JP6039119B1 - 欠陥検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
第2発明の欠陥検査装置は、第1発明において、前記ハニカム構造体が、アルミニウム製であり、表面に黒色のアルマイト処理が施されていることを特徴とする。
また、遮光部材が、ハニカム構造体を変形させることにより構成され、ハニカム構造体の有する六角柱構造の筒状体が光通過孔であることにより、ハニカム構造体を構成する壁が薄いので、不要散乱光を、反射光や透過光に必要以上に含ませる必要がなく、傷などの欠陥により発生する散乱光を、撮影手段がより適切にとらえることができ、より微細な欠陥を検査することができる。また、ハニカム構造体をあらかじめ定められた曲率で変形させるだけで、多数の光通過孔を有する遮光部材を精度よく、かつ容易に作成できる。
第2発明によれば、ハニカム構造体がアルミニウム製であることにより、SUS等と比較して軽量であるとともに、プラスチック等と比較して耐久性を高くできる。また表面に黒色のアルマイト処理が施されていることにより、光通過孔の壁に照射された光の反射を抑えることができる。
本発明の欠陥検査装置1は、被検査対象の表面や内部を光学的手法により検査する装置であって、表面等に形成された傷などを検出することができるものである。ヘアラインのように規則的な細かな凹凸が形成された表面に発生した傷等の検出に加え、鏡面の金属の表面上の傷等の検出、透明フィルムの内部のフィッシュ・アイ等の検出に適した装置である。
本発明の第1実施形態に係る欠陥検査装置1は、被検査対象Sの表面に対して光を照射する投光手段10に特徴を有しているが、まず、本実施形態に係る欠陥検査装置の全体的な構成を簡単に説明する。なお、本発明は、被検査対象Sの表面から反射する反射光を受光する場合に加えて、被検査対象Sが透明の場合は、被検査対象Sを透過した透過光を受光する場合もあるが、第1実施形態としては反射光を受光する場合について説明する。
つぎに、投光手段10について説明する。図2は、本発明の第1実施形態に係る欠陥検査装置1全体の概略の平面図であり、図4は、欠陥検査装置1を構成する投光手段10の概略の側面断面図である。
図2および図4に示すように、投光手段10は、光源11と被検査対象Sとの間に、遮光部材15を備えている。この遮光部材15は、光源11から放出された光について、光源11から被検査対象Sに照射される光を制限する機能を有するものである。すなわち、遮光部材15は、被検査対象Sの一の部分に照射される光を、あらかじめ定められた光通過孔17eから照射される光のみに制限し、他の光通過孔17eから照射される散乱光、すなわち不要散乱光を制限する機能を有する。
遮光部分17について、図1により説明する。図1には本発明の実施形態に係る遮光部分17の三面図を示す。図1(A)は、遮光部分17の正面断面図、図1(B)は、遮光部分17の平面図、図1(C)は側面図である。図1(A)は、図1(B)のA−Aにおける断面図である。
なお、ハニカム構造体17aは、表面に反射防止処理が施されていることが好ましい。この反射防止処理は、例えば黒色のアルマイト処理であることが望ましい。
10 投光手段
11 光源
15 遮光部材
17a ハニカム構造体
17e 光通過孔
20 撮影手段
21s 受光素子
22 レンズ
S 被検査対象
Claims (2)
- 表面が平坦面である被検査対象の欠陥を検査する装置であって、
前記被検査対象に向けて直線状の光を放出する投光手段と、
該投光手段からの前記光を、前記被検査対象を経由して受光する撮影手段と、が備えられており、
前記投光手段には、
光源と、該光源と前記被検査対象との間に設けられている、該光源から前記被検査対象に照射される前記光を制限する遮光部材と、が備えられており、
前記撮影手段には、
複数の受光素子からなる撮像部と、前記被検査対象を経由した前記光を集光して、前記受光素子に入射させるレンズと、が備えられており、
該遮光部材には、
前記光源から放出される前記光を通過させ、不要散乱光を制限する光通過孔が、前記直線状の前記光の長手方向に複数設けられており、
該光通過孔は、前記被検査対象の表面に欠陥がない場合、該光通過孔を通過して、前記被検査対象を経由した前記光が全て前記レンズに集光されるように形成されており、
前記遮光部材が、あらかじめ定められた形状に変形させられているハニカム構造体を含んで構成され、
該ハニカム構造体の有する六角柱構造の筒状体が前記光通過孔である、
ことを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記ハニカム構造体が、アルミニウム製であり、
表面に黒色のアルマイト処理が施されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の欠陥検査装置。
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