JP2010175283A - 面画像生成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】駆動部12によって、水平面上で板状の検査対象物を移動させる。また、レーザ照射部14によって、検査対象物の移動方向と直交するする方向を長さ方向とするレーザスリット光を、検査対象物に対して照射し、エリアカメラ18によって、検査対象物からのレーザスリット光の反射光を含む領域を撮像する。画像処理部32によって、複数の撮像画像の各々から、反射光を表わす画素ラインを抽出し、画素ラインの抽出結果の各々を撮像順に並べて合成することにより、検査対象物の面状態を表わすプレーン画像を生成する。
【選択図】図1
Description
画素サイズ = カメラの技術仕様よる画素の大きさ / レンズの倍率 ・・・(1)
移動量a = 画素サイズ * cosθ ・・・(2)
12 駆動部
14 レーザ照射部
18 エリアカメラ
20 コンピュータ
24 検査対象物
28 駆動制御部
30 画像取得部
32 画像処理部
34 欠陥検出部
Claims (8)
- 板状の検査対象物の厚み方向を法線とする平面上で前記検査対象物を移動させる駆動手段と、
照射方向を前記厚み方向に対して傾斜させて、前記検査対象物の移動方向と交差する方向を長さ方向とする線状の光を、前記検査対象物に対して照射する光照射手段と、
前記検査対象物からの前記線状の光の反射光を含む領域を撮像する撮像手段と、
前記検査対象物の所定の移動量毎に前記撮像手段により撮像された複数の撮像画像の各々から、前記厚み方向と直交する方向に画素が配列され、かつ、前記反射光を表わす画素列を抽出し、前記画素列の抽出結果の各々を撮像順に並べて合成することにより、前記検査対象物の面の状態を表わす面画像を生成する画像生成手段と、
を含む面画像生成装置。 - 前記画像生成手段によって生成された面画像から、所定輝度以下となる部分を、欠陥部分として検出する欠陥検出手段を更に含む請求項1記載の面画像生成装置。
- 前記画像生成手段は、前記複数の撮像画像の各々から、輝度が所定値以上となる画素列を、前記反射光を表わす画素列として抽出し、前記面画像を生成する請求項1又は2記載の面画像生成装置。
- 前記光照射手段は、直線性及び非拡散性を有する線状の光を前記検査対象物に対して照射する請求項1〜請求項3の何れか1項記載の面画像生成装置。
- 前記検査対象物を、面で光を反射し、かつ、光透過性を有する部材とした請求項1〜請求項4の何れか1項記載の面画像生成装置。
- 前記検査対象物は、前記部材で形成された複数の層を含む請求項5記載の面画像生成装置。
- 前記所定の移動量を、前記検査対象物が移動する前記平面と前記撮像手段による撮像方向とのなす角、及び画素サイズに基づいて定めた請求項1〜請求項6の何れか1項記載の面画像生成装置。
- 前記検査対象物が移動する前記平面と前記線状の光の照射方向とのなす角、及び該平面と前記撮像手段による撮像方向とのなす角を、同一とした請求項1〜請求項7の何れか1項記載の面画像生成装置。
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-
2009
- 2009-01-27 JP JP2009015439A patent/JP2010175283A/ja active Pending
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