JP2019184589A - 欠陥検査装置、及び欠陥検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】様々な種類の欠陥の有無を高精度に検査することができる欠陥検査装置を提供する。【解決手段】検査対象物Ａの欠陥を検査する欠陥検査装置１００であって、検査対象物Ａの輝度データを取得する複数の光学検査部２０Ａ〜２０Ｆを備え、複数の光学検査部２０Ａ〜２０Ｆの夫々は、検査対象物Ａに検査光ＬＡ〜ＬＦを照射する光源２１Ａ〜２１Ｆと、検査対象物Ａの少なくとも搬送方向に直交する方向における検査領域の輝度を検知する検知部３０Ａ〜３０Ｆとを有し、光源２１Ａ〜２１Ｆによる検査光の照射条件及び検知部３０Ａ〜３０Ｆによる輝度の検知条件が、光学検査部毎に異なっている。【選択図】図１

Description

本発明は検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査装置、及び欠陥検査方法に関する。

一般に、合成皮革や布帛の製造工程で行われる欠陥検査は、長尺状の検査対象物を搬送する検反台と呼ばれる装置において、作業員による目視での流し検査によって実施されている。近年では省人化や欠陥の見逃し抑制を目的とした自動化技術の導入が進んでおり、検査精度の向上や検査時間の短縮のため、種々の技術が提案されている。

例えば、炭素繊維布帛へ光を照射し、炭素繊維布帛の透過光及び反射光を撮影する炭素繊維布帛の検査装置があった（例えば、特許文献１を参照）。特許文献１の検査装置は、撮影した画像の解析によって炭素繊維布帛の欠陥を検出することで、人の目による検査に比べて検査精度を向上することができるとされている。

また、青色波長光、緑色波長光、及び赤色波長光を異なる角度で照射し、カラーラインスキャンで撮影する検査装置があった（例えば、特許文献２を参照）。特許文献２の織物検査装置は、織物の目飛び、糸抜け、糸釣り等の欠陥を検出することができるとされている。

特開２００７−２９１５３５号公報 特開２００３−１３８４６８号公報

ところで、合成皮革や布帛の製造工程で行われる欠陥検査では、検査対象物の汚れ、傷、毛羽、凹凸、正反射光に光沢差を生じる欠陥、及び散乱光に光沢差を生じる欠陥等の特徴の異なる様々な種類の欠陥を検出する必要がある。また、用途によっては、高精度な欠陥検査が求められる場合がある。特許文献１及び２の検査装置では、欠陥の種類に応じて異なる照射方向から光を照射した画像を取得しているが、欠陥検査の高精度化には、欠陥の種類毎にその特徴をより明確に検出できる画像を用いることが望まれる。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、様々な種類の欠陥の有無を高精度に検査することができる欠陥検査装置、及び欠陥検査方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するための本発明にかかる欠陥検査装置の特徴構成は、
検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査装置であって、
前記検査対象物を搬送する搬送部と、
前記検査対象物の輝度データを取得する複数の光学検査部と、
前記複数の光学検査部が取得した輝度データを解析処理する処理部と、
前記処理部による解析処理結果に基づいて、前記検査対象物の欠陥の有無を判定する判定部と
を備え、
前記複数の光学検査部の夫々は、前記検査対象物に検査光を照射する光源と、前記検査対象物の少なくとも搬送方向に直交する方向における検査領域の輝度を検知する検知部とを有し、前記光源による検査光の照射条件及び前記検知部による輝度の検知条件が、光学検査部毎に異なっていることにある。

本構成の欠陥検査装置は、複数の光学検査部を備え、その夫々が光源と検知部とを有し、光源による検査光の照射条件及び検知部による輝度の検知条件が、光学検査部毎に異なっているため、欠陥の種類に応じて、照射条件及び検知条件が適した光学検査部によって検査対象物を検査することが可能となり、その結果、種類の異なる複数種類の欠陥を高精度に判定することができる。

本発明に係る欠陥検査装置において、
前記検査対象物は、裏面に支持ローラを当接させた状態で前記搬送部によって搬送される帯状物であり、
前記照射条件は、前記検査対象物の搬送方向に対する検査光の照射方向、検査光の指向角θａ、及び前記検査対象物に対する検査光の照射角θｂ及びθｂ´を含み、
前記検知条件は、前記検査対象物に対する受光角θｃを含み、
前記複数の光学検査部は、以下の（１）〜（６）：
（１）二つの光源によって、前記照射方向が前記検査対象物の搬送方向に沿った方向であり、θａ≧３０°、且つ一方の光源の照射角θｂが３０°≦θｂ＜９０°であり他方の光源の照射角θｂ´が１８０°−θｂ≦θｂ´≦１９０°−θｂである照射条件で検査光を照射し、前記検査光の照射位置において、８０°≦θｃ≦１００°である検知条件で前記検査対象物の輝度を検知する第一光学検査部、
（２）前記照射方向が前記検査対象物の搬送方向に沿った方向であり、θａ≦１０°、且つ３０°≦θｂ≦１５０°である照射条件で検査光を照射し、前記検査光の照射位置において、１７０°−θｂ≦θｃ≦１９０°−θｂである検知条件で前記検査対象物の輝度を検知する第二光学検査部、
（３）前記検査対象物の裏面に支持ローラが存在する位置に、前記照射方向が前記検査対象物の搬送方向に沿った方向であり、θａ≦１０°、且つθｂ≦３０°である照射条件で検査光を照射し、前記検査光の照射位置において、８０°≦θｃ≦１００°である検知条件で前記検査対象物の輝度を検知する第三光学検査部、
（４）前記照射方向が前記検査対象物の搬送方向と直交する方向であり、θａ≦１０°、且つθｂ≦３０°である照射条件で検査光を照射し、前記検査光の照射位置において、８０°≦θｃ≦１００°である検知条件で前記検査対象物の輝度を検知する第四光学検査部、
（５）前記照射方向が前記検査対象物の搬送方向に沿った方向であり、θａ≦１０°、且つ２０°≦θｂ≦８０°である照射条件で検査光を照射し、前記検査光の照射位置において、θｃ＜θｂである検知条件で前記検査対象物の輝度を検知する第五光学検査部、
（６）前記検査対象物の裏面に支持ローラが存在しない位置に、前記照射方向が前記検査対象物の搬送方向に沿った方向であり、θａ≦１０°、且つθｂ≦３０°である照射条件で検査光を照射し、前記検査光の照射位置において、８０°≦θｃ≦１００°である検知条件で前記検査対象物の輝度を検知する第六光学検査部、
からなる群より選ばれる少なくとも二つの光学検査部を含むことが好ましい。

本構成の欠陥検査装置によれば、上記の照射条件及び検知条件で輝度データを取得する第一光学検査部〜第六光学検査部からなる群より選ばれる少なくとも二つの光学検査部を含むことで、種類の異なる少なくとも二種類の欠陥を高精度に判定することができる。

本発明に係る欠陥検査装置において、
前記第一光学検査部は、前記検査対象物に付着した汚れ、前記検査対象物に生じた傷、及び前記検査対象物に付着した毛羽を検出可能な輝度データを取得し、
前記第二光学検査部は、前記検査対象物における正反射光に光沢差を生じる欠陥を検出可能な輝度データを取得し、
前記第三光学検査部は、前記検査対象物の搬送方向に対し４５〜１３５°の角度で延伸する凹凸欠陥、及び点状の凹凸欠陥を検出可能な輝度データを取得し、
前記第四光学検査部は、前記検査対象物の搬送方向に対し−４５〜４５°の角度で延伸する凹凸欠陥を検出可能な輝度データを取得し、
前記第五光学検査部は、前記検査対象物における散乱光に光沢差を生じる欠陥を検出可能な輝度データを取得し、
前記第六光学検査部は、前記検査対象物の搬送方向に対し４５〜１３５°の角度で延伸し、前記検査対象物が裏面から支持された場合に高低差が解消される凹凸欠陥、及び前記検査対象物が裏面から支持された場合に高低差が解消される点状の凹凸欠陥を検出可能な輝度データを取得することが好ましい。

本構成の欠陥検査装置によれば、第一光学検査部〜第六光学検査部において、上記の種類の欠陥を検出可能な輝度データを取得することで、検査対象物に付着した汚れ、検査対象物に生じた傷、検査対象物に付着した毛羽、検査対象物における正反射光に光沢差を生じる欠陥、検査対象物の搬送方向に対し４５〜１３５°の角度で延伸する凹凸欠陥、点状の凹凸欠陥、検査対象物の搬送方向に対し−４５〜４５°の角度で延伸する凹凸欠陥、検査対象物における散乱光に光沢差を生じる欠陥、検査対象物の搬送方向に対し４５〜１３５°の角度で延伸し、検査対象物が裏面から支持された場合に高低差が解消される凹凸欠陥、及び検査対象物が裏面から支持された場合に高低差が解消される点状の凹凸欠陥を高精度に判定することができる。

本発明に係る欠陥検査装置において、
前記第二光学検査部は、前記光源及び前記検知部の夫々に偏光フィルタを有し、
前記偏光フィルタは、透過軸が前記検査対象物の搬送方向と直交する方向を向き、Ｓ波を含む直線偏光を透過させることが好ましい。

本構成の欠陥検査装置によれば、第二光学検査部が、光源及び検知部の夫々に偏光フィルタを有することで、検査対象物の幅方向の端部における拡散光の割合を低減して、正反射光に光沢差を生じる欠陥が検査対象物の中央部と端部とで同等に強調された輝度データを得ることができる。また、正反射光に光沢差を生じる欠陥では、欠陥のないその周囲よりも、正反射光におけるＳ波の割合がより高いため、偏光フィルタが、透過軸が検査対象物の搬送方向と直交する方向を向き、Ｓ波を含む直線偏光を透過させることで、検査対象物の中央部と端部との何れにおいても、正反射光に光沢差を生じる欠陥のコントラストがさらに強調された輝度データを得ることができる。

本発明に係る欠陥検査装置において、
前記照射条件は、検査光の波長を含み、
前記複数の光学検査部は、前記検査対象物の搬送方向に沿って配列し、
隣り合う二つの光学検査部は、検査光の波長が互いに異なっていることが好ましい。

本構成の欠陥検査装置によれば、隣り合う二つの光学検査部の検査光が、互いに波長が異なるため、検査対象物に照射された検査光が互いに重なって肉眼ではコントラストが低下しても、夫々の光学検査部において、取得する輝度データから検査光の波長に対応したチャネル（成分）を取り出すことにより、コントラストを向上させることができる。そのため、狭い間隔で複数の光学検査部を配列させることが可能となり、欠陥検査装置の小型化が可能となる。

本発明に係る欠陥検査装置において、
前記照射条件は、検査光の照射タイミングを含み、
前記複数の光学検査部は、前記検査対象物の搬送方向に沿って配列し、
隣り合う二つの光学検査部は、交互に検査光を照射することが好ましい。

本構成の欠陥検査装置によれば、隣り合う二つの光学検査部が交互に検査光を照射するため、夫々の光学検査部において、検査対象物に照射された検査光が互いに影響することがなく、取得する輝度データのコントラストの低下を防止することができる。そのため、狭い間隔で複数の光学検査部を配列させることが可能となり、欠陥検査装置の小型化が可能となる。

本発明に係る欠陥検査装置において、
前記複数の光学検査部への外部光の侵入を遮断する遮光部を更に備えることが好ましい。

本構成の欠陥検査装置によれば、遮光部が複数の光学検査部への外部光の侵入を遮断することにより、複数の光学検査部は、夫々の照射条件及び検知条件を正確に反映した輝度データを取得することができる。その結果、複数種類の欠陥を高精度に判定することができる。

上記課題を解決するための本発明にかかる欠陥検査方法の特徴構成は、
検査対象物の検査面の欠陥を検査する欠陥検査方法であって、
前記検査対象物を搬送する搬送工程と、
前記検査対象物の検査面に検査光を照射し、前記検査対象物の少なくとも搬送方向に直交する方向における検査面の輝度を検知する光学検査工程と、
前記光学検査工程で取得した輝度データを解析処理する処理工程と、
前記処理工程による解析処理結果に基づいて、前記検査対象物の検査面の欠陥の有無を判定する判定工程と
を包含し、
前記光学検査工程は、検査光の照射条件及び輝度の検知条件が異なる状態で、複数回実行されることにある。

本構成の欠陥検査方法は、検査光の照射条件及び輝度の検知条件が異なる状態で、光学検査工程を複数回実行するため、欠陥の種類に応じて、照射条件及び検知条件を変えて検査対象物に光学検査工程を実施することが可能であり、その結果、種類の異なる複数種類の欠陥を高精度に判定することができる。

図１は、本発明の欠陥検査装置の全体構成図である。 図２は、第一光学検査部の照射条件及び検知条件の説明図である。 図３は、第一光学検査部による検査対象物の搬送方向を上下方向に配した撮像イメージである。 図４は、第二光学検査部の照射条件及び検知条件の説明図である。 図５は、第二光学検査部による検査対象物の搬送方向を上下方向に配した撮像イメージである。 図６は、第三光学検査部の照射条件及び検知条件の説明図である。 図７は、第三光学検査部による検査対象物の搬送方向を上下方向に配した撮像イメージである。 図８は、第四光学検査部の照射条件及び検知条件の説明図である。 図９は、第四光学検査部による検査対象物の搬送方向を上下方向に配した撮像イメージである。 図１０は、第五光学検査部の照射条件及び検知条件の説明図である。 図１１は、第五光学検査部による検査対象物の搬送方向を上下方向に配した撮像イメージである。 図１２は、第六光学検査部の照射条件及び検知条件の説明図である。 図１３は、第六光学検査部による検査対象物の搬送方向を上下方向に配した撮像イメージである。 図１４は、本発明の欠陥検査方法のフローチャートである。

以下、本発明の欠陥検査装置、及び欠陥検査方法について説明する。ただし、本発明は、以下に説明する構成に限定されることを意図しない。

〔欠陥検査装置の全体構成〕
図１は、本発明の欠陥検査装置１００の全体構成図である。欠陥検査装置１００は、検査対象物Ａの欠陥を検査する装置である。本実施形態では、検査対象物Ａとして表面にシボを有する帯状の合成皮革を想定している。欠陥検査装置１００は、検査対象物Ａを搬送する搬送部１０と、検査対象物の輝度データを取得する複数の光学検査部（第一光学検査部２０Ａ〜第六光学検査部２０Ｆ）と、複数の光学検査部から取得した輝度データを解析処理する処理部４０と、処理部４０による解析処理結果に基づいて、検査対象物Ａの欠陥の有無を判定する判定部５０とを備える。上記の各部は、例えば、コンピュータ等で構成される制御部６０により統合的に制御される。

搬送部１０は、検査対象物Ａを裏面側から支持しながら搬送する搬送ローラ（支持ローラ）１１ａを駆動するドライバ１２と、検査対象物Ａに接触させた回転体の回転を検知するエンコーダ１３とを備える。エンコーダ１３は、回転体が回転すると、その回転角度に応じたパルス信号を生成する。制御部６０は、エンコーダ１３が生成するパルス信号に基づいて、後に説明するラインセンサー３３Ａ〜３３Ｆが所定の周期で１ライン毎に撮像を行うための位置まで搬送ローラ１１ａが検査対象物Ａを搬送するように、ドライバ１２を制御する。図１に示す欠陥検査装置１００では、搬送部１０による検査対象物Ａの搬送方向をＹ方向とし、検査対象物Ａの搬送方向に直交する方向（「幅方向」と称する場合もある。）をＸ方向とする。なお、図１では、説明容易化のために、検査対象物Ａの下面側に配された複数の搬送ローラ１１ａのうちの一つのみをドライバ１２で駆動する欠陥検査対象物１００を示しているが、二以上の搬送ローラ１１ａをドライバ１２で駆動することで、検査対象物Ａの搬送を安定させることができる。また、検査対象物Ａの上面側には、検査対象物Ａの搬送をより安定させるために、複数のガイドローラ１１ｂが配されている。

第一光学検査部２０Ａ〜第六光学検査部２０Ｆは、検査対象物Ａの搬送方向（Ｙ方向）に沿って配列する。第一光学検査部２０Ａ〜第六光学検査部２０Ｆの夫々は、検査対象物Ａに検査光を照射する光源２１Ａ〜２１Ｆと、検査対象物Ａの搬送方向に直交する方向（Ｘ方向）における検査領域の輝度を検知する検知部３０Ａ〜３０Ｆとを有する。検査対象物Ａの欠陥には、汚れ、傷、毛羽、点状の欠陥、凹凸欠陥、正反射光に光沢差を生じる欠陥、及び散乱光に光沢差を生じる欠陥等の様々な種類がある。第一光学検査部２０Ａ〜第六光学検査部２０Ｆの夫々は、異なる種類の欠陥を検出対象としており、光源２１Ａ〜２１Ｆによる検査光の照射条件、及び検知部３０Ａ〜３０Ｆによる輝度の検知条件は、光学検査部毎に、対象とする欠陥の検出に適したものに調整される。照射条件には、検査対象物Ａの搬送方向に対する検査光の照射方向、検査光の指向角、検査対象物Ａに対する検査光の照射角、照射位置における検査対象物Ａの裏面への搬送ローラ１１ａの当接状態、検査光の色調（波長）、検査光の照射タイミング、照射距離、及び照射強度等が含まれる。検知条件には、検査対象物Ａに対する受光角、撮影タイミング、受光距離、及び受光感度等が含まれる。

第一光学検査部２０Ａ〜第六光学検査部２０Ｆの光源２１Ａ〜２１Ｆ、及び検知部３０Ａ〜３０Ｆは、後に説明する各光源による検査光の照射条件、及び各検知部による輝度の検知条件が相違するが、その他は類似する構成である。ここでは第一光学検査部２０Ａの光源２１Ａ、及び検知部３０Ａを用いて、光源２１Ａ〜２１Ｆ、及び検知部３０Ａ〜３０Ｆの共通する特徴を説明する。

第一光学検査部２０Ａの光源２１Ａは、調光可能な高輝度ＬＥＤ照明を使用することができる。高輝度ＬＥＤ照明の電源は、調光方式の違いから定電流タイプとＰＷＭタイプとが存在するが、後述するラインセンサー３３Ａのクロック数が大きい場合は、定電流タイプを使用することが好ましい。光源２１Ａは、調整部２２Ａによって検査光ＬＡの照射状態が調整される。検査光ＬＡの照射状態には、照射範囲、照射角、照射距離、照射強度、照射タイミング等が含まれる。また、光源２１Ａが可変照明である場合は、調整部２２Ａは照射光の色調（波長）を調整することも可能である。検査光ＬＡの照射状態の調整は、調整部２２が制御部６０から指示を受けて行われる。光源２１Ａは、検査対象物Ａより上方の位置に配置され、検査対象物Ａの検査領域において、検査対象物Ａの幅方向（Ｘ方向）の全幅に亘って検査光ＬＡを照射する。

検査光ＬＡが照射された検査対象物Ａは、第一光学検査部２０Ａのラインセンサー３３Ａにより表面の輝度が検知される。ラインセンサー３３Ａは、例えば、撮像素子（例えば、ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等のイメージセンサー）、出力アンプ、時系列で信号出力するための駆動回路、結像レンズ等を備えたカラーラインスキャンカメラが使用される。ラインセンサー３３Ａは、検査対象物Ａの上方位置であって、光源２１Ａから検査光ＬＡが照射される検査対象物Ａの検査領域から受光可能な位置に設置され、検査光ＬＡが照射されている検査対象物Ａの幅方向（Ｘ方向）のライン画像を取得する。なお、ラインセンサー３３Ａの代わりに、搬送方向（Ｙ方向）の一定範囲についても検知可能なエリアセンサーを用いることも可能である。

第一光学検査部２０Ａの検知部３０Ａは、ラインセンサー３３Ａの撮影動作を調整する撮影動作調整部３１Ａと、ラインセンサー３３Ａで撮影した画像を認識する画像認識部３２Ａとを有する。ラインセンサー３３Ａの撮影タイミングは、制御部６０によって決定される。すなわち、搬送部１０のエンコーダ１３のパルス信号に基づいて、検査光ＬＡが照射された検査対象物Ａの幅方向（Ｘ方向）の領域をラインセンサー３３Ａが所定の周期で１ライン毎に撮像するように、制御部６０が検知部３０Ａの撮影動作調整部３１Ａを制御する。ラインセンサー３３Ａが撮像した検査対象物Ａの幅方向１ライン毎の濃淡画像（ライン画像）は、検知部３０Ａの画像認識部３２Ａでデジタル信号の輝度データとして認識され、制御部６０を介してデータ格納部７０に格納される。検知部３０Ａの撮像動作調整部３１Ａは、上記ライン画像が所定のライン数に達するまで、ラインセンサー３３Ａの撮影動作を調整し、複数のデジタル輝度データを取得する。

処理部４０は、当該検知部３０Ａが取得した所定のライン数のデジタル輝度データに基づいて撮像画像を合成する。また、処理部４０は、第二光学検査部２０Ｂ〜第六光学検査部２０Ｆの検知部３０Ｂ〜３０Ｆの夫々が取得した所定のライン数のデジタル輝度データについても、これらの複数のデジタル輝度データ基づいて撮像画像を合成する。ここで、ラインセンサー３３が撮像する画像（デジタル輝度データ）は、撮像素子の感度ムラや照明方法により一様な輝度が得られない場合がある。そこで、処理部４０において、デジタル輝度データに対してシェーディング補正を行うことにより、欠陥検出に適した一様な輝度画像に加工することができる。シェーディング補正とは、光学系や撮像系の特性による輝度ムラを含む画像に対して、一様な明るさとなるよう補正をかけることである。また、処理部４０では、さらなる画像処理が行われ、欠陥検出の精度が高められる。画像処理には、特徴点抽出処理、平滑化処理、エッジ検出等、欠陥の有無を判定するための必要な処理が含まれる。以下、処理部４０における画像処理によって撮像画像から生成される画像を「処理画像」と称する。

判定部５０は、処理部４０で生成された第一光学検査部２０Ａ〜第六光学検査部２０Ｆの夫々に対応する処理画像を元に、検査対象物Ａの欠陥の有無を判定する。欠陥判定の手法としては、例えば、処理画像に対して空間フィルタ処理を実施し、さらに二値化処理により処理画像中で欠陥の可能性がある領域を抽出し、抽出された領域の面積に閾値を設定して欠陥か否かを判定する方法や、対照として欠陥の無い良品の検査画像（対照画像）を予め準備し、当該対照画像と処理部４０で生成された処理画像とを比較し、両者の差分から欠陥か否かを判定する方法が挙げられる。なお、これらの手法による判定結果は、後に説明する出力部８０のディスプレイ等に表示することができる。この場合、処理部４０による処理画像とともに、判定部５０による欠陥判定結果が出力部８０に同時に表示されるため、検査対象物Ａの欠陥の有無や欠陥の程度を目視で確認しながら容易に欠陥の有無を判断することが可能となる。その結果、合成皮革等の欠陥検出の精度、及び検査の信頼性が向上する。

判定部５０において、検査対象物Ａに欠陥があると判断された場合、その判断結果が制御部６０に送られる。あるいは、オペレーターが欠陥と認識した場合は、その判断結果が制御部６０に送られる。その後、制御部６０によって、搬送部１０のエンコーダ１３を通じて検査対象部Ａの欠陥位置が特定され、欠陥検査装置１００において作業するオペレーターが目視可能な領域（以下、「目視確認領域」称する。）に欠陥位置がある状態で、制御部６０が搬送部１０に停止信号を送信すると、ドライバ１２が搬送ローラ１１ａを停止させる。また、オペレーターが検査対象物Ａに欠陥があると認識した場合に停止ボタンの手動操作により判断結果が制御部６０へ送られた場合は、オペレーターが認識した欠陥が目視確認領域にある状態で、制御部６０が即時、搬送部１０に停止信号を送信することで、ドライバ１２が搬送ローラ１１ａを停止させる。目視確認領域で検査対象物Ａの欠陥を含む部分が停止すると、オペレーターが検査対象物Ａの欠陥を出力部８０のディスプレイ等で確認し、マーキングや欠陥レベルの判定等の作業を行うことができる。オペレーターによる欠陥の判定が終了すると、あるいは、欠陥が無いと判断された場合は、オペレーターが検査再開ボタンを手動操作することで制御部６０に再開信号を送信することができ、再開信号を受信した制御部６０が搬送部１０に搬送信号を送信し、検査対象物Ａの搬送が開始又は継続される。

出力部８０は、ラインセンサー３３Ａ〜３３Ｆによって撮影された検査対象物Ａの生画像の他、処理部４０による画像処理後の画像、判定部５０による判定結果等を表示することができる。出力部８０は、ディスプレイやプリンタ等で構成することができる。オペレーターは、出力部８０のディスプレイ等に表示された画像に基づいて、検査対象物Ａの欠陥の有無の確認を行うことができる。

遮光部９０は、遮光材料からなるカバーである。遮光部９０の内部に、第一光学検査部２０Ａ〜第六光学検査部２０Ｆの全体が配置される。遮光部９０が第一光学検査部２０Ａ〜第六光学検査部２０Ｆへの外部光の侵入を遮断することにより、第一光学検査部２０Ａ〜第六光学検査部２０Ｆは、夫々の照射条件及び検知条件を正確に反映した輝度データを取得することができる。

〔第一光学検査部における照射条件及び検知条件〕
第一光学検査部２０Ａは、検査対象物Ａに付着した汚れ、検査対象物Ａに生じた傷、検査対象物に付着した毛羽、及び直径が１．０ｍｍ未満の微細な点状の欠陥（以下、「点状欠陥」と称する。）を検出対象とする。第一光学検査部２０Ａでは、照射条件として、検査対象物の搬送方向に対する検査光の照射方向、検査光の指向角、検査対象物に対する検査光の照射角、及び照射位置における検査対象物Ａの裏面への搬送ローラ１１ａの当接状態が調整され、検知条件として、検査対象物に対する受光角が調整される。図２は、第一光学検査部２０Ａにおける照射条件及び検知条件の説明図である。図２（ａ）は、拡散光の説明図である。図２（ｂ）は、第一光学検査部２０ＡのＹ方向に沿った配置を示す模式図である。

第一光学検査部２０Ａの光源２１Ａは、検査対象物Ａの搬送方向と直交する方向（Ｘ方向）に沿って高輝度ＬＥＤを配列させた二つのＬＥＤバー照明が使用され、上面視において検査光ＬＡの照射方向が検査対象物Ａの搬送方向（Ｙ方向）に沿った方向となるように、検査対象物Ａの上方に搬送方向（Ｙ方向）の上手側と下手側に配置される。上面視とは、検査対象物Ａの搬送方向に対し、垂直上方向から見える光景である。

第一光学検査部２０Ａでは、検査光ＬＡとして、光の拡散又は収束が一定範囲を超える拡散光を使用する。拡散光の照射は、例えば、光源２１Ａに拡散板を設けることで実施することができる。図２（ａ）に示すように、検査光ＬＡに用いる拡散光は、中心軸Ｐにおける光に対して強度が５０％となる光の進行方向Ｑが成す角度を指向角θａ１とすると、以下の条件（１）：
θａ１ ≧ ３０° （１）
を満たすことが好ましく、さらには、以下の条件（１´）：
θａ１ ≧ ４５° （１´）
を満たすことがより好ましい。θａ１が３０°を下回る場合、検査光ＬＡが散乱しないため合成皮革のシボ等の微細な構造に散乱光が入り込まず、微細な構造の陰影によって汚れ、傷、毛羽、及び点状欠陥が輝度データにおいて目立たない可能性がある。

図２（ｂ）に示すように、二つの光源２１Ａは、検査対象物Ａの裏面に搬送ローラ１１ａが当接する位置に中心軸を向けて、搬送方向の上手側と下手側とから検査光ＬＡを照射する。検査光ＬＡの照射位置における検査対象物Ａの接線Ｒと一方の光源２１Ａから照射する検査光ＬＡの光軸とがなす角度を、検査対象物Ａに対する照射角θｂ１とすると、以下の条件（２）：
３０° ≦ θｂ１ ＜ ９０° （２）
を満たすことが好ましく、さらには、以下の条件（２´）：
４０° ≦ θｂ１ ≦ ６０° （２´）
を満たすことがより好ましい。θｂ１が上記の範囲にない場合、合成皮革のシボ等の微細な構造の陰影が及ぼす影響が強くなり、汚れ、傷、毛羽、及び点状欠陥が輝度データにおいて目立たない可能性がある。

また、接線Ｒと他方の光源２１Ａから照射する検査光ＬＡの光軸とがなす角度を、検査対象物Ａに対する照射角θｂ１´とすると、以下の条件（３）：
１８０° − θｂ１ ≦ θｂ１´ ≦ １９０° − θｂ１ （３）
を満たすことが好ましく、さらには、以下の条件（３´）：
１８０° − θｂ１ ≦ θｂ１´ ≦ １８５° − θｂ１ （３´）
を満たすことがより好ましい。θｂ１´が上記の範囲にない場合、合成皮革のシボ等の微細な構造の陰影が及ぼす影響が強くなり、汚れ、傷、毛羽、及び点状欠陥が輝度データにおいて目立たない可能性がある。

検知部３０Ａは、検査光ＬＡの照射位置に中心軸を向けて検査対象物Ａの上方に配置されたラインセンサー３３Ａによって、検査対象物Ａの輝度を検知する。接線Ｒとラインセンサー３３Ａの中心軸とがなす角度を、検査対象物Ａに対する受光角θｃ１とすると、以下の条件（４）：
８０° ≦ θｃ１ ≦ １００° （４）
を満たすことが好ましく、さらには、以下の条件（４´）：
８５° ≦ θｃ１ ≦ ９５° （４´）
を満たすことがより好ましい。θｃ１が８０°を下回る場合、又はθｃ１が１００°を上回る場合は、ラインセンサー３３Ａが検査光ＬＡの照射位置の垂直上方の位置から大きく外れ、低角度で受光することになるため、汚れ、傷、毛羽、及び点状欠陥とその周囲との輝度の差（コントラスト）が緩和される可能性がある。

第一光学検査部２０Ａは、照射条件、及び検知条件として、検査光ＬＡの照射方向を検査対象物Ａの搬送方向（Ｙ方向）に沿った方向に設定し、検査対象物Ａの裏面に搬送ローラ１１ａが当接する位置を照射位置とし、少なくとも条件（１）〜（４）を満たすことにより、合成皮革のシボ等の微細な構造の陰影が及ぼす影響を抑えて、検査対象物Ａの汚れ、傷、毛羽、及び点状欠陥とその周囲とのコントラストが明瞭な輝度データを取得することができる。

図３は、第一光学検査部２０Ａによる検査対象物（合成皮革）Ａの撮像イメージである。図３の撮像イメージは、検査対象物Ａの搬送方向を図の上下方向に配置したものであり、この撮像イメージでは、周囲とのコントラストが明瞭な白点状の傷が確認できる。すなわち、第一光学検査部２０Ａにおいて上記の照射条件、及び検知条件で輝度データを取得することで、検査対象物Ａの汚れ、傷、毛羽、及び点状欠陥とその周囲とのコントラストが明瞭なものとなり、これらの欠陥を検出しやすくなる。

〔第二光学検査部における照射条件及び検知条件〕
第二光学検査部２０Ｂは、検査対象物Ａにおいて正反射光に光沢差を生じる欠陥を検出対象とする。第二光学検査部２０Ｂでは、照射条件として、検査対象物の搬送方向に対する検査光の照射方向、検査光の指向角、検査対象物に対する検査光の照射角、及び照射位置における検査対象物Ａの裏面への搬送ローラ１１ａの当接状態が調整され、検知条件として、検査対象物に対する受光角が調整される。図４は、第二光学検査部２０Ｂの照射条件及び検知条件の説明図である。図４（ａ）は、平行光の説明図である。図４（ｂ）は、第二光学検査部２０ＢのＹ方向に沿った配置を示す模式図である。

第二光学検査部２０Ｂの光源２１Ｂは、検査対象物Ａの搬送方向と直交する方向（Ｘ方向）に沿って高輝度ＬＥＤを配列させたＬＥＤバー照明が使用され、上面視において検査光ＬＢの照射方向が検査対象物Ａの搬送方向（Ｙ方向）に沿った方向となるように、検査対象物Ａの上方に配置される。

第二光学検査部２０Ｂでは、検査光ＬＢとして、光の拡散又は収束が一定範囲内に収まる平行光を使用する。すなわち、平行光は、完全な平行状態である必要はなく、例えば、一定の散乱性を有する通常の光をロッドレンズ及びスリットに通して得られる疑似平行光を使用することも可能である。図４（ａ）に示すように、検査光ＬＢに用いる平行光は、中心軸Ｐにおける光に対して強度が５０％となる光の進行方向Ｑが成す角度を指向角θａ２とすると、以下の条件（５）：
θａ２ ≦ １０° （５）
を満たすことが好ましく、さらには、以下の条件（５´）：
θａ２ ≦ ５° （５´）
を満たすことがより好ましい。θａ２が１０°を上回る場合、検査光ＬＢが散乱するため、検査光ＬＢの照射位置における正反射光の光沢差が緩和される可能性がある。

図４（ｂ）に示すように、光源２１Ｂは、検査対象物Ａの裏面に搬送ローラ１１ａが当接する位置に中心軸を向けて、検査光ＬＢを照射する。検知部３０Ｂは、検査光ＬＢの照射位置に中心軸を向けて検査対象物Ａの上方に配置されたラインセンサー３３Ｂによって、検査対象物Ａの表面における検査光ＬＢの正反射光の輝度を検知する。ラインセンサー３３Ｂによって、検査光ＬＢの正反射光の輝度を検知するためには、検査光ＬＢの照射位置における検査対象物Ａの接線Ｒと検査光ＬＢの光軸とがなす角度を、検査対象物Ａに対する照射角θｂ２とし、接線Ｒとラインセンサー３３Ｂの中心軸とがなす角度を、検査対象物Ａに対する受光角θｃ２とすると、以下の条件（６）、（７）：
３０° ≦ θｂ２ ≦ １５０° （６）
１７０° − θｂ２ ≦ θｃ２ ≦ １９０° − θｂ２ （７）
を満たすことが好ましく、さらには、以下の条件（６´）、（７´）：
６０° ≦ θｂ２ ≦ １２０° （６´）
１７５° − θｂ２ ≦ θｃ２ ≦ １８５° − θｂ２ （７´）
を満たすことがより好ましい。θｂ２が３０°を下回る場合、又はθｂ２が１５０°を上回る場合は、検査光ＬＢが検査対象物Ａに対して低角度で照射されることになるため、合成皮革のシボ等の微細な構造の陰影が強くなり、正反射光に光沢差を生じる欠陥が輝度データにおいて目立たない可能性がある。θｃ２が上記の範囲にない場合、検査光ＬＢの照射位置における正反射光をラインセンサー３３Ｂが受光することが困難になる。

第二光学検査部２０Ｂは、照射条件、及び検知条件として、検査光ＬＢの照射方向を検査対象物Ａの搬送方向（Ｙ方向）に沿った方向に設定し、検査対象物Ａの裏面に搬送ローラ１１ａが当接する位置を照射位置とし、少なくとも条件（５）〜（７）を満たすことにより、合成皮革のシボ等の微細な構造の陰影が及ぼす影響を抑えて、検査対象物Ａの表面における正反射光のコントラストが明瞭な輝度データを取得することができる。

なお、光源２１Ｂから照射する検査光ＬＢが完全な平行状態ではなく指向角θａ２が検査対象物Ａの搬送方向（Ｙ方向）にやや広がりのある疑似平行光である場合、ラインセンサー３３Ｂによる輝度データでは、検査対象物Ａの幅方向（Ｘ方向）の端部に近いほど正反射光に対する拡散光の割合が多くなり、正反射光に光沢差を生じる欠陥が目立たなくなる傾向がある。このような場合、光源２１Ｂ、及びラインセンサー３３Ｂの夫々に、透過軸を一致させた偏光フィルタを設けることが好ましい。光源２１Ｂ、及びラインセンサー３３Ｂに透過軸を一致させた偏光フィルタを設けることにより、検査対象物Ａの幅方向（Ｘ方向）の端部における拡散光の割合を低減して、正反射光に光沢差を生じる欠陥が検査対象物Ａの中央部と端部とで同等に強調された輝度データを得ることができる。また、光源２１Ｂに設ける偏光フィルタは、検査光ＬＢがＳ波を含む直線偏光となるように、その透過軸がＬＥＤバー照明の長手方向、即ち検査対象物Ａの搬送方向と直交する方向（Ｘ方向）を向くように調整され、ラインセンサー３３Ｂに設ける偏光フィルタは、Ｓ波を含む直線偏光を透過させるように、その透過軸が検査対象物Ａの搬送方向と直交する方向（Ｘ方向）に向くように調整されることが好ましい。このように、光源２１Ｂ、及びラインセンサー３３Ｂに設ける偏光フィルタの透過軸を調整することにより、検査対象物Ａの中央部と端部との何れにおいても、正反射光に光沢差を生じる欠陥のコントラストがさらに強調された輝度データを得ることができる。Ｓ波を含む直線偏光を透過するように偏光フィルタの透過軸を調整することで、正反射光に光沢差を生じる欠陥のコントラストがさらに強調されるのは、検査対象物の表面における正反射光はＳ波を多く含むが、正反射光に光沢差を生じる欠陥では、欠陥のないその周囲よりも、正反射光におけるＳ波の割合がより高いためと考えられる。

図５は、第二光学検査部２０Ｂによる検査対象物（合成皮革）Ａの撮像イメージである。図５の撮像イメージは、検査対象物Ａの搬送方向を図の上下方向に配置したものであり、この撮像イメージでは、周囲と光沢が異なる領域が確認できる。すなわち、第二光学検査部２０Ｂにおいて上記の照射条件、及び検知条件で輝度データを取得することで、検査対象物Ａにおいて正反射光に光沢差を生じる欠陥とその周囲とのコントラストが明瞭なものとなり、この欠陥を検出しやすくなる。

〔第三光学検査部における照射条件及び検知条件〕
第三光学検査部２０Ｃは、検査対象物Ａの表面に生じる凹凸欠陥、主に、検査対象物Ａの搬送方向に直交する方向（Ｘ方向）に延伸する凹凸欠陥、及び点状の凹凸欠陥を検出対象とする。すなわち、第三光学検査部２０Ｃが検出対象とするのは、厳密に搬送方向に直交する方向（Ｘ方向）に延伸する凹凸欠陥だけではなく、搬送方向に対し４５〜１３５°の角度で延伸する凹凸欠陥を検出対象とすることも可能である。凹凸欠陥は、合成皮革の製造工程中にゴミや虫が混入した場合や、裏布に結び目が発生した場合等に発生し得る。第三光学検査部２０Ｃでは、照射条件として、検査対象物の搬送方向に対する検査光の照射方向、検査光の指向角、検査対象物に対する検査光の照射角、及び照射位置における検査対象物Ａの裏面への搬送ローラ１１ａの当接状態が調整され、検知条件として、検査対象物に対する受光角が調整される。図６は、第三光学検査部２０Ｃの照射条件及び検知条件の説明図である。

第三光学検査部２０Ｃの光源２１Ｃは、検査対象物Ａの搬送方向と直交する方向（Ｘ方向）に沿って高輝度ＬＥＤを配列させたＬＥＤバー照明が使用され、上面視において検査光ＬＣの照射方向が検査対象物Ａの搬送方向（Ｙ方向）に沿った方向となるように、検査対象物Ａの上方に配置される。

第三光学検査部２０Ｃでは、検査光ＬＣとして、第二光学検査部２０Ｂにおける検査光ＬＢと同様の平行光を使用する。すなわち、検査光ＬＣにおいても指向角θａ２が、上記の条件（５）を満たすことが好ましく、さらには、上記の条件（５´）を満たすことがより好ましい。検査光ＬＣにおいて指向角θａ２が１０°を上回る場合、検査光ＬＣが散乱するため、本来は検査対象物Ａの表面に凹凸欠陥の陰影が発生する箇所に散乱光が入り込み、凹凸欠陥の陰影が弱められる虞がある。

図６に示すように、光源２１Ｃは、検査対象物Ａの裏面に搬送ローラ１１ａが当接する位置に中心軸を向けて、検査光ＬＣを照射する。検査光ＬＣの照射位置における検査対象物Ａの接線Ｒと検査光ＬＣの光軸とがなす角度を、検査対象物Ａに対する照射角θｂ３とすると、以下の条件（８）：
θｂ３ ≦ ３０° （８）
を満たすことが好ましく、さらには、以下の条件（８´）：
θｂ３ ≦ ２０° （８´）
を満たすことがより好ましい。θｂ３が３０°を上回る場合、検査光ＬＣが検査対象物Ａに対して高角度で照射されることになるため、検査対象物Ａの表面に凹凸欠陥の陰影が発生しにくくなり、凹凸欠陥が十分に強調されない可能性がある。

検知部３０Ｃは、検査光ＬＣの照射位置に中心軸を向けて検査対象物Ａの上方に配置されたラインセンサー３３Ｃによって、検査対象物Ａの輝度を検知する。接線Ｒとラインセンサー３３Ｃの中心軸とがなす角度を、検査対象物Ａに対する受光角θｃ３とすると、以下の条件（９）：
８０° ≦ θｃ３ ≦ １００° （９）
を満たすことが好ましく、さらには、以下の条件（９´）：
８５° ≦ θｃ３ ≦ ９５° （９´）
を満たすことがより好ましい。θｃ３が８０°を下回る場合、又はθｃ３が１００°を上回る場合は、ラインセンサー３３Ｃが検査光ＬＣの照射位置の垂直上方の位置から大きく外れ、低角度で受光することになるため、検査対象物Ａの表面に発生した凹凸欠陥の陰影が輝度データにおいて目立たないものになる可能性がある。

第三光学検査部２０Ｃは、照射条件、及び検知条件として、検査光ＬＣの照射方向を検査対象物Ａの搬送方向（Ｙ方向）に沿った方向に設定し、検査対象物Ａの裏面に搬送ローラ１１ａが当接する位置を照射位置とし、少なくとも条件（５）、（８）、及び（９）を満たすことにより、検査対象物Ａの凹凸欠陥の陰影（コントラスト）を強調した輝度データを取得することができる。

図７は、第三光学検査部２０Ｃによる検査対象物（合成皮革）Ａの撮像イメージである。図７（ａ）の撮像イメージでは、合成皮革の接着層への異物の混入により生じた凹凸欠陥の陰影が確認できる。図７（ｂ）及び（ｃ）の撮像イメージは、検査対象物Ａの搬送方向を図の上下方向に配置したものであり、図７（ｂ）の撮像イメージでは、搬送方向に対して約４０°の角度で延伸する凹凸欠陥の陰影が確認でき、図７（ｃ）の撮像イメージでは、搬送方向に直交する方向に延伸する凹凸欠陥であるミシン目痕の陰影が確認できる。すなわち、第三光学検査部２０Ｃにおいて上記の照射条件、及び検知条件で輝度データを取得することで、主に検査対象物Ａの搬送方向に直交する方向（Ｘ方向）に延伸する凹凸欠陥、及び点状の凹凸欠陥の陰影が明瞭なものとなり、この欠陥を検出しやすくなる。

〔第四光学検査部における照射条件及び検知条件〕
第四光学検査部２０Ｄは、検査対象物Ａの表面に生じる凹凸欠陥、主に、検査対象物Ａの搬送方向（Ｙ方向）に延伸する凹凸欠陥を検出対象とする。すなわち、第四光学検査部２０Ｄが検出対象とするのは、厳密に搬送方向（Ｙ方向）に延伸する凹凸欠陥だけではなく、搬送方向に対し−４５〜４５°の角度で延伸する凹凸欠陥を検出対象とすることも可能である。検査対象物Ａの搬送方向（Ｙ方向）に延伸する凹凸欠陥は、合成皮革等の製造工程の一つである接着層塗布工程における接着層不良によって発生し得る。例えば、塗工機のブレード部分に異物が付着すると、検査対象物Ａの搬送方向（Ｙ方向）に沿って接着層厚みが周囲より薄くなる部分が発生し、当該部分で表皮が浮き上がり、検査対象物Ａの搬送方向（Ｙ方向）に延伸する凹凸欠陥となって現れる。第四光学検査部２０Ｄでは、照射条件として、検査対象物の搬送方向に対する検査光の照射方向、検査光の指向角、検査対象物に対する検査光の照射角、及び照射位置における検査対象物Ａの裏面への搬送ローラ１１ａの当接状態が調整され、検知条件として、検査対象物に対する受光角が調整される。図８は、第四光学検査部２０Ｄの照射条件及び検知条件の説明図である。図８（ａ）は、第四光学検査部２０ＤのＸ方向に沿った配置を示す模式図である。図８（ｂ）は、第四光学検査部２０ＤのＹ方向に沿った配置を示す模式図である。

第四光学検査部２０Ｄの光源２１Ｄは、二つの高輝度ＬＥＤ照明が使用され、上面視において検査光ＬＤの照射方向が検査対象物Ａの搬送方向に直交する方向（Ｘ方向）に沿った方向となるように、検査対象物Ａの幅方向の中心を基準として検査対象物Ａの両側の対称な位置に配置される。

第四光学検査部２０Ｄでは、検査光ＬＤとして、第二光学検査部２０Ｂにおける検査光ＬＢと同様の平行光を使用する。すなわち、検査光ＬＤにおいても指向角θａ２が、上記の条件（５）を満たすことが好ましく、さらには、上記の条件（５´）を満たすことがより好ましい。検査光ＬＤにおいて指向角θａ２が１０°を上回る場合、検査光ＬＤが散乱するため、本来は検査対象物Ａの表面に凹凸欠陥の陰影が発生する箇所に散乱光が入り込み、凹凸欠陥の陰影が弱められる虞がある。

光源２１Ｄは、検査対象物Ａの裏面に搬送ローラ１１ａが当接する位置に中心軸を向けて、検査光ＬＤを照射する。図８（ａ）に示すように、検査光ＬＤの照射位置における検査対象物Ａの接線Ｒと検査光ＬＤの光軸とがなす角度を、検査対象物Ａに対する照射角θｂ４とすると、以下の条件（１０）：
θｂ４ ≦ ３０° （１０）
を満たすことが好ましく、さらには、以下の条件（１０´）：
θｂ４ ≦ ２０° （１０´）
を満たすことがより好ましい。θｂ４が３０°を上回る場合、検査光ＬＤが検査対象物Ａに対して高角度で照射されることになるため、検査対象物Ａの表面に凹凸欠陥の陰影が発生しにくくなり、凹凸欠陥が十分に強調されない可能性がある。

検知部３０Ｄは、検査光ＬＤの照射位置に中心軸を向けて検査対象物Ａの上方に配置されたラインセンサー３３Ｄによって、検査対象物Ａの輝度を検知する。図８（ｂ）に示すように、接線Ｒとラインセンサー３３Ｄの中心軸とがなす角度を、検査対象物Ａに対する受光角θｃ４とすると、以下の条件（１１）：
８０° ≦ θｃ４ ≦ １００° （１１）
を満たすことが好ましく、さらには、以下の条件（１１´）：
８５° ≦ θｃ４ ≦ ９５° （１１´）
を満たすことがより好ましい。θｃ４が８０°を下回る場合、又はθｃ４が１００°を上回る場合は、ラインセンサー３３Ｄが検査光ＬＤの照射位置の垂直上方の位置から大きく外れ、低角度で受光することになるため、検査対象物Ａの表面に発生した凹凸欠陥の陰影が輝度データにおいて目立たないものになる可能性がある。

第四光学検査部２０Ｄは、照射条件、及び検知条件として、検査光ＬＤの照射方向を検査対象物Ａの搬送方向に直交する方向（Ｘ方向）に沿った方向に設定し、検査対象物Ａの裏面に搬送ローラ１１ａが当接する位置を照射位置とし、少なくとも条件（５）、（１０）、及び（１１）を満たすことにより、検査対象物Ａの凹凸欠陥の陰影（コントラスト）を強調した輝度データを取得することができる。

図９は、第四光学検査部２０Ｄによる検査対象物（合成皮革）Ａの撮像イメージである。図９の撮像イメージは、検査対象物Ａの搬送方向を図の上下方向に配置したものであり、この撮像イメージでは、搬送方向（Ｙ方向）に延伸する凹凸欠陥の陰影が確認できる。すなわち、第四光学検査部２０Ｄにおいて上記の照射条件、及び検知条件で輝度データを取得することで、主に検査対象物Ａの搬送方向（Ｙ方向）に延伸する凹凸欠陥の陰影が明瞭なものとなり、この欠陥を検出しやすくなる。

〔第五光学検査部における照射条件及び検知条件〕
第五光学検査部２０Ｅは、検査対象物Ａにおいて散乱光に光沢差を生じる欠陥を検出対象とする。第五光学検査部２０Ｅでは、照射条件として、検査対象物の搬送方向に対する検査光の照射方向、検査光の指向角、検査対象物に対する検査光の照射角、及び照射位置における検査対象物Ａの裏面への搬送ローラ１１ａの当接状態が調整され、検知条件として、検査対象物に対する受光角が調整される。図１０は、第五光学検査部２０Ｅの照射条件及び検知条件の説明図である。

第五光学検査部２０Ｅの光源２１Ｅは、検査対象物Ａの搬送方向と直交する方向（Ｘ方向）に沿って高輝度ＬＥＤを配列させたＬＥＤバー照明が使用され、上面視において検査光ＬＥの照射方向が検査対象物Ａの搬送方向（Ｙ方向）に沿った方向となるように、検査対象物Ａの上方に配置される。

第五光学検査部２０Ｅでは、検査光ＬＥとして、第二光学検査部２０Ｂにおける検査光ＬＢと同様の平行光を使用する。すなわち、検査光ＬＥにおいても指向角θａ２が、上記の条件（５）を満たすことが好ましく、さらには、上記の条件（５´）を満たすことがより好ましい。検査光ＬＥにおいて指向角θａ２が１０°を上回る場合、検査光ＬＥの照射位置における散乱光の光沢差が緩和される可能性がある。

図１０に示すように、光源２１Ｅは、検査対象物Ａの裏面に搬送ローラ１１ａが当接する位置に中心軸を向けて、検査光ＬＥを照射する。検知部３０Ｅは、検査光ＬＥの照射位置に中心軸を向けて検査対象物Ａの上方に配置されたラインセンサー３３Ｅにおいて、検査対象物Ａの表面における検査光ＬＥの散乱光の輝度を暗視野観察で検知する。ラインセンサー３３Ｅにおいて、暗視野観察で散乱光の輝度を検知するためには、検査光ＬＥの照射位置における検査対象物Ａの接線Ｒと検査光ＬＥの光軸とがなす角度を、検査対象物Ａに対する照射角θｂ５とし、接線Ｒとラインセンサー３３Ｅの中心軸とがなす角度を、検査対象物Ａに対する受光角θｃ５とすると、以下の条件（１２）及び（１３）：
２０° ≦ θｂ５ ≦ ８０° （１２）
θｃ５ ＜ θｂ５ （１３）
を満たすことが好ましく、さらに受光角θｃ５は、以下の条件（１２´）：
４０° ≦ θｂ５ ≦ ５０° （１２´）
を満たすことがより好ましい。θｂ５、及びθｃ５が上記の範囲にない場合、検査光ＬＥの照射位置における散乱光の輝度を暗視野観察で検知することが困難になることや、散乱光に光沢差を生じる欠陥が十分に強調されないことがある。

第五光学検査部２０Ｅは、照射条件、及び検知条件として、検査光ＬＥの照射方向を検査対象物Ａの搬送方向（Ｙ方向）に沿った方向に設定し、検査対象物Ａの裏面に搬送ローラ１１ａが当接する位置を照射位置とし、少なくとも条件（５）、（１２）、及び（１３）を満たすことにより、暗視野観察を実施し、検査対象物Ａの表面における散乱光のコントラストが明瞭な輝度データを取得することができる。

図１１は、第五光学検査部２０Ｅによる検査対象物（合成皮革）Ａの撮像イメージである。図１１の撮像イメージは、検査対象物Ａの搬送方向を図の上下方向に配置したものであり、この撮像イメージでは、周囲と光沢が異なる領域が確認できる。すなわち、第五光学検査部２０Ｅにおいて上記の照射条件、及び検知条件で輝度データを取得することで、暗視野観察が可能となり、散乱光に光沢差を生じる欠陥とその周囲とのコントラストが明瞭なものとなり、この欠陥を検出しやすくなる。

〔第六光学検査部における照射条件及び検知条件〕
第六光学検査部２０Ｆは、検査対象物Ａの表面に生じる凹凸欠陥、主に、検査対象物Ａの搬送方向に直交する方向（Ｘ方向）に延伸し、且つ検査対象物Ａの裏面に搬送ローラ１１ａが当接する場合に搬送ローラ１１ａによる支持によって高低差が解消される凹凸欠陥を検出対象とする。すなわち、第六光学検査部２０Ｆが検出対象とするのは、厳密に搬送方向に直交する方向（Ｘ方向）に延伸する凹凸欠陥だけではなく、搬送方向に対し４５〜１３５°の角度で延伸する凹凸欠陥を検出対象とすることも可能である。また、第六光学検査部２０Ｆは、検査対象物Ａの裏面に搬送ローラ１１ａが当接する場合に高低差が解消される点状の凹凸欠陥を検出対象とする。検査対象物Ａの裏面に搬送ローラ１１ａが当接する場合に高低差が解消される凹凸欠陥には、例えば、接着層の不良による表皮の浮きによる凹凸欠陥の一部が含まれる。第六光学検査部２０Ｆでは、照射条件として、検査対象物の搬送方向に対する検査光の照射方向、検査光の指向角、検査対象物に対する検査光の照射角、及び照射位置における検査対象物Ａの裏面への搬送ローラ１１ａの当接状態が調整され、検知条件として、検査対象物に対する受光角が調整される。図１２は、第六光学検査部２０Ｆの照射条件及び検知条件の説明図である。

第六光学検査部２０Ｆの光源２１Ｆは、検査対象物Ａの搬送方向と直交する方向（Ｘ方向）に沿って高輝度ＬＥＤを配列させたＬＥＤバー照明が使用され、上面視において検査光ＬＦの照射方向が検査対象物Ａの搬送方向（Ｙ方向）に沿った方向となるように、検査対象物Ａの上方に配置される。

第六光学検査部２０Ｆでは、検査光ＬＦとして、第二光学検査部２０Ｂにおける検査光ＬＢと同様の平行光を使用する。すなわち、検査光ＬＦにおいても指向角θａ２が、上記の条件（５）を満たすことが好ましく、さらには、上記の条件（５´）を満たすことがより好ましい。検査光ＬＦにおいて指向角θａ２が１０°を上回る場合、検査光ＬＦが散乱するため、本来は検査対象物Ａの表面に凹凸欠陥の陰影が発生する箇所に散乱光が入り込み、凹凸欠陥の陰影が弱められる虞がある。

第六光学検査部２０Ｆにおける照射条件及び検知条件は、上記の第三光学検査部２０Ｃにおける照射条件及び検知条件とは、照射位置における検査対象物Ａの裏面への搬送ローラ１１ａの当接状態が相違し、図１２に示すように、光源２１Ｆは、ガイドローラ１１ｂと搬送ローラ１１ａの間の位置、即ち、検査対象物Ａの裏面に搬送ローラ１１ａが存在しない位置に中心軸を向けて、検査光ＬＦを照射する。検査光ＬＦの照射位置における検査対象物Ａの接線Ｒと検査光ＬＦの光軸とがなす角度を、検査対象物Ａに対する照射角θｂ６とすると、以下の条件（１４）：
θｂ６ ≦ ３０° （１４）
を満たすことが好ましく、さらには、以下の条件（１４´）：
θｂ６ ≦ ２０° （１４´）
を満たすことがより好ましい。θｂ６が３０°を上回る場合、検査光ＬＦが検査対象物Ａに対して高角度で照射されることになるため、検査対象物Ａの表面に凹凸欠陥の陰影が発生しにくくなり、凹凸欠陥が十分に強調されない可能性がある。

検知部３０Ｆは、検査光ＬＦの照射位置に中心軸を向けて検査対象物Ａの上方に配置されたラインセンサー３３Ｆによって、検査対象物Ａの輝度を検知する。接線Ｒとラインセンサー３３Ｆの中心軸とがなす角度を、検査対象物Ａに対する受光角θｃ６とすると、以下の条件（１５）：
８０° ≦ θｃ６ ≦ １００° （１５）
を満たすことが好ましく、さらには、以下の条件（１５´）：
８５° ≦ θｃ６ ≦ ９５° （１５´）
を満たすことがより好ましい。θｃ６が８０°を下回る場合、又はθｃ６が１００°を上回る場合は、ラインセンサー３３Ｆが検査光ＬＦの照射位置の垂直上方の位置から大きく外れ、低角度で受光することになるため、検査対象物Ａの表面に発生した凹凸欠陥の陰影が輝度データにおいて目立たないものになる可能性がある。

第六光学検査部２０Ｆは、照射条件、及び検知条件として、検査光ＬＦの照射方向を検査対象物Ａの搬送方向（Ｙ方向）に沿った方向に設定し、検査対象物Ａの裏面に搬送ローラ１１ａが存在しない位置を照射位置とし、少なくとも条件（５）、（１４）、及び（１５）を満たすことにより、高低差が解消される凹凸欠陥であっても、検査対象物Ａの凹凸欠陥の陰影（コントラスト）を強調した輝度データを取得することができる。

図１３は、第六光学検査部２０Ｆによる検査対象物（合成皮革）Ａの撮像イメージである。図１３（ａ）の撮像イメージでは、合成皮革の接着層の不良による凹凸欠陥の陰影が確認できる。図１３（ｂ）の撮像イメージは、検査対象物Ａの搬送方向を図の上下方向に配置したものであり、搬送方向に直交する方向（Ｘ方向）に延伸する微細な凹凸欠陥の陰影が確認できる。これらの凹凸欠陥は、搬送ローラ１１ａ上の位置では高低差が解消されるため、第三光学検査部２０Ｃでは、輝度データに明瞭な陰影が生じない。すなわち、第六光学検査部２０Ｆにおいて上記の照射条件、及び検知条件で輝度データを取得することで、主に検査対象物Ａの搬送方向に直交する方向（Ｘ方向）に延伸する凹凸欠陥の陰影が明瞭なものとなり、この欠陥を検出しやすくなる。

〔第一実施形態〕
本実施形態は、第一光学検査部２０Ａ〜第六光学検査部２０Ｆにおける照射条件としてさらに、検査光の波長を調整した欠陥検査装置１００により、合成皮革を検査対象物Ａとして検査を行うものである。具体的には、検査対象物Ａの搬送方向（Ｙ方向）に沿った配列位置が、搬送方向の上手側から数えて奇数番目である第一光学検査部２０Ａ、第三光学検査部２０Ｃ、及び第五光学検査部２０Ｅの光源２１Ａ、２１Ｃ、及び２１Ｅには、緑色ＬＥＤ照明を用いる。検査対象物Ａの搬送方向（Ｙ方向）に沿った配列位置が、搬送方向の上手側から数えて偶数番目である第二光学検査部２０Ｂ、第四光学検査部２０Ｄ、及び第六光学検査部２０Ｆの光源２１Ｂ、２１Ｄ、及び２１Ｆには、赤色ＬＥＤ照明を用いる。本実施形態で使用する光源、ラインセンサー、及び合成皮革の仕様は、以下のとおりである。

＜光源＞
・照明装置：高輝度ＬＥＤ照明（赤色、緑色、青色）
・照明形状：直線状
・発光面照度：６０万ルクス
・冷却方式：自然放熱
・光線：疑似平行光、拡散光、集光調整可能
・電源：定電流方式
＜ラインセンサー＞
・画素数：２０４８画素、４０９６画素
・画素サイズ：１４μｍ（２０４８画素）、１０μｍ（４０９６画素）
・最大ラインレート：３１．８ｋＨｚ（２０４８画素）、１７．５ｋＨｚ（４０９６画素）
・データフォーマット：８ビット、１２ビット
・ダイナミックレンジ：５８ｄＢ
・センサー構造：３ライン
・インターフェース：カメラリンク（ＭＤＲｘ２）
・露光時間：各色に応じて変更
＜合成皮革＞
・色：ブラック、ブラウン、ベージュ、ホワイト
・厚み：０．９〜１．２ｍｍ

欠陥検査装置１００において、搬送方向（Ｙ方向）に沿った配列位置が隣り合う二つの光学検査部の光源、例えば、光源２１Ａ及び光源２１Ｂは、互いの照射位置が搬送方向（Ｙ方向）において隣り合うため、夫々の照射位置において互いの検査光が影響し合うことがある。この場合、検知部３０Ａ及び３０Ｂで取得する輝度データを用いた撮像画像のコントラストは肉眼では低下するが、本実施形態の欠陥検査装置１００で得られた撮像画像は、検査光ＬＡ及び検査光ＬＢの波長が互いに異なるため、夫々の撮像画像において対応する検査光の波長に対応したチャネル（成分）を取り出すことにより、コントラストを向上させることができる。この結果、夫々の光学検査部において、検出対象とする欠陥の検出が容易なものとなる。なお、隣り合う二つの光学検査部において照射する検査光は、ピーク波長が離れるように選択されることが好ましい。本実施形態では、検査光ＬＡ、ＬＣ、及びＬＥとして緑色光（ピーク波長：５５５ｎｍ）、検査光ＬＢ、ＬＤ、及びＬＦとして赤色光（ピーク波長：６６０ｎｍ）を使用しているが、青色光（ピーク波長４７０ｎｍ）と赤色光（ピーク波長：６６０ｎｍ）との組み合わせであれば、ピーク波長の差がより大きくなるため、さらに明確な輝度データを得ることができる。

〔第二実施形態〕
本実施形態は、第一光学検査部２０Ａ〜第六光学検査部２０Ｆにおける照射条件としてさらに、検査光の照射タイミングを調整した欠陥検査装置１００により、検査対象物Ａの検査を行うものである。具体的には、検査対象物Ａの搬送方向（Ｙ方向）に沿った配列位置が、搬送方向の上手側から数えて奇数番目である第一光学検査部２０Ａ、第三光学検査部２０Ｃ、及び第五光学検査部２０Ｅの光源２１Ａ、２１Ｃ、及び２１Ｅと、検査対象物Ａの搬送方向（Ｙ方向）に沿った配列位置が、搬送方向の上手側から数えて偶数番目である第二光学検査部２０Ｂ、第四光学検査部２０Ｄ、及び第六光学検査部２０Ｆの光源２１Ｂ、２１Ｄ、及び２１Ｆとは、交互に検査光を照射する。

ラインセンサー３３Ａ〜３３Ｆの撮影タイミングは、夫々が対応する光源の照射タイミングと同期しており、検査対象物Ａが搬送される方向に１ライン毎に撮影が実行される。このため、第二実施形態で得られる撮像画像の搬送方向における分解能は、第一実施形態で得られる撮像画像の搬送方向における分解能の１／２となる。

第二実施形態では、搬送方向（Ｙ方向）に沿った配列位置が隣り合う二つの光学検査部、例えば、第一光学検査部２０Ａ及び第二光学検査部２０Ｂが交互に検査光を照射するため、検査対象物Ａに照射される検査光ＬＡ及びＬＢが互いに影響することがなく、検知部３０Ａ及び３０Ｂにおいて取得する輝度データのコントラストの低下を防止することができる。この結果、夫々の光学検査部において、検出対象とする欠陥の検出が容易なものとなる。

〔欠陥検査方法〕
以下、本発明の欠陥検査方法について説明する。本発明の欠陥検査装置が検査対象とする合成皮革は、通常ロール状に巻回された状態で出荷される。そこで、合成皮革の欠陥検査を行うにあたっては、合成皮革をロールから一旦引き出す必要がある。ロール状の合成皮革が欠陥検査装置にセットされると、合成皮革が回転しながらロールから搬送方向に引き出され、別のローラに巻き取られながら再びロールが形成される。このとき、搬送途中の合成皮革に対して、下記の各工程により欠陥の有無が判定される。なお、欠陥検査方法は、図１の欠陥検査装置１００を用いて行われる。

図１４は、本発明の欠陥検査方法のフローチャートである。欠陥検査方法は、主に、搬送工程、光学検査工程、処理工程、及び判定工程を経て実施される。図１４のフローチャートにおいて、各ステップを記号「Ｓ」で示してある。

＜搬送工程：Ｓ１＞
初めに、搬送工程として、検査対象物Ａを搬送する。検査対象物Ａを欠陥検査装置１００に設置した後、搬送ローラ１１ａを回転させると、検査対象物Ａが搬送されることで検査対象物Ａに接触させた回転体が回転し、その回転角度に応じたパルス信号がエンコーダ１３によって生成される。エンコーダ１３が生成したパルス信号に基づき、搬送ローラ１１ａが検査対象物Ａを所定の位置まで搬送する（Ｓ１）。さらに、搬送ローラ１１から発信されるパルス信号に基づいて、ラインセンサー３３が所定の周期で１ライン毎に撮像を行うための検査対象物Ａの位置をエンコーダ１３に設定する。検査対象物Ａを巻き取る速さ（搬送速度）は、エンコーダ１３のパルス信号に基づき、制御部６０がドライバ１２を制御して調整される。

＜光学検査工程：Ｓ２〜Ｓ７＞
次に、光学検査工程として、制御部６０は、エンコーダ１３が生成したパルス信号に基づき、検査対象物Ａの搬送量をライン数としてカウントし、ライン数が奇数であるか否かを判断する（Ｓ２）。ライン数が奇数である場合（Ｓ２：Ｙｅｓ）、検査対象物Ａの搬送方向（Ｙ方向）に沿った配列位置が搬送方向の上手側から数えて奇数番目である第一光学検査部２０Ａ、第三光学検査部２０Ｃ、及び第五光学検査部２０Ｅにおいて、検査光を照射し（Ｓ３）、検査対象物Ａの幅方向（Ｘ方向）における輝度を検知し（Ｓ４）、その後、Ｓ７に処理を進める。Ｓ３では、第一光学検査部２０Ａ、第三光学検査部２０Ｃ、及び第五光学検査部２０Ｅの光源２１Ａ、２１Ｃ、及び２１Ｅから、検査光ＬＡ、ＬＣ、及びＬＥを検査対象物Ａに照射する。Ｓ４は、搬送部１０のエンコーダ１３のパルス信号に基づいて、検査光ＬＡ、ＬＣ、及びＬＥが照射された検査対象物Ａの幅方向（Ｘ方向）の領域をラインセンサー３３Ａ、３３Ｃ、及び３３Ｅが所定の周期で１ライン毎に撮像するように、制御部６０が検知部３０Ａ、３０Ｃ、及び３０Ｅの撮影動作調整部３１Ａ、３１Ｃ、及び３１Ｅを制御しながら行われる。各ラインセンサーが撮像した検査対象物Ａの幅方向１ライン毎の濃淡画像（ライン画像）は、検知部３０Ａ、３０Ｃ、及び３０Ｅの画像認識部３２Ａ、３２Ｃ、及び３２Ｅでデジタル信号の輝度データとして認識され、制御部６０を介してデータ格納部７０に格納される。

Ｓ２の判断において、ライン数が偶数である場合（Ｓ２：Ｎｏ）、検査対象物Ａの搬送方向（Ｙ方向）に沿った配列位置が搬送方向の上手側から数えて偶数番目である第二光学検査部２０Ｂ、第四光学検査部２０Ｄ、及び第六光学検査部２０Ｆにおいて、検査光を照射し（Ｓ５）、検査対象物Ａの幅方向（Ｘ方向）における輝度を検知し（Ｓ６）、その後、Ｓ７に処理を進める。Ｓ５では、第二光学検査部２０Ｂ、第四光学検査部２０Ｄ、及び第六光学検査部２０Ｆの光源２１Ｂ、２１Ｄ、及び２１Ｆから、検査光ＬＢ、ＬＤ、及びＬＦを検査対象物Ａに照射する。Ｓ６は、搬送部１０のエンコーダ１３のパルス信号に基づいて、検査光ＬＢ、ＬＤ、及びＬＦが照射された検査対象物Ａの幅方向（Ｘ方向）の領域をラインセンサー３３Ｂ、３３Ｄ、及び３３Ｆが所定の周期で１ライン毎に撮像するように、制御部６０が検知部３０Ｂ、３０Ｄ、及び３０Ｆの撮影動作調整部３１Ｂ、３１Ｄ、及び３１Ｆを制御しながら行われる。各ラインセンサーが撮像した検査対象物Ａの幅方向１ライン毎の濃淡画像（ライン画像）は、検知部３０Ｂ、３０Ｄ、及び３０Ｆの画像認識部３２Ｂ、３２Ｄ、及び３Ｆでデジタル信号の輝度データとして認識され、制御部６０を介してデータ格納部７０に格納される。Ｓ３及びＳ５での検査光の照射条件、及びＳ４及びＳ６での輝度の検知条件の詳細は、欠陥検査装置１００についての説明と重複するため、その説明を省略する。

Ｓ７においては、制御部６０は、データ格納部７０に格納されたライン画像の数をカウントし、所定のライン数まで達したか否かを判断する。ライン画像が所定のライン数に達していない場合（Ｓ７：Ｎｏ）は、搬送工程（Ｓ１）に戻り、検査対象物Ａを搬送しながら光学検査工程（Ｓ２〜Ｓ７）における検査対象物Ａへの検査光の照射及び輝度の検知が継続される。ライン画像が所定のライン数に達した場合（Ｓ７：Ｙｅｓ）は、次の処理工程に進む。

＜処理工程：Ｓ８〜Ｓ１０＞
次に、処理工程として、光学検査工程で第一光学検査部２０Ａ〜第六光学検査部２０Ｆの夫々が取得した所定のライン数のデジタル輝度データを解析処理する。解析処理を行うにあたり、初めに、処理部４０が、光学検査工程で第一光学検査部２０Ａ〜第六光学検査部２０Ｆの夫々が取得した所定のライン数のデジタル輝度データに基づいて撮像画像を合成する（Ｓ８）。ここで、合成皮革のような幅広の検査対象物Ａを検査する場合、ラインセンサー３３Ａ〜３３Ｆが撮像する画像（デジタル輝度データ）は、撮像素子の感度ムラや照明方法により一様な輝度が得られないことがある。そこで、処理工程では、この感度ムラや、検査対象物Ａとは無関係のノイズを除去するために、合成画像に各種画像処理を行う。先ず、生の画像にシェーディング補正（Ｓ９）を行うことにより、感度ムラや輝度ムラを除去し、一様な輝度画像に加工する。次に、処理画像に対して空間フィルタ処理（Ｓ１０）を行うことにより、画像のノイズを軽減したり、エッジを強調する。

＜判定工程：Ｓ１１〜Ｓ１２＞
最後に、判定工程として、処理工程による解析処理結果に基づいて、検査対象物Ａの欠陥の有無を判定する。欠陥判定は、例えば、空間フィルタ処理後、二値化処理（Ｓ１１）により処理画像中で欠陥の可能性がある領域を抽出し、抽出された領域の面積に閾値を設定して欠陥か否かを判定する（Ｓ１２）。また、別の欠陥判定として、対照として欠陥の無い良品の検査画像（対照画像）を予め準備し、当該対照画像と処理画像とを比較し、両者の差分から欠陥か否かを判定することも可能である。検査対象物Ａに欠陥が無いと判定された場合（Ｓ１２：Ｎｏ）は、搬送工程（Ｓ１）に戻り、光学検査工程（Ｓ２〜Ｓ７）、処理工程（Ｓ８〜Ｓ１０）、及び判定工程（Ｓ１１〜Ｓ１２）が繰り返される。検査対象物Ａに欠陥があると判定された場合（Ｓ１２：Ｙｅｓ）は、検査対象物Ａの搬送が自動又は手動で停止され、オペレーターが検査対象物Ａの欠陥をディスプレイ等で確認し、マーキングや欠陥レベルの判定等の作業を行って検査が終了する。

本発明の欠陥検査装置、及び欠陥検査方法は、合成皮革の検査に適するものであるが、布帛、壁紙、断熱材、吸音材、包装フィルム、プラスチックフィルム、家具の天板等の検査においても利用可能である。

１０ 搬送部
１１ａ 搬送ローラ（支持ローラ）
２０Ａ〜Ｆ 光学検査部（第一光学検査部〜第六光学検査部）
２１Ａ〜Ｆ 光源
３０Ａ〜Ｆ 検知部
４０ 処理部
５０ 判定部
１００ 欠陥検査装置
Ａ 検査対象物
ＬＡ〜ＬＦ 検査光

Claims (8)

1. 検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査装置であって、
   前記検査対象物を搬送する搬送部と、
   前記検査対象物の輝度データを取得する複数の光学検査部と、
   前記複数の光学検査部が取得した輝度データを解析処理する処理部と、
   前記処理部による解析処理結果に基づいて、前記検査対象物の欠陥の有無を判定する判定部と
   を備え、
   前記複数の光学検査部の夫々は、前記検査対象物に検査光を照射する光源と、前記検査対象物の少なくとも搬送方向に直交する方向における検査領域の輝度を検知する検知部とを有し、前記光源による検査光の照射条件及び前記検知部による輝度の検知条件が、光学検査部毎に異なっている欠陥検査装置。
2. 前記検査対象物は、裏面に支持ローラを当接させた状態で前記搬送部によって搬送される帯状物であり、
   前記照射条件は、前記検査対象物の搬送方向に対する検査光の照射方向、検査光の指向角θａ、及び前記検査対象物に対する検査光の照射角θｂ及びθｂ´を含み、
   前記検知条件は、前記検査対象物に対する受光角θｃを含み、
   前記複数の光学検査部は、以下の（１）〜（６）：
   （１）二つの光源によって、前記照射方向が前記検査対象物の搬送方向に沿った方向であり、θａ≧３０°、且つ一方の光源の照射角θｂが３０°≦θｂ＜９０°であり他方の光源の照射角θｂ´が１８０°−θｂ≦θｂ´≦１９０°−θｂである照射条件で検査光を照射し、前記検査光の照射位置において、８０°≦θｃ≦１００°である検知条件で前記検査対象物の輝度を検知する第一光学検査部、
   （２）前記照射方向が前記検査対象物の搬送方向に沿った方向であり、θａ≦１０°、且つ３０°≦θｂ≦１５０°である照射条件で検査光を照射し、前記検査光の照射位置において、１７０°−θｂ≦θｃ≦１９０°−θｂである検知条件で前記検査対象物の輝度を検知する第二光学検査部、
   （３）前記検査対象物の裏面に支持ローラが存在する位置に、前記照射方向が前記検査対象物の搬送方向に沿った方向であり、θａ≦１０°、且つθｂ≦３０°である照射条件で検査光を照射し、前記検査光の照射位置において、８０°≦θｃ≦１００°である検知条件で前記検査対象物の輝度を検知する第三光学検査部、
   （４）前記照射方向が前記検査対象物の搬送方向と直交する方向であり、θａ≦１０°、且つθｂ≦３０°である照射条件で検査光を照射し、前記検査光の照射位置において、８０°≦θｃ≦１００°である検知条件で前記検査対象物の輝度を検知する第四光学検査部、
   （５）前記照射方向が前記検査対象物の搬送方向に沿った方向であり、θａ≦１０°、且つ２０°≦θｂ≦８０°である照射条件で検査光を照射し、前記検査光の照射位置において、θｃ＜θｂである検知条件で前記検査対象物の輝度を検知する第五光学検査部、
   （６）前記検査対象物の裏面に支持ローラが存在しない位置に、前記照射方向が前記検査対象物の搬送方向に沿った方向であり、θａ≦１０°、且つθｂ≦３０°である照射条件で検査光を照射し、前記検査光の照射位置において、８０°≦θｃ≦１００°である検知条件で前記検査対象物の輝度を検知する第六光学検査部、
   からなる群より選ばれる少なくとも二つの光学検査部を含む請求項１に記載の欠陥検査装置。
3. 前記第一光学検査部は、前記検査対象物に付着した汚れ、前記検査対象物に生じた傷、及び前記検査対象物に付着した毛羽を検出可能な輝度データを取得し、
   前記第二光学検査部は、前記検査対象物における正反射光に光沢差を生じる欠陥を検出可能な輝度データを取得し、
   前記第三光学検査部は、前記検査対象物の搬送方向に対し４５〜１３５°の角度で延伸する凹凸欠陥、及び点状の凹凸欠陥を検出可能な輝度データを取得し、
   前記第四光学検査部は、前記検査対象物の搬送方向に対し−４５〜４５°の角度で延伸する凹凸欠陥を検出可能な輝度データを取得し、
   前記第五光学検査部は、前記検査対象物における散乱光に光沢差を生じる欠陥を検出可能な輝度データを取得し、
   前記第六光学検査部は、前記検査対象物の搬送方向に対し４５〜１３５°の角度で延伸し、前記検査対象物が裏面から支持された場合に高低差が解消される凹凸欠陥、及び前記検査対象物が裏面から支持された場合に高低差が解消される点状の凹凸欠陥を検出可能な輝度データを取得する請求項２に記載の欠陥検査装置。
4. 前記第二光学検査部は、前記光源及び前記検知部の夫々に偏光フィルタを有し、
   前記偏光フィルタは、透過軸が前記検査対象物の搬送方向と直交する方向を向き、Ｓ波を含む直線偏光を透過させる請求項３に記載の欠陥検査装置。
5. 前記照射条件は、検査光の波長を含み、
   前記複数の光学検査部は、前記検査対象物の搬送方向に沿って配列し、
   隣り合う二つの光学検査部は、検査光の波長が互いに異なっている請求項１〜４の何れか一項に記載の欠陥検査装置。
6. 前記照射条件は、検査光の照射タイミングを含み、
   前記複数の光学検査部は、前記検査対象物の搬送方向に沿って配列し、
   隣り合う二つの光学検査部は、交互に検査光を照射する請求項１〜５の何れか一項に記載の欠陥検査装置。
7. 前記複数の光学検査部への外部光の侵入を遮断する遮光部を更に備える請求項１〜６の何れか一項に記載の欠陥検査装置。
8. 検査対象物の検査面の欠陥を検査する欠陥検査方法であって、
   前記検査対象物を搬送する搬送工程と、
   前記検査対象物の検査面に検査光を照射し、前記検査対象物の少なくとも搬送方向に直交する方向における検査面の輝度を検知する光学検査工程と、
   前記光学検査工程で取得した輝度データを解析処理する処理工程と、
   前記処理工程による解析処理結果に基づいて、前記検査対象物の検査面の欠陥の有無を判定する判定工程と
   を包含し、
   前記光学検査工程は、検査光の照射条件及び輝度の検知条件が異なる状態で、複数回実行される欠陥検査方法。

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