CN112437880A - 传感器系统的检查装置及检查方法 - Google Patents

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Abstract

一种传感器系统(100)，具备射出检测光(L1)的发光元件、允许检测光(L1)穿过的透光罩(120)、以及使检测光(L1)的射出方向至少在第一方向(D1)上变化的扫描机构。受光装置(210)具备沿着第一方向(D1)排列的多个检查受光元件(211a～211g)。受光装置(210)配置于穿过透光罩(120)的检测光(L1)的光路上。检查处理器(220)基于多个检查受光元件(211a～211g)各自是否正常接收到检测光(L1)，输出表示透光罩(120)有无异常的判定结果(R)。

Description

传感器系统的检查装置及检查方法
技术领域
本公开涉及一种传感器系统的检查装置及检查方法。
背景技术
专利文献1公开了一种搭载于车辆的传感器系统。该传感器系统使用LiDAR(LightDetecting and Ranging,激光探测与测距)传感器。LiDAR传感器具备发光元件和受光元件。发光元件朝向车辆的外部射出检测光。检测光被位于车辆外部的物体反射，作为反射光入射到受光元件。例如，可以基于检测光从发光元件射出后至反射光入射到受光元件的时间，检测距产生该反射光的物体的距离。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本国专利申请公开第2018－049014号公报
发明内容
发明所要解决的问题
发光元件和受光元件由透光罩覆盖。因此，检测光和反射光穿过透光罩。例如，在透光罩的一部分受损的情况或发生变形的情况下，穿过该部分的检测光发生异常折射，可能脱离原本的行进方向。在该情况下，不能检测位于原本的行进方向上的物体的信息，传感器系统的信息检测精度降低。
因此，要求在从发光元件射出的检测光穿过的透光罩发生异常时，抑制传感器系统的信息检测精度的降低。
用于解决问题的技术方案
用于对应上述要求的一方式提供一种检查装置，该检查装置是传感器系统的检查装置，所述传感器系统具备射出检测光的发光元件、允许该检测光穿过的透光罩、以及使该检测光的射出方向至少在第一方向上变化的扫描机构，其中，所述检查装置具备：
受光装置，其具备至少沿着所述第一方向排列的多个检查受光元件，且配置于穿过所述透光罩的所述检测光的光路上；
处理器，其基于所述多个检查受光元件各自是否正常接收到所述检测光，输出表示所述透光罩有无异常的判定结果。
用于对应上述要求的一方式提供一种检查方法，该检查方法是传感器系统的检查方法，所述传感器系统具备射出检测光的发光元件、允许该检测光穿过的透光罩、以及使该检测光的射出方向至少在第一方向上变化的扫描机构，其中，所述检查方法包括：
将具备至少沿着所述第一方向排列的多个检查受光元件的受光装置配置于穿过所述透光罩的所述检测光的光路上的步骤；
使所述发光元件射出所述检测光的步骤；
使所述扫描机构至少在所述第一方向上扫描所述检测光的步骤；
基于所述多个检查受光元件各自是否正常接收到所述检测光，输出表示所述透光罩有无异常的判定结果的步骤。
根据上述检查装置和检查方法，通过将受光装置配置于穿过透光罩的检测光的光路上，使传感器系统执行检测动作这一简单的方法，能够检测透光罩有无异常。在检测到透光罩异常的情况下，可以采取置换或修补等适当的对策。因此，能够抑制传感器系统的信息检测精度的降低。
上述检查装置可以如下构成。
所述处理器基于所述检测光的射出方向和所述受光装置中的该检测光的受光位置的关系，输出表示所述透光罩有无异常的判定结果。
根据这种结构，判定结果可包含更详细的信息。例如，可以包含关于原本应入射到特定的检查受光元件中的检测光因透光罩异常而如何而改变进路的信息。
在该情况下，上述检查装置可以如下构成。
在朝向所述多个检查受光元件中的一个射出的所述检测光未被任一检查受光元件接收的情况下，所述处理器在变更了受光装置的位置后，使所述发光元件朝向所述多个检查受光元件中的一个的初始位置再次射出所述检测光。
根据这种结构，即使在因透光罩异常而折射了的检测光的行进方向的范围较大的情况下，也能够获取透光罩异常的信息。
在该情况下，上述检查装置可以如下构成。
在所述判定结果表示所述透光罩存在异常的情况下，所述处理器输出用于修正所述传感器系统的检测结果的数据。
根据这种结构，即使在检测到允许从发光元件射出的检测光穿过的透光罩异常的情况下，也能够不伴随着进行透光罩的置换或修补地抑制传感器系统的信息检测精度的降低。
上述检查装置可以如下构成。
所述多个检查受光元件呈二维排列。
根据这种结构，即使在因透光罩异常而折射了的检测光的行进方向的范围较大的情况下，也容易获取透光罩异常的信息。另外，也可以容易地对应检测光被二维地扫描的传感器系统。
本说明书中使用的“光”这一用语，是指可检测希望信息的具有任意波长的电磁波。例如，本说明书中的“光”这一用语，意味着不仅作为可见光使用，也包含紫外光或红外光、毫米波或微波。
附图说明
图1是例示由检查装置检查的传感器系统的结构的图。
图2是例示一实施方式的检查装置的结构的图。
图3是例示使用图2的检查装置的检查方法的流程图。
图4A是例示使用图2的检查装置的检查方法的图。
图4B是例示使用图2的检查装置的检查方法的图。
图4C是例示图2的检查装置的结构的另一例的图。
具体实施方式
下面，参照附图对实施方式的例子进行详细说明。在用于以下说明的各附图中，为了将各部件设为可辨识的大小，适当地变更比例尺。
图1是例示一实施方式的被检查装置检查的传感器系统100的结构的图。传感器系统100具备LiDAR传感器单元110和透光罩120。传感器系统100搭载于例如车辆上。在该情况下，LiDAR传感器单元110为了辅助驾驶而检测该车辆的外部信息。透光罩120形成该车辆的外表面的一部分。
本说明书中使用的“传感器单元”这一用语，是指具备希望的信息检测功能，并且其自身为单体且能够流通的零件的构成单位。
本说明书中使用的“辅助驾驶”这一用语，是指至少部分进行驾驶操作(方向盘操作、加速、减速)、行驶环境的监视、以及驾驶操作的支援至少一个的控制处理。即，是指包含从自动紧急制动功能或车道保持辅助功能这样的部分辅助驾驶到完全自动驾驶动作。
LiDAR传感器单元110具备发光元件111、受光元件112及扫描机构113。透光罩120至少覆盖发光元件111和受光元件112。
发光元件111构成为射出检测光L1。作为检测光L1，可使用例如波长905nm的红外光。作为发光元件111，可使用激光二极管或发光二极管等半导体发光元件。
从发光元件111射出的检测光L1穿过透光罩120。检测光L1被位于透光罩120的外侧的物体T反射，作为反射光L2再次穿过透光罩120，入射到受光元件112。
受光元件112构成为输出与入射来的光量相应的受光信号S1。作为受光元件112，可使用光电二极管、光电晶体管、光敏电阻等。LiDAR传感器单元110可具备用于放大受光信号S1的未图示的放大电路。
扫描机构113使检测光L1的射出方向在第一方向D1上变化。第一方向D1是与例如车辆的上下方向交叉的方向。就检测光L1的可动范围而言，在透光罩12的外侧确定检测区域。伴随检测光L1沿着第一方向D1位移，对检测区域进行扫描。
扫描机构113可通过各种公知的方法实现。例如，通过利用MEMS(Micro ElectroMechanical Systems，微电机械系统)机构使支承发光元件111的支承体位移，而能够直接变更检测光L1的射出方向。或者，通过利用多面反射镜或旋转叶片那种旋转光学系统反射从被固定的发光元件111射出的检测光L1，而能够间接变更检测光L1的射出方向。
传感器系统100具备处理器130。后述的处理器130的功能可以通过与存储器协同工作的通用微处理器来实现，也可以通过微控制器、FPGA、ASIC等专用集成电路来实现。
处理器130可配置于车辆的任意位置。处理器130可以作为负责车辆的中央控制处理的主ECU的一部分被提供，也可以作为介于主ECU和LiDAR传感器单元110之间的子ECU的一部分被提供。或者，处理器130可内置于LiDAR传感器单元110。
处理器130在希望的时机输出使发光元件111射出检测光L1的控制信号S2。另外，处理器130向扫描机构113输出控制信号S3，使检测光L1的射出方向在第一方向D1上变化。处理器130接收从受光元件112输出的受光信号S1。
处理器130基于检测光L1从发光元件111射出后至反射光L2入射到受光元件112的时间，算出距产生反射光L2的物体T的距离。通过将这样算出的距离的数据、与由扫描机构113变更的检测光L1的照射方向建立关联并累积，而能够获取与反射光L2相关联的物体T的形状的信息。
加之或作为替代，处理器130基于检测光L1和反射光L2的波形的不同，能够获取与反射光L2相关联的物体的材质等属性的信息。通过将波形不同的数据、与由扫描机构113变更的检测光L1的照射方向建立关联并累积，而能够获取与反射光L2相关联的物体T的表面状态的信息。
图2是例示用于检查如上构成的传感器系统100的检查装置200的结构的图。检查装置200具备受光装置210和检查处理器220。
受光装置210具备多个检查受光元件。在本例中，受光装置210具备七个检查受光元件211a～211g。检查受光元件211a～211g沿着第一方向D1排列。多个检查受光元件的数量可以根据LiDAR传感器单元110的第一方向D1上的分辨率适当地确定。
检查受光元件211a～211g分别配置于穿过了透光罩120的检测光L1的光路上。检查受光元件211a～211g分别构成为输出与入射来的光量相应的受光信号。作为各检查受光元件211a～211g，可使用光电二极管、光电晶体管、光敏电阻等。优选的是，各检查受光元件211a～211g具有与LiDAR传感器单元110的受光元件112相同的规格。
从各检查受光元件211a～211g输出的受光信号被输入到检查处理器220中。检查处理器220基于从各检查受光元件211a～211g输出的受光信号，判断检查受光元件211a～211g各自是否正常接收到检测光L1。
在图示的例子中，向标记L1a所示的方向射出的检测光L1穿过透光罩120，正常入射到检查受光元件211a中。因此，检查处理器220判断为检查受光元件211a正常接收到检测光L1。
同样，向标记L1b所示的方向射出的检测光L1穿过透光罩120，正常入射到检查受光元件211b中。因此，检查处理器220判断为检查受光元件211b正常接收到检测光L1。
向标记L1c所示的方向射出的检测光L1如果如虚线所示正常穿过透光罩120，则入射到检查受光元件211c中。但是，在本例中，检测光L1因透光罩120的损伤或变形等而发生异常折射，入射到检查受光元件211a中。在该情况下，检查处理器220判断为检查受光元件211c未正常接收到检测光L1。
向标记L1d所示的方向射出的检测光L1穿过透光罩120，正常入射到检查受光元件211d中。因此，检查处理器220判断为检查受光元件211d正常接收到检测光L1。
向标记L1e所示的方向射出的检测光L1如果如虚线所示正常穿过透光罩120，则入射到检查受光元件211e中。但是，在本例中，检测光L1因透光罩120的损伤或变形等而发生异常折射，穿过检查受光元件211e的上方。在该情况下，检查处理器220判断为检查受光元件211e未正常接收到检测光L1。
向标记L1f所示的方向射出的检测光L1穿过透光罩120，入射到检查受光元件211f中。但是，在本例中，如单点划线所示，检测光L1的光量因透光罩120的损伤或变形等而降低。因此，检查处理器220判断为检查受光元件211f未正常接收到检测光L1。
向标记L1g所示的方向射出的检测光L1穿过透光罩120，正常入射到检查受光元件211g中。因此，检查处理器220判断为检查受光元件211g正常接收到检测光L1。
检查处理器220基于检查受光元件211a～211g各自是否正常接收到检测光L1，输出表示透光罩120有无异常的判定结果。判定结果R可以仅表示存在异常，也可以表示具体的异常部位。在本例的情况下，后者的判定结果包含向标记L1c所示的方向射出的检测光L1所穿过的透光罩120的一部分、向标记L1e所示的方向射出的检测光L1所穿过的透光罩120的一部分、及向标记L1f所示的方向射出的检测光L1所穿过的透光罩120的一部分存在某种异常之类的信息。
检查处理器220与传感器系统100的处理器130能够通信地连接。检查处理器220可以经由处理器130进行由发光元件111进行的检测光L1的射出和由扫描机构113进行的检测光L1的射出方向的变更。
参照图3，对使用如上构成的检查装置200检查传感器系统100的方法进行说明。
首先，将受光装置210配置为与传感器系统100的透光罩120对置(STEP1)。具体而言，以沿着第一方向D1排列的检查受光元件211a～211g配置于穿过了透光罩120的检测光L1的光路上的方式，配置受光装置210。
接着，检查处理器220使传感器系统100的处理器130输出控制信号S2、S3，使发光元件111射出检测光L1，并且使扫描机构113将检测光L1的射出方向在第一方向D1上变化(STEP2)。
接下来，通过检查处理器220进行全部检查受光元件211a～211g是否正常接收到检测光L1的判断(STEP3)。该判断基于从各检查受光元件211a～211g中输出的受光信号的电平而进行。
如果透光罩120无异常，则沿第一方向D1扫描的检测光L1依次入射到全部检查受光元件211a～211g中。因此，正常电平的受光信号被从全部检查受光元件211a～211g中的各自输入到检查处理器220中(STEP3中为Y)。
在该情况下，检查处理器220输出表示透光罩120无异常的判定结果R(STEP4)。
在上述的图2所示的例子中，从检查受光元件211c和检查受光元件211e中未输出受光信号。另外，从检查受光元件211f输出的受光信号的电平低于正常值。因此，判断为检查受光元件211c、检查受光元件211e及检查受光元件211f未正常受光(STEP3中为N)。
在该情况下，检查处理器220输出表示透光罩120存在异常的判定结果R(STEP5)。
根据上述结构，通过将受光装置210配置于穿过透光罩120的检测光L1的光路上，且使传感器系统100执行检测动作这一简单的方法，而能够检测透光罩120有无异常。在检测到透光罩120异常的情况下，可以采取置换或修补等适当的对策。因此，能够抑制传感器系统100的信息检测精度的降低。
在上述方法中，由检查处理器220输出的判定结果R可包含透光罩120有无异常、或者与未正常受光的检查受光元件对应的透光罩120上的位置的信息。但是，判定结果R可包含更详细的信息。具体而言，可包含原本应入射到特定的检查受光元件中的检测光L1因透光罩120异常而如何改变进路的信息。
检查处理器220经由传感器系统100的处理器130控制发光元件111和扫描机构113，因此，预先掌握了检测光L1的射出方向与受光装置210中的该检测光L1的受光位置的关系。例如，在检测光L1向标记L1a所示的方向射出时，由检查受光元件211a进行受光这样的对应关系保持于检查处理器220。
检查处理器220可基于这种对应关系进行映射。具体而言，进行包含如下信息的映射的创建：表示朝向某一检查受光元件射出的检测光L1实际上被哪个检查受光元件接收到的信息、及表示朝向哪个检查受光元件射出的检测光L1的光量降低了的信息。
图4A例示所创建的映射图M。映射图M包含在与第一方向D1对应的方向上排列的七个位点Sa～Sg。它们与七个检查受光元件211a～211g建立了对应。
在图2所示的例子中，向标记L1a所示的方向射出的检测光L1正常入射到检查受光元件211a中。在映射图M中，位点Sa与检查受光元件211a对应。位点Sa不包含表示异常的信息。
同样，向标记L1b所示的方向射出的检测光L1正常入射到检查受光元件211b中。向标记L1d所示的方向射出的检测光L1正常入射到检查受光元件211d中。向标记L1g所示的方向射出的检测光L1正常入射到检查受光元件211g中。在映射图M中，位点Sb、位点Sd及位点Sg分别与检查受光元件211b、检查受光元件211d及检查受光元件211g对应。位点Sb、位点Sd及位点Sg均不包含表示异常的信息。
在图2所示的例子中，向标记L1c所示的方向射出的检测光L1因异常折射而入射到检查受光元件211a中。在映射图M中，位点Sc与检查受光元件211c对应。位点Sc包含与位点Sa相关联的异常信息。该信息表示朝向检查受光元件211c射出的检测光L1入射到检查受光元件211a中。即，该信息表示向标记L1c所示的方向射出的检测光L1所穿过的透光罩120的一部分存在使检测光L1向朝向检查受光元件211a的方向折射的异常。
在图2所示的例子中，向标记L1f所示的方向射出的检测光L1以光量降低的状态入射到检查受光元件211f中。在映射图M中，位点Sf与检查受光元件211f对应。位点Sf包含光量降低相关的异常信息。该信息表示朝向检查受光元件211f射出的检测光L1的光量降低。即，该信息表示向标记L1f所示的方向射出的检测光L1所穿过的透光罩120的一部分存在使检测光L1的光量降低的异常。
检查处理器220判断关于全部检查受光元件211a～211g的映射是否结束(图3中的STEP6)。
在图2所示的例子中，向标记L1e所示的方向射出的检测光L1因异常折射而穿过检查受光元件211e的上方。即，未入射到七个检查受光元件211a～211g中的任一中。因此，未得到关于发生异常折射的检测光L1的去向的信息，映射未结束(STEP6中为N)。
在该情况下，检查处理器220执行再次检查(STEP7)。具体而言，如图4B例示，受光装置210的位置沿着第二方向D2向上方或下方变更。标记UP表示向上方移动后的受光装置210的位置。标记LP表示向下方移动后的受光装置210的位置。受光装置210的移动可以通过由检查处理器220控制的未图示的致动器进行，也可以通过人工操作来进行。
接着，检查处理器220使发光元件111朝向检查受光元件211e的初始位置射出检测光L1。向图2中的标记L1e所示的方向射出的检测光L1被透光罩120向上方折射，入射到位于标记UP所示的位置的检查受光元件211e中。
图4A例示的映射图M还包含在与第一方向D1对应的方向上排列的七个位点Sa1～Sg1。七个位点Sa1～Sg1以在与第二方向D2对应的方向上与七个位点Sa～Sg并排的方式排列。第二方向D2是与例如车辆的上下方向对应的方向。七个位点Sa1～Sg1位于七个位点Sa～Sg的上方。七个位点Sa1～Sg1与位于标记UP所示的位置的七个检查受光元件211a～211g对应。
映射图M还包含在与第一方向D1对应的方向上排列的七个位点Sa2～Sg2。七个位点Sa2～Sg2以在与第二方向D2对应的方向上与七个位点Sa～Sg并排的方式排列。七个位点Sa2～Sg2位于七个位点Sa～Sg的下方。七个位点Sa2～Sg2与位于标记DP所示的位置的七个检查受光元件211a～211g对应。
即，在映射图M中，位点Se与检查受光元件211e对应，位点Se1与位于标记UP所示的位置的检查受光元件211e对应。位点Se包含与位点Se1相关联的异常信息。该信息表示朝向检查受光元件211e射出的检测光L1入射到位于标记UP所示的位置的检查受光元件211e中。即，该信息表示向标记L1e所示的方向射出的检测光L1所穿过的透光罩120的一部分存在使检测光L1向朝向标记UP所示的检查受光元件211e的方向折射的异常。
处理返回到STEP6，通过检查处理器220判断作为再次检查的结果映射是否结束。在本例中，通过受光装置210向上方移动，映射结束(STEP6中为Y)。因此，处理进入STEP5，检查处理器220输出表示透光罩120存在异常的判定结果R。
在即使将例如受光装置210向上方移动检测光L1也未入射到任一检查受光元件中的情况下，映射未结束(STEP6中为N)。在该情况下，受光装置210的位置向标记LP所示的位置变更。或者，也可以向更上方移动受光装置210。反复进行这种检查受光元件的位置变更直至映射结束为止。
根据这种结构，即使在因透光罩120的异常而折射了的检测光L1的行进方向跨着更大范围的情况下，也能够获取透光罩120的异常相关的信息。
为了能够跨着更大范围接收折射了的检测光L1，可使用图4C例示的受光装置210A。在受光装置210A中，多个检查受光元件呈二维排列。
具体而言，受光装置210A还具备在第一方向D1上排列的七个检查受光元件212a～212g。七个检查受光元件212a～212g以在第二方向D2上与七个检查受光元件211a～211g并排的方式排列。七个检查受光元件212a～212g位于七个检查受光元件211a～211g的上方。图4A例示的七个位点Sa1～Sg1与七个检查受光元件212a～212g对应。
受光装置210A还具备在第一方向D1上排列的七个检查受光元件213a～213g。七个检查受光元件213a～213g以在第二方向D2上与七个检查受光元件211a～211g并排的方式排列。七个检查受光元件213a～213g位于七个检查受光元件211a～211g的下方。图4A例示的七个位点Sa2～Sg2与七个检查受光元件213a～213g对应。
传感器系统100的扫描机构113可以构成为将检测光L1的射出方向不仅向第一方向D1变更，也可以将其向第二方向D2变更。根据上述受光装置210A，也能够容易地对应这样二维地扫描检测光L1的传感器系统。
如图3例示，在判定结果R表示透光罩120存在异常的情况下，检查处理器220可以输出用于修正传感器系统100的检测结果的数据(STEP8)。该数据可以基于映射图M进行创建。
在图4A所示的例子中，映射图M表示向与检查受光元件211c对应的方向射出的检测光L1朝向检查受光元件211a的位置。在该情况下，由基于该检测光L1产生的反射光L2检测的信息不是位于与检查受光元件211c对应的方向的物体的信息，而是位于与检查受光元件211a对应的方向的物体的信息。作为这种检测结果的修正例，可举出不采用基于向与检查受光元件211c对应的方向射出的检测光L1的检测结果。
在相同例子中，映射图M表示向与检查受光元件211e对应的方向射出的检测光L1朝向更上方的位置。在该情况下，由基于该检测光L1产生的反射光L2检测的信息不是位于与检查受光元件211e对应的方向的物体的信息，而是位于检查受光元件211e的上方的物体的信息。作为这种检测结果的修正例，可举出将基于向与检查受光元件211e对应的方向射出的检测光L1的检测结果作为从更上方的位置获取的检测结果进行处理。
在相同例子中，映射图M表示向与检查受光元件211f对应的方向射出的检测光L1的光量降低。在该情况下，基于该检测光L1产生的反射光L2的光量也降低。作为这种检测结果的修正例，可举出基于由向与检查受光元件211f对应的方向射出的检测光L1所产生的反射光L2而放大从受光元件112输出的受光信号S1。
根据这种结构，即使在允许从发光元件111射出的检测光L1穿过的透光罩120检测到异常的情况下，也能够不伴随着进行透光罩120的置换或修补地抑制传感器系统100的信息检测精度的降低。
上述实施方式仅是为了容易理解本公开而例示的。上述实施方式的结构只要不脱离本公开的主旨，就可以适当地进行变更、改进。
传感器系统100的LiDAR传感器单元110可以被具备发光元件、受光元件及扫描机构的适当的传感器单元置换。作为这种传感器单元，可举出TOF(Time of Flight，飞行时间)摄像头单元或毫米波传感器单元。由发光元件射出的检测光的波长及受光元件具有灵敏度的波长可以根据所使用的检测方法适当地确定。
作为构成本申请所记载的一部分，引用2018年7月18日提交的日本国专利申请第2018－134898号的内容。

Claims (6)

1.一种检查装置，其是传感器系统的检查装置，所述传感器系统具备射出检测光的发光元件、允许该检测光穿过的透光罩、以及使该检测光的射出方向至少在第一方向上变化的扫描机构，其中，所述检查装置具备：
受光装置，其具备至少沿着所述第一方向排列的多个检查受光元件，且配置于穿过所述透光罩的所述检测光的光路上；
处理器，其基于多个所述检查受光元件各自是否正常接收到所述检测光，输出表示所述透光罩有无异常的判定结果。
2.如权利要求1所述的检查装置，其中，
所述处理器基于所述检测光的射出方向与所述受光装置中的该检测光的受光位置的关系，输出表示所述透光罩有无异常的判定结果。
3.如权利要求2所述的检查装置，其中，
在朝向多个所述检查受光元件中的一个射出的所述检测光未被任一检查受光元件接收的情况下，所述处理器在变更了受光装置的位置后，使所述发光元件朝向多个所述检查受光元件中的一个的初始位置再次射出所述检测光。
4.如权利要求2或3所述的检查装置，其中，
在所述判定结果表示所述透光罩存在异常的情况下，所述处理器输出用于修正所述传感器系统的检测结果的数据。
5.如权利要求1～4中任一项所述的检查装置，其中，
多个所述检查受光元件呈二维排列。
6.一种检查方法，其是传感器系统的检查方法，所述传感器系统具备射出检测光的发光元件、允许该检测光穿过的透光罩、以及使该检测光的射出方向至少在第一方向上变化的扫描机构，其中，所述检查方法包括：
将具备至少沿着所述第一方向排列的多个检查受光元件的受光装置配置于穿过所述透光罩的所述检测光的光路上的步骤；
使所述发光元件射出所述检测光的步骤；
使所述扫描机构至少在所述第一方向上扫描所述检测光的步骤；
基于多个所述检查受光元件各自是否正常接收到所述检测光，输出表示所述透光罩有无异常的判定结果的步骤。
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