JPH07234187A - ガラス基板の表面欠点検出方法およびその装置 - Google Patents
ガラス基板の表面欠点検出方法およびその装置Info
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- JPH07234187A JPH07234187A JP2705294A JP2705294A JPH07234187A JP H07234187 A JPH07234187 A JP H07234187A JP 2705294 A JP2705294 A JP 2705294A JP 2705294 A JP2705294 A JP 2705294A JP H07234187 A JPH07234187 A JP H07234187A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガラス基板の表面に存在する１０μｍ以下の
微細な欠点を短時間のうちに確実に検出できる表面欠点
検出方法およびその装置を提供する。 【構成】 ガラス基板２に光照射装置５…から直線帯状
の照明光４…を照射し、ガラス基板２の表面欠点１１か
らの散乱光６を一次元カメラ７で捕らえることによりガ
ラス基板２の表面欠点１１を検出する方法において、そ
の照明光４…の少なくとも一つの照射方向が、ガラス基
板２と照明光４…の相対的移動方向とのなす角度で表し
て２０゜〜９０゜であることを特徴とする表面欠点検出
方法。また、このとき光照射装置５…の少なくとも一つ
が、前記角度が２０゜〜９０゜になるように配されてい
る表面欠点検出装置１を用いる。
微細な欠点を短時間のうちに確実に検出できる表面欠点
検出方法およびその装置を提供する。 【構成】 ガラス基板２に光照射装置５…から直線帯状
の照明光４…を照射し、ガラス基板２の表面欠点１１か
らの散乱光６を一次元カメラ７で捕らえることによりガ
ラス基板２の表面欠点１１を検出する方法において、そ
の照明光４…の少なくとも一つの照射方向が、ガラス基
板２と照明光４…の相対的移動方向とのなす角度で表し
て２０゜〜９０゜であることを特徴とする表面欠点検出
方法。また、このとき光照射装置５…の少なくとも一つ
が、前記角度が２０゜〜９０゜になるように配されてい
る表面欠点検出装置１を用いる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば液晶表示素子に
使用されるガラス基板の表面欠点検出方法およびその装
置に関する。
使用されるガラス基板の表面欠点検出方法およびその装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、ガラス基板の表面欠点を検出
するために、ガラス基板に光を照射して、欠点部位から
生ずる散乱反射光を検出する装置が用いられている（特
開昭６２−１０５０３８号公報）。この散乱光による欠
点検出は、微細な傷のように散乱光の出射方向に指向性
がある欠点に対しては、確実な検出が難しいため、ガラ
ス基板の一点にむけて３方向以上から検査光を同時に照
射する装置（特開平４−３４４４７号公報）を用いた
り、照明手段を複数個設けて隣接する照明手段が発する
光束の一部が互いに重なり合うように配置された装置
（特開平１−２６３５４１号公報）を用いることで、前
記問題を解決している。
するために、ガラス基板に光を照射して、欠点部位から
生ずる散乱反射光を検出する装置が用いられている（特
開昭６２−１０５０３８号公報）。この散乱光による欠
点検出は、微細な傷のように散乱光の出射方向に指向性
がある欠点に対しては、確実な検出が難しいため、ガラ
ス基板の一点にむけて３方向以上から検査光を同時に照
射する装置（特開平４−３４４４７号公報）を用いた
り、照明手段を複数個設けて隣接する照明手段が発する
光束の一部が互いに重なり合うように配置された装置
（特開平１−２６３５４１号公報）を用いることで、前
記問題を解決している。
【０００３】しかしながら、これらの装置は液晶表示素
子に使用されるガラス基板のように大きな面積の基板の
場合に、膨大な検査時間を要したり、多数の照明手段か
らの外乱光により、充分な検出感度が確保できず、微細
な欠点が検出できないなどの問題があった。
子に使用されるガラス基板のように大きな面積の基板の
場合に、膨大な検査時間を要したり、多数の照明手段か
らの外乱光により、充分な検出感度が確保できず、微細
な欠点が検出できないなどの問題があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、これらの事
情に鑑みてなされたものであって、１０μｍ以下の微細
な欠点を、短時間のうちに、確実に検出できる欠点検出
方法およびその装置を提供することを目的としている。
情に鑑みてなされたものであって、１０μｍ以下の微細
な欠点を、短時間のうちに、確実に検出できる欠点検出
方法およびその装置を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】かかる目的は、ガラス基
板に直線帯状の照明光を照射し、ガラス基板の表面欠点
からの散乱光を暗視野下で集光し、直線的に配列された
一次元カメラにて電気信号に変換することにより、ガラ
ス基板の表面欠点を検出する方法において、その直線帯
状の照明光の少なくとも１つの照射方向が、ガラス基板
と照明光の相対的移動方向とのなす角度で表して２０゜
〜９０゜であるガラス基板の表面欠点検出方法によっ
て、解決することができる。また、前記ガラス基板に、
直線帯状の照明光を少なくとも３方向から、互いに重な
り合うように照射することが好ましい。さらに、前記直
線帯状の照明光の少なくとも１つが、帯状に配列された
光ファイバ列により導かれたものであって、その配列面
内において、光ファイバ列の出射端と、各光ファイバと
のなす角度が４０゜〜８０゜であることが好ましい。こ
のような検査を行うには、ガラス基板の表面に直線帯状
の照明光を照射する光照射装置と、前記照明光によって
ガラス基板の欠点部位からの散乱光を捕らえる一次元カ
メラとからなり、前記光照射装置が少なくとも３個、そ
の照射光の照射方向を違えて設けられ、そのうちの少な
くとも１個の照射方向が、ガラス基板と照明光の相対的
移動方向とのなす角度で表わして２０゜〜９０゜となる
ように配されていることを特徴とするガラス基板の表面
欠点検出装置を用いることが好ましい。
板に直線帯状の照明光を照射し、ガラス基板の表面欠点
からの散乱光を暗視野下で集光し、直線的に配列された
一次元カメラにて電気信号に変換することにより、ガラ
ス基板の表面欠点を検出する方法において、その直線帯
状の照明光の少なくとも１つの照射方向が、ガラス基板
と照明光の相対的移動方向とのなす角度で表して２０゜
〜９０゜であるガラス基板の表面欠点検出方法によっ
て、解決することができる。また、前記ガラス基板に、
直線帯状の照明光を少なくとも３方向から、互いに重な
り合うように照射することが好ましい。さらに、前記直
線帯状の照明光の少なくとも１つが、帯状に配列された
光ファイバ列により導かれたものであって、その配列面
内において、光ファイバ列の出射端と、各光ファイバと
のなす角度が４０゜〜８０゜であることが好ましい。こ
のような検査を行うには、ガラス基板の表面に直線帯状
の照明光を照射する光照射装置と、前記照明光によって
ガラス基板の欠点部位からの散乱光を捕らえる一次元カ
メラとからなり、前記光照射装置が少なくとも３個、そ
の照射光の照射方向を違えて設けられ、そのうちの少な
くとも１個の照射方向が、ガラス基板と照明光の相対的
移動方向とのなす角度で表わして２０゜〜９０゜となる
ように配されていることを特徴とするガラス基板の表面
欠点検出装置を用いることが好ましい。
【０００６】
【作用】本発明のガラス基板の表面欠点検出方法は、照
明光の少なくとも一つの照射方向が、ガラス基板と光照
射装置の相対的移動方向とのなす角度で表して２０゜〜
９０゜であるので、ランダムな方向に形成された傷や、
形状的に異方性を有する傷などの欠点に対しても、散乱
光が生じる。
明光の少なくとも一つの照射方向が、ガラス基板と光照
射装置の相対的移動方向とのなす角度で表して２０゜〜
９０゜であるので、ランダムな方向に形成された傷や、
形状的に異方性を有する傷などの欠点に対しても、散乱
光が生じる。
【０００７】
【実施例】次に、本発明の表面欠点検出装置を、図１な
いし図５を用いて詳しく説明する。図１は、本発明の表
面欠点検出装置１の一例を示すもので、この表面欠点検
出装置１は、概略、ガラス基板２を支持する枠体３と、
直線帯状の照明光４…を照射する光照射装置５…と、散
乱光６を集光する一次元カメラ７とから構成されてい
る。
いし図５を用いて詳しく説明する。図１は、本発明の表
面欠点検出装置１の一例を示すもので、この表面欠点検
出装置１は、概略、ガラス基板２を支持する枠体３と、
直線帯状の照明光４…を照射する光照射装置５…と、散
乱光６を集光する一次元カメラ７とから構成されてい
る。
【０００８】前記枠体３は、外形、長方形のものであ
り、ガラス基板２の大きさに合わせて、任意の大きさと
することができる。さらに、この枠体３には、図示しな
い、走査機構が設けられており、この走査機構により水
平方向への移動が可能なように、図示しない支持体に取
り付けられている。さらに、この上には、被測定物であ
るガラス基板２が置かれている。
り、ガラス基板２の大きさに合わせて、任意の大きさと
することができる。さらに、この枠体３には、図示しな
い、走査機構が設けられており、この走査機構により水
平方向への移動が可能なように、図示しない支持体に取
り付けられている。さらに、この上には、被測定物であ
るガラス基板２が置かれている。
【０００９】前記光照射装置５…は、個々の光源が単純
に配列されたもの、複数個配列されたミラー、あるいは
散乱板から構成されたものなど、ガラス基板２に光を照
射できるものならば特に種類は限定されないが、そのう
ちの少なくとも一つは、光導入部８と出射端９とを有す
る光ファイバ列１０と、図示しない光源とからなるもの
であることが好ましい。これは、照射面積が狭く、照度
分布が比較的均等で取扱いやすいからである。
に配列されたもの、複数個配列されたミラー、あるいは
散乱板から構成されたものなど、ガラス基板２に光を照
射できるものならば特に種類は限定されないが、そのう
ちの少なくとも一つは、光導入部８と出射端９とを有す
る光ファイバ列１０と、図示しない光源とからなるもの
であることが好ましい。これは、照射面積が狭く、照度
分布が比較的均等で取扱いやすいからである。
【００１０】この光ファイバ列１０は、図２に示すよう
に複数の光ファイバが出射端９と所定角度（以下この角
度をβと表す）を形成して、帯状に配列されたものであ
る。また、前記光ファイバ列１０のうち少なくとも一つ
のβが、４０゜〜８０゜であることが好ましい。これ
は、ランダムな方向に形成され、かつ、形状的に異方性
を有する傷などの欠点に対して、散乱光６を確実に発生
させるために、照明光４…の照射方向に角度をもたせる
ためである。
に複数の光ファイバが出射端９と所定角度（以下この角
度をβと表す）を形成して、帯状に配列されたものであ
る。また、前記光ファイバ列１０のうち少なくとも一つ
のβが、４０゜〜８０゜であることが好ましい。これ
は、ランダムな方向に形成され、かつ、形状的に異方性
を有する傷などの欠点に対して、散乱光６を確実に発生
させるために、照明光４…の照射方向に角度をもたせる
ためである。
【００１１】また、厳密に言えば、照明光４…は、若干
の広がりを持ち、さらに、光ファイバの配列状態などに
より、その光ファイバ１本１本から導かれる照射光の照
射方向が必ずしも同一方向であるとは限らないが、光照
射装置５…からガラス基板２までの距離が比較的短く、
前記照射光の照射方向もほぼ同一であることから、これ
らをまとめて照明光４…の照射方向とみなしても不都合
はなく、ここでは、その大部分の照射方向を、照明光４
…の照射方向としている。
の広がりを持ち、さらに、光ファイバの配列状態などに
より、その光ファイバ１本１本から導かれる照射光の照
射方向が必ずしも同一方向であるとは限らないが、光照
射装置５…からガラス基板２までの距離が比較的短く、
前記照射光の照射方向もほぼ同一であることから、これ
らをまとめて照明光４…の照射方向とみなしても不都合
はなく、ここでは、その大部分の照射方向を、照明光４
…の照射方向としている。
【００１２】また、光源としては、蛍光ランプ、ハロゲ
ンランプ、高圧水銀ランプ、ナトリウムランプなどが挙
げられるが、特にハロゲンランプ、高圧水銀ランプが好
ましい。これは、ガラス基板表面の欠点１１の検出の感
度を高める上で必要な、大きな照度が確保できるからで
ある。
ンランプ、高圧水銀ランプ、ナトリウムランプなどが挙
げられるが、特にハロゲンランプ、高圧水銀ランプが好
ましい。これは、ガラス基板表面の欠点１１の検出の感
度を高める上で必要な、大きな照度が確保できるからで
ある。
【００１３】このような光照射装置５…は３基用意さ
れ、図３ないし図４に示すように、うち、２基はガラス
基板２の表面側、残りの１基はガラス基板２の裏面側
に、それぞれ図示しない支持体を介して設置されてい
る。ここで、光照射装置５…の長手方向をＸ軸方向、光
照射装置５…から照射される照明光４…とガラス基板２
との相対的移動方向をＹ軸方向としたとき、Ｘ軸方向と
Ｙ軸方向とが垂直になるように、光照射装置５…が配さ
れている。また、光照射装置５のうち一つには、そのガ
ラス基板２側にシリンドリカルレンズ１２が設けられて
いる。
れ、図３ないし図４に示すように、うち、２基はガラス
基板２の表面側、残りの１基はガラス基板２の裏面側
に、それぞれ図示しない支持体を介して設置されてい
る。ここで、光照射装置５…の長手方向をＸ軸方向、光
照射装置５…から照射される照明光４…とガラス基板２
との相対的移動方向をＹ軸方向としたとき、Ｘ軸方向と
Ｙ軸方向とが垂直になるように、光照射装置５…が配さ
れている。また、光照射装置５のうち一つには、そのガ
ラス基板２側にシリンドリカルレンズ１２が設けられて
いる。
【００１４】ここで、図５に示すように、照明光４…の
照射方向を示す仮想の直線ｍ上の任意の点をＰとし、こ
の点Ｐからガラス基板２上に垂直に下ろした直線とガラ
ス基板２との交点をＱ、前記仮想の直線ｍがガラス基板
２と交わる点をＯとしたとき、線分ＯＰと線分ＯＱのな
す角度をαとする。また、前記点Ｑから照明光４…とガ
ラス基板２との交線に向かって、Ｙ軸方向に平行な延長
線を引いたとき、前記延長線と、照明光４…とガラス基
板２との交線との交点をＲとし、線分ＰＲと線分ＱＲの
なす角度をφとする。さらに、点ＯからＹ軸方向に平行
な延長線上の任意の点をＳとしたとき、線分ＯＱと線分
ＯＳのなす角度をθとする。そして、このθは、照明光
４…の照射方向と、ｙ軸方向とのなす角度のことであ
る。
照射方向を示す仮想の直線ｍ上の任意の点をＰとし、こ
の点Ｐからガラス基板２上に垂直に下ろした直線とガラ
ス基板２との交点をＱ、前記仮想の直線ｍがガラス基板
２と交わる点をＯとしたとき、線分ＯＰと線分ＯＱのな
す角度をαとする。また、前記点Ｑから照明光４…とガ
ラス基板２との交線に向かって、Ｙ軸方向に平行な延長
線を引いたとき、前記延長線と、照明光４…とガラス基
板２との交線との交点をＲとし、線分ＰＲと線分ＱＲの
なす角度をφとする。さらに、点ＯからＹ軸方向に平行
な延長線上の任意の点をＳとしたとき、線分ＯＱと線分
ＯＳのなす角度をθとする。そして、このθは、照明光
４…の照射方向と、ｙ軸方向とのなす角度のことであ
る。
【００１５】このとき、光照射装置５…は、そこから照
射される照明光４…が、Ｙ軸方向と平行あるいはそれに
近い方向だけでなく、少なくとも一つの照明光４…の照
射方向がＹ軸方向に対して、θだけ傾いた方向からも照
射されるように、光照射装置５が設置されている。前記
θのうち少なくとも一つは２０゜〜９０゜であり、αは
４０゜〜６０゜であることが好ましい。これは、ランダ
ムな方向に形成され、かつ、形状的に異方性を有する傷
などの欠点に対して、散乱光６を確実に発生させるため
に、照明光４…の照射方向に角度をもたせるためであ
る。
射される照明光４…が、Ｙ軸方向と平行あるいはそれに
近い方向だけでなく、少なくとも一つの照明光４…の照
射方向がＹ軸方向に対して、θだけ傾いた方向からも照
射されるように、光照射装置５が設置されている。前記
θのうち少なくとも一つは２０゜〜９０゜であり、αは
４０゜〜６０゜であることが好ましい。これは、ランダ
ムな方向に形成され、かつ、形状的に異方性を有する傷
などの欠点に対して、散乱光６を確実に発生させるため
に、照明光４…の照射方向に角度をもたせるためであ
る。
【００１６】ここで、θを所定値とし、αを４０゜〜６
０゜とするためには、前記βを調節することにより実現
できる。例えば、θを９０゜にするにはβを４０゜〜６
０゜に設定した光ファイバ列１０からなる光照射装置５
を用い、これをφが９０゜前後となるように、支持体に
設置すればよい。また、θを６０゜にするにはβを６５
゜前後に設定し、φを５５゜前後とすればよい。
０゜とするためには、前記βを調節することにより実現
できる。例えば、θを９０゜にするにはβを４０゜〜６
０゜に設定した光ファイバ列１０からなる光照射装置５
を用い、これをφが９０゜前後となるように、支持体に
設置すればよい。また、θを６０゜にするにはβを６５
゜前後に設定し、φを５５゜前後とすればよい。
【００１７】また、前記一次元カメラ７としては、表面
欠点１１からの散乱光６を集光できるものであれば、種
類や構造は限定されず、例えば、ＣＣＤカメラ、光導電
型撮像管、ＭＯＳ型カメラなどのうちから、任意のもの
を選択できる。このような、一次元カメラ７は、表面欠
点１１からの散乱光６を暗視野下で捕らえられやすいよ
うに、ガラス基板２の真上に設置されている。
欠点１１からの散乱光６を集光できるものであれば、種
類や構造は限定されず、例えば、ＣＣＤカメラ、光導電
型撮像管、ＭＯＳ型カメラなどのうちから、任意のもの
を選択できる。このような、一次元カメラ７は、表面欠
点１１からの散乱光６を暗視野下で捕らえられやすいよ
うに、ガラス基板２の真上に設置されている。
【００１８】このような表面欠点検出装置１を用いて表
面欠点検出を行う方法について説明する。まず、前記枠
体３上にガラス基板２を置き、これに、光照射装置５…
…より、互いに直線帯状の照明光４…を、ガラス基板２
を水平方向に移動させながら、ガラス基板２全体に照射
する。このようにすることで、ガラス基板２の表面に存
在する欠点１１により生じた散乱光６が、集光レンズを
備えた一次元カメラ７で捕らえられ、前記散乱光６が電
気信号に変換されて、適宜な出力装置から検出され、欠
点１１の有無を確認できる。また、前記光照射装置５…
で照射される照明光４…は、同時に照射しても良いが、
照明光自身に起因する外乱光によるノイズを低減して、
検出系の感度を高く維持するために、別々に照射して、
その都度Ｙ軸方向の走査を行っても良い。
面欠点検出を行う方法について説明する。まず、前記枠
体３上にガラス基板２を置き、これに、光照射装置５…
…より、互いに直線帯状の照明光４…を、ガラス基板２
を水平方向に移動させながら、ガラス基板２全体に照射
する。このようにすることで、ガラス基板２の表面に存
在する欠点１１により生じた散乱光６が、集光レンズを
備えた一次元カメラ７で捕らえられ、前記散乱光６が電
気信号に変換されて、適宜な出力装置から検出され、欠
点１１の有無を確認できる。また、前記光照射装置５…
で照射される照明光４…は、同時に照射しても良いが、
照明光自身に起因する外乱光によるノイズを低減して、
検出系の感度を高く維持するために、別々に照射して、
その都度Ｙ軸方向の走査を行っても良い。
【００１９】また、本発明の表面欠点検出装置１は、先
に挙げた例に限らず、光照射装置５…の数、設置位置な
どの具体的な条件は、特に限定されるものではない。例
えば、光照射装置５…のうちθが２０゜〜９０゜の範囲
にあるものの数は、表面欠点に対して、確実に散乱光を
発生せるという点からは２基以上設置されることが好ま
しいが、１基であってもよい。また、１基の場合は、θ
＝９０゜、２基の場合は、θ＝６０゜、−６０゜、３基
の場合は、θ＝９０゜、４５゜、−４５゜となるように
することが好ましい。
に挙げた例に限らず、光照射装置５…の数、設置位置な
どの具体的な条件は、特に限定されるものではない。例
えば、光照射装置５…のうちθが２０゜〜９０゜の範囲
にあるものの数は、表面欠点に対して、確実に散乱光を
発生せるという点からは２基以上設置されることが好ま
しいが、１基であってもよい。また、１基の場合は、θ
＝９０゜、２基の場合は、θ＝６０゜、−６０゜、３基
の場合は、θ＝９０゜、４５゜、−４５゜となるように
することが好ましい。
【００２０】このようなガラス基板２の表面欠点検出方
法は、ガラス基板２に直線帯状の照明光４…を照射し、
ガラス基板２の表面欠点１１からの散乱光６を暗視野下
で集光し、直線的に配列された一次元カメラ７にて電気
信号に変換することにより、ガラス基板２の表面欠点１
１を検出する方法において、その直線帯状の照明光４…
の少なくとも１つの照射方向が、ガラス基板２と照明光
４…の相対的移動方向とのなす角度で表して２０゜〜９
０゜であるので、ランダムな方向に形成された傷や、形
状的に異方性を有する傷などの欠点１１に対しても確実
に散乱光６が生じるため、２μｍ程度の微細で、いかな
る形状の欠点１１も確実に検出することができる。ま
た、この例の表面欠点検出方法では、光照射装置５…と
して光ファイバを帯状に配列させて、光導入部８と出射
端９を有する光ファイバ列１０を用いているので、照明
光４…の照射面積が小さく、表面欠点検出装置内壁など
からの外乱光が低減されるため、欠点１１の誤認が防止
できる。
法は、ガラス基板２に直線帯状の照明光４…を照射し、
ガラス基板２の表面欠点１１からの散乱光６を暗視野下
で集光し、直線的に配列された一次元カメラ７にて電気
信号に変換することにより、ガラス基板２の表面欠点１
１を検出する方法において、その直線帯状の照明光４…
の少なくとも１つの照射方向が、ガラス基板２と照明光
４…の相対的移動方向とのなす角度で表して２０゜〜９
０゜であるので、ランダムな方向に形成された傷や、形
状的に異方性を有する傷などの欠点１１に対しても確実
に散乱光６が生じるため、２μｍ程度の微細で、いかな
る形状の欠点１１も確実に検出することができる。ま
た、この例の表面欠点検出方法では、光照射装置５…と
して光ファイバを帯状に配列させて、光導入部８と出射
端９を有する光ファイバ列１０を用いているので、照明
光４…の照射面積が小さく、表面欠点検出装置内壁など
からの外乱光が低減されるため、欠点１１の誤認が防止
できる。
【００２１】（実施例）以下、具体例を示し、本発明の
効果を明らかにする。表面に幅１〜１０μｍ、長さ１０
ｍｍ前後で方向のランダムな傷を合計１００本形成させ
た、幅６００ｍｍ、奥行き４００ｍｍ、厚さ１．１ｍｍ
のガラス基板２を、図１に示す表面欠点検出装置１を用
いて傷の検査を行った。一次元カメラ７であるＣＣＤカ
メラは、画素サイズ７μｍ、画素数５０００×１であ
り、１：４の縮小光学系を接続し、これを縦に４台並べ
て使用した。各ＣＣＤカメラ７と固定台との間には微調
整移動機構を設け、各ＣＣＤカメラ７の視野を精密に調
整した。
効果を明らかにする。表面に幅１〜１０μｍ、長さ１０
ｍｍ前後で方向のランダムな傷を合計１００本形成させ
た、幅６００ｍｍ、奥行き４００ｍｍ、厚さ１．１ｍｍ
のガラス基板２を、図１に示す表面欠点検出装置１を用
いて傷の検査を行った。一次元カメラ７であるＣＣＤカ
メラは、画素サイズ７μｍ、画素数５０００×１であ
り、１：４の縮小光学系を接続し、これを縦に４台並べ
て使用した。各ＣＣＤカメラ７と固定台との間には微調
整移動機構を設け、各ＣＣＤカメラ７の視野を精密に調
整した。
【００２２】また、光照射装置５…を３基設け、端部を
ポリッシュした直径２５０μｍのプラスチック光ファイ
バを帯状に束ねて、出射面積を１ｍｍ×５００ｍｍとし
たものを導光路とし、光源は１００Ｗのハロゲンランプ
とし、導光路の出射端９より３０ｍｍ隔てた位置に焦点
距離１５ｍｍ、長さ５２０ｍｍのカマボコ状レンズを設
けた。各導光路の出射端９と光ファイバ列１０とのなす
角度βは、１列が９０゜、他の２列を６５゜とした。９
０゜のものはガラス基板２となす角度φが４５゜になる
ようにガラス基板２の表面側に設置し、６５゜の光ファ
イバ列１０は、角度φが５５゜になるように、ガラス基
板２の表面側および裏面側の両側に設置した。
ポリッシュした直径２５０μｍのプラスチック光ファイ
バを帯状に束ねて、出射面積を１ｍｍ×５００ｍｍとし
たものを導光路とし、光源は１００Ｗのハロゲンランプ
とし、導光路の出射端９より３０ｍｍ隔てた位置に焦点
距離１５ｍｍ、長さ５２０ｍｍのカマボコ状レンズを設
けた。各導光路の出射端９と光ファイバ列１０とのなす
角度βは、１列が９０゜、他の２列を６５゜とした。９
０゜のものはガラス基板２となす角度φが４５゜になる
ようにガラス基板２の表面側に設置し、６５゜の光ファ
イバ列１０は、角度φが５５゜になるように、ガラス基
板２の表面側および裏面側の両側に設置した。
【００２３】ガラス基板２の移動速度は毎分３ｍとし、
ＣＣＤカメラ７で取り込んだデータをデジタル化した
後、画像処理することにより、傷の検出信号を取り出し
た。その結果、１００本の傷のうち、９４本が検出でき
た。検出できなかった傷を調べたところ、すべて幅１μ
ｍ前後の微細なものばかりであり、幅２μｍ以上の傷は
全数検出できた。
ＣＣＤカメラ７で取り込んだデータをデジタル化した
後、画像処理することにより、傷の検出信号を取り出し
た。その結果、１００本の傷のうち、９４本が検出でき
た。検出できなかった傷を調べたところ、すべて幅１μ
ｍ前後の微細なものばかりであり、幅２μｍ以上の傷は
全数検出できた。
【００２４】（比較例）実施例１と同じ装置とガラス基
板を用い、直線帯状の照明光のうち、導光路の出射端と
光ファイバ列とのなす角度βが９０゜である光照射装置
だけを使用して傷の検出試験を行った。その結果、１０
０本の傷のうち、検出できたのは７１本だけであった。
板を用い、直線帯状の照明光のうち、導光路の出射端と
光ファイバ列とのなす角度βが９０゜である光照射装置
だけを使用して傷の検出試験を行った。その結果、１０
０本の傷のうち、検出できたのは７１本だけであった。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のガラス基
板の表面欠点検出方法は、ガラス基板に直線帯状の照明
光を照射し、ガラス基板の表面欠点からの散乱光を暗視
野下で集光し、直線的に配列された一次元カメラにて電
気信号に変換することにより、ガラス基板の表面欠点を
検出する方法において、その直線帯状の照明光の少なく
とも１つの照射方向が、ガラス基板と照明光の相対的移
動方向とのなす角度で表して２０゜〜９０゜であるの
で、ランダムな方向に形成された傷や、形状的に異方性
を有する傷などの欠点に対しても確実に散乱光が生じる
ため、２μｍ程度の微細で、いかなる形状の欠点も確実
に検出することができる。また、この例の表面欠点検出
方法では、光照射装置として光ファイバを帯状に配列さ
せて、光導入部と出射端を有する光ファイバ列を用いて
いるので、照明光の照射面積が小さく、表面欠点検出装
置内壁などから反射してくる外乱光が低減されるため、
欠点の誤認が防止できる。また、広い面積全体を短時間
に走査できるため、検査時間を短縮することもできるな
どの効果も得られる。
板の表面欠点検出方法は、ガラス基板に直線帯状の照明
光を照射し、ガラス基板の表面欠点からの散乱光を暗視
野下で集光し、直線的に配列された一次元カメラにて電
気信号に変換することにより、ガラス基板の表面欠点を
検出する方法において、その直線帯状の照明光の少なく
とも１つの照射方向が、ガラス基板と照明光の相対的移
動方向とのなす角度で表して２０゜〜９０゜であるの
で、ランダムな方向に形成された傷や、形状的に異方性
を有する傷などの欠点に対しても確実に散乱光が生じる
ため、２μｍ程度の微細で、いかなる形状の欠点も確実
に検出することができる。また、この例の表面欠点検出
方法では、光照射装置として光ファイバを帯状に配列さ
せて、光導入部と出射端を有する光ファイバ列を用いて
いるので、照明光の照射面積が小さく、表面欠点検出装
置内壁などから反射してくる外乱光が低減されるため、
欠点の誤認が防止できる。また、広い面積全体を短時間
に走査できるため、検査時間を短縮することもできるな
どの効果も得られる。
【図１】 本発明の表面欠点検出装置の一実施例を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図２】 本発明の光ファイバ列の一実施例を示す概略
構成図である。
構成図である。
【図３】 本発明の表面欠点検出装置の一実施例を示す
正面図である。
正面図である。
【図４】 本発明の表面欠点検出装置の一実施例を示す
平面図である。
平面図である。
【図５】 角度θ、φ、α、βの位置関係を示す斜視図
である。
である。
１…表面欠点検出装置、２…ガラス基板、３…枠体、４
…照明光、５…光照射装置、６…散乱光、７…一次元カ
メラ、８…光導入部、９…出射端、１０…光ファイバ列
…照明光、５…光照射装置、６…散乱光、７…一次元カ
メラ、８…光導入部、９…出射端、１０…光ファイバ列
Claims (5)
- 【請求項１】 ガラス基板に直線帯状の照明光を照射
し、ガラス基板の表面欠点からの散乱光を暗視野下で集
光し、直線的に配列された一次元カメラにて電気信号に
変換することにより、ガラス基板の表面欠点を検出する
方法において、 その直線帯状の照明光の少なくとも１つの照射方向が、
ガラス基板と照明光の相対的移動方向とのなす角度で表
して２０゜〜９０゜であることを特徴とするガラス基板
の表面欠点検出方法。 - 【請求項２】 前記ガラス基板に、直線帯状の照明光を
少なくとも３方向から、互いに重なり合うように照射す
ることを特徴とする請求項１記載のガラス基板の表面欠
点検出方法。 - 【請求項３】 前記直線帯状の照明光の少なくとも１つ
が、帯状に配列された光ファイバ列により導かれたもの
であって、その配列面内において、光ファイバ列の出射
端と、各光ファイバとのなす角度が４０゜〜８０゜であ
ることを特徴とする請求項１または請求項２記載のガラ
ス基板の表面欠点検出方法。 - 【請求項４】 ガラス基板の表面に直線帯状の照明光を
照射する光照射装置と、前記照明光によってガラス基板
の欠点部位からの散乱光を捕らえる一次元カメラとから
なり、 前記光照射装置が少なくとも３個、その照射光の照射方
向を違えて設けられ、そのうちの少なくとも１個の照射
方向が、ガラス基板と照明光の相対的移動方向とのなす
角度で表わして２０゜〜９０゜となるように配されてい
ることを特徴とするガラス基板の表面欠点検出装置。 - 【請求項５】 前記光照射装置の少なくとも一つが、複
数の光ファイバを帯状に配列させた光ファイバ列からな
ることを特徴とする請求項４記載のガラス基板の表面欠
点検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2705294A JPH07234187A (ja) | 1994-02-24 | 1994-02-24 | ガラス基板の表面欠点検出方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2705294A JPH07234187A (ja) | 1994-02-24 | 1994-02-24 | ガラス基板の表面欠点検出方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07234187A true JPH07234187A (ja) | 1995-09-05 |
Family
ID=12210307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2705294A Pending JPH07234187A (ja) | 1994-02-24 | 1994-02-24 | ガラス基板の表面欠点検出方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07234187A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100485029B1 (ko) * | 1997-12-26 | 2005-06-16 | 호야 가부시키가이샤 | 전자디바이스용유리기판과이를이용하는포토마스크블랭크및포토마스크 |
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-
1994
- 1994-02-24 JP JP2705294A patent/JPH07234187A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19970408 |