JPS63295952A

JPS63295952A - 識別型欠点検出装置の板厚補正装置

Info

Publication number: JPS63295952A
Application number: JP62129644A
Authority: JP
Inventors: Masaharu Okafuji; 岡藤　雅晴; Kenji Tanaka; 田仲　健治; Junichi Abe; 順一安部; Mitsuo Miyano; 宮野　光男
Original assignee: Nippon Sheet Glass Co Ltd; Yaskawa Electric Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Yaskawa Electric Corp; Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority date: 1987-05-28
Filing date: 1987-05-28
Publication date: 1988-12-02
Anticipated expiration: 2011-01-29
Also published as: JPH087161B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、ガラス板、プラスチック板など、少なくとも
光を透過する板材（以下、透光板材という）に光スポッ
トを走査して、透光板材に存在する欠点を検出するフラ
イングスポット型の欠点検出装置であって、特に、検出
した欠点の種類、大きさ９位置等を識別、検出すること
のできる識別型欠点検出装置の板厚補正装置に関する。

〔従来の技術〕

透光板材に存在する欠点を検出する欠点検出装置は、例
えば、透明ガラス板の製造ラインにおいて、製造される
透明ガラス板に存在する欠点を検出し、その検出結果を
透明ガラス板製造工程へフィードバックさせて欠点の発
生をその発生箇所において防止し、製品の歩留まりの向
上を図るために必要とされるものである。

従来の透明ガラス板の欠点検出装置には、例えば、特開
昭５１−２９９８８号公報で知られているように、照射
光に対し、反射光のみを受光器で検出することによって
ガラス板に存在する欠点を知るもの、あるいは特開昭５
１−１１８４号公報で知られるように、照射光に対し、
透過光のみを受光器で検出することによって、ガラス板
に存在する欠点を検出するものがある。

上述した特開昭５１−２９９８８号公報に開示されてい
る欠点検出装置は、ガラス表面上の欠点は検出できるが
、ガラス内部の欠点は検出できない。

逆に、特開昭５１−１１８４号公報に開示されている欠
点検出装置は、ガラス内部の欠点を検出できるが、ガラ
ス表面上の欠点は検出が不可能か、または検出が非常に
困難であるという問題点がある。

また、上述のような欠点検出装置は、欠点の種類（異物
、泡、フシ、ドリップ等）を識別することはできず、さ
らに、１個の受光器で、例えば泡。

異物を同一のレベルで検出するため、異物は見過ぎ、泡
等は見落とすというような欠点があった。

このような欠点を改善する欠点検出装置として、本出願
人は欠点の種類を識別することのできる識別型欠点検出
装置を提案している。以下、この既提案の識別型欠点検
出装置の概要を説明する。

例えば、ガラス板に存在する欠点としては、気泡がガラ
ス板内部に残ることにより形成される泡、異物がガラス
板内部に残ることにより形成される異物、はとんど溶け
た異物がガラス板内部に尾を引いたような形で残ること
により形成されるフシ、バスの錫がガラス板の表面に付
着することにより形成されるドリップ等がある。

このような欠点がガラス板に存在する場合、欠点に光ス
ポットを投射すると、欠点の種類によって透過、透過散
乱２反射１反射散乱の状態が異なる。第１０図に示すよ
うに、透明ガラス板１に存在する欠点２に、法線に対し
一定の入射角αでもって光ビーム３を投射したとき、フ
シ、異物、泡は透過散乱光を生じさせ、特に、フシの場
合は透過光４の光軸に最も近接した近接近軸透過散乱光
５を生じ、異物の場合は透過光４の光軸に近い近軸透過
散乱光６を生じ、泡の場合は透過光４の光軸から離れた
遠軸透過散乱光７を生じる。また、泡。

異物、フシ、ドリップともに透過光４の光量が減少し、
ドリップの場合は反射光８の光量が増加する。

したがって、透過光、近接近軸透過散乱光、近軸透過数
乱光、遠軸透過散乱光９反射光をそれぞれ個別に検出す
る受光器を設け、透過光および反射光の光量変化、およ
び近接近軸透過散乱光、近軸透過散乱光、遠軸透過散乱
光の有無を検出すれば、欠点の種類を識別することが可
能となる。

以上の関係をまとめたものを第１表に示す。なお、表中
の○印は、欠点の種類をどの光で識別できるかを示して
いる。

既提案の識別型欠点検出装置は、以上の事実に基づき、
フライングスポット型の欠点検出装置において、透過光
、近接近軸透過散乱光、近軸透過散乱光、遠軸透過散乱
光１反射光２反射散乱先のうち少なくとも２種以上の光
をそれぞれ検出する複数個の受光器を設け、各受光器が
らの光を電気信号に変換し、得られた電気信号を処理し
て欠点の種類および大きさを表す情報を含む欠点データ
を生成し、これら欠点データをさらに処理してガラス板
の１個の欠点に対応するビットパターンよりなる欠点パ
ターンを作成し、このようにして得られた欠点パターン
を、予め作成されている欠点識別パターンテーブルと照
合して、欠点の種類。

大きさ等を判定するよう構成されている。

第１１図および第１２図は既提案の欠点検出装置の投光
器および受光器部分の斜視図および略側面図であり、受
光器を誇張して示しである。

投光器は、レーザ光を出射するレーザ光源１１と、レー
ザ光源１１からのレーザ光１２が入射し、透明ガラス板
１０が走行する方向（以下、Ｘ軸方向とする）に平行な
軸１３を中心に高速回転する回転多面鏡１４を備えてい
る。なお、第１２図に示されているレーザ光源１１の位
置は、実際の位置と異なって示されているが、これは図
面が不明瞭になるのを避けたためである。以上のような
構成の投光器は、走行する透明ガラス板１０の上方に設
置されている。

投光器が設けられている側とは反対側、すなわち透明ガ
ラス板ｌＯの下方に、透過光１７を検出する１個の受光
器Ｄ１と、近接近軸透過散乱光を検出する２個の受光器
Ｄ２ａ、Ｄ２Ｉｌと、近軸透過散乱光を検出する２個の
受光器Ｄ３ａ、Ｄ３ｍと、遠軸透過散乱光を検出する２
個の受光器Ｄ４Ａ、Ｄ４゜とが配置されている。一方、
透明ガラス板１０の上方には反射光１８を検出する１個
の受光器Ｄ５が配置されている。

これら複数個の受光器は、基本的には同一構造をしてお
り、透明ガラス板１０の幅方向（以下、Ｘ軸方向とする
）に細長い線状の受光面を有している。以下、代表的に
受光器ＤＩの構造を説明する。

第１３図は受光器Ｄ１の斜視図である。この受光器ＤＩ
は、多数本の光ファイバ２１を配列してなるものであり
、光ファイバ２１の一端を、図示のように２列に配列し
て、樹脂などに埋め込み固定し、受光器本体２２を構成
する。配列された多数本の光ファイバの２１の端面２３
が集合して、細長い線状の受光面２４を形成する。光フ
ァイバの他端は束ねられて、後述する光電子増倍管に接
続されている。

以上のような構造の透過光および透過散乱光を検出する
受光器Ｄ１、Ｄ　２Ａ、　Ｄ　２Ｂ　、　Ｄ　３Ａ、　
Ｄ　３ａ、Ｄ４Ａ、Ｄ４Ｂを配置する際、第１２図にお
いて透過光１７の光軸を基準として、それぞれの有効受
光角内に受光面が位置するように各受光器が配置される
。各受光器と有効受光角との関係の一例を第２表に示す
。

第２表以上のような有効受光角内に受光面が位置するように配
置された受光器Ｄ１、Ｄ２Ａ、Ｄ２ａ、０３Ａ、　Ｄ　
３ｓ　、Ｄ　４Ａ、　Ｄ　４＋＋を、受光面側から見た
状態を第１４図に示す。各受光器の受光面の長さ方向は
Ｘ軸方向に平行である。このように近接近軸透過散乱光
、近軸透過散乱光、遠軸透過散乱光をそれぞれ検出する
受光器を２個ずつ用いるのは、発生するこれら透過散乱
光の見逃しを防ぐためである。

第１１図および第１２図において、受光器Ｄ１の光ファ
イバの他端は光電子増倍管ＰＭＩに接続され、受光器Ｄ
２ａ、０２ｍの光ファイバの他端は束ねられて光電子増
倍管ＰＭ２に接続され、受光器Ｄ３Ｍ。

Ｄ　３　ｍの光ファイバの他端は束ねられて光電子増倍
管ＰＭ３に接続され、受光器Ｄ４Ａ、Ｄ４Ｍの光ファイ
バの他端は束ねられて光電子増倍管ＰＭ４に接続され、
受光器Ｄ５の他端は光電子増倍管ＰＭ５に接続されてい
る。各光電子増倍管では各受光器で受光した光を電気信
号に変換する。

さて以上のような構成の投光器と受光器とを備える既提
案の識別型欠点検出装置において、レーザ光源１１より
出射されたレーザ光１２は、高速回転する回転多面鏡１
４に入射され、回転多面鏡１４によリレーザ光１２はＸ
軸方向に振られた後、走行する透明ガラス板１０に投射
され、ガラス板をＸ軸方向に走査する。回転多面鏡１４
の回転によりその反射面が変わる毎に、レーザ光１２は
、透明ガラス板１０を繰返し走査する。透明ガラス板１
０はＹ軸方向に走行しているから、ガラス板の全面がレ
ーザ光により走査されることとなる。

なお、第１２図に示されているように、レーザ光１２は
、透明ガラス板１０に対して、ガラス板面に垂直な法線
に対しＹ軸方向に入射角αをもって投射する。これは、
透明ガラス板１０の裏面で反射され続いて表面で反射さ
れた光が透過光と干渉することを防止するためである。

入射角αの値は、１３゜以上とするのが望ましい。

透明ガラス板に欠点が存在する場合、この欠点にレーザ
光があたると欠点の種類（異物、泡、フシ、ドリップ）
により、透過光と反射光の光量に変化を生じ、同時に透
過散乱光が発生する。

例えば、欠点の種類がフシの場合、入射したレーザ光が
フシに当たると、透過光の光量が変化すると同時に、近
接近軸透過散乱光が発生する。透過光の光量の変化は、
受光器ＤＩで検出され、光電子増倍管ＰＭＩへ送られ、
電気信号に変換される。一方、近接近軸透過散乱光は、
受光器Ｄ２Ａ。

Ｄ２ｇの受光面に入射する。受光された近接近軸透過散
乱光は、光電子増倍管ＰＭ２に送られ、電気信号に変換
される。

同様に、例えば欠点の種類が異物の場合、入射したレー
ザ光が異物に当たると、透過光の光量が変化すると同時
に、近軸透過散乱光が発生する。

この透過散乱光は、受光器０３Ａ、０３１で受光され、
受光された光は光電子増倍管ＰＭ３に送られ、電気信号
に変換される。

同様に、例えば欠点の種類が泡の場合、入射したレーザ
光が泡に当たると、透過光の光量が変化すると同時に、
遠軸透過散乱光が発生する。この遠軸透過散乱光は、受
光器Ｄ４Ａ、Ｄ４ｍで受光され、受光された光は光電子
増倍管ＰＭ４に送られ、電気信号に変換される。

同様に、例えば欠点の種類がドリップの場合、入射した
レーザ光が、このドリップに当たると、透過光の光量が
変化すると同時に、反射光の光量が変化する。この反射
光の変化は受光器Ｄ５で検出され、光電子増倍管ＰＭ５
に送られ、電気信号に変換される。

光電子増倍管からの電気信号は、処理部に送られ、欠点
の種類および大きさを表す情報を含む欠点データが生成
され、これら欠点データがさらに処理されてガラス板の
１個の欠点に対応するビットパターンよりなる欠点パタ
ーンが作成され、このようにして得られた欠点パターン
が、予め作成されている欠点識別パターンテーブルと照
合されて、欠点の種類、大きさ等が判定される。

処理部の構成は、本発明とは直接関係しないので、説明
は省略する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

既提案の識別型欠点検出装置では、前述したようにレー
ザ光の干渉を避けるために、投光器からのレーザ光をガ
ラス板に対して斜めに入射するようにしている。したが
って、第１５図に示すように、ガラス板１０の板厚がり
、からｈ２に変化したような場合、透過光１７は１７′
で示すように光軸がずれ、反射光１８は１８′で示すよ
うに光軸がずれる結果、各受光器において、透過光およ
び反射光のみならず透過散乱光の受光感度が悪くなり、
識別型欠点検出装置の検出感度が低下するという問題点
がある。

本発明は、このような問題点を解決し、検査すべき透光
板材の板厚が変わった場合に、受光器に光が有効に入射
するように板厚に応じて補正する板厚補正装置を提供す
ることにある。

〔発明の構成〕

本発明は、投光器からのビーム状走査光で、長さ方向に
走行する透光板材を幅方向に走査し、前記透光板材から
の透過光、透過散乱光９反射光。

反射散乱光のうち少なくとも２種以上の光を複数の受光
器で受光して、前記透光板材に存在する欠点を検出する
識別型欠点検出装置に用いられ、前記透光板材の板厚が
変化した場合に、その板厚の変化に応じて受光器への入
射光の位置を補正する板厚補正装置であって、受光器に入射する光の位置を検出する位置検出手段と、受光器への入射光の位置を補正するために駆動される被
駆動対象物を駆動する駆動手段と、前記位置検出手段か
らの位置情報に従って、前記駆動手段を制御する制御手
段とを備えることを特徴としている。

〔実施例〕

次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。

第１図は回動可能な平行ミラーを用い、透過光用受光器
および透過散乱光用受光器に対する第１の実施例の板厚
補正装置を示す。なお第１図中、透過散乱光用受光器に
ついては図示を省略しである。

本実施例によれば透過光用受光器Ｄ１の受光面の端部に
ラインスキャンタイプのＣＣＤカメラ２５を設けるとと
もに、回転多面鏡工４とガラス板１０との間に、Ｘ軸方
向に平行な軸２６を中心に回動する、平行な２枚のミラ
ー２７．２８よりなる平行ミラー２９を平行ミラー支持
機構３２に設けている。この平行ミラー２９は例えばモ
ータなどの駆動部３０により回動駆動される。そして、
この駆動部３０はＣＣＤカメラ２５からの位置検出信号
が入力される制御部３１により制御される。

第２図（ａ）は、ＣＣＤカメラ２５の受光面を示す図で
あり、１０２４ビツトあるいは２０４８ビツトの１次元
ラインＣＣＤセンサ３３がＹ軸方向に配置されている。

したがって、光スポット３４が１次元ラインＣＣＤセン
サ３３上に来ると、ＣＣＤカメラ２５からは入射光のＹ
軸方向位置を示す位置検出信号が出力される。第２図（
ｂ）にはＣＣＤカメラ２５からの位置検出信号としての
映像信号を示しているが、この映像信号から、入射光の
Ｙ軸方向における現在位置がわかる。検出感度の観点か
ら、受光器ＤＩの受光面に本来入射させたいＹ軸方向の
入射光の位置を原点位置３５とした場合、ガラス板１０
の厚さが変わると、入射光の現在位置は原点位置３５か
らずれるようになる。

第３図は、平行ミラー２９の機能を説明するための図で
あり、２枚のミラー２７．２８は平行に対向するように
配置され、かつ軸２６を中心に２枚のミラーがそれらの
相対位置を保ったまま回動できるように支持機構３２に
支持されている。いま、２枚のミラー２７．２８が第３
図に示す位置２７ａ、２８ａにあるものとすると、回転
多面鏡１４からのレーザ光１２は、まずミラー２７で反
射され、続いてミラー２８で反射され光軸１２ａに沿っ
てガラス板１０上に投射される。以上のような状態から
平行ミラー２９を左方向に回動させて、２枚のミラーを
図示の位置２７ｂ。

２８ｂに持ってくると、平行ミラー２９に入射したレー
ザ光１２は光軸１２ｂに沿って出射される。このように
平行ミラー２９を回動させることによってガラス板１０
に投射されるレーザ光１２の光路をずらずことができる
。したがって、検査すべきガラス板１０の板厚が変わっ
た場合に、透過光１７の受光器Ｄ１への入射位置を、平
行ミラー２９を回動させることによって補正することが
可能となる。

次に、本実施例の動作を説明する。

第１図の板厚補正装置において、検査すべきガラス板ｌ
Ｏの板厚が変わると、前述したように透過光１７の光路
がずれる。ＣＣＤカメラ２５に、この光路のずれた透過
光１７が入射すると、透過光１７の現在位置を検出し、
制御部３１に人力する。制御部では、透過光の現在位置
の原点位置からのずれの大きさ、およびずれの方向を算
出し、制御信号により駆動部３０を制御して、平行ミラ
ー２９を回動させて、透過光１７が受光器Ｄ１の原点位
置に来るように調整する。

制御部３１の動作を、第４図のフローチャートを参照し
ながら、さらに詳細に説明する。制御部は、ＣＣＤカメ
ラ２５からの位置検出信号に基づいて、現在位置を読み
取る（ステップ■）。次に、（現在位置−原点位置）の
計算を行い、偏差を算出する（ステップ■）。算出され
た偏差の絶対値をとるとともに、偏差の正負を検出する
（ステップ■）。偏差が正であれば、第２図において透
過光１７は原点位置３５より右側にずれ、偏差が負であ
れば透過光１７は原点位置３５より左側にずれているこ
とがわかる。

次に、偏差の絶対値を制御部３１に予め設定されている
最大値（ＭＡＸ）と比較しくステップ■）、偏差の絶対
値が最大値より大きい場合、制御部３１は例えばＣＣＤ
カメラ異常であるとして異常表示をし、板厚補正は行わ
ない（ステップ■）。偏差の絶対値が最大値より小さい
場合には、さらに、制御部３１に予め設定されている最
小値（ＭＩＮ）と偏差の絶対値とを比較する（ステップ
■）。偏差の絶対値が最小値より小さい場合には、補正
するほどのずれではないとして制御信号を出力せず、ス
テップ■の処理に戻る。偏差の絶対値が最小値より大き
い場合には、制御信号を駆動部３０に出力する。この制
御信号には、偏差の絶対値すなわち透過光１７の現在位
置の原点位置に対するずれの大きさ、および偏差の正負
すなわち透過光が原点位置に対していずれの方向にずれ
たかを表すずれの方向を示す情報が含まれている。駆動
部３０は、制御部３１からの制御信号に基づいて平行ミ
ラー２９を回動し、透過光１７が原点位置３５に来るよ
うに補正する。

以上のように、本実施例によれば、投光器とガラス板と
の間に平行ミラーを設け、この平行ミラーを回動させて
、ガラス板に投射されるレーザ光の光路を変えることに
よって、ガラス板の板厚が変わっても、透過光の光路を
一定に保つことが可能となる。また、透過光の光路が変
わらなければ、透過散乱光の光路も変化しない。したが
って透過光用受光器および透過散乱光の受光器の受光感
度は劣化しないから、全体として識別型欠点検出装置の
検出感度を良好に保持することができる。

以上の第１の実施例は平行ミラーを用いた例であるが、
平行ミラーを用いることなく投光器自体を移動させても
よいことがわかる。第５図には、この考えに基づいた第
２の実施例を示す。レーザ光源１１および回転多面鏡１
４を有する投光器は、一体としてＹ軸方向に平行に移動
できる投光器支持機構４３により支持されている。本実
施例は、第１の実施例と同様に、受光器Ｄ１の端部に設
けられたＣＣＤカメラ４０と、このＣＯＤカメラからの
透過光検出位置信号に基づいて制御信号を出力する制御
部４１と、この制御部からの制御信号に基づいて、支持
機構４３を駆動する駆動部４２とから構成されている。

これら要素の動作は第１の実施例と同様であり、ガラス
板１０の板厚が図示のようにり。

からｈ２に変わった場合には、点線１２’で示す光路で
入射光１２がガラス板１０に投射されるように、投光器
全体をＹ軸方向に移動すればよい。

以上の第２の実施例では投光器自体を移動させたが、逆
に受光器自体を移動させてもよいことがわかる。第６図
には、この考えに基づいた第３の実施例を示す。なお、
透過散乱光用の受光器は、図面の不明瞭さを避けるため
図示を省略しである。

透過光用受光器および透過散乱光用受光器は、一体とし
てＹ軸方向に平行に移動できる受光器支持機構５３に支
持されている。本実施例は、第１および第２の実施例と
同様に、受光器Ｄ１の端部に設けられたＣＣＤカメラ５
０と、このＣＣＤカメラからの透過光検出位置信号に基
づいて制御信号を出力する制御部５１と、この制御部か
らの制御信号に基づいて、支持機構５３を駆動する駆動
部５２とから構成されている。これら要素の動作は第１
および第２の実施例と同様であり、ガラス板ｌＯの板厚
が図示のようにり、からｈ２に変わり、点線１７′で示
すように透過光１７の光路が変わった場合に、この透過
光が受光器Ｄ１の原点位置に来るように駆動部５２によ
って受光器全体をＹ軸方向に移動すればよい。

以上の第３の実施例では受光器自体を移動させたが、受
光器を固定しておき、受光器とガラス板との間に回転可
能な光路変更用ミラーを設け、このミラーを回動させる
ことによって光路を変更してもよい。第７図は、この考
えに基づいた第４の実施例を示す。なお、透過散乱光用
の受光器は図示を省略しである。ガラス板ＩＯからの透
過光および透過散乱光の光路中にこれら光を反射して光
路を変更するための、Ｘ軸方向に平行な軸６４を中心に
回動可能なミラー６５を設け、受光器は前記各実施例と
は異なり、ミラー６５による反射光の光路中に配置する
。光路変更用ミラー６５は、支持機構６３に回動可能に
支持されている。

本実施例は、第１〜第３の実施例と同様に、受光器Ｄ１
の端部に設けられたＣＣＤカメラ６０と、このＣＣＤカ
メラからの透過光検出位置信号に基づいて制御信号を出
力する制御部６１と、この制御部からの制御信号に基づ
いて、光路変更用ミラー６５を回動する駆動部６２とか
ら構成されている。これら要素の動作は第１〜第３の実
施例と同様であり、ガラス板１０の板厚が図示のように
り、からｈ２に変わり、点線１７′で示すように透過光
１７の光路が変わった場合に、この透過光が受光器ＤＩ
の原点位置に来るように駆動部６２によって光路変更用
ミラー６５を回動させればよい。

以上の各実施例は、透過光用受光器および透過散乱光用
受光器のための板厚補正装置であったが、識別型欠点検
出装置が反射光用の受光器Ｄ５をも備える場合には、さ
らに反射光用受光器についても板厚補正を行う必要があ
る。第８図は、この場合の第５の実施例を示す図である
。本実施例によれば、反射光１８を受光する受光器Ｄ５
は、Ｙ軸方向に平行に移動できる支持機構７３に支持さ
れており、受光器Ｄ５の端部に設けられたＣＣＤカメラ
７０と、このＣＣＤカメラからの反射光検出位置信号に
基づいて制御信号を出力する制御部７１と、この制御部
からの制御信号に基づいて、支持機構７３を駆動する駆
動部７２とから構成されている。これら要素の動作は以
上の各実施例と同様であり、ガラス板１０の板厚が図示
のようにり、からｈ２に変わり、点線１８′で示すよう
に反射光１８の光路が変わった場合に、この反射光が受
光器Ｄ５の原点位置に来るように駆動部７２によって受
光器Ｄ５をＹ軸方向に移動すればよい。

この実施例では、受光器Ｄ５は受光面が極めて細長い光
フアイバ型のものであるが、透過光用および透過散乱光
用の受光器が有効受光角の関係で極めて接近して配置し
なければならないため光フアイバ型の受光器を用いざる
を得ないのに比べて、反射光用の受光器には受光面の広
い散乱ボックス（集光ボックス）を用いることもできる
。このような散乱ボックスを用いた第６の実施例を第９
図に示す。

本実施例は散乱ボックス型の反射光用受光器Ｄ５の端部
にＣＣＤカメラ８０を設けるとともに、受光器Ｄ５の受
光面の前面に、Ｘ軸方向に延在するスリット８１を有す
るマスク８２を設ける。このマスクは、受光器Ｄ５の前
面に平行にＸ軸方向に直角な方向に移動するように支持
されている。なお、第９図（ａ）は受光器Ｄ５をＸ軸方
向から見た図、第９図（ｂ）は受光器Ｄ５をマスク側か
ら見た図である。

本実施例は、前述した各実施例と同様に、さらに、ＣＣ
Ｄカメラ８０からの反射光検出位置信号に基づいて制御
信号を出力する制御部８４と、この制御部からの制御信
号に基づいて、マスク８２を駆動する駆動部８３とを備
えている。

本実施例によれば、ＣＣＤカメラ８０は反射光１８の受
光器Ｄ５への入射位置を検出し、現在位置検出信号を制
御部８４に送る。制御部８４は、駆動部８３を制御して
、反射光１８がマスク８２のスリット８１から受光器Ｄ
５に取り込まれるように、マスク８２を駆動する。した
がって、ガラス板１０の板厚が変化して反射光１８の光
路がずれても、これに応じてマスクを駆動して反射光を
受光器に取り込むことが可能となる。

以上の実施例では、反射光のみをマスクのスリットを経
て取り込むようにしているが、反射散乱光のみを取り込
むようにすることもできる。

以上、本発明の実施例について説明したが、透過光ある
いは反射光の受光器への入射位置を検出する手段はＣＣ
Ｄカメラに限られるものではなく、その他の位置検出手
段であっもよいことは勿論である。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、透光板材の欠点を
検出する識別型欠点検出装置において、検査すべき透光
板材の板厚が変化して、透過光。

透過散乱光９反射光２反射散乱光の光路が変化しても、
受光器に有効に受光できるように補正することができる
ので、高感度に欠点を検出することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の第１の実施例を示す図、第２図は、
第１の実施例のＣＣＤカメラの機能を説明するための図
、第３図は、第１の実施例の平行ミラーの機能を説明する
ための図、第４図は、第１図の制御部の動作を説明するためのフロ
ーチャート、　　　゛第５図は、本発明の第２の実施例を示す図、第６図は、
本発明の第３の実施例を示す図、第７図は、本発明の第
４の実施例を示す図、第８図は、本発明の第５の実施例
を示す図、第９図は、本発明の第６の実施例を示す図、
第１Ｏ図は、透過光および透過散乱光を示す図、第１１
図は、既提案の識別型欠点検出装置の斜視図、第１２図は、既提案の識別型欠点検出装置の略側面図、第１３図は、受光器の斜視図、　　　　　□第１４図は
、透過光および透過散乱光用の複数受光器の受光面の平
面図、第１５図は、ガラス板の板厚が変わった場合の透過光お
よび反射光の光路のずれを示す図である。ＤＩ・・・・・・透過光用受光器Ｄ２Ａ、０２ｍ　　・・近接近軸透過散乱光用受光器Ｄ
３Ａ、Ｄ３ｍ　　・・近軸透過散乱光用受光器Ｄ４Ａ、
Ｄ４．　　・・遠軸透過散乱光用受光器１０・・・・・
・・ガラス板１１・・・・・・・レーザ光源１２・・・・・・・レーザ光１４・・・・・・・回転多面鏡１７・・・・・・・透過光１日・・・・・・・反射光２５、４０．５０゜６０、７０．８０・・・ＣＣＤカメラ２９・・・・・・・平行ミラー３０、４２．５２゜６２）７２．８３・・・駆動部３１、４１．５１゜６１、７１．８４・・・制御部３３・・・・・・・１次元ラインＣＣＤセンサ６５・・
・・・・・光路変更用ミラー８１・・・・・・・スリット８２・・・・・・・マスク

Claims

【特許請求の範囲】

（１）投光器からのビーム状走査光で、長さ方向に走行
する透光板材を幅方向に走査し、前記透光板材からの透
過光、透過散乱光、反射光、反射散乱光のうち少なくと
も２種以上の光を複数の受光器で受光して、前記透光板
材に存在する欠点を検出する識別型欠点検出装置に用い
られ、前記透光板材の板厚が変化した場合に、その板厚
の変化に応じて受光器への入射光の位置を補正する板厚
補正装置であって、受光器に入射する光の位置を検出する位置検出手段と、受光器への入射光の位置を補正するために駆動される被
駆動対象物を駆動する駆動手段と、前記位置検出手段か
らの位置情報に従って、前記駆動手段を制御する制御手
段とを備えることを特徴とする識別型欠点検出装置の板
厚補正装置。
（２）特許請求の範囲第１項に記載の識別型欠点検出装
置の板厚補正装置において、前記被駆動対象物が、前記投光器と前記透光板材との間
に設けられた回動可能な平行ミラーであることを特徴と
する識別型欠点検出装置の板厚補正装置。
（３）特許請求の範囲第１項に記載の識別型欠点検出装
置の板厚補正装置において、前記被駆動対象物が受光器であることを特徴とする識別
型欠点検出装置の板厚補正装置。
（４）特許請求の範囲第１項に記載の識別型欠点検出装
置の板厚補正装置において、前記被駆動対象物が投光器であることを特徴とする識別
型欠点検出装置の板厚補正装置。
（５）特許請求の範囲第１項に記載の識別型欠点検出装
置の板厚補正装置において、前記被駆動対象物が、透光板材と受光器との間に設けら
れた回動可能な光路変更用ミラーであることを特徴とす
る識別型欠点検出装置の板厚補正装置。
（６）特許請求の範囲第１項に記載の識別型欠点検出装
置の板厚補正装置において、前記被駆動対象物が受光器の前面に設けられたマスクで
あることを特徴とする識別型欠点検出装置の板厚補正装
置。