試料の円二色性を測定する方法であって、
コンピュータに、増幅されデジタル信号に変換された検出信号のデジタル波形からAC成分(ADsignal(AC))およびDC成分(ADsignal(DC))を抽出させるステップと、
前記コンピュータに、光検出手段からAD変換手段までを直線で結ぶ信号経路上に配置されたシステム構成機器全体のゲインをシステムゲイン(g)として算出させるステップと、
前記コンピュータに、前記AC成分(ADsignal(AC))、前記DC成分(ADsignal(DC))および前記システムゲイン(g)に基づいて、円二色性の測定値を算出させるステップと、を含むことを特徴とする。
ここで、前記システムゲイン(g)の算出ステップは、前記コンピュータに、変調周波数と同じ周波数のAC成分に対する前記システムゲイン(g1)と、DC成分に対する前記システムゲイン(g2)とを算出させて、両者の比(g2/g1)を前記システムゲイン(g)として算出させることが好ましい。
これらの方法によれば、校正作業を不要とするCD測定をコンピュータに自動的に実行させることが可能となり、CD測定の時間短縮化を実現する。
本発明の構成によれば、AD変換手段には、光強度の交流成分(AC成分)および直流成分(DC成分)を含んだ状態で増幅された検出信号が入力され、デジタル信号処理手段が、そのデジタル信号から抽出したAD信号中のAC成分およびAD信号中のDC成分に基づいて、システム構成機器全体のゲイン(g)を使って、CD値を算出することができる。従って、ロックインアンプによらず、CD値の定義に厳密に従った測定方法によって試料のCD値を測定することができ、特定の標準試料に基づく校正作業を必要としないで、絶対的な値としてのCD値を測定することができる。
第一実施形態の円二色性(CD)測定装置の全体構成を示すブロック図。 前記CD測定装置の信号処理手段で光強度の検出信号をデジタル波形データとして取得する手順の説明図。 前記信号処理手段で具体的に処理される波形データの一例を示す図。 前記信号処理手段でのフィッティング処理を評価した結果を示す図。 第二実施形態のCD測定装置のゲイン測定手段の構成を示すブロック図。 前記ゲイン測定手段によるアンプのゲイン測定方法の説明図。 図1のCD測定装置による測定値のばらつきと、従来型CD測定装置による測定値のばらつきとの比較を示した図。
[第一実施形態]
本実施形態の円二色性(CD)測定装置の基本的な構成について図1を用いて説明する。図1のCD測定装置100は、測定光学手段として、光源ランプ1、分光器2、偏光変調子(PEM)3、試料部4および光検出器5を備え、この順に測定光の光軸上に配置されている。
光源ランプ1は、キセノンランプやハロゲンランプなど、測定波長範囲に応じたもので構成され、試料への照射光を発する。分光器2は、プリズムや回折格子を用いた各種の分光器で構成され、光源ランプ1からの照射光を分光して単色光を取り出す。PEM3は、合成石英などの光学素子が圧電素子などによって応力を付与されるように構成され、分光器2からの光の偏光状態を連続的に変化させる。試料部4は、被測定物である試料をその状態(固体、液体または気体、もしくはこれらの混合状態)に応じて保持し、または流すことが可能な試料セルなどで構成される。
また、CD測定装置100は、信号処理手段20として、PEMドライバ6、信号増幅器(アンプ)7、ADコンバータ8、HT電圧調整器9およびデジタル処理装置10を備える。
PEMドライバ6は、PEM3に対して偏光変調動作のための変調電圧を供給する。これにより、例えば、分光器2で分光された光に含まれる直線偏光は、PEM3を透過するとき位相差を与えられ、変調周波数f(市販の装置では50kHzが多い)で決まる周期で左/右に交替する円偏光となる。正確な表現を試みると、加わる位相差δ=δ・sin2πftによって偏光状態が周期的に変わる。ここで係数δは位相差の振幅である。
PEM3によって作り出された交替する左右の円偏光は、試料部4の試料を透過した後、光検出器5で検出される。試料に円二色性がある場合は、左円偏光の吸光度と右円偏光の吸光度とに差が生じるため、光検出器5で検出された光強度の変動に、PEM3の変調周波数fで変化する交流成分(AC成分)が含まれることになる。
なお、蛍光検出円二色性(FDCD)の測定装置の場合は、左右の円偏光によって励起された試料から発せられる蛍光を光検出器5が検出するような構成となる。
光検出器5で検出された光強度信号は、アンプ7で増幅された後、直流成分(DC成分)とAC成分を含んだままADコンバータ8に送られる。DC成分とAC成分の両方を含む増幅信号は、ADコンバータ8で数値化されて、デジタル信号(AD信号)としてデジタル処理装置10に取り込まれる。デジタル処理装置10では、PEMドライバ6からの参照信号に基づいてAD信号から変調周期毎の波形データが読み取られ、試料の円二色性の測定値(CD値)が算出される。
また、アンプ7からの増幅信号はHT電圧調整器9にも送られる。このHT電圧調整器9は、図示しないDCフィードバック回路およびHT電圧調整部を含んでいる。まず、アンプ7からの増幅信号はDCフィードバック回路に取り入れられ、増幅信号中のDC成分が例えば1Vの基準電圧と比較される。そして、HT電圧調整部は、増幅信号中のDC成分の出力が基準電圧と同じ例えば1Vになるように、光検出器5への印加電圧をコントロールする。これにより、検出信号を自動的に所望の信号レベルにすることができる。
図2は、CD測定装置の信号処理手段20の具体的な構成の一例である。図2を使って、光強度の検出信号をデジタル波形データとして取得する手順を詳しく説明する。
本実施形態では、光検出器5で検出された光強度信号は電流であり、プリアンプ7aで電圧に変換される。プリアンプ7aの出力電圧は、HT電圧調整器9としての高電圧電源へ、および、アンプ7bへとそれぞれ送られる。HT電圧調整器9によって、プリアンプ7aの出力電圧のDC成分に応じた高電圧が光検出器5に印加されるので、結果として、プリアンプ7aの入力電流が増幅される。
一方、アンプ7bでは、ADコンバータ8の入力スケールに合うように、プリアンプ7aの出力電圧が増幅される。
ADコンバータ8では、アンプ7bからのアナログ連続信号が数値化されて、デジタル離散信号になる。このデジタル離散信号を、本書では「AD信号」と呼ぶ。
デジタル処理回路10aは、例えばプログラマブルロジックデバイス(FPGA等)で構成され、PEMドライバ6からの変調周波数fの参照信号を使って、取り込んだAD信号から所定ビット数のデータを所定のサンプリングレート(例えば2.5MHz)で取り出し、これらのデータをPC等のコンピュータ10bに送る。コンピュータ10bは、デジタル処理回路10aからのデータを、変調周波数fの1周期毎の波形データに分けて積算する。そして、その積算波形データから1周期分の平均的な波形データを算出し、これに基づいて、円二色性の測定値を取得する。
図3に、本実施形態の測定方法において、信号処理手段20で処理される波形データの一例を示す。図3右上の波形データAは、縦軸がADコンバータ8からのAD信号の生データであり、横軸が時間(μsec)である。波形データ「A」のようにノイズを含む連続波形データからでも、AD信号中のDC成分およびAC成分を読み取ることは可能であるが、ここでは、簡便かつ精度よくDC成分およびAC成分を読み取る方法を説明する。
デジタル処理回路10aは、ADコンバータ8からのAD信号を所定のサンプリングレート(例えば2.5MHz)でサンプリングするとともに、PEMの変調周波数fと同じ周波数の参照信号「B」(図3左側)に基づき、サンプリングデータを変調周波数fの1周期毎の波形データに分けて、コンピュータ10bに送っている。コンピュータ10bが受け取る1周期毎の波形データを重ね書きして表示したものを、説明用として、図3右下の波形データ「C」に示す。コンピュータ10bは、1周期毎の波形データを積算し、平均化し、図3下側のような1周期分の積算波形データ「D」を得る。
コンピュータ10bは、さらに、図3下側の積算波形データDに対して、フィッティング処理を実行する。コンピュータ10bは、フィッティングカーブとして、基本波(例えば正弦波)からn次の高調波形までを合成した合成波形を用いる。具体的なモデル式を次式に示す。
Figure 0006533632
式(1)の係数aは、n次の高調波形のAC成分の振幅を示す。例えば、係数aは、1次波形(50kHz)のAC成分の振幅である。係数bはパラメータ、係数cはDC成分をそれぞれ表す。正の整数nは特に限定されるものではなく、n=10は一例である。
積算波形データDに対し、フィッティング処理を実行した結果を図3左下の波形データ「E」に示す。波形データEは、式(1)のAC成分を示す各項を重ね書きしたものである。最も振幅の大きい波形データ「E」が1次の基本波形に相当する。このフィッティングによって各係数が決まり、係数aから積算波形データDに含まれるAC成分(50kHz)が算出され、係数cからDC成分が算出される。
コンピュータ10bは、AC成分およびDC成分の各算出値と、システム構成機器全体のゲイン(g)とに基づいて、円二色性の測定値を算出する。
上記のフィッティング処理の評価結果を図4に示す。図4の波形「F」は、フィッティング前の積算波形データDからフィッティング後の波形データEを差し引いた値を、フィッティング前の積算波形データDの最大値からDC成分値を差し引いた値で割って得られる数値をパーセント表示したものであり、次式に示す。
Figure 0006533632
式(2)はフィッティングの残差を表し、本実施形態のフィッティング処理による残差は非常に小さく、AC成分とDC成分の各算出値の信頼性が高いことを示す。
なお、ここではAD信号中のAC成分およびDC成分の読み取りにフィッティングを行う方法を示したが、FFT処理など、AD信号からAC成分とDC成分を読み取れる処理方法であれば、そのような処理方法をフィッティングの代わりに採用しても構わない。
[本実施形態の測定方法の正当性について]
次に、本実施形態の測定方法が、CD値の定義に厳密に従った値を測定できることを数式に基づいて説明する。まず、試料の円二色性ΔAを定義に従って記述したものを次式に示す。
Figure 0006533632
円二色性ΔAは、左円偏光に対する試料の吸光度Aと、右円偏光に対する試料の吸光度Aとの差であり、式(3)のように、試料を透過した左円偏光の光強度Iと右円偏光の光強度Iとの比の常用対数で示される。光強度Iは、試料への入射光の強度である。この円二色性ΔAは無次元数であるため、通常は次式のように楕円率CD[mdeg]に変換される。
Figure 0006533632
ここで、PEMを用いた偏光変調法に基づいて、式(3)の左円偏光強度Iと右円偏光強度Iを測定する場合、これらの平均値((I+I)/2)が偏光変調法での光強度の波形中の「DC成分」に対応し、また、これらの差の半分((I−I)/2)が偏光変調法での光強度の波形中の「AC成分の最大振幅」に対応している。1次のベッセル関数J1(2πδ)のモデルを適用すると、偏光変調法での光強度Iの波形は、DC成分の項とAC成分の項の和として、次式のように示される。
Figure 0006533632
数式においては、光強度の波形中のAC成分を「AC」と表し、DC成分を「DC」と表す。これらを用いると、式(3)と式(4)は次の近似式のように表現できる。
Figure 0006533632
Figure 0006533632
つまり、光強度の検出波形データから、式(5)のモデル式を適用して、それに含まれているAC成分とDC成分を抽出できれば、CD値の測定が可能になると言える。しかし、実際には光検出器(例えばPMT)からの出力波形は、光検出器のゲインが掛けられた数値になっている。DC成分に対する光検出器のゲイン(gdc)と、AC成分(50kHz)に対する光検出器のゲイン(g50kHz)を用いると、光検出器の出力波形(Signal)は次式のようになる。
Figure 0006533632
なお、光検出器にはダイノード・フィードバックが掛かり、DC電圧が1Vになるように制御されているので、光検出器の出力波形の式(8)の「DC成分(Signal(DC))」と「AC成分(Signal(AC))」は次式のように簡潔に表される。
Figure 0006533632
さらに、ADコンバータからのデジタル波形データ(AD信号)は、アンプのゲインが掛けられた値であり、加えて、ADコンバータの変数係数GADの作用を受けた値になっている。DC成分に対するアンプのゲイン(gdc:Amp)と、AC成分(50kHz)に対するアンプのゲイン(g50kHz:Amp)を用いると、AD変換後のデジタル波形データのDC成分(ADsignal(DC))とAC成分(ADsignal(AC))は次式のようになる。
Figure 0006533632
ここで、式(10)に基づいて、試料の透過光である左円偏光の強度Iと右円偏光の強度Iの差(I−I)と和(I+I)の比をとると、ADコンバータの変数係数GADがキャンセルされて、次式となる。
Figure 0006533632
ここで、1つ目のケースとして、光検出器の出力波形のAC成分(Signal(AC))とDC成分(Signal(DC))の比に基づくCD値を取得する場合には、上記の式(9)からAC成分とDC成分の比は次式のようになる。
Figure 0006533632
これに式(11)を代入すると、光検出器のゲイン(gdcおよびg50kHz)がキャンセルされて、次式となる。つまり、アンプのゲインg =(gdc:Amp)/(g50kHz:Amp) だけが残る。光検出器の出力波形のAC成分とDC成分の比を「AC/DC」とみなす。
Figure 0006533632
また、式(4)は次式のように表現される。
Figure 0006533632
よって、ADコンバータの出力信号からDC成分(ADsignal(DC))とAC成分(ADsignal(AC))を測定し、また、アンプのゲインgを測定することによって、式(14)に基づく楕円率CDの算出が可能であると言える。
2つ目のケースとして、光検出器に入射する光強度波形IのAC成分(AC)とDC成分(DC)の比に基づいてCD値を取得する場合には、AC =(I−I)・J1(2πδ)、DC = (I+I)/2 から、AC成分とDC成分の比は次式のように表現される。
Figure 0006533632
これに式(11)を代入すると次式が得られる。つまり、光検出器およびアンプのゲインg =(gdc:Amp・gdc)/(g50kHz:Amp・g50kHz) が残る。このゲインは、光検出器からADコンバータまでの間のシステム機器全体のゲインであり、「システムゲイン」と呼ぶ。
Figure 0006533632
また、式(4)は次式のように表現される。
Figure 0006533632
よって、ADコンバータの出力信号からDC成分(ADsignal(DC))とAC成分(ADsignal(AC))を測定し、また、光検出器からADコンバータまでのシステム全体のゲインgを測定することによって、定義に厳密に従った楕円率CDの算出が可能であると言える。
[第二実施形態]
本実施形態のCD測定装置は、基本的な構成は図1に共通するが、さらに、図5に示すようなアンプのゲインを対象にしたゲイン測定手段30を備えている。ゲイン測定手段30は、発振器11と、コンピュータ10bのゲイン算出部10cとを含む。
図5の発振器11は、プリアンプ7aに対して発振信号Aを出力可能に設けられ、また、出力先を切り換えて、ADコンバータ8に対しても発振信号Bを出力可能である。発振中は、デジタル処理回路10aに向けてサンプリング用の信号を送っている。ゲイン算出部10cは、信号Aに応答して得られたデジタル波形Aと、信号Bに応答して得られたデジタル波形Bとを処理し、アンプのゲインgを算出する。
図6は、ゲイン測定手段30によるアンプのゲイン測定方法の説明図である。ゲイン測定中は、光検出器5およびPEMドライバ6を停止させておく。まず、発振器11がプリアンプ7aに対して変調周波数fと同じ周波数(例えば50kHz)の信号A(正弦波など)を出力する。ADコンバータ8は、信号Aに応じたデジタル波形データを出力し、デジタル処理回路10aは、発振器11からのサンプリング信号を用いてデジタル波形データのサンプリングを実行する。コンピュータ10bは、1周期毎の波形データを積算・平均化処理する。図6左上に、発振器11がプリアンプに信号Aを加えた場合に、コンピュータ10bが積算・平均化したデジタル波形Aを示す。さらに、コンピュータ10bは、フィッティング処理によってデジタル波形AについてのDC成分(input(DC))および50kHzのAC成分の最大振幅(input(only50kHz))を算出する。図6中央上に、フィッティング処理の結果得られた波形を示す。
次に、発振器11がADコンバータ8に対して信号Bを発振する。そして、同様の方法で、デジタル処理回路10aからのサンプリングデータに基づいて、コンピュータ10bが、1周期毎の波形データを積算・平均化処理する。図6左下に、ADコンバータ8に信号Bを加えた場合の積算・平均化したデジタル波形Bを示す。また、図6中央下に、フィッティング処理によって得られた波形を示す。フィッティング処理によって、コンピュータ10bは、デジタル波形BについてのDC成分(output(DC))および50kHzのAC成分の最大振幅(output(only50kHz))を算出する。
続いて、コンピュータ10bは、それぞれの発振信号に応じて算出したAC成分の比(g1)とDC成分の比(g2)を算出する。AC成分の比は、g1 = output(only50kHz)/input(only50kHz) で表され、50kHzのAC成分に対するアンプのゲインを示す。DC成分の比は、g2 = output(DC)/input(DC) で表され、DC成分に対するアンプのゲインを示す。最後に、コンピュータ10bは、これらのアンプのゲインの比(g2/g1)を算出し、これをCD測定用のアンプのゲイン(g)として出力または記憶手段に保存する。
なお、システムゲインとして、上記のアンプのゲインの利用に限られず、光検出器5を含めたADコンバータ8までの機器システム(光検出器、各種のアンプなど)の全体についてのシステムゲイン(g)を利用してもよい。このシステム全体のゲインを算出する場合は、光検出器5に光パルスを供給可能なパルス発振器を用いるとよい。そして、コンピュータに周波数特性の算出部を設けて、光パルスの応答波形データをデジタル処理し、システム全体の周波数特性を算出させるとよい。システム全体の周波数特性が得られれば、そこから変調周期fのAC成分に対するシステムゲイン(g1)およびDC成分に対するシステムゲイン(g2)が容易に得られ、CD値の算出に用いるシステムゲイン(g2/g1)を取得できる。
図7は、Co錯体を測定対象として、図1のCD測定装置による測定値のばらつきと、従来型CD測定装置による測定値のばらつきとの比較した結果を示す。縦軸が楕円率CDの測定値であり、横軸は10個の試料を示す。凡例に示す「CD」の比較データは、従来型の標準試料を用いて校正を行った従来型のCD測定装置の測定値を示す。測定回数は4回分である。「ORD-KK」の比較データは、従来型のORD測定結果をKK変換して得られる測定値である。「直読法」のデータは、本実施形態のCD測定装置の測定値であり、校正なしで直接楕円率を算出した結果を示す。この図から明らかなように、別法との測定値比較において同等の結果が得られ、正当な測定法であることが確認できている。
それぞれの実施形態のCD測定装置の効果について説明する。
図1のCD測定装置100は、PEM(偏光変調手段)3の変調周波数と同じ周波数で変化する光強度のAC成分およびDC成分の両方を含んだ検出信号が共通のアンプ7で増幅され、その増幅された検出信号がADコンバータ8によってデジタル信号(AD信号)に変換されるように構成されている。そして、デジタル処理装置10において、そのAD信号から抽出されるAC成分およびDC成分に基づいて、CD値が取得される。従って、本実施形態のCD測定装置によれば、ロックインアンプによらず、つまり、特定の標準試料に基づく校正作業を必要としないで、CD値を測定することができる。
また、デジタル処理装置10が、AD信号から抽出されたAC成分を、AC成分に対するシステムゲイン(g1)で割り戻した値と、同様にAD信号から抽出されたDC成分を、DC成分に対するシステムゲイン(g2)で割り戻した値とを用いて、検出光のAC成分およびDC成分の比を算出し、CD値を取得する。従って、本実施形態のCD測定装置100によれば、CD測定の定義に厳密に従った測定原理によるCD値を測定することができる。
従来、標準試料として用いられている化学物質標準は、純度に起因するばらつきがあり、基準値を不確かさ込みで規定することが困難であった。これに対し、本実施形態のCD測定方法で得られたCD値は、不確かさ(誤差)込みで評価することが可能で、また、不確かさの補正をすることもできるようになった。これにより、標準試料の値付け、較正が可能となる。
光検出器5からのAC成分およびDC成分を含んだ信号波形が、同じ信号経路を同時にADコンバータ8まで送られるので、それぞれの成分に同じファクタが掛かることになる。そのため、成分の比をとることで、これらのファクタがキャンセルされる。しかし、AC成分とDC成分の周波数の違いから、システムの周波数特性に依存する誤差については、成分の比をとるだけでは取り除くことができない。本実施形態のCD測定方法によれば、発振信号や光パルスなどによってインパルス応答を測定することにより、システム構成機器全体のゲインをシステムゲイン(g)として算出し、このシステムゲイン(g)を用いて、システムの周波数特性に依存する誤差についても取り除くことに成功した。
本実施形態の変形例としては、まず、PEMの配置は、図1のような試料部4の前段に限られず、試料部4から光検出器5までの光路上であってもよい。測定光学手段を構成するPEM以外の光学素子についても、図1の配置に限られず、測定条件に応じた配置が採用される。
なお、本発明の円二色性測定装置は、CD測定に限られず、直線二色性(LD)、蛍光検出円二色性(FDCD)、蛍光検出直線二色性(FDLD)等の様々な偏光二色性の測定も可能であり、本実施形態の測定装置の構成および測定方法をこれらの測定に適用できる。
また、本発明の円二色性測定装置は、紫外から近赤外領域までの円二色性を測定する図1のタイプのものに限らず、赤外域での振動円偏光二色性(VCD)測定の装置にも適用できる。VCD測定の場合は分光器としてマイケルソン干渉計を用いて、光検出器には赤外光の検出に適したMCT検出器などを用いる。
3 PEM(偏光変調手段)
4 試料部
5 光検出器(光検出手段)
6 PEMドライバ
7 アンプ(増幅手段)
8 ADコンバータ(AD変換手段)
10 デジタル処理装置(デジタル処理手段)
10c ゲイン算出部
11 発振器
20 信号処理手段
30 ゲイン測定手段
100 CD測定装置

Claims (9)

  1. 試料を有する試料部と、
    前記試料部への入射光または前記試料部からの出射光の偏光状態を変調させる偏光変調手段と、
    前記試料部からの出射光の光強度の変化を検出する光検出手段と、
    前記光検出手段からの検出信号を増幅させる増幅手段と、
    前記増幅手段による増幅後の検出信号をデジタル信号に変換するAD変換手段と、
    前記AD変換手段からの前記デジタル信号を信号処理して試料の円二色性の測定値を取得するデジタル処理手段と、を備え、
    前記AD変換手段は、前記偏光変調手段の変調周波数と同じ周波数で変化する前記光強度の交流成分(AC成分)および直流成分(DC成分)を含んだ状態で増幅された検出信号をデジタル信号に変換するように構成されている、
    ことを特徴とする円二色性測定装置。
  2. 請求項1記載の測定装置において、
    前記デジタル処理手段は、
    前記AD変換手段からの前記デジタル信号に含まれているAD信号中のAC成分(ADsignal(AC))およびAD信号中のDC成分(ADsignal(DC))をそれぞれ抽出するとともに、
    前記AD信号中のAC成分をAC成分に対する当該測定装置のシステムゲイン(g1)で割り戻した値(ADsignal(AC)/g1)と、前記AD信号中のDC成分をDC成分に対する当該測定装置のシステムゲイン(g2)で割り戻した値(ADsignal(DC)/g2)の比の値( (ADsignal(AC)/ADsignal(DC))×(g2/g1) )に基づいて、前記試料の円二色性の測定値を取得するように構成されている、ことを特徴とする円二色性測定装置。
  3. 請求項2記載の測定装置において、
    当該測定装置のシステムゲインは、前記光検出手段から前記AD変換手段までを直線で結ぶ信号経路上に配置されたシステム構成機器の全体のゲインであり、少なくとも前記増幅手段のゲインを含んでいることを特徴とする円二色性測定装置。
  4. 請求項2記載の測定装置において、
    当該測定装置のシステムゲインは、前記光検出手段から前記AD変換手段までを直線で結ぶ信号経路上に配置されたシステム構成機器の全体のゲインであり、少なくとも前記光検出手段のゲインおよび前記増幅手段のゲインを含んでいることを特徴とする円二色性測定装置。
  5. 請求項1から4のいずれかに記載の測定装置において、
    前記デジタル処理手段は、
    前記AD変換手段からの前記デジタル信号に含まれている前記偏光変調手段の変調の1周期毎の波形データを積算するとともに、
    当該1周期分の積算波形データに基づいて、前記AD信号中のAC成分および前記AD信号中のDC成分をそれぞれ抽出するように構成されていることを特徴とする円二色性測定装置。
  6. 請求項1から5のいずれかに記載の測定装置において、
    前記デジタル処理手段は、前記AD変換手段からの前記デジタル信号に含まれている波形データを、基本波からn次(nは正の整数)高調波までを合成した合成波によるフィッティングを実行することによって、前記AD信号中のAC成分および前記AD信号中のDC成分をそれぞれ抽出することを特徴とする円二色性測定装置。
  7. 請求項1から5のいずれかに記載の測定装置において、
    前記デジタル処理手段は、前記AD変換手段からの前記デジタル信号に含まれている波形データをFFT処理することによって、前記AD信号中のAC成分および前記AD信号中のDC成分をそれぞれ抽出することを特徴とする円二色性測定装置。
  8. 偏光変調法に基づく試料の円二色性を測定する方法であって、
    コンピュータに、増幅されデジタル信号に変換された検出信号のデジタル波形からAC成分(ADsignal(AC))およびDC成分(ADsignal(DC))を抽出させるステップと、
    前記コンピュータに、光検出手段からAD変換手段までを直線で結ぶ信号経路上に配置されたシステム構成機器全体のゲインをシステムゲイン(g)として算出させるステップと、
    前記コンピュータに、前記AC成分(ADsignal(AC))、前記DC成分(ADsignal(DC))および前記システムゲイン(g)に基づいて、円二色性の測定値を算出させるステップと、を含むことを特徴とする円二色性測定方法。
  9. 請求項8記載の測定方法において、
    前記システムゲイン(g)の算出ステップは、前記コンピュータに、変調周波数と同じ周波数のAC成分に対する前記システムゲイン(g1)と、DC成分に対する前記システムゲイン(g2)とを算出させて、両者の比(g2/g1)を前記システムゲイン(g)として算出させることを特徴とする円二色性測定方法。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7170367B2 (ja) * 2020-09-28 2022-11-14 日本分光株式会社 赤外域の円二色性測定装置
CN116897279A (zh) * 2021-02-25 2023-10-17 大学共同利用机关法人自然科学研究机构 圆偏振光照射器、分析装置以及显微镜
AT525942B1 (de) * 2022-03-11 2024-10-15 Univ Wien Tech Verfahren und Vorrichtung zur VCD-Analyse eines Analyten

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1506332A (fr) * 1966-05-26 1967-12-22 Centre Nat Rech Scient Appareil de mesure et d'entregistrement du dichroïsme circulaire
CA979638A (en) 1972-05-15 1975-12-16 Varian Associates Polarization interferometer with beam polarizing and retarding means
US5243407A (en) * 1986-11-12 1993-09-07 Measurex Corporation On-line paper sheet formation characterizing method and device
JPH0772700B2 (ja) * 1991-07-05 1995-08-02 日本分光株式会社 位相差制御装置及び方法
JPH0653779A (ja) * 1992-07-30 1994-02-25 Hioki Ee Corp 交流信号中の直流信号抽出方法および同直流信号の除去方法
EP0626819A4 (en) * 1992-12-10 1996-10-23 Sunshine Med Instr Inc Non-invasive blood glucose measurement.
JP3341928B2 (ja) * 1993-04-30 2002-11-05 日本分光株式会社 二色性分散計
JP3745881B2 (ja) * 1997-07-03 2006-02-15 日本分光株式会社 円二色性蛍光励起スペクトル測定装置
JP3778320B2 (ja) 1997-07-30 2006-05-24 日本分光株式会社 円二色性蛍光励起スペクトル測定装置
US6025913A (en) * 1997-08-08 2000-02-15 Bio-Rad Laboratories Digital signal processing (DSP) techniques for FT-IR multiple modulation measurements using a photoelastic modulator
JP4026939B2 (ja) * 1997-11-14 2007-12-26 日本分光株式会社 Hplc用円二色性検出器
JP4117714B2 (ja) * 1999-01-11 2008-07-16 日本分光株式会社 フーリエ変換型赤外円偏光二色性装置
JP3940235B2 (ja) * 1999-01-27 2007-07-04 日本分光株式会社 偏光変調蛍光測定装置
JP4278783B2 (ja) * 1999-06-28 2009-06-17 日本分光株式会社 Hplc用円二色性検出器
JP2004020539A (ja) 2002-06-20 2004-01-22 Jasco Corp 赤外円二色性測定装置および赤外円二色性測定方法
GB0302378D0 (en) * 2003-02-01 2003-03-05 Council Cent Lab Res Councils Detection system
JP5722094B2 (ja) * 2011-03-25 2015-05-20 日本分光株式会社 円二色性測定装置及び円二色性測定方法
JP5926953B2 (ja) 2011-12-28 2016-05-25 日本分光株式会社 偏光解消板およびこれを用いた円二色性分光装置
JP6184141B2 (ja) * 2013-03-21 2017-08-23 日本分光株式会社 光弾性変調器の変調信号検出装置
JP6306438B2 (ja) 2014-06-02 2018-04-04 浜松ホトニクス株式会社 円二色性計測方法及び円二色性計測装置
JP2017207285A (ja) * 2016-05-16 2017-11-24 日置電機株式会社 ゼロレベル検出装置、ゼロレベル検出方法およびコイル試験装置
IT201600130209A1 (it) 2016-12-22 2018-06-22 Milano Politecnico Apparato per misurare attività ottica e/o anisotropia ottica

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