JP2000146858A

JP2000146858A - 検査装置

Info

Publication number: JP2000146858A
Application number: JP10324866A
Authority: JP
Inventors: Shogo Nagasaka; 昭吾長坂; Masayasu Onishi; 正泰大西
Original assignee: Omron Corp; Omron Tateisi Electronics Co
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 1998-11-16
Filing date: 1998-11-16
Publication date: 2000-05-26

Abstract

(57)【要約】【課題】検査対象物の内部欠陥と表面欠陥とを区別し
て検出することができ、また内部に集積レンズのような
光を回折させるような層が存在していても正確に欠陥を
検出することができる検査装置を提供する。【解決手段】透過光光源２２から照射された可視光
は、ガラス基板１を透過し、投影レンズ２３で集光され
て受光素子２５に受光される。受光素子２５に入射する
可視光の走査位置は、光スキャナ２４によってガラス基
板１を走査される。反射光光源２７から照射された赤外
光は、ガラス基板１の表面で反射し、受光素子２９に受
光される。受光素子２９に入射する赤外光の走査位置
は、光スキャナ２８によってガラス基板１を走査され
る。そして、両受光素子２５、２９で受光された光の明
暗を判別することにより、内部欠陥や表面欠陥、ゴミ付
着等を判別する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は検査装置に関する。
具体的にいうと、本発明は、光透過性を有する物体の表
面及び内部を観察する検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】（検査対象物の例）液晶表示パネルに用
いるガラス基板では、ガラス基板の内部に集積レンズが
あり、表面にＩＴＯ膜が形成されたものがある。例え
ば、図１に示すものは、プロジェクタ用マイクロレンズ
アレイ付きガラス基板１であって、ベースガラス２とカ
バーガラス３によってガラス基板１を構成し、ベースガ
ラス２とカバーガラス３の間に膜厚０.０２〜０.０６ｍ
ｍで屈折率の異なる２層の透明樹脂層４、５を挟み込む
ことによって界面に集積レンズによって形成されたマイ
クロレンズアレイ６を形成し、カバーガラス３の表面に
金属及び金属酸化物の薄膜（膜厚１００〜３００Å程
度）からなるＩＴＯ膜７を形成している。なお、このマ
イクロレンズアレイ６は、バックライトから出射された
光を液晶表示パネルの各画素に集光させ、光の利用効率
を高めるものである。

【０００３】このようなガラス基板の製造工程において
も、製造されたガラス基板の製品検査が必要となるが、
プロジェクタ用マイクロレンズアレイ付きガラス基板の
ように表面の検査対象物（ＩＴＯ膜）と内部の検査対象
物（マイクロレンズアレイ）をもつガラス基板の場合に
は、製品検査により欠陥を発見することは難しい。この
ような欠陥検査が難しい理由は、要求されるスペックが
ＩＴＯ膜の表面に発生する欠陥では５μｍ以下、内部の
マイクロレンズアレイに発生する欠陥では１５μｍ以下
とされ、微細な欠陥を検査しなければならないこと、ま
た表面と内部の欠陥のスペックが大きく違うことに原因
がある。つまり、その困難さは、微細な欠陥を表面と内
部に分離し、表面と内部のうちいずれに存在している欠
陥であるかを特定しなければならない。

【０００４】ちなみに、液晶表示パネル用のガラス基板
では、表面にＩＴＯ膜やカラーフィルタが設けられてい
るが、主な用途であるノートパソコンなどのディスプレ
イ装置では、目視で画面を直接に見るので、欠陥のスペ
ックは０.１ｍｍ前後で判定されるレベルである。これ
に対し、プロジェクタ用の液晶表示パネルでは、スクリ
ーンに拡大表示されるので、液晶と接するガラス基板の
表面（ＩＴＯ膜）には直径５μｍ程度の微細な欠陥すら
許されない。つまり、このような厳しいスペックの要求
される製品では、欠陥のない製品を製造することも困難
であるが、それを検査することも困難である。

【０００５】（従来の検査方法）光透過性を有する物体
（検査対象物）の検査方法としては、例えば特開平７−
２２５１９８号公報に開示されたものがある。この検査
方法を実施するための検査装置１１の構成を図２に示
す。この検査装置１１にあっては、レーザー光源１２か
らレーザー光を出射し、このレーザー光をコリメータ１
３、レンズ１４を介してポリゴンミラー１５で走査しな
がら、フーリエレンズ１６を介して検査対象物１７に照
射している。同時に、検査対象物１７を回転させること
により、レーザー光は検査対象物１７の全体を走査され
る。検査対象物１７を透過したレーザー光はフーリエレ
ンズ１８を通過してセンサ１９、２０で受光される。こ
のとき検査対象物１７の表面に異物や汚れ等の光吸収性
の欠陥があれば、検査対象物１７に入射するレーザー光
の光軸上にあるセンサ１９において、検査対象物１７を
透過直進したレーザー光の光強度が変化するので、その
変化量が大きな場合には、光吸収性の欠陥が存在すると
判定する。一方、検査対象物１７の表面に、ゴミや傷な
どの光を回折又は散乱させる欠陥があると、光軸から外
れた位置にあるセンサ２０が受光する。よって、２つの
センサ１９、２０の受光状態を監視することにより、良
品と光吸収性の欠陥と回折・散乱性の欠陥とを判別でき
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな検査装置は、透過光と回折・散乱光成分によって欠
陥を検出しているだけであるので、内部欠陥と表面欠陥
とを区別なく検出してしまい、検査対象物の欠陥が内部
の欠陥であるか、表面の欠陥であるかを判別することが
不可能であった。

【０００７】また、上記のようなマイクロレンズアレイ
付きガラス基板等を対象として検査を行うと、内部のマ
イクロレンズアレイによって回折光成分が多く含まれる
ことになるので、正確に欠陥を検出することができず、
良品と不良品の識別もできなかった。

【０００８】本発明は上述の技術的問題点を解決するた
めになされたものであり、その目的とするところは、検
査対象物の内部欠陥と外部欠陥（表面欠陥）とを区別し
て検出することができ、また内部にマイクロレンズアレ
イのような光を回折させるような層が存在していても正
確に欠陥を検出することができる検査装置を提供するこ
とにある。

【０００９】

【発明の開示】請求項１に記載の検査装置は、光透過性
を有し、表面に透明膜を有する物体を検査するための検
査装置であって、前記物体を透過した光を受光する第１
の受光素子と、前記物体の表面で反射した光を受光する
第２の受光素子と、前記第１の受光素子の出力と前記第
２の受光素子の出力に基づいて前記物体の欠陥の種類を
判別する判別手段とを備えたものである。

【００１０】物体表面の欠陥は反射光によって検出する
ことができるから、この反射光を第２の受光素子によっ
て受光させることにより、当該受光素子の受光強度の変
化から物体表面に設けられている透明膜の欠陥を検出す
ることができる。また、光透過性を有する物体の内部の
欠陥は透過光により検出することができるので、その透
過光を第１の受光素子により受光させることにより、当
該受光素子の受光強度の変化から、物体内部の欠陥を検
出することができる。さらに、両受光素子の受光強度か
らは、ガラス基板の表面に付着したゴミ等を検出するこ
ともできる。

【００１１】従って、本発明の検査装置によれば、表面
に透明膜を形成された光透過性を有する物体の内部欠陥
や表面欠陥、表面におけるゴミ付着等の欠陥を区別して
検出することができる。

【００１２】請求項２に記載の実施態様は、請求項１に
記載した検査装置において、前記光透過性を有する物体
は、表面にＩＴＯ膜を有するマイクロレンズアレイであ
って、前記物体の表面で反射する光は赤外光であること
を特徴としている。

【００１３】ＩＴＯ膜は赤外光をよく反射する性質があ
るので、物体の表面で反射させる光として赤外光を用い
れば、精度よくＩＴＯ膜の欠陥を検出することができ
る。

【００１４】請求項３に記載の実施態様は、請求項１に
記載した検査装置において、前記判別手段は、少なくと
も前記光透過性を有する物体表面の透明膜の欠陥と、前
記光透過性を有する物体内部の欠陥とを区別して判別す
ることを特徴としている。

【００１５】本発明にあっては、物体表面膜の欠陥と物
体内部の欠陥を区別して判別することができるので、例
えば表面に透明電極を形成され、内部にマイクロレンズ
アレイを形成されたガラス基板等の表面欠陥や内部欠陥
を判別することができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】図３は本発明の一実施形態による
検査装置２１の要部を示す斜視図、図４はその構成を示
す概略図である。これは前面にＩＴＯ膜７を形成され、
内部にマイクロレンズアレイ６を形成された液晶表示パ
ネル用のガラス基板１を生産するラインにおいて、当該
ガラス基板１の欠陥を検査するための検査装置２１であ
る。ここで、マイクロレンズアレイ６は、図１で説明し
たように、ガラス基板１の内部において屈折率の異なる
樹脂層の界面により形成された集積レンズとなってい
る。

【００１７】（透過光学系）ＩＴＯ膜７とマイクロレン
ズアレイ６を有するガラス基板１は、ゴミの付着を排除
するため、ガラス基板設置位置に鉛直に立てた状態でセ
ットされる。ガラス基板設置位置で鉛直に保持されたガ
ラス基板１の前方には、ガラス基板１のＩＴＯ膜７を形
成された面（前面）の全体に垂直に可視光を投射し、ガ
ラス基板１の前面から背面へ可視光を垂直に透過させる
ための透過光光源２２が設けられている。この透過光光
源２２は、例えばハロゲンランプ等の光源から出射され
た可視光を光学ファイバによってガラス基板１前面へ導
いたものでよい。ガラス基板１の背面側には、ガラス基
板１を透過した可視光を集光させるための投影レンズ２
３と、投影レンズ２３による集光過程の可視光を水平方
向に１次元走査させるための光スキャナ２４が設置され
ている。この光スキャナ２４としては、ガルバノミラー
やポリゴンミラー等を用いることができる。光スキャナ
２４によって走査された可視光は、透過光を受光するた
めのフォトダイオードやフォトトランジスタ等の受光素
子２５によって受光される。

【００１８】光スキャナ２４の光反射面が回転するにつ
れ、透過光光源２２から出射されガラス基板１の異なる
位置を透過した可視光（図示実施形態では、ガラス基板
１を横方向走査された可視光）が受光素子２５に受光さ
れる。また、受光素子２５は、直線駆動部２６により光
スキャナ２４の回転軸と平行な方向（図示実施形態で
は、上下方向）に直線移動させられるようになってい
る。直線駆動部２６は、光スキャナ２４による横方向の
１走査に同期して間欠的に受光素子２５を移動させるよ
うになっており、その移動距離はマイクロレンズアレイ
６を構成するマイクロレンズの配列ピッチと等しくなっ
ている。しかして、受光素子２５に受光される可視光の
ガラス基板透過位置は、光スキャナ２４によって水平に
横方向走査され、直線駆動部２６によって上下に縦方向
走査され、受光素子２５には、図５に示すようにマイク
ロレンズアレイ６を構成する各マイクロレンズ６ａの中
心を通過するようにガラス基板１の全面を縦横に走査さ
れた可視光が時系列的に受光される。

【００１９】透過光用の受光素子２５及び投影レンズ２
３は、マイクロレンズ６ａを通過した可視光がさらに投
影レンズ２３で集光させられることにより、受光素子２
５の受光面に最小スポット径で受光されるように配置さ
れているので、可視光がガラス基板１を走査されると、
マイクロレンズ６ａを通過した光の受光強度は最大とな
り、マイクロレンズ６ａ間を通過した光の受光強度は最
小となる。その結果、可視光が光スキャナ２４及び直線
駆動部２６により縦横に走査されたとき、ガラス基板１
に欠陥がなければ、ガラス基板１を透過走査された可視
光の受光強度は図６（ａ）に示すように、マイクロレン
ズ６ａのピッチと対応した周期で最大受光強度と最小受
光強度が繰り返した信号波形となる。

【００２０】ここで、マイクロレンズアレイ６は微細で
あり、またガラス基板１の設置位置のばらつきなどもあ
るから、実際には図５に示したように、可視光がマイク
ロレンズ６ａの中心を通るように走査することは困難で
ある。そのため、図６（ａ）に示すような受光素子２５
の出力波形の最大値と最小値の差（振幅）が最大となる
ように、直線駆動部２６による横方向走査位置をフィー
ドバック制御することにより、マイクロレンズ６ａの中
央を通過した光が受光素子２５で受光されるようにして
いる。

【００２１】（反射光学系）また、ガラス基板設置位置
で鉛直に保持されたガラス基板１の斜め前方には、ガラ
ス基板１の前面に赤外光を斜め投射し、ガラス基板１の
前面で赤外光を反射させるための反射光光源２７が設け
られている。ここで赤外光を用いているのは、ＩＴＯ膜
７は赤外光をよく反射する性質があるためである。ま
た、ガラス基板１の前面側には、ガラス基板１前面のＩ
ＴＯ膜７で反射した赤外光を水平方向に１次元走査させ
るための光スキャナ２８が設置されている。この光スキ
ャナ２８でも、ガルバノミラーやポリゴンミラー等を用
いることができるが、赤外光の反射率を高くするため光
反射面にはＡｕメッキを施している。光スキャナ２８に
よって走査された赤外光は、赤外線領域の光を受光する
ためのフォトダイオードやフォトトランジスタ等の受光
素子２９によって受光される。

【００２２】光スキャナ２８の光反射面が回転するにつ
れ、反射光光源２７から出射されガラス基板１の異なる
位置で反射された赤外光（図示実施形態では、ガラス基
板１を横方向走査された赤外光）が受光素子２９に受光
される。また、受光素子２９は、直線駆動部３０により
光スキャナ２８の回転軸と平行な方向（図示実施形態で
は、上下方向）に直線移動させられるようになってい
る。この直線駆動部３０も、光スキャナ２８による横方
向の１走査に同期して間欠的に受光素子２９を移動させ
るようになっており、その移動距離はマイクロレンズア
レイ６を構成するマイクロレンズ６ａの配列ピッチと等
しくなっている。

【００２３】しかして、受光素子２９に受光される赤外
光のガラス基板反射位置は、光スキャナ２８によって水
平に横方向走査され、直線駆動部３０によって上下に縦
方向走査される。ガラス基板１の表面にはマイクロレン
ズ６ａのピッチと同じピッチでＩＴＯ膜７が形成されて
おり、ＩＴＯ膜７の形成されている領域と形成されてい
ない領域とでは反射率が異なるので、受光素子２９で受
光される赤外光がガラス基板１上を縦横に走査される
と、ＩＴＯ膜７に欠陥がない場合には、図６（ｂ）に示
すように、受光素子２９の受光強度はマイクロレンズ６
ａのピッチと対応した周期で最大受光強度と最小受光強
度が繰り返した信号波形となる。

【００２４】しかも、反射光側の光スキャナ２８及び直
線駆動部３０は、透過光の走査位置（ガラス基板１の検
査位置）と反射光の走査位置（ＩＴＯ膜７の検査位置）
とが一致するように、透過光側の光スキャナ２４及び直
線駆動部２６と同期させられている。従って、反射光側
の受光素子２９も、図５に示すようにマイクロレンズア
レイ６を構成する各マイクロレンズ６ａの中心を通過す
るようにガラス基板１の全面を縦横に走査された赤外光
が時系列的に受光され、反射光側の受光素子２９と透過
光側の受光素子２５には、それぞれガラス基板１の同一
位置を透過した可視光と同一位置で反射した赤外光が同
時に受光される。

【００２５】（判別部の機能）判別部３１はマイクロコ
ンピュータやパーソナルコンピュータ等によって構成さ
れており、判別部３１は、透過光側の受光素子２５から
図６（ａ）に示すような信号波形の受光信号を受信し、
反射光側の受光素子２９から図６（ｂ）に示すような信
号波形の受光信号を受信している。判別部３１は、受光
素子２５から受信した透過光による受光信号を微分処理
することにより、透過光による受光信号の最大レベルを
検知し、この最大レベルの周期と等しい周期で（つま
り、マイクロレンズ６ａの中心を光が走査されたときの
タイミングで）タイミング信号を生成する（図６
（ｃ））。そして、このタイミング信号と同期して透過
光による受光信号と反射光による受光信号をサンプリン
グする。

【００２６】そして、判別部３１は、つぎのようにして
受光素子２５、２９から得られる強弱の信号によりＩＴ
Ｏ膜７とマイクロレンズアレイ６を有するガラス基板１
の欠陥検査を行なう。透過光による受光信号のサンプリ
ング値は、所定のしきい値Ｖth１と比較され、しきい値
Ｖth１よりも大きければ透過光による像が明るい
（「明」）、しきい値Ｖth１よりも小さければ暗い
（「暗」）と判断される。同時に、反射光による受光信
号のサンプリング値は、所定のしきい値Ｖth２と比較さ
れ、しきい値Ｖth２よりも大きければ反射光による像は
明るい（「明」）、しきい値Ｖth２よりも小さければ暗
い（「暗」）と判断される。なお、マイクロレンズ６ａ
の中心における信号をサンプリングして明暗の判別を行
なうためのタイミング信号は、光スキャナ２４として用
いられているポリゴンミラーの回転軸に取り付けたエン
コーダやガルバノミラーの駆動回路から発生させるよう
にしてもよい。

【００２７】こうしてタイミング信号と同期して各マイ
クロレンズ６ａ毎の透過光の明暗と反射光の明暗が検知
されて透過光検査データと反射光検査データがサンプリ
ングされると、その透過光検査データと反射光検査デー
タの「明」、「暗」の組み合わせに基づき、判別部３１
は欠陥の有無及び欠陥の種類を判断する。すなわち、透
過光検査データは、良品もしくは表面に小さな傷や欠け
がある場合には「明」になるが、レンズ内部に異物混入
があったり、レンズ形状に欠陥があると「暗」になる。
また、反射光検査データは、良品もしくは内部に異物混
入があったり、レンズ形状に欠陥があったりしても
「明」になるが、表面に傷や欠け、突起等があると
「暗」になる。

【００２８】このため、表１に示すように、ガラス基板
１に欠陥が存在しないと、透過光検査データも反射光検
査データも「明」となるが、ガラス基板１の内部（例え
ば、図７のイ部）に異物が混入していたり、レンズ欠陥
（レンズ形状の欠けや歪など；図７のロ部）があったり
して内部欠陥が存在すると、透過光検査データは「暗」
になる。また、ガラス基板１の表面のＩＴＯ膜７に傷
（図７のハ部）や欠け（ピンホール等；図７のニ部）、
突起（部分的に剥離したＩＴＯ膜７など；図７のホ部）
があったりすると、反射光検査データは「暗」になる。
さらに、ガラス基板１の表面（ＩＴＯ膜７の上）にゴミ
が付着（図７のヘ部）していたりすると、透過光検査デ
ータ及び反射光検査データのいずれもが「暗」になる。

【００２９】従って、下記の表１に表わすように、透過
光検査データ及び反射光検査データに基づく判定部３１
の判定結果が、いずれの走査位置でも「明」であれば、
そのガラス基板１には欠陥がなく、良品であると判断さ
れる。これに対し、いずれかの走査位置における判断結
果が、透過光検査データで「暗」であれば、異物混入や
レンズ欠陥等による内部欠陥がどこかに存在し、不良品
である判断される。また、いずれかの走査位置における
判断結果が、反射光検査データで「暗」であれば、表面
のＩＴＯ膜７等に欠陥があり、不良品であると判断され
る。さらに、いずれかの走査位置で、透過光検査データ
も反射光検査データも「暗」であると判断されると、表
面にゴミが付着しており、不良品であると判断される。

【００３０】

【表１】

【００３１】この検査装置２１は、上記のような原理に
よって内部欠陥や表面欠陥を検出及び判別することがで
きるので、図６に示すフロー図のような処理手順を実行
することにより、系統的にガラス基板１の欠陥を検出し
判別することができる。検査装置２１が検査を開始する
と（Ｓ１）、透過光光源２２及び反射光光源２７がオン
になり、ガラス基板設置位置に置かれたガラス基板１に
可視光及び赤外光が照射される（Ｓ２）。ついで、透過
光がマイクロレンズ６ａの中心に沿って走査されるよう
に透過光側の光スキャナ２４及び直線駆動部２６をフィ
ードバック制御すると同時に、反射光の走査位置が透過
光の走査位置と一致するように反射光側の光スキャナ２
８及び直線駆動部３０を同期制御する（Ｓ３）。こうし
てガラス基板１に沿って透過光及び反射光を走査させな
がら、透過光データからタイミング信号を生成し、タイ
ミング信号と同期して（Ｓ５）透過光側の受光素子２５
の受光信号としきい値Ｖth１とを比較する。

【００３２】透過光側の受光素子２５による明暗の判定
が「暗」であった場合には（Ｓ７）、さらに反射光側の
受光素子２９の受光信号としきい値Ｖth２とを比較する
（Ｓ１０）。そして、反射光側の受光素子２９による明
暗の判定が「明」であった場合には、表面傷や欠け、突
起などの表面欠陥が存在すると判断し（Ｓ１１）、反射
光側の受光素子２９による明暗の判定が「暗」であった
場合には、ゴミ付着による表面欠陥が存在すると判断す
る（Ｓ１２）。

【００３３】また、ステップＳ７において、透過光側の
受光素子２５による明暗の判定が「明」であった場合に
は（Ｓ７）、さらに反射光側の受光素子２９の受光信号
としきい値Ｖth２とを比較する（Ｓ８）。そして、反射
光側の受光素子２９による明暗の判定が「暗」であった
場合には、異物混入やレンズ欠陥等の内部欠陥が存在す
ると判断する（Ｓ９）。これに対し、反射光側の受光素
子２９による明暗の判定が「明」であった場合には、そ
のマイクロレンズ位置には、欠陥を検出できなかったの
で、次のタイミング信号と同期して（つまり、次のマイ
クロレンズ位置について）、各欠陥の有無を判別する
（Ｓ５〜Ｓ１２）。

【００３４】こうしてガラス基板１の全体を透過光及び
反射光が走査されてもいずれの欠陥も検出されなかった
場合には（Ｓ５）、そのガラス基板１は欠陥を検出され
ず、良品であると判断される（Ｓ６）。

【００３５】このように本発明によれば、光スキャナ２
４、２８と直線駆動部２６、３０による高速の光走査と
判定部におけるしきい値Ｖth１、Ｖth２との比較判定処
理により、１枚のガラス基板１の内部欠陥やＩＴＯ膜７
の欠陥、表面のゴミ付着等を高速かつ高精度で判別する
ことができる。また、透過光と反射光による検査結果の
組み合わせにより、不良項目がカテゴリに分けられるの
で、不良結果を特定し、前工程にフィードバックをかけ
て前工程を改善することが可能になる。

【００３６】なお、上記実施形態の検査装置では、欠陥
の存在する位置は検出していない。これは、欠陥の存在
する位置にかかわらず、いずれかの位置に欠陥が存在す
れば、そのガラス基板は不良品となるからである。しか
し、個々のガラス基板に分割する前の大判（親基板）の
状態で検査するような場合には、光センサや直線駆動部
からの光走査位置情報に基づいて欠陥の位置を判断し、
欠陥の存在する位置から切出したガラス基板を不良品と
するようにしてもよい。

【００３７】また、ガラス基板を表裏反転させた状態で
も検査できるようにすれば、ガラス基板の裏面の欠陥も
検査することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】検査対象物であるマイクロレンズアレイ付きガ
ラス基板を示す断面図である。

【図２】従来の検査装置を示す概略図である。

【図３】本発明の一実施形態による検査装置の構成を示
す概略斜視図である。

【図４】同上の検査装置の構成と、受光素子に入射する
光線の挙動を示す概略図である。

【図５】ガラス基板上における光の走査方向を示す図で
ある。

【図６】透過光側の受光素子と反射光側の受光素子の出
力信号と判定タイミングを示すタイミング信号を表わす
タイミングチャートである。

【図７】欠陥の種類を模式的に表した図である。

【図８】同上の判別部３１における判別方法を表したフ
ロー図である。

【符号の説明】

１ガラス基板６マイクロレンズアレイ７ＩＴＯ膜２２透過光光源２４光スキャナ２５透過光側の受光素子２６直線駆動部２７反射光光源２８光スキャナ２９反射光側の受光素子３０直線駆動部３１判別部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2G051 AA90 AB01 AB06 AB07 BA01 BA06 BA20 BB17 CA03 CA07 CB01 CB02 CC13 CD04 EA02 EA08 EA16 EB01 EC01 2G086 EE04 EE10 FF05 GG03

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光透過性を有し、表面に透明膜を有する
物体を検査するための検査装置であって、前記物体を透過した光を受光する第１の受光素子と、前記物体の表面で反射した光を受光する第２の受光素子
と、前記第１の受光素子の出力と前記第２の受光素子の出力
に基づいて前記物体の欠陥の種類を判別する判別手段
と、を備えた検査装置。
【請求項２】前記光透過性を有する物体は、表面にＩ
ＴＯ膜を有する集積レンズであって、前記物体の表面で
反射する光は赤外光であることを特徴とする、請求項１
に記載の検査装置。
【請求項３】前記判別手段は、少なくとも前記光透過
性を有する物体表面の透明膜の欠陥と、前記光透過性を
有する物体内部の欠陥とを区別して判別することを特徴
とする、請求項１に記載の検査装置。