CN112469992A - 利用图像传感器的表面缺陷检查装置及检查方法 - Google Patents

利用图像传感器的表面缺陷检查装置及检查方法 Download PDF

Info

Publication number
CN112469992A
CN112469992A CN201980049137.7A CN201980049137A CN112469992A CN 112469992 A CN112469992 A CN 112469992A CN 201980049137 A CN201980049137 A CN 201980049137A CN 112469992 A CN112469992 A CN 112469992A
Authority
CN
China
Prior art keywords
illumination
image sensor
subject
unit
lamp
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201980049137.7A
Other languages
English (en)
Inventor
尹永烨
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shishang Co ltd
Original Assignee
Shishang Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shishang Co ltd filed Critical Shishang Co ltd
Publication of CN112469992A publication Critical patent/CN112469992A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/8901—Optical details; Scanning details
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
    • G01N21/95607—Inspecting patterns on the surface of objects using a comparative method
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00—Image analysis
    • G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
    • G06T7/0004—Industrial image inspection
    • G06T7/0006—Industrial image inspection using a design-rule based approach
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8835—Adjustable illumination, e.g. software adjustable screen
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8887—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06—Illumination; Optics
    • G01N2201/062—LED's
    • G01N2201/0626—Use of several LED's for spatial resolution
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/10—Image acquisition modality
    • G06T2207/10141—Special mode during image acquisition
    • G06T2207/10152—Varying illumination
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
    • G06T2207/30108—Industrial image inspection
    • G06T2207/30136—Metal
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
    • G06T2207/30108—Industrial image inspection
    • G06T2207/30141—Printed circuit board [PCB]

Landscapes

  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

本发明涉及一种利用图像传感器的表面缺陷检查装置及检查方法，本发明的利用图像传感器的表面缺陷检查装置包括：框架部，其提供将被检体沿着与地面平行的长度方向传送的传送路径；传送部，其设置于上述框架部的一侧以将上述被检体沿着上述传送路径传送；图像传感器部，其设置于上述传送路径的中间，以从上述被传送的被检体的上部对被检体的表面进行摄像；照明部，其设置于上述传送路径的中间且包括多个照明灯，该多个照明灯各自沿互不相同的方向对上述被检体的表面中的由上述图像传感器部所摄像的区域即摄像区域照射光；以及控制部，其将上述传送部和图像传感器部的工作控制成一边使上述被检体仅以预定的单位传送距离移动一边对上述被检体的表面进行摄像，从而在每次摄像时摄像区域仅以上述单位传送距离变化，因此能够提高具有各种类型、形状、或方向的缺陷的检测准确性。

Description

利用图像传感器的表面缺陷检查装置及检查方法
技术领域
本发明涉及一种利用图像传感器的表面缺陷检查装置及检查方法，更具体地、所涉及的利用图像传感器的表面缺陷检查装置及检查方法构成为，一边传送被检体一边用图像传感器对被检体的表面进行摄像而获取扫描了被检体的整个表面的扫描影像，且在每次摄像时光照射方向互不相同的多个照明灯中的一个照明灯按照预定的顺序被点亮而向由上述图像传感器所摄像的摄像区域照射光，从而仅凭一次扫描也能够得到针对光照射方向互不相同的多个照明灯各自的上述扫描影像，因此，不仅能够提高具有各种类型、形状、或方向的缺陷的检测准确性，而且能够显著地减少被检体的表面检查所需的时间。
背景技术
一般来讲，在如钢板、PCB基板、半导体晶片、薄膜等那样制成平板形状的产品的情况下，在制造工序结束之后需要经过评价是否存在形成于产品的表面的污染物附着、划痕、印痕、裂纹等缺陷的表面检查工序。
过去，通常是以检查员通过目视或利用显微镜等而直接检查产品的表面的方式执行了上述表面检查工序，但在这种目视检查的情况下，是否为次品是由检查员的通过目视观察的主观判断所确定的，因此，难以确保对于均匀的品质的可靠性，因而存在不能适用于微小的表面缺陷对品质带来致命的影响的二次电池、半导体晶片、PCB基板等的表面检查的问题。
为了解决这种问题，最近开发了一种表面检查装置，该装置采用的方式是，利用对作为被检体的产品的表面照射光的光源和拍摄从产品的表面反射的反射光所形成的图像的图像传感器而判断在产品表面上是否存在缺陷，韩国授权专利第10-0389967号(2002年2月27日公开)中详细地公开了利用这种图像传感器的表面检查装置。
但是，在表面缺陷的情况下，具有通过图像传感器的输出而能够检测出的缺陷的种类、形状、方向随光的照射方向而变化的特性，因此，在如根据下述韩国授权专利第10-0389967号的技术那样适用对检查表面均匀地照射光的方式的情况下，存在难以准确地检测出具有各种类型、形状或方向的表面缺陷的问题。
为了解决这种问题，韩国授权专利第10-0470402号(2002年7月24日公开)中公开了一种在被传送的被检体的左右设置2个光源并一边沿着互不相同的方向照射光一边拍摄图像而提高表面检查的准确性的方式。
但是，在韩国授权专利第10-0470402号的情况下，由于线型光源的配置构造的局限性，对于线扫描型图像传感器的扫描线，仅能从前方和后方这2个方向照射光，因此仍然存在缺点即存在难以将具有各种类型、形状或方向的表面缺陷全部准确地检测出的现有技术的问题。
另外，在下述韩国授权专利第10-0470402号的情况下，由于是使用线扫描型图像传感器的方式，因而不仅扫描速度慢，而且对各个扫描线一边交替地闪烁2个光源一边重复进行扫描，因此，在所述方式上存在检查被检体的整个表面需要过多的时间的问题，在如电动汽车用二次电池那样被检体的面积大且在产品特性上需要进行全面检查的情况下，存在这种问题进一步恶化的缺点。
发明内容
技术问题
本发明旨在解决如上所述的现有技术的问题，本发明的目的在于提供一种利用图像传感器的表面缺陷检查装置及检查方法，该利用图像传感器的表面缺陷检查装置及检查方法构成为，一边传送被检体一边用图像传感器对被检体的表面进行摄像而获取扫描了被检体的整个表面的扫描影像，且在每次摄像时光照射方向互不相同的多个照明灯中的一个照明灯按照预定的顺序被点亮而向由上述图像传感器所摄像的摄像区域照射光，从而仅凭一次扫描也能够得到针对光照射方向互不相同的多个照明灯各自的上述扫描影像，因此，不仅能够提高具有各种类型、形状、或方向的缺陷的检测准确性，而且能够显著地减少被检体的表面检查所需的时间。
解决问题方案
为了达到如上所述的目的，根据本发明的利用图像传感器的表面缺陷检查装置，其特征在于，包括：框架部，其提供将被检体沿着与地面平行的长度方向传送的传送路径；传送部，其设置于上述框架部的一侧以将上述被检体沿着上述传送路径传送；图像传感器部，其设置于上述传送路径的中间，以从上述被传送的被检体的上部对被检体的表面进行摄像；照明部，其设置于上述传送路径的中间且包括多个照明灯，该多个照明灯各自沿互不相同的方向对上述被检体的表面中的由上述图像传感器部所摄像的区域即摄像区域照射光；以及控制部，其将上述传送部和图像传感器部的工作控制成一边使上述被检体仅以预定的单位传送距离移动一边对上述被检体的表面进行摄像，从而在每次摄像时摄像区域仅以上述单位传送距离变化，上述控制部将上述照明部的工作控制成在上述图像传感器部进行摄像时，使多个照明灯中的一个照明灯按照预定的顺序被点亮，从而对于彼此连续地被摄像的摄像区域各自从互不相同的方向照射光。
另外，本发明的利用图像传感器的表面缺陷检查装置的特征在于，上述照明部包括：第一照明模块，其设置于上述传送路径的中间且包括从上述图像传感器部的前方对上述摄像区域照射光的多个照明灯；第二照明模块，其设置于上述传送路径的中间且包括从上述图像传感器部的后方对上述摄像区域照射光的多个照明灯；以及照明控制器，其根据上述控制部的控制信号按照预定的顺序点亮包括在上述第一照明模块和第二照明模块中的多个照明灯，将具备于上述第一照明模块的多个照明灯配置成各自的照射光的方向与上述被检体的传送方向之间的角度即水平入射角互不相同，具备于上述第二照明模块的多个照明灯也配置成各自的上述水平入射角互不相同。
另外，本发明的利用图像传感器的表面缺陷检查装置的特征在于，上述第一照明模块呈朝向上述摄像区域的第一倾斜面和第二倾斜面沿着上述框架部的宽度方向连续地相互连接的锯齿形状，且包括设置于上述图像传感器部的前方一侧的第一照明模块侧灯连结部件、由与上述第一倾斜面分别配合的多个LED光源构成的第一照明灯以及由与上述第二倾斜面分别配合的多个LED光源构成的第二照明灯，上述第二照明模块呈朝向上述摄像区域的第三倾斜面和第四倾斜面沿着上述框架部的宽度方向连续地相互连接的锯齿形状，且包括设置于上述图像传感器部的后方一侧的第一照明模块侧灯连结部件、由与上述第三倾斜面分别配合的多个LED光源构成的第三照明灯以及由与上述第四倾斜面分别配合的多个LED光源构成的第四照明灯。
另外，本发明的利用图像传感器的表面缺陷检查装置的特征在于，上述照明部包括：第一照明模块，其设置于上述传送路径的中间且包括从上述图像传感器部的前方对上述摄像区域照射光的多个照明灯；第二照明模块，其设置于上述传送路径的中间且包括从上述图像传感器部的后方对上述摄像区域照射光的多个照明灯；以及照明控制器，其根据上述控制部的控制信号按照预定的顺序点亮包括在上述第一照明模块和第二照明模块中的多个照明灯，将具备于上述第一照明模块的多个照明灯配置成各自的照射光的方向与上述图像传感器部对被检体的表面进行摄像的方向之间的角度即垂直入射角互不相同，具备于上述第二照明模块的多个照明灯也配置成各自的上述垂直入射角互不相同。
另外，本发明的利用图像传感器的表面缺陷检查装置的特征在于，将具备于上述第一照明模块的多个照明灯配置成各自的照射光的方向与上述被检体的传送方向之间的角度即水平入射角互不相同，具备于上述第二照明模块的多个照明灯也配置成各自的上述水平入射角互不相同。
另外，本发明的利用图像传感器的表面缺陷检查装置的特征在于，上述第一照明模块呈朝向上述摄像区域的第一倾斜面和第二倾斜面沿着上述框架部的宽度方向连续地相互连接的锯齿形状，且包括第一照明灯和第二照明灯，其中，上述第一照明灯由设置于上述图像传感器部的前方一侧的第一灯连结部件以及与上述第一灯连结部件的第一倾斜面分别配合的多个LED光源构成，上述第二照明灯由以与上述第一灯连结部件相同的构造构成且与上述第一灯连结部件隔开而设置于上述图像传感器部的前方一侧的第二灯连结部件以及与上述第二灯连结部件的第二倾斜面分别配合的多个LED光源构成，上述第二照明模块呈朝向上述摄像区域的第三倾斜面和第四倾斜面沿着上述框架部的宽度方向连续地相互连接的锯齿形状，且包括第三照明灯和第四照明灯，其中，上述第三照明灯由设置于上述图像传感器部的后方一侧的第三灯连结部件以及与上述第三灯连结部件的第三倾斜面分别配合的多个LED光源构成，上述第四照明灯由以与上述第三灯连结部件相同的构造构成且与上述第三灯连结部件隔开而设置于上述图像传感器部的后方一侧的第四灯连结部件以及与上述第四灯连结部件的第四倾斜面分别配合的多个LED光源构成。
另外，本发明的利用图像传感器的表面缺陷检查装置的特征在于，将相对于被检体的传送方向的上述摄像区域的长度除以包括在上述第一照明模块和第二照明模块中的照明灯的数量而得到的值确定为上述单位传送距离。
另外，本发明的利用图像传感器的表面缺陷检查装置的特征在于，上述控制部针对多个照明灯各自依次合成相应的照明灯被点亮时得到的摄像影像而获取扫描了上述被检体的整个表面的扫描影像，且利用针对上述多个照明灯各自获取的上述扫描影像而判断在上述被检体表面是否存在缺陷。
另外，根据本发明的利用图像传感器的表面缺陷检查方法，其利用设置于被检体传送路径的中间的图像传感器和多个照明灯，所述利用图像传感器的表面缺陷检查方法的特征在于，包括：(a)将被检体沿着上述传送路径仅以预定的单位传送距离传送的步骤；(b)按照预定的顺序点亮上述多个照明灯中的一个照明灯而对上述被检体的表面中的由上述图像传感器所摄像的区域即摄像区域照射光的步骤；(c)利用上述图像传感器从上述被检体的上部对上述摄像区域进行摄像的步骤；(d)直到摄像结束为止对上述被检体的整个表面重复执行上述步骤(a)至步骤(c)的步骤；(e)利用在上述步骤(d)得到的摄像影像而针对多个照明灯各自依次合成相应的照明灯被点亮时得到的摄像影像，以获取扫描了上述被检体的整个表面的扫描影像的步骤；以及(f)利用针对上述多个照明灯各自获取的上述扫描影像而判断在上述被检体的表面是否存在缺陷的步骤，上述多个照明灯构成为各自沿互不相同的方向对上述摄像区域照射光。
发明效果
根据本发明的利用图像传感器的表面检查装置及检查方法构成为，一边传送被检体一边用图像传感器对被检体的表面进行摄像而获取扫描了被检体的整个表面的扫描影像，且在每次摄像时光照射方向互不相同的多个照明灯中的一个照明灯按照预定的顺序被点亮而向由上述图像传感器所摄像的摄像区域照射光，从而针对多个照明灯各自能够得到相应的照明灯被点亮时的对于上述被检体的整个表面的扫描影像，因此，具有能够提高具有各种类型、形状、或方向的缺陷的检测准确性的优点。
另外，根据本发明的利用图像传感器的表面检查装置及检查方法构成为，对被检体的整个表面的扫描采用在图像传感器每次摄像时将光照射方向互不相同的多个照明灯中的一个照明灯按照预定的顺序点亮的方式，从而仅凭一次扫描也能够得到针对光照射方向互不相同的多个照明灯各自的上述扫描影像而不同于对多个光源重复执行扫描的现有技术，因此，具有能够显著地减少如汽车用二次电池那样的需要进行全面检查且面积大的被检体的表面检查所需的时间的优点。
附图说明
图1是用于说明根据本发明的一个实施例的利用图像传感器的表面缺陷检查装置的整体构成的立体图。
图2是用于说明照明部的构成的图1的A-A部分的剖视图。
图3是用于说明上述照明部的另一变形例的图1的B-B部分的剖视图。
图4是用于说明上述照明部的又一变形例的图1的B-B部分的剖视图。
图5是用于说明设置于图1中所图示的利用图像传感器的表面缺陷检查装置的照明模块的构成的放大图。
图6是用于说明图1中所图示的利用图像传感器的表面缺陷检查装置的工作构成的框图。
图7是用于说明设置于图1中所图示的利用图像传感器的表面缺陷检查装置的照明模块的工作的图。
图8是用于说明通过图1中所图示的利用图像传感器的表面缺陷检查装置的表面缺陷检查方法的流程图。
图9是通过图1中所图示的利用图像传感器的表面缺陷检查装置得到的对于多个照明灯中的各个照明灯的扫描影像图像。
具体实施方式
以下，将利用附图具体说明本发明的优选实施例。
图1是用于说明根据本发明的一个实施例的利用图像传感器的表面缺陷检查装置的整体构成的立体图，图2是用于说明照明部的构成的图1的A-A部分的剖视图，图3和图4分别是用于说明上述照明部的另一变形例的图1的B-B部分的剖视图。
另外，图5是用于说明设置于图1中所图示的利用图像传感器的表面缺陷检查装置的照明模块的构成的放大图，图6是用于说明图1中所图示的利用图像传感器的表面缺陷检查装置的工作构成的框图，图7是用于说明设置于图1中所图示的利用图像传感器的表面缺陷检查装置的照明模块的工作的图。
另外，图8是用于说明通过图1中所图示的利用图像传感器的表面缺陷检查装置的表面缺陷检查方法的流程图，图9是通过图1中所图示的利用图像传感器的表面缺陷检查装置得到的对于多个照明灯中的各个照明灯的扫描影像图像。
根据本发明的利用图像传感器的表面缺陷检查装置构成为包括：框架部10，其提供被检体T的传送路径；传送部31、32、33，其设置于上述框架部10的一侧而将被检体T沿着上述传送路径传送；光学模块支撑件20，其在上述传送路径的中间设置于上述框架部10的一侧；以及固定设置于上述光学模块支撑件20的照明部40、50和图像传感器部60。
此时，作为一个例子，上述框架部10可以构成为上表面与地面平行的工作台(table)形状，如下面描述，在上述框架部10的上表面中央部可以形成开口，以能够提供沿着上表面的长度方向传送被检体T的传送路径。
另外，上述传送部31、32、33执行沿着框架部10的上表面长度方向(即、传送路径)传送被检体T的功能，而在本实施例中，作为一个例子，上述传送部31、32、33可以构成为包括：传送轴31，其设置于框架部10的上表面中央部且呈螺杆形状；传送板32，其在上表面安装被检体T，且下部表面一侧的配合部32a通过中央的配合孔32b而与上述传送轴31配合；以及传送马达33，其使上述传送轴31旋转。
此时，优选地、在上述传送轴31的两侧端部所配合的上述框架部10的长度方向上的两侧分别设置将传送轴31以能够旋转的方式固定的轴承部件(未图示)。
通过如上所述的构成，在长度方向上与框架部10的上表面开口的中央部配合的传送轴31通过传送马达33旋转而使与上述传送轴31配合的传送板32沿着框架部10的上表面的长度方向(即、传送路径)移动，由此，上述传送部31、32、33使安装于上述传送板32的上表面的被检体T沿着上述传送路径被传送。
在本实施例中，作为一个例子，虽然以通过传送马达33旋转的螺杆方式构成了上述传送部31、32、33，但可以在执行相同的功能的范围内优选利用如传送带等那样的公知的传送机构中的任何一种机构来具体实现上述传送部31、32、33。
另外，为了便于说明，在附图中图示成上述框架部10和传送部31、32、33传送单一的被检体T，但为了提高表面缺陷检查工序的迅速性和作业有效性，上述框架部10和传送部31、32、33更优选构成为将多个被检体T彼此隔开而连续地传送。
另外，上述传送马达33可以由通常的电动马达构成，但是如下面描述，更优选由能够控制马达的旋转角度的步进马达等构成以能够精确地控制被检体T的单位传送距离。
另外，就上述光学模块支撑件20而言，位于两侧的竖直的竖直支撑件(未图示)的上端由水平支撑件(未图示)连接而形成为大致
Figure BDA0002911528140000081
字形，而上述竖直支撑件(未图示)构成为各自的端部固定设置于上述框架部10的上表面的宽度方向的两侧端部。
另一方面，上述图像传感器部60固定于上述光学模块支撑件20的水平支撑件(未图示)的中央部，从而设置于上述传送路径的中间，如上所述，通过这种构成，上述图像传感器部60从沿着传送路径被传送的被检体T的上部对被检体T的表面进行摄像。
此时，上述图像传感器部60可以优选利用如CCD元件那样的摄像元件而具体实现，为了便于图示，在附图中示出上述图像传感器部60形成为圆筒状，但更优选形成为长度在被检体T的宽度方向上长的棒(bar)状，以便在每次摄像时能够对被传送的被检体T的整个宽度方向进行摄像。
另外，如上所述，上述图像传感器部60可以构成为按预定的摄像周期对彼此隔开而连续地被供给的被检体T连续地进行摄像，但根据需要还可以构成为，利用接近传感器(proximity sensor，未图示)等而从作为检查对象的被检体T的一侧端部接近通过图像传感器部60进行摄像的区域时起一直到另一侧端部通过上述进行摄像的区域时为止按上述摄像周期进行摄像。
此时，上述被检体T的表面中的由上述图像传感器部60所摄像的区域即摄像区域IA会根据摄像元件的特性而不同，为了便于说明，在本实施例中，作为一个例子，将在传送路径方向上具有图2中以虚线表示的长度且在框架部10的宽度方向上具有与被检体T的宽度(或传送板的宽度)对应的长度的形成为长方形形状的区域作为上述摄像区域IA而进行说明。
另外，上述照明部40、50构成为包括各自沿互不相同的方向对上述摄像区域IA照射光的多个照明灯，具体地、构成为包括：第一照明模块43，其包括从上述图像传感器部60的前方对上述摄像区域IA照射光的多个照明灯；第二照明模块46，其包括从上述图像传感器部60的后方对上述摄像区域IA照射光的多个照明灯；以及照明控制器50，其按照预定的顺序点亮包括在上述第一照明模块43和第二照明模块46中的多个照明灯。
此时，上述第一照明模块43具有与框架部10的宽度对应的长度且构成为以从上述图像传感器部60的前方朝向上述摄像区域IA方向的方式倾斜的板形状，上述第二照明模块46具有与框架部10的宽度对应的长度且构成为以从上述图像传感器部60的后方朝向上述摄像区域IA方向的方式倾斜的板形状。
这样，就在上述摄像区域IA的前后方向(在附图中为左右方向)上相互对称地构成的上述第一照明模块43和第二照明模块46而言，两侧端部分别通过一对连接板47而相互连接，且各个连接板47分别通过一对支撑板48而固定于上述光学模块支撑件20的竖直支撑件(未图示)，从而设置于上述传送路径的中间。
另外，上述照明控制器50可以设置于上述光学模块支撑件20的一侧，而在本实施例中，作为一个例子，上述照明控制器50构成为固定设置于上述竖直支撑件(未图示)的一侧。
另外，上述第一照明模块43和第二照明模块46构成为各自包括多个照明灯，而在本实施例中，为了便于说明，将上述第一照明模块43和第二照明模块46各自具备2个照明灯的情况作为一个例子进行说明。
即、在上述第一照明模块43的下部表面沿着长度方向(即、框架部的宽度方向)设置有各自在上下方向上彼此隔开的第一照明灯41和第二照明灯42，并在上述第二照明模块46的下部表面沿着长度方向(即、框架部的宽度方向)设置有各自在上下方向上彼此隔开的第三照明灯44和第四照明灯45。
此时，上述第一照明灯至第四照明灯41、42、44、45可以优选以各种类型的光源具体实现，但在本实施例中，作为一个例子，上述各照明灯41、42、44、45构成为由LED光源组成。
另外，由于上述第一照明灯41和第二照明灯42以沿着上下方向彼此隔开的方式配置于形成为倾斜的平板形状的第一照明模块43的下部表面，因此，各个照明灯41、42向上述摄像区域IA照射光的方向与上述图像传感器部60对被检体T的表面(即、摄像区域)进行摄像的方向(即、附图中与传送板的上表面垂直的方向)之间的角度即垂直入射角互不相同。
另外，基于相同的理由，上述垂直入射角在以彼此隔开的方式配置于上述第二照明模块46的下部表面的第三照明灯44和第四照明灯45的情况下也互不相同。
这样，如图7所示，包括在上述第一照明模块43和第二照明模块46中的多个照明灯41、42、44、45各自向上述摄像区域IA照射光的方向互不相同。
另一方面，如先前所说明，设置于上述第一照明模块43的第一照明灯41和第二照明灯42虽然在垂直入射角上存在差异，但在从摄像区域IA的前方照射光这一点上相同，从照明灯41、42的配置构造上讲，上述垂直入射角的差异并不大，因此，在对同一缺陷分别照射第一照明灯41和第二照明灯42的情况下，存在从图像传感器部得到的拍摄影像彼此难以产生大的差异的困难，其结果，尽管相互独立地照射多个照明灯(在本实施例的情况下为2个)而获取拍摄影像，也会存在表面缺陷的检测可靠性却提高不了多少的可能性。
因此，为了改进这一点，在本实施例中，作为上述照明部的另一变形例，将上述第一照明灯41和第二照明灯42如图3所示那样配置成各自向上述摄像区域IA照射光的方向与上述被检体的传送方向之间的角度即水平入射角互不相同，以进一步扩大第一照明灯41和第二照明灯42各自向上述摄像区域IA照射光的方向的差异。
为此，在本实施例的情况下构成为，上述第一照明灯41配置成如附图中以虚线所示那样以被检体的传送方向为基准从左侧向右侧方向照射光，且上述第二照明灯42配置成如附图中以实线所示那样以被检体的传送方向为基准从右侧向左侧方向照射光。
另外，虽然附图中并未示出，但在上述第三照明灯44和第四照明灯45的情况下，也基于与先前说明的第一、第二照明灯41、42相同的理由而以相同的方式构成为上述水平入射角互不相同。
具体地、上述第一照明模块43呈朝向上述摄像区域IA的第一倾斜面和第二倾斜面沿着上述框架部10的宽度方向连续地相互连接的锯齿形状，且构成为包括第一照明灯41和第二照明灯42，其中，上述第一照明灯41由设置于上述图像传感器部60的前方一侧的第一灯连结部件41a以及与上述第一灯连结部件41a的第一倾斜面分别配合的多个LED光源41b构成，上述第二照明灯42由以与上述第一灯连结部件41a相同的构造构成且与上述第一灯连结部件41a隔开而设置于上述图像传感器部60的前方一侧的第二灯连结部件42a以及与上述第二灯连结部件42a的第二倾斜面分别配合的多个LED光源42b构成。
同样地、虽然附图中并未图示，但上述第二照明模块46也呈朝向上述摄像区域IA的第三倾斜面和第四倾斜面沿着上述框架部10的宽度方向连续地相互连接的锯齿形状，且构成为包括第三照明灯(未图示)和第四照明灯(未图示)，其中，上述第三照明灯(未图示)由设置于上述图像传感器部60的后方一侧的第三灯连结部件(未图示)以及与上述第三灯连结部件(未图示)的第三倾斜面分别配合的多个LED光源(未图示)构成，上述第四照明灯(未图示)由以与上述第三灯连结部件(未图示)相同的构造构成且与上述第三灯连结部件(未图示)隔开而设置于上述图像传感器部60的后方一侧的第四灯连结部件(未图示)以及与上述第四灯连结部件(未图示)的第四倾斜面分别配合的多个LED光源(未图示)构成。
此时，如先前所说明，就上述第二照明模块46的构成而言，构成为与上述第一照明模块43在上述摄像区域IA的前后方向(在附图中为左右方向)上相互对称，因此省略对其的附图。
另外，图4中图示了上述照明部的又一变形例，而上述变形例的特征在于，第一照明模块43的第一照明灯41和第二照明灯42以及第二照明模块46的第三照明灯44和第四照明灯45分别与单一的灯连结部件配合。
即、如图4所示，上述第一照明模块43呈朝向上述摄像区域IA的第一倾斜面和第二倾斜面的沿着上述框架部10的宽度方向连续地相互连接的锯齿形状，且构成为包括：第一照明模块侧灯连结部件43a，其设置于上述图像传感器部60的前方一侧；第一照明灯41，其由与上述第一倾斜面分别配合的多个LED光源构成；以及第二照明灯42，其由与上述第二倾斜面分别配合的多个LED光源构成。
同样地、虽然附图中并未图示，但上述第二照明模块46也呈朝向上述摄像区域IA的第三倾斜面和第四倾斜面沿着上述框架部10的宽度方向连续地相互连接的锯齿形状，且构成为包括：第二照明模块侧灯连结部件(未图示)，其设置于上述图像传感器部60的后方一侧；第三照明灯(未图示)，其由与上述第三倾斜面分别配合的多个LED光源构成；以及第四照明灯(未图示)，其由与上述第四倾斜面分别配合的多个LED光源构成。
此时，如先前所说明，就上述第二照明模块46的构成而言，构成为与上述第一照明模块43在上述摄像区域IA的前后方向(在附图中为左右方向)上相互对称，因此省略对其的附图。
如上构成的根据图4的照明部在与先前说明的根据图3的照明部进行比较时，照明部的构造(具体为第一、第二照明模块的宽度)可以变薄，因此具有能够减小装置的整体规模的优点。
如在以上观察的各种变形例中所说明，根据本发明的多个照明灯41、42、44、45由于各自对上述摄像区域IA照射光的方向彼此非常不相同，因此，能够清楚地区分对于具有各种类型、形状、方向的表面缺陷的拍摄影像，由此，能够大为提高对于被检体的各种表面缺陷的检测可靠性。
另一方面，如上构成的根据本发明的利用图像传感器的表面缺陷检查装置如下面描述那样构成为，一边将上述被检体T仅以预定的单位传送距离dL传送一边对上述被检体T的表面进行摄像，从而在每次摄像时摄像区域仅以上述单位传送距离dL变化。
另外，根据本发明的利用图像传感器的表面缺陷检查装置在图像传感器部60进行摄像时，使上述多个照明灯41、42、44、45中的一个照明灯按照预定的顺序被点亮，从而对于彼此连续地被摄像的摄像区域IA各自从互不相同的方向照射光。
此时，上述单位传送距离dL优选设定为小于等于图像传感器部60的摄像区域IA的传送方向长度，以在依次合成每次摄像时得到的摄像影像的情况下能够得到对被检体的整个表面的扫描影像。
在本实施例中，作为一个例子，构成为将相对于被检体T的传送方向的上述摄像区域IA的长度除以包括在上述第一照明模块43和第二照明模块46中的照明灯的数量(在本实施例的情况下为4个)而得到的值确定为上述单位传送距离dL。
因此，在本实施例的情况下，如图7所示，在被检体相对于上述传送方向仅以上述摄像区域IA的长度被传送期间，在每次摄像时第一照明灯至第四照明灯41、42、44、45依次被点亮而重复执行照射上述摄像区域IA的过程。
为了如上所述的工作构成，根据本发明的利用图像传感器的表面缺陷检查装置构成为进一步包括控制部100，该控制部100利用计时器部110而控制上述图像传感器部60、照明控制器50、传送马达33的工作。
此时，上述控制部100使上述图像传感器部60的摄像工作(或摄像周期)和通过传送马达33的被检体T的传送工作(或传送周期)彼此同步而进行工作，以能够一边仅以单位传送距离dL传送被检体T一边对摄像区域IA进行图像拍摄。
另外，上述控制部100控制上述照明控制器50的工作，以使多个照明灯41、42、44、45中的一个照明灯能够按照预定的顺序在图像传感器部60的每一个摄像工作(或摄像周期)向上述摄像区域IA照射光。
另外，若对于被检体T的整个表面的摄像结束，则上述控制部100利用影像合成部120针对上述多个照明灯41、42、44、45各自依次合成相应的照明灯被点亮时得到的摄像影像而获取对于上述被检体T的整个表面的扫描影像，且利用针对上述多个照明灯41、42、44、45各自获取的上述扫描影像并通过缺陷分析部130而判断在上述被检体T的表面是否存在缺陷。
接下来，参照图8对利用上述的根据本发明的利用图像传感器的表面缺陷检查装置而检查被检体T的表面缺陷的方法进行说明。
首先，如上所述，上述控制部100控制传送马达33而将被检体T沿着传送路径仅以预定的单位传送距离dL传送(S10)，如先前所说明，在本实施例的情况下，可以将上述单位传送距离dL设定为相对于被检体T的传送方向的上述摄像区域IA的长度的1/4。
另外，若上述S10步骤结束，则上述控制部100控制照明控制器50而点亮上述多个照明灯中的一个照明灯，从而向上述摄像区域IA照射光(S20)，在该情况下，上述照明控制器50按照预先存储在存储器等中的顺序点亮上述多个照明灯41、42、44、45中的一个照明灯而向上述摄像区域IA照射光。
图7所示，在本实施例中，作为一个例子，在每次摄像时按照第一照明灯41、第二照明灯42、第三照明灯44、第四照明灯45的顺序向上述摄像区域IA照射光。
另外，若上述S30步骤结束，则上述控制部100控制图像传感器部60以对上述被检体T的上部中被光照射的上述摄像区域IA进行摄像而得到摄像影像(S30)。
另外，若上述S30步骤结束，则上述控制部100判断对于被检体T的整个表面的扫描是否已结束(即、摄像是否已结束)(S40)，若上述S40步骤的判断结果是扫描未结束的情况，则重复执行S10步骤以下的步骤。
相反，若上述S40步骤的判断结果是对于被检体T的整个表面的扫描已结束的情况，则上述控制部100利用通过上述S10步骤至S40步骤得到的摄像影像而针对多个照明灯41、42、44、45各自依次合成相应的照明灯被点亮时得到的摄像影像，以获取对于上述被检体T的整个表面的扫描影像(S50)。
此时，对于上述各照明灯的扫描影像可以由影像合成部120制成，实际上在图9的右侧例示地示出了通过根据本发明的利用图像传感器的表面缺陷检查装置及检查方法而针对各个照明灯获取的扫描影像。
另外，若上述S50步骤结束，则上述控制部100通过缺陷分析部130并利用上述扫描影像而判断在被检体T的表面是否存在缺陷(S60)，若是判断为存在缺陷的情况，则将该被检体T当作次品处理(S70)。
相反，若上述S60步骤的判断结果是判断为不存在缺陷的情况，则上述控制部100将该被检体T当作正品处理(S80)。
此时，作为一个例子，上述缺陷分析部130可以将在上述影像合成部120获取的扫描影像与对于针对各个照明灯41、42、44、45预先存储的正品的扫描影像进行比较而判断在被检体T的表面是否存在缺陷。
如以上所说明，根据本发明的利用图像传感器的表面检查装置及检查方法构成为，一边传送被检体一边用图像传感器对被检体的表面进行摄像而获取扫描了被检体的整个表面的扫描影像，且在每次摄像时光照射方向互不相同的多个照明灯中的一个照明灯按照预定的顺序被点亮而向由上述图像传感器所摄像的摄像区域照射光，从而针对多个照明灯各自能够得到相应的照明灯被点亮时的对于上述被检体的整个表面的扫描影像，因此，能够提高具有各种类型、形状、或方向的缺陷的检测准确性。
另外，根据本发明的利用图像传感器的表面检查装置及检查方法构成为，对被检体的整个表面的扫描采用在图像传感器每次摄像时将光照射方向互不相同的多个照明灯中的一个照明灯按照预定的顺序点亮的方式，从而仅凭一次扫描也能够得到针对光照射方向互不相同的多个照明灯各自的上述扫描影像而不同于对多个光源重复执行扫描的现有技术，因此，能够显著地减少如汽车用二次电池那样的需要进行全面检查且面积大的被检体的表面检查所需的时间。

Claims (9)

1.一种利用图像传感器的表面缺陷检查装置，其特征在于，包括：
框架部，其提供将被检体沿着与地面平行的长度方向传送的传送路径；
传送部，其设置于上述框架部的一侧以将上述被检体沿着上述传送路径传送；
图像传感器部，其设置于上述传送路径的中间，以从上述被传送的被检体的上部对被检体的表面进行摄像；
照明部，其设置于上述传送路径的中间且包括多个照明灯，该多个照明灯各自沿互不相同的方向对上述被检体的表面中的由上述图像传感器部所摄像的区域即摄像区域照射光；以及，
控制部，其将上述传送部和图像传感器部的工作控制成一边使上述被检体仅以预定的单位传送距离移动一边对上述被检体的表面进行摄像，从而在每次摄像时摄像区域仅以上述单位传送距离变化，
上述控制部将上述照明部的工作控制成在图像传感器部进行摄像时，使多个照明灯中的一个照明灯按照预定的顺序被点亮，从而对于彼此连续地被摄像的摄像区域各自从互不相同的方向照射光。
2.根据权利要求1所述的利用图像传感器的表面缺陷检查装置，其特征在于，
上述照明部包括：第一照明模块，其设置于上述传送路径的中间且包括从上述图像传感器部的前方对上述摄像区域照射光的多个照明灯；第二照明模块，其设置于上述传送路径的中间且包括从上述图像传感器部的后方对上述摄像区域照射光的多个照明灯；以及照明控制器，其根据上述控制部的控制信号按照预定的顺序点亮包括在上述第一照明模块和第二照明模块中的多个照明灯，
将具备于上述第一照明模块的多个照明灯配置成各自的照射光的方向与上述被检体的传送方向之间的角度即水平入射角互不相同，具备于上述第二照明模块的多个照明灯也配置成各自的上述水平入射角互不相同。
3.根据权利要求2所述的利用图像传感器的表面缺陷检查装置，其特征在于，
上述第一照明模块呈朝向上述摄像区域的第一倾斜面和第二倾斜面沿着上述框架部的宽度方向连续地相互连接的锯齿形状，且包括设置于上述图像传感器部的前方一侧的第一照明模块侧灯连结部件、由与上述第一倾斜面分别配合的多个LED光源构成的第一照明灯以及由与上述第二倾斜面分别配合的多个LED光源构成的第二照明灯，
上述第二照明模块呈朝向上述摄像区域的第三倾斜面和第四倾斜面沿着上述框架部的宽度方向连续地相互连接的锯齿形状，且包括设置于上述图像传感器部的后方一侧的第一照明模块侧灯连结部件、由与上述第三倾斜面分别配合的多个LED光源构成的第三照明灯以及由与上述第四倾斜面分别配合的多个LED光源构成的第四照明灯。
4.根据权利要求1所述的利用图像传感器的表面缺陷检查装置，其特征在于，
上述照明部包括：第一照明模块，其设置于上述传送路径的中间且包括从上述图像传感器部的前方对上述摄像区域照射光的多个照明灯；第二照明模块，其设置于上述传送路径的中间且包括从上述图像传感器部的后方对上述摄像区域照射光的多个照明灯；以及照明控制器，其根据上述控制部的控制信号按照预定的顺序点亮包括在上述第一照明模块和第二照明模块中的多个照明灯，
将具备于上述第一照明模块的多个照明灯配置成各自的照射光的方向与上述图像传感器部对被检体的表面进行摄像的方向之间的角度即垂直入射角互不相同，具备于上述第二照明模块的多个照明灯也配置成各自的上述垂直入射角互不相同。
5.根据权利要求4所述的利用图像传感器的表面缺陷检查装置，其特征在于，
将具备于上述第一照明模块的多个照明灯配置成各自的照射光的方向与上述被检体的传送方向之间的角度即水平入射角互不相同，具备于上述第二照明模块的多个照明灯也配置成各自的上述水平入射角互不相同。
6.根据权利要求5所述的利用图像传感器的表面缺陷检查装置，其特征在于，
上述第一照明模块呈朝向上述摄像区域的第一倾斜面和第二倾斜面沿着上述框架部的宽度方向连续地相互连接的锯齿形状，且包括第一照明灯和第二照明灯，其中，上述第一照明灯由设置于上述图像传感器部的前方一侧的第一灯连结部件以及与上述第一灯连结部件的第一倾斜面分别配合的多个LED光源构成，上述第二照明灯由以与上述第一灯连结部件相同的构造构成且与上述第一灯连结部件隔开而设置于上述图像传感器部的前方一侧的第二灯连结部件以及与上述第二灯连结部件的第二倾斜面分别配合的多个LED光源构成，
上述第二照明模块呈朝向上述摄像区域的第三倾斜面和第四倾斜面沿着上述框架部的宽度方向连续地相互连接的锯齿形状，且包括第三照明灯和第四照明灯，其中，上述第三照明灯由设置于上述图像传感器部的后方一侧的第三灯连结部件以及与上述第三灯连结部件的第三倾斜面分别配合的多个LED光源构成，上述第四照明灯由以与上述第三灯连结部件相同的构造构成且与上述第三灯连结部件隔开而设置于上述图像传感器部的后方一侧的第四灯连结部件以及与上述第四灯连结部件的第四倾斜面分别配合的多个LED光源构成。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的利用图像传感器的表面缺陷检查装置，其特征在于，
将相对于被检体的传送方向的上述摄像区域的长度除以包括在上述第一照明模块和第二照明模块中的照明灯的数量而得到的值确定为上述单位传送距离。
8.根据权利要求7所述的利用图像传感器的表面缺陷检查装置，其特征在于，
上述控制部针对多个照明灯各自依次合成相应的照明灯被点亮时得到的摄像影像而获取对于上述被检体的整个表面的扫描影像，且利用针对上述多个照明灯各自获取的上述扫描影像而判断在上述被检体表面是否存在缺陷。
9.一种利用图像传感器的表面缺陷检查方法，其利用设置于被检体传送路径的中间的图像传感器和多个照明灯，所述利用图像传感器的表面缺陷检查方法的特征在于，包括：
(a)将被检体沿着上述传送路径仅以预定的单位传送距离传送的步骤；
(b)按照预定的顺序点亮上述多个照明灯中的一个照明灯而对上述被检体的表面中的由上述图像传感器所摄像的区域即摄像区域照射光的步骤；
(c)利用上述图像传感器从上述被检体的上部对上述摄像区域进行摄像的步骤；
(d)直到摄像结束为止对上述被检体的整个表面重复执行上述步骤(a)至步骤(c)的步骤；
(e)利用在上述步骤(d)得到的摄像影像而针对多个照明灯各自依次合成相应的照明灯被点亮时得到的摄像影像，以获取扫描了上述被检体的整个表面的扫描影像的步骤；以及，
(f)利用针对上述多个照明灯各自获取的上述扫描影像而判断在上述被检体的表面是否存在缺陷的步骤，
上述多个照明灯构成为各自沿互不相同的方向对上述摄像区域照射光。
CN201980049137.7A 2018-08-01 2019-06-26 利用图像传感器的表面缺陷检查装置及检查方法 Pending CN112469992A (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180089808A KR102112053B1 (ko) 2018-08-01 2018-08-01 이미지 센서를 이용한 표면결함 검사장치 및 검사방법
KR10-2018-0089808 2018-08-01
PCT/KR2019/007703 WO2020027440A1 (ko) 2018-08-01 2019-06-26 이미지 센서를 이용한 표면결함 검사장치 및 검사방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN112469992A true CN112469992A (zh) 2021-03-09

Family

ID=69231979

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201980049137.7A Pending CN112469992A (zh) 2018-08-01 2019-06-26 利用图像传感器的表面缺陷检查装置及检查方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US11892414B2 (zh)
EP (1) EP3832295A4 (zh)
JP (1) JP7277996B2 (zh)
KR (1) KR102112053B1 (zh)
CN (1) CN112469992A (zh)
WO (1) WO2020027440A1 (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113916912A (zh) * 2021-10-18 2022-01-11 南昌工程学院 一种锂电池组故障检测设备
CN115225786A (zh) * 2021-04-21 2022-10-21 株式会社Ap科技 具有工作头模块的摄像模块制造连续式系统

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102021101155A1 (de) * 2021-01-20 2022-07-21 Lippert Gmbh & Co. Kg Verfahren zur optischen Detektion von Fehlern in keramischen Artikeln
KR102555250B1 (ko) * 2021-02-03 2023-07-14 (주)인스케이프 이차전지 외관 검사 장치 및 외관 검사 방법
KR20240015411A (ko) * 2022-07-27 2024-02-05 경북대학교 산학협력단 분말 재료의 비균일 포설 부피 추정 방법 및 장치
US20240155247A1 (en) * 2022-11-04 2024-05-09 UnitX, Inc. Inspection camera controller sequence
CN116106316B (zh) * 2023-01-30 2024-06-18 东莞市腾信精密仪器有限公司 一种不锈钢零件表面缺陷检测装置

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004317470A (ja) * 2003-04-11 2004-11-11 Nippon Electro Sensari Device Kk 透明板欠陥検査装置
CN101046624A (zh) * 2006-03-31 2007-10-03 Hoya株式会社 图案缺陷检查装置、图案缺陷检查方法及光掩模的制造方法
JP2007322166A (ja) * 2006-05-30 2007-12-13 Shirai Denshi Kogyo Kk プリント基板検査装置
JP2009139275A (ja) * 2007-12-07 2009-06-25 Mitsubishi Rayon Co Ltd 欠陥検査方法、欠陥検査装置及びそれに用いるライン状光源装置
WO2010109455A1 (en) * 2009-03-24 2010-09-30 Orbotech Ltd. Multi-modal imaging
JP2012042297A (ja) * 2010-08-18 2012-03-01 Kurabo Ind Ltd 撮像光学検査装置
JP2015064301A (ja) * 2013-09-25 2015-04-09 Ｊｆｅスチール株式会社 表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法
CN105372257A (zh) * 2014-08-19 2016-03-02 东友精细化工有限公司 光学膜检查装置
JP2016192356A (ja) * 2015-03-31 2016-11-10 日亜化学工業株式会社 照明装置
CN106796179A (zh) * 2014-09-05 2017-05-31 株式会社斯库林集团 检查装置以及检查方法
CN107076677A (zh) * 2014-09-29 2017-08-18 株式会社斯库林集团 检查装置以及检查方法

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02231510A (ja) * 1989-03-02 1990-09-13 Omron Tateisi Electron Co 基板検査装置
JP2545379Y2 (ja) * 1990-06-25 1997-08-25 ジューキ株式会社 イセ込み装置付ローディング装置
JP4190636B2 (ja) 1998-11-24 2008-12-03 日本エレクトロセンサリデバイス株式会社 表面検査装置
US6788411B1 (en) * 1999-07-08 2004-09-07 Ppt Vision, Inc. Method and apparatus for adjusting illumination angle
KR100389967B1 (ko) 2000-08-21 2003-07-02 김성남 자동화 결함 검사 장치
KR100470402B1 (ko) 2001-01-15 2005-02-07 (주)포씨스 패널 검사장치 및 패널 검사방법
WO2004044550A2 (en) * 2002-11-08 2004-05-27 Pressco Technology Inc. System and method for associating container defect information to a specific path of manufacturing
JP2004233189A (ja) 2003-01-30 2004-08-19 Fujitsu Ltd 照明装置及び検査装置
JP2005214720A (ja) * 2004-01-28 2005-08-11 Fuji Photo Film Co Ltd 表面検査装置及び方法
JP3867724B2 (ja) * 2004-02-27 2007-01-10 オムロン株式会社 表面状態検査方法およびその方法を用いた表面状態検査装置ならびに基板検査装置
JP4828234B2 (ja) * 2006-01-17 2011-11-30 株式会社サキコーポレーション 被検査体の検査装置
JP2009097977A (ja) * 2007-10-17 2009-05-07 Hitachi Computer Peripherals Co Ltd 外観検査装置
US8077307B2 (en) * 2008-04-09 2011-12-13 Orbotech Ltd. Illumination system for optical inspection
JP5251678B2 (ja) * 2009-03-31 2013-07-31 ソニー株式会社 外観検査用照明装置および外観検査装置
JP5582932B2 (ja) * 2010-09-16 2014-09-03 日東電工株式会社 検査装置、および、配線回路基板の製造方法
US8502967B2 (en) * 2011-02-01 2013-08-06 Cooper S. K. Kuo Apparatus for optical inspection
JP2011099875A (ja) 2011-02-18 2011-05-19 Olympus Corp 外観検査装置
JP5770495B2 (ja) 2011-03-11 2015-08-26 一般社団法人モアレ研究所 形状計測装置および格子投影装置
JP5838330B2 (ja) 2011-05-19 2016-01-06 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 照明器具
JP2013074204A (ja) * 2011-09-28 2013-04-22 Panasonic Corp 部品実装装置、および、三次元形状測定装置
JP5841427B2 (ja) * 2011-12-28 2016-01-13 株式会社キーエンス 画像処理装置及び画像処理方法
JP5863547B2 (ja) 2012-04-20 2016-02-16 ヤマハ発動機株式会社 プリント基板の検査装置
JP2015125069A (ja) 2013-12-26 2015-07-06 リコーエレメックス株式会社 検査装置および検査方法
US9176070B2 (en) * 2014-04-07 2015-11-03 Hseb Dresden Gmbh Inspection assembly
GB2526866A (en) * 2014-06-05 2015-12-09 Univ Bristol Apparatus for and method of inspecting surface topography of a moving object
KR20160121716A (ko) 2015-04-10 2016-10-20 한국교통대학교산학협력단 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치
KR20170033947A (ko) 2015-09-17 2017-03-28 삼성전자주식회사 광원 모듈 및 이를 포함하는 조명 장치

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004317470A (ja) * 2003-04-11 2004-11-11 Nippon Electro Sensari Device Kk 透明板欠陥検査装置
CN101046624A (zh) * 2006-03-31 2007-10-03 Hoya株式会社 图案缺陷检查装置、图案缺陷检查方法及光掩模的制造方法
JP2007322166A (ja) * 2006-05-30 2007-12-13 Shirai Denshi Kogyo Kk プリント基板検査装置
JP2009139275A (ja) * 2007-12-07 2009-06-25 Mitsubishi Rayon Co Ltd 欠陥検査方法、欠陥検査装置及びそれに用いるライン状光源装置
WO2010109455A1 (en) * 2009-03-24 2010-09-30 Orbotech Ltd. Multi-modal imaging
JP2012042297A (ja) * 2010-08-18 2012-03-01 Kurabo Ind Ltd 撮像光学検査装置
JP2015064301A (ja) * 2013-09-25 2015-04-09 Ｊｆｅスチール株式会社 表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法
CN105372257A (zh) * 2014-08-19 2016-03-02 东友精细化工有限公司 光学膜检查装置
CN106796179A (zh) * 2014-09-05 2017-05-31 株式会社斯库林集团 检查装置以及检查方法
CN107076677A (zh) * 2014-09-29 2017-08-18 株式会社斯库林集团 检查装置以及检查方法
JP2016192356A (ja) * 2015-03-31 2016-11-10 日亜化学工業株式会社 照明装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115225786A (zh) * 2021-04-21 2022-10-21 株式会社Ap科技 具有工作头模块的摄像模块制造连续式系统
CN113916912A (zh) * 2021-10-18 2022-01-11 南昌工程学院 一种锂电池组故障检测设备

Also Published As

Publication number Publication date
KR102112053B1 (ko) 2020-05-18
JP7277996B2 (ja) 2023-05-19
KR20200014532A (ko) 2020-02-11
EP3832295A4 (en) 2022-05-04
EP3832295A1 (en) 2021-06-09
JP2021533344A (ja) 2021-12-02
US20210302324A1 (en) 2021-09-30
US11892414B2 (en) 2024-02-06
WO2020027440A1 (ko) 2020-02-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN112469992A (zh) 利用图像传感器的表面缺陷检查装置及检查方法
JP3709426B2 (ja) 表面欠陥検出方法および表面欠陥検出装置
KR101296015B1 (ko) 실리콘 웨이퍼의 결함 검사 장치 및 그 결함 검사 방법
JP2010266284A (ja) 非点灯検査装置
KR20120129547A (ko) 멀티라인센서 카메라와 다중조명을 사용한 시편 고속검사장치
JP2013534312A (ja) ウェハのソーマークの三次元検査のための装置および方法
JP2006329714A (ja) レンズ検査装置
US9255893B2 (en) Apparatus for illuminating substrates in order to image micro cracks, pinholes and inclusions in monocrystalline and polycrystalline substrates and method therefore
CN210269638U (zh) 检测模块及检测机台
KR101714625B1 (ko) 슬릿조명을 구비한 비젼검사시스템 및 비젼검사방법
KR102292463B1 (ko) 이미지 센서를 이용한 표면결함 검사장치 및 검사방법
KR20160121716A (ko) 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치
JP2003075906A (ja) カメラマウント装置、カメラ装置、検査装置、及び複数の１次元ｃｃｄカメラの姿勢および位置の調整方法
KR101555580B1 (ko) 대면적 평면 검사 장치
JP7246938B2 (ja) 検査装置
JPH11248643A (ja) 透明フィルムの異物検査装置
KR20210143648A (ko) 전자 부품의 내부 결함을 검출하기 위한 장치 및 그 방법
KR20110117371A (ko) 패턴 검사 장치
JP2004085204A (ja) 座屈検査装置及び方法
JP2000028535A (ja) 欠陥検査装置
CN112285116B (zh) 一种缺陷检测装置及方法
JP2004132801A (ja) 帯状体の表面欠陥検査装置
KR20110110041A (ko) 광 투과성 직사각형 판상물의 단부면 검사 방법 및 단부면 검사 장치
JP6875243B2 (ja) 板状体の検査装置
KR20090013611A (ko) 실체 현미경을 이용한 렌즈 검사 시스템 및 그 방법

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination