JP4828234B2 - 被検査体の検査装置 - Google Patents
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- 光源から照射され、基板の被撮像面に反射される反射光を検出することにより光学画像を撮像する一次元センサと、
X線源から照射され、前記基板の被撮像面を透過するX線を所定の波長の可視光に変換するシンチレータと、
前記変換された可視光を反射するミラーと、
前記反射された可視光を検出することによりX線画像を撮像する二次元センサと、
前記光学画像および前記X線画像に基づき、前記基板に実装される部品の実装状態を検査する検査部と、を備え、
前記二次元センサは、前記基板の搬送方向に対し略垂直に並設されるとともに互いに撮像領域が異なるように配置される複数のエリアセンサによって構成されることを特徴とする被検査体の検査装置。 - 前記一次元センサ、前記複数のエリアセンサ、前記シンチレータ、および前記ミラーは、前記基板の一方の面側に配置されることを特徴とする請求項1に記載の被検査体の検査装置。
- 前記一次元センサおよび前記二次元センサは、前記光学画像および前記X線画像のうちの一方の撮像を行った後に他方の撮像を行うことを特徴とする請求項1または2に記載の被検査体の検査装置。
- 前記二次元センサは、前記一次元センサが前記光学画像の撮像を行う間に前記X線画像の撮像を行うことを特徴とする請求項1または2に記載の被検査体の検査装置。
- 前記一次元センサおよび前記二次元センサは、前記光学画像および前記X線画像の撮像を撮像単位毎に交互に行うことを特徴とする請求項1または2に記載の被検査体の検査装置。
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