JP2008286646A - 表面疵検査装置 - Google Patents
表面疵検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008286646A JP2008286646A JP2007132091A JP2007132091A JP2008286646A JP 2008286646 A JP2008286646 A JP 2008286646A JP 2007132091 A JP2007132091 A JP 2007132091A JP 2007132091 A JP2007132091 A JP 2007132091A JP 2008286646 A JP2008286646 A JP 2008286646A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- dimensional
- imaging device
- steel plate
- planar light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】移動する帯状体の表面に面状光を照射した帯状体面上の2次元照射領域を、前記面状光の入射と対向設置して撮像する2次元撮像装置を備えるとともに、該2次元撮像装置は、前記帯状体の照射領域からの反射光の中で所定の2つ以上の異なる受光角度で特定される反射光のみの画像信号を、前記帯状体の搬送速度に同期させて同時に部分読み出した画素列から得られる画像信号を前記帯状体の長手方向に合成する画像処理装置を備えることで、発生する疵に合わせて複数の受光角度で、精度よくリアルタイム疵検出する。
【選択図】図1
Description
2 ロール
10 照明装置
11 光源
12 光ファイバー束
13 光ファイバー束入力端
14 光ファイバー束出力端
20 2次元撮像装置
21 受光部
22 CMOS撮像素子
30 疵画像処理装置
31 オペレータ疵表示装置
40 PLG
L1 帯状光
LA 面状光照射領域
Lm、Ln 面状光照射領域内の撮像位置(部分領域)
M 表面疵検査装置
Claims (2)
- 移動する帯状体の表面に光を照射し、該表面からの反射光を2次元撮像装置で撮像して前記帯状体の表面の疵を検査する表面疵検査装置において、
前記帯状体の面状光照射領域に所定の垂直方向入射角度αで面状光を照射する照明装置と、
該面状光照射領域を挟んで該照明装置と対向配置されて、前記帯状体の移動に同期して前記面状光照射領域の内の複数の部分領域Lnを異なる複数の垂直方向反射角度βnで撮像して、複数の列単位画像を出力する2次元撮像装置と、
前記2次元撮像装置の撮像を制御し、且つ、該複数の列単位画像に基づいて、前記複数の垂直方向反射角度βn毎に前記複数の列単位画像のフレーム画像を構成する制御装置と、
該垂直方向反射角度βn毎のフレーム画像を画像処理して前記帯状体の表面の疵を検出する疵画像処理装置とからなることを特徴とする表面疵検査装置。 - 前記2次元撮像装置は、複数のCMOS撮像素子からなる2次元の画素配列を有する2次元CMOSカメラを備え、該画素配列から前記制御装置の指示により任意の画素列の前記列単位画像を出力するものであり、
前記制御装置は、予め設定した前記複数の垂直方向反射角度βnそれぞれに対応する前記複数の部分領域Lnを撮像するために、前記2次元CMOSカメラの複数の画素列を設定して2次元撮像装置に指示し、
さらに、該2次元撮像装置から入力した部分領域Lnそれぞれの列単位画像を配列及び合成して、前記面状光照射領域を前記複数の垂直方向反射角度βnそれぞれで撮像したフレーム画像を導出する、請求項1に記載の表面疵検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007132091A JP4932595B2 (ja) | 2007-05-17 | 2007-05-17 | 表面疵検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007132091A JP4932595B2 (ja) | 2007-05-17 | 2007-05-17 | 表面疵検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008286646A true JP2008286646A (ja) | 2008-11-27 |
JP4932595B2 JP4932595B2 (ja) | 2012-05-16 |
Family
ID=40146504
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007132091A Expired - Fee Related JP4932595B2 (ja) | 2007-05-17 | 2007-05-17 | 表面疵検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4932595B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010025652A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-04 | Nippon Steel Corp | 表面疵検査装置 |
JP2013036796A (ja) * | 2011-08-05 | 2013-02-21 | Panasonic Industrial Devices Sunx Co Ltd | 画像処理装置 |
JP2014052203A (ja) * | 2012-09-05 | 2014-03-20 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp | 平面形状測定装置 |
CN107782258A (zh) * | 2017-09-26 | 2018-03-09 | 西安理工大学 | 基于cmos传感器的带材对中检测系统及其检测方法 |
JP2018077218A (ja) * | 2016-10-21 | 2018-05-17 | テクスマーク・ゲーエムベーハー・フェアトリープスゲゼルシャフト | 材料ウェブ検査において材料ウェブのずれを補正するための方法及び装置 |
WO2020049551A1 (en) | 2018-09-06 | 2020-03-12 | Orbotech Ltd. | Multimodality multiplexed illumination for optical inspection systems |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0894333A (ja) * | 1994-09-20 | 1996-04-12 | Nippon Steel Corp | 鋼板の疵検出方法 |
JP2001349716A (ja) * | 2000-06-07 | 2001-12-21 | Sumitomo Chem Co Ltd | 表面凹凸検査方法および装置 |
JP2004020428A (ja) * | 2002-06-18 | 2004-01-22 | Seiko Instruments Inc | 画像検査方法及び画像検査装置 |
JP2005064586A (ja) * | 2003-08-13 | 2005-03-10 | Jai Corporation | 撮像タイミング自動検知機能を備えた検査・選別機用撮像装置 |
JP2005274325A (ja) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Jfe Steel Kk | 金属帯の光学式欠陥検査方法 |
JP2006126508A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Canon Inc | 記録材判別装置 |
JP2007033433A (ja) * | 2005-06-22 | 2007-02-08 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査装置およびその方法 |
JP2007078540A (ja) * | 2005-09-14 | 2007-03-29 | Tdk Corp | 外観検査方法及び外観検査装置 |
-
2007
- 2007-05-17 JP JP2007132091A patent/JP4932595B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0894333A (ja) * | 1994-09-20 | 1996-04-12 | Nippon Steel Corp | 鋼板の疵検出方法 |
JP2001349716A (ja) * | 2000-06-07 | 2001-12-21 | Sumitomo Chem Co Ltd | 表面凹凸検査方法および装置 |
JP2004020428A (ja) * | 2002-06-18 | 2004-01-22 | Seiko Instruments Inc | 画像検査方法及び画像検査装置 |
JP2005064586A (ja) * | 2003-08-13 | 2005-03-10 | Jai Corporation | 撮像タイミング自動検知機能を備えた検査・選別機用撮像装置 |
JP2005274325A (ja) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Jfe Steel Kk | 金属帯の光学式欠陥検査方法 |
JP2006126508A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Canon Inc | 記録材判別装置 |
JP2007033433A (ja) * | 2005-06-22 | 2007-02-08 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査装置およびその方法 |
JP2007078540A (ja) * | 2005-09-14 | 2007-03-29 | Tdk Corp | 外観検査方法及び外観検査装置 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010025652A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-04 | Nippon Steel Corp | 表面疵検査装置 |
JP2013036796A (ja) * | 2011-08-05 | 2013-02-21 | Panasonic Industrial Devices Sunx Co Ltd | 画像処理装置 |
JP2014052203A (ja) * | 2012-09-05 | 2014-03-20 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp | 平面形状測定装置 |
JP2018077218A (ja) * | 2016-10-21 | 2018-05-17 | テクスマーク・ゲーエムベーハー・フェアトリープスゲゼルシャフト | 材料ウェブ検査において材料ウェブのずれを補正するための方法及び装置 |
JP7001421B2 (ja) | 2016-10-21 | 2022-01-19 | テクスマーク・ゲーエムベーハー・フェアトリープスゲゼルシャフト | 材料ウェブ検査において材料ウェブのずれを補正するための方法及び装置 |
CN107782258A (zh) * | 2017-09-26 | 2018-03-09 | 西安理工大学 | 基于cmos传感器的带材对中检测系统及其检测方法 |
CN107782258B (zh) * | 2017-09-26 | 2019-11-22 | 西安理工大学 | 基于cmos传感器的带材对中检测系统及其检测方法 |
WO2020049551A1 (en) | 2018-09-06 | 2020-03-12 | Orbotech Ltd. | Multimodality multiplexed illumination for optical inspection systems |
EP3847446A4 (en) * | 2018-09-06 | 2022-06-01 | Orbotech Ltd. | MULTIMODAL MULTIPLEXED LIGHTING FOR OPTICAL INSPECTION SYSTEMS |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4932595B2 (ja) | 2012-05-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5031691B2 (ja) | 表面疵検査装置 | |
EP1943502B1 (en) | Apparatus and methods for inspecting a composite structure for defects | |
JP5806808B2 (ja) | 撮像光学検査装置 | |
JP4511978B2 (ja) | 表面疵検査装置 | |
US6011620A (en) | Method and apparatus for the automatic inspection of optically transmissive planar objects | |
JP4932595B2 (ja) | 表面疵検査装置 | |
US20060203229A1 (en) | Method and apparatus for inspecting defect in surface of metal roll | |
JP5068731B2 (ja) | 表面疵検査装置、表面疵検査方法及びプログラム | |
US20140152808A1 (en) | Method and device for the reliable detection of material defects in transparent material | |
JP2012078144A (ja) | 透明体シート状物の表面欠陥検査装置 | |
JP2007256106A (ja) | 表示パネル検査装置及びそれを用いた表示パネル検査方法 | |
WO2018137233A1 (en) | Optical inspection system | |
JPWO2007126027A1 (ja) | カラーフィルタ検査方法およびカラーフィルタ製造方法並びにカラーフィルタ検査装置 | |
JP2017040510A (ja) | 検査装置、検査方法および物体製造方法 | |
JP2019184589A (ja) | 欠陥検査装置、及び欠陥検査方法 | |
TW201140043A (en) | End face inspection method for light-pervious rectangular sheets and end face inspection apparatus | |
JP5824278B2 (ja) | 画像処理装置 | |
JP2006292412A (ja) | 表面検査装置、表面検査方法、及び基板の製造方法 | |
EP3187861B1 (en) | Substrate inspection device and substrate inspection method | |
JP7151469B2 (ja) | シート欠陥検査装置 | |
JP2004138417A (ja) | 鋼板の疵検査方法およびその装置 | |
JPH11248643A (ja) | 透明フィルムの異物検査装置 | |
JP2010175283A (ja) | 面画像生成装置 | |
JP5787668B2 (ja) | 欠陥検出装置 | |
JP2002303581A (ja) | パネル検査装置及びパネル検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090916 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111006 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111101 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111228 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120124 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120215 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4932595 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150224 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150224 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150224 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |