JP2004132801A - 帯状体の表面欠陥検査装置 - Google Patents
帯状体の表面欠陥検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004132801A JP2004132801A JP2002296936A JP2002296936A JP2004132801A JP 2004132801 A JP2004132801 A JP 2004132801A JP 2002296936 A JP2002296936 A JP 2002296936A JP 2002296936 A JP2002296936 A JP 2002296936A JP 2004132801 A JP2004132801 A JP 2004132801A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- band
- video camera
- image
- surface defect
- shift
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Abstract
【課題】時間遅延積分型ビデオカメラを用いた表面欠陥検査装置であって、任意の角度で撮像することができる帯状体の表面欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】帯状体の表面欠陥検査装置は、移動する帯状体1の表面に帯状体1を横切る棒状照明光Iを照射する照射装置10と、帯状体面で反射した照明光Iの反射像を帯状体1の移動速度に画素列のシフト速度が同期して撮像する時間遅延積分型ビデオカメラ20とを備えている。前記ビデオカメラ20はセンサ22の光軸24が帯状体面に対し垂直となるように配置されており、ビデオカメラ20の撮像レンズが帯状体1の長手方向Lに光軸28がシフト可能なシフトレンズ26からなっている。検査条件または照明光の反射角に応じてシフトレンズ26のシフト量δを調整することにより、任意の角度で撮像してもボケのない鮮鋭な画像を得ることができる。
【選択図】 図1
【解決手段】帯状体の表面欠陥検査装置は、移動する帯状体1の表面に帯状体1を横切る棒状照明光Iを照射する照射装置10と、帯状体面で反射した照明光Iの反射像を帯状体1の移動速度に画素列のシフト速度が同期して撮像する時間遅延積分型ビデオカメラ20とを備えている。前記ビデオカメラ20はセンサ22の光軸24が帯状体面に対し垂直となるように配置されており、ビデオカメラ20の撮像レンズが帯状体1の長手方向Lに光軸28がシフト可能なシフトレンズ26からなっている。検査条件または照明光の反射角に応じてシフトレンズ26のシフト量δを調整することにより、任意の角度で撮像してもボケのない鮮鋭な画像を得ることができる。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、金属、プラスチックその他材料からなる帯状体を移動しながら表面欠陥を光学的に検出する帯状体の表面欠陥検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
鋼板などの帯状体について、表面の疵、汚れ、色調などの表面欠陥検査が行なわれている。これらの表面欠陥の検査では、帯状体をこれの長手方向に送りながら帯状体面を照明し、帯状体面で反射された照明光の反射像をビデオカメラで撮像し、帯状体からの反射像の形状、色調、反射光の光量分布などにより表面欠陥を検出している。
【0003】
光源の輝度が低い、あるいは微弱な反射光しか得られない場合、ビデオカメラに時間遅延積分型ビデオカメラ(以下、TDIカメラという)を用いることが行なわれている。TDIカメラのセンサ(以下、TDIセンサという)は受光部が並列する複数の1次元画素列からなり、1つの画素列から隣りの次の画素列に画像信号を一定周期で転送、蓄積する時間遅延積分機能をもっている。このために、画素列の並列方向(積分方向)のシフト速度を反射像つまり帯状体の移動速度に一致させると、光強度の高い画像信号が得られ、TDIカメラは高感度ラインカメラとして機能する。
【0004】
TDIカメラ20を帯状体1の表面欠陥検査に用いる場合、TDIカメラ20はその構造上、図2に示すように撮像光学系の光軸が帯状体面に垂直になるように配置する必要がある。塗装面や金属面の検査のように対象が鏡面性を有する場合、正反射と乱反射との双方で検査すると有用な場合が多い。例えば、鋼板表面疵の検査では、TDIカメラ20を図3に示すように光軸が正反射光Rの方向に一致するように配置する。しかし、光軸を傾けると、帯状体長手方向(積分方向)に平行に延びる直線は、TDIセンサの素子面に図4に示すように積分方向に対し斜めの線5として写る。この結果、画像信号を積分すると画像がボケて、表面欠陥の検出精度が落ちる。このために、TDIカメラを表面欠陥検査に用いる場合、任意の角度で撮像できないという問題がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
この発明の課題は、時間遅延積分型ビデオカメラを用いた表面欠陥検査装置において、任意の角度で撮像することができる帯状体の表面欠陥検査装置を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この発明の帯状体の表面欠陥検査装置は、移動する帯状体の表面に帯状体を横切る棒状照明光を照射する照射装置と、帯状体面で反射した照明光の反射像を帯状体の移動速度に画素列のシフト速度が同期して撮像する時間遅延積分型ビデオカメラとを備えている。前記ビデオカメラはセンサの光軸が帯状体面に対し垂直となるように配置されており、ビデオカメラの撮像レンズが帯状体の長手方向に光軸がシフト可能なシフトレンズからなっている。
【0007】
上記帯状体の表面欠陥検査装置において、検査条件または照明光の反射角に応じてシフトレンズのシフト量を調整する。これにより、任意の角度で撮像してもボケのない鮮鋭な画像を得ることができる。
【0008】
【発明の実施の形態】
図1はこの発明の1実施の形態を示しており、帯状体の表面欠陥検査装置の構成概略図である。
【0009】
表面欠陥検査装置は主として、照明装置10、TDIカメラ20および画像処理装置30とからなっている。照明装置10は、帯状体1の幅方向に延びる直管形蛍光灯を光源12としている。TDIカメラ20は、TDIセンサ22の光軸24が帯状体1の表面に対し垂直となる姿勢で、正反射光Rを受光できる位置に配置されている。TDIセンサ22は、例えば帯状体1の長手方向Aに96画素、幅方向に1024画素で構成されている。1画素の大きさは、例えば物体の表面において0.3mm ×0.3mmである。TDIカメラ20の撮像レンズは、市販のシフトレンズ26からなっている。画像処理装置30は入力側にTDIカメラ20が、出力側にモニタ35がそれぞれ接続されている。
【0010】
以上のように構成された装置において、TDIセンサ22への入射光が正反射光Rを含むように、シフトレンズ16のシフト量δを調整する。シフト量δがゼロの場合は、TDIセンサ22の視点はカメラ直下の部分Pであるが、シフト量δを増すに従い、照明の中心位置Qへの視点が移動する。したがって、例えばモニタ35の画像を見ながら、最も画面が明るくなるようにシフト量δを調整すればよい。また、帯状体1の移動速度に同期するように画素列の並列方向(積分方向)のシフト速度を調整する。帯状体1の移動速度は、例えば帯状体搬送用ローラに設けられたパルスジェネレータ(いずれも図示しない)からのパルス信号により計測する。
【0011】
帯状体1をこれの長手方向Lに移動させながら、蛍光灯22で帯状体1の表面を照明する。帯状体面には、帯状体1を横切る蛍光灯22の棒状の照明像が生じる。帯状体1はこれの長手方向に移動しているので、TDIセンサ12の画素列で反射像を帯状体長手方向に帯状体面を走査することになる。TDIカメラ20からの画像信号は、画像処理装置30に入力される。画像処理装置30は、必要に応じて画質改善、画像解析、画像生成などの処理を行なう。画像処理により得られた画像情報に基づき、帯状体の凹凸、われ、汚れなどによる光量変化、または色調の変化などにより表面欠陥を検出する。モニタ35は、撮像画像、または撮影画像とともに欠陥の種類、大きさ、位置などのデータを表示する。なお、表面欠陥の帯状体長手方向の位置は、上記パルスジェネレータからのパルス信号により求める。
【0012】
この発明は、上記実施の態様に限られるものではない。例えば、図2に示すように照明光Iの帯状体面上の入射点の真上、あるいは正反射光Rより外れた位置にTDIカメラ20を配置してもよい。照明装置10の光源は、他の棒状光源、例えばLEDを棒状に配列したものや白熱灯などの光を透明ファイバで導き棒状に配列したものであってもよい。また、TDIカメラ20で撮像した画像を画像処理することなく、モニタ35に直接表示してもよい。
【0013】
【発明の効果】
この発明では、検査条件または照明光の反射角に応じてシフトレンズのシフト量を調整することにより、任意の角度で撮像してもボケのない鮮鋭な画像を得ることができる。この結果、時間遅延積分型ビデオカメラを用いて、種類、形状など異なる種々の表面欠陥を高い精度で検出することができる。また、照明装置およびTDIカメラ配置の自由度が高くなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の1実施の形態を示しており、帯状体の表面欠陥検査装置の構成概略図である。
【図2】光軸を帯状体面に垂直にしてTDIカメラを配置した通常の配置を模式的に示す図面である。
【図3】光軸を正反射方向に一致させてTDIカメラを配置した場合を模式的に示す図面である。
【図4】図3に示す配置のTDIカメラで平行線を撮像した場合の画像を模式的に示す図面である。
【符号の説明】
1 帯状体 10 照明装置
12 光源 20 TDIカメラ
22 TDIセンサ 24 TDIセンサの光軸
26 シフトレンズ 28 シフトレンズの光軸
30 画像処理装置 35 モニタ
I 照明光 R 正反射光
P シフト量がゼロの場合の視点 Q 照明光の中心
L 帯状体の長手方向 δ シフトレンズのシフト量
【発明の属する技術分野】
この発明は、金属、プラスチックその他材料からなる帯状体を移動しながら表面欠陥を光学的に検出する帯状体の表面欠陥検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
鋼板などの帯状体について、表面の疵、汚れ、色調などの表面欠陥検査が行なわれている。これらの表面欠陥の検査では、帯状体をこれの長手方向に送りながら帯状体面を照明し、帯状体面で反射された照明光の反射像をビデオカメラで撮像し、帯状体からの反射像の形状、色調、反射光の光量分布などにより表面欠陥を検出している。
【0003】
光源の輝度が低い、あるいは微弱な反射光しか得られない場合、ビデオカメラに時間遅延積分型ビデオカメラ(以下、TDIカメラという)を用いることが行なわれている。TDIカメラのセンサ(以下、TDIセンサという)は受光部が並列する複数の1次元画素列からなり、1つの画素列から隣りの次の画素列に画像信号を一定周期で転送、蓄積する時間遅延積分機能をもっている。このために、画素列の並列方向(積分方向)のシフト速度を反射像つまり帯状体の移動速度に一致させると、光強度の高い画像信号が得られ、TDIカメラは高感度ラインカメラとして機能する。
【0004】
TDIカメラ20を帯状体1の表面欠陥検査に用いる場合、TDIカメラ20はその構造上、図2に示すように撮像光学系の光軸が帯状体面に垂直になるように配置する必要がある。塗装面や金属面の検査のように対象が鏡面性を有する場合、正反射と乱反射との双方で検査すると有用な場合が多い。例えば、鋼板表面疵の検査では、TDIカメラ20を図3に示すように光軸が正反射光Rの方向に一致するように配置する。しかし、光軸を傾けると、帯状体長手方向(積分方向)に平行に延びる直線は、TDIセンサの素子面に図4に示すように積分方向に対し斜めの線5として写る。この結果、画像信号を積分すると画像がボケて、表面欠陥の検出精度が落ちる。このために、TDIカメラを表面欠陥検査に用いる場合、任意の角度で撮像できないという問題がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
この発明の課題は、時間遅延積分型ビデオカメラを用いた表面欠陥検査装置において、任意の角度で撮像することができる帯状体の表面欠陥検査装置を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この発明の帯状体の表面欠陥検査装置は、移動する帯状体の表面に帯状体を横切る棒状照明光を照射する照射装置と、帯状体面で反射した照明光の反射像を帯状体の移動速度に画素列のシフト速度が同期して撮像する時間遅延積分型ビデオカメラとを備えている。前記ビデオカメラはセンサの光軸が帯状体面に対し垂直となるように配置されており、ビデオカメラの撮像レンズが帯状体の長手方向に光軸がシフト可能なシフトレンズからなっている。
【0007】
上記帯状体の表面欠陥検査装置において、検査条件または照明光の反射角に応じてシフトレンズのシフト量を調整する。これにより、任意の角度で撮像してもボケのない鮮鋭な画像を得ることができる。
【0008】
【発明の実施の形態】
図1はこの発明の1実施の形態を示しており、帯状体の表面欠陥検査装置の構成概略図である。
【0009】
表面欠陥検査装置は主として、照明装置10、TDIカメラ20および画像処理装置30とからなっている。照明装置10は、帯状体1の幅方向に延びる直管形蛍光灯を光源12としている。TDIカメラ20は、TDIセンサ22の光軸24が帯状体1の表面に対し垂直となる姿勢で、正反射光Rを受光できる位置に配置されている。TDIセンサ22は、例えば帯状体1の長手方向Aに96画素、幅方向に1024画素で構成されている。1画素の大きさは、例えば物体の表面において0.3mm ×0.3mmである。TDIカメラ20の撮像レンズは、市販のシフトレンズ26からなっている。画像処理装置30は入力側にTDIカメラ20が、出力側にモニタ35がそれぞれ接続されている。
【0010】
以上のように構成された装置において、TDIセンサ22への入射光が正反射光Rを含むように、シフトレンズ16のシフト量δを調整する。シフト量δがゼロの場合は、TDIセンサ22の視点はカメラ直下の部分Pであるが、シフト量δを増すに従い、照明の中心位置Qへの視点が移動する。したがって、例えばモニタ35の画像を見ながら、最も画面が明るくなるようにシフト量δを調整すればよい。また、帯状体1の移動速度に同期するように画素列の並列方向(積分方向)のシフト速度を調整する。帯状体1の移動速度は、例えば帯状体搬送用ローラに設けられたパルスジェネレータ(いずれも図示しない)からのパルス信号により計測する。
【0011】
帯状体1をこれの長手方向Lに移動させながら、蛍光灯22で帯状体1の表面を照明する。帯状体面には、帯状体1を横切る蛍光灯22の棒状の照明像が生じる。帯状体1はこれの長手方向に移動しているので、TDIセンサ12の画素列で反射像を帯状体長手方向に帯状体面を走査することになる。TDIカメラ20からの画像信号は、画像処理装置30に入力される。画像処理装置30は、必要に応じて画質改善、画像解析、画像生成などの処理を行なう。画像処理により得られた画像情報に基づき、帯状体の凹凸、われ、汚れなどによる光量変化、または色調の変化などにより表面欠陥を検出する。モニタ35は、撮像画像、または撮影画像とともに欠陥の種類、大きさ、位置などのデータを表示する。なお、表面欠陥の帯状体長手方向の位置は、上記パルスジェネレータからのパルス信号により求める。
【0012】
この発明は、上記実施の態様に限られるものではない。例えば、図2に示すように照明光Iの帯状体面上の入射点の真上、あるいは正反射光Rより外れた位置にTDIカメラ20を配置してもよい。照明装置10の光源は、他の棒状光源、例えばLEDを棒状に配列したものや白熱灯などの光を透明ファイバで導き棒状に配列したものであってもよい。また、TDIカメラ20で撮像した画像を画像処理することなく、モニタ35に直接表示してもよい。
【0013】
【発明の効果】
この発明では、検査条件または照明光の反射角に応じてシフトレンズのシフト量を調整することにより、任意の角度で撮像してもボケのない鮮鋭な画像を得ることができる。この結果、時間遅延積分型ビデオカメラを用いて、種類、形状など異なる種々の表面欠陥を高い精度で検出することができる。また、照明装置およびTDIカメラ配置の自由度が高くなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の1実施の形態を示しており、帯状体の表面欠陥検査装置の構成概略図である。
【図2】光軸を帯状体面に垂直にしてTDIカメラを配置した通常の配置を模式的に示す図面である。
【図3】光軸を正反射方向に一致させてTDIカメラを配置した場合を模式的に示す図面である。
【図4】図3に示す配置のTDIカメラで平行線を撮像した場合の画像を模式的に示す図面である。
【符号の説明】
1 帯状体 10 照明装置
12 光源 20 TDIカメラ
22 TDIセンサ 24 TDIセンサの光軸
26 シフトレンズ 28 シフトレンズの光軸
30 画像処理装置 35 モニタ
I 照明光 R 正反射光
P シフト量がゼロの場合の視点 Q 照明光の中心
L 帯状体の長手方向 δ シフトレンズのシフト量
Claims (1)
- 移動する帯状体の表面に帯状体を横切る棒状照明光を照射する照射装置と、帯状体面で反射した照明光の反射像を帯状体の移動速度に画素列のシフト速度が同期して撮像する時間遅延積分型ビデオカメラとを備えた帯状体の表面欠陥検査装置において、前記ビデオカメラはセンサの光軸が帯状体面に対し垂直となるように配置されており、ビデオカメラの撮像レンズが帯状体の長手方向に光軸がシフト可能なシフトレンズからなっていることを特徴とする帯状体の表面欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002296936A JP2004132801A (ja) | 2002-10-10 | 2002-10-10 | 帯状体の表面欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002296936A JP2004132801A (ja) | 2002-10-10 | 2002-10-10 | 帯状体の表面欠陥検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004132801A true JP2004132801A (ja) | 2004-04-30 |
Family
ID=32286765
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002296936A Withdrawn JP2004132801A (ja) | 2002-10-10 | 2002-10-10 | 帯状体の表面欠陥検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004132801A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004301705A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Toshiba Corp | パターン欠陥検査方法及びパターン欠陥検査装置 |
JP2009205279A (ja) * | 2008-02-26 | 2009-09-10 | Mitsubishi Electric Corp | 観測装置 |
JP2010117322A (ja) * | 2008-11-14 | 2010-05-27 | Nippon Steel Corp | 表面疵検査装置、表面疵検査方法及びプログラム |
KR20170053707A (ko) * | 2015-05-29 | 2017-05-16 | 신닛테츠스미킨 카부시키카이샤 | 금속체의 형상 검사 장치 및 금속체의 형상 검사 방법 |
-
2002
- 2002-10-10 JP JP2002296936A patent/JP2004132801A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004301705A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Toshiba Corp | パターン欠陥検査方法及びパターン欠陥検査装置 |
JP2009205279A (ja) * | 2008-02-26 | 2009-09-10 | Mitsubishi Electric Corp | 観測装置 |
JP2010117322A (ja) * | 2008-11-14 | 2010-05-27 | Nippon Steel Corp | 表面疵検査装置、表面疵検査方法及びプログラム |
KR20170053707A (ko) * | 2015-05-29 | 2017-05-16 | 신닛테츠스미킨 카부시키카이샤 | 금속체의 형상 검사 장치 및 금속체의 형상 검사 방법 |
EP3179205A4 (en) * | 2015-05-29 | 2018-01-17 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Metal body shape inspection device and metal body shape inspection method |
US9970750B2 (en) | 2015-05-29 | 2018-05-15 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Shape inspection apparatus for metallic body and shape inspection method for metallic body |
KR101894683B1 (ko) | 2015-05-29 | 2018-09-04 | 신닛테츠스미킨 카부시키카이샤 | 금속체의 형상 검사 장치 및 금속체의 형상 검사 방법 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4511978B2 (ja) | 表面疵検査装置 | |
US20110310244A1 (en) | System and method for detecting a defect of a substrate | |
US20070097359A1 (en) | Apparatus and methods for inspecting a composite structure for defects | |
JP2006329919A (ja) | 照明装置、該照明装置を用いた画像処理装置および画像処理方法 | |
JP2004184397A (ja) | 帯状体の形状不良検査方法およびその装置 | |
JP2005300553A5 (ja) | ||
JP5481012B2 (ja) | 表面検査装置 | |
CN112469992A (zh) | 利用图像传感器的表面缺陷检查装置及检查方法 | |
JP2008286646A (ja) | 表面疵検査装置 | |
JP2004132801A (ja) | 帯状体の表面欠陥検査装置 | |
US10247678B1 (en) | Arrangement and procedure for the inspection of moving plate-shaped objects | |
JP2001349716A (ja) | 表面凹凸検査方法および装置 | |
TWI687672B (zh) | 光學檢測系統及影像處理方法 | |
JP2005083906A (ja) | 欠陥検出装置 | |
JP2002221496A (ja) | 光回折パターン検査装置 | |
JP2004132800A (ja) | 帯状体の表面欠陥検査装置 | |
JP2004138417A (ja) | 鋼板の疵検査方法およびその装置 | |
JP3575678B2 (ja) | 板状透明体の欠点検出方法及び同装置 | |
JP5948974B2 (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
JP2005283199A (ja) | センサーユニットおよび該センサーユニットを用いた印刷状態検査装置 | |
JP5787668B2 (ja) | 欠陥検出装置 | |
JP2004212353A (ja) | 光学的検査装置 | |
JP2007309780A (ja) | 印刷物の品質検査装置及びその品質検査方法 | |
JP2005274325A (ja) | 金属帯の光学式欠陥検査方法 | |
JP2002014058A (ja) | 検査方法及び装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060110 |