JP6406008B2 - 光学観察装置 - Google Patents
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Description
a) 試料台上に載置された被観察物からの光を結像する結像光学系と、
b) 前記結像光学系に対する前記試料台の複数の相対位置及び各相対位置への移動の順番に関する移動情報を保持する移動情報保持手段と、
c) 前記試料台を、前記複数の相対位置に前記順番に沿って移動させ、各相対位置で静止させる移動手段と、
d) 前記結像光学系により得られる観察像の撮像データを、前記試料台の各相対位置への移動時間と各静止位置における静止時間のいずれよりも短い時間間隔で継続的に取得する撮像データ取得手段と、
e) 前記撮像データが、前記試料台が移動しているときと静止しているときのいずれのタイミングで撮像されたものであるかを区別するための区別情報を、該撮像データに付与する区別情報付与手段と、
を有することを特徴とする。
このような照明光源には、点灯消灯動作を高速で行うことのできるLEDを用いることが望ましい。また、照明光源と被観察物の間や、被観察物と撮像データ取得手段の間にシャッタを設けても同様の効果を得ることができる。
さらに、前記結像光学系により得られる観察像を撮影する撮像素子の合焦位置と共役な位置に光源を設け、該光源の点灯と消灯による輝度情報を前記区別情報として撮像データに付与しても良い。このような光源からの光は、例えばハーフミラーを介して撮像素子に導入されるように構成することにより、被観察物の観察画像と区別して撮像素子に導入することができる。
即ち、移動手段は、移動情報保持手段に保持された移動情報に基づき、所定の相対位置(高さ)毎の試料台の静止と各相対位置への試料台の移動を繰り返す。一方、撮像データ取得手段は、試料台の移動や静止にかかわらず、該試料台上の被観察物の撮像データを取得する。区別情報付与手段は、各撮像データに、移動時と静止時を区別するための区別情報を付与する。PCは、その区別情報に基づいて、静止時の撮像データを各相対位置(高さ)に移動した順に取得する。そのようにして異なる高さでの静止画像を取得した後は、それらの画像についてコントラスト解析を行い、ピントが合った画像を決定する。そして、その撮像データに対応する高さに試料台を移動させるよう装置に制御信号を送ることにより、結像光学系の焦点を合わせる。
その後、各中心位置を可動ステージ11の各相対位置に対応させ、各相対位置と移動の順序に関する情報を移動情報として、制御コマンドと共に制御部15に送出する。
この一連の制御により、可動ステージ11を移動させているときの撮像データ(例えばF1やF2等)は暗く、可動ステージ11を静止させているときの撮像データ(例えばF4やF9等)は明るくなる。
図8に、この方法で撮像される画像の例を示す。中央部の矩形領域は観察画像が表示される領域である。その周囲の黒い部分はアパーチャ13Bの枠に対応する。アパーチャ13Bの枠に対応する部分は、LED光源18が点灯していない状態では黒く表示されるが、LED光源18が点灯すると、図8に示すように、LED光源18に対応する部分が光って表示される。そのため、上記実施例と同様に、例えば、可動ステージ11が静止しているときにLED光源18を点灯させるようにすれば、静止時の撮像データの抽出処理を、枠の所定位置の点灯/消灯の確認のみで済ませることが可能となる。
11…可動ステージ
12…照明光源
13…結像光学系
13A…対物レンズ
13B…アパーチャ
13C…接眼レンズ
14…観察像撮像機
15…制御部
16…移動情報記憶部
17…シャッタ
18…LED光源
2…PC
S…被観察物
Claims (5)
- a) 試料台上に載置された被観察物からの光を結像する結像光学系と、
b) 前記結像光学系に対する前記試料台の複数の相対位置及び各相対位置への移動の順番に関する移動情報を保持する移動情報保持手段と、
c) 前記試料台を、前記複数の相対位置に前記順番に沿って移動させ、各相対位置で静止させる移動手段と、
d) 前記結像光学系により得られる観察像の撮像データを、前記試料台の各相対位置間への移動時間と各静止位置における静止時間のいずれよりも短い時間間隔で継続的に取得する撮像データ取得手段と、
e) 前記撮像データが、前記試料台が移動しているときと静止しているときのいずれのタイミングで撮像されたものであるかを区別するための区別情報を、該撮像データに付与する区別情報付与手段と、
を有することを特徴とする光学観察装置。 - 前記移動手段が、前記試料台上の被観察物の載置面に垂直な方向に該試料台を移動させることを特徴とする請求項1に記載の光学観察装置。
- 前記被観察物を照らす照明光源を更に有し、前記区別情報付与手段が、前記試料台が移動しているときには該照明光源を消灯し、静止しているときには点灯することにより、輝度情報を前記区別情報として前記撮像データに付与することを特徴とする請求項1又は2に記載の光学観察装置。
- 前記被観察物を照らす照明光源と、該照明光源と前記撮像データ取得手段の間に設けられたシャッタを更に有し、前記区別情報付与手段が、前記試料台が移動しているときには該シャッタを閉ざし、静止しているときには開くことにより、輝度情報を前記区別情報として前記撮像データに付与することを特徴とする請求項1又は2に記載の光学観察装置。
- 前記結像光学系により得られる観察像を撮影する撮像素子と、該撮像素子の合焦位置と共役な位置に設けられた光源とを備え、前記区別情報が、前記光源の点灯と消灯により付与されることを特徴とする請求項1又は2に記載の光学観察装置。
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JP2014266213A JP6406008B2 (ja) | 2014-12-26 | 2014-12-26 | 光学観察装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014266213A JP6406008B2 (ja) | 2014-12-26 | 2014-12-26 | 光学観察装置 |
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