JPS63200043A - シ−ト状被検体の表面欠陥検出装置 - Google Patents
シ−ト状被検体の表面欠陥検出装置Info
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- JPS63200043A JPS63200043A JP3198687A JP3198687A JPS63200043A JP S63200043 A JPS63200043 A JP S63200043A JP 3198687 A JP3198687 A JP 3198687A JP 3198687 A JP3198687 A JP 3198687A JP S63200043 A JPS63200043 A JP S63200043A
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〕
本発明はガラス板、或いはプラスチック板等の表面のキ
ズや汚れ等の欠陥を検出するシート状被検体の表面欠陥
検出装置に関するものである。
ズや汚れ等の欠陥を検出するシート状被検体の表面欠陥
検出装置に関するものである。
従来のガラス板或いはプラスチック板表面のキズや汚れ
等の欠陥を光学的に検出する装置は第４図に示すような
構成からなっている。図においてｌは被検ガラス板又は
プラスチック板、２は照明光、３は正反射光、４は透過
光、５はＴＶ左カメラ６は表面のキズ又はゴミ、７は裏
面のキズ又はゴミ、８はＴＶモニタ、９は表面のキズ又
はゴミ６による散乱光、１０は裏面のキズ又はゴミ７に
よる散乱光である。
等の欠陥を光学的に検出する装置は第４図に示すような
構成からなっている。図においてｌは被検ガラス板又は
プラスチック板、２は照明光、３は正反射光、４は透過
光、５はＴＶ左カメラ６は表面のキズ又はゴミ、７は裏
面のキズ又はゴミ、８はＴＶモニタ、９は表面のキズ又
はゴミ６による散乱光、１０は裏面のキズ又はゴミ７に
よる散乱光である。
このような構成の検出装置において、通常は可視域、ま
たはＨａ −Ｎ ｅレーザー光（６３２８人）等の照明
光２を被検ガラス板ｌの表面に対して４５度程度の角度
で照射する。この照明光２は一部は被検ガラス板１の表
面で正反射光３となり、一部は被検ガラス板１を透過し
て透過光４となるが、被検ガラス板１にキズやゴミのよ
うな欠陥があると、このキズやゴミにより照明光２が散
乱する。ＴＶ左カメラはこのような表面のキズ又はゴミ
６、及び裏面のキズ又はゴミ７により散乱する散乱光の
うち、ＴＶ左カメラに達する散乱光９．１０を捕らえ、
被検ガラス板１の欠陥を検出している。
たはＨａ −Ｎ ｅレーザー光（６３２８人）等の照明
光２を被検ガラス板ｌの表面に対して４５度程度の角度
で照射する。この照明光２は一部は被検ガラス板１の表
面で正反射光３となり、一部は被検ガラス板１を透過し
て透過光４となるが、被検ガラス板１にキズやゴミのよ
うな欠陥があると、このキズやゴミにより照明光２が散
乱する。ＴＶ左カメラはこのような表面のキズ又はゴミ
６、及び裏面のキズ又はゴミ７により散乱する散乱光の
うち、ＴＶ左カメラに達する散乱光９．１０を捕らえ、
被検ガラス板１の欠陥を検出している。
この他、プラスチックのような透明膜状体の欠陥を検出
するために、該透明膜状体の吸収波長域の光線を照射し
、正常部分では透過光が検出されず、欠陥部分で透過光
が検出されることを利用して欠陥の検出を行うものも提
案されている（特開昭４８−１２７８６号公報、特開昭
４８−４７８８２号公報、特開昭６１−１５５７３７号
公報）。
するために、該透明膜状体の吸収波長域の光線を照射し
、正常部分では透過光が検出されず、欠陥部分で透過光
が検出されることを利用して欠陥の検出を行うものも提
案されている（特開昭４８−１２７８６号公報、特開昭
４８−４７８８２号公報、特開昭６１−１５５７３７号
公報）。
しかしながら、第４図に示すような従来の検出装置の場
合、被検ガラス板の表面のキズやゴミによる散乱光９だ
けでなく、裏面のキズや汚れ等による散乱光１０も検出
してしまうことになるため、これらの区別をすることが
できず、そのため板ガラス類の表面のみの検査を行うこ
とは不可能であった。特に、裏面が砂スリ面となってい
る板ガラス類のような場合には、製品の表面のキズ等の
欠陥を全く検出することができないのが実情である。
合、被検ガラス板の表面のキズやゴミによる散乱光９だ
けでなく、裏面のキズや汚れ等による散乱光１０も検出
してしまうことになるため、これらの区別をすることが
できず、そのため板ガラス類の表面のみの検査を行うこ
とは不可能であった。特に、裏面が砂スリ面となってい
る板ガラス類のような場合には、製品の表面のキズ等の
欠陥を全く検出することができないのが実情である。
また、被検体の吸収波長、域の光線の透過光を検出する
ものにあっても同様に表面の欠陥、裏面の欠陥、或いは
内部の欠陥も同時に検出してしまい、表面の欠陥のみを
区別して検出することは不可能であった。
ものにあっても同様に表面の欠陥、裏面の欠陥、或いは
内部の欠陥も同時に検出してしまい、表面の欠陥のみを
区別して検出することは不可能であった。
本発明は上記問題点を解決するためのもので、仮ガラス
類の表面のキズや汚れ等の欠陥を、裏面や内部の欠陥の
影響を受けずに検出することのできるシート状被検体の
表面欠陥検出装置を提供することを６的とする。
類の表面のキズや汚れ等の欠陥を、裏面や内部の欠陥の
影響を受けずに検出することのできるシート状被検体の
表面欠陥検出装置を提供することを６的とする。
そのために本発明のシート状被検体の表面欠陥検出装置
は、シート状被検体の吸収波長域の光で被検体を照明す
る照明手段と、該波長域の光に対して感度を有し、被検
体表面からの散乱光を検出する検出手段とを備えたこと
を特徴とする。
は、シート状被検体の吸収波長域の光で被検体を照明す
る照明手段と、該波長域の光に対して感度を有し、被検
体表面からの散乱光を検出する検出手段とを備えたこと
を特徴とする。
本発明のシート状被検体の表面欠陥検出装置は、仮ガラ
ス類のようなシート状被検体に対して該被検体の吸収波
長域の光を照射し、被検体の表面のキズやゴミにより生
した散乱光を前記波長の光に対して感度を有する検出手
段で検出することにより、表面のキズやゴミ等の欠陥を
被検体内部のゴミ、泡、および裏面のキズやゴミ、或い
は形状等に影響されることなく検出することが可能とな
る。
ス類のようなシート状被検体に対して該被検体の吸収波
長域の光を照射し、被検体の表面のキズやゴミにより生
した散乱光を前記波長の光に対して感度を有する検出手
段で検出することにより、表面のキズやゴミ等の欠陥を
被検体内部のゴミ、泡、および裏面のキズやゴミ、或い
は形状等に影響されることなく検出することが可能とな
る。
以下、実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明の実施例を示す図で、図中第４図の参照
番号と同一番号は同一内容を示している。
番号と同一番号は同一内容を示している。
図において、図示しない照明手段からの照明光２として
は被検ガラス板、或いはプラスチック板ｌに対して透過
しない波長の紫外線光または赤外線光を使用する。
は被検ガラス板、或いはプラスチック板ｌに対して透過
しない波長の紫外線光または赤外線光を使用する。
すなわち、プラスチック板の場合では、その紫外線領域
の分光ｉ３過率は第２図に示すような特性を示しく図中
、（１）：厚さｌ ｎのガラス樹脂、（２）：ｙγさ０
．００２インチのポリスチレン、＋３１ Ｆ 厚さ０．
００３インチのエチレンテレフタレート、（４）：厚さ
０．０２５インチのメチルメタクリレート）、また光学
ガラスの分光透過率は第３図のような特性を示す（但し
それぞれ厚さ１０龍）ので、照明光２として、光学ガラ
スの場合で言えば、例えば５．０μｍ以上の波長光の光
線で照明すれば吸収されて透過光は生じない。またプラ
スチ・７り板の場合で言えば、厚さ０．００２インチの
ポリスチレンの場合では０．２５μｍより短い波長の光
を使えばｉ３過しない。したがってこのような被検体に
吸収されて透過しない波長域の光を選択して照明するこ
とにより、照明光は全て被検ガラス板１の表面で正反射
光３となって反射することとなる。そのため、表面にあ
るキズ６によってのみ照明光２が散乱されてＴＶカメラ
５に到達する。
の分光ｉ３過率は第２図に示すような特性を示しく図中
、（１）：厚さｌ ｎのガラス樹脂、（２）：ｙγさ０
．００２インチのポリスチレン、＋３１ Ｆ 厚さ０．
００３インチのエチレンテレフタレート、（４）：厚さ
０．０２５インチのメチルメタクリレート）、また光学
ガラスの分光透過率は第３図のような特性を示す（但し
それぞれ厚さ１０龍）ので、照明光２として、光学ガラ
スの場合で言えば、例えば５．０μｍ以上の波長光の光
線で照明すれば吸収されて透過光は生じない。またプラ
スチ・７り板の場合で言えば、厚さ０．００２インチの
ポリスチレンの場合では０．２５μｍより短い波長の光
を使えばｉ３過しない。したがってこのような被検体に
吸収されて透過しない波長域の光を選択して照明するこ
とにより、照明光は全て被検ガラス板１の表面で正反射
光３となって反射することとなる。そのため、表面にあ
るキズ６によってのみ照明光２が散乱されてＴＶカメラ
５に到達する。
そこで、ＴＶカメラ５として照明光２の波長域に対して
充分な感度を有する撮像管、或いは撮像素子を内蔵した
もの等の検出装置を使用すれば、キズ６による散乱光を
検出することができる。この場合、裏面にキズやゴミが
存在したり、砂スリ面となっているものであっても、照
明光２が届かないので散乱光を生ずることがなく、検出
されることはない。
充分な感度を有する撮像管、或いは撮像素子を内蔵した
もの等の検出装置を使用すれば、キズ６による散乱光を
検出することができる。この場合、裏面にキズやゴミが
存在したり、砂スリ面となっているものであっても、照
明光２が届かないので散乱光を生ずることがなく、検出
されることはない。
以上のように本発明によれば、仮ガラス類やプラスチッ
ク板等のシート状被検体の表面のキズやゴミ等の欠陥を
内部のゴミ、泡、および裏面の形状等に影響されること
なく検出することが可能である。
ク板等のシート状被検体の表面のキズやゴミ等の欠陥を
内部のゴミ、泡、および裏面の形状等に影響されること
なく検出することが可能である。
また、本発明は液晶ディスプレイのガラス基板の電極側
表面のみの検査、表面鏡素材ガラスの検査、プラズマデ
ィスプレイ基板の検査、ＩＣ製造用マスク基板ガラス表
面の検査、Ｘ線に対して超高感度を有し、Ｘ線画像情報
を記録しておくと共に再利用可能なイメージングプレー
トの表面の検査等に広く用いることができる。
表面のみの検査、表面鏡素材ガラスの検査、プラズマデ
ィスプレイ基板の検査、ＩＣ製造用マスク基板ガラス表
面の検査、Ｘ線に対して超高感度を有し、Ｘ線画像情報
を記録しておくと共に再利用可能なイメージングプレー
トの表面の検査等に広く用いることができる。
第１図は本発明によるシート状被検体の表面欠陥検出装
置の一実施例を示す図、第２図はプラスチック板の分光
透過率を示す図、第３図は光学ガラスの分光透過率を示
す図、第４図は従来の板ガラス類のキズの検出装置を示
す図である。 ｌ・・・被検板ガラス又はプラスチック板、２・・・照
明光、３・・・正反射光、４・・・透過光、５・・・Ｔ
Ｖカメラ、６・・・表面のキズ又はゴミ、７・・・裏面
のキズ又はゴミ、８・・・′ｒ■モニタ、９・・・表面
のキズ又はゴミによる散乱光、ＩＯ・・・裏面のキズ又
はゴミによる散乱光。 出 願 人 浜松ホトニクス株式会社代 理
人 弁理士 蛭 川 昌 信＠鴨蓋−
置の一実施例を示す図、第２図はプラスチック板の分光
透過率を示す図、第３図は光学ガラスの分光透過率を示
す図、第４図は従来の板ガラス類のキズの検出装置を示
す図である。 ｌ・・・被検板ガラス又はプラスチック板、２・・・照
明光、３・・・正反射光、４・・・透過光、５・・・Ｔ
Ｖカメラ、６・・・表面のキズ又はゴミ、７・・・裏面
のキズ又はゴミ、８・・・′ｒ■モニタ、９・・・表面
のキズ又はゴミによる散乱光、ＩＯ・・・裏面のキズ又
はゴミによる散乱光。 出 願 人 浜松ホトニクス株式会社代 理
人 弁理士 蛭 川 昌 信＠鴨蓋−
Claims (2)
- （１）シート状被検体の吸収波長域の光で被検体を照明
する照明手段と、該波長域の光に対して感度を有し、被
検体表面からの散乱光を検出する検出手段とを備えたシ
ート状被検体の表面欠陥検出装置。 - （２）前記シート状被検体は、ガラス板或いはプラスチ
ック板である特許請求の範囲第１項記載のシート状被検
体の表面欠陥検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3198687A JPS63200043A (ja) | 1987-02-14 | 1987-02-14 | シ−ト状被検体の表面欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3198687A JPS63200043A (ja) | 1987-02-14 | 1987-02-14 | シ−ト状被検体の表面欠陥検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63200043A true JPS63200043A (ja) | 1988-08-18 |
Family
ID=12346246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3198687A Pending JPS63200043A (ja) | 1987-02-14 | 1987-02-14 | シ−ト状被検体の表面欠陥検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63200043A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020043689A (ko) * | 2000-12-02 | 2002-06-12 | 이구택 | 강판이면 표면결함 측정빔의 난반사 방지장치 |
| WO2009150938A1 (ja) | 2008-06-11 | 2009-12-17 | 信越化学工業株式会社 | 合成石英ガラス基板用研磨剤 |
| JP2013117398A (ja) * | 2011-12-01 | 2013-06-13 | Tokyo Institute Of Technology | 膜材料の欠陥の光学的観察方法および装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5748644A (en) * | 1980-09-09 | 1982-03-20 | Asahi Glass Co Ltd | Detection of defect for transparent body |
-
1987
- 1987-02-14 JP JP3198687A patent/JPS63200043A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5748644A (en) * | 1980-09-09 | 1982-03-20 | Asahi Glass Co Ltd | Detection of defect for transparent body |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020043689A (ko) * | 2000-12-02 | 2002-06-12 | 이구택 | 강판이면 표면결함 측정빔의 난반사 방지장치 |
| WO2009150938A1 (ja) | 2008-06-11 | 2009-12-17 | 信越化学工業株式会社 | 合成石英ガラス基板用研磨剤 |
| US9919962B2 (en) | 2008-06-11 | 2018-03-20 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Polishing agent for synthetic quartz glass substrate |
| JP2013117398A (ja) * | 2011-12-01 | 2013-06-13 | Tokyo Institute Of Technology | 膜材料の欠陥の光学的観察方法および装置 |
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