JP7126011B2 - 透過光学系の検査装置 - Google Patents
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Description
照明、遮光部、偏光フィルム(被検体)及びカメラを図1に示すように配置した。
偏光フィルムは、線幅約50μmのスクラッチを含んでおり、スクラッチが位置する領域に約550nmの波長の光を照射し、カメラに取得された光から検査画像を得た。
検査画像上でスクラッチが形成された領域の明度(グレースケール;0~255単位)とその周辺領域(暗部)との明度差を計算して検出強度で示した。
w2:21mm、d1:6mm、d2:50mmの条件下でw1を変えながら検査画像及び検出強度を得た。
w1:6mm、d1:6mm、d2:50mmの条件下でw2を変えながら検査画像及び検出強度を得た。
w1:6mm、w2:21mm、d2:50mmの条件下でd1を変えながら検査画像及び検出強度を得た。
w1:6mm、w2:21mm、d1:6mmの条件下でd2を変えながら検査画像及び検出強度を得た。
110,210:光源
130,230:集光レンズ
150:遮光部
170,270:被検体
190,290:撮影部
Claims (9)
- 被検体に光を照射する光源と、
前記被検体に前記光の焦点を形成する集光レンズと、
前記集光レンズによって集中された前記光を部分的に遮断する遮光部と、
前記被検体を通過した前記光を受容して映像を取得する撮影部とを含み、
前記光源、前記集光レンズ、前記遮光部及び前記撮影部は、一列に配置され、
前記遮光部の幅に対する前記光源の幅の比率は、1:2.625~1:4であり、
前記光源と前記遮光部との間の距離に対する前記光源と前記被検体との間の距離の比率は、1:6.25~1:12.5であることを特徴とする透過光学系の検査装置。 - 前記光源及び前記遮光部は、バー(bar)形状を有する、請求項1に記載の透過光学系の検査装置。
- 前記遮光部の幅は5~10mmである、請求項1に記載の透過光学系の検査装置。
- 前記光源の幅は6~40mmである、請求項1に記載の透過光学系の検査装置。
- 前記光源と前記遮光部との間の距離は4~10mmである、請求項1に記載の透過光学系の検査装置。
- 前記光源と前記被検体との間の距離は30~70mmである、請求項1に記載の透過光学系の検査装置。
- 前記遮光部により、前記集光レンズを通過した前記光のうち、前記被検体に対して垂直に入射する前記光が遮断される、請求項1に記載の透過光学系の検査装置。
- 前記遮光部は、平面上で前記被検体の搬送方向に対して45度(°)以上90度未満の角度に傾斜して配置される、請求項1に記載の透過光学系の検査装置。
- 前記被検体は、表面上に欠陥部を含み、前記遮光部による遮断がされていない前記光のうち、前記欠陥部によって屈折、回折または散乱された前記光が前記撮影部に収集される、請求項1に記載の透過光学系の検査装置。
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