KR20100051951A - 패널 검사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 재귀반사판을 이용하여 작은 광량을 갖는 광원을 패널에 조사하면서도 선명한 영상을 얻을 수 있도록 하여 패널의 불량여부를 용이하게 감지할 수 있도록 하는 패널검사장치가 개시되며, 구체적인 특징은 검사대상 패널에 광을 조사하며, 상기 패널을 라인스캐닝(line scanning)으로 촬영하는 패널 검사장치에 있어서: 상기 검사대상 패널의 일면으로부터 이격되게 설치되는 제1카메라; 상기 제1카메라의 촬영지점에 광을 조사하도록 상기 검사대상 패널의 일면으로부터 이격되게 설치되는 제1광원; 상기 검사대상 패널에서 반사되는 상기 제1광원의 반사광이 입사되는 각도로 재반사시키도록 상기 패널의 일면으로부터 이격되게 설치되는 제1 재귀반사판을 포함하는 것이다.

재귀반사판, 편광필름, 반사, 투과

Description

패널 검사장치{detecting apparatus for panel}

본 발명은 입사각에 근접되는 반사각을 갖는 재귀반사판을 이용하여 투명필름이나 불투명판의 불량여부를 검출하는 검사장치에 관한 것이다.

특허등록 제470402호(발명의 명칭:패널검사장치 및 패널검사방법)에는 두 개의 광원이 교대로 패널에 조사되고, 각 광원이 조사될 때 패널의 스캔영상을 분석함으로써 패널의 불량상태를 검출하는 장치가 개시된다.

특허등록 제470402호에 개시된 발명을 투명 패널에 적용할 때 투명 패널의 이물질의 존재를 감지하기 위하여 투명 패널을 기준으로 한쪽에는 카메라와 조명장치가 설치되고, 다른 쪽에는 콜리메이팅용 오목거울이 설치된다. 또한, 평행 광학계를 필수적으로 구비하여야 하기 때문에 구조가 복잡하게 되고, 광학정렬의 어려움등 제조 및 설치 비용이 상승하게 된다.

또한, 금속 패널과 같은 불투명판 패널의 스크래치 등을 검사할 때는 패널에서 반사되는 반사광을 이용한 촬영이 이루지는 데 이 경우에도 반사된 광의 산란 현상 때문에 명확한 상을 얻을 수 없으며, 광원의 빛의 효율이 떨어지는 문제점이 존재하였다.

도 1은 일반적으로 광원을 사용하여 물체를 촬영할 때 광원의 효율성이 저하되는 현상을 설명하는 구성도이다.

LED나 형광등의 광원의 빛을 측광지점에 비추게 되면 빛의 발광각이 넓기 때문에 광원과 측정지점 사이에 도 1에 도시된 바와 같은 1차 광손실 영역(α)을 갖게 되고, 측광지점과 카메라 사이에는 2차 광손실 영역(β)을 갖게 된다.

이와 같이 광원으로부터 조사된 빛이 효율적으로 카메라에 도달되지 못하기 때문에 광원의 광도를 높여야 되고, 높아진 광도에 의하여 산란이 강해지기 때문에도 선명한 영상을 얻을 수 없다. 이러한 광손실 현상을 방지하기 위하여 광원에 집광렌즈를 설치하여 집광형 조명장치를 구성하는 방식이 사용되지만 집광형 조명장치에서도 2차 광손실을 방지할 수 없어 광효율이 저하되게 된다.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 해결과제는 재귀반사판을 이용하여 작은 광량을 갖는 광원을 패널에 조사하면서도 선명한 영상을 얻을 수 있도록 하여 패널의 불량여부를 용이하게 감지할 수 있도록 하는 패널 검사 장치를 제공하기 위한 것이다.

또한, 본 발명의 다른 해결과제는 투명패널의 검사 시에 광학계통을 단순화시켜 저렴하면서도 피검체에 산란이 발생하지 않도록 함으로써 선명한 영상을 획득할 수 있는 패널 검사 장치를 제공하기 위한 것이다.

상기 과제를 해결하기 위한 해결수단은 검사대상 패널에 광을 조사하며, 상기 패널을 라인스캐닝(line scanning)으로 촬영하는 패널 검사 장치에 있어서: 상기 검사대상 패널의 일면으로부터 이격되게 설치되는 제1카메라; 상기 제1카메라의 촬영지점에 광을 조사하도록 상기 검사대상 패널의 일면으로부터 이격되게 설치되는 제1광원; 상기 검사대상 패널에서 반사되는 상기 제1광원의 반사광이 입사되는 각도로 재 반사시키도록 상기 패널의 일면으로부터 이격되게 설치되는 제1 재귀반사판을 포함하는 것이다.

또한, 본 발명의 다른 해결수단은 검사대상 패널에 광을 조사하며, 상기 패널을 라인스캐닝(line scanning)으로 촬영하는 패널 검사장치에 있어서: 상기 검사대상 패널의 일면으로부터 이격되게 설치되는 제1카메라; 상기 제1카메라의 촬영지 점에 광을 조사하도록 상기 검사대상 패널의 일면으로부터 이격되게 설치되는 제2광원; 상기 검사대상 패널에서 투과되는 상기 제2광원의 투과광이 입사되는 각도로 재 반사시키도록 상기 패널의 타면으로부터 이격되게 설치되는 제2 재귀반사판을 포함하는 것이다.

또한, 본 발명의 다른 해결수단은 검사대상 패널에 광을 조사하며, 상기 패널을 라인스캐닝(line scanning)으로 촬영하는 패널 검사 장치에 있어서: 상기 패널의 일면으로부터 이격되게 설치되어 상기 패널의 일면을 촬영하는 제3카메라; 상기 패널의 타면으로 이격되게 설치되어 상기 패널의 타면을 촬영하는 제4카메라; 상기 제3카메라의 촬영지점에 광을 조사하도록 상기 패널의 일면으로부터 이격되게 설치되는 제3광원 및 제4광원; 상기 제4카메라의 촬영지점에 광을 조사하도록 상기 패널의 타면으로부터 이격되게 설치되는 제5광원; 상기 패널에서 투과되는 제3광원의 투과광을 재귀 반사시키도록 상기 패널의 타면에 이격되게 설치되는 제3재귀반사판; 상기 패널의 일면에서 반사되는 제4광원의 반사광을 재귀 반사시키도록 상기 패널의 일면으로부터 이격되게 설치되는 제4재귀반사판; 상기 패널의 타면에서 반사되는 제5광원의 반사광을 재귀반시키도록 상기 패널의 타면으로부터 이격되게 설치되는 제5재귀반사판; 상기 제3광원, 제4광원, 제5광원을 기정해진 순서대로 순차적으로 점등하고, 상기 제3광원이 점등될 때 상기 제3카메라가 촬영한 제1반사영상과 상기 제4광원이 점등될 때 상기 제3카메라가 촬영한 제1투과영상과 상기 제5광원이 점등될 때 상기 제4카메라가 촬영한 제2반사영상이 표시하는 표시부를 포함하는 것이다.

또한, 본 발명에서 상기 재귀반사판은 띠 형상으로 이루어지며 광을 흡수하는 마스크 영역과 띠 형상으로 이루어지며 마스크 영역과 평행하게 광을 재귀 반사시키는 재귀반사영역이 교대로 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에서 제1투과영상으로부터 제1반사영상과 제2반사영상을 차감한 영상을 추출하고, 상기 차감한 영상이 존재할 때 상기 불량판정영상 모듈을 더 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에서 상기 제3광원과 제4광원의 색상은 동일하고 상기 제3카메라에는 상기 색상만을 통과시키는 필터가 설치되며, 제5광원의 색상은 상기 제3광원과 제4광원의 색상과 다른 색상이며, 상기 제4카메라에는 상기 다른 색상만을 통과시키는 필터가 설치되는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에서 상기 패널의 타면으로부터 이격되게 설치되는 제6광원과, 상기 패널의 일면으로부터 이격되게 설치되며 상기 패널을 투과한 상기 제6광원을 재귀 반사시키는 제6재귀반사판이 더 설치되고, 상기 제6광원이 점등될 때 상기 제4카메라는 상기 패널을 촬영한 제2투과영상을 형성하는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에서 상기 제1투과영상, 상기 제2투과영상을 합산 영상과 상기 제1 반사영상과 제2반사영상을 합한 영상을 차감한 영상을 형성하고, 상기 차감한 영상이 존재할 때 불량으로 판정하는 것이 바람직하다.

상기 해결과제와 해결수단을 갖는 본 발명에 따르면, 광원의 광량을 효율적으로 사용할 수 있으며, 평행광을 용이하게 만들 수 있어 시스템이 간소화된다.

또한, 불량의 종류와 위치를 용이하게 식별할 수 있어 불필요한 불량처리를 줄일 수 있어 재료를 절감할 수 있다.

도 2는 본 발명에 사용되는 재귀반사판을 설명하는 구성도이고, 도 3은 본 발명에 사용되는 재귀반사판의 반사각과 반사율의 관계를 나타내는 그래프이다.

도 2에는 여러 가지 방향으로 빛이 분산 조명되는 일반 조명판과 광원으로 빛이 입사될 때 입사된 빛이 여러 가지 방향으로 산란되는 일반 반사체와 광원으로부터 입사된 빛이 산란되지 않고 입사각과 동일한 방향으로 반사되는 재귀 반사판을 도시하고 있다. 일반 조명판 으로부터 다양한 각도로 빛이 조사되기 때문에 일반 조명판의 전면에 피사체가 놓이게 되고, 이 피사체를 촬영하게 되면 빛의 산란에 의하여 피사체가 정확히 촬영되지 않게 된다. 이 피사체를 정확히 촬영하기 위해서는 일반 조명판 으로부터 조사된 빛을 평행한 광으로 만드는 콜리메터링 렌즈를 중심으로 구성되는 평행 광학계가 설치되어야 한다. 또한, 광원으로부터 빛이 일반 반사판에 조사되도록 하고, 일반 반사판의 전면에 피사체가 놓이게 될 때도 일반 조명판과 마찬가지의 현상이 발생하게 되어 선명한 상을 얻을 수 없다. 그러나 광원으로부터 빛이 재귀 반사판에 조사되도록 하고, 재귀 반사판의 전면에 피사체를 놓게 되고 촬영하게 되면 반사광으로부터 피사체가 산란되지 않기 때문에 보다 선명한 영상을 얻을 수 있게 된다. 도 3에 도시된 바와 같이 재귀 반사판에 입사된 빛의 대부분은 입사된 방향으로 반사되기 때문에 입사된 부분에서 산란이 발생되지 않게 되고, 특히 광원과 재귀 반사판의 이격거리를 피사체의 직경에 대해 상대적으로 크게 하면 재귀 반사판에서 반사되어 피사체에 입사되는 빛은 평행광으로 가정할 수 있기 때문에 보다 선명한 영상을 얻을 수 있다.

도 4a는 종래의 방법에 의하여 투명 패널을 검사하는 구성도이고, 도 4b는 본 발명에 의하여 투명 패널을 검사하는 구성도이고, 도 5a는 종래 방법에 의한 투명 패널의 검사결과영상이고, 도 5b는 본 발명에 의한 투명패널의 검사결과 영상이다.

도 4의 (a)는 종래에 투명 패널(3)을 검사하는 장치로 콘베이어(4)에는 슬릿(6)이 형성되어 있으며, 컨베이어(4)의 슬릿(6)의 상부에는 패널(3)이 놓여 있으며, 슬릿(6) 하부에는 광원(2)이 놓여 있어 광원(2)의 빛은 슬릿(6)을 통과하고, 카메라(3)는 투명 패널(3)의 슬릿(6)을 통과하는 부분을 라인 스캐닝한다.

또한, 도 4의 (b)는 본 발명의 투명패널을 검사하는 방법으로서, 슬릿(6) 하부에는 재귀 반사판(5)이 설치되어 있으며, 광원(2)으로부터 빛이 슬릿(6)에 조사된다. 이때, 광원(2)으로부터의 빛은 재귀 반사판(5)에서 반사되어 투명 패널(3)에 입사되게 되며, 카메라(1)가 투명패널(3)을 라인 스캐닝으로 촬영한다.

재귀 반사판(5)은 다양한 형태의 반사판으로 빛이 입사된 각도로 다시 반사를 일으키는 반사판으로, 일예로 국내 특허출원 제10-2006-7513호(발명의 명칭: 재귀반사구조 및 재귀반사구조를 구비하는 재귀반사물품)에 기재된 재귀반사판을 들 수 있으나, 이에 국한되는 것은 아니다.

투명 패널(3)에 이물질이 내포될 때 카메라(1)에 의하여 라인 스캐닝되는 이물질 영상은 도 4b에서 더욱 선명하게 된다. 도 4 a의 장치의 광원(2)에서 이물질 에 입사되는 빛은 다양한 각도로 입사되게 되고, 빛의 산란에 의하여 도 5a와 같이 흐릿한 영상을 이루게 되지만, 도 4b의 장치에서는 재귀반사판(5)에 의하여 반사된 빛이 이물질에 입사되는 입사광은 이물질의 크기에 비하여 광원과 이물질간의 거리가 상대적으로 클 때 평행광에 가까워지며 카메라(1)에 의하여 라인 스캐닝되는 영상은 도 5b와 같이 매우 선명하게 된다.

도 6a는 종래방법에 의하여 불투명 패널을 검사하는 구성도이고, 도 6b는 본 발명에 불투명 패널을 검사하는 구성도이고, 도 7a는 도6a 에 의하여 촬영된 영상이고, 도 7b는 도 6b에 의하여 촬영된 영상이다.

검사대상인 불투명 패널로서 대표적인 것을 금속 패널을 들 수 있으나 이에 국한되는 것은 아니다. 도 6a와 같이 종래 방법은 컨베이어(4)에 의하여 불투명 패널(11)이 이동할 때 광원(15)은 불투명 패널(11)과 경사지게 빛을 조사하고, 카메라(13)는 불투명 패널(11)을 촬영하기 위하여 불투명 패널(11)에 경사지게 설치되어 불투명 패널(11)을 라인 스캐닝한다.

또한 도 6b와 같이 본 발명은 컨베이어(4)에 의하여 불투명 패널(11)이 이동할 때 카메라(13)는 불투명 패널(11)에 경사지게 설치되고, 광원(17)은 카메라(13)의 광축 방향으로 광을 조사하도록 하며, 조사된 빛이 불투명 패널(11)에서 반사될 때 반사되는 방향에 수직으로 재귀 반사판(19)이 설치된다.

도 7a와 도 7b는 불투명 패널에 돌출부와 홈이 형성된 흠집을 촬영한 것이며, 도 7a는 다양한 각도로 흠집에 빛이 입사되기 때문에 산란에 의하여 돌기부분이 포화될 정도로 심하게 반사되어 선명한 상을 얻을 수 없음을 시각적으로 보 여주고 있으며, 도 7b는 재귀반사판에서 반사된 평행광에 의하여 명확한 상을 얻을 수 있음을 보여준다.

도 8은 본 발명에서 사용되는 재귀반사판을 설명하는 개념도이다.

이상적인 재귀반사판에 입사된 광은 입사각과 완전 일치하게 반사되지만 실제로는 도 3에 도시된 바와 같이 재귀반사판에 입사된 빛의 일부는 입사각과 불일치하게 분산되게 된다. 따라서 분산되는 광에 의하여 평행광 효과는 감소될 수 있기 때문에 도 8의 하에 도시된 재귀반사판에 이러한 분산현상을 보정하는 것이 바람직하다.

도 8의 (상)의 재귀반사판은 넓은 영역을 갖는 띠 형상의 재귀반사판에 좁은 영역의 띠 형상의 무 반사 마스크가 평행하게 형성된 것으로 피사체에 강한 광량을 조사할 수 있도록 하지만 촬영된 피사체의 분해능이 둔감하게 되고, 도 8의 (중)의 재귀반사판은 좁은 영역을 갖는 띠 형상의 재귀반사판에 넓은 영역의 띠 형상의 무 반사 마스크가 평행하게 형성된 것으로 피사체에 작은 광량을 조사할 수 있도록 하지만 촬영된 피사체의 분해능이 높아 민감하게 된다. 이 두 종류의 재귀반사판의 각각의 단점을 보완하기 위하여 도 8의 (하)의 재귀반사판과 같이 좁은 영역의 띠 형상을 갖는 재귀반사판을 간격을 두고 형성하고 이들 사이에 무 반사 마스크를 형성하고, 외측으로 무 반사 마스크를 병행으로 형성한 듀얼 라인(dual line)의 재귀반사판을 형성하게 되면 둔감한 현상을 제거하고, 강한 광량을 얻을 수 있다.

이와 같이 다수의 듀얼 라인의 재귀반사판을 사용하게 되면 보다 강한 광량을 피사체에 조사할 수 있고, 분해능을 민감하게 할 수 있다.

도 9는 본 발명의 제1실시 예를 설명하는 구성도이다.

도 9에 도시된 실시 예에서 샘플 패널(21)의 상부 면에는 경사진 광축을 갖는 카메라(A)가 설치되고, 하부 면에는 경사진 광축을 갖는 카메라(B)가 설치된다. 또한, 카메라(A)의 양측부에는 투과용 광을 조사하는 광원(A-1), 반사용 광을 조사하는 광원(A-2)이 설치되고, 카메라(B)의 양측부에는 투과용 광을 조사하는 광원(B-1), 반사용 광을 조사하는 광원(B-2)이 설치된다.

또한, 샘플 패널(21)의 상부에는 광원(A-2)으로부터 조사된 빛이 샘플 패널(21)에서 반사될 때 반사된 광을 재귀 반사시키는 재귀반사판(D-2)과 광원(B-1)로부터 조사된 광이 샘플 패널(21)을 투과할 때 재귀 반사시키는 재귀반사판(D-1)이 설치되고, 샘플패널(21)의 하부에는 광원(A-1)로부터 조사된 광이 샘플 패널(21)을 투과할 때 재귀 반사시키는 재귀반사판(C-1)과 광원(B-2)로부터 조사된 광이 샘플패널(21)에서 반사될 때 재귀 반사시키는 재귀 반사판(C-2)이 설치된다.

이때, 카메라(A)에 설치된 광원(A-1), (A-2)과 카메라(B)에 설치된 광원(B-1), (B-2)은 광원(A-1), 광원(B-1), 광원(A-2), 광원(B-2)의 순으로 일정 주기로 점멸되며 후술되는 드라이버에 의하여 제어된다. 또한, 재귀반사판(C-1), (C-2), (D-1), (D-2)은 도 8에 도시한 바와 같은 듀얼 라인 형태의 재귀반사판이 사용되는 것이 바람직하다.

또한, 상부에 설치된 광학계와 하부에 설치된 광학계의 간섭을 방지하기 위하여 상부에 설치된 광원(A-1), (A-2)은 적색 LED이고, 하부에 설치된 광원(B-1), (B-2)는 녹색 LED를 사용하고, 카메라(A)의 전면에는 적색만을 통과시키는 필터(A-3)가 설치되고, 카메라(B)의 전면에는 녹색만을 통과시키는 필터(B-3)가 설치된다. 또한, 상, 하부의 색깔을 바꾸어 사용할 수 있음은 당연한 것이다.

카메라(A), 광원(A-1), (A-2)로 이루어진 상부 광학계와 카메라(B), 광원(B-1), (B-2)로 이루어진 하부 광학계는 교대로 동작되고, 상부 광학계가 동작되어 얻어진 영상의 특징을 추출하여 각각 패널의 정상여부를 판별하고, 이상의 종류까지 추출하게 된다.

도 10은 본 발명의 실시 예에 의하여 편광판을 검사하는 검사장치의 구성도이고, 도 11은 본 발명의 실시예의 검사장치의 회로블록도이고, 도 12는 도 11에 의한 영상이다.

LCD용 편광판(31)은 편광필름의 상면(A 사이드), 하면(B 사이드) 양면에 TAC필름이 부착되고, TAC필름들의 외측으로 보호필름이 부착된 것으로 실제 사용 시에는 보호필름을 제거하여 사용한다. 검사 장치에서 LCD용 편광판(31)은 화살표에 표시된 방향으로 진행한다.

또한, 도 10에서와 같이, A 사이드 보호필름과 B 사이드 보호필름에는 원형상의 이물질(①),(⑤)이 각각 오염되어 있으며, A 사이드의 보호필름과 TAC 필름의 경계면과 B사이드의 보호필름과 TAC 필름의 경계면에는 4각형상의 이물질(②), (④)이 삽입되어 있으며, 편광필름에는 원형의 기포(③)가 형성되어 있다. 이때, 보호필름들은 편광필름 설치 시에 제거되기 때문에 이물질(①),(⑤)이 오염되어 있다고 하여도 불량이라고 할 수 없으나, 이물질(②), (④)과 기포(③)는 불량을 초래 한다. 편광판(31)을 검사할 때 단순히 이물질(①),(⑤)만이 존재하는 경우 불량 처리하게 되면 정상적인 것을 불량 처리하게 되는 것으로 편광판(31)의 표면에 부착된 이물질인지 내부에 포함된 이물질인지를 검출하는 것이 매우 중요하다.

편광판(31)에 대하여 광원A-1, 광원B-1, 광원A-2, 광원B-2 가 순차적으로 점멸하면서 각각의 광원이 점등된 상태에서 카메라(A), (B)는 라인 스캐닝으로 촬영하고, 이를 분류하여 분류된 영상을 형성한다.

드라이버(46)는 카메라(A), (B)와 광원(A-1), (A-2), (B-1), (B-2)를 제어한다. 또한, A투과영상모듈(41)은 광원(A-1)이 점등될 때 카메라(A)에서 라인 스캐닝 된 영상을 합성하여 도 12의 (a)와 같은 영상을 형성한다. 또한, A반사영상모듈(42)은 광원(A-2)이 점등될 때 카메라(A)에서 라인 스캐닝 된 영상을 합성하여 도 12의 (b)와 같은 영상을 형성한다. 이때, 도 12의 (b)에서 이물질 ①에 의한 영상은 형성되지만 ②, ③, ④, ⑤에 의한 영상은 반사광을 형성하지 않기 때문에 형성되지 않는다.

또한, B투과영상모듈(43)은 광원(B-1)이 점등될 때 라인 스캐닝 된 영상을 합성하여 도 12(a)와 같은 영상을 형성한다.

또한, B반사영상모듈(44)은 광원(B-2)이 점등될 때 라인 스캐닝 된 영상을 합성하여 도 12(c)와 같은 영상을 형성한다. 이때, 도 12(c)에서 이물질⑤에 의한 영상은 형성되지만, ①, ②, ③, ④에 의한 영상은 형성되지 않는다.

불량판정모듈(45)은 각 영상모듈(41), (42), (43), (44)로부터 영상을 입력받고, 투과영상모듈(41), (43)의 영상으로부터 반사영상모듈(42), (44)의 영상을 제거한 도 12의 (d)와 같은 불량영상을 형성한다.

도 12의 (d)의 영상은 보호필름에 오염된 이물질(①), (⑤)에 대한 영상이 표시되지 않게 되고 내부 이물질 또는 기포 ②, ③, ④만을 표시하게 되어 어느 부위가 불량인지를 시각적으로 알 수 있게 하며, 정확한 불량판정이 이루어지도록 한다.

제어모듈(47)은 불량판정모듈(45)에서 불량영상이 존재할 때 이를 표시부(48)에 표시하며, 불량판정을 한다.

또한, 도 12에서 카메라(A)와 카메라(B)에서 촬영된 투과영상이 동일한 경우에 대하여 설명하였으나, 카메라(A)와 카메라(B)의 투과영상이 다른 경우에는 불량판정모듈(45)은 이들 카메라의 투과영상을 합한 영상으로부터 반대영상들을 차감한 영상을 불량판정영상으로 만들고, 불량판정영상이 존재할 때 불량으로 판정한다.

도 1은 일반적으로 광원을 사용하여 물체를 촬영할 때 광원의 효율성이 저하되는 현상을 설명하는 구성도이다.

도 2는 본 발명에 사용되는 재귀반사판을 설명하는 구성도이다.

도 3은 본 발명에 사용되는 재귀반사판의 반사각과 반사율의 관계를 나타내는 그래프이다.

도 4a는 종래의 방법에 의하여 투명 패널을 검사하는 구성도이다.

도 4b는 본 발명에 의하여 투명 패널을 검사하는 구성도이다.

도 5a는 종래 방법에 의한 투명 패널의 검사결과영상이다.

도 5b는 본 발명에 의한 투명패널의 검사결과 영상이다.

도 6a는 종래방법에 의하여 불투명 패널을 검사하는 구성도이다.

도 6b는 본 발명에 불투명 패널을 검사하는 구성도이다.

도 7a는 도6a 에 의하여 촬영된 영상이다.

도 7b는 도 6b에 의하여 촬영된 영상이다.

도 8은 본 발명에서 사용되는 재귀반사판을 설명하는 개념도이다.

도 9는 본 발명의 제1실시 예를 설명하는 구성도이다.

도 10은 본 발명의 실시 예에 의하여 편광판을 검사하는 검사장치의 구성도이다.

도 11은 본 발명의 실시예의 검사장치의 회로블록도이다.

도 12는 도 11에 의한 영상이다.

Claims (8)

1. 검사대상 패널에 광을 조사하며, 상기 패널을 라인스캐닝(line scanning)으로 촬영하는 패널 검사 장치에 있어서:

   상기 검사대상 패널의 일면으로부터 이격되게 설치되는 제1카메라;

   상기 제1카메라의 촬영지점에 광을 조사하도록 상기 검사대상 패널의 일면으로부터 이격되게 설치되는 제1광원;

   상기 검사대상 패널에서 반사되는 상기 제1광원의 반사광이 입사되는 각도로 재 반사시키도록 상기 패널의 일면으로부터 이격되게 설치되는 제1 재귀반사판을 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
2. 검사대상 패널에 광을 조사하며, 상기 패널을 라인스캐닝(line scanning)으로 촬영하는 패널 검사 장치에 있어서:

   상기 검사대상 패널의 일면으로부터 이격되게 설치되는 제1카메라;

   상기 제1카메라의 촬영지점에 광을 조사하도록 상기 검사대상 패널의 일면으로부터 이격되게 설치되는 제2광원;

   상기 검사대상 패널에서 투과되는 상기 제2광원의 투과광이 입사되는 각도로 재 반사시키도록 상기 패널의 타면으로부터 이격되게 설치되는 제2 재귀반사판을 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
3. 검사대상 패널에 광을 조사하며, 상기 패널을 라인스캐닝(line scanning)으로 촬영하는 패널 검사 장치에 있어서:

   상기 패널의 일면으로부터 이격되게 설치되어 상기 패널의 일면을 촬영하는 제3카메라;

   상기 패널의 타면으로 이격되게 설치되어 상기 패널의 타면을 촬영하는 제4카메라;

   상기 제3카메라의 촬영지점에 광을 조사하도록 상기 패널의 일면으로부터 이격되게 설치되는 제3광원 및 제4광원;

   상기 제4카메라의 촬영지점에 광을 조사하도록 상기 패널의 타면으로부터 이격되게 설치되는 제5광원;

   상기 패널에서 투과되는 제3광원의 투과광을 재귀 반사시키도록 상기 패널의 타면에 이격되게 설치되는 제3재귀반사판;

   상기 패널의 일면에서 반사되는 제4광원의 반사광을 재귀 반사시키도록 상기 패널의 일면으로부터 이격되게 설치되는 제4재귀반사판;

   상기 패널의 타면에서 반사되는 제5광원의 반사광을 재귀 반시키도록 상기 패널의 타면으로부터 이격되게 설치되는 제5재귀반사판;

   상기 제3광원, 제4광원, 제5광원을 기정해진 순서대로 순차적으로 점등하고, 상기 제3광원이 점등될 때 상기 제3카메라가 촬영한 제1반사영상과 상기 제4광원이 점등될 때 상기 제3카메라가 촬영한 제1투과영상과 상기 제5광원이 점등될 때 상기 제4카메라가 촬영한 제2반사영상이 표시하는 표시부를 포함하는 것을 특징으로 하 는 패널 검사장치.
4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서, 상기 재귀반사판은 띠 형상으로 이루어지며 광을 흡수하는 마스크 영역과 띠 형상으로 이루어지며 마스크 영역과 평행하게 광을 재귀 반사시키는 재귀반사영역이 교대로 형성되는 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
5. 청구항 4에서, 제1투과영상으로부터 제1반사영상과 제2반사영상을 차감한 영상을 추출하고, 상기 차감한 영상이 존재할 때 상기 불량판정영상 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널검사장치.
6. 청구항 3에서, 상기 제3광원과 제4광원의 색상은 동일하고 상기 제3카메라에는 상기 색상만을 통과시키는 필터가 설치되며, 제5광원의 색상은 상기 제3광원과 제4광원의 색상과 다른 색상이며, 상기 제4카메라에는 상기 다른 색상만을 통과시키는 필터가 설치되는 것을 특징으로 하는 패널검사장치.
7. 청구항 3에서, 상기 패널의 타면으로부터 이격되게 설치되는 제6광원과, 상기 패널의 일면으로부터 이격되게 설치되며 상기 패널을 투과한 상기 제6광원을 재귀반사시키는 제6재귀반사판이 더 설치되고, 상기 제6광원이 점등될 때 상기 제4카메라는 상기 패널을 촬영한 제2투과영상을 형성하는 것을 특징으로 하는 패널검사 장치.
8. 청구항 7에서, 상기 제1투과영상, 상기 제2투과영상을 합산 영상과 상기 제1 반사영상과 제2반사영상을 합한 영상을 차감한 영상을 형성하고, 상기 차감한 영상이 존재할 때 불량으로 판정하는 것을 특징으로 하는 패널검사장치.

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