JPH06281587A - 透明板状体の欠点検出方法 - Google Patents
透明板状体の欠点検出方法Info
- Publication number
- JPH06281587A JPH06281587A JP9229593A JP9229593A JPH06281587A JP H06281587 A JPH06281587 A JP H06281587A JP 9229593 A JP9229593 A JP 9229593A JP 9229593 A JP9229593 A JP 9229593A JP H06281587 A JPH06281587 A JP H06281587A
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- Japan
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- light
- transparent plate
- light beam
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】透明板状体の内部欠点を迅速かつ高い精度で検
出する。 【構成】被検査透明板状体に光ビームを照射し、内部欠
点による散乱光を検出する内部欠点検出方法であって、
照射光ビームからみて被検査体Ｋの後方に散乱光反射面
ＳＣを配置し、欠点ＫＢによる該散乱光反射面からの反
射光を照射光ビームと同軸上に設けた受光光学系により
照射側から検出する。
出する。 【構成】被検査透明板状体に光ビームを照射し、内部欠
点による散乱光を検出する内部欠点検出方法であって、
照射光ビームからみて被検査体Ｋの後方に散乱光反射面
ＳＣを配置し、欠点ＫＢによる該散乱光反射面からの反
射光を照射光ビームと同軸上に設けた受光光学系により
照射側から検出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は透明板状体の内部欠点検
出方法に関するものである。
出方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】透明板状体の内部に存在する泡あるいは
異物等の欠点の検査は従来、高輝度光源あるいは平行光
源等の各種照明を用いて検査作業者が行う目視検査によ
り行われていた。
異物等の欠点の検査は従来、高輝度光源あるいは平行光
源等の各種照明を用いて検査作業者が行う目視検査によ
り行われていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の検査作業者が行
う目視検査方法では作業者の疲労等による検査ミスが生
じることや、検査に要する時間を短縮することが困難で
ある等の理由により、検査の高精度化および生産性の向
上に対して問題となっており、かかる目視検査を機器に
よる自動検査に置き換えるべく技術開発が行われている
が、その検出感度が目視検査のそれに及ばず、誤判定も
生ずるなど、実用性が不十分であった。
う目視検査方法では作業者の疲労等による検査ミスが生
じることや、検査に要する時間を短縮することが困難で
ある等の理由により、検査の高精度化および生産性の向
上に対して問題となっており、かかる目視検査を機器に
よる自動検査に置き換えるべく技術開発が行われている
が、その検出感度が目視検査のそれに及ばず、誤判定も
生ずるなど、実用性が不十分であった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は前述の問題点を
解決すべくなされたものであり、被検査透明板状体に光
ビームを照射し、被検査体内部に存在する泡あるいは異
物等の欠点による散乱光を検出することにより透明板状
体の内部欠点を検出する方法において、照射光ビームか
らみて被検査体の後方に散乱光反射面を配置し、欠点に
よる該散乱光反射面からの反射光を照射光ビームからみ
て被検査体の後方に散乱光反射面を配置し、欠点による
該散乱光反射面からの反射光を照射光ビームと同軸上に
配置した受光光学系にて照射側から検出することを特徴
とする透明板状体の内部欠点を検出する方法を提供す
る。
解決すべくなされたものであり、被検査透明板状体に光
ビームを照射し、被検査体内部に存在する泡あるいは異
物等の欠点による散乱光を検出することにより透明板状
体の内部欠点を検出する方法において、照射光ビームか
らみて被検査体の後方に散乱光反射面を配置し、欠点に
よる該散乱光反射面からの反射光を照射光ビームからみ
て被検査体の後方に散乱光反射面を配置し、欠点による
該散乱光反射面からの反射光を照射光ビームと同軸上に
配置した受光光学系にて照射側から検出することを特徴
とする透明板状体の内部欠点を検出する方法を提供す
る。
【０００５】その構成の詳細を図１によって説明する。
照射光ビームＢは小反射鏡Ｍおよび回転鏡ＲＭによって
照射光ビームＢおよび受光光学系の光軸Ａ−Ａ′に導入
される。ＫＢは被検査体Ｋの内部に存在する欠点であ
る。被検査体Ｋの後方に散乱反射面ＳＣを配置する。レ
ンズＬは散乱反射面ＳＣからの反射光を受光器Ｄに集光
するためのレンズであるが、レンズＬと受光部Ｄの間に
あって散乱反射面ＳＣと共役焦点の位置に配置された遮
蔽板ＳＴによって照射光ビームＢの散乱反射面ＳＣから
の反射光を遮断し、欠点ＫＢの散乱反射光のみを受光器
Ｄに検出する。被検査体Ｋの検査対象領域における検査
位置の特定は図１に示した如く回転鏡ＲＭとこれに直交
する方向への被検査体の移動を組み合わせるか、回転鏡
を用いずに被検査体をＸＹテーブルに積載する等のいか
なる方法によってもよい。
照射光ビームＢは小反射鏡Ｍおよび回転鏡ＲＭによって
照射光ビームＢおよび受光光学系の光軸Ａ−Ａ′に導入
される。ＫＢは被検査体Ｋの内部に存在する欠点であ
る。被検査体Ｋの後方に散乱反射面ＳＣを配置する。レ
ンズＬは散乱反射面ＳＣからの反射光を受光器Ｄに集光
するためのレンズであるが、レンズＬと受光部Ｄの間に
あって散乱反射面ＳＣと共役焦点の位置に配置された遮
蔽板ＳＴによって照射光ビームＢの散乱反射面ＳＣから
の反射光を遮断し、欠点ＫＢの散乱反射光のみを受光器
Ｄに検出する。被検査体Ｋの検査対象領域における検査
位置の特定は図１に示した如く回転鏡ＲＭとこれに直交
する方向への被検査体の移動を組み合わせるか、回転鏡
を用いずに被検査体をＸＹテーブルに積載する等のいか
なる方法によってもよい。
【０００６】
【作用】図１に示した欠点ＫＢが照射光ビームＢより小
さい泡欠点であるときの散乱反射面ＳＣ上の照度分布は
図２に示した如くになる。欠点ＫＢによる受光器方向へ
の散乱光Ｓ１は実質的に欠点表面による反射光であるの
に対して、散乱反射面ＳＣに到達する散乱光Ｓ２は実質
的に欠点ＫＢのレンズ効果による屈折光であるためその
光量は大きい。さらに、受光側に集光レンズＬを配置す
ることにより上述の散乱光Ｓ２を離れた距離においても
効果的に受光器Ｄに集めることができるため高い欠点検
出感度が得られる。
さい泡欠点であるときの散乱反射面ＳＣ上の照度分布は
図２に示した如くになる。欠点ＫＢによる受光器方向へ
の散乱光Ｓ１は実質的に欠点表面による反射光であるの
に対して、散乱反射面ＳＣに到達する散乱光Ｓ２は実質
的に欠点ＫＢのレンズ効果による屈折光であるためその
光量は大きい。さらに、受光側に集光レンズＬを配置す
ることにより上述の散乱光Ｓ２を離れた距離においても
効果的に受光器Ｄに集めることができるため高い欠点検
出感度が得られる。
【０００７】被検査体Ｋと散乱反射面ＳＣの距離は近す
ぎると散乱反射面における散乱光Ｓ２と照射光ビームＢ
の距離が近いために受光系において分離が困難になり、
遠すぎると受光器への到達量が減少するのと散乱反射面
ＳＣと被検査体Ｋの距離が受光系の焦点深度を越えるた
め遮蔽板ＳＴによって照射光ビームＢの被測定体Ｋの表
面からの反射光を遮断できなくなるので望ましくなく、
これらの諸要素を勘案した最適な距離が存在する。ま
た、照射光ビームＢの光軸Ａ−Ａ′上には散乱反射面Ｓ
Ｃがないようにすれば遮蔽板ＳＴを設置する必要はな
い。
ぎると散乱反射面における散乱光Ｓ２と照射光ビームＢ
の距離が近いために受光系において分離が困難になり、
遠すぎると受光器への到達量が減少するのと散乱反射面
ＳＣと被検査体Ｋの距離が受光系の焦点深度を越えるた
め遮蔽板ＳＴによって照射光ビームＢの被測定体Ｋの表
面からの反射光を遮断できなくなるので望ましくなく、
これらの諸要素を勘案した最適な距離が存在する。ま
た、照射光ビームＢの光軸Ａ−Ａ′上には散乱反射面Ｓ
Ｃがないようにすれば遮蔽板ＳＴを設置する必要はな
い。
【０００８】
【実施例】図１において出力３ｍＷのヘリウムネオンレ
ーザー光を照射光ビームＢとし、特に集光せずに５ｍｍ
角の小反射鏡Ｍ及び被検査体Ｋから６００ｍｍの位置に
７５ｍｍ角の回転鏡ＲＭを介して厚さ１０ｍｍのガラス
板被検査体Ｋに照射したところ被検査体Ｋ上での照射光
ビームＢの径は約１．１ｍｍであった。
ーザー光を照射光ビームＢとし、特に集光せずに５ｍｍ
角の小反射鏡Ｍ及び被検査体Ｋから６００ｍｍの位置に
７５ｍｍ角の回転鏡ＲＭを介して厚さ１０ｍｍのガラス
板被検査体Ｋに照射したところ被検査体Ｋ上での照射光
ビームＢの径は約１．１ｍｍであった。
【０００９】被検査体Ｋの後方３０ｍｍの位置に白い厚
紙を散乱反射面ＳＣとして設置し、厚紙から距離８００
ｍｍの位置に口径５０ｍｍ、焦点距離８５ｍｍの集光レ
ンズＬを設置し、散乱反射面ＳＣの共役焦点の位置に直
径０．８ｍｍのマスクを有するガラス板を設置して照射
光ビームＢの散乱反射面ＳＣから反射光を阻止するよう
に光軸に垂直な面内のマスクの位置を調整し、その直後
に光電子増倍管を設置した。
紙を散乱反射面ＳＣとして設置し、厚紙から距離８００
ｍｍの位置に口径５０ｍｍ、焦点距離８５ｍｍの集光レ
ンズＬを設置し、散乱反射面ＳＣの共役焦点の位置に直
径０．８ｍｍのマスクを有するガラス板を設置して照射
光ビームＢの散乱反射面ＳＣから反射光を阻止するよう
に光軸に垂直な面内のマスクの位置を調整し、その直後
に光電子増倍管を設置した。
【００１０】図３は同ガラス板被検査体Ｋ内部に存在し
た直径０．６ｍｍの泡欠点を検出したときの光電子増倍
管の出力波形である。本実施例における検出可能な泡欠
点の直径の下限は０．２５ｍｍであったが、これは照射
光ビームを被検査体の位置にて集光すれば検出可能な限
界径をさらに下げ得ることはあきらかである。
た直径０．６ｍｍの泡欠点を検出したときの光電子増倍
管の出力波形である。本実施例における検出可能な泡欠
点の直径の下限は０．２５ｍｍであったが、これは照射
光ビームを被検査体の位置にて集光すれば検出可能な限
界径をさらに下げ得ることはあきらかである。
【００１１】
【発明の効果】本発明の実施により、ガラスをはじめと
する透明板状体の欠点の検査が比較的遠隔距離から迅速
かつ高感度で実施できるようになり、製品の品質向上と
コストダウンに効果が得られる。
する透明板状体の欠点の検査が比較的遠隔距離から迅速
かつ高感度で実施できるようになり、製品の品質向上と
コストダウンに効果が得られる。
【図１】本発明の構成図
【図２】散乱反射面ＳＣ上の照度分布を示すグラフ
【図３】実施例における受光器の出力波形図
【図４】従来技術による照射光ビームの散乱光の検出波
形図
形図
Ａ−Ａ′：照射光ビームおよび受光光学系の光軸 Ｂ ：照射光ビーム Ｍ ：小反射鏡 ＲＭ ：回転鏡 Ｋ ：被検査体 ＫＢ ：被検査体内部の欠点 ＳＣ ：散乱反射面 Ｌ ：集光レンズ ＳＴ ：遮蔽板 Ｄ ：受光器 Ｓ１，Ｓ２：欠点により散乱または屈折された光
Claims (2)
- 【請求項１】被検査透明板状体に光ビームを照射し、被
検査体内部に存在する泡あるいは異物等の欠点による散
乱光を検出することにより透明板状体の内部欠点を検出
する方法において、照射光ビームからみて被検査体の後
方に散乱光反射面を配置し、欠点による該散乱光反射面
からの反射光を照射光ビームと同軸上に配置した受光光
学系にて照射側から検出することを特徴とする透明板状
体の欠点検出方法。 - 【請求項２】ヘリウムネオンレーザー光源または被検査
体位置に集光された半導体レーザー光源を照射光光源と
して用いることを特徴とする請求項１記載の透明板状体
の欠点検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9229593A JPH06281587A (ja) | 1993-03-26 | 1993-03-26 | 透明板状体の欠点検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9229593A JPH06281587A (ja) | 1993-03-26 | 1993-03-26 | 透明板状体の欠点検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06281587A true JPH06281587A (ja) | 1994-10-07 |
Family
ID=14050431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9229593A Pending JPH06281587A (ja) | 1993-03-26 | 1993-03-26 | 透明板状体の欠点検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06281587A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012021994A (ja) * | 2003-06-24 | 2012-02-02 | Kla-Encor Corp | 表面の異常および／または特徴を検出する光学システム |
-
1993
- 1993-03-26 JP JP9229593A patent/JPH06281587A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012021994A (ja) * | 2003-06-24 | 2012-02-02 | Kla-Encor Corp | 表面の異常および／または特徴を検出する光学システム |
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