JP4575225B2 - 外形検査装置 - Google Patents
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Description
図7は、フレネルレンズを用いた概略構成を示している。この図7において、測定物体Aに照射された光をフレネルレンズ4で集光し、フレネルレンズ4の焦点に配置した絞り2に光を通過させ撮像手段3で受ける。
フレネルレンズ4は薄く平らな透明板に同心円状の鋸波型の溝4aを密に施したもので、その溝4aの角度はすべて異なり、それぞれの溝4aを通過した光が焦点に向かうよう設計されている。この溝4aの入射面は通常曲率を持っておらずフラットな面になっている。
図1は、外形検査装置を示す概略図である。この図1において、図示しない光源からの光がフレネルレンズ11に照射されるようになっている。光源としては、LED、レーザダイオード、白熱電球、ハロゲンランプ、蛍光灯などで、平行光を照射する光源である必要はない。
従って、本発明では、凸レンズ14の焦点の後方にイメージセンサ13を配置するようにした。つまり、凸レンズ14の焦点よりも後方にイメージセンサ13を配置することにより、イメージセンサ13上に結像する各分割平行光の上下を反転させるもので、イメージセンサ13上に結像する各分割平行光を測定物体Aの分割部分の上下方向と一致させることができる。
L:l=X:Y+α
が成立する。
P:P*l/L=Y:α
が成立する必要がある。
(数3)
X:(Y+α)=Y:α
を求めることができることから、結局
α=Y2/(X−Y)
となるので、上記(数4)を満足するようにイメージセンサ13を位置決めする。
測定物体Aの外形を検査するには、測定物体Aをフレネルレンズ11の前方に位置する。すると、光源からの光が図1に示すように測定物体Aに照射されて当該測定物体Aにより反射されるが、測定物体Aの無いところでは通過する。この測定物体Aを通過した光がフレネルレンズ11に入射すると、フレネルレンズ11に対して垂直に入射した平行光は環状溝部11aの溝ピッチP毎の分割平行光となってフレネルレンズ11の焦点を通過するようになる。
フレネルレンズ、凸レンズ、絞りでテレセントリツク光学系を構成するようにしたので、測定物体を照射するのは平行光である必要は無く、散乱光或いは測定物体からの反射光でも計測することができる。
光源として、平行光を照射する光源を用いた場合は、絞りを省くことができる。
凸レンズと絞りは精度よく補正された絞り機構付の写真レンズで代用するようにしてもよい。
Claims (2)
- 入射光のうち略平行光を選択するテレセントリック光学系と、このテレセントリック光学系からの光が結像する撮像手段とを備え、前記テレセントリック光学系の前方に位置する測定物体を前記撮像手段で撮像することにより前記測定物体の外形を検査する外形検査装置であって、
前記テレセントリック光学系は、
入射する平行光を溝ピッチで分割した分割平行光を焦点で集光するフレネルレンズと、
後側主点が前記フレネルレンズの焦点位置となるように配置され、前記後側主点を通過した前記分割平行光を焦点位置で集光する集光手段と、
前記集光手段が集光した光のうち前記フレネルレンズに対して垂直方向に入射した平行光以外の光の通過を禁止する絞りとから構成され、
前記撮像手段は、前記分割平行光が隣り合う分割平行光と重なることなく繋がるように結像する位置に位置決めされていることを特徴とする外形検査装置。 - 前記撮像手段は、下記の式で示される位置に位置決めされていることを特徴とする請求項1記載の外形検査装置。
α=Y2/(X−Y)
但し、αは前記集光手段の焦点から前記撮像手段までの距離、Xは前記フレネルレンズの焦点距離、Yは前記集光手段の焦点距離である。
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