JP2002365221A - 光透過性光学膜の欠陥検査方法および同装置 - Google Patents
光透過性光学膜の欠陥検査方法および同装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 液晶テレビやディスプレイで使用される光透
過性光学膜の欠陥部の有無を容易に検査することができ
るようにする。 【解決手段】 蛍光ランプ等の光源１からの光Ｌａを、
光透過部３と半遮光部を含む遮光部４を交互に設けた光
拡散フィルター２を透過させて、液晶表示装置等に用い
られる光透過性光学膜５に照射し、その反射光Ｌｂを目
視Ｅ等により調べ、暗部帯７に浮かぶ異常反射光８の発
生によって、前記光透過性光学膜５の欠陥部６の有無を
検査する。
過性光学膜の欠陥部の有無を容易に検査することができ
るようにする。 【解決手段】 蛍光ランプ等の光源１からの光Ｌａを、
光透過部３と半遮光部を含む遮光部４を交互に設けた光
拡散フィルター２を透過させて、液晶表示装置等に用い
られる光透過性光学膜５に照射し、その反射光Ｌｂを目
視Ｅ等により調べ、暗部帯７に浮かぶ異常反射光８の発
生によって、前記光透過性光学膜５の欠陥部６の有無を
検査する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 この発明は、液晶表示装置
等に使用される透過性光学膜の内部に存在する欠陥部
を、容易に目視で検出することのできる欠陥検査方法と
同装置および同方法で検査した光透過性光学膜に関す
る。
等に使用される透過性光学膜の内部に存在する欠陥部
を、容易に目視で検出することのできる欠陥検査方法と
同装置および同方法で検査した光透過性光学膜に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】 従来、液晶テレビや液晶ディスプレイ
等の液晶表示装置等に用いられる光透過性光学膜に存在
する欠陥部を検出するには、図１に示すように、蛍光燈
等の光Ｌａを当該光透過性光学膜５に照射し、作業者が
その反射光Ｌｂを目視Ｅして経験に基づいた視覚判断に
よって行なっている。
等の液晶表示装置等に用いられる光透過性光学膜に存在
する欠陥部を検出するには、図１に示すように、蛍光燈
等の光Ｌａを当該光透過性光学膜５に照射し、作業者が
その反射光Ｌｂを目視Ｅして経験に基づいた視覚判断に
よって行なっている。
【０００３】光透過性光学膜５は、その内部に光学的な
欠陥部６が存在すると（図３参照）、本来意図した表示
機能が損なわれる。そのため一定以上の大きさの欠陥部
６が存在する光透過性光学膜５を排除するため目視検査
等で欠陥検査を行っている。この欠陥部６は光学膜５の
内部に存在するが、多くの場合１００μｍ前後の大きさ
のものが多く、かつ透明の場合が多い。
欠陥部６が存在すると（図３参照）、本来意図した表示
機能が損なわれる。そのため一定以上の大きさの欠陥部
６が存在する光透過性光学膜５を排除するため目視検査
等で欠陥検査を行っている。この欠陥部６は光学膜５の
内部に存在するが、多くの場合１００μｍ前後の大きさ
のものが多く、かつ透明の場合が多い。
【０００４】透過性光学膜５を用いた液晶表示装置等が
完成した状態では、当該光透過性光学膜５の欠陥部６は
表示欠陥部分として判別できるが、この完成段階で判別
が行われるのはコスト上の損失が大きく現実的ではな
い。従って、光透過性光学膜５を単体で検査する必要が
ある。
完成した状態では、当該光透過性光学膜５の欠陥部６は
表示欠陥部分として判別できるが、この完成段階で判別
が行われるのはコスト上の損失が大きく現実的ではな
い。従って、光透過性光学膜５を単体で検査する必要が
ある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】 この従来の検査方法
において、蛍光燈等の光源１から照射された光は光透過
性光学膜５の表面や界面で反射されるが、欠陥部６の存
在しない箇所は正常な反射が行われる。逆に、欠陥部６
が存在する場合は周囲とは光学特性が異なるために、位
相のずれた反射や乱反射といった異常反射を起こす。
において、蛍光燈等の光源１から照射された光は光透過
性光学膜５の表面や界面で反射されるが、欠陥部６の存
在しない箇所は正常な反射が行われる。逆に、欠陥部６
が存在する場合は周囲とは光学特性が異なるために、位
相のずれた反射や乱反射といった異常反射を起こす。
【０００６】しかしながら、この従来技術においては、
均一な照明での反射光を利用した検査であるため、微小
な欠陥部６によって起こる異常反射は全体の均一反射光
Ｌｂにかき消されることとなって光のコントラストが弱
く、従って正確に検知するのは容易ではない。
均一な照明での反射光を利用した検査であるため、微小
な欠陥部６によって起こる異常反射は全体の均一反射光
Ｌｂにかき消されることとなって光のコントラストが弱
く、従って正確に検知するのは容易ではない。
【０００７】本発明はこうした点に鑑み創案されたもの
で、容易に光透過性光学膜５の欠陥部６の有無を検査す
ることができる方法と装置および当該方法によって検査
された光透過性光学膜を提供することを課題とする。
で、容易に光透過性光学膜５の欠陥部６の有無を検査す
ることができる方法と装置および当該方法によって検査
された光透過性光学膜を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】 図２乃至図５を参照し
て説明する。本発明に係る光透過性光学膜の欠陥検査方
法は、蛍光ランプ等の光源１からの入射光Ｌａを、光透
過部３と半遮光部を含む遮光部４を交互に設けた光拡散
フィルター２を透過させて光透過性光学膜５に照射し、
その反射光Ｌｂを目視等により調べ、暗部帯７に浮かぶ
異常反射光８の発生によって前記光透過性光学膜５の欠
陥部６の有無を検査するものである。
て説明する。本発明に係る光透過性光学膜の欠陥検査方
法は、蛍光ランプ等の光源１からの入射光Ｌａを、光透
過部３と半遮光部を含む遮光部４を交互に設けた光拡散
フィルター２を透過させて光透過性光学膜５に照射し、
その反射光Ｌｂを目視等により調べ、暗部帯７に浮かぶ
異常反射光８の発生によって前記光透過性光学膜５の欠
陥部６の有無を検査するものである。
【０００９】また、本発明に係る光透過性光学膜の欠陥
検査装置は、蛍光ランプ等の光源１からの光を光拡散フ
ィルター２を透過させて光透過性光学膜５に照射し、そ
の反射光Ｌｂを目視Ｅ等により調べ暗部帯７に浮かぶ異
常反射光８の発生によって前記光透過性光学膜５の欠陥
部６の有無を検査する装置であり、前記光拡散フィルタ
ー２に、光透過部３と半遮光部を含む遮光部４を交互に
設けたものである。
検査装置は、蛍光ランプ等の光源１からの光を光拡散フ
ィルター２を透過させて光透過性光学膜５に照射し、そ
の反射光Ｌｂを目視Ｅ等により調べ暗部帯７に浮かぶ異
常反射光８の発生によって前記光透過性光学膜５の欠陥
部６の有無を検査する装置であり、前記光拡散フィルタ
ー２に、光透過部３と半遮光部を含む遮光部４を交互に
設けたものである。
【００１０】なお、この検査装置において、光拡散フィ
ルター２に交互に設けた光透過部３と半遮光部を含む遮
光部４は、相互に平行または格子状とし、その間隔は一
定、あるいは連続的に変化するものとすることができ
る。
ルター２に交互に設けた光透過部３と半遮光部を含む遮
光部４は、相互に平行または格子状とし、その間隔は一
定、あるいは連続的に変化するものとすることができ
る。
【００１１】また、本発明に係る光透過性光学膜５は、
前記した光透過性光学膜の欠陥検査方法で検査が行われ
たものであり、当該光透過性光学膜５には偏光膜を含
む。
前記した光透過性光学膜の欠陥検査方法で検査が行われ
たものであり、当該光透過性光学膜５には偏光膜を含
む。
【００１２】
【発明の実施の形態】 本発明に係る光透過性光学膜の
欠陥検査方法の実施形態を、図２乃至図５を参照して説
明する。この欠陥検査方法は、液晶テレビ等に使用する
光透過性光学膜５の内部に存在する欠陥部６を検査する
ものである。そのため、蛍光ランプである光源１からの
光Ｌａを、光透過部３と遮光部４を交互に設けた光拡散
フィルター２を透過させて光透過性光学膜５に照射して
いる。そして、作業者が、その反射光Ｌｂを目視Ｅして
当該光透過性光学膜５の欠陥部６の有無を検査する。な
お、この光拡散フィルター２は、乳白色のアクリル樹脂
板で構成している。
欠陥検査方法の実施形態を、図２乃至図５を参照して説
明する。この欠陥検査方法は、液晶テレビ等に使用する
光透過性光学膜５の内部に存在する欠陥部６を検査する
ものである。そのため、蛍光ランプである光源１からの
光Ｌａを、光透過部３と遮光部４を交互に設けた光拡散
フィルター２を透過させて光透過性光学膜５に照射して
いる。そして、作業者が、その反射光Ｌｂを目視Ｅして
当該光透過性光学膜５の欠陥部６の有無を検査する。な
お、この光拡散フィルター２は、乳白色のアクリル樹脂
板で構成している。
【００１３】この検査は、次の理由から正確に行われ
る。すなわち、光源１から照射された光は光透過性光学
膜５の表面や界面で反射されるが、欠陥部６のない部分
では均一な反射が行われる。しかし、欠陥部６が存在す
る部分は周囲とは光学特性が異なることから、位相のず
れた反射や乱反射といった異常反射８となる。この異常
反射８を周囲とは異なった見え方に処理できれば欠陥部
６の有無を容易に認識できるわけであり、異常反射８を
検知し易くするためには周囲からの反射で見え難くなる
こと防止すればよいわけである。
る。すなわち、光源１から照射された光は光透過性光学
膜５の表面や界面で反射されるが、欠陥部６のない部分
では均一な反射が行われる。しかし、欠陥部６が存在す
る部分は周囲とは光学特性が異なることから、位相のず
れた反射や乱反射といった異常反射８となる。この異常
反射８を周囲とは異なった見え方に処理できれば欠陥部
６の有無を容易に認識できるわけであり、異常反射８を
検知し易くするためには周囲からの反射で見え難くなる
こと防止すればよいわけである。
【００１４】本発明では、こうした認識に基づき、光源
１と光透過性光学膜５との間に設けた光拡散フィルター
２に光透過部３と遮光部４を交互に設けている。この遮
光部４は、半透明の半遮光部としても良い。これによ
り、欠陥部６が存在しない正常反射部分においては、光
拡散フィルター２の光透過部３を通過した光Ｌａが反射
Ｌｂして明るく見え、遮光部４は暗く見える。一方、欠
陥部６が存在する部分の反射は、乱反射して反射角度が
ずれたり位相のずれたりといった異常反射が起きる。
１と光透過性光学膜５との間に設けた光拡散フィルター
２に光透過部３と遮光部４を交互に設けている。この遮
光部４は、半透明の半遮光部としても良い。これによ
り、欠陥部６が存在しない正常反射部分においては、光
拡散フィルター２の光透過部３を通過した光Ｌａが反射
Ｌｂして明るく見え、遮光部４は暗く見える。一方、欠
陥部６が存在する部分の反射は、乱反射して反射角度が
ずれたり位相のずれたりといった異常反射が起きる。
【００１５】このため正常反射している部分では暗く見
える部分が、欠陥部６が存在している部分では、暗く見
えるはずの暗部帯７に明るいスポットが発生することに
なる。すなわち、図３において、遮光部４によって暗く
見える部分である暗部帯７に、欠陥部６で反射した異常
反射光８が侵入してスポットが発生する。これにより、
目視Ｅで容易に確認できる光のコントラストが得られ、
欠陥部６の存在を確実に検知することができる。
える部分が、欠陥部６が存在している部分では、暗く見
えるはずの暗部帯７に明るいスポットが発生することに
なる。すなわち、図３において、遮光部４によって暗く
見える部分である暗部帯７に、欠陥部６で反射した異常
反射光８が侵入してスポットが発生する。これにより、
目視Ｅで容易に確認できる光のコントラストが得られ、
欠陥部６の存在を確実に検知することができる。
【００１６】なお、本発明においては、光拡散フィルタ
ー２に交互に設ける光透過部３と遮光部４の形状や寸法
は欠陥部６の大きさに適したものを実験等で容易に決定
できる。例えば、１ｍｍピッチの平行パターンや格子パ
ターンを採用することができる。なお、ピッチは図４に
示すように均一でもよいが、図５に示すように連続的に
変化させて不均一にすることもできる。
ー２に交互に設ける光透過部３と遮光部４の形状や寸法
は欠陥部６の大きさに適したものを実験等で容易に決定
できる。例えば、１ｍｍピッチの平行パターンや格子パ
ターンを採用することができる。なお、ピッチは図４に
示すように均一でもよいが、図５に示すように連続的に
変化させて不均一にすることもできる。
【００１７】このような装置を使用した方法で検査した
本発明に係る光透過性光学膜５には、欠陥部６が存在せ
ず、従って液晶表示装置等の品質向上に貢献する。な
お、この光透過性光学膜５には、一定の方向に振動する
光だけを通過させ、それに直交する方向に振動する光は
遮って通過させない性質を有する偏光膜を含む。
本発明に係る光透過性光学膜５には、欠陥部６が存在せ
ず、従って液晶表示装置等の品質向上に貢献する。な
お、この光透過性光学膜５には、一定の方向に振動する
光だけを通過させ、それに直交する方向に振動する光は
遮って通過させない性質を有する偏光膜を含む。
【００１８】
【発明の効果】 請求項１に記載の光透過性光学膜の欠
陥検査方法は、光源１からの光Ｌａを、光透過部３と遮
光部４を交互に設けた光拡散フィルター２を透過させて
光透過性光学膜５に照射し、その反射光Ｌｂを調べて暗
部帯７に浮かぶ異常反射光８の発生によって前記光透過
性光学膜５の欠陥部６の有無を検査するので、目視Ｅで
容易に確認できる光のコントラストを得ることができ、
欠陥部６の存在を確実に検知することができる。従っ
て、熟練と時間を要しても完全な検査が困難な光透過性
光学膜５を容易に生産でき、品質の大幅な向上と生産コ
ストの削減を図ることができる。
陥検査方法は、光源１からの光Ｌａを、光透過部３と遮
光部４を交互に設けた光拡散フィルター２を透過させて
光透過性光学膜５に照射し、その反射光Ｌｂを調べて暗
部帯７に浮かぶ異常反射光８の発生によって前記光透過
性光学膜５の欠陥部６の有無を検査するので、目視Ｅで
容易に確認できる光のコントラストを得ることができ、
欠陥部６の存在を確実に検知することができる。従っ
て、熟練と時間を要しても完全な検査が困難な光透過性
光学膜５を容易に生産でき、品質の大幅な向上と生産コ
ストの削減を図ることができる。
【００１９】請求項２に記載の光透過性光学膜の欠陥検
査装置は、光源１と光透過性光学膜５との間に設けた光
拡散フィルター２に、光透過部３と遮光部４を交互に設
けたので、光のコントラストにより、欠陥部６の存在を
調べ暗部帯７に浮かぶ異常反射光８の発生によって確実
に検知することができる。これにより、熟練と時間を要
しても完全な検査が困難な光透過性光学膜５を容易に生
産でき、品質の向上を図り、生産コストを削減すること
ができる。
査装置は、光源１と光透過性光学膜５との間に設けた光
拡散フィルター２に、光透過部３と遮光部４を交互に設
けたので、光のコントラストにより、欠陥部６の存在を
調べ暗部帯７に浮かぶ異常反射光８の発生によって確実
に検知することができる。これにより、熟練と時間を要
しても完全な検査が困難な光透過性光学膜５を容易に生
産でき、品質の向上を図り、生産コストを削減すること
ができる。
【００２０】請求項３に記載の光透過性光学膜の欠陥検
査方法は、光拡散フィルター２に交互に設けた光透過部
３と遮光部４を、相互に平行または格子状とし、その間
隔を一定、あるいは連続的に変化させるので、これらの
設定を適宜変えることによって、あらゆる大きさの欠陥
部６を確実に検知することができる。
査方法は、光拡散フィルター２に交互に設けた光透過部
３と遮光部４を、相互に平行または格子状とし、その間
隔を一定、あるいは連続的に変化させるので、これらの
設定を適宜変えることによって、あらゆる大きさの欠陥
部６を確実に検知することができる。
【００２１】請求項４に記載の光透過性光学膜５は、請
求項１に記載の光透過性光学膜の欠陥検査方法で検査を
行なっているので、欠陥部６が存在せず、品質に優れ
る。
求項１に記載の光透過性光学膜の欠陥検査方法で検査を
行なっているので、欠陥部６が存在せず、品質に優れ
る。
【図１】 従来技術を示す斜視図である。
【図２】 本発明の実施形態を示す斜視図である。
【図３】 本発明において、欠陥部における光の異常反
射を示す説明図である。
射を示す説明図である。
【図４】 本発明における光拡散フィルターの光透過部
と遮光部のパターンを示す平面図である。
と遮光部のパターンを示す平面図である。
【図５】 本発明における光拡散フィルターの光透過部
と遮光部の他のパターンを示す平面図である。
と遮光部の他のパターンを示す平面図である。
１ 光源 ２ 光拡散フィルター ３ 光透過部 ４ 遮光部 ５ 光透過性光学膜 ６ 欠陥部 ７ 暗部帯 ８ 異常反射光 Ｅ 目視 Ｌａ 入射光 Ｌｂ 反射光
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 神田 康行 広島県竹原市東野町1425−２ Ｆターム(参考） 2G051 AA90 AB06 BB07 CA11 CB01 2H088 FA11 MA20
Claims (4)
- 【請求項１】 蛍光ランプ等の光源（１）からの光を、
光透過部（３）と半遮光部を含む遮光部（４）を交互に
設けた光拡散フィルター（２）を透過させて光透過性光
学膜（５）に照射し、その反射光を調べ暗部帯（７）に
浮かぶ異常反射光（８）の発生によって前記光透過性光
学膜の欠陥部（６）の有無を検査することを特徴とする
光透過性光学膜の欠陥検査方法。 - 【請求項２】 蛍光ランプ等の光源（１）からの光を光
拡散フィルター（２）を透過させて光透過性光学膜
（５）に照射し、その反射光を調べ暗部帯（７）に浮か
ぶ異常反射光（８）の発生によって前記光透過性光学膜
の欠陥部（６）の有無を検査する装置であり、前記光拡
散フィルターに、光透過部（３）と半遮光部を含む遮光
部（４）を交互に設けたことを特徴とする光透過性光学
膜の欠陥検査装置。 - 【請求項３】 光拡散フィルター（２）に交互に設けた
光透過部（３）と半遮光部を含む遮光部（４）は、相互
に平行または格子状とし、その間隔は一定、あるいは連
続的に変化するものであることを特徴とする請求項２に
記載の光透過性光学膜の欠陥検査装置。 - 【請求項４】 請求項１に記載の光透過性光学膜の欠陥
検査方法で検査が行われた偏光膜を含む光透過性光学
膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001176610A JP2002365221A (ja) | 2001-06-12 | 2001-06-12 | 光透過性光学膜の欠陥検査方法および同装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001176610A JP2002365221A (ja) | 2001-06-12 | 2001-06-12 | 光透過性光学膜の欠陥検査方法および同装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002365221A true JP2002365221A (ja) | 2002-12-18 |
Family
ID=19017576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001176610A Pending JP2002365221A (ja) | 2001-06-12 | 2001-06-12 | 光透過性光学膜の欠陥検査方法および同装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002365221A (ja) |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05264448A (ja) * | 1992-03-18 | 1993-10-12 | Toyota Motor Corp | 塗装面の平滑性測定装置 |
| JPH06235624A (ja) * | 1992-12-15 | 1994-08-23 | Hitachi Ltd | 透明シートの検査方法とその装置 |
| JPH06242019A (ja) * | 1993-02-19 | 1994-09-02 | Kanto Auto Works Ltd | 画像信号による塗面検査方法及び装置 |
| JPH08178860A (ja) * | 1994-12-27 | 1996-07-12 | Sumitomo Chem Co Ltd | シート状物の欠陥検査用照明装置 |
| JPH08247954A (ja) * | 1995-03-15 | 1996-09-27 | Asahi Glass Co Ltd | 光学歪の測定方法 |
| JPH10185830A (ja) * | 1996-12-25 | 1998-07-14 | Canon Inc | 透明シート検査装置 |
| JPH11148813A (ja) * | 1997-07-02 | 1999-06-02 | Asahi Glass Co Ltd | 表面形状の評価方法および評価装置 |
| JP2001349716A (ja) * | 2000-06-07 | 2001-12-21 | Sumitomo Chem Co Ltd | 表面凹凸検査方法および装置 |
-
2001
- 2001-06-12 JP JP2001176610A patent/JP2002365221A/ja active Pending
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05264448A (ja) * | 1992-03-18 | 1993-10-12 | Toyota Motor Corp | 塗装面の平滑性測定装置 |
| JPH06235624A (ja) * | 1992-12-15 | 1994-08-23 | Hitachi Ltd | 透明シートの検査方法とその装置 |
| JPH06242019A (ja) * | 1993-02-19 | 1994-09-02 | Kanto Auto Works Ltd | 画像信号による塗面検査方法及び装置 |
| JPH08178860A (ja) * | 1994-12-27 | 1996-07-12 | Sumitomo Chem Co Ltd | シート状物の欠陥検査用照明装置 |
| JPH08247954A (ja) * | 1995-03-15 | 1996-09-27 | Asahi Glass Co Ltd | 光学歪の測定方法 |
| JPH10185830A (ja) * | 1996-12-25 | 1998-07-14 | Canon Inc | 透明シート検査装置 |
| JPH11148813A (ja) * | 1997-07-02 | 1999-06-02 | Asahi Glass Co Ltd | 表面形状の評価方法および評価装置 |
| JP2001349716A (ja) * | 2000-06-07 | 2001-12-21 | Sumitomo Chem Co Ltd | 表面凹凸検査方法および装置 |
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