JPH04136747A - 板体の外観検査装置 - Google Patents
板体の外観検査装置Info
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- JPH04136747A JPH04136747A JP25927090A JP25927090A JPH04136747A JP H04136747 A JPH04136747 A JP H04136747A JP 25927090 A JP25927090 A JP 25927090A JP 25927090 A JP25927090 A JP 25927090A JP H04136747 A JPH04136747 A JP H04136747A
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- Japan
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- dimensional sensor
- illumination light
- illumination
- inspection
- inspection table
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 30
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 6
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、板体の外観検査装置に関し、特にスルーホー
ルを有する印刷配線板の外観検査装置の照明機構に関す
る。
ルを有する印刷配線板の外観検査装置の照明機構に関す
る。
従来の印刷配線板用外観検査装置の照明ｍ構は、第４図
に示すように、矢印方向（図中左右方向）に可動する検
査テーブル１２と、検査テーブル１２の上方に設置され
たハロゲンなどの反射用照明光源３と、一次元センサー
５とを有し、反射用照明光源３から発光された光を印刷
配線板２へ照射し、反射光９を一次元センサー５で受光
して検査する構造となっている。
に示すように、矢印方向（図中左右方向）に可動する検
査テーブル１２と、検査テーブル１２の上方に設置され
たハロゲンなどの反射用照明光源３と、一次元センサー
５とを有し、反射用照明光源３から発光された光を印刷
配線板２へ照射し、反射光９を一次元センサー５で受光
して検査する構造となっている。
この従来の反射照明機構を用いて、印刷配線板２のパタ
ーンを読み取る場合、第５図（ａ）に示すスルーホール
８を有するランドパターン７は、同図（ｂ）に示すよう
な二値化画像１１として捉えられ、Ｓ残り幅１３が回路
幅１４に対し極端に細い場合などは、回路幅１４を検査
する際に座残り幅１３を回路細りとして誤って認識し、
欠陥と判定してしまう。
ーンを読み取る場合、第５図（ａ）に示すスルーホール
８を有するランドパターン７は、同図（ｂ）に示すよう
な二値化画像１１として捉えられ、Ｓ残り幅１３が回路
幅１４に対し極端に細い場合などは、回路幅１４を検査
する際に座残り幅１３を回路細りとして誤って認識し、
欠陥と判定してしまう。
そのなめ、従来の外観検査装置では、座残り幅１３が回
路幅１４の検査規格の最小値より狭いなめ、検査規格を
回路幅１４より狭いほうの座残り幅１３に合わせて検査
を行ない、回路幅１４をチエツクしていたが、印刷配線
板の品質が著しく低下してしまうという欠点があった。
路幅１４の検査規格の最小値より狭いなめ、検査規格を
回路幅１４より狭いほうの座残り幅１３に合わせて検査
を行ない、回路幅１４をチエツクしていたが、印刷配線
板の品質が著しく低下してしまうという欠点があった。
又、反射用照明光源３が単独で斜め方向から照射する構
成のなめ、印刷配線板２の表面の凹凸に対して、照明に
よる影の影響で正確な画像が得られないという欠点があ
った。
成のなめ、印刷配線板２の表面の凹凸に対して、照明に
よる影の影響で正確な画像が得られないという欠点があ
った。
本発明の目的は、正規の回路幅の検査規格に基いて検査
可能とした板体の外観検査装置を提供することにある。
可能とした板体の外観検査装置を提供することにある。
前記目的を達成するため、本発明に係る板体の外観検査
装置においては、検査テーブルと、透過用照明光源と、
一次元センサーと、一対の反射用照明光源とを有する板
体の外観検査装置であって、検査テーブルは、光透過性
をもち、検査対象の板体を支持して水平方向に移動する
ものであり、透過用照明光源は、検査テーブルの下方に
設置され、検査対象の板体のスルーホールを通じて照明
を行うものであり、 一次元センサーは、検査テーブルの上方に設置されたも
のであり、 一対の反射用照明光源は、一次元センサーの視野を挟ん
で平行に設置され、検査対象の板体に反射用照明を行う
ものである。
装置においては、検査テーブルと、透過用照明光源と、
一次元センサーと、一対の反射用照明光源とを有する板
体の外観検査装置であって、検査テーブルは、光透過性
をもち、検査対象の板体を支持して水平方向に移動する
ものであり、透過用照明光源は、検査テーブルの下方に
設置され、検査対象の板体のスルーホールを通じて照明
を行うものであり、 一次元センサーは、検査テーブルの上方に設置されたも
のであり、 一対の反射用照明光源は、一次元センサーの視野を挟ん
で平行に設置され、検査対象の板体に反射用照明を行う
ものである。
ランドパターンに対する反射光照明と透過光照明とを行
い、外観検査を行う。
い、外観検査を行う。
これにより、ランドパターンに有するスルーホールが光
学的に除去され、スルーホールの影響を受けず、ランド
パターンの外観のみが正確に検査されることとなる。
学的に除去され、スルーホールの影響を受けず、ランド
パターンの外観のみが正確に検査されることとなる。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
（実施例１）
第１図は、本発明の実施例１を示す斜視図である。
図において、１は、光透過性のガラス製検査テーブル、
２は、スルーホールを有する印刷配線板、３ａ、３ｂは
、反射用照明光源、４は、透過用照明光源、５は、一次
元センサーである。
２は、スルーホールを有する印刷配線板、３ａ、３ｂは
、反射用照明光源、４は、透過用照明光源、５は、一次
元センサーである。
まず、ガラス製検査テーブル１の下方に高周波蛍光灯な
どの透過用照明光源４を設置する。さらに、ガラス製検
査テーブル１の上方に、一次元センサー５を設置し、か
つ一次元センサー５の視野６をはさんで平行に一対のハ
ロゲンなどの反射用照明光源３ａ、３ｂを配設する。こ
こで、一対の反射用照明光源３ａ、３ｂから照射される
平行光の光軸が、一次元センサー５の視野６と一致する
ように反射用照明光源３ａ、３ｂを傾けて設置する。
どの透過用照明光源４を設置する。さらに、ガラス製検
査テーブル１の上方に、一次元センサー５を設置し、か
つ一次元センサー５の視野６をはさんで平行に一対のハ
ロゲンなどの反射用照明光源３ａ、３ｂを配設する。こ
こで、一対の反射用照明光源３ａ、３ｂから照射される
平行光の光軸が、一次元センサー５の視野６と一致する
ように反射用照明光源３ａ、３ｂを傾けて設置する。
この場合の傾き角度は、印刷配線板２に対し、各々７０
４〜８５°に設定する。
４〜８５°に設定する。
次に動作について説明する。
第２図（ａ）は、スルーホールを有するランドパターン
７と、一次元センサーの視野６との関係を示す図である
。また同図（ｂ）は、一次元センサーの視野６の部分の
断面を示す図であり、スルーホール８を有するランドパ
ターン７を、透過光１０と反射光９で照明している様子
を示している。したがって、本実施例の照明機構で捉え
られるスルーホールを有するランドパターン７の二値化
画像１１は、第２図（Ｃ）に示すように、スルーホール
８が透過光１０により光学的に埋められた画像が得られ
る。
７と、一次元センサーの視野６との関係を示す図である
。また同図（ｂ）は、一次元センサーの視野６の部分の
断面を示す図であり、スルーホール８を有するランドパ
ターン７を、透過光１０と反射光９で照明している様子
を示している。したがって、本実施例の照明機構で捉え
られるスルーホールを有するランドパターン７の二値化
画像１１は、第２図（Ｃ）に示すように、スルーホール
８が透過光１０により光学的に埋められた画像が得られ
る。
又、図示省略した印刷配線板２の表面の凹凸に対しても
、双方向より照明しているため、照明による影ができな
い。
、双方向より照明しているため、照明による影ができな
い。
（実施例２）
第３図は、本発明の実施例２による照明機構を示す側面
図である。
図である。
本実施例では、一次元センサー５の視野６をはさんで平
行に設置した一対の反射用照明光源３ａ。
行に設置した一対の反射用照明光源３ａ。
３ｂを印刷配線板２に対し垂直に配置したものである。
この場合、反射用照明光ｊ［３ａ、３ｂが直進光の場合
、一次元センサー５の視野６を照明できないため、散乱
光を用いる。その他の部分は実施例１と同じである。
、一次元センサー５の視野６を照明できないため、散乱
光を用いる。その他の部分は実施例１と同じである。
以上説明したように本発明は、双方向からの反射光照明
と透過光照明とを併用することにより、ランドパターン
に有するスルーホール部を光学的に除去してパターンを
検査できるため、従来のスルーホール部による座残り幅
が回路細りとして誤って認識され、欠陥と判定されてい
まうことがなくなり、正規の回路幅の検査規格に従い検
査できる。又、印刷配線板の表面の凹凸に対しても、影
響されず、正確な画像を得ることができる。従って、本
発明を適用することにより、品質の良い印刷配線板を提
供することができるという効果を有する。
と透過光照明とを併用することにより、ランドパターン
に有するスルーホール部を光学的に除去してパターンを
検査できるため、従来のスルーホール部による座残り幅
が回路細りとして誤って認識され、欠陥と判定されてい
まうことがなくなり、正規の回路幅の検査規格に従い検
査できる。又、印刷配線板の表面の凹凸に対しても、影
響されず、正確な画像を得ることができる。従って、本
発明を適用することにより、品質の良い印刷配線板を提
供することができるという効果を有する。
第１図は、本発明の実施例１を示す斜視図、第２図（ａ
）は、スルーホールを有するランドパターンと、一次元
センサーの視野の関係を示す図、第２図（ｂ）は、一次
元センサーの視野の断面図、第２図（Ｃ）は、二値化画
像を示す図、第３図は、本発明の実施例２を示す側面図
、第４図は、従来の外観検査装置における照明機構を示
す斜視図、第５図（ａ）は、スルーホールを有するラン
ドパターンを示す図、第５図（ｂ）は、従来の外観検査
装置照明機構により得られる二値化画像を示す図である
。 １・・・ガラス製検査テーブル ２・・・印刷配線板 ３．３ａ、３ｂ・・・反射用照明光源 ４・・・透過用照明光源 ５・・・一次元センサー６
・・・一次元センサーの視野 ７・・・スルーホールを有するランドパターン８・・・
スルーホール ９・・・反射光１０・・・透過光
１１・・・二値化画像１２・・・検査テーブ
ル １３・・・座残り幅１４・・・回路幅 特許出願人 日本電気株式会社 代 理 人 弁理士 菅 野 中箱１図 第 図 第３図 第 図
）は、スルーホールを有するランドパターンと、一次元
センサーの視野の関係を示す図、第２図（ｂ）は、一次
元センサーの視野の断面図、第２図（Ｃ）は、二値化画
像を示す図、第３図は、本発明の実施例２を示す側面図
、第４図は、従来の外観検査装置における照明機構を示
す斜視図、第５図（ａ）は、スルーホールを有するラン
ドパターンを示す図、第５図（ｂ）は、従来の外観検査
装置照明機構により得られる二値化画像を示す図である
。 １・・・ガラス製検査テーブル ２・・・印刷配線板 ３．３ａ、３ｂ・・・反射用照明光源 ４・・・透過用照明光源 ５・・・一次元センサー６
・・・一次元センサーの視野 ７・・・スルーホールを有するランドパターン８・・・
スルーホール ９・・・反射光１０・・・透過光
１１・・・二値化画像１２・・・検査テーブ
ル １３・・・座残り幅１４・・・回路幅 特許出願人 日本電気株式会社 代 理 人 弁理士 菅 野 中箱１図 第 図 第３図 第 図
Claims (1)
- （１）検査テーブルと、透過用照明光源と、一次元セン
サーと、一対の反射用照明光源とを有する板体の外観検
査装置であって、 検査テーブルは、光透過性をもち、検査対象の板体を支
持して水平方向に移動するものであり、透過用照明光源
は、検査テーブルの下方に設置され、検査対象の板体の
スルーホールを通じて照明を行うものであり、 一次元センサーは、検査テーブルの上方に設置されたも
のであり、 一対の反射用照明光源は、一次元センサーの視野を挟ん
で平行に設置され、検査対象の板体に反射用照明を行う
ものであることを特徴とする板体の外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25927090A JPH04136747A (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | 板体の外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25927090A JPH04136747A (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | 板体の外観検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04136747A true JPH04136747A (ja) | 1992-05-11 |
Family
ID=17331766
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25927090A Pending JPH04136747A (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | 板体の外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04136747A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07234187A (ja) * | 1994-02-24 | 1995-09-05 | G T C:Kk | ガラス基板の表面欠点検出方法およびその装置 |
| JPH08178858A (ja) * | 1994-12-26 | 1996-07-12 | Nec Corp | スルーホール検査装置 |
| JP2008060224A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-03-13 | Hitachi Aic Inc | 配線板の検査方法 |
-
1990
- 1990-09-28 JP JP25927090A patent/JPH04136747A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07234187A (ja) * | 1994-02-24 | 1995-09-05 | G T C:Kk | ガラス基板の表面欠点検出方法およびその装置 |
| JPH08178858A (ja) * | 1994-12-26 | 1996-07-12 | Nec Corp | スルーホール検査装置 |
| JP2008060224A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-03-13 | Hitachi Aic Inc | 配線板の検査方法 |
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