JP6533632B1 - 円二色性測定装置および円二色性測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記試料部への入射光または前記試料部からの出射光の偏光状態を変調させる偏光変調手段と、
前記試料部からの出射光の光強度の変化を検出する光検出手段と、
前記光検出手段からの検出信号を増幅させる増幅手段と、
前記増幅手段による増幅後の検出信号をデジタル信号に変換するAD変換手段と、
前記AD変換手段からの前記デジタル信号を信号処理して試料の円二色性の測定値を取得するデジタル処理手段と、を備え、
前記AD変換手段は、前記偏光変調手段の変調周波数と同じ周波数で変化する前記光強度の交流成分(AC成分)および直流成分(DC成分)を含んだ状態で増幅された検出信号をデジタル信号に変換するように構成されている、ことを特徴とする。
前記AD変換手段からの前記デジタル信号に含まれているAD信号中のAC成分(ADsignal(AC))およびAD信号中のDC成分(ADsignal(DC))をそれぞれ抽出するとともに、
前記AD信号中のAC成分をAC成分に対する当該測定装置のシステムゲイン(g1)で割り戻した値(ADsignal(AC)/g1)と、前記AD信号中のDC成分をDC成分に対する当該測定装置のシステムゲイン(g2)で割り戻した値(ADsignal(DC)/g2)の比の値( (ADsignal(AC)/ADsignal(DC))×(g2/g1) )に基づいて、前記試料の円二色性の測定値を取得するように構成されている、ことが好ましい。
前記AD変換手段からの前記デジタル信号に含まれている前記偏光変調手段の変調の1周期毎の波形データを積算するとともに、
当該1周期分の積算波形データに基づいて、前記AD信号中のAC成分および前記AD信号中のDC成分をそれぞれ抽出するように構成されていることが好ましい。
前記デジタル処理手段は、前記AD変換手段からの前記デジタル信号に含まれている波形データを、基本波からn次(nは正の整数)高調波までを合成した合成波によるフィッティングを実行することによって、前記AD信号中のAC成分および前記AD信号中のDC成分をそれぞれ抽出することが好ましい。
前記デジタル処理手段は、前記AD変換手段からの前記デジタル信号に含まれている波形データをFFT処理することによって、前記AD信号中のAC成分および前記AD信号中のDC成分をそれぞれ抽出することが好ましい。
偏光変調法に基づく試料の円二色性を測定する方法であって、
コンピュータに、増幅されデジタル信号に変換された検出信号のデジタル波形からAC成分(ADsignal(AC))およびDC成分(ADsignal(DC))を抽出させるステップと、
前記コンピュータに、光検出手段からAD変換手段までを直線で結ぶ信号経路上に配置されたシステム構成機器全体のゲインをシステムゲイン(g)として算出させるステップと、
前記コンピュータに、前記AC成分(ADsignal(AC))、前記DC成分(ADsignal(DC))および前記システムゲイン(g)に基づいて、円二色性の測定値を算出させるステップと、を含むことを特徴とする。
本実施形態の円二色性(CD)測定装置の基本的な構成について図1を用いて説明する。図1のCD測定装置100は、測定光学手段として、光源ランプ1、分光器2、偏光変調子(PEM)3、試料部4および光検出器5を備え、この順に測定光の光軸上に配置されている。
なお、ここではAD信号中のAC成分およびDC成分の読み取りにフィッティングを行う方法を示したが、FFT処理など、AD信号からAC成分とDC成分を読み取れる処理方法であれば、そのような処理方法をフィッティングの代わりに採用しても構わない。
次に、本実施形態の測定方法が、CD値の定義に厳密に従った値を測定できることを数式に基づいて説明する。まず、試料の円二色性ΔAを定義に従って記述したものを次式に示す。
本実施形態のCD測定装置は、基本的な構成は図1に共通するが、さらに、図5に示すようなアンプのゲインを対象にしたゲイン測定手段30を備えている。ゲイン測定手段30は、発振器11と、コンピュータ10bのゲイン算出部10cとを含む。
4 試料部
5 光検出器(光検出手段)
6 PEMドライバ
7 アンプ(増幅手段)
8 ADコンバータ(AD変換手段)
10 デジタル処理装置(デジタル処理手段)
10c ゲイン算出部
11 発振器
20 信号処理手段
30 ゲイン測定手段
100 CD測定装置
Claims (9)
- 試料を有する試料部と、
前記試料部への入射光または前記試料部からの出射光の偏光状態を変調させる偏光変調手段と、
前記試料部からの出射光の光強度の変化を検出する光検出手段と、
前記光検出手段からの検出信号を増幅させる増幅手段と、
前記増幅手段による増幅後の検出信号をデジタル信号に変換するAD変換手段と、
前記AD変換手段からの前記デジタル信号を信号処理して試料の円二色性の測定値を取得するデジタル処理手段と、を備え、
前記AD変換手段は、前記偏光変調手段の変調周波数と同じ周波数で変化する前記光強度の交流成分(AC成分)および直流成分(DC成分)を含んだ状態で増幅された検出信号をデジタル信号に変換するように構成されている、
ことを特徴とする円二色性測定装置。 - 請求項1記載の測定装置において、
前記デジタル処理手段は、
前記AD変換手段からの前記デジタル信号に含まれているAD信号中のAC成分(ADsignal(AC))およびAD信号中のDC成分(ADsignal(DC))をそれぞれ抽出するとともに、
前記AD信号中のAC成分をAC成分に対する当該測定装置のシステムゲイン(g1)で割り戻した値(ADsignal(AC)/g1)と、前記AD信号中のDC成分をDC成分に対する当該測定装置のシステムゲイン(g2)で割り戻した値(ADsignal(DC)/g2)の比の値( (ADsignal(AC)/ADsignal(DC))×(g2/g1) )に基づいて、前記試料の円二色性の測定値を取得するように構成されている、ことを特徴とする円二色性測定装置。 - 請求項2記載の測定装置において、
当該測定装置のシステムゲインは、前記光検出手段から前記AD変換手段までを直線で結ぶ信号経路上に配置されたシステム構成機器の全体のゲインであり、少なくとも前記増幅手段のゲインを含んでいることを特徴とする円二色性測定装置。 - 請求項2記載の測定装置において、
当該測定装置のシステムゲインは、前記光検出手段から前記AD変換手段までを直線で結ぶ信号経路上に配置されたシステム構成機器の全体のゲインであり、少なくとも前記光検出手段のゲインおよび前記増幅手段のゲインを含んでいることを特徴とする円二色性測定装置。 - 請求項1から4のいずれかに記載の測定装置において、
前記デジタル処理手段は、
前記AD変換手段からの前記デジタル信号に含まれている前記偏光変調手段の変調の1周期毎の波形データを積算するとともに、
当該1周期分の積算波形データに基づいて、前記AD信号中のAC成分および前記AD信号中のDC成分をそれぞれ抽出するように構成されていることを特徴とする円二色性測定装置。 - 請求項1から5のいずれかに記載の測定装置において、
前記デジタル処理手段は、前記AD変換手段からの前記デジタル信号に含まれている波形データを、基本波からn次(nは正の整数)高調波までを合成した合成波によるフィッティングを実行することによって、前記AD信号中のAC成分および前記AD信号中のDC成分をそれぞれ抽出することを特徴とする円二色性測定装置。 - 請求項1から5のいずれかに記載の測定装置において、
前記デジタル処理手段は、前記AD変換手段からの前記デジタル信号に含まれている波形データをFFT処理することによって、前記AD信号中のAC成分および前記AD信号中のDC成分をそれぞれ抽出することを特徴とする円二色性測定装置。 - 偏光変調法に基づく試料の円二色性を測定する方法であって、
コンピュータに、増幅されデジタル信号に変換された検出信号のデジタル波形からAC成分(ADsignal(AC))およびDC成分(ADsignal(DC))を抽出させるステップと、
前記コンピュータに、光検出手段からAD変換手段までを直線で結ぶ信号経路上に配置されたシステム構成機器全体のゲインをシステムゲイン(g)として算出させるステップと、
前記コンピュータに、前記AC成分(ADsignal(AC))、前記DC成分(ADsignal(DC))および前記システムゲイン(g)に基づいて、円二色性の測定値を算出させるステップと、を含むことを特徴とする円二色性測定方法。 - 請求項8記載の測定方法において、
前記システムゲイン(g)の算出ステップは、前記コンピュータに、変調周波数と同じ周波数のAC成分に対する前記システムゲイン(g1)と、DC成分に対する前記システムゲイン(g2)とを算出させて、両者の比(g2/g1)を前記システムゲイン(g)として算出させることを特徴とする円二色性測定方法。
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