JPH08136465A - 板状部材の表面検査装置 - Google Patents
板状部材の表面検査装置Info
- Publication number
- JPH08136465A JPH08136465A JP31393694A JP31393694A JPH08136465A JP H08136465 A JPH08136465 A JP H08136465A JP 31393694 A JP31393694 A JP 31393694A JP 31393694 A JP31393694 A JP 31393694A JP H08136465 A JPH08136465 A JP H08136465A
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- Japan
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- condenser lens
- lens
- scratches
- plate
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガラス板等の被検査物表面の傷等の欠陥を正
確に検出することが可能な板状部材の表面検査装置を提
供する。 【構成】 ガラス板１からの略平行な反射光は、第１集
光レンズ４の反射光ブロック５で遮光する。乱反射によ
る低角散乱光は、第１集光レンズ４を通過するものの、
第２集光レンズ６の背景光ブロック７で遮光する。この
結果、スリキズ２による広角散乱光の多くが両集光レン
ズ４、６を通過して光電子倍増管８に入射する。
確に検出することが可能な板状部材の表面検査装置を提
供する。 【構成】 ガラス板１からの略平行な反射光は、第１集
光レンズ４の反射光ブロック５で遮光する。乱反射によ
る低角散乱光は、第１集光レンズ４を通過するものの、
第２集光レンズ６の背景光ブロック７で遮光する。この
結果、スリキズ２による広角散乱光の多くが両集光レン
ズ４、６を通過して光電子倍増管８に入射する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はガラス板等の板状部材
表面の傷等の欠陥を検査する装置に関するものである。
表面の傷等の欠陥を検査する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶表面をカバーするガラス板等の被検
査物表面の傷を検査するには、通常は被検査物を回転な
どして散乱光を目に入射するようにして、その位置、形
状、大きさ等を目視により調査している。
査物表面の傷を検査するには、通常は被検査物を回転な
どして散乱光を目に入射するようにして、その位置、形
状、大きさ等を目視により調査している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで従来の方法で
は、ガラス板等の被検査物表面の傷を人間が肉眼で検査
するため、その検査は容易なものではなく、また検査作
業者により検査結果に差が生じるため信頼性に欠けてい
た。
は、ガラス板等の被検査物表面の傷を人間が肉眼で検査
するため、その検査は容易なものではなく、また検査作
業者により検査結果に差が生じるため信頼性に欠けてい
た。
【０００４】この発明は上記従来の欠点を解決するため
になされたものであって、その目的は、ガラス板等の被
検査物表面の傷等の欠陥を正確に検出することが可能な
板状部材の表面検査装置を提供することにある。
になされたものであって、その目的は、ガラス板等の被
検査物表面の傷等の欠陥を正確に検出することが可能な
板状部材の表面検査装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そこで請求項１の板状部
材の表面検査装置は、ガラス板等の被検査物１の表面側
に設けたレーザ光を発する光源３と、被検査物１の表面
で反射したレーザ反射光線と略一致した光軸位置に配設
した凸型の第１集光レンズ４と、第１集光レンズ４と略
同一光軸で、かつ第１集光レンズ４の焦点位置がレンズ
表面の略中心となるような位置に配設した凸型の第２集
光レンズ６と、この第２集光レンズ６のレンズ表面中央
部に着設した背景光ブロック７と、第２集光レンズ６が
集光したレーザ光を観測する光電子倍増管８を備えたこ
とを特徴としている。
材の表面検査装置は、ガラス板等の被検査物１の表面側
に設けたレーザ光を発する光源３と、被検査物１の表面
で反射したレーザ反射光線と略一致した光軸位置に配設
した凸型の第１集光レンズ４と、第１集光レンズ４と略
同一光軸で、かつ第１集光レンズ４の焦点位置がレンズ
表面の略中心となるような位置に配設した凸型の第２集
光レンズ６と、この第２集光レンズ６のレンズ表面中央
部に着設した背景光ブロック７と、第２集光レンズ６が
集光したレーザ光を観測する光電子倍増管８を備えたこ
とを特徴としている。
【０００６】また請求項２の板状部材の表面検査装置
は、上記第１集光レンズ４は、上記被検査物１の表面に
おけるレーザ照射位置を焦点として配置されていること
を特徴としている。
は、上記第１集光レンズ４は、上記被検査物１の表面に
おけるレーザ照射位置を焦点として配置されていること
を特徴としている。
【０００７】さらに請求項３の板状部材の表面検査装置
は、上記第１集光レンズ４のレンズ表面の中央部に反射
光ブロック５を着設したことを特徴としている。
は、上記第１集光レンズ４のレンズ表面の中央部に反射
光ブロック５を着設したことを特徴としている。
【０００８】請求項４の板状部材の表面検査装置は、上
記被検査物１をＸ方向及びＹ方向に移動可能としたこと
を特徴としている。
記被検査物１をＸ方向及びＹ方向に移動可能としたこと
を特徴としている。
【０００９】
【作用】上記請求項１の板状部材の表面検査装置では、
光源３から被検査物１の表面にレーザ光を照射すると、
レーザ光の入射位置からは、略平行な反射光と、乱反射
による散乱光と、スリキズ２による散乱光が発生する。
このうち反射光は第１集光レンズ４の略中心を、そのま
ま貫通して第２集光レンズ６のレンズ表面中央部に着設
した背景光ブロック７で遮光される。ところで乱反射に
よる散乱光は被検査物１の表面の比較的緩やかな凹凸に
より散乱した光であるのに対し、欠陥、例えばスリキズ
２による散乱光は被検査物１の表面につけられた比較的
鋭い凹凸により散乱した光である。そのためスリキズ２
による散乱光は乱反射による散乱光よりも散乱の度合い
が大きくなる傾向があり、両散乱光を比較すると、乱反
射による散乱光は低角散乱側に偏って分布するのに対
し、スリキズ２による散乱光は高角散乱側に偏って分布
する。
光源３から被検査物１の表面にレーザ光を照射すると、
レーザ光の入射位置からは、略平行な反射光と、乱反射
による散乱光と、スリキズ２による散乱光が発生する。
このうち反射光は第１集光レンズ４の略中心を、そのま
ま貫通して第２集光レンズ６のレンズ表面中央部に着設
した背景光ブロック７で遮光される。ところで乱反射に
よる散乱光は被検査物１の表面の比較的緩やかな凹凸に
より散乱した光であるのに対し、欠陥、例えばスリキズ
２による散乱光は被検査物１の表面につけられた比較的
鋭い凹凸により散乱した光である。そのためスリキズ２
による散乱光は乱反射による散乱光よりも散乱の度合い
が大きくなる傾向があり、両散乱光を比較すると、乱反
射による散乱光は低角散乱側に偏って分布するのに対
し、スリキズ２による散乱光は高角散乱側に偏って分布
する。
【００１０】乱反射による散乱光は低角散乱側に偏って
分布しているので、第１集光レンズ４に入射するとその
大部分は第２集光レンズ６の中央部に集光され、この位
置に着設した背景光ブロック７に遮光される。これに対
して、スリキズ２による散乱光は高角散乱側に偏って分
布しているので、第１集光レンズ４に入射するとその大
部分は第２集光レンズ６の中央部には集光されず、その
ため背景光ブロック７には遮光されずに第２集光レンズ
６に入射する。
分布しているので、第１集光レンズ４に入射するとその
大部分は第２集光レンズ６の中央部に集光され、この位
置に着設した背景光ブロック７に遮光される。これに対
して、スリキズ２による散乱光は高角散乱側に偏って分
布しているので、第１集光レンズ４に入射するとその大
部分は第２集光レンズ６の中央部には集光されず、その
ため背景光ブロック７には遮光されずに第２集光レンズ
６に入射する。
【００１１】第２集光レンズ６に入射して集光された散
乱光は、乱反射による散乱光の大部分を背景光ブロック
７によって遮光したため、第１集光レンズ４に入射して
集光された散乱光と比較して、スリキズ２による散乱光
の比率が相対的に高くなっているため、スリキズ２の位
置、形状、大きさを識別できる。
乱光は、乱反射による散乱光の大部分を背景光ブロック
７によって遮光したため、第１集光レンズ４に入射して
集光された散乱光と比較して、スリキズ２による散乱光
の比率が相対的に高くなっているため、スリキズ２の位
置、形状、大きさを識別できる。
【００１２】また請求項２の板状部材の表面検査装置で
は、上記スリキズ２の識別を一段と確実に行えることに
なる。
は、上記スリキズ２の識別を一段と確実に行えることに
なる。
【００１３】さらに請求項３の板状部材の表面検査装置
では、第１集光レンズ４の表面中央部に反射光ブロック
５を着設しているので、反射光は、この反射光ブロック
５で遮光される。
では、第１集光レンズ４の表面中央部に反射光ブロック
５を着設しているので、反射光は、この反射光ブロック
５で遮光される。
【００１４】請求項４の板状部材の表面検査装置では、
被検査物１をＸ方向及びＹ方向に移動可能としているの
で、被検査物１の表面上の全ての方向のスリキズ２の位
置、形状、大きさが測定可能である。
被検査物１をＸ方向及びＹ方向に移動可能としているの
で、被検査物１の表面上の全ての方向のスリキズ２の位
置、形状、大きさが測定可能である。
【００１５】
【実施例】次にこの発明の板状部材の表面検査装置の具
体的な実施例について、図面を参照しつつ詳細に説明す
る。
体的な実施例について、図面を参照しつつ詳細に説明す
る。
【００１６】まずこの実施例の構成について図１により
説明する。１は被検査物としてのガラス板であり、この
ガラス板の表面に存在するスリキズ２を検査する。なお
このガラス板１は、Ｘ方向及びＹ方向に移動可能となっ
ている。３はレーザ光を発する光源であり、その出力は
３ｍＷ程度のもので充分である。この光源３からガラス
板１の表面にレーザ光を照射する。４及び６はそれぞれ
第１及び第２集光レンズである。両レンズ４、６は共に
平凸レンズであり、凸側をガラス板１に対向させてお
り、両レンズ４、６の光軸とガラス板１の表面で反射し
たレーザ光の反射光線は略一致させている。第１集光レ
ンズ４は、ガラス板１の表面におけるレーザ光の入射位
置が焦点となるような位置に位置するように配設されて
いる。ガラス板１の表面側から平行に入射したレーザ光
は第１集光レンズ４により集光されるが、第２集光レン
ズ６は、第１集光レンズ４の焦点位置がレンズ表面の略
中心となる位置に配設されている。５及び７はそれぞれ
反射光ブロック及び背景光ブロックである。反射光ブロ
ック５及び背景光ブロック７は、レーザ光の透過を阻止
するもので、それぞれ第１集光レンズ４及び第２集光レ
ンズ６の凸側表面の中央部に着設されている。８は光電
子倍増管（傷検出手段）であり、９はこの光電子倍増管
８の観測窓である。光電子倍増管８は、第２集光レンズ
６が集光したレーザ光が観測窓９に入射するように配設
されている。
説明する。１は被検査物としてのガラス板であり、この
ガラス板の表面に存在するスリキズ２を検査する。なお
このガラス板１は、Ｘ方向及びＹ方向に移動可能となっ
ている。３はレーザ光を発する光源であり、その出力は
３ｍＷ程度のもので充分である。この光源３からガラス
板１の表面にレーザ光を照射する。４及び６はそれぞれ
第１及び第２集光レンズである。両レンズ４、６は共に
平凸レンズであり、凸側をガラス板１に対向させてお
り、両レンズ４、６の光軸とガラス板１の表面で反射し
たレーザ光の反射光線は略一致させている。第１集光レ
ンズ４は、ガラス板１の表面におけるレーザ光の入射位
置が焦点となるような位置に位置するように配設されて
いる。ガラス板１の表面側から平行に入射したレーザ光
は第１集光レンズ４により集光されるが、第２集光レン
ズ６は、第１集光レンズ４の焦点位置がレンズ表面の略
中心となる位置に配設されている。５及び７はそれぞれ
反射光ブロック及び背景光ブロックである。反射光ブロ
ック５及び背景光ブロック７は、レーザ光の透過を阻止
するもので、それぞれ第１集光レンズ４及び第２集光レ
ンズ６の凸側表面の中央部に着設されている。８は光電
子倍増管（傷検出手段）であり、９はこの光電子倍増管
８の観測窓である。光電子倍増管８は、第２集光レンズ
６が集光したレーザ光が観測窓９に入射するように配設
されている。
【００１７】光源３からガラス板１の表面にレーザ光を
照射すると、レーザ光の入射位置からは、略平行な反射
光と、乱反射による散乱光と、スリキズ２による散乱光
とが発生する。このうち反射光は第１集光レンズ４の中
央部に着設した反射光ブロック５でほぼ完全に遮光され
る。一方、反射光ブロック５に遮光されなかった散乱光
は、第１集光レンズ４に入射する。第１集光レンズ４に
入射する散乱光は、乱反射による散乱光とスリキズ２に
よる散乱光との両方を含むが、そのうちスリキズ２によ
る散乱光の比率は低い。そのためこの段階で光電子倍増
管８で観測してもスリキズ２がはっきり認識できる程度
ではなく、スリキズ２の位置、形状、大きさの識別は困
難である。
照射すると、レーザ光の入射位置からは、略平行な反射
光と、乱反射による散乱光と、スリキズ２による散乱光
とが発生する。このうち反射光は第１集光レンズ４の中
央部に着設した反射光ブロック５でほぼ完全に遮光され
る。一方、反射光ブロック５に遮光されなかった散乱光
は、第１集光レンズ４に入射する。第１集光レンズ４に
入射する散乱光は、乱反射による散乱光とスリキズ２に
よる散乱光との両方を含むが、そのうちスリキズ２によ
る散乱光の比率は低い。そのためこの段階で光電子倍増
管８で観測してもスリキズ２がはっきり認識できる程度
ではなく、スリキズ２の位置、形状、大きさの識別は困
難である。
【００１８】ところで乱反射による散乱光はガラス板１
の表面の比較的緩やかな凹凸により散乱した光であるの
に対し、スリキズ２による散乱光はガラス板１の表面に
つけられた比較的鋭い凹凸により散乱した光である。そ
のためスリキズ２による散乱光は乱反射による散乱光よ
りも散乱の度合いが大きくなる傾向があり、両散乱光を
比較すると、乱反射による散乱光は低角散乱側に偏って
分布するのに対し、スリキズ２による散乱光は高角散乱
側に偏って分布する。
の表面の比較的緩やかな凹凸により散乱した光であるの
に対し、スリキズ２による散乱光はガラス板１の表面に
つけられた比較的鋭い凹凸により散乱した光である。そ
のためスリキズ２による散乱光は乱反射による散乱光よ
りも散乱の度合いが大きくなる傾向があり、両散乱光を
比較すると、乱反射による散乱光は低角散乱側に偏って
分布するのに対し、スリキズ２による散乱光は高角散乱
側に偏って分布する。
【００１９】このように乱反射による散乱光は低角散乱
側に偏って分布しているので、その大部分は第１集光レ
ンズ４により第２集光レンズ６の中央部に集光され、こ
の位置に着設した背景光ブロック７に遮光される。これ
に対して、スリキズ２による散乱光は高角散乱側に偏っ
て分布しているので、その大部分は第２集光レンズ６の
中央部には集光されず、そのため背景光ブロック７には
遮光されずに第２集光レンズ６に入射する。第２集光レ
ンズ６に入射して集光された散乱光は、乱反射による散
乱光の大部分を背景光ブロック７で遮光したため、スリ
キズ２による散乱光の比率が相対的に高くなっている。
そのためこの段階で光電子倍増管８で観測すると、スリ
キズ２の位置、形状、大きさがはっきりと識別できる。
側に偏って分布しているので、その大部分は第１集光レ
ンズ４により第２集光レンズ６の中央部に集光され、こ
の位置に着設した背景光ブロック７に遮光される。これ
に対して、スリキズ２による散乱光は高角散乱側に偏っ
て分布しているので、その大部分は第２集光レンズ６の
中央部には集光されず、そのため背景光ブロック７には
遮光されずに第２集光レンズ６に入射する。第２集光レ
ンズ６に入射して集光された散乱光は、乱反射による散
乱光の大部分を背景光ブロック７で遮光したため、スリ
キズ２による散乱光の比率が相対的に高くなっている。
そのためこの段階で光電子倍増管８で観測すると、スリ
キズ２の位置、形状、大きさがはっきりと識別できる。
【００２０】レーザ光の進行方向とスリキズ２の方向の
関係を示しているのが図２である。この図はレーザ光が
中の同心円に紙面に垂直に入射したとき、そのスリキズ
２の紙面への投影線の方向が、ａ）同じとき、ｂ）直角
のとき、ｃ）斜めのときについての回折光の進行方向を
示すものである。外側の円は光学系が散乱光を集光する
範囲を示している。
関係を示しているのが図２である。この図はレーザ光が
中の同心円に紙面に垂直に入射したとき、そのスリキズ
２の紙面への投影線の方向が、ａ）同じとき、ｂ）直角
のとき、ｃ）斜めのときについての回折光の進行方向を
示すものである。外側の円は光学系が散乱光を集光する
範囲を示している。
【００２１】このように２段階で遮光して得られた散乱
光を、ガラス板１の位置をＸ方向及びＹ方向に移動して
光電子倍増管８で観測すると、ガラス板１の表面の全て
のスリキズ２の位置、形状、大きさが測定可能である。
光を、ガラス板１の位置をＸ方向及びＹ方向に移動して
光電子倍増管８で観測すると、ガラス板１の表面の全て
のスリキズ２の位置、形状、大きさが測定可能である。
【００２２】以上にこの発明の具体的な実施例について
説明したが、この発明は上記実施例に限定されるもので
はなく、この発明の範囲内で種々変更して実施可能であ
る。例えば第１集光レンズ４の凸側表面の中央部に反射
光ブロック５を着設しているが、略平行な反射光は第１
集光レンズ４の中央部を貫通して背景光ブロック７に達
し、ここで遮光されるので、反射光ブロック５は必ずし
も必要ではない。ただ第１集光レンズ４と第２集光レン
ズ６の光軸が多少ずれているような場合には、反射光が
背景光ブロック７で遮光されずに第２集光レンズ６に集
光され、光電子倍増管８に入射してスリキズ２の識別が
困難となる場合が予想されるので、実施例のように反射
光ブロック５を設けた方がよい。またガラス板１をＸ方
向及びＹ方向に移動してガラス板１の表面上のスリキズ
２を観測しているが、ガラス板１の位置は固定して、光
源３、両集光レンズ４、６、光電子倍増管８を移動させ
てスリキズ２を観測してもよい。
説明したが、この発明は上記実施例に限定されるもので
はなく、この発明の範囲内で種々変更して実施可能であ
る。例えば第１集光レンズ４の凸側表面の中央部に反射
光ブロック５を着設しているが、略平行な反射光は第１
集光レンズ４の中央部を貫通して背景光ブロック７に達
し、ここで遮光されるので、反射光ブロック５は必ずし
も必要ではない。ただ第１集光レンズ４と第２集光レン
ズ６の光軸が多少ずれているような場合には、反射光が
背景光ブロック７で遮光されずに第２集光レンズ６に集
光され、光電子倍増管８に入射してスリキズ２の識別が
困難となる場合が予想されるので、実施例のように反射
光ブロック５を設けた方がよい。またガラス板１をＸ方
向及びＹ方向に移動してガラス板１の表面上のスリキズ
２を観測しているが、ガラス板１の位置は固定して、光
源３、両集光レンズ４、６、光電子倍増管８を移動させ
てスリキズ２を観測してもよい。
【００２３】
【発明の効果】以上のように請求項１の板状部材の表面
検査装置では、被検査物の表面にレーザ光を入射するこ
とにより発生した反射光と、乱反射による散乱光と、ス
リキズによる散乱光とのうち、反射光と低角散乱側に分
布した散乱光を背景光ブロックで遮光し、高角散乱側に
分布した散乱光を第２集光レンズで集光している。この
ように第２集光レンズで集光した散乱光においては、ス
リキズによる散乱光の比率が高くなるようにしてあるの
で、第２集光レンズで集光した散乱光を観測すると、ス
リキズの位置、形状、大きさが正確に識別可能である。
検査装置では、被検査物の表面にレーザ光を入射するこ
とにより発生した反射光と、乱反射による散乱光と、ス
リキズによる散乱光とのうち、反射光と低角散乱側に分
布した散乱光を背景光ブロックで遮光し、高角散乱側に
分布した散乱光を第２集光レンズで集光している。この
ように第２集光レンズで集光した散乱光においては、ス
リキズによる散乱光の比率が高くなるようにしてあるの
で、第２集光レンズで集光した散乱光を観測すると、ス
リキズの位置、形状、大きさが正確に識別可能である。
【００２４】また請求項２の板状部材の表面検査装置で
は、上記スリキズの識別を一段と確実に行えることにな
る。
は、上記スリキズの識別を一段と確実に行えることにな
る。
【００２５】さらに請求項３の板状部材の表面検査装置
では、第１集光レンズの表面中央部に反射光ブロックを
着設しているので、被検査物の表面で反射した反射光は
この反射光ブロックに遮光される。そのため第１集光レ
ンズと第２集光レンズの光軸が多少ずれているような場
合でも、反射光を確実に遮光でき、スリキズ等の識別を
確実に行えることになる。
では、第１集光レンズの表面中央部に反射光ブロックを
着設しているので、被検査物の表面で反射した反射光は
この反射光ブロックに遮光される。そのため第１集光レ
ンズと第２集光レンズの光軸が多少ずれているような場
合でも、反射光を確実に遮光でき、スリキズ等の識別を
確実に行えることになる。
【００２６】請求項４の板状部材の表面検査装置では、
被検査物をＸ方向及びＹ方向に移動可能としているの
で、被検査物の表面の全てのスリキズの位置、形状、大
きさが測定可能となる。
被検査物をＸ方向及びＹ方向に移動可能としているの
で、被検査物の表面の全てのスリキズの位置、形状、大
きさが測定可能となる。
【図１】この発明の実施例における検査装置の構成図で
ある。
ある。
【図２】この発明の実施例におけるレーザ光の進行方向
とスリキズの方向の関係を示す図である。
とスリキズの方向の関係を示す図である。
１ ガラス板 ３ 光源 ４ 第１集光レンズ ５ 反射光ブロック ６ 第２集光レンズ ７ 背景光ブロック ８ 光電子倍増管
Claims (4)
- 【請求項１】 ガラス板等の被検査物（１）の表面側に
設けたレーザ光を発する光源（３）と、被検査物（１）
の表面で反射したレーザ反射光線と略一致した光軸位置
に配設した凸型の第１集光レンズ（４）と、第１集光レ
ンズ（４）と略同一光軸で、かつ第１集光レンズ（４）
の焦点位置がレンズ表面の略中心となるような位置に配
設した凸型の第２集光レンズ（６）と、この第２集光レ
ンズ（６）のレンズ表面中央部に着設した背景光ブロッ
ク（７）と、第２集光レンズ（６）が集光したレーザ光
を観測する傷検出手段（８）を備えたことを特徴とする
板状部材の表面検査装置。 - 【請求項２】 上記第１集光レンズ（４）は、上記被検
査物（１）の表面におけるレーザ照射位置を焦点として
配置されていることを特徴とする請求項１の板状部材の
表面検査装置。 - 【請求項３】 上記第１集光レンズ（４）のレンズ表面
の中央部に反射光ブロック（５）を着設したことを特徴
とする請求項２の板状部材の表面検査装置。 - 【請求項４】 上記被検査物（１）をＸ方向及びＹ方向
に移動可能としたことを特徴とする請求項１〜請求項３
のいずれかの板状部材の表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31393694A JPH08136465A (ja) | 1994-11-11 | 1994-11-11 | 板状部材の表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31393694A JPH08136465A (ja) | 1994-11-11 | 1994-11-11 | 板状部材の表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08136465A true JPH08136465A (ja) | 1996-05-31 |
Family
ID=18047302
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31393694A Pending JPH08136465A (ja) | 1994-11-11 | 1994-11-11 | 板状部材の表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08136465A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014121526A1 (zh) * | 2013-02-05 | 2014-08-14 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 玻璃表面异物检查装置、检查机及其检查方法 |
| KR20220059789A (ko) * | 2020-11-03 | 2022-05-10 | 주식회사 볼크 | 결점 검출장치 |
-
1994
- 1994-11-11 JP JP31393694A patent/JPH08136465A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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