KR20220059789A - 결점 검출장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 결점 검출장치에 관한 것으로, 본 발명의 일 측면에 따르면, 소정의 파장을 갖는 빛을 조사하는 제1 광원; 상기 제1 광원과 다른 파장을 갖는 빛을 조사하는 제2 광원; 상기 제1 광원 및 상기 제2 광원에서 조사된 빛이 각각 결점을 검출하기 위한 대상물에 반사되는 것을 촬영하는 광학 카메라; 및 상기 광학 카메라에서 촬영된 영상을 처리하여 상기 대상물의 표면에 대한 결점을 검출하는 제어기를 포함하는, 결점 검출장치가 제공될 수 있다.

Description

결점 검출장치{DEFECT DETECTION DEVICE}
본 발명은 결점 검출장치에 관한 것으로, 보다 상세하게 반사조명을 광학 카메라를 이용하여 촬영하고, 촬영된 영상을 처리하여 결점을 검출하는 결점 검출장치에 대한 발명이다.
유리, 얇은 필름, 반도체 웨이퍼 플라스틱 계열의 판재나 스틸 계열의 판재와 같이, 표면이 매끄럽고 반사가 있는 재질을 갖는 대상물에 대해 표면에 대한 결점을 검출할 필요가 있다. 그런데, 이러한 대상물은 표면의 반사 특성으로 인해 일반적인 결점 검출장치를 이용하여 표면에 대한 영상을 획득하는 것이 쉽지 않다.
따라서 종래에는 수 개 내지 수십여 개의 영상 장치를 다양한 각도에서 촬영하여 영상을 획득하여 표면에 대한 결점을 검출하는데, 이렇게 영상 장치의 수가 증가함에 따라 결점의 검출에 필요 이상의 비용이 소요되는 문제가 있다.
특히, 초박막 글라스, 폴리이미드 필름 및 스마트폰 커버 글라스와 같이, 투명하고 얇으면서 빛의 반사가 높은 제품의 경우에는, 종래의 기술로 검사할 때 검출요류가 많고 진성 불량과 가성 불량을 구분하지 못한다. 따라서 작업자가 직접 육안으로 검사하는 문제가 있다.
대한민국 등록특허 제10-1150755호 (2012.05.22.) 대한민국 등록특허 제10-1203210호 (2012.11.14.) 일본공개특허 제2008-164324호 (2008.07.17.)
본 발명의 실시예들은 상기와 같은 배경에서 발명된 것으로서, 반사 특성이 있는 대상물에 대해 표면의 결점을 검출할 수 있는 결점 검출장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 소정의 파장을 갖는 빛을 조사하는 제1 광원; 상기 제1 광원과 다른 파장을 갖는 빛을 조사하는 제2 광원; 상기 제1 광원 및 상기 제2 광원에서 조사된 빛이 각각 결점을 검출하기 위한 대상물에 반사되는 것을 촬영하는 광학 카메라; 및 상기 광학 카메라에서 촬영된 영상을 처리하여 상기 대상물의 표면에 대한 결점을 검출하는 제어기를 포함하는, 결점 검출장치가 제공될 수 있다.
상기 제어기는, 상기 제1 광원 및 상기 제2 광원에서 각각 빛이 조사되는 시간차를 조절하도록 상기 제1 광원 및 상기 제2 광원을 제어할 수 있다.
상기 광학 카메라는, 상기 대상물에서 각각 반사되는 빛을 집광하는 제1 렌즈; 상기 제1 렌즈를 투과한 빛을 집광하는 제2 렌즈; 상기 제1 렌즈 및 제2 렌즈 사이에 배치되고, 상기 제1 렌즈를 통과한 빛의 일부를 차광하는 차광판; 및 상기 제2 렌즈를 투과한 빛이 입사되고, 입사된 빛으로부터 전기적인 영상신호를 출력하는 영상센서를 포함할 수 있다.
상기 제1 광원 및 상기 제2 광원 중 어느 하나 이상은 복수 개의 램프를 포함할 수 있다.
상기 제1 광원 및 상기 제2 광원 중 어느 하나 이상은 하나의 램프를 포함하고, 상기 하나의 램프는 소정의 길이를 가질 수 있다.
상기 제1 광원 및 상기 제2 광원은 하나의 모듈에 포함될 수 있다.
상기 제1 광원 및 상기 제2 광원은 일체로 형성될 수 있다.
상기 제1 광원 및 상기 제2 광원은 상기 대상물에 동일한 각도로 빛을 조사할 수 있다.
상기 제1 광원 및 상기 제2 광원은 서로 이격된 위치에 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 하나의 결점 검출장치를 이용하여 동일한 촬영 지점에 대해 서로 다른 파장을 갖는 광원을 조사하여, 조사된 광원에 대한 영상을 각각 획득하고 처리함으로써, 대상물의 표면에 대한 결점의 검출에 대한 신뢰성을 높일 수 있다.
또한, 기존에 전반사 거울, 오목 거울 및 재귀반사판 등을 사용하지 않기 때문에 산란된 조명이나 투과된 조명이 제거될 수 있어, 결점 검출장치에 대한 성능을 높이고 제조 원가를 절감할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 결점 검출장치의 일례를 도시한 도면이다.
도 2는 결점 검출장치의 일례에 대한 조명부를 도시한 도면이다.
도 3은 결점 검출장치의 다른 예를 도시한 도면이다.
도 4는 결점 검출장치의 또 다른 예를 도시한 도면이다.
도 5는 결점 검출장치의 또 다른 예에 대한 광 경로를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 결점 검출장치의 또 다른 예를 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 결점 검출장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 제1 실시예에 따른 결점 검출장치의 광학 카메라를 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 결점 검출장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 10은 본 발명의 제3 실시예에 따른 결점 검출장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 결점 검출장치에 이용되는 조명기의 제1 예를 도시한 도면이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 결점 검출장치에 이용되는 조명기의 제2 예를 도시한 도면이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 결점 검출장치에 이용되는 조명기의 제3 예를 도시한 도면이다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 결점 검출장치에 이용되는 조명기의 제4 예를 도시한 도면이다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 결점 검출장치에 이용되는 조명기의 제5 예를 도시한 도면이다.
도 16은 본 발명의 일 실시예에 따른 결점 검출장치에 이용되는 조명기의 제6 예를 도시한 도면이다.
도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 결점 검출장치에 이용되는 조명기의 제7 예를 도시한 도면이다.
이하에서는 본 발명을 구현하기 위한 구체적인 실시예에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.
아울러 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.
또한, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 '연결', '지지', '접속', '공급', '전달', '접촉'된다고 언급된 때에는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결, 지지, 접속, 공급, 전달, 접촉될 수도 있지만 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로 본 발명을 한정하려는 의도로 사용된 것은 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다.
또한, 본 명세서에서 상측, 하측, 측면 등의 표현은 도면에 도시를 기준으로 설명한 것이며 해당 대상의 방향이 변경되면 다르게 표현될 수 있음을 미리 밝혀둔다. 마찬가지의 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었으며, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니다.
또한, 제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 해당 구성요소들은 이와 같은 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 이 용어들은 하나의 구성요소들을 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
명세서에서 사용되는 "포함하는"의 의미는 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 성분을 구체화하며, 다른 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소, 성분 및/또는 군의 존재나 부가를 제외시키는 것은 아니다.
도 1 내지 도 17을 참조하여, 본 발명에 대한 결점 검출장치(10)에 대해 설명한다. 결점 검출장치(10)는, 반사 특성이 있는 대상물(OT)의 표면에 발생된 결점을 검출한다. 이를 위한 결점 검출장치(10)는, 광원을 이용하여 빛을 대상물(OT)에 조사하고, 대상물(OT)에서 반사된 빛을 촬영하여 촬영된 영상을 분석함으로써, 대상물(OT)의 표면에 결점이 있는지 검출한다.
도 1을 참조하면, 제1 조명부(LA1) 및 제2 조명부(LA2)를 이용하여 대상물(OT)에 빛을 각각 조사하고, 제1 재귀반사판(RR1) 및 제2 재귀반사판(RR2)에서 재반사되어 제1 조명부(LA1) 및 제2 조명부(LA2)로 다시 입사된다. 그리고 제1 조명부(LA1) 및 제2 조명부(LA2)에서 또 다시 반사된 빛은 대상물(OT)로 조사되어 반사된 이후에 제1 카메라부(CA1)에 입사된다.
그에 따라 제1 카메라부(CA1)는 제1 조명부(LA1) 및 제2 조명부(LA2)에서 반사된 빛을 영상으로 촬영한다. 이때, 제1 조명부(LA1)는 녹색광을 대상물(OT)에 조사하고, 제2 조명부(LA2)는 적색광을 대상물(OT)에 조사한다.
이렇게 제1 카메라부(CA1)에서 촬영된 영상은, 제1 재귀반사판(RR1) 및 제2 재귀반사판(RR2)에 의해 간접 조사된 빛을 이용하여 보완될 수 있다.
이때, 제1 조명부(LA1) 및 제2 조명부(LA2)는, 제1 재귀반사판(RR1) 및 제2 재귀반사판(RR2)에서 반사된 빛을 다시 반사하기 위해 도 2에 도시된 바와 같은 구조를 가질 수 있으며, 각각 결상 조명기(200)일 수 있다.
즉, 제1 조명부(LA1) 및 제2 조명부(LA2)는 각각 빛을 조사하기 위한 광원 및 빛을 촬영하기 위한 영상센서(IS)를 포함한다. 또한, 제1 조명부(LA1) 및 제2 조명부(LA2)는 각각 내부에 광원부(LS), 집광렌즈(FL), 제1 렌즈(L1), 제2 렌즈(L2), 차광판(BP) 및 하프미러(HM)를 포함한다.
이러한 제1 조명부(LA1) 및 제2 조명부(LA2)는 제1 재귀반사판(RR1) 및 제2 재귀반사판(RR2)이 이용된 슐리렌 기법의 광학 카메라(100)일 수 있으며, 대상물(OT)에서 반사된 빛이 하프미러(HM)를 통해 영상센서(IS)로 입사될 수 있다. 이러한 제1 조명부(LA1) 및 제2 조명부(LA2)는 각각 하나의 단일 파장의 광원으로부터 조사된 광이 내부의 영상센서(IS)로 입사된다.
그리고 도 3을 참조하면, 결점 검출장치(10)의 다른 예로, 제1 광원부(LS1) 및 제2 광원부(LS2), 집광렌즈(FL), 다이크로익 미러(DM), 제1 카메라부(CA1), 제2 카메라부(CA2) 및 화상처리기(IP)를 포함한다.
제1 광원부(LS1)에서 조사된 빛은 대상물(OT)에서 반사된 다음, 집광렌즈(FL) 및 다이크로익 미러(DM)를 통해 제1 카메라부(CA1)에 입사되고, 제2 광원부(LS2)에서 조사된 빛은 대상물(OT)에서 반사된 다음, 집광렌즈(FL) 및 다이크로익 미러(DM)를 통해 제2 카메라부(CA2)에 입사된다. 이때, 제1 광원부(LS1)에서 조사된 빛은 다이크로익 미러(DM)에서 반사되지 않고, 제2 광원부(LS2)에서 조사된 빛은 다이크로익 미러(DM)에서 반사되는 특성을 가질 수 있다.
따라서 화상처리기(IP)는 제1 카메라 및 제2 카메라에서 획득된 영상을 처리하여 대상물(OT)에 결점이 있는 지 검출할 수 있다.
즉, 도 3에 도시된 결점 검출장치(10)는, 두 개의 광원부 및 두 개의 카메라를 이용한다.
도 4를 참조하면, 결점 검출장치의 또 다른 예로, 제1 카메라부(CA1)에 입사되는 빛은, 대상물(OT), 제1 다이크로익 미러(DM1), 제2 다이크로익 미러(DM2), 제1 재귀반사판(RR1) 및 제2 재귀반사판(RR2)을 거쳐 입사된다.
이때, 도 5를 참조하여, 빛의 이동 경로를 보면, ① 제1 광원부(LS1)에서 조사된 빛은 ② 대상물(OT)에서 반사되고, ③ 제2 다이크로익 미러(DM2)에서 반사된다. 그리고 ④ 제2 재귀반사판(RR2)에서 반사된 다음 ⑤ 제2 다이크로익 미러(DM2)에서 다시 반사된다. 그리고 ⑥ 대상물(OT)에서 다시 반사되어 제1 카메라부(CA1)로 입사된다. 이때, 제1 광원부(LS1)에서 조사된 빛은 제1 다이크로익 미러(DM1)에서 반사되지 않고 그대로 투과된다.
또한, 제2 광원부(LS2)에서 조사된 빛은 제1 광원부(LS1)에서 조사된 빛과 대칭되게 대상물(OT)에서 반사되고, 제1 다이크로익 미러(DM1)에서 반사된다. 그리고 제1 재귀반사판(RR1)에서 반사된 다음 제1 다이크로익 미러(DM1)에서 다시 반사된다. 그리고 대상물(OT)에서 다시 반사되어 제1 카메라부(CA1)로 입사된다. 이때, 제2 광원부(LS2)에서 조사된 빛은 제2 다이크로익 미러(DM2)에서 반사되지 않고 그대로 투과된다.
따라서 제1 광원부(LS1) 및 제2 광원부(LS2)에서 조사된 빛은 제1 다이크로익 미러(DM1), 제2 다이크로익 미러(DM2), 제1 재귀반사판(RR1) 및 제2 재귀반사판(RR2)을 거치면서 손실이 발생하고, 또한, 복잡한 구조로 인해, 조도의 균일성이 저하될 수 있다. 따라서 제1 카메라부(CA1)에서 획득된 영상은 영상 품질에 한계가 있다.
도 6을 참조하면, 결점 검출장치(10)의 또 다른 예로, 단일 파장의 빛을 조사하는 광원부(LS)에서 조사된 빛은, 하프미러(HM)에 의해 반사되어 대상물(OT)로 조사될 수 있다. 그리고 대상물(OT)에서 반사된 빛이 영상센서(IS)로 입사될 수 있다. 이때, 차광판(BP)은 X-Y 방향으로 조절될 수 있다. 이러한 결점 검출장치(10)는, 단일 파장의 빛을 이용하며, 또한, 하프미러(HM)가 이용됨에 따라 빛에 대한 손실이 발생할 수 있다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 결점 검출장치(10)는, 광학 카메라(100), 조명기(200) 및 제어기(300)를 포함한다.
광학 카메라(100)는, 도 8에 도시된 바와 같이, 내부에 전반사 거울, 하프미러(HM), 반사용 오목거울, 재귀반사판이나 편광 필터 등이 배치되지 않는다. 광학 카메라(100)는, 제1 렌즈(L1), 제2 렌즈(L2), 차광판(BP) 및 영상센서(IS)를 포함한다.
제1 렌즈(L1) 및 제2 렌즈(L2)는 입사되는 빛을 모으기 위해 구비된다. 제1 렌즈(L1) 및 제2 렌즈(L2)는, 볼록렌즈, 오목렌즈 및 비구면 렌즈 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
차광판(BP)은 불필요한 빛을 차단하는 역할을 한다. 차광판(BP)은 일정량의 빛을 컷오프(cut- off)할 수 있다.
영상센서(IS)는 제1 렌즈(L1), 제2 렌즈(L2) 및 차광판(BP)을 거친 빛이 입력되며, 입력된 빛을 통해 생성된 영상을 전기적인 신호로 변환하여 출력한다.
이러한 광학 카메라(100)는, 직접조사 방식의 슐리렌 기법이 적용된다.
조명기(200)는, 내부에 둘 이상의 광원부를 포함한다. 즉, 조명기(200)는, 제1 광원부(LS1) 및 제2 광원부(LS2)를 포함하고, 제1 광원부(LS1)에서 조사되는 빛의 파장과 제2 광원부(LS2)에서 조사되는 빛의 파장은 서로 다를 수 있다.
그리고 조명기(200)는, 제1 광원부(LS1)와 제2 광원부(LS2)에서 빛을 동시에 조사하지 않고, 순차적으로 대상물(OT)에 조사되도록 할 수 있다.
따라서 제1 광원부(LS1) 및 제2 광원부(LS2)에서 조사된 빛은 파장에 서로 다름에 따라 대상물(OT)에서 반사 특성이 서로 다르게 나타날 수 있다. 그에 따라 광학 카메라(100)에 입사되는 빛의 특성은 제1 광원부(LS1)에서 조사된 빛과 제2 광원부(LS2)에서 조사된 빛이 서로 다를 수 있다. 예컨대, 제1 광원부(LS1)에서 조사된 빛이 대상물(OT)에서 반사된 빛의 광량과 제2 광원부(LS2)에서 조사된 빛이 대상물(OT)에서 반사된 빛의 광량이 서로 다를 수 있다.
제1 광원부(LS1) 및 제2 광원부(LS2)에서 각각 조사된 빛은 대상물(OT)의 동일한 위치에 순차적으로 조사될 수 있으며, 대상물(OT)의 동일한 위치에서 반사된 빛은 광학 카메라(100)로 순차적으로 입사될 수 있다.
제어기(300)는, 광학 카메라(100)와 전기적으로 연결되고, 광학 카메라(100)에서 촬영된 특성이 서로 다른 두 개의 영상을 처리한다. 이때, 제어기(300)는, 특성이 다른 두 개의 영상을 각각 처리할 때 서로 비교하여 영상에 대한 분별력을 높일 수 있고, 또한, 진성분량 및 가성불량 사이의 오류를 최소화할 수 있다. 여기서, 특성이 다른 두 개의 영상은 각각 제1 광원부(LS1)에서 조사되어 대상물(OT)에서 반사된 빛과 제2 광원부(LS2)에서 조사되어 대상물(OT)에서 반사된 빛이 광학 카메라(100)로 입사되어 각각 생성된 영상이다.
이러한 제어기(300)는 조명기(200)를 제어할 수 있으며, 제1 광원부(LS1) 및 제2 광원부(LS2)에서 각각 빛이 조사될 수 있도록 조명기(200)를 제어할 수 있다. 즉, 제어기(300)는 제1 광원부(LS1) 및 제2 광원부(LS2)가 순차적으로 빛을 조사할 수 있도록 각각 제어할 수 있다. 이러한 제어기(300)는, 마이크로프로세서를 포함하는 연산 장치, 메모리 등에 의해 구현될 수 있으며, 그 구현 방식은 당업자에게 자명한 사항이므로 더 이상의 자세한 설명을 생략한다.
도 9를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 결점 검출장치(10)는, 광학 카메라(100), 광원부(LS) 및 제어기(300)를 포함한다. 본 실시예에 따른 결점 검출장치(10)에 대해 설명하면서, 제1 실시예에서와 동일한 설명은 생략한다.
광원부(LS)는 서로 다른 파장의 빛을 조사할 수 있는 두 개의 광원이 일체화될 수 있다. 그리고 광원부(LS)는 제어기(300)의 제어에 의해 두 개의 광원에서 각각 빛이 조사되도록 제어를 받을 수 있다.
따라서 광원부(LS)에서 조사된 빛은 대상물(OT)에서 반사되어 광학 카메라(100)로 입사될 수 있다.
도 10을 참조하면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 결점 검출장치(10)는, 광학 카메라(100), 제1 광원부(LS1), 제2 광원부(LS2) 및 제어기(300)를 포함한다. 본 실시예에 따른 결점 검출장치(10)에 대해 설명하면서, 제1 실시예에서와 동일한 설명은 생략한다.
제1 광원부(LS1) 및 제2 광원부(LS2)는 각각 서로 다른 위치에 배치될 수 있고, 서로 다른 위치에서 각각 대상물(OT)에 빛을 조사할 수 있다. 이때, 제1 광원부(LS1) 및 제2 광원부(LS2)는 대상물(OT)에 조사하는 빛이 수평면에서 동일한 각도로 조사되는 위치에 배치될 수 있는데, 이에 한정되는 것은 아니며, 어떤 각도로 조사되더라도 대상물(OT)에서 반사된 빛이 광학 카메라(100)로 입사될 수 있으면 된다.
도 11을 참조하면, 조명기(200)에 대한 제1 예로, 제1 광원부(LS1)는 내부에 제1 램프(LP1)가 복수 개 배치될 수 있으며, 복수 개의 제1 램프(LP1)는 서로 동일한 파장을 방출할 수 있다. 이때, 제1 램프(LP1)는 서로 소정의 거리가 이격된 상태로 배치될 수 있다. 따라서 제1 광원부(LS1)에서 조사되는 빛의 광량은 하나의 제1 램프(LP1)가 배치된 경우보다 클 수 있다. 그리고 제1 광원부(LS1)에 포함되는 제1 램프(LP1)의 개수는 필요에 따라 달라질 수 있다.
도 12를 참조하면, 조명기(200)에 대한 제2 예로, 제1 광원부(LS1)는 내부에 하나의 제1 램프(LP1)가 배치될 수 있으며, 하나의 제1 램프(LP1)는, 도시된 바와 같이, 소정의 길이를 가질 수 있다. 소정의 길이를 가지는 제1 램프(LP1)에서 조사되는 빛은 제1 램프(LP1)의 형상과 같이, 대략 직사각형 형상으로 조사될 수 있다.
그리고 소정의 길이를 갖는 제1 램프(LP1)에 대응되도록 원통형 형상의 렌즈를 이용하여 빛을 집광할 수 있다.
도 13을 참조하면, 조명기(200)에 대한 제3 예로, 제2 광원부(LS2)는 내부에 제2 램프(LP2)가 복수 개 배치될 수 있으며, 복수 개의 제2 램프(LP2)는 서로 동일한 파장을 방출할 수 있다. 이때, 제2 램프(LP2)는 서로 소정의 거리가 이격된 상태로 배치될 수 있다. 따라서 제2 광원부(LS2)에서 조사되는 빛의 광량은 하나의 제2 램프(LP2)가 배치된 경우보다 클 수 있다. 그리고 제2 광원부(LS2)에 포함되는 제2 램프(LP2)의 개수는 필요에 따라 달라질 수 있다.
여기서, 도 13에 도시된 제2 광원부(LS2)에 포함된 제2 램프(LP2)에서 조사되는 빛은 도 11에 도시된 제1 광원부(LS1)에 포함된 제1 램프(LP1)에서 조사되는 빛과 다른 파장의 빛일 수 있다.
도 14를 참조하면, 조명기(200)에 대한 제4 예로, 제2 광원부(LS2)는 내부에 하나의 제2 램프(LP2)가 배치될 수 있으며, 하나의 제2 램프(LP2)는, 도시된 바와 같이, 소정의 길이를 가질 수 있다. 소정의 길이를 가지는 제2 램프(LP2)에서 조사되는 빛은 제2 램프(LP2)의 형상과 같이, 대략 직사각형 형상으로 조사될 수 있다.
그리고 소정의 길이를 갖는 제2 램프(LP2)에 대응되도록 원통형 형상의 렌즈를 이용하여 빛을 집광할 수 있다.
상기와 같이, 도 11 내지 도 14에 도시된 제1 광원부(LS1) 및 제2 광원부(LS2)는 도 10에 도시된 제3 실시예에 따른 결점 결함장치에 적용될 수 있다.
도 15를 참조하면, 조명기(200)에 대한 제5 예로, 광원부(LS)는 복수 개의 제1 램프(LP1) 및 복수 개의 제2 램프(LP2)를 포함할 수 있다. 복수 개의 제1 램프(LP1)는 소정의 간격을 가지며 하나의 기판 상에 배치될 수 있고, 복수 개의 제2 램프(LP2)는 소정의 간격을 가지며 하나의 기판 상에 배치될 수 있다.
이때, 복수 개의 제1 램프(LP1) 및 복수 개의 제2 램프(LP2)는 동일한 개수를 가질 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 필요에 따라 대상물(OT)의 표면에 대한 넓이나 반사 특성 등의 이유로, 서로 다른 개수를 가질 수 있다.
도 16을 참조하면, 조명기(200)에 대한 제6 예로, 광원부(LS)는 하나의 제1 램프(LP1) 및 하나의 제2 램프(LP2)를 포함할 수 있다. 제1 램프(LP1) 및 제2 램프(LP2)는, 각각 소정의 길이를 가질 수 있다. 소정의 길이를 가지는 제1 램프(LP1) 및 제2 램프(LP2)에서 조사되는 빛은 각각 제1 램프(LP1) 및 제2 램프(LP2)의 형상과 같이, 대략 직사각형 형상으로 조사될 수 있다.
그리고 소정의 길이를 갖는 제1 램프(LP1) 및 제2 램프(LP2)에 대응되도록 원통형 형상의 렌즈를 이용하여 빛을 집광할 수 있다. 또한, 대상물(OT)의 표면 넓이 및 반사 특성에 따라 제1 램프(LP1) 및 제2 램프(LP2)의 개수는 달라질 수 있다.
도 17을 참조하면, 조명기(200)에 대한 제7 예로, 광원부(LS)는 하나의 기판 상에 복수 개의 제1 램프(LP1) 및 복수 개의 제2 램프(LP2)가 배치될 수 있다. 복수 개의 제1 램프(LP1) 및 복수 개의 제2 램프(LP2)는 서로 교번하여 배치될 수 있다.
도 14 내지 도 17에 각각 도시된 광원부(LS)는 본 발명의 제1 및 제2 실시예에 설명한 결점 검출장치(10)의 조명기(200)나 광원부(LS)로 이용될 수 있다.
이상 본 발명의 실시예들을 구체적인 실시 형태로서 설명하였으나, 이는 예시에 불과한 것으로서, 본 발명은 이에 한정되지 않는 것이며, 본 명세서에 개시된 실시예들에 따르는 최광의 범위를 갖는 것으로 해석되어야 한다. 당업자는 개시된 실시형태들을 조합/치환하여 적시되지 않은 형상의 패턴을 실시할 수 있으나, 이 역시 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 것이다. 이외에도 당업자는 본 명세서에 기초하여 개시된 실시형태를 용이하게 변경 또는 변형할 수 있으며, 이러한 변경 또는 변형도 본 발명의 권리범위에 속함은 명백하다.
10: 결점 검출장치
100: 광학 카메라 200: 조명기
300: 제어기
LA1: 제1 조명부 LA2: 제2 조명부
LS: 광원부
LS1: 제1 광원부 LP1: 제1 램프
LS2: 제2 광원부 LP2: 제2 램프
FL: 집광렌즈
L1: 제1 렌즈 L2: 제2 렌즈
BP: 차광판
RR1: 제1 재귀반사판 RR2: 제2 재귀반사판
HM: 하프미러
DM: 다이크로익 미러
DM1: 제1 다이크로익 미러 DM2: 제2 다이크로익 미러
IS: 영상센서
CA1: 제1 카메라부 CA2: 제2 카메라부
OT: 대상물 IP: 화상처리기

Claims (3)

  1. 소정의 파장을 갖는 빛을 조사하는 제1 광원;
    상기 제1 광원과 다른 파장을 갖는 빛을 조사하는 제2 광원;
    상기 제1 광원 및 상기 제2 광원에서 조사된 빛이 각각 결점을 검출하기 위한 대상물에 반사되는 것을 촬영하는 광학 카메라; 및
    상기 광학 카메라에서 촬영된 영상을 처리하여 상기 대상물의 표면에 대한 결점을 검출하는 제어기를 포함하는,
    결점 검출장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어기는, 상기 제1 광원 및 상기 제2 광원에서 각각 빛이 조사되는 시간차를 조절하도록 상기 제1 광원 및 상기 제2 광원을 제어하는,
    결점 검출장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 광학 카메라는,
    상기 대상물에서 각각 반사되는 빛을 집광하는 제1 렌즈;
    상기 제1 렌즈를 투과한 빛을 집광하는 제2 렌즈;
    상기 제1 렌즈 및 제2 렌즈 사이에 배치되고, 상기 제1 렌즈를 통과한 빛의 일부를 차광하는 차광판; 및
    상기 제2 렌즈를 투과한 빛이 입사되고, 입사된 빛으로부터 전기적인 영상신호를 출력하는 영상센서를 포함하는,
    결점 검출장치.
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