JP5212724B2 - 高さ測定装置 - Google Patents
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Description
画素サイズ = カメラの技術仕様よる画素の大きさ / レンズの倍率 ・・・(1)
移動量a = 画素サイズ * cosθ ・・・(2)
プレーン画像間のピッチ[pixel] = 移動量[μm] / 画素サイズ[μm]
・・・(3)
実際の高さ = z’ * 画素サイズ * sinθ ・・・(4)
12 駆動部
14 レーザ照射部
18 エリアカメラ
20 コンピュータ
24 測定対象物
28 駆動制御部
30 画像取得部
32 画像処理部
34 高さ測定部
Claims (7)
- 測定する高さの方向を法線とする平面上で、測定対象物を移動させる駆動手段と、
照射方向を前記測定する高さの方向に対して傾斜させて、前記測定対象物の移動方向と交差する方向を長さ方向とする線状の光を、前記測定対象物に対して照射する光照射手段と、
前記測定対象物からの前記線状の光の反射光を含む領域を撮像する撮像手段と、
前記測定対象物の所定の移動量毎に前記撮像手段により撮像された複数の撮像画像の各々から、前記測定する高さの方向と直交する方向に画素が配列された画素列の各々を抽出し、各画素列について、該画素列の抽出結果の各々を撮像順に並べて合成した合成画像を各々生成する合成手段と、
前記測定対象物上の各位置について、前記合成画像の各々から該位置に対応する画素の輝度値を各々抽出し、抽出された輝度値が高くなる合成画像に対する画素列の撮像画像上の前記高さの方向の高さに基づいて該位置の高さを測定する高さ測定手段と、
を含む高さ測定装置。 - 前記合成画像の画素が表わす前記測定対象物上の位置を合わせるように、前記合成手段によって生成された合成画像の各々をずらして重ね合わせる画像移動手段を更に含み、
前記高さ測定手段は、前記測定対象物上の各位置について、前記画像移動手段によって重ね合わされた合成画像の各々から該位置に対応する画素の輝度値を各々抽出し、抽出された輝度値が高くなる合成画像に対応する高さに基づいて該位置の高さを測定する請求項1記載の高さ測定装置。 - 前記画像移動手段は、前記測定対象物が移動する前記平面と前記線状の光の照射方向とのなす角、及び画素サイズから求められる移動量だけ、隣接した合成画像に対して前記測定対象物の移動方向に移動させることにより、前記合成画像の画素が表わす前記測定対象物上の位置を合わせる請求項2記載の高さ測定装置。
- 前記光照射手段は、直線性及び非拡散性を有する線状の光を前記測定対象物に対して照射する請求項1〜請求項3の何れか1項記載の高さ測定装置。
- 前記高さ測定手段は、前記測定対象物上の注目位置に対応する、各合成画像の画素の輝度値の変化に基づいて、各合成画像に対する画素列の前記撮像画像上の前記高さから、前記輝度値が最大となる前記撮像画像上の前記高さを推定し、前記推定された前記撮像画像上の前記高さに対応する前記注目位置の高さを、測定結果とする請求項1〜請求項4の何れか1項記載の高さ測定装置。
- 前記所定の移動量を、前記測定対象物が移動する前記平面と前記撮像手段による撮像方向とのなす角、及び画素サイズに基づいて定めた請求項1〜請求項5の何れか1項記載の高さ測定装置。
- 前記測定対象物が移動する前記平面と前記線状の光の照射方向とのなす角、及び該平面と前記撮像手段による撮像方向とのなす角を、同一とした請求項1〜請求項6の何れか1項記載の高さ測定装置。
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