JP2000065752A - 落射照明を用いた品質検査装置 - Google Patents
落射照明を用いた品質検査装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 遮光物の存在などにより、検査面へ斜めから
検査光を照射し難い状況下において、ハーフミラーなど
による直落射方式を用いずに、検査面の明瞭な像を得る
ことが可能な品質検査装置を提供することを目的とす
る。 【解決手段】 本発明に係る品質検査装置４は、撮像カ
メラ５の画角の外に配置され、被検査物１の検査面を落
射照明する光源６ａ，６ｂと、落射照明された検査面の
ライン状領域の反射光を受光し該ライン状領域を撮像す
る撮像カメラ５と、前記ライン状領域の反射像の光強度
分布を基にして検査面の品質を判定する判定手段７とを
備えたものである。
検査光を照射し難い状況下において、ハーフミラーなど
による直落射方式を用いずに、検査面の明瞭な像を得る
ことが可能な品質検査装置を提供することを目的とす
る。 【解決手段】 本発明に係る品質検査装置４は、撮像カ
メラ５の画角の外に配置され、被検査物１の検査面を落
射照明する光源６ａ，６ｂと、落射照明された検査面の
ライン状領域の反射光を受光し該ライン状領域を撮像す
る撮像カメラ５と、前記ライン状領域の反射像の光強度
分布を基にして検査面の品質を判定する判定手段７とを
備えたものである。
Description
【０００１】本発明は、枚葉印刷物やフィルムなどの表
面傷、異物の混入などの有無を判定する品質検査装置に
関する。
面傷、異物の混入などの有無を判定する品質検査装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、被検査物の検査面に光を照射
し、その反射像の光強度分布を基にして、検査面の品質
を判定する品質検査装置が知られている。この種の品質
検査装置は、枚葉印刷物などの印刷面の印刷ミス、たと
えば、印刷箇所の濃淡の欠落、印刷箇所のピンホール、
髪の毛などの異物の混入の有無を検査し、また、フィル
ム面の傷、汚れなどの欠陥の有無を検査することができ
る。
し、その反射像の光強度分布を基にして、検査面の品質
を判定する品質検査装置が知られている。この種の品質
検査装置は、枚葉印刷物などの印刷面の印刷ミス、たと
えば、印刷箇所の濃淡の欠落、印刷箇所のピンホール、
髪の毛などの異物の混入の有無を検査し、また、フィル
ム面の傷、汚れなどの欠陥の有無を検査することができ
る。
【０００３】図７に、このような品質検査装置４０の従
来例の概略構成を示す。図７によれば、被検査物である
シート４１は、バタツキや紙ハネなどを防ぐため、列設
する多数の搬送ローラ４２ａ，…，４２ｂ，…により上
下面を挟持されつつ矢印方向４３へ搬送されている。こ
のシート４１の表面状態を検査するには、搬送ローラ間
の挟隙４４を通して検査光をシート表面に照射する必要
がある。従って、品質検査装置４０は、光源４５と、こ
の光源４５の出射光４６を垂直落射させるハーフミラー
４７と、シート４１の表面像を撮像する撮像カメラ４８
と、この表面像の光強度分布に基づきその表面状態を判
定する判定手段４９とから構成されている。ハーフミラ
ー４７は、シート４１の搬送幅（図面奥行き方向の幅）
に亘るライン状領域の反射光５０を撮像カメラ４８へ与
えるため、その形状は、前記ライン状領域に対応したラ
イン形状でなければならない。従って、撮像カメラ４８
としても、前記のライン状領域を撮像すべく、ＣＣＤ
（電荷結合素子）などを配列したラインセンサを用いる
ことが多い。なお、シート４１の具体例としては、例え
ば、厚みが０．２〜１．０ｍｍ程度の枚葉印刷紙が挙げ
られる。
来例の概略構成を示す。図７によれば、被検査物である
シート４１は、バタツキや紙ハネなどを防ぐため、列設
する多数の搬送ローラ４２ａ，…，４２ｂ，…により上
下面を挟持されつつ矢印方向４３へ搬送されている。こ
のシート４１の表面状態を検査するには、搬送ローラ間
の挟隙４４を通して検査光をシート表面に照射する必要
がある。従って、品質検査装置４０は、光源４５と、こ
の光源４５の出射光４６を垂直落射させるハーフミラー
４７と、シート４１の表面像を撮像する撮像カメラ４８
と、この表面像の光強度分布に基づきその表面状態を判
定する判定手段４９とから構成されている。ハーフミラ
ー４７は、シート４１の搬送幅（図面奥行き方向の幅）
に亘るライン状領域の反射光５０を撮像カメラ４８へ与
えるため、その形状は、前記ライン状領域に対応したラ
イン形状でなければならない。従って、撮像カメラ４８
としても、前記のライン状領域を撮像すべく、ＣＣＤ
（電荷結合素子）などを配列したラインセンサを用いる
ことが多い。なお、シート４１の具体例としては、例え
ば、厚みが０．２〜１．０ｍｍ程度の枚葉印刷紙が挙げ
られる。
【０００４】以下、この従来の品質検査装置４０による
検査方法を簡単に説明する。先ず、光源４５の出射光４
６は、所定の角度で傾斜したハーフミラー４７において
反射し搬送ローラ間の挟隙４４を通過して、この挟隙４
４の下にあるシート４１の検査面に垂直落射する。この
検査面の反射光５０は、前記挟隙４４を通過しハーフミ
ラー４７を透過して、撮像カメラ４８により受光され検
査面の表面像を与える。次いで、撮像された表面像の画
像データは、判定手段４９へ転送されて、多階調画像デ
ータとして画素単位で処理される。判定手段４９におい
ては、この多階調画像データの各画素での濃度レベル
と、予め作成済みの表面状態の良好なマスタ画像データ
の各画素での濃度レベルとを比較・照合することによ
り、検査面の表面状態の良否が判定される。
検査方法を簡単に説明する。先ず、光源４５の出射光４
６は、所定の角度で傾斜したハーフミラー４７において
反射し搬送ローラ間の挟隙４４を通過して、この挟隙４
４の下にあるシート４１の検査面に垂直落射する。この
検査面の反射光５０は、前記挟隙４４を通過しハーフミ
ラー４７を透過して、撮像カメラ４８により受光され検
査面の表面像を与える。次いで、撮像された表面像の画
像データは、判定手段４９へ転送されて、多階調画像デ
ータとして画素単位で処理される。判定手段４９におい
ては、この多階調画像データの各画素での濃度レベル
と、予め作成済みの表面状態の良好なマスタ画像データ
の各画素での濃度レベルとを比較・照合することによ
り、検査面の表面状態の良否が判定される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
品質検査装置では、搬送ローラ間の挟隙の下にある検査
面の像を得るために、検査光を検査面へ垂直落射させて
いる。このような従来例に限らず、遮光物の存在などに
より、検査面に斜めから検査光を照射し難い状況では、
ハーフミラーによる垂直落射方式が常識的に採用されて
いた。しかしながら、ハーフミラーを用いるがための欠
点があった。
品質検査装置では、搬送ローラ間の挟隙の下にある検査
面の像を得るために、検査光を検査面へ垂直落射させて
いる。このような従来例に限らず、遮光物の存在などに
より、検査面に斜めから検査光を照射し難い状況では、
ハーフミラーによる垂直落射方式が常識的に採用されて
いた。しかしながら、ハーフミラーを用いるがための欠
点があった。
【０００６】ハーフミラーを用いるがための欠点として
は、以下（１）〜（３）が挙げられる。（１）検査面の
表面状態の良否を明確に判定し得る表面像を得るには、
表面像の光強度は一定レベル以上のものでなければなら
ない。しかし、ハーフミラーを用いると、光源の出射光
がハーフミラーに反射する際、および検査面の反射光が
ハーフミラーを透過する際に、これら光の強度が減少す
るため、撮像カメラに到達する光の強度が、前記の一定
レベル以下になることがある。（２）装置の長期使用な
どにより、ハーフミラーに塵埃が付着したときには、撮
像カメラに到達する光の強度はより弱くなる。（３）上
記のライン形状のハーフミラーは、一般に非常に高価か
つ製造が困難であり、品質検査装置の製造コストが大幅
に上昇する一因となる。例えば、枚葉印刷物の表面検査
では、その搬送幅（図面奥行き方向の幅）に亘る４２０
〜１，２５０ｍｍ程度のライン状領域を検査するため、
同サイズのハーフミラーを用意する必要があるが、この
種のハーフミラーは、製造が難しく高価である。
は、以下（１）〜（３）が挙げられる。（１）検査面の
表面状態の良否を明確に判定し得る表面像を得るには、
表面像の光強度は一定レベル以上のものでなければなら
ない。しかし、ハーフミラーを用いると、光源の出射光
がハーフミラーに反射する際、および検査面の反射光が
ハーフミラーを透過する際に、これら光の強度が減少す
るため、撮像カメラに到達する光の強度が、前記の一定
レベル以下になることがある。（２）装置の長期使用な
どにより、ハーフミラーに塵埃が付着したときには、撮
像カメラに到達する光の強度はより弱くなる。（３）上
記のライン形状のハーフミラーは、一般に非常に高価か
つ製造が困難であり、品質検査装置の製造コストが大幅
に上昇する一因となる。例えば、枚葉印刷物の表面検査
では、その搬送幅（図面奥行き方向の幅）に亘る４２０
〜１，２５０ｍｍ程度のライン状領域を検査するため、
同サイズのハーフミラーを用意する必要があるが、この
種のハーフミラーは、製造が難しく高価である。
【０００７】本発明は、上記の欠点に鑑み、遮光物の存
在などにより、検査面へ斜めから検査光を照射し難い状
況下において、ハーフミラーによる垂直落射方式を用い
ずに、検査面の明瞭な像を得ることが可能な品質検査装
置を提供することを目的とする。
在などにより、検査面へ斜めから検査光を照射し難い状
況下において、ハーフミラーによる垂直落射方式を用い
ずに、検査面の明瞭な像を得ることが可能な品質検査装
置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の品質検査装置は、撮像手段の画角の外に配
置され、被検査物の検査面を落射照明する単または複数
の光源と、落射照明された検査面のライン状領域の反射
光を受光し該ライン状領域を撮像する撮像手段と、前記
ライン状領域の反射像の光強度分布を基にして検査面の
品質を判定する判定手段とを備えることを特徴としてい
る。
め、本発明の品質検査装置は、撮像手段の画角の外に配
置され、被検査物の検査面を落射照明する単または複数
の光源と、落射照明された検査面のライン状領域の反射
光を受光し該ライン状領域を撮像する撮像手段と、前記
ライン状領域の反射像の光強度分布を基にして検査面の
品質を判定する判定手段とを備えることを特徴としてい
る。
【０００９】さらに、遮光物間の挟隙を通してライン状
領域を落射照明する光源と、該ライン状領域の反射像を
撮像する撮像手段とを備えることが好ましい。
領域を落射照明する光源と、該ライン状領域の反射像を
撮像する撮像手段とを備えることが好ましい。
【００１０】また、前記光源の出射光を屈折させ、前記
検査面のライン状領域を均一の照度で照射するレンズが
備わると、より好ましいものとなる。
検査面のライン状領域を均一の照度で照射するレンズが
備わると、より好ましいものとなる。
【００１１】このような品質検査装置の判定手段として
は、前記撮像手段によって撮像された反射像の強度分布
から得られる多階調画像データの濃度レベルをマスタ画
像データの基準濃度レベルと比較して検査面の品質を判
定するものを用いることができる。
は、前記撮像手段によって撮像された反射像の強度分布
から得られる多階調画像データの濃度レベルをマスタ画
像データの基準濃度レベルと比較して検査面の品質を判
定するものを用いることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、本発
明に係る代表的な種々の実施の形態を説明する。図１お
よび図２は、本発明に係る品質検査装置の一実施例を示
す概略構成図であり、図２は、図１のＣ−Ｃ矢視図であ
る。図２によれば、被検査物であるシート１は、バタツ
キや紙ハネなどを防ぐため、列設する多数の搬送ローラ
２ａ，…，２ｂ，…により上下面を挟持されつつ矢印方
向３へ搬送されている。搬送ローラ間の間隙距離（ｔ）
は、５〜３０ｍｍ程度である。また図１によれば、この
シート１は、搬送ローラ２ａ，２ｂによって上下面を挟
持されつつ、図面手前方向に搬送されている。
明に係る代表的な種々の実施の形態を説明する。図１お
よび図２は、本発明に係る品質検査装置の一実施例を示
す概略構成図であり、図２は、図１のＣ−Ｃ矢視図であ
る。図２によれば、被検査物であるシート１は、バタツ
キや紙ハネなどを防ぐため、列設する多数の搬送ローラ
２ａ，…，２ｂ，…により上下面を挟持されつつ矢印方
向３へ搬送されている。搬送ローラ間の間隙距離（ｔ）
は、５〜３０ｍｍ程度である。また図１によれば、この
シート１は、搬送ローラ２ａ，２ｂによって上下面を挟
持されつつ、図面手前方向に搬送されている。
【００１３】このようなシート１の表面状態を検査する
本実施例の品質検査装置４は、撮像カメラ５と、この撮
像カメラ５の画角の外に配置された照明器６ａ，６ｂ
と、検査面の表面像に基づきその表面状態を判定する判
定手段７とから構成されている。また、照明器６ａ，６
ｂは、搬送ローラ間の挟隙８に光を落射照明すべく、挟
隙８の真上であって、図１に示す撮像カメラ５の両脇に
配置されている。かかる配置により、上述のハーフミラ
ーによる垂直落射方式と同様にして、遮光物間の挟隙下
にある被検査物を、５ｍｍ程度の挟隙を通して検査する
ことが可能となる。
本実施例の品質検査装置４は、撮像カメラ５と、この撮
像カメラ５の画角の外に配置された照明器６ａ，６ｂ
と、検査面の表面像に基づきその表面状態を判定する判
定手段７とから構成されている。また、照明器６ａ，６
ｂは、搬送ローラ間の挟隙８に光を落射照明すべく、挟
隙８の真上であって、図１に示す撮像カメラ５の両脇に
配置されている。かかる配置により、上述のハーフミラ
ーによる垂直落射方式と同様にして、遮光物間の挟隙下
にある被検査物を、５ｍｍ程度の挟隙を通して検査する
ことが可能となる。
【００１４】また、本実施例の照明器６ａ，６ｂの配置
は、主に検査面の散乱光成分による表面像（以下、暗視
野像と呼ぶ。）を撮像カメラに与えるものとなってい
る。しかしながら、本発明ではこれに限らず、照明器の
配置を、主に検査面の正反射光成分（入射光の入射角と
等しい反射角で表面から反射する光成分）による表面像
（以下、明視野像と呼ぶ。）を撮像カメラに与えるもの
としてよいし、また、散乱光成分と正反射光成分との双
方を適度に含む像を撮像カメラに与える配置でもよい。
は、主に検査面の散乱光成分による表面像（以下、暗視
野像と呼ぶ。）を撮像カメラに与えるものとなってい
る。しかしながら、本発明ではこれに限らず、照明器の
配置を、主に検査面の正反射光成分（入射光の入射角と
等しい反射角で表面から反射する光成分）による表面像
（以下、明視野像と呼ぶ。）を撮像カメラに与えるもの
としてよいし、また、散乱光成分と正反射光成分との双
方を適度に含む像を撮像カメラに与える配置でもよい。
【００１５】前記照明器としては、光源の光を屈折さ
せ、検査面に均一な照度で照射させるための各種レンズ
を用いることができる。その一実施例を図３に示す。図
３に示す照明器１０は、主な構成として、筒状の本体１
１と、この本体１１の後端部に設けられ、ランプなどの
光源の光１２を入射する光入射口１３と、両面が凸形状
の第１コンデンサレンズ１４と、両面が凸形状の第２コ
ンデンサレンズ１５と、この第２コンデンサレンズ１５
の凸形状に対応する凹形状を両面に有する第３コンデン
サレンズ１６と、光出射口１７とを備えている。
せ、検査面に均一な照度で照射させるための各種レンズ
を用いることができる。その一実施例を図３に示す。図
３に示す照明器１０は、主な構成として、筒状の本体１
１と、この本体１１の後端部に設けられ、ランプなどの
光源の光１２を入射する光入射口１３と、両面が凸形状
の第１コンデンサレンズ１４と、両面が凸形状の第２コ
ンデンサレンズ１５と、この第２コンデンサレンズ１５
の凸形状に対応する凹形状を両面に有する第３コンデン
サレンズ１６と、光出射口１７とを備えている。
【００１６】また本発明に係る照明器としては、ライン
光源や直管状ランプを用いることができる。このような
光源の具体例としては、蛍光灯、ライトガイド式照明器
（光ファイバなどのライトガイドで光照射領域近辺まで
光源の光を案内する照明器）などが挙げられる。さら
に、前記のライン状領域を光照射する光源としては、レ
ーザ発振器などの光ビームをレンズを介してライン状に
照射するもの、もしくは、前記光ビームを回転するポリ
ゴンミラーを用いてライン状領域に順次照射するもので
あってもよい。
光源や直管状ランプを用いることができる。このような
光源の具体例としては、蛍光灯、ライトガイド式照明器
（光ファイバなどのライトガイドで光照射領域近辺まで
光源の光を案内する照明器）などが挙げられる。さら
に、前記のライン状領域を光照射する光源としては、レ
ーザ発振器などの光ビームをレンズを介してライン状に
照射するもの、もしくは、前記光ビームを回転するポリ
ゴンミラーを用いてライン状領域に順次照射するもので
あってもよい。
【００１７】これら照明器の中でもライトガイド式照明
器は、検査面の近辺に光源の光を案内してライン状、ス
ポット状などの様々の形状の均一な出射光を容易につく
り、かつ検査光の入射角度を容易に調整できるという観
点から、好ましい。図４〜図６に、ライトガイド式照明
器を用いた品質検査装置の実施例の概略構成を示す。図
５は、図４のＤ−Ｄ矢視図である。また図６は、図４お
よび図５に示す品質検査装置の変形例である。これら実
施例の照明器を除く各部の構成および仕組みは、上記の
図１および図２の実施例のものと略同じである。
器は、検査面の近辺に光源の光を案内してライン状、ス
ポット状などの様々の形状の均一な出射光を容易につく
り、かつ検査光の入射角度を容易に調整できるという観
点から、好ましい。図４〜図６に、ライトガイド式照明
器を用いた品質検査装置の実施例の概略構成を示す。図
５は、図４のＤ−Ｄ矢視図である。また図６は、図４お
よび図５に示す品質検査装置の変形例である。これら実
施例の照明器を除く各部の構成および仕組みは、上記の
図１および図２の実施例のものと略同じである。
【００１８】図４および図５によれば、ライトガイド２
２ａ，２２ｂを備えたライトガイド式照明器２１ａ，２
１ｂは、その本体２３ａ，２３ｂの下面２４ａ，２４ｂ
にスリット状の多数の光出射口を備えている。また、こ
のライトガイド式照明器２１ａ，２１ｂは、これら下面
２４ａ，２４ｂを被検査物２８の検査面の照射領域に向
けて、搬送ローラ間の挟隙２５の真上であり、図５に示
す撮像カメラ２６の左右両側の検査面近くに配置されて
いる。
２ａ，２２ｂを備えたライトガイド式照明器２１ａ，２
１ｂは、その本体２３ａ，２３ｂの下面２４ａ，２４ｂ
にスリット状の多数の光出射口を備えている。また、こ
のライトガイド式照明器２１ａ，２１ｂは、これら下面
２４ａ，２４ｂを被検査物２８の検査面の照射領域に向
けて、搬送ローラ間の挟隙２５の真上であり、図５に示
す撮像カメラ２６の左右両側の検査面近くに配置されて
いる。
【００１９】図６においては、ライトガイド式照明器３
０ａ，３０ｂを、撮像カメラ３１の画角の外であって、
その最大画角に沿うように配置した実施例を示してい
る。本実施例のように、撮像カメラの最大画角に注目
し、照明器３０ａ，３０ｂをこの最大画角に沿う形で配
置すると、検査面を効率良く照射することができる。
０ａ，３０ｂを、撮像カメラ３１の画角の外であって、
その最大画角に沿うように配置した実施例を示してい
る。本実施例のように、撮像カメラの最大画角に注目
し、照明器３０ａ，３０ｂをこの最大画角に沿う形で配
置すると、検査面を効率良く照射することができる。
【００２０】ところで、本発明に係る撮像カメラとして
は、被検査物の搬送幅のライン状領域を一度に撮像でき
るという観点からは、ラインセンサを用いることが好ま
しい。このラインセンサとしては、ＣＣＤ（電荷結合素
子）やフォトダイオードなどの固体撮像素子を配列した
ものを用いることができる。たとえば、２５６画素，５
１２画素，１０２４画素，２０４８画素，４０９６画
素，８１９２画素を有するラインセンサにより高精度の
像を得ることができる。また、ラインセンサとしては、
白黒面撮像用のものに限らず、カラー面撮像用のものを
用いることができる。
は、被検査物の搬送幅のライン状領域を一度に撮像でき
るという観点からは、ラインセンサを用いることが好ま
しい。このラインセンサとしては、ＣＣＤ（電荷結合素
子）やフォトダイオードなどの固体撮像素子を配列した
ものを用いることができる。たとえば、２５６画素，５
１２画素，１０２４画素，２０４８画素，４０９６画
素，８１９２画素を有するラインセンサにより高精度の
像を得ることができる。また、ラインセンサとしては、
白黒面撮像用のものに限らず、カラー面撮像用のものを
用いることができる。
【００２１】また、本発明に係る被検査物としては枚葉
物や連続シートなどが挙げられる。本発明に係る品質検
査装置は、これら被検査物の表面性状（掻き傷、欠け、
材質不良、へこみ、皺、折れなど）を検査することがで
きる。また、これら被検査物の上にオフセット印刷、グ
ラビア印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷などを施
し、その印刷面の印刷状態をも同時に検査することもで
きる。上記の暗視野像に基づく検査に適した検査面とし
ては、カラーインクによる印刷面やアルミラミネート面
などが挙げられる。特にカラーインクによる印刷面の場
合、正反射光成分の反射像からはその光強度が強すぎて
色成分の識別が難しくなるので、主に散乱光成分を含む
反射像を得ることが望ましい。
物や連続シートなどが挙げられる。本発明に係る品質検
査装置は、これら被検査物の表面性状（掻き傷、欠け、
材質不良、へこみ、皺、折れなど）を検査することがで
きる。また、これら被検査物の上にオフセット印刷、グ
ラビア印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷などを施
し、その印刷面の印刷状態をも同時に検査することもで
きる。上記の暗視野像に基づく検査に適した検査面とし
ては、カラーインクによる印刷面やアルミラミネート面
などが挙げられる。特にカラーインクによる印刷面の場
合、正反射光成分の反射像からはその光強度が強すぎて
色成分の識別が難しくなるので、主に散乱光成分を含む
反射像を得ることが望ましい。
【００２２】また、上記の明視野像に基づく検査に適し
た検査面・被検査物としては、透明・半透明のフィルム
やシート、コート紙、基材上にアルミニウムや銀などを
真空蒸着したもの、もしくはスパッタリングにより表面
に金属粒子を蒸着させて薄い皮膜を形成したものなどが
挙げられる。
た検査面・被検査物としては、透明・半透明のフィルム
やシート、コート紙、基材上にアルミニウムや銀などを
真空蒸着したもの、もしくはスパッタリングにより表面
に金属粒子を蒸着させて薄い皮膜を形成したものなどが
挙げられる。
【００２３】このような被検査物の反射像は、撮像カメ
ラによって撮像され判定手段に転送されて、ここで処理
される。好ましい判定手段としては、光強度分布による
多階調画像データとして画素単位で処理し、この多階調
画像データの各画素の濃度レベルと、予め撮像された無
欠陥の表面のマスタ画像データの基準濃度レベルとを比
較・照合することにより、検査面の良否を判定するもの
が挙げられる。この判定結果は、スピーカーへ転送され
て警告音などとして出力してもよいし、また、ＣＲＴな
どの画像表示手段へ出力されて異常個所などを表示して
もよい。
ラによって撮像され判定手段に転送されて、ここで処理
される。好ましい判定手段としては、光強度分布による
多階調画像データとして画素単位で処理し、この多階調
画像データの各画素の濃度レベルと、予め撮像された無
欠陥の表面のマスタ画像データの基準濃度レベルとを比
較・照合することにより、検査面の良否を判定するもの
が挙げられる。この判定結果は、スピーカーへ転送され
て警告音などとして出力してもよいし、また、ＣＲＴな
どの画像表示手段へ出力されて異常個所などを表示して
もよい。
【００２４】ところで、上記の各実施例は、片方の検査
面のみを検査するものであったが、本発明はこれに限ら
ず、被検査物の裏側もしくは両側に本発明に係る品質検
査装置を設けて、その裏面もしくは両面を検査するもの
であってよい。
面のみを検査するものであったが、本発明はこれに限ら
ず、被検査物の裏側もしくは両側に本発明に係る品質検
査装置を設けて、その裏面もしくは両面を検査するもの
であってよい。
【００２５】また、上記の各実施例は、遮光物が存在す
る状況下のものであるが、本発明はこれに限らず、垂直
落射方式を用いて検査面のライン状領域を検査せざるを
得ない状況であれば、垂直落射方式の構成に代わり、何
れの状況にも適用され得る。さらに、本発明に係る遮光
物は特に制限されるものではなく、上記実施例で示した
ロール以外のものでもよい。
る状況下のものであるが、本発明はこれに限らず、垂直
落射方式を用いて検査面のライン状領域を検査せざるを
得ない状況であれば、垂直落射方式の構成に代わり、何
れの状況にも適用され得る。さらに、本発明に係る遮光
物は特に制限されるものではなく、上記実施例で示した
ロール以外のものでもよい。
【００２６】
【発明の効果】上述の如く、本発明の品質検査装置は、
撮像手段の画角の外に配置され、被検査物の検査面を落
射照明する単または複数の光源と、落射照明された検査
面のライン状領域の反射光を受光し該ライン状領域を撮
像する撮像手段とを備えているので、ハーフミラーなど
による垂直落射方式を採用することなく、高い検査精度
と低コスト化を可能とし、垂直落射方式による検査と同
等の検査を行うことが可能となった。
撮像手段の画角の外に配置され、被検査物の検査面を落
射照明する単または複数の光源と、落射照明された検査
面のライン状領域の反射光を受光し該ライン状領域を撮
像する撮像手段とを備えているので、ハーフミラーなど
による垂直落射方式を採用することなく、高い検査精度
と低コスト化を可能とし、垂直落射方式による検査と同
等の検査を行うことが可能となった。
【００２７】さらに、このような品質検査装置が、遮光
物間の挟隙を通してライン状領域を落射照明する光源
と、該ライン状領域の反射像を撮像する撮像手段とを備
えることにより、遮光物間の挟隙下にある検査面を検査
することが可能となる。
物間の挟隙を通してライン状領域を落射照明する光源
と、該ライン状領域の反射像を撮像する撮像手段とを備
えることにより、遮光物間の挟隙下にある検査面を検査
することが可能となる。
【図１】本発明に係る品質検査装置の一実施例を示す概
略構成図である。
略構成図である。
【図２】図１のＣ−Ｃ矢視図である。
【図３】本発明に係る照明器の断面を示す概略構成図で
ある。
ある。
【図４】本発明に係る品質検査装置であってライトガイ
ド式照明器を備えた実施例を示す概略構成図である。
ド式照明器を備えた実施例を示す概略構成図である。
【図５】図４のＤ−Ｄ矢視図である。
【図６】図４および図５に示す実施例の変形例を示す図
である。
である。
【図７】従来の垂直落射方式の品質検査装置を示す概略
構成図である。
構成図である。
１ シート ２ａ，２ｂ 搬送ロ
ーラ ３ 矢印方向 ４ 品質検査装置 ５ 撮像カメラ ６ａ，６ｂ 照明器 ７ 判定手段 ８ 挟隙 １０ 照明器 １１ 本体 １２ 光源の光 １３ 光入射口 １４ 第１コンデンサレンズ １５ 第２コンデン
サレンズ １６ 第３コンデンサレンズ １７ 光出射口 ２０ 品質検査装置 ２１ａ，２１ｂ ライトガイド式照明器 ２２ａ，２２ｂ ライトガイド ２３ａ，２３ｂ ライトガイド式照明器本体 ２４ａ，２４ｂ ライトガイド式照明器本体の下面 ２５ 搬送ローラ間の挟隙 ２６ 撮像カメラ ２７ａ，２７ｂ 搬送ローラ ２８ 被検査物 ３０ａ，３０ｂ ライトガイド式照明器 ３１ 撮像カメラ ４０ 品質検査装置 ４１ シート ４２ａ，４２ｂ 搬
送ローラ ４３ 矢印方向 ４４ 挟隙 ４５ 光源 ４６ 出射光 ４７ ハーフミラー ４８ 撮像カメラ ４９ 判定手段 ５０ 反射光
ーラ ３ 矢印方向 ４ 品質検査装置 ５ 撮像カメラ ６ａ，６ｂ 照明器 ７ 判定手段 ８ 挟隙 １０ 照明器 １１ 本体 １２ 光源の光 １３ 光入射口 １４ 第１コンデンサレンズ １５ 第２コンデン
サレンズ １６ 第３コンデンサレンズ １７ 光出射口 ２０ 品質検査装置 ２１ａ，２１ｂ ライトガイド式照明器 ２２ａ，２２ｂ ライトガイド ２３ａ，２３ｂ ライトガイド式照明器本体 ２４ａ，２４ｂ ライトガイド式照明器本体の下面 ２５ 搬送ローラ間の挟隙 ２６ 撮像カメラ ２７ａ，２７ｂ 搬送ローラ ２８ 被検査物 ３０ａ，３０ｂ ライトガイド式照明器 ３１ 撮像カメラ ４０ 品質検査装置 ４１ シート ４２ａ，４２ｂ 搬
送ローラ ４３ 矢印方向 ４４ 挟隙 ４５ 光源 ４６ 出射光 ４７ ハーフミラー ４８ 撮像カメラ ４９ 判定手段 ５０ 反射光
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 氷上 好孝 京都市南区上鳥羽大柳町１番５ ダックエ ンジニアリング株式会社内 Ｆターム(参考） 2C250 EA02 EA12 EB32 EB43 EC01 2G051 AA34 AA41 AB11 AC21 BA02 BB01 BB09 BB11 BB17 CA03 CB01 DA01 DA06 EA16 EB01 5B057 AA11 BA15 DA03 DB02 DB09 DC22 DC36
Claims (5)
- 【請求項１】 撮像手段の画角の外に配置され、被検査
物の検査面を落射照明する単または複数の光源と、落射
照明された検査面のライン状領域の反射光を受光し該ラ
イン状領域を撮像する撮像手段と、前記ライン状領域の
反射像の光強度分布を基にして検査面の品質を判定する
判定手段と、を備えた落射照明を用いた品質検査装置。 - 【請求項２】 遮光物間の挟隙を通してライン状領域を
落射照明する光源と、該ライン状領域の反射像を撮像す
る撮像手段とを備えた請求項１記載の落射照明を用いた
品質検査装置。 - 【請求項３】 前記光源の出射光を屈折させ、前記検査
面のライン状領域を均一の照度で照射するレンズを備え
た請求項１または請求項２記載の落射照明を用いた品質
検査装置。 - 【請求項４】 前記光源がライトガイドを備えるもので
ある請求項１〜３の何れか１項に記載の落射照明を用い
た品質検査装置。 - 【請求項５】 前記判定手段が、前記撮像手段によって
撮像された反射像の強度分布から得られる多階調画像デ
ータの濃度レベルをマスタ画像データの基準濃度レベル
と比較して検査面の品質を判定するものである請求項１
〜４の何れか１項に記載の落射照明を用いた品質検査装
置。
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|---|---|---|---|
| JP23700998A JP3339416B2 (ja) | 1998-08-24 | 1998-08-24 | 落射照明を用いた品質検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23700998A JP3339416B2 (ja) | 1998-08-24 | 1998-08-24 | 落射照明を用いた品質検査装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000065752A true JP2000065752A (ja) | 2000-03-03 |
| JP3339416B2 JP3339416B2 (ja) | 2002-10-28 |
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ID=17009043
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23700998A Expired - Fee Related JP3339416B2 (ja) | 1998-08-24 | 1998-08-24 | 落射照明を用いた品質検査装置 |
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|---|---|
| JP (1) | JP3339416B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003077828A (ja) * | 2001-07-11 | 2003-03-14 | Samsung Electronics Co Ltd | フォトリソグラフィー工程システム及びフォトリソグラフィー工程方法 |
| WO2010005652A2 (en) * | 2008-06-16 | 2010-01-14 | Gm Global Technology Operations, Inc. | Methodology for evaluating valve seat characteristics with a vision-based system |
| CN107228864A (zh) * | 2016-03-24 | 2017-10-03 | 苍南县三维电子塑胶有限公司 | 显示面板表面缺陷的检测系统 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| TWI764179B (zh) * | 2020-06-19 | 2022-05-11 | 財團法人紡織產業綜合研究所 | 織物檢測系統以及織物檢測方法 |
-
1998
- 1998-08-24 JP JP23700998A patent/JP3339416B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003077828A (ja) * | 2001-07-11 | 2003-03-14 | Samsung Electronics Co Ltd | フォトリソグラフィー工程システム及びフォトリソグラフィー工程方法 |
| WO2010005652A2 (en) * | 2008-06-16 | 2010-01-14 | Gm Global Technology Operations, Inc. | Methodology for evaluating valve seat characteristics with a vision-based system |
| WO2010005652A3 (en) * | 2008-06-16 | 2010-03-11 | Gm Global Technology Operations, Inc. | Methodology for evaluating valve seat characteristics with a vision-based system |
| US7899573B2 (en) | 2008-06-16 | 2011-03-01 | GM Global Technology Operations LLC | Non-contact method and system for inspecting a multi-faceted machine surface |
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| JP3339416B2 (ja) | 2002-10-28 |
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