JP2013072971A - 顕微鏡システムおよび照明強度調整方法 - Google Patents
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- 238000005286 illumination Methods 0.000 title claims abstract description 308
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 30
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 72
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 36
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 27
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 21
- 230000008569 process Effects 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 10
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 4
- 230000004397 blinking Effects 0.000 description 3
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 2
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
- G02B21/08—Condensers
- G02B21/12—Condensers affording bright-field illumination
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Abstract
【解決手段】標本が載置されるステージ21と、少なくともステージ21上の標本Sからの観察光を集光する対物レンズ23と、標本Sに照射する明視野観察用の照明光である明視野照明光を射出する明視野照明部25と、標本Sに照射する暗視野観察用の照明光である暗視野照明光を射出する暗視野照明部26と、明視野照明光および暗視野照明光の少なくとも一方の照明強度を、他方の照明強度に応じて調整する照明強度制御部742と、を備えた。
【選択図】図2
Description
図1は、本実施の形態1にかかる顕微鏡システムの構成の一例を示す概念図である。図2は、本実施の形態1にかかる顕微鏡システムの機能構成を示すブロック図である。なお、図1および図2において、顕微鏡システム1が載置される平面をXY平面とし、XY平面と垂直な方向をZ方向として説明する。
つぎに、本発明の実施の形態2について説明する。図6は、本実施の形態2にかかる顕微鏡システムの光学系および照明系を示す模式図である。本実施の形態2は、上述した実施の形態1にかかる顕微鏡システムに対して照明系のみ異なり、顕微鏡システムの構成は上述した実施の形態1にかかる顕微鏡システムと同様の構成を有する。このため、以下においては、本発明の実施の形態2にかかる顕微鏡システムによる照明系および光学系について説明する。なお、図3等で上述したものと同じ構成要素には同じ符号を付してある。
つぎに、本発明の実施の形態3について説明する。図8は、本実施の形態3にかかる顕微鏡システムの表示入力部の一例を示す図である。本実施の形態3にかかる顕微鏡システムは、上述した実施の形態にかかる顕微鏡システムによる表示部62の表示態様のみ異なり、顕微鏡システムの構成は上述した実施の形態にかかる顕微鏡システムと同様の構成を有する。このため、以下においては、本発明の実施の形態3にかかる顕微鏡システムによる表示部62の表示態様のみ説明する。
2 顕微鏡装置
3 顕微鏡制御部
4 撮像装置
5 撮像制御部
6 表示入力部
7 制御端末
21 ステージ
22 レボルバ
23 対物レンズ
24 顕微鏡本体部
25 明視野照明部
26,27 暗視野照明部
41 撮像素子
51 AE処理部
52 AF処理部
61 表示通信部
62 表示部
63 タッチパネル
71 制御通信部
72 入力部
73 記憶部
74 制御部
211,212 モータ
222 レボルバモータ
231 集光レンズ
232 放物ミラー
241,244 照明レンズ
242 ハーフミラー
243 結像レンズ
245 リングミラー
246a,246b 可変NDフィルタ
251 ファイバー
731 画像データ記憶部
732 位置情報記憶部
741 画像処理部
742 照明強度制御部
743 駆動制御部
744 表示制御部
Claims (6)
- 標本が載置されるステージと、
少なくとも前記ステージ上の前記標本からの観察光を集光する対物レンズと、
前記標本に照射する明視野観察用の照明光である明視野照明光を射出する明視野照明部と、
前記標本に照射する暗視野観察用の照明光である暗視野照明光を射出する暗視野照明部と、
前記明視野照明光および前記暗視野照明光の少なくとも一方の照明強度を、他方の照明強度に応じて調整する照明強度制御部と、
を備えたことを特徴とする顕微鏡システム。 - 前記明視野照明光および前記暗視野照明光によってそれぞれ照射された前記標本を撮像する撮像部をさらに備え、
前記照明強度制御部は、前記撮像部が前記明視野照明光および前記暗視野照明光によって照射された前記標本をそれぞれ撮像した際の露光時間の比に応じて少なくとも一方の照明光の照明強度を調整することを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡システム。 - 前記照明強度制御部は、露光時間の短い方の照明光の照明強度を調整することを特徴とする請求項2に記載の顕微鏡システム。
- 前記明視野照明光の照明強度と前記暗視野照明光の照明強度との比率を指示入力する入力部をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の顕微鏡システム。
- 前記入力部は、外部からの物体の接触位置に応じた入力を受け付けるタッチパネルであることを特徴とする請求項4に記載の顕微鏡システム。
- 標本が載置されるステージ上の前記標本に対して暗視野観察用の照明光である暗視野照明光を照射して撮像する暗視野撮像ステップと、
前記標本に対して明視野観察用の照明光である明視野照明光を照射して撮像する明視野撮像ステップと、
前記暗視野撮像ステップおよび前記明視野撮像ステップによってそれぞれ撮像された際の各露光時間の比に応じて、少なくとも一方の照明光の照明強度を、他方の照明光の照明強度に応じて調整する照明強度調整ステップと、
を含むことを特徴とする照明強度調整方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011211433A JP5875812B2 (ja) | 2011-09-27 | 2011-09-27 | 顕微鏡システムおよび照明強度調整方法 |
US13/615,561 US8982457B2 (en) | 2011-09-27 | 2012-09-13 | Microscope system and illumination intensity adjusting method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011211433A JP5875812B2 (ja) | 2011-09-27 | 2011-09-27 | 顕微鏡システムおよび照明強度調整方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013072971A true JP2013072971A (ja) | 2013-04-22 |
JP5875812B2 JP5875812B2 (ja) | 2016-03-02 |
Family
ID=47911015
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011211433A Active JP5875812B2 (ja) | 2011-09-27 | 2011-09-27 | 顕微鏡システムおよび照明強度調整方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8982457B2 (ja) |
JP (1) | JP5875812B2 (ja) |
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JP7509005B2 (ja) | 2020-11-16 | 2024-07-02 | 住友金属鉱山株式会社 | 鉱石に含まれる有用鉱物を分析する方法 |
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JP7509005B2 (ja) | 2020-11-16 | 2024-07-02 | 住友金属鉱山株式会社 | 鉱石に含まれる有用鉱物を分析する方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20130077159A1 (en) | 2013-03-28 |
JP5875812B2 (ja) | 2016-03-02 |
US8982457B2 (en) | 2015-03-17 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R371 | Transfer withdrawn |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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