JP2005156420A - 表面凹凸の検査方法及び検査装置 - Google Patents
表面凹凸の検査方法及び検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005156420A JP2005156420A JP2003397014A JP2003397014A JP2005156420A JP 2005156420 A JP2005156420 A JP 2005156420A JP 2003397014 A JP2003397014 A JP 2003397014A JP 2003397014 A JP2003397014 A JP 2003397014A JP 2005156420 A JP2005156420 A JP 2005156420A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspected
- image
- slit
- infrared
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Abstract
【課題】 圧延帯鋼のように非鏡面の表面を有する被検査体について、表面の微小凹凸の有無を自動的に検査する方法及び装置を安価に提供するとともに、帯鋼全長のうち微少凹凸を検査する対象領域を増大する。
【解決手段】 赤外線をパルス発光するレーザー4から反射ボックス2内に赤外線を照射し、反射ボックス2はその内表面7で赤外線の乱反射を繰り返し、反射ボックス2はその表面にスリット3を有し、反射ボックス2の内表面7で反射した赤外線はスリット3を通して外部に拡散光14として発散し、反射ボックス2を被検査体1付近に配置し、被検査体表面に映るスリットの像10を赤外線撮像装置5で撮像し、撮像したスリットの像10の形状に基づいて被検査体表面の微少凹凸15の有無を検査することを特徴とする表面凹凸の検査方法及び検査装置。
【選択図】 図1
【解決手段】 赤外線をパルス発光するレーザー4から反射ボックス2内に赤外線を照射し、反射ボックス2はその内表面7で赤外線の乱反射を繰り返し、反射ボックス2はその表面にスリット3を有し、反射ボックス2の内表面7で反射した赤外線はスリット3を通して外部に拡散光14として発散し、反射ボックス2を被検査体1付近に配置し、被検査体表面に映るスリットの像10を赤外線撮像装置5で撮像し、撮像したスリットの像10の形状に基づいて被検査体表面の微少凹凸15の有無を検査することを特徴とする表面凹凸の検査方法及び検査装置。
【選択図】 図1
Description
本発明は、例えば非鏡面の表面を有する鋼板等の被検査体表面の微少凹凸有無を検査する検査方法及び検査装置に関するものである。
薄鋼板の製造プロセス、例えば冷延帯鋼の製造プロセスにおいて、製造ラインのロールに異物が付着していると、この異物に起因して帯鋼にロール疵が形成され、また、圧延ロールが微少振動を起こすと、鋼板表面に微細な横縞(チャタマーク)が形成される。これら帯鋼表面に形成される表面形状不良を、ここでは総称して微少凹凸と呼ぶ。ロール疵の原因となる異物がロールに付着したり、あるいはロール振動に起因するチャタマークが一旦発生すると、ロールを交換したりプロセスを改善したりするまで帯鋼表面に欠陥が連続して発生するので、早期に発見して対策を講じることが重要である。
このような疵を見つけるため、帯鋼の通板ラインにおいては、通板中に帯鋼の長手方向不連続に配置した検査部位において帯鋼の走行を一度停止あるいは低速通板とし、検査員が砥石がけを行った後に目視検査をしている。砥石がけを行うと、凹部に比べて凸部がより一層研磨されて鏡面に近づくのに対し、凹部が元の粗面のまま残るので、微少凹凸発生部が明瞭になり、目視で確認可能となる。
砥石がけのために帯鋼の走行を停止あるいは低速通板としている最中においても、検査箇所前後に設けたループカー等の機能に基づいて帯鋼通板ラインの他の部分では帯鋼の走行を継続する。ループカーの能力は有限であるため、砥石がけのために帯鋼を停止する時間は限られ、かつ前回の砥石がけ検査部位から今回の砥石がけ検査部位まで鋼帯を長い距離にわたって無検査で走行させる必要がある。今回の砥石がけ検査でロール疵が発見されると、前回砥石がけ箇所までロール疵発生の可能性があるので、大きな歩留りロスを生じることとなる。
被検査面に平行光を照射し、被検査面から反射した反射光をスクリーンに投影し、被検査面の凹凸部からの反射光がスクリーンにおいて像のパターンとして現れるいわゆる魔鏡現象を適用した検査方法が知られている。従来、魔鏡現象を適用して凹凸評価ができるのは、照射光をミラー反射することのできる鏡面表面のみであった。これに対し、帯鋼通板ラインにおいて、帯鋼の表面は非鏡面の粗面であるため、鏡面表面を対象とした凹凸検査方法は採用することができない。特許文献1においては、上記魔鏡現象を適用した検査方法において、入射光の角度を規定することによって、あるいは入射光として赤外域の波長を選定することにより、被検査面が粗面であっても鏡面反射を可能にし、粗面の微少凹凸性疵が検出できるとしている。具体的には、光源としてパルス発振のCO2レーザーを用い、スクリーンに照射される像を撮像する2次元カメラとしてサーモカメラを用いる例が記載されている。
特許文献1に記載の方法のうち、入射光の角度を規定する方法については、角度を87°とし、入射光と鋼板とのなす角度を極めて鋭角にすることによって検査を成立させている。これでは、鋼板が振動したり形状が平坦でない場合、正反射方向がわずかに変化するだけで、反射光がスクリーンから外れてしまうことが懸念される。
特許文献1に記載の方法のうち、入射光として赤外域の波長を選定する方法については、光源としてCO2レーザーを用いている。魔鏡現象を適用する場合には、被検査面で反射した反射光をスクリーンに結像する必要があり、被検査面と同じ大きさあるいはそれよりも大きいスクリーンを準備し、このスクリーンに結像した像を間接的に撮像装置で撮像した上で画像処理を行うことが必要である。スクリーン全面の赤外光学特性が均一であることが求められるので、汚れ付着防止等の対策や管理が欠かせない。反射光をレンズで集光した上で、サイズの小さい2次元の撮像素子自体をスクリーンとして撮像素子上に直接結像させることも可能であるが、集光レンズとして被検査面と同等以上の大きさを有する赤外域レンズを準備する必要があり、光学的に製作できる赤外レンズサイズの制約から、検査視野は小さくなる。
以上のような理由により、非鏡面の表面を有する鋼板の微小凹凸検査について特許文献1に記載のような魔鏡現象を適用する検査方法には、技術的な課題が残る。
本発明は、圧延帯鋼のように非鏡面の表面を有する被検査体について、表面の微小凹凸の有無を自動的に検査する方法及び装置を安価に提供するとともに、帯鋼全長のうち微少凹凸を検査する対象領域を増大することを目的とする。
即ち、本発明の要旨とするところは以下の通りである。
(1)赤外線をパルス発光するレーザー4から反射ボックス2内に赤外線を照射し、反射ボックス2はその内表面7で赤外線を反射し、反射ボックス2はその表面にスリット3を有し、反射ボックス2の内表面7で反射した赤外線はスリット3を通して外部に発散し、反射ボックス2を被検査体1付近に配置し、被検査体表面に映るスリットの像10を赤外線撮像装置5で撮像し、撮像したスリットの像10の形状に基づいて被検査体表面の微少凹凸15の有無を検査することを特徴とする表面凹凸の検査方法。
(2)反射ボックス2の内表面7の一部又は全部は非鏡面のAuメッキ面であることを特徴とする上記(1)に記載の表面凹凸の検査方法。
(3)被検査体付近に配置した線状体17に対してレーザー4から赤外線をパルス発光させて照射し、被検査体表面に映る線状体17の像を赤外線撮像装置4で撮像し、該撮像した線状体17の像の形状に基づいて被検査体表面の微少凹凸の有無を検査することを特徴とする表面凹凸の検査方法。
(4)レーザー4はパルスCO2レーザーであることを特徴とする上記(1)乃至(3)のいずれかに記載の表面凹凸の検査方法。
(5)赤外線撮像装置5はレーザー4のパルス発光に同期して露光を行うことを特徴とする上記(1)乃至(4)のいずれかに記載の表面凹凸の検査方法。
(6)撮像したスリット又は線状体の像の形状が非直線となった被検査体表面部分を微少凹凸発生部と判定することを特徴とする上記(1)乃至(5)のいずれかに記載の表面凹凸の検査方法。
(7)被検査体1は、非鏡面の表面を有する鋼板であることを特徴とする上記(1)乃至(6)のいずれかに記載の表面凹凸の検査方法。
(8)赤外線をパルス発光するレーザー4と、表面にスリット3を有する反射ボックス2と、赤外線撮像装置5と、判定装置6とを有し、レーザー4は反射ボックス内に赤外線を照射し、反射ボックス2の内表面7は赤外線を反射し、反射した赤外線はスリット3を通して外部に放出され、赤外線撮像装置5は被検査体表面に映る反射ボックスのスリットの像10を撮像し、判定装置6は赤外線撮像装置5で撮像したスリットの像10の形状に基づいて被検査体表面の微少凹凸の有無を判定することを特徴とする表面凹凸の検査装置。
(9)反射ボックス2の内表面7の一部又は全部は非鏡面のAuメッキ面であることを特徴とする上記(8)に記載の表面形状の検査装置。
(10)赤外線をパルス発光するレーザー4と、被検査体付近に配置した線状体17と、赤外線撮像装置5と、判定装置6とを有し、レーザー4は線状体17に赤外線を照射し、赤外線撮像装置5は被検査体表面に映る線状体17の像を撮像し、判定装置6は赤外線撮像装置で撮像した線状体17の像の形状に基づいて被検査体表面の微少凹凸の有無を判定することを特徴とする表面凹凸の検査装置。
(11)レーザー4はパルスCO2レーザーであることを特徴とする上記(8)乃至(10)のいずれかに記載の表面凹凸の検査装置。
(12)赤外線撮像装置5はレーザー4のパルス発光に同期して露光を行うことを特徴とする上記(8)乃至(11)のいずれかに記載の表面凹凸の検査装置。
(13)判定装置6は、前記撮像したスリット又は線状体の像の形状が非直線となった被検査体表面部分を微少凹凸発生部と判定することを特徴とする上記(8)乃至(12)のいずれかに記載の表面凹凸の検査装置。
(14)被検査体1は非鏡面の表面を有する帯鋼であり、帯鋼の通板ラインに配置されることを特徴とする上記(8)乃至(13)のいずれかに記載の表面凹凸の検査装置。
(1)赤外線をパルス発光するレーザー4から反射ボックス2内に赤外線を照射し、反射ボックス2はその内表面7で赤外線を反射し、反射ボックス2はその表面にスリット3を有し、反射ボックス2の内表面7で反射した赤外線はスリット3を通して外部に発散し、反射ボックス2を被検査体1付近に配置し、被検査体表面に映るスリットの像10を赤外線撮像装置5で撮像し、撮像したスリットの像10の形状に基づいて被検査体表面の微少凹凸15の有無を検査することを特徴とする表面凹凸の検査方法。
(2)反射ボックス2の内表面7の一部又は全部は非鏡面のAuメッキ面であることを特徴とする上記(1)に記載の表面凹凸の検査方法。
(3)被検査体付近に配置した線状体17に対してレーザー4から赤外線をパルス発光させて照射し、被検査体表面に映る線状体17の像を赤外線撮像装置4で撮像し、該撮像した線状体17の像の形状に基づいて被検査体表面の微少凹凸の有無を検査することを特徴とする表面凹凸の検査方法。
(4)レーザー4はパルスCO2レーザーであることを特徴とする上記(1)乃至(3)のいずれかに記載の表面凹凸の検査方法。
(5)赤外線撮像装置5はレーザー4のパルス発光に同期して露光を行うことを特徴とする上記(1)乃至(4)のいずれかに記載の表面凹凸の検査方法。
(6)撮像したスリット又は線状体の像の形状が非直線となった被検査体表面部分を微少凹凸発生部と判定することを特徴とする上記(1)乃至(5)のいずれかに記載の表面凹凸の検査方法。
(7)被検査体1は、非鏡面の表面を有する鋼板であることを特徴とする上記(1)乃至(6)のいずれかに記載の表面凹凸の検査方法。
(8)赤外線をパルス発光するレーザー4と、表面にスリット3を有する反射ボックス2と、赤外線撮像装置5と、判定装置6とを有し、レーザー4は反射ボックス内に赤外線を照射し、反射ボックス2の内表面7は赤外線を反射し、反射した赤外線はスリット3を通して外部に放出され、赤外線撮像装置5は被検査体表面に映る反射ボックスのスリットの像10を撮像し、判定装置6は赤外線撮像装置5で撮像したスリットの像10の形状に基づいて被検査体表面の微少凹凸の有無を判定することを特徴とする表面凹凸の検査装置。
(9)反射ボックス2の内表面7の一部又は全部は非鏡面のAuメッキ面であることを特徴とする上記(8)に記載の表面形状の検査装置。
(10)赤外線をパルス発光するレーザー4と、被検査体付近に配置した線状体17と、赤外線撮像装置5と、判定装置6とを有し、レーザー4は線状体17に赤外線を照射し、赤外線撮像装置5は被検査体表面に映る線状体17の像を撮像し、判定装置6は赤外線撮像装置で撮像した線状体17の像の形状に基づいて被検査体表面の微少凹凸の有無を判定することを特徴とする表面凹凸の検査装置。
(11)レーザー4はパルスCO2レーザーであることを特徴とする上記(8)乃至(10)のいずれかに記載の表面凹凸の検査装置。
(12)赤外線撮像装置5はレーザー4のパルス発光に同期して露光を行うことを特徴とする上記(8)乃至(11)のいずれかに記載の表面凹凸の検査装置。
(13)判定装置6は、前記撮像したスリット又は線状体の像の形状が非直線となった被検査体表面部分を微少凹凸発生部と判定することを特徴とする上記(8)乃至(12)のいずれかに記載の表面凹凸の検査装置。
(14)被検査体1は非鏡面の表面を有する帯鋼であり、帯鋼の通板ラインに配置されることを特徴とする上記(8)乃至(13)のいずれかに記載の表面凹凸の検査装置。
本発明により、被検査体表面が粗さを有する場合であっても、被検査体表面の微小凹凸の有無を光学的に検査することができ、かつ検査装置を安価に構築することができるとともに、長尺の被検査体全長のうち微少凹凸を検査する対象領域を増大することができる。
溶融亜鉛メッキ鋼板、熱間圧延後にスケール除去を行った鋼板等の表面は、人の見た目には粗面である。このような鋼板の表面において可視光域の波長を有する光を反射させると、反射光は粗面において散乱してしまい、鏡面反射とすることができない。光の波長が被検査面の粗さよりも短いためである。一方、光の波長をλ(μm)、被検査面の粗さをR(μm)、被検査面に対する光の入射角度をθとすると、Rcosθ/λの値を小さくするほど鏡面性が増すことが知られている。
本発明においては、光源として赤外線を発光するレーザー4を用いる。赤外線を発光源として用いれば、被検査体表面1の粗さ(1〜2μm)において鏡面反射条件を実現することができ、被検査面で反射する光を鏡面反射とすることが可能となるからである。使用する赤外線の波長としては、3μm程度以上とすればよい。赤外線発光源としてCO2レーザーを用いれば、波長10.6μmの赤外線を発光させることができる。
本発明においては、図1に示すように、表面にスリット3を有する反射ボックス2を被検査体1付近に配置する。赤外線をパルス発光するレーザー4を反射ボックス付近に配設し、図2に示すようにレーザー4から反射ボックス2内に赤外線を照射する。反射ボックス2はその内表面7が赤外線を反射する表面を形成しており、レーザー照射した赤外線は反射ボックス内で反射を繰り返すこととなる。反射ボックス2はその表面にスリット3を有し、反射ボックス2の内表面7で反射を繰り返した赤外線は反射ボックス表面に配置されたスリット3を通して外部に発散することとなる。スリット3の形状は好ましくは直線状であり、細い直線状であると最も好ましい。
反射ボックス2の内表面7で多数回反射を繰り返した赤外線が種々の方向からスリット3を通過していくので、スリット3を通して被検査体表面に照射される赤外線は、拡散光14となる。拡散光とは、光源から発する光が一定の方向のみに集束せず、拡散あるいは散乱している意味である。光源から360°全周に拡散して発光する必要はないが、少なくとも被検査面表面21に向けて照射される。スリットから照射される赤外線を拡散光とするためには、反射ボックスの内表面は非鏡面として赤外線を極力乱反射させることとすると好ましい。
図1の場合を例にとって説明する。被検査体表面21には、微小凹凸15が存在する。図1(a)に示すように、反射ボックス表面のスリット3を通して被検査体表面21に照射された赤外線は、被検査体表面21において鏡面反射する。当該反射光の通過位置に赤外線撮像装置5を配置して被検査面表面21を観察すると、被検査面表面には図1(b)に示すようにスリットの像10が映って観察される。それは、被検査体表面21の位置に鏡を配置したときに、可視光で見ることのできるスリットの像が鏡に映って観察できるのと同様である。図1(a)には、スリット3から赤外線撮像装置5に至る光路12の一部が記載されている。被検査体表面21で反射して赤外線撮像装置5に至る光路12は、あたかもスリットの虚像11aからの直線光路で赤外線撮像装置5に入射するように形成される。図2(b)にはスリットの虚像11aとともに反射ボックスの虚像11bも記載している。
本発明においては、スリット3から照射される赤外線が拡散光であるので、被検査体表面に映るスリットの像10を赤外線撮像装置5で撮像することができる。スリットから照射される赤外線が平行光あるいは集束光であると、被検査体表面にスリットの像10を映すことができない。
被検査体表面21が平面である場合、直線状の形状を有するスリットの像10は、被検査体表面21に同じく直線状の形状として映り、そのままの姿で撮像装置5によって撮像される。これに対し、図1に示すように被検査体表面21のスリットの像が映る位置に微小凹凸15が存在する場合には、この微小凹凸15によって光の反射方向が乱されるため、微小凹凸の位置において像の形状も乱れ、図1(b)に示すように直線形状からずれた形状で観察されることとなる。具体的には、細線状のスリットの像10が微小凹凸15の位置において広がったり(図3(a))、当該位置において一方の側に曲がって見えたり(図3(b))、あるいは当該位置において像が消滅したり(図3(c))する。従って、被検査体表面に映るスリットの像10を赤外線撮像装置5によって撮像し、その形状を観察することにより、被検査体表面の微小凹凸15の有無を検査できることとなる。
微小凹凸15の位置におけるスリットの像10の歪みは、微小凹凸部の傾斜が大きくなるほど大きくなる。また、微小凹凸部の傾斜が同じであれば、被検査体表面21と赤外線撮像装置5との距離が遠くなるほど大きくなる。従って、赤外線撮像装置5の位置を被検査体表面21から遠ざけることにより、よりわずかな微小凹凸を観察することが可能になる。例えば、微小凹凸部の表面傾斜が1mm当たり5μmであり、被検査体表面から撮像装置までの距離を600mmとした場合、被検査体表面に映るスリットの像は微小凹凸部において約6mm歪むこととなる。
被検査体表面21付近における反射ボックス表面のスリットの配置位置としては、図1に示すようにスリット3を被検査体表面21の垂直面上に配置することとしても、あるいは図6に示すようにスリット3を被検査体表面21に対して平行に配置することとしてもよい。
魔鏡現象を利用する従来の微小凹凸検出方法においては、光源として平行光または集束光を用い、被検査体表面で反射する光を一度スクリーンに結像させ、その結像した像を間接的に撮像装置で撮像して観察することが必要であった。本発明においては、スクリーンに像を結像させることなく、被検査体表面に映る像を直接撮像装置によって撮像することが可能であり、そのため装置構成がシンプルになり小型化できる。さらに、スクリーンを常に光学的に清浄に保つ維持管理が不要になることも工業的には大きなメリットである。
被検査体表面21の微小凹凸のうち、検出できるのは線状のスリットの像10が映っている線状の領域に存在する凹凸のみである。本発明においては、図1に示すように線状の形状を有するスリットを多数並列に並べることにより、被検査体表面21の広い領域においてスリットの像10が映ることとなり、当該広い領域のいずれかに存在する微小凹凸15を検出することが可能になる。隣り合うスリット3の間隔を、被検査体表面における微小凹凸15の大きさと同等あるいはそれ以下の広さとすれば、検査対象面に存在する微小凹凸15をもれなく検出することが可能となる。検査対象の微小凹凸15が鋼板表面の押し疵である場合には、隣り合うスリット3の間隔を数mm程度とすることにより、適切な検査を行うことが可能である。多数のスリット3を並列に並べるに際し、個々のスリットの配置方向としては、図1に示すように被検査体表面21の垂直面上に配置することとしても良く、あるいは図6に示すように被検査体表面21に平行に配置することとしても良い。
本発明においては、赤外線光源として赤外線をパルス発光するレーザー4を用いる。赤外線光源として例えば赤外線を連続発光する発熱体を用いると、反射ボックス2が加熱されて反射ボックス自体が赤外線を発することとなって好ましくない。それに対し、赤外線をパルス発光するレーザー4を光源として用いれば、発光していない時間に比して発光時間が短く、従って反射ボックス2が赤外線の照射によって温度上昇する程度を非常に低く抑えることができる。また、赤外線レーザーであれば目的とする赤外線以外の熱線を放射することがないので、その点からも反射ボックスの加熱を防止することができる。
赤外線光源として赤外線を連続発光する発熱体を用いると、赤外線強度が弱いので赤外線撮像装置5での露光時間を十分に短い時間とすることができない。そのため、被検査体1が一定速度で移動しているときにその表面凹凸を検査しようとすると、像のぶれを防ぐために被検査体移動速度を遅くすることが必要になる。一方、赤外線光源として赤外線をパルス発光するレーザー4を用いれば、発光時間を短くし、かつ発光中の赤外線強度の強い光を得ることができる。従って、赤外線撮像装置5で像のぶれを発生させずに検査することのできる被検査体最低移動速度が大きいので、被検査体1が高速で移動していても良好な検査を実施することが可能になる。
レーザー4から発したレーザービーム9を反射ボックス2に導入するに際し、図2に示すように集光レンズ8によってレーザービームに広がり角を持たせ、反射ボックス内部の広い範囲に赤外線を広がらせることとすると好ましい。これにより、反射ボックスの内表面7においてあらゆる方向に赤外線を反射させ、散乱・多重反射を繰り返すことによる赤外線の指向性低下の程度を向上させることができる。
反射ボックス2の内表面7は、Auメッキ面とすると好ましい。Auメッキ面は赤外線の反射率が高いので、反射ボックス内で赤外線が多重反射するに際しての減衰を防止することができる。また、反射ボックス2の内表面7で赤外線を乱反射させるため、Auメッキ面は非鏡面とする。波長の長い赤外線を乱反射させるためには、表面の粗度を調整することが必要である。Auメッキ表面を梨地加工した表面とすれば、表面粗度を20μm以上の凹凸を有する非鏡面とすることができ、波長が10μmを超える赤外線を用いた場合であっても内表面で乱反射させることが可能になる。反射ボックスの内表面7についてこのような形状を確保することにより、反射ボックス内に入射した赤外線を散乱・多重反射させ、スリット3から放出する赤外線の指向性を低下させて拡散光14とすることが可能になる。
赤外線レーザーの照射によって反射ボックス2が加熱されると、反射ボックス2自体が赤外線を発することとなるので好ましくない。そのため、反射ボックス2を冷却する機構を設けると好ましい。例えば、反射ボックス2内にガスを吹き込み、ガスによって冷却することができる。レーザービーム9の入射口と反対側の反射ボックス内表面は、レーザー4からのレーザービームが直接照射されるので特に温度が上昇しやすい。そこで、この部分については水冷機構を設けて反射ボックスの内表面を強制冷却することとすると好ましい。
レーザーから入射して反射ボックスの内表面で反射した赤外線をスリットを通して外部に発散させるかわりに、図7に示すように、レーザー4から線状体7に向けて赤外線を照射し、線状体7で反射した赤外線は拡散光となって被検査体1に照射され、被検査体表面21に映る線状体17の赤外線像を赤外線撮像装置5で撮像し、該撮像した線状体17の像の形状に基づいて被検査体表面の微少凹凸の有無を検査することとしてもよい。線状体17として伸張したワイヤーを用い、多数のワイヤーを並列に並べることとすると好ましい。レーザー照射された赤外線を拡散光として反射する線状体17は、拡散光を発する上記スリット3と同様に機能し、赤外線撮像装置5によってあたかも線状体17の虚像11のように被検査体表面に映る像を撮像することができる。被検査体表面21に映る線状体17の像を赤外線撮像装置5で撮像し、該撮像した線状体17の像の形状に基づいて被検査体表面の微少凹凸の有無を検査することが可能となる。
線状体17としては、照射されたレーザー光を乱反射して拡散光とする必要があるので、表面が粗面である金ワイヤーあるいは金メッキワイヤーを用いると好ましい。赤外線の照射によって線状体17が発熱しないように、線状体17に空気を吹き付けるようにすると良い。レーザー4から発光するレーザービームは、所定のレンズによってビームに拡がりを持たせ、線状体17の全体に赤外線を照射する。また、線状体17の周囲を透過した余剰の赤外線ビームについては、反射板18によって反射させ、余剰の赤外線が被検査体表面に映らないようにする。
本発明で用いるレーザー4としてはパルスCO2レーザーを用いると好ましい。CO2レーザーで発生する光は波長10.6μmの赤外線であり、本発明で用いる赤外線として最も好ましい波長を有する。また、CO2レーザーをパルス発光させる場合、発光時間を1m秒以下に設定することが可能であり、十分に短時間のパルス発光とすることができる。また、パルス発光時の光量は25mJ以上とすることができ、十分な光量を確保することができる。
パルスレーザーの発光時間が短時間であれば、被検査体の表面凹凸15を検査する際に被検査体1の移動速度を増大してもぶれのない明瞭な画像を得ることができるようになる。発光時間を1m秒以下の短時間とすれば、被検査体1の移動速度が5m/秒であっても表面凹凸15を評価することができる。種々の鋼帯処理ラインにおいて、検査時の鋼帯移動速度を5m/秒まで上げることができれば、そのラインにおける本来の鋼帯移動速度と同じ速度で検査を行うことが可能になる場合が多い。従来のように、本来の鋼帯移動速度よりも遅い速度で検査が行われる場合には、検査は鋼帯の短い部分でのみ行い、とびとびの部位でのみでしか検査ができなかった。本発明では本来の被検査体移動速度と同じ速度で検査を行うことができるので、被検査体1の全長に渡って表面凹凸15の検査を行うことが可能になる。
レーザー4にて赤外線を短時間のパルス発光させ、赤外線撮像装置5はレーザー4のパルス発光に同期して露光を行うこととすると好ましい。移動する被検査体表面を連続的に検査するに際しては、必要な間隔で連続して静止画を撮像することが必要である。レーザーパルスの発光と赤外線撮像装置5での撮像をともに所定の間隔で行い、両者を同期させることによって、連続的に静止画を撮像することができるようになる。また、赤外線撮像装置5における露光時間が長すぎると、レーザーに起因する赤外線以外の赤外線も感光してしまうので、スリットや線状体の像が不明瞭になることがある。レーザーのパルス発光に同期して短時間露光を行うことにより、レーザーに起因する赤外線のみを露光し、明瞭な像を撮像することが可能になる。
撮像したスリット3や線状体17の像の形状から微少凹凸15の発生部を判定する手段としては、スリット等の像の形状が非直線となった被検査体表面部分を微少凹凸発生部と判定すると良い。微小凹凸15発生部において反射した光に基づく像は、図5(a)に示す通り、広がったり、あるいは一方の側に曲がったり、さらには消滅する場合もある。従って、像の形状が非直線となった部分を微小凹凸発生部と判断することが可能となる。以下、スリットの像を撮像する場合を例にとって説明を行う。
微小凹凸15発生部を判定するための画像処理方法としては、撮像したスリットの像10の映像信号について直線状のスリット3の長手方向に微分フィルタリングを施し、その後2値化処理を行い、像が消滅した部分は健全部と判定し、像が消滅しなかった部分を微少凹凸発生部と判定することができる。図4(a)に示すスリットの像10について、当該方向に微分フィルタリングを施すと、健全部である直線部については当該方向の輝度変化がないので、微分係数がゼロになるので像が消滅する。一方、微小凹凸発生部で線が歪んだ部位ついては微分係数がたつので、図4(b)に示すように像が残る。その後さらに2値化処理を行えば、微小凹凸発生部のみの像を残すことができる。従って、像が消滅した部分は健全部と判定し、像が消滅しなかった部分を微少凹凸発生部と判定することができる。
本発明の赤外線撮像装置5としては、2次元の赤外カメラを用いることができる。
赤外カメラを用いた赤外線撮像に際しては、ピント合わせのために被写体側の焦点位置調整を行う。ここで被写体側の焦点位置とは、その被写体側の焦点位置から発した光が、赤外線撮像装置5の撮像素子部分でちょうど結像するような位置をいう。赤外線撮像装置5のレンズ位置と撮像素子位置との距離を調整することにより、被写体側の焦点位置を調整することができる。
本発明の赤外カメラを用いた赤外線撮像に際しては、被検査体表面に映るスリットの像10にピントが合うように被写体側の焦点位置を調整することは当然である。さらに、被検査体表面の微小凹凸有無を明確に検査するためには、被検査体表面の微小凹凸15部位においてもピントが合うように被写体側の焦点位置を調整することとすると好ましい。被検査体表面に映るスリットの像10と被検査体表面の微小凹凸15部位の双方で赤外線撮像画像のピントが合致するように被写体側の焦点位置を調整することにより、微小凹凸15を明瞭に識別することが可能になる。被検査体表面に映るスリットの像10と被検査体表面の微小凹凸15部位の両方にピントが合っていないと、両者が一対一に対応しなくなり、微小凹凸を明瞭に検出することができないからである。例えば、被検査体表面に映るスリットの像10にのみピントが合っている場合には、被検査体表面の微小凹凸の位置では像がぼやけたのと同じ状態であるので、被検査体表面に映るスリットの像の変形が明瞭には起こらないのである。
被検査体表面に映るスリットの像10と被検査体表面の微小凹凸15部位の双方で赤外線撮像画像のピントが合致するとは、言葉を換えれば、被検査体表面に映るスリットの像10と被検査体表面の微小凹凸15部位の双方が赤外線撮像装置5の焦点深度(被写界深度ともいう。)の範囲内に入るということである。
本発明においてピントが合致するとは、被検査体表面の微小凹凸有無を検出することができる程度にピントが合致していることを意味する。
撮像装置レンズによって奥行きのある3次元物体を撮影する場合において、ある距離の物体にピントを合わせてもその前後にある物体についてはピント外れとなり像が劣化する。この劣化の程度が少なくて許容される物体距離の範囲を焦点深度と呼んでいる。
レンズのF値(=焦点距離/レンズ口径)が大きいほど焦点深度も大きくなる。従って、被検査体表面に映るスリットの像と被検査体表面の微少凹凸部位の両方を焦点深度の範囲内に入れることができるよう、レンズのF値を選定する。さらに、微小凹凸15部位とスリットの像10の双方が焦点深度内に入るように焦点位置を調整することにより、被検査体表面に映るスリットの像10と被検査体表面の微小凹凸15部位の双方で赤外線撮像画像のピントを合致させることができる。
赤外線撮像装置5のレンズのF値を上記のように定めるに際しては、レンズ選択時においてレンズの口径が上記F値を満足する口径を有するものを選択することとしても良い。あるいは、レンズの口径としては上記F値よりも小さなF値を有する口径の大きなレンズを選択し、レンズ内に配設された絞りを調整することにより、レンズの有効口径が上記F値を満足するように調整することとしても良い。
焦点深度を拡げるためにレンズの有効口径を小さくすると、必然的に集光量が減少することとなる。少ない集光量で赤外線撮像装置5に良好な像を結像させるためには、撮像素子として感度の高い素子を用いる必要が生じるときがある。必要な感度の撮像素子を選択することにより、小さな有効口径のレンズを用いた場合において良好な像を得ることができる。
赤外カメラには、検出波長3〜5μm帯と8〜12μm帯のものがある。これら以外の波長帯域では、大気中のCO2や水蒸気の吸収があり、一般に赤外線観察に適していない。本発明においては検出波長8〜12μm帯のマイクロボロメータ素子の非冷却型赤外カメラが最も適している。当該赤外カメラは、InSb素子やPtSi素子を用いた冷却型の赤外カメラに比較して安価であり、耐用性も優れている。従って、検査装置を安価に提供することが可能になる。また、マイクロボロメータ素子カメラは画素数として320×240を実現することができ、十分に高解像度の画像を撮像することができる。
前述の通り、帯鋼の通板ラインにおいて帯鋼表面の微小凹凸有無を検査するに際しては、帯鋼の通板速度を低下させずに検査が可能であれば好ましい。上記マイクロボロメータ素子の赤外カメラには高速シャッターが配備されていないが、光源であるパルスレーザーの発光時間を短くすることにより、たとえ被検査体1が高速で移動していてもぶれのない像を撮像することができる。具体的には、微小凹凸検査時に鋼板が検査部を通過する速度が300m/分程度の高速であっても、マイクロボロメータ素子の赤外カメラを用いても十分に精度の良い検査を行うことができる。この程度の速度で検査を行うことができれば、帯鋼の処理ライン本来の移動速度と同じ速度で凹凸検査を行うことができるので、帯鋼の全長に渡って検査を行い、微少凹凸の発生を直ちに検出してラインを停止し、微少凹凸の発生原因を除去することができる。また、微少凹凸発生部位のみを不良とし、不発生部位は良品とすることができる。これにより、押し疵が発見されたときに格落ちさせるべき帯鋼の長さを短くすることができるので、歩留向上にはたす役割が大きい。
帯鋼の通板ラインにおいて帯鋼表面を被検査体表面21として微小凹凸有無を検査するにあたり、帯鋼の全幅について微小凹凸有無を検査することが必要である。帯鋼の幅は最大2000mmを超えることもあるが、スリットの有効幅としてこの帯鋼の全幅をカバーするものを用いることができ、その場合には赤外線撮像装置を1台のみ用いてその1台で同時に全幅を観察することができる。あるいは、図5に示すように、赤外線撮像装置(5a〜5c)を帯鋼の幅方向に複数台配置し、幅方向の領域を各撮像装置で分担して撮像することとしても良い。1台の撮像装置が担当する帯鋼の幅を狭くすれば、撮像の解像度を上げることができ、微小凹凸の検出分解能を高めることができる。
反射ボックス表面のスリット3の向きとしては、帯鋼に映るスリット像の線状形状の方向を帯鋼の長手方向に垂直な面上としても、あるいは帯鋼の幅方向としてもいずれでも良い。
赤外線撮像装置5の撮像データに基づいて微小凹凸の有無及びその発生位置を判定する判定装置6としては、パーソナルコンピュータなどの演算処理装置を用いることができる。判定結果に基づいて、微小凹凸の発生位置を被検査体表面の位置と対応させる。帯鋼の通板ラインにおける検査であれば、帯鋼の長手方向及び幅方向の位置と対応させる。これらのデータ処理は、検査装置が有する演算処理装置で行うこととしてもよく、あるいは検査装置が有する演算処理装置から帯鋼の通板装置が有する演算処理装置にデータを転送し、通板装置の演算処理装置において帯鋼の位置と微小凹凸の位置を対応させることとしても良い。
微小凹凸が帯鋼の長手方向に周期的に繰り返し発生し、帯鋼幅方向に発生位置が同一であれば、ロールに起因する押し疵と判定することができる。通板装置の各ロールのロール円周と押し疵の発生間隔とを比較し、押し疵の発生間隔と等しい円周を有するロールに押し疵の原因が存在すると判定することができる。通板装置の演算処理装置においては、これらの判定結果を上位のコンピュータに転送し、あるいはプリンタ、ディスプレイ、音声発生装置などの出力装置に出力することができる。
帯鋼の通板ラインにおける押し疵検査のために、本発明を適用した。帯鋼の幅は1600mm、通常位置における通板速度は150m/分である。帯鋼表面の粗さはRa=0.7μm、Rz=7μm程度である。帯鋼表面が被検査体表面21となる。
図5に示すように、表面にスリット3を有する反射ボックス2とパルスCO2レーザー4を用いて微少凹凸検査装置を構成した。
反射ボックス2は、内表面7をAuメッキの梨地処理面とした。表面粗度は25μmであった。反射ボックス2の一方の側面にスリット3を形成した。幅0.5mmのスリットを数mm間隔で並列にかつ直線状に形成した。
パルスCO2レーザー4からは発光時間0.5m秒、発光周期60Hzでパルス赤外線が発せられ、レーザー4から発射されたレーザービーム9は反射ボックス2の入射口から反射ボックス内に入る。図2に示すようにレーザービーム9は集光レンズ8を通って広い角度に広がり、反射ボックス内の広い範囲の内表面7に照射され、乱反射と多重反射を繰り返し、最終的にスリット3から拡散光14として外部に照射される。
赤外線撮像装置5として検出波長8〜12μm帯のマイクロボロメータ素子の非冷却型赤外カメラを用い、図5に示すように赤外カメラを帯鋼の走行方向22と直角に4台配置し、各カメラで幅方向の検査部位を分担することとした。赤外カメラの配置位置及び撮像方向としては、スリット3から発せられる光が帯鋼表面で反射し、帯鋼表面に映るスリットの像10を撮像できる位置及び方向に配置した。帯鋼表面の像が映る位置から撮像装置までの距離は概略600mmとした。
赤外カメラの絞りを調整することによってレンズのF値を調整し、被検査体表面に映るスリットの像10と被検査体表面の微小凹凸15部位の双方で赤外線撮像画像のピントが合致するように焦点深度を調整した。スリットと鋼帯表面との間隔は500mmであり、レンズのF値が4となるようにレンズ絞りを調整した結果、大きさ3mmの微小凹凸の有無を正確に判定することが可能になった。
赤外線撮像装置5をレーザー4のパルス発光に同期して露光し、スリットの像10を撮像し、データを判定装置6である検査装置の演算処理装置に転送し、演算処理装置において撮像したスリットの像10の映像信号について縦方向微分フィルタリングを施し、その後2値化処理を行い、像が消滅した部分は健全部と判定し、像が消滅しなかった部分を微少凹凸発生部と判定することとした。
検査実施にあたっては、検査装置を通過する帯鋼の通板速度を本来の鋼板処理速度と同一の速度である150m/分とした。その結果、帯鋼の全長、全幅について微小凹凸の検査が可能となり、帯鋼表面に押し疵が発生している部位については、確実に微小凹凸発生部として判定がくだされ、判定結果は通板装置の演算処理装置に転送され、帯鋼の長手方向及び幅方向の部位と押し疵発生部を対応させることができた。
検査装置の演算処理装置にはプリンタ、表示モニタ、ボイスガイダンス装置が接続され、オペレータの要求に応じて検査結果を出力することができる。
1 被検査体
2 反射ボックス
3 スリット
4 レーザー
5 赤外線撮像装置
6 判定装置
7 内表面
8 集光レンズ
9 レーザービーム
10 スリットの像
11 虚像
12 光路
13 データ処理後の像
14 拡散光
15 微小凹凸
17 線状体
18 反射板
21 被検査体表面
22 走行方向
2 反射ボックス
3 スリット
4 レーザー
5 赤外線撮像装置
6 判定装置
7 内表面
8 集光レンズ
9 レーザービーム
10 スリットの像
11 虚像
12 光路
13 データ処理後の像
14 拡散光
15 微小凹凸
17 線状体
18 反射板
21 被検査体表面
22 走行方向
Claims (14)
- 赤外線をパルス発光するレーザーから反射ボックス内に赤外線を照射し、反射ボックスはその内表面で赤外線を反射し、反射ボックスはその表面にスリットを有し、反射ボックスの内表面で反射した赤外線はスリットを通して外部に発散し、反射ボックスを被検査体付近に配置し、被検査体表面に映るスリットの像を赤外線撮像装置で撮像し、該撮像したスリットの像の形状に基づいて被検査体表面の微少凹凸の有無を検査することを特徴とする表面凹凸の検査方法。
- 前記反射ボックスの内表面の一部又は全部は非鏡面のAuメッキ面であることを特徴とする請求項1に記載の表面凹凸の検査方法。
- 被検査体付近に配置した線状体に対してレーザーから赤外線をパルス発光させて照射し、被検査体表面に映る線状体の像を赤外線撮像装置で撮像し、該撮像した線状体の像の形状に基づいて被検査体表面の微少凹凸の有無を検査することを特徴とする表面凹凸の検査方法。
- 前記レーザーはパルスCO2レーザーであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の表面凹凸の検査方法。
- 前記赤外線撮像装置はレーザーのパルス発光に同期して露光を行うことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の表面凹凸の検査方法。
- 前記撮像したスリット又は線状体の像の形状が非直線となった被検査体表面部分を微少凹凸発生部と判定することを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の表面凹凸の検査方法。
- 被検査体は、非鏡面の表面を有する鋼板であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の表面凹凸の検査方法。
- 赤外線をパルス発光するレーザーと、表面にスリットを有する反射ボックスと、赤外線撮像装置と、判定装置とを有し、前記レーザーは反射ボックス内に赤外線を照射し、反射ボックスの内表面は赤外線を反射し、反射した赤外線はスリットを通して外部に放出され、前記赤外線撮像装置は被検査体表面に映る反射ボックスのスリットの像を撮像し、前記判定装置は赤外線撮像装置で撮像したスリットの像の形状に基づいて被検査体表面の微少凹凸の有無を判定することを特徴とする表面凹凸の検査装置。
- 前記反射ボックスの内表面の一部又は全部は非鏡面のAuメッキ面であることを特徴とする請求項8に記載の表面形状の検査装置。
- 赤外線をパルス発光するレーザーと、被検査体付近に配置した線状体と、赤外線撮像装置と、判定装置とを有し、前記レーザーは線状体に赤外線を照射し、前記赤外線撮像装置は被検査体表面に映る線状体の像を撮像し、前記判定装置は赤外線撮像装置で撮像した線状体の像の形状に基づいて被検査体表面の微少凹凸の有無を判定することを特徴とする表面凹凸の検査装置。
- 前記レーザーはパルスCO2レーザーであることを特徴とする請求項8乃至10のいずれかに記載の表面凹凸の検査装置。
- 前記赤外線撮像装置はレーザーのパルス発光に同期して露光を行うことを特徴とする請求項8乃至11のいずれかに記載の表面凹凸の検査装置。
- 前記判定装置は、前記撮像したスリット又は線状体の像の形状が非直線となった被検査体表面部分を微少凹凸発生部と判定することを特徴とする請求項8乃至12のいずれかに記載の表面凹凸の検査装置。
- 前記被検査体は非鏡面の表面を有する帯鋼であり、帯鋼の通板ラインに配置されることを特徴とする請求項8乃至13のいずれかに記載の表面凹凸の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003397014A JP2005156420A (ja) | 2003-11-27 | 2003-11-27 | 表面凹凸の検査方法及び検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003397014A JP2005156420A (ja) | 2003-11-27 | 2003-11-27 | 表面凹凸の検査方法及び検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005156420A true JP2005156420A (ja) | 2005-06-16 |
Family
ID=34722287
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003397014A Withdrawn JP2005156420A (ja) | 2003-11-27 | 2003-11-27 | 表面凹凸の検査方法及び検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005156420A (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006133224A (ja) * | 2004-10-21 | 2006-05-25 | Mitsutoyo Corp | にじみ限界に基づいて画像システムを制御するためのシステムおよび方法 |
JP2008096429A (ja) * | 2006-09-14 | 2008-04-24 | Jfe Steel Kk | 表面処理鋼板の腐食部の面積率測定装置、亜鉛めっき鋼板の白錆部の面積率測定装置及びその測定方法 |
JP2008096428A (ja) * | 2006-09-14 | 2008-04-24 | Jfe Steel Kk | 表面処理鋼板の腐食部の観察装置、亜鉛めっき鋼板の白錆部の観察装置及び観察方法 |
JP2008519693A (ja) * | 2004-11-10 | 2008-06-12 | シーメンス ヴェ メタルス テクノロジーズ エスアーエス | 圧延ストリップの検査の方法及び装置 |
JP2008197008A (ja) * | 2007-02-14 | 2008-08-28 | Tdk Corp | 外観検査装置及び外観検査方法 |
JP2011193163A (ja) * | 2010-03-12 | 2011-09-29 | Fujitsu Toshiba Mobile Communications Ltd | 移動体通信端末および通信品質表示方法 |
CN103163868A (zh) * | 2013-03-27 | 2013-06-19 | 攀钢集团攀枝花钢钒有限公司 | 热连轧系统及其带钢数据传送方法 |
WO2020183616A1 (ja) * | 2019-03-12 | 2020-09-17 | 株式会社エヌ・ティ・ティ・データCcs | 金属板の不良センサ及びそれを備えた不良検査装置 |
CN111780665A (zh) * | 2020-07-17 | 2020-10-16 | 江苏远荣智能装备有限公司 | 一种定位钢筋网位置的方法 |
JP2021179414A (ja) * | 2020-05-14 | 2021-11-18 | Jfeスチール株式会社 | 熱間圧延鋼帯の蛇行量測定装置及び熱間圧延鋼帯の蛇行量測定方法 |
EP4005693A4 (en) * | 2019-07-22 | 2022-08-24 | JFE Steel Corporation | METHOD OF TWIST CONTROL OF HOT ROLLED STEEL STRIP AND TWIST CONTROL DEVICE AND HOT ROLLING MILL |
-
2003
- 2003-11-27 JP JP2003397014A patent/JP2005156420A/ja not_active Withdrawn
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006133224A (ja) * | 2004-10-21 | 2006-05-25 | Mitsutoyo Corp | にじみ限界に基づいて画像システムを制御するためのシステムおよび方法 |
JP2008519693A (ja) * | 2004-11-10 | 2008-06-12 | シーメンス ヴェ メタルス テクノロジーズ エスアーエス | 圧延ストリップの検査の方法及び装置 |
JP2008096429A (ja) * | 2006-09-14 | 2008-04-24 | Jfe Steel Kk | 表面処理鋼板の腐食部の面積率測定装置、亜鉛めっき鋼板の白錆部の面積率測定装置及びその測定方法 |
JP2008096428A (ja) * | 2006-09-14 | 2008-04-24 | Jfe Steel Kk | 表面処理鋼板の腐食部の観察装置、亜鉛めっき鋼板の白錆部の観察装置及び観察方法 |
JP2008197008A (ja) * | 2007-02-14 | 2008-08-28 | Tdk Corp | 外観検査装置及び外観検査方法 |
JP2011193163A (ja) * | 2010-03-12 | 2011-09-29 | Fujitsu Toshiba Mobile Communications Ltd | 移動体通信端末および通信品質表示方法 |
CN103163868A (zh) * | 2013-03-27 | 2013-06-19 | 攀钢集团攀枝花钢钒有限公司 | 热连轧系统及其带钢数据传送方法 |
WO2020183616A1 (ja) * | 2019-03-12 | 2020-09-17 | 株式会社エヌ・ティ・ティ・データCcs | 金属板の不良センサ及びそれを備えた不良検査装置 |
JPWO2020183616A1 (ja) * | 2019-03-12 | 2020-09-17 | ||
EP4005693A4 (en) * | 2019-07-22 | 2022-08-24 | JFE Steel Corporation | METHOD OF TWIST CONTROL OF HOT ROLLED STEEL STRIP AND TWIST CONTROL DEVICE AND HOT ROLLING MILL |
US11833560B2 (en) | 2019-07-22 | 2023-12-05 | Jfe Steel Corporation | Meandering control method, meandering control device, and hot rolling equipment for hot rolled steel strip |
JP2021179414A (ja) * | 2020-05-14 | 2021-11-18 | Jfeスチール株式会社 | 熱間圧延鋼帯の蛇行量測定装置及び熱間圧延鋼帯の蛇行量測定方法 |
CN111780665A (zh) * | 2020-07-17 | 2020-10-16 | 江苏远荣智能装备有限公司 | 一种定位钢筋网位置的方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5593347B2 (ja) | 円形線材の光学欠陥検出装置及び光学欠陥検出方法 | |
US11105754B2 (en) | Multi-parameter inspection apparatus for monitoring of manufacturing parts | |
TWI663394B (zh) | 在工作件中用於缺陷偵測的裝置,方法及電腦程式產品 | |
KR101992042B1 (ko) | 피검사체 촬상 장치, 피검사체 촬상 방법, 표면 검사 장치 및 표면 검사 방법 | |
RU2650449C1 (ru) | Устройство и способ ультразвуковой дефектоскопии | |
JP2006242886A (ja) | 表面疵検査装置 | |
US20210356408A1 (en) | Multi-Parameter Inspection Apparatus for Monitoring of Manufacturing Parts | |
JP2005156420A (ja) | 表面凹凸の検査方法及び検査装置 | |
KR20130109365A (ko) | 표면결함 검사장치 및 그 제어 방법 | |
KR101203210B1 (ko) | 결함 검사장치 | |
JP2009092426A (ja) | 表面検査方法及び表面検査装置 | |
JP2008157788A (ja) | 表面検査方法及び表面検査装置 | |
JP2008026060A (ja) | 絶縁皮膜被覆帯状体の疵検査装置 | |
JP6387381B2 (ja) | オートフォーカスシステム、方法及び画像検査装置 | |
JP2002139447A (ja) | 表面検査装置及び微小凹凸欠陥の無い鋼板の製造方法 | |
JPH08334319A (ja) | 曲げ板ガラスの曲げ率測定方法 | |
JP2009063383A (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP2000298102A (ja) | 表面検査装置 | |
JP2005134362A (ja) | 表面凹凸の検査方法及び検査装置 | |
JP6039119B1 (ja) | 欠陥検査装置 | |
JPH07234187A (ja) | ガラス基板の表面欠点検出方法およびその装置 | |
FI80959B (fi) | Foerfarande och anordning foer inspektion av spegelreflexionsytor. | |
JP2008039444A (ja) | 異物検査方法及び異物検査装置 | |
JP2005003691A (ja) | 表面検査装置 | |
JP4775492B2 (ja) | 表面検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070206 |