JP2000162134A5 - - Google Patents
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Description
【特許請求の範囲】
【請求項１】 検査試料表面に明視野照明光を投光する明視野照明投光光学系と、検査試料表面に暗視野照明光を投光する暗視野照明投光光学系と、検査試料表面に対して両照明光を異なるタイミングで個別に投光するように切換える照明光切換手段と、該切換手段により照明される前記検査試料の明視野照明像及び暗視野照明像を撮像する撮像手段と、該撮像手段により得られた暗視野画像と明視野画像とを相対的に減算処理した減算処理画像を生成する画像生成手段と、該生成された画像を表示する表示手段と、を備えることを特徴とする表面検査装置。
【請求項２】 請求項１の表面検査装置において、前記照明光切換手段は明視野照明光と暗視野照明光を連続して交互に投光するように切換える手段であり、前記画像生成手段は前記減算処理画像を連続的に生成する手段であることを特徴とする表面検査装置。
【請求項３】 請求項１の表面検査装置において、前記撮像手段により得られる明視野画像と暗視野画像とをそれぞれ取り込むフレームメモリを有し、前記画像生成手段は該フレームメモリに取り込まれた２画像から画像を生成することを特徴とする表面検査装置。
【請求項１】 検査試料表面に明視野照明光を投光する明視野照明投光光学系と、検査試料表面に暗視野照明光を投光する暗視野照明投光光学系と、検査試料表面に対して両照明光を異なるタイミングで個別に投光するように切換える照明光切換手段と、該切換手段により照明される前記検査試料の明視野照明像及び暗視野照明像を撮像する撮像手段と、該撮像手段により得られた暗視野画像と明視野画像とを相対的に減算処理した減算処理画像を生成する画像生成手段と、該生成された画像を表示する表示手段と、を備えることを特徴とする表面検査装置。
【請求項２】 請求項１の表面検査装置において、前記照明光切換手段は明視野照明光と暗視野照明光を連続して交互に投光するように切換える手段であり、前記画像生成手段は前記減算処理画像を連続的に生成する手段であることを特徴とする表面検査装置。
【請求項３】 請求項１の表面検査装置において、前記撮像手段により得られる明視野画像と暗視野画像とをそれぞれ取り込むフレームメモリを有し、前記画像生成手段は該フレームメモリに取り込まれた２画像から画像を生成することを特徴とする表面検査装置。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とする。
（１） 検査試料表面に明視野照明光を投光する明視野照明投光光学系と、検査試料表面に暗視野照明光を投光する暗視野照明投光光学系と、検査試料表面に対して両照明光を異なるタイミングで個別に投光するように切換える照明光切換手段と、該切換手段により照明される前記検査試料の明視野照明像及び暗視野照明像を撮像する撮像手段と、該撮像手段により得られた暗視野画像と明視野画像とを相対的に減算処理した減算処理画像を生成する画像生成手段と、該生成された画像を表示する表示手段と、を備えることを特徴とする。
（２） （１）の表面検査装置において、前記照明光切換手段は明視野照明光と暗視野照明光を連続して交互に投光するように切換える手段であり、前記画像生成手段は前記減算処理画像を連続的に生成する手段であることを特徴とする。
（３） （１）の表面検査装置において、前記撮像手段により得られる明視野画像と暗視野画像とをそれぞれ取り込むフレームメモリを有し、前記画像生成手段は該フレームメモリに取り込まれた２画像から画像を生成することを特徴とする。
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とする。
（１） 検査試料表面に明視野照明光を投光する明視野照明投光光学系と、検査試料表面に暗視野照明光を投光する暗視野照明投光光学系と、検査試料表面に対して両照明光を異なるタイミングで個別に投光するように切換える照明光切換手段と、該切換手段により照明される前記検査試料の明視野照明像及び暗視野照明像を撮像する撮像手段と、該撮像手段により得られた暗視野画像と明視野画像とを相対的に減算処理した減算処理画像を生成する画像生成手段と、該生成された画像を表示する表示手段と、を備えることを特徴とする。
（２） （１）の表面検査装置において、前記照明光切換手段は明視野照明光と暗視野照明光を連続して交互に投光するように切換える手段であり、前記画像生成手段は前記減算処理画像を連続的に生成する手段であることを特徴とする。
（３） （１）の表面検査装置において、前記撮像手段により得られる明視野画像と暗視野画像とをそれぞれ取り込むフレームメモリを有し、前記画像生成手段は該フレームメモリに取り込まれた２画像から画像を生成することを特徴とする。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10341505A JP2000162134A (ja) | 1998-12-01 | 1998-12-01 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10341505A JP2000162134A (ja) | 1998-12-01 | 1998-12-01 | 表面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000162134A JP2000162134A (ja) | 2000-06-16 |
| JP2000162134A5 true JP2000162134A5 (ja) | 2006-03-23 |
Family
ID=18346588
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10341505A Withdrawn JP2000162134A (ja) | 1998-12-01 | 1998-12-01 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000162134A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| DE10239548A1 (de) * | 2002-08-23 | 2004-03-04 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Inspektion eines Objekts |
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| CN105043982A (zh) * | 2015-07-02 | 2015-11-11 | 武汉中导光电设备有限公司 | 一种自动光学检测系统 |
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1998
- 1998-12-01 JP JP10341505A patent/JP2000162134A/ja not_active Withdrawn
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