JPH08201313A - 透明板状体の欠点検査方法及び装置 - Google Patents
透明板状体の欠点検査方法及び装置Info
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- JPH08201313A JPH08201313A JP7014224A JP1422495A JPH08201313A JP H08201313 A JPH08201313 A JP H08201313A JP 7014224 A JP7014224 A JP 7014224A JP 1422495 A JP1422495 A JP 1422495A JP H08201313 A JPH08201313 A JP H08201313A
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- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
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- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
- G01N2021/8822—Dark field detection
Abstract
(57)【要約】
【構成】 ガラス板３８の下方に配設された棒状光源３
２から棒状光源３２の真上に配設された１次元撮像装置
３６に向けて光を投光する。この光を遮光用マスク３４
で遮光して直射光が１次元撮像装置３６に直接入射しな
いようにする。そして、ガラス板３８に存在する突起
物、傷、泡等の欠点３８Ａで反射した散乱光を１次元撮
像装置３６で受光して欠点３８Ａを検出する。 【効果】 棒状光源から投光した直射光を１次元撮像装
置に直接入射しないようにする暗視野光学系を構成し
て、空気中のほこりや透明板状体に付着したほこり等を
検出せずに、透明板状体の欠点のみを検出する。また、
透過型の光学系を構成して透明板状体の表面、裏面及び
内部の欠点を同時に検出する。さらに、棒状光源と１次
元撮像装置と欠点検出部位とがほぼ１列に並べて光を投
光するので欠点形状の異方性を抑えて欠点を検出する。
２から棒状光源３２の真上に配設された１次元撮像装置
３６に向けて光を投光する。この光を遮光用マスク３４
で遮光して直射光が１次元撮像装置３６に直接入射しな
いようにする。そして、ガラス板３８に存在する突起
物、傷、泡等の欠点３８Ａで反射した散乱光を１次元撮
像装置３６で受光して欠点３８Ａを検出する。 【効果】 棒状光源から投光した直射光を１次元撮像装
置に直接入射しないようにする暗視野光学系を構成し
て、空気中のほこりや透明板状体に付着したほこり等を
検出せずに、透明板状体の欠点のみを検出する。また、
透過型の光学系を構成して透明板状体の表面、裏面及び
内部の欠点を同時に検出する。さらに、棒状光源と１次
元撮像装置と欠点検出部位とがほぼ１列に並べて光を投
光するので欠点形状の異方性を抑えて欠点を検出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガラス板やパネル等の
透明、半透明な平板状又はゆるやかな曲率を有する板状
体に存在する突起物、傷、泡等の欠点を検出する透明板
状体の欠点検査方法及び装置及びその装置に関する。
透明、半透明な平板状又はゆるやかな曲率を有する板状
体に存在する突起物、傷、泡等の欠点を検出する透明板
状体の欠点検査方法及び装置及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】各種製法で製法された板ガラスやパネル
は、その表面、裏面又は内部に突起物、傷、泡等の欠点
（以下、欠点と称す）が存在すると不良品と判断されて
廃棄される。この欠点を検出する装置として、透過型の
明視野検査装置（図５参照）、反射型の明視野検査装置
（図６参照）、透過型の暗視野検査装置（図７参照）及
び反射型の暗視野検査装置（図８参照）が知られてい
る。
は、その表面、裏面又は内部に突起物、傷、泡等の欠点
（以下、欠点と称す）が存在すると不良品と判断されて
廃棄される。この欠点を検出する装置として、透過型の
明視野検査装置（図５参照）、反射型の明視野検査装置
（図６参照）、透過型の暗視野検査装置（図７参照）及
び反射型の暗視野検査装置（図８参照）が知られてい
る。
【０００３】図５に示す透過型の明視野検査装置は、透
明板状体１０の下方に光源１２が配設され、透明板状体
１０の上方の光源１２の真上（すなわち、光源１２の光
路上）に撮像カメラ１４が配設されている。これによ
り、光源１２の直接光が透明板状体１０を透過して撮像
カメラ１４に導かれる。そして、光源１２の直接光は欠
点１０Ａ等で散乱等されて光量が低下する。従って、明
るい背景のなかで欠点１０Ａ等の部分が暗くなり、欠点
１０Ａ等が認識される。
明板状体１０の下方に光源１２が配設され、透明板状体
１０の上方の光源１２の真上（すなわち、光源１２の光
路上）に撮像カメラ１４が配設されている。これによ
り、光源１２の直接光が透明板状体１０を透過して撮像
カメラ１４に導かれる。そして、光源１２の直接光は欠
点１０Ａ等で散乱等されて光量が低下する。従って、明
るい背景のなかで欠点１０Ａ等の部分が暗くなり、欠点
１０Ａ等が認識される。
【０００４】また、図６に示す反射型の明視野検査装置
は、透明板状体１０の左斜め上方に光源１２が配設さ
れ、透明板状体１０の右斜め上方であって光源１２の直
接光の光路上に撮像カメラ１４が配設されている。従っ
て、光源１２の直接光が透明板状体１０で反射して撮像
カメラ１４に導かれる。そして、光源１２の直接光は欠
点１０Ａ等で散乱等されて反射光量が低下する。従っ
て、明るい背景のなかで欠点１０Ａ等の部分が暗くな
り、欠点１０Ａ等が認識される。
は、透明板状体１０の左斜め上方に光源１２が配設さ
れ、透明板状体１０の右斜め上方であって光源１２の直
接光の光路上に撮像カメラ１４が配設されている。従っ
て、光源１２の直接光が透明板状体１０で反射して撮像
カメラ１４に導かれる。そして、光源１２の直接光は欠
点１０Ａ等で散乱等されて反射光量が低下する。従っ
て、明るい背景のなかで欠点１０Ａ等の部分が暗くな
り、欠点１０Ａ等が認識される。
【０００５】さらに、図７に示す透過型の暗視野検査装
置は、透明板状体１０の右斜め下方に光源１２が配設さ
れ、透明板状体１０の上方に撮像カメラ１４が配設され
ている。この場合、撮像カメラ１４は光源１２の直接光
の光路上に配設されていないので、光源１２の直接光は
撮像カメラ１４に導かれない。そして、透明板状体１０
に欠点１０Ａ等がある場合、光源１２からの光が欠点１
０Ａ等で屈折、反射乃至は散乱などの偏向を受けて撮像
カメラ１４に導かれる。従って、暗い背景のなかで欠点
１０Ａ等の部分が明るくなり、欠点１０Ａ等が認識され
る。
置は、透明板状体１０の右斜め下方に光源１２が配設さ
れ、透明板状体１０の上方に撮像カメラ１４が配設され
ている。この場合、撮像カメラ１４は光源１２の直接光
の光路上に配設されていないので、光源１２の直接光は
撮像カメラ１４に導かれない。そして、透明板状体１０
に欠点１０Ａ等がある場合、光源１２からの光が欠点１
０Ａ等で屈折、反射乃至は散乱などの偏向を受けて撮像
カメラ１４に導かれる。従って、暗い背景のなかで欠点
１０Ａ等の部分が明るくなり、欠点１０Ａ等が認識され
る。
【０００６】また、図８に示す反射型の暗視野検査装置
は、透明板状体１０の右斜め上方に光源１２が配設さ
れ、透明板状体１０の上方に撮像カメラ１４が配設され
ている。この場合、撮像カメラ１４は光源１２の直接光
の光路上に配設されていないので、光源１２の直接光は
撮像カメラ１４に導かれない。そして、透明板状体１０
に欠点１０Ａ等がある場合、光源１２からの光が欠点１
０Ａ等で屈折、反射乃至は散乱などの偏向を受けて撮像
カメラ１４に導かれる。従って、暗い背景のなかで欠点
１０Ａ等の部分が明るくなり、欠点１０Ａ等が認識され
る。
は、透明板状体１０の右斜め上方に光源１２が配設さ
れ、透明板状体１０の上方に撮像カメラ１４が配設され
ている。この場合、撮像カメラ１４は光源１２の直接光
の光路上に配設されていないので、光源１２の直接光は
撮像カメラ１４に導かれない。そして、透明板状体１０
に欠点１０Ａ等がある場合、光源１２からの光が欠点１
０Ａ等で屈折、反射乃至は散乱などの偏向を受けて撮像
カメラ１４に導かれる。従って、暗い背景のなかで欠点
１０Ａ等の部分が明るくなり、欠点１０Ａ等が認識され
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図５に
示す透過型の明視野検査装置や図６に示す反射型の明視
野検査装置は、透明板状体の品質に影響を与えないほこ
り（空気中に浮遊しているほこりや透明板状体１０の表
面に付着したほこり）等も検出してしまうので、突起
物、傷、泡等の透明板状体の品質に影響を与える欠点を
正確に検出することができないという問題がある。
示す透過型の明視野検査装置や図６に示す反射型の明視
野検査装置は、透明板状体の品質に影響を与えないほこ
り（空気中に浮遊しているほこりや透明板状体１０の表
面に付着したほこり）等も検出してしまうので、突起
物、傷、泡等の透明板状体の品質に影響を与える欠点を
正確に検出することができないという問題がある。
【０００８】また、図６に示す反射型の明視野検査装置
は、透明板状体１０の裏面や内部の欠点を検出すること
ができないという問題がある。さらに、図７に示す透過
型の暗視野検査装置や図８に示す反射型の暗視野検査装
置は、光源１２の直射光が斜めから投光されるので、欠
点の形状の異方性などの影響を受けるという問題があ
る。
は、透明板状体１０の裏面や内部の欠点を検出すること
ができないという問題がある。さらに、図７に示す透過
型の暗視野検査装置や図８に示す反射型の暗視野検査装
置は、光源１２の直射光が斜めから投光されるので、欠
点の形状の異方性などの影響を受けるという問題があ
る。
【０００９】本発明はこのような事情に鑑みて成された
もので、ほこりを検出せずに、透明板状体の表面、裏面
及び内部の欠点を同時に検出することができ、さらに、
欠点形状の異方性を低減して欠点を検出することができ
る透明板状体の欠点検査方法及び装置及びその装置を提
供することを目的とする。
もので、ほこりを検出せずに、透明板状体の表面、裏面
及び内部の欠点を同時に検出することができ、さらに、
欠点形状の異方性を低減して欠点を検出することができ
る透明板状体の欠点検査方法及び装置及びその装置を提
供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、透明板状体に
存在する突起物、傷、泡等の欠点を検出する透明板状体
の欠点検査方法において、前記透明板状体の一方側に配
設された棒状光源から前記透明板状体の他方側に配設さ
れた１次元撮像装置に向けて光を投光し、前記棒状光源
からの直射光が直接前記１次元撮像装置に入射すること
を阻止するように、前記投光された光を遮光用マスクで
遮光すると共に、前記棒状光源からの散乱光を前記１次
元撮像装置に向けて照射し、前記透明板状体の欠点で屈
折、反射乃至は散乱などの偏向を受けた散乱光を前記１
次元撮像装置で受光して前記欠点を検出することを特徴
とする透明板状体の欠点検査方法、及び、それを実施す
るための装置である。
存在する突起物、傷、泡等の欠点を検出する透明板状体
の欠点検査方法において、前記透明板状体の一方側に配
設された棒状光源から前記透明板状体の他方側に配設さ
れた１次元撮像装置に向けて光を投光し、前記棒状光源
からの直射光が直接前記１次元撮像装置に入射すること
を阻止するように、前記投光された光を遮光用マスクで
遮光すると共に、前記棒状光源からの散乱光を前記１次
元撮像装置に向けて照射し、前記透明板状体の欠点で屈
折、反射乃至は散乱などの偏向を受けた散乱光を前記１
次元撮像装置で受光して前記欠点を検出することを特徴
とする透明板状体の欠点検査方法、及び、それを実施す
るための装置である。
【００１１】
【作用】本発明によれば、透明板状体の一方側に棒状光
源を配設し、透明板状体の他方側に棒状光源に対向して
１次元撮像装置を配設した。また、透明板状体と棒状光
源との間に設けられた遮光用マスクは、棒状光源と１次
元撮像装置とを結んだ直線上に位置すると共に１次元撮
像装置に対向して位置している。この遮光用マスクは、
少なくとも前記１次元撮像装置の１画素分の幅を備えて
いる。
源を配設し、透明板状体の他方側に棒状光源に対向して
１次元撮像装置を配設した。また、透明板状体と棒状光
源との間に設けられた遮光用マスクは、棒状光源と１次
元撮像装置とを結んだ直線上に位置すると共に１次元撮
像装置に対向して位置している。この遮光用マスクは、
少なくとも前記１次元撮像装置の１画素分の幅を備えて
いる。
【００１２】従って、棒状光源から投光された直射光は
遮光用マスクで遮光されて、１次元撮像装置に直接入射
しない。このため、光源の光量を充分に増やすことがで
きる。一方、棒状光源から投光された散乱光は透明板状
体の欠点で偏向されて１次元撮像装置に受光され、これ
により、透明板状体の欠点が検出される。
遮光用マスクで遮光されて、１次元撮像装置に直接入射
しない。このため、光源の光量を充分に増やすことがで
きる。一方、棒状光源から投光された散乱光は透明板状
体の欠点で偏向されて１次元撮像装置に受光され、これ
により、透明板状体の欠点が検出される。
【００１３】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る透明板状
体の欠点検査方法及び装置及び装置の好ましい実施例を
詳説する。図１は本発明に係る透明板状体の欠点検査装
置の斜視図、図２は本発明に係る透明板状体の欠点検査
装置の側面図である。図１に示すように透明板状体の欠
点検査装置３０は棒状光源３１、遮光用マスク３４及び
１次元撮像装置３６を備えている。
体の欠点検査方法及び装置及び装置の好ましい実施例を
詳説する。図１は本発明に係る透明板状体の欠点検査装
置の斜視図、図２は本発明に係る透明板状体の欠点検査
装置の側面図である。図１に示すように透明板状体の欠
点検査装置３０は棒状光源３１、遮光用マスク３４及び
１次元撮像装置３６を備えている。
【００１４】棒状光源３１は円筒状に形成され、光源ボ
ックス３２内に収納されている。光源ボックス３２は断
面が矩形状の筒形に形成され、ガラス板３８の下方にガ
ラス板３８の搬送方向に対して直交する方向に伸長され
ている。また、光源ボックス３２の表面には拡散板が取
り付けられている。これにより、光源ボックス３２から
投光される光は一部が拡散板で拡散される。この光源ボ
ックス３２の表面には中心線に沿って遮光用マスク３４
が付着されている。遮光用マスク３４は幅が、後述する
１次元撮像装置３６の１画素に対応する幅と同一に設定
されている。遮光用マスク３６は光源ボックス３２から
投光された光を遮光する。尚、棒状光源３１の形状が上
記円筒状に限られるものではなく、また、光源ボックス
３２の形状も上記矩形状に限られるものではない。ま
た、遮光用マスク３４の幅はラインセンサ３６の１画素
に対応する幅を超えるものでも良い。
ックス３２内に収納されている。光源ボックス３２は断
面が矩形状の筒形に形成され、ガラス板３８の下方にガ
ラス板３８の搬送方向に対して直交する方向に伸長され
ている。また、光源ボックス３２の表面には拡散板が取
り付けられている。これにより、光源ボックス３２から
投光される光は一部が拡散板で拡散される。この光源ボ
ックス３２の表面には中心線に沿って遮光用マスク３４
が付着されている。遮光用マスク３４は幅が、後述する
１次元撮像装置３６の１画素に対応する幅と同一に設定
されている。遮光用マスク３６は光源ボックス３２から
投光された光を遮光する。尚、棒状光源３１の形状が上
記円筒状に限られるものではなく、また、光源ボックス
３２の形状も上記矩形状に限られるものではない。ま
た、遮光用マスク３４の幅はラインセンサ３６の１画素
に対応する幅を超えるものでも良い。
【００１５】前述した１次元撮像装置３６はガラス板３
８の上方に位置し、その画素列が遮光用マスク３４と平
行に配設されている。そして、１次元撮像装置３６の複
数の画素は遮光用マスク３４と対向して配されて、遮光
用マスク３４の真上に位置する。この場合、光源ボック
ス３２から投光された直射光は遮光用マスク３４で遮光
されるので、光源ボックス３２の直射光は１次元撮像装
置３６の複数の画素の受光面に入射しない。尚、１次元
撮像装置３６はガラス板３８に焦点が合わせられてい
る。
８の上方に位置し、その画素列が遮光用マスク３４と平
行に配設されている。そして、１次元撮像装置３６の複
数の画素は遮光用マスク３４と対向して配されて、遮光
用マスク３４の真上に位置する。この場合、光源ボック
ス３２から投光された直射光は遮光用マスク３４で遮光
されるので、光源ボックス３２の直射光は１次元撮像装
置３６の複数の画素の受光面に入射しない。尚、１次元
撮像装置３６はガラス板３８に焦点が合わせられてい
る。
【００１６】一方、搬送中のガラス板３８の突起物、
傷、泡等の欠点３８Ａが遮光用マスク３４の上方に位置
した場合、光源ボックス３２の散乱光３２Ａが欠点３８
Ａで偏向されて１次元撮像装置３６に入力する。従っ
て、暗い背景のなかで欠点３８Ａの部分が明るくなるの
で、１次元撮像装置３６に入力した欠点３８Ａからの光
を検知することにより欠点３８Ａが認識される。
傷、泡等の欠点３８Ａが遮光用マスク３４の上方に位置
した場合、光源ボックス３２の散乱光３２Ａが欠点３８
Ａで偏向されて１次元撮像装置３６に入力する。従っ
て、暗い背景のなかで欠点３８Ａの部分が明るくなるの
で、１次元撮像装置３６に入力した欠点３８Ａからの光
を検知することにより欠点３８Ａが認識される。
【００１７】尚、図２に示すように、ガラス板３８は搬
送ローラ４０、４０…に載置され、搬送ローラ４０、４
０…が反時計方向に回動することによりガラス板３８が
矢印Ａ方向に搬送される。前記の如く構成された本発明
に係る透明板状体の欠点検査装置の作用を説明する。
送ローラ４０、４０…に載置され、搬送ローラ４０、４
０…が反時計方向に回動することによりガラス板３８が
矢印Ａ方向に搬送される。前記の如く構成された本発明
に係る透明板状体の欠点検査装置の作用を説明する。
【００１８】先ず、搬送ローラ４０、４０…を反時計方
向に回動してガラス板３８を矢印Ａ方向に搬送し、この
状態で棒状光源３１のスイッチを「ＯＮ」する。これに
より、光源ボックス３２から直射光や散乱光が投光され
る。この場合、光源ボックス３２の表面には中心線に沿
って遮光用マスク３４が付着されているので、光源ボッ
クス３２から投光された光が遮光用マスク３４で遮光さ
れて、１次元撮像装置３６の複数の画素の受光面に直接
入射しない。従って、ガラス板３８に欠点３８Ａがない
場合、１次元撮像装置３６から出力される電圧レベルは
略０に近い値になる。
向に回動してガラス板３８を矢印Ａ方向に搬送し、この
状態で棒状光源３１のスイッチを「ＯＮ」する。これに
より、光源ボックス３２から直射光や散乱光が投光され
る。この場合、光源ボックス３２の表面には中心線に沿
って遮光用マスク３４が付着されているので、光源ボッ
クス３２から投光された光が遮光用マスク３４で遮光さ
れて、１次元撮像装置３６の複数の画素の受光面に直接
入射しない。従って、ガラス板３８に欠点３８Ａがない
場合、１次元撮像装置３６から出力される電圧レベルは
略０に近い値になる。
【００１９】一方、搬送中のガラス板３８の欠点３８Ａ
が遮光用マスク３４の上方に位置した場合、光源ボック
ス３２の散乱光３２Ａが欠点３８Ａで偏向して１次元撮
像装置３６に入力する。従って、１次元撮像装置３６か
ら出力される電圧レベルが高くなり欠点３８Ａが認識さ
れる。このように、光源ボックス３２から投光した光を
１次元撮像装置３６に直接入射しないようにして暗視野
光学系を構成することにより、空気中のほこりやガラス
板３８に付着したほこり等を検出せずに、ガラス板３８
の欠点のみを検出することができる。また、透過型の光
学系とすることにより、ガラス板３８の表面、裏面及び
内部の欠点を同時に検出することができる。さらに、棒
状光源３８と１次元撮像装置３６と欠点検出部位とがほ
ぼ１列に並んでいるので、欠点形状の異方性を減らして
欠点を検出することができる。
が遮光用マスク３４の上方に位置した場合、光源ボック
ス３２の散乱光３２Ａが欠点３８Ａで偏向して１次元撮
像装置３６に入力する。従って、１次元撮像装置３６か
ら出力される電圧レベルが高くなり欠点３８Ａが認識さ
れる。このように、光源ボックス３２から投光した光を
１次元撮像装置３６に直接入射しないようにして暗視野
光学系を構成することにより、空気中のほこりやガラス
板３８に付着したほこり等を検出せずに、ガラス板３８
の欠点のみを検出することができる。また、透過型の光
学系とすることにより、ガラス板３８の表面、裏面及び
内部の欠点を同時に検出することができる。さらに、棒
状光源３８と１次元撮像装置３６と欠点検出部位とがほ
ぼ１列に並んでいるので、欠点形状の異方性を減らして
欠点を検出することができる。
【００２０】前記実施例では、遮光用マスク３４の幅を
１次元撮像装置３６の１画素分の幅と同一に設定した場
合について説明したが、これに限らず、使用時の振動等
を考慮して遮光用マスク３４の幅を１次元撮像装置３６
の１画素分の幅より広く設定してもよい。また、前記実
施例では遮光用マスク３４の幅Ｄを一定に設定し、さら
に、遮光用マスク３４とガラス板３８間の距離Ｌを一定
に設定した場合について説明したが、これに限らず、遮
光用マスク３４の幅Ｄ、遮光用マスク３４とガラス板３
８との距離Ｌを変化、調整してもよい。こうすることに
より、例えば外面の凹凸やほこりに対して感度を低くす
ることもできる。以下、遮光用マスク３４の幅Ｄ、遮光
用マスク３４とガラス板３８との距離Ｌを変化、調整す
る場合を説明する。
１次元撮像装置３６の１画素分の幅と同一に設定した場
合について説明したが、これに限らず、使用時の振動等
を考慮して遮光用マスク３４の幅を１次元撮像装置３６
の１画素分の幅より広く設定してもよい。また、前記実
施例では遮光用マスク３４の幅Ｄを一定に設定し、さら
に、遮光用マスク３４とガラス板３８間の距離Ｌを一定
に設定した場合について説明したが、これに限らず、遮
光用マスク３４の幅Ｄ、遮光用マスク３４とガラス板３
８との距離Ｌを変化、調整してもよい。こうすることに
より、例えば外面の凹凸やほこりに対して感度を低くす
ることもできる。以下、遮光用マスク３４の幅Ｄ、遮光
用マスク３４とガラス板３８との距離Ｌを変化、調整す
る場合を説明する。
【００２１】例えば、遮光用マスク３４の幅Ｄを変化さ
せることにより、ガラス板３８に存在している突起物、
傷、泡等の欠点についてそれぞれの特徴を抽出すること
が可能になる。１例として、遮光用マスク３４の幅Ｄを
狭くした場合、ガラス板３８に存在している突起物が遮
光用マスク３４に近づく際に、この突起物が１次元撮像
装置３６まで近づくと１次元撮像装置３６が受光する突
起物の反射光量が急速に増加する。
せることにより、ガラス板３８に存在している突起物、
傷、泡等の欠点についてそれぞれの特徴を抽出すること
が可能になる。１例として、遮光用マスク３４の幅Ｄを
狭くした場合、ガラス板３８に存在している突起物が遮
光用マスク３４に近づく際に、この突起物が１次元撮像
装置３６まで近づくと１次元撮像装置３６が受光する突
起物の反射光量が急速に増加する。
【００２２】また、遮光用マスク３４の幅Ｄを同様に狭
くした場合、ガラス板３８に存在している汚れが遮光用
マスク３４に近づく際に、この汚れが１次元撮像装置３
６まで近づくと１次元撮像装置３６が受光する汚れの反
射光量が比較的徐々に増加する。従って、ガラス板３８
に存在する突起物と汚れとの識別が可能になる。また、
突起物や汚れと同様に、ガラス板３８に存在するその他
の欠点（泡や傷など）についても識別可能な特徴がみら
れる。この場合、遮光用マスク３４の幅Ｄの変化に対応
させて遮光用マスク３４とガラス板３８との距離Ｌを変
化させる。
くした場合、ガラス板３８に存在している汚れが遮光用
マスク３４に近づく際に、この汚れが１次元撮像装置３
６まで近づくと１次元撮像装置３６が受光する汚れの反
射光量が比較的徐々に増加する。従って、ガラス板３８
に存在する突起物と汚れとの識別が可能になる。また、
突起物や汚れと同様に、ガラス板３８に存在するその他
の欠点（泡や傷など）についても識別可能な特徴がみら
れる。この場合、遮光用マスク３４の幅Ｄの変化に対応
させて遮光用マスク３４とガラス板３８との距離Ｌを変
化させる。
【００２３】図３、図４に示す遮光用マスク４４は、幅
寸法が異なるフィルム４４Ａ、４４Ｂ、４４Ｃを３段重
ねて形成されている。フィルム４４Ａは光の赤成分を遮
光し、フィルム４４Ｂは緑成分を遮光する。また、フィ
ルム４４Ｃは全可視光を遮光する。この遮光用マスク４
４を光源ボックス３２の上面中央に貼り付けると、フィ
ルム４４Ａのみのエリアは青成分及び緑成分の光４６Ａ
が透過し、また、フィルム４４Ａ、４４Ｂが２段に重ね
られたエリアは青成分の光４６Ｂが投光する。さらに、
フィルム４４Ａ、４４Ｂ、４４Ｃで３段重ねられたエリ
アは光を遮光する。そして、フィルム４４Ａ、４４Ｂ、
４４Ｃで３段重ねられた部分の幅寸法は少なくとも１次
元撮像装置３６の１画素分の幅と同一に設定されてい
る。
寸法が異なるフィルム４４Ａ、４４Ｂ、４４Ｃを３段重
ねて形成されている。フィルム４４Ａは光の赤成分を遮
光し、フィルム４４Ｂは緑成分を遮光する。また、フィ
ルム４４Ｃは全可視光を遮光する。この遮光用マスク４
４を光源ボックス３２の上面中央に貼り付けると、フィ
ルム４４Ａのみのエリアは青成分及び緑成分の光４６Ａ
が透過し、また、フィルム４４Ａ、４４Ｂが２段に重ね
られたエリアは青成分の光４６Ｂが投光する。さらに、
フィルム４４Ａ、４４Ｂ、４４Ｃで３段重ねられたエリ
アは光を遮光する。そして、フィルム４４Ａ、４４Ｂ、
４４Ｃで３段重ねられた部分の幅寸法は少なくとも１次
元撮像装置３６の１画素分の幅と同一に設定されてい
る。
【００２４】この場合、１枚のフィルム４４Ａを透過し
た光４６Ａと２段に重ねられたフィルム４４Ａ、４４Ｂ
を透過した光４６Ｂは欠点（突起物、傷、泡等）３８Ａ
で偏向されて１次元撮像装置３６に入射する。従って、
１次元撮像装置３６に入射した散乱光の色成分や光量を
検出することにより光４６Ａ、４６Ｂの光路を明らかに
する情報を得ることができる。これにより、この情報に
基づいてガラス板３８に存在する欠点（突起物、傷、泡
等）３８Ａの種別や散乱、屈折力に強さの違いを識別す
ることが可能である。
た光４６Ａと２段に重ねられたフィルム４４Ａ、４４Ｂ
を透過した光４６Ｂは欠点（突起物、傷、泡等）３８Ａ
で偏向されて１次元撮像装置３６に入射する。従って、
１次元撮像装置３６に入射した散乱光の色成分や光量を
検出することにより光４６Ａ、４６Ｂの光路を明らかに
する情報を得ることができる。これにより、この情報に
基づいてガラス板３８に存在する欠点（突起物、傷、泡
等）３８Ａの種別や散乱、屈折力に強さの違いを識別す
ることが可能である。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る透明板
状体の欠点検査方法及び装置によれば、棒状光源から投
光された直射光を遮光用マスクで遮光して、１次元撮像
装置に直接入射しないようにした。そして、棒状光源か
ら投光された散乱光を透明板状体の欠点で反射させて１
次元撮像装置に入射するようにした。これにより、１次
元撮像装置は散乱光に基づいてこれらの欠点を検出す
る。
状体の欠点検査方法及び装置によれば、棒状光源から投
光された直射光を遮光用マスクで遮光して、１次元撮像
装置に直接入射しないようにした。そして、棒状光源か
ら投光された散乱光を透明板状体の欠点で反射させて１
次元撮像装置に入射するようにした。これにより、１次
元撮像装置は散乱光に基づいてこれらの欠点を検出す
る。
【００２６】このように、棒状光源から投光した直射光
を遮光マスクにより１次元撮像装置に直接入射しないよ
うにする暗視野光学系とし、空気中のほこりや透明板状
体に付着したほこり等を検出せずに、透明板状体の欠点
のみを検出することができる。また、透過型の光学系と
することにより、透明板状体の表面、裏面及び内部の欠
点を同時に検出することができる。さらに、棒状光源と
１次元撮像装置と欠点検出部位とがほぼ１列にならんで
いるようにしたので、欠点形状の異方性の影響を減らし
て欠点を検出することができる。また、特に遮光マスク
の幅を１次元撮像装置の１画素分とほぼ等しくすれば、
暗視野内の暗さをほぼ均一にでき、かつ、欠点形状の異
方性により影響されにくくできる。
を遮光マスクにより１次元撮像装置に直接入射しないよ
うにする暗視野光学系とし、空気中のほこりや透明板状
体に付着したほこり等を検出せずに、透明板状体の欠点
のみを検出することができる。また、透過型の光学系と
することにより、透明板状体の表面、裏面及び内部の欠
点を同時に検出することができる。さらに、棒状光源と
１次元撮像装置と欠点検出部位とがほぼ１列にならんで
いるようにしたので、欠点形状の異方性の影響を減らし
て欠点を検出することができる。また、特に遮光マスク
の幅を１次元撮像装置の１画素分とほぼ等しくすれば、
暗視野内の暗さをほぼ均一にでき、かつ、欠点形状の異
方性により影響されにくくできる。
【００２７】尚、本明細書でいう透明板状体とは必ずし
も平板ガラス板に限るものではなく、パネルなどのゆる
やかな曲率を有するもの、あるいは半透明な材質のもの
も含まれるのはいうまでもない。
も平板ガラス板に限るものではなく、パネルなどのゆる
やかな曲率を有するもの、あるいは半透明な材質のもの
も含まれるのはいうまでもない。
【図１】本発明に係る透明板状体の欠点検査装置の斜視
図
図
【図２】本発明に係る透明板状体の欠点検査装置の正面
図
図
【図３】本発明に係る透明板状体の欠点検査装置の他の
実施例に使用される遮光用マスクを示す斜視図
実施例に使用される遮光用マスクを示す斜視図
【図４】本発明に係る透明板状体の欠点検査装置の他の
実施例を示す正面図
実施例を示す正面図
【図５】従来の透過型の明視野検査装置を説明する概略
図
図
【図６】従来の反射型の明視野検査装置を説明する概略
図
図
【図７】従来の透過型の暗視野検査装置を説明する概略
図
図
【図８】従来の反射型の暗視野検査装置を説明する概略
図
図
３０…透明板状体の欠点検査装置 ３１…棒状光源 ３２…光源ボックス ３４…遮光用マスク ３６…１次元撮像装置 ３８…ガラス板（透明板状体） ３８Ａ…欠点
Claims (8)
- 【請求項１】 透明板状体に存在する突起物、傷、泡等
の欠点を検出する透明板状体の欠点検査方法において、 前記透明板状体の一方側に配設された棒状光源から前記
透明板状体の他方側に配設された１次元撮像装置に向け
て光を投光し、 前記棒状光源からの直射光が直接前記１次元撮像装置に
入射することを阻止するように、前記投光された光を遮
光用マスクで遮光すると共に、前記棒状光源からの光を
前記透明板状体に向けて照射し、 前記透明板状体の欠点で偏向した光を前記１次元撮像装
置で受光して前記欠点を検出することを特徴とする透明
板状体の欠点検査方法。 - 【請求項２】 前記棒状光源と前記１次元撮像装置と欠
点の検出部位とが略一列に並んでいることを特徴とする
請求項１の透明板状体の欠点検査方法。 - 【請求項３】 前記遮光用マスクの幅を調整して前記欠
点の種類を識別することを特徴とする請求項１の透明板
状体の欠点検査方法。 - 【請求項４】 前記遮光用マスクの一方側から投光され
る光の色成分又は光量と、前記遮光用マスクの他方側か
ら投光される光の色成分又は光量とを識別することによ
り欠点の種類、大きさ等を識別することを特徴とする請
求項１の透明板状体の欠点検査方法。 - 【請求項５】 透明板状体に存在する突起物、傷、泡等
の欠点を検出する透明板状体の欠点検査装置において、 前記透明板状体の一方側に配設されると共に前記透明板
状体に光を投光する棒状光源と、 前記透明板状体の他方側に設けられると共に前記棒状光
源に対向して配設された１次元撮像装置と、 前記透明板状体と前記棒状光源との間に設けられると共
に前記棒状光源と前記１次元撮像装置とを結んだ線上に
配設され、少なくとも前記１次元撮像装置の１画素に対
応する幅サイズに形成され、前記棒状光源から投光され
た直射光が直接前記１次元撮像装置に入射することを阻
止する遮光用マスクと、 を備え、前記棒状光源からの光を前記透明板状体に向け
て照射し、前記透明板状体の欠点で偏向した光を前記１
次元撮像装置で受光して前記欠点を検出することを特徴
とする透明板状体の欠点検査装置。 - 【請求項６】 前記棒状光源と前記１次元撮像装置とを
欠点検出部位とがほぼ１列に並んでいることを特徴とす
る請求項５の透明板状体の欠点検査装置。 - 【請求項７】 前記遮光用マスクの幅を調整して前記欠
点の種類を識別することを特徴とする請求項５の透明板
状体の欠点検査装置。 - 【請求項８】 前記遮光用マスクの一方側から投光され
る光の色成分又は光量と、前記遮光用マスクの他方側か
ら投光される光の色成分又は光量とを識別することによ
り欠点の種類、大きさ等を識別することを特徴とする請
求項５の透明板状体の欠点検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01422495A JP3436326B2 (ja) | 1995-01-31 | 1995-01-31 | 透明板状体の欠点検査方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01422495A JP3436326B2 (ja) | 1995-01-31 | 1995-01-31 | 透明板状体の欠点検査方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08201313A true JPH08201313A (ja) | 1996-08-09 |
| JP3436326B2 JP3436326B2 (ja) | 2003-08-11 |
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ID=11855104
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01422495A Expired - Fee Related JP3436326B2 (ja) | 1995-01-31 | 1995-01-31 | 透明板状体の欠点検査方法及び装置 |
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|---|---|
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Cited By (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1130591A (ja) * | 1997-07-11 | 1999-02-02 | Asahi Chem Ind Co Ltd | フィルムシート欠陥検査方法及びフィルムシート欠陥検査装置 |
| US6184977B1 (en) | 1998-03-30 | 2001-02-06 | Minolta Co., Ltd. | Inspection method and inspection device |
| JP2001141662A (ja) * | 1999-11-18 | 2001-05-25 | Central Glass Co Ltd | 透明板状体の欠点検出方法および検出装置 |
| JP2002507742A (ja) * | 1998-03-25 | 2002-03-12 | ラゾー ラザー ゾルター ゲーエムベーハー | 板ガラスの中の欠陥、特にドリップ、スレッド及び線を検出するための方法及び装置 |
| JP2002524718A (ja) * | 1998-03-25 | 2002-08-06 | ラゾー アーゲー | 板ガラス及び他の透光性材料の光学的品質を測定し、欠陥を検出するための方法並びに装置 |
| JP2004309481A (ja) * | 2003-04-04 | 2004-11-04 | Carl-Zeiss-Stiftung | 透明材料中の欠陥の検出方法及び装置 |
| WO2006057125A1 (ja) | 2004-11-24 | 2006-06-01 | Asahi Glass Company, Limited | 透明板状体の欠陥検査方法および装置 |
| JP2006153534A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Ckd Corp | 不良検査装置及びｐｔｐ包装機 |
| KR100701602B1 (ko) * | 2005-03-30 | 2007-03-29 | 충청북도 | 박막 필름 결함검출장치 |
| JP2008519257A (ja) * | 2004-10-28 | 2008-06-05 | コーニング インコーポレイテッド | 板ガラスの表面及び内部の欠陥を識別するための検査装置及び方法 |
| JP2008292171A (ja) * | 2007-05-22 | 2008-12-04 | Toray Ind Inc | 表面検査装置、表面検査方法および高分子フィルム表面検査方法 |
| JP2010171119A (ja) * | 2009-01-21 | 2010-08-05 | Laser Solutions Co Ltd | 観察装置、位置決め装置、レーザー加工装置および観察方法 |
| JP2010249552A (ja) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Central Glass Co Ltd | ガラス板の欠陥識別方法および装置 |
| CN102235979A (zh) * | 2010-04-22 | 2011-11-09 | 常州北星自动化科技有限公司 | 手机镜片外观检测装置 |
| WO2014072184A1 (de) * | 2012-11-09 | 2014-05-15 | R.A.M. Realtime Application Measurement Gmbh | Vorrichtung und verfahren zur abbildung eines bahnförmigen materials |
| WO2016103622A1 (ja) * | 2014-12-26 | 2016-06-30 | 五洋商事株式会社 | 外観検査装置および検査システム |
| JP2017167013A (ja) * | 2016-03-17 | 2017-09-21 | 株式会社アサヒビジョン | レンズチェッカー |
| KR20170129077A (ko) * | 2017-11-06 | 2017-11-24 | 동우 화인켐 주식회사 | 투과 광학계 검사 장치 및 이를 이용한 결함 검사 방법 |
| JP6389977B1 (ja) * | 2018-06-05 | 2018-09-12 | 株式会社ヒューテック | 欠陥検査装置 |
| JP2020060491A (ja) * | 2018-10-12 | 2020-04-16 | 英治 神谷 | 光透過性製品の疵検出装置および疵検出方法 |
| JP2023012290A (ja) * | 2021-07-13 | 2023-01-25 | 株式会社メック | 検査治具及び検査方法 |
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|---|---|---|---|---|
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-
1995
- 1995-01-31 JP JP01422495A patent/JP3436326B2/ja not_active Expired - Fee Related
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