JP4560514B2 - 部品装着精度の検査方法及び検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、部品保持部材で保持した部品を基板に装着する部品装着における部品装着精度の検査方法及び検査装置に関する。

従来、この種の部品装着精度の検出方法や検出装置は様々なものが知られている。例えば、電子部品装着装置において取り扱われる電子部品よりも高い寸法公差にて製作された検査用の治具部品を、当該電子部品装着装置において、部品吸着ノズルにより基板上へ装着し、この基板上における上記治具部品の装着位置の位置ズレ量を検出することで、当該電子部品装着装置における部品装着精度の検出を行なうという方法が行なわれている（例えば、特許文献１参照）。

このような検査方法においては、例えば、高い寸法公差にて形成され、かつ、その表面が真っ黒に塗装された治具部品を、白色若しくは黄色の合成樹脂基板における部品装着位置に装着した後、その治具部品の上方より光を照射することで、上記基板表面より反射される反射光により形成される上記治具部品の輪郭の画像を撮像し、当該画像データを認識処理することで、上記装着位置の位置ズレ量の検出が行なわれている。

より具体的には、上記基板に装着された状態の上記治具部品の上方より光が照射されると、上記治具部品は真っ黒に塗装されていることにより、当該治具部品の表面（上面）からは上記照射された光が反射されることはなく（あるいは、その反射量が著しく低減されており）、一方、上記基板表面は白色若しくは黄色とされていることにより、当該基板表面からは上記照射された光が反射される（あるいは、その反射量が上記治具部品表面よりも大きくされている）こととなる。従って、上記基板表面からのみ反射される反射光（あるいは、上記基板表面からの反射光と、上記治具部品の表面からの反射光との反射光量差）により、上記治具部品の輪郭の画像が形成されることとなる。

当該輪郭の画像を撮像し、この画像データを認識処理することで、上記治具部品の輪郭を用いてその装着位置を認識することができ、さらに認識された装着位置を予め定められた基準装着位置データと比較することで、その位置ズレ量を検出することができる。併せて、上記治具部品は、上記電子部品よりも高い寸法公差で形成されていることにより、当該位置ズレ量は、上記電子部品装着装置の装着位置精度に起因して生じたものと推測することができ、当該電子部品装着装置における装着位置精度を検出することができる。

特許第３０１５１４４号公報

近年、電子部品の小型化・微小化が益々進んでおり、部品装着のための最低限必要な剛性を確保しつつ小型化が図られた吸着ノズルの先端部分よりも、装着される電子部品の方が小さくなるような場合も生じている。このような小型化された電子部品としては、例えば、通称０６０３チップ（０．６ｍｍ×０．３ｍｍの矩形部品）等が該当する。

このような小型化された電子部品が取り扱われる電子部品装着装置においては、その部品装着精度の検出のために、当該小型化された電子部品と同じ大きさを有する治具部品が用いられることとなるが、当該治具部品を吸着ノズルで吸着保持し、その吸着保持姿勢の補正のために、上記吸着ノズルの下方から光を照射しても、当該吸着ノズルの先端部分よりも上記治具部品の方が小さいため、上記照射された光により上記治具部品の輪郭の画像は上記吸着ノズルの上方では取得することができない。さらに、上記治具部品の表面は、光の反射を抑制するために真っ黒に塗装されているため、上記照射された光が上記治具部品の表面にて反射させて、その反射光により形成される上記治具部品の画像を取得することもできない。従って、上記治具部品を上記吸着ノズルにて吸着保持した際に生じる保持姿勢の位置ズレを、その保持姿勢の画像を取得して補正を行なうことができず、本来ならば補正動作にて解消されるべき位置ズレ量が、そのまま、上記治具部品の装着位置の位置ズレ量に加算されてしまい、上記小型化された電子部品の装着を行なうような電子部品装着装置における正確な部品装着位置精度の検出を行なうことができないという問題がある。

また、このような治具部品を用いることなく、実際の電子部品を用いて、吸着ノズルにより吸着保持された姿勢を認識することで、部品装着精度の検出が行なわれるような場合がある。このような場合においては、装着ヘッドにおいて、吸着ノズルによる電子部品の吸着保持姿勢を認識するための光を反射するいわゆるリフレクタが備えられる。このリフレクタは、吸着ノズルに沿って上方に向けて照射される光を下方に向けて反射する反射面を有し、例えば上記反射面が赤色にて形成されることで、赤色の光が照射された場合には上記反射面で当該赤色の光を反射し、赤色の補色である緑色の光が照射された場合には、上記反射面にて当該緑色の光を吸収する（すなわち、実質的に反射しない）という機能を有している。このような機能を有していることで、上記赤色の光がリフレクタで反射されることを利用して、吸着ノズルの下方に配置された部品カメラでもって、吸着ノズルにより吸着保持された電子部品の輪郭の画像を取得することと、上記緑色の光がリフレクタで吸収されることを利用して、吸着保持された電子部品の表面よりの反射光により形成される画像を取得することを選択的に行なうことができる。

しかしながら、このようなリフレクタを用いた手法であっても、やはり吸着ノズルの先端部分と電子部品との大きさの関係による撮像手法の選択の制約を受けることとなる。すなわち、吸着ノズルの先端部分よりも電子部品の方が小さい場合には、上記赤色の光を用いた電子部品の輪郭の画像を取得することができないという問題がある。

さらに、このようなリフレクタを有する構成では、上述のような赤色及び緑色の光を照射可能な特殊な光源を電子部品装着装置に備えさせる必要があるものの、電子部品装着装置毎に装備される光源の種類も様々であり、設備構成の点からもこのような特殊な光源の装備が要求される画像取得の手法に対応することが困難となる場合があるという問題がある。

また、上述の治具部品を用いる場合においては、上記治具部品が装着された状態の上記基板表面にその上方より光が照射されることとなるが、上記電子部品が小型化されていることにより、当該電子部品に対して鉛直上方からだけでなく、斜め方向からも光が照射されることとなる。このような場合にあっては、上記基板表面に上記治具部品の影が形成されるような場合も生じ、このような場合にあっては、取得される上記治具部品の輪郭の画像において、当該治具部品の輪郭がぼやけてしまう場合があり、正確な部品装着位置を検出することができない場合があり得るという問題がある。特にこのような微小化されたチップ部品の装着が行なわれる電子部品実装装置における部品装着精度の検出においては、上記治具部品の輪郭認識が重要となるため、上記輪郭のぼやけの発生は大きな問題となる。

従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、部品保持部材で保持した部品を基板に装着する部品装着における部品装着精度の検査において、高精度な部品装着精度を検出することができる部品装着精度の検査方法及び検査装置を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。

本発明の第１態様によれば、部品保持部材で保持した部品を基板に装着する部品装着における部品装着精度の検査方法であって、
略直方体を有し、一面を非反射面、当該一面と対向した面を反射面として有する検査用部品を用いて、上記部品保持部材により上記非反射面が保持された状態の上記検査用部品の上記反射面に光を照射するとともに、当該光照射により得られる反射光により形成される上記検査用部品の実像を撮像し、
上記撮像された上記実像の画像データの認識処理を行なうことで、上記部品保持部材による上記検査用部品の保持姿勢を認識し、
光透過性材料により形成され、かつ、その部品装着側表面と対向する表面に当該部品装着側表面に向けて配置された反射面を備える検査用基板の上記部品装着側表面における部品装着位置に対して、上記検査用部品の上記反射面が配置されるように、当該認識された保持姿勢と基準保持姿勢との間の姿勢ズレを補正しながら、上記部品保持部材により当該検査用部品を装着し、
上記検査用基板の部品装着側表面に光を照射するとともに、当該照射された光を、当該部品装着側表面を透過させて上記反射面にて反射させ、上記部品装着側表面を通して上記検査用部品の周囲より出射される反射光により形成される上記検査用部品の輪郭の画像を撮像し、
上記撮像された上記輪郭の画像データの認識処理を行なうことで、上記検査用部品の実際の装着位置を算出して、上記実際の装着位置と予め定められた上記部品装着位置との差を算出することで部品装着精度を求める部品装着精度の検査方法を提供する。

本発明の第２態様によれば、上記光透過性材料は、ガラス材料である第１態様に記載の部品装着精度の検査方法を提供する。

本発明の第３態様によれば、上記検査用基板の上記反射面は、上記照射された光を鏡面反射させる鏡面反射面であって、
上記検査用基板は、上記部品装着側表面と上記鏡面反射面との間に配置され、上記鏡面反射された光を拡散させる拡散層を有する第１態様に記載の部品装着精度の検査方法を提供する。

本発明の第４態様によれば、上記検査用基板の上記反射面は、上記照射された光を拡散反射させる拡散反射面である第１態様に記載の部品装着精度の検査方法を提供する。

本発明の第５態様によれば、上記拡散反射面は、上記検査用基板の対向する表面に拡散反射シートを貼着することで形成される第４態様に記載の部品装着精度の検査方法を提供する。

本発明の第６態様によれば、部品保持部材で保持した部品を基板に装着する部品装着における部品装着精度の検査方法であって、
光透過性材料により形成され、かつ、部品装着側表面と対向する表面に当該部品装着側表面に向けて配置された反射面を備える検査用基板における上記部品装着側表面の部品装着位置に、上記部品保持部材により上記部品を装着し、
上記検査用基板の上記部品装着側表面に光を照射するとともに、当該光を当該部品装着側表面を透過させて上記反射面にて反射し、上記部品装着側表面を通して上記部品周囲より出射された反射光により形成される上記部品の輪郭の画像を撮像し、
当該撮像により取得された上記輪郭の画像データの認識処理を行なうことで、上記部品の実際の装着位置を算出して、上記実際の装着位置と予め定められた上記部品装着位置との差を算出することで部品装着精度を求める部品装着精度の検査方法を提供する。

本発明の第７態様によれば、部品保持部材で保持した部品を基板に装着する部品装着装置における部品装着精度の検査装置であって、
上記基板に代えて上記部品装着装置に保持され、光透過性材料により形成され、かつ、その部品装着側表面と対向する表面に当該部品装着側表面に向けて配置された反射面を備える検査用基板と、
上記部品に代えて上記部品装着装置に供給され、一面を非反射面としかつ当該一面と対向する面を反射面とする略直方体をなし、その被保持面を上記非反射面として上記部品保持部材により保持され、上記反射面が上記検査用基板の上記部品装着側表面と対向するように上記検査用基板に装着される検査用部品と、
上記部品保持部材によりその上記非反射面が保持された状態の上記検査用部品の上記反射面に光を照射するとともに、当該光照射により得られる反射光にて形成される上記検査用部品の実像を撮像する部品撮像装置と、
その部品装着位置に上記検査用部品が装着された上記検査用基板における部品装着側表面に光を照射するとともに、当該照射された光を、当該部品装着側表面を透過させて上記反射面にて反射させ、上記部品装着側表面を通して上記検査用部品の周囲より出射される反射光により形成される上記検査用部品の輪郭の画像を撮像する基板撮像装置と、
上記保持された状態の上記検査用部品の実像の画像データを認識処理することで、上記部品保持部材による上記検査用部品の保持姿勢を認識し、当該認識された保持姿勢と基準保持姿勢との姿勢ズレを補正可能とする保持姿勢認識部と、
上記装着された状態の上記検査用部品の輪郭の画像データを認識処理することで、上記検査用部品の実際の装着位置を認識する装着位置認識部と、
上記装着位置認識部により認識された上記実際の装着位置と、予め定められた上記検査用部品の装着位置との差を算出することで上記部品装着精度を演算する装着精度演算部とを備える部品装着精度の検査装置を提供する。

本発明の第８態様によれば、上記光透過性材料は、ガラス材料である第７態様に記載の部品装着精度の検査装置を提供する。

本発明の第９態様によれば、上記検査用基板の上記反射面は、上記照射された光を鏡面反射させる鏡面反射面であって、
上記検査用基板は、上記鏡面反射された光を拡散させる拡散層を有する第７態様又は第８態様に記載の部品装着精度の検査装置を提供する。

本発明の第１０態様によれば、上記検査用基板の上記反射面は、上記照射された光を拡散反射させる拡散反射面である第７態様又は第８態様に記載の部品装着精度の検査装置を提供する。

本発明の第１１態様によれば、部品保持部材で保持した部品を基板に装着する部品装着装置における部品装着精度の検査装置であって、
上記基板に代えて上記部品装着装置に保持され、光透過性材料により形成され、かつ、その部品装着側表面と対向する表面において当該部品装着側表面に向けて配置された反射面を備える検査用基板と、
その部品装着位置に上記部品が装着された上記検査用基板における部品装着側表面に光を照射するとともに、当該照射された光を、当該部品装着側表面を透過させて上記反射面にて反射させ、上記部品装着側表面を通して上記部品の周囲より出射される反射光により形成される上記部品の輪郭の画像を撮像する基板撮像装置と、
上記装着された状態の上記部品の輪郭の画像データを認識処理することで、上記部品の実際の装着位置を認識する装着位置認識部と、
上記装着位置認識部により認識された上記実際の装着位置と、予め定められた上記部品の装着位置との差を算出することで上記部品装着精度を演算する装着精度演算部とを備える部品装着精度の検査装置を提供する。

本発明の上記第１態様によれば、部品装着精度の検査方法において、上記部品保持部材で保持された上記検査用部品の保持姿勢を認識する際に、光照射により得られる上記検査用部品の輪郭の画像を撮像するのではなく、上記光照射により得られる反射光により形成される上記検査用部品の実像の撮像を行なっていることにより、上記部品保持部材の先端部分の形状や大きさに影響されることなく、確実に上記検査用部品の保持姿勢の画像を取得することができる。特に、上記検査用部品の大きさが、上記部品保持部材の先端部分よりも小さいような小型化されたものであるような場合にあっては、上述の輪郭の画像を撮像することは困難であるが、上記反射光により形成される実像取得は可能であるため、上記検査方法がより効果的なものとなる。

また、このようにして撮像された画像に基づき、上記検査用部品の保持姿勢を認識するとともに、当該認識結果に基づいて、その姿勢ズレを補正しながら基板に装着することで、上記姿勢ズレが上記検査用部品の装着位置ズレに与える影響を低減することができる。従って、その後、上記基板に対して光を照射し、当該光照射により得られた上記基板における上記検査用部品周囲の反射光により形成される上記検査用部品の輪郭の画像を撮像し、認識処理することで、装着位置ズレ量を算出し、この算出された装着位置ズレ量を部品装着精度として検出することができる。すなわち、上記装着位置ズレ量には、上記保持姿勢の姿勢ズレが含まれていないため、そのまま上記部品装着精度として高精度な算出を行なうことができる。

また、一面を非反射面、これと対向する面を反射面とした上記検査用部品が用いられることにより、上記部品保持部材により上記非反射面を保持した状態で上記検査用部品の保持姿勢の画像の撮像を行なう場合に、上記反射面にて上記照射された光をより効率的に反射して明確な画像取得を実現することができる。さらに、この保持状態のままにて上記基板への上記検査用部品の装着を行ない、上記基板の部品装着側表面に上記検査用部品の上記反射面が対向するように配置させた状態とすることで、上記部品装着側表面に向けて照射された光を上記検査用部品の表面では反射させずに吸収することができ、当該検査用部品の輪郭の画像をより明確に取得することができる。従って、より高精度な部品装着精度の検査を実現することができる。

さらに、光透過性材料で形成され、かつ、上記部品装着側表面と対向する表面に、当該部品装着側表面に向けて配置された反射面を備えさせた検査用基板が用いられることで、上記部品装着側表面を透過して上記反射面にて反射された反射光により形成される上記検査用部品の輪郭の画像取得を行なうことができる。従来のように、上記部品装着側表面にて反射された反射光により形成される上記輪郭の画像取得を行なうような場合にあっては、上記光の照射方向の微妙な傾き等により、上記部品装着側表面に上記検査用部品の影が形成され、上記輪郭の画像における上記検査用部品の輪郭がぼやけるような場合もあったが、本態様のように上記部品装着側表面とは異なる表面に上記反射面が形成されていることで、当該反射面にて反射された反射光を上記検査用基板の内部に略均一に行き渡らせる、すなわち上記部品装着側表面に略均一に行き渡らせることができる。従って、上記部品装着側表面へと行き渡らせられた反射光を、上記検査用部品が装着されている部分においては、その装着表面の輪郭形状に応じて明瞭に遮断することができ、上記輪郭の画像における上記検査用部品の輪郭をぼやけさせることなく、明確な画像取得を行なうことができる。

本発明の上記第２態様によれば、上記光透過性材料として、ガラス材料を用いることで、上記検査用基板の構造的強度を高めることができ、そのたわみ量を低減することができる。従って、たわみに起因する位置ズレの発生を低減することができ、高精度な検査を実現することができる。

本発明の上記第３態様によれば、上記検査用基板が、上記反射面としての鏡面反射面と、上記部品装着側表面と当該鏡面反射面との間に配置された拡散層とを備えることで、上記部品装着側表面を通して上記鏡面反射面に照射された光を、当該鏡面反射面にて反射させることができるとともに、当該反射光を上記拡散層を通過させる際に拡散させることができ、上記検査用基板の内部にて拡散させる光の量を適正化することができる。また、上記検査用基板の厚さの範囲内にて、拡散に要する光路長に合わせて上記拡散層の厚さを設定することができるため、上記反射光を所望の拡散量にて拡散させることができ、当該検査用基板内においてより均一な面光源を形成することができる。

本発明の上記第４態様によれば、上記検査用基板が、上記反射面として拡散反射面を備えることにより、上記部品装着側表面を通して上記拡散反射面に照射された光を、当該拡散反射面にて反射させるとともにその反射光を拡散させることができ、上記検査用基板の内部にて当該反射光の拡散を確実に行うことができる。また、このような上記拡散反射面が用いられるような場合にあっては、上記検査用基板の内部において当該拡散反射面以外の部分では積極的な光の拡散が行われないようにすることができるため、当該拡散反射面に到達する（すなわち拡散反射される）光の量をより多くすることができ、その結果、上記拡散反射光の光量も多くすることができる。

本発明の上記第５態様によれば、上記拡散反射面は、拡散反射シートを貼着することで形成することができる。

本発明の上記第６態様によれば、実際の上記部品を、上記検査用基板上に装着するような場合であっても、明瞭な画像取得を行なうことができ、高精度な検査を実現することができる。

本発明の上記第７態様によれば、上記検査用部品、上記検査用基板、部品撮像装置、基板撮像装置、保持姿勢認識部、装着位置認識部、及び装着精度演算部により部品装着精度検査装置を構成することで、上記第１態様と同様な効果を得ることができる検査方法を実現可能な部品装着精度検査装置を提供することができる。

（実施形態）
本発明の記述を続ける前に、添付図面において同じ部品については同じ参照符号を付している。

以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。

本発明の第１の実施形態にかかる部品装着精度の検査が施される部品装着装置の一例である電子部品装着装置１０１の外観を示す斜視図を図１に示す。

図１に示すように、電子部品装着装置１０１は、供給された部品の一例である複数の電子部品を、基板上における部品装着位置に装着する部品装着動作を行なうための装置である。電子部品装着装置１０１は、複数の電子部品を取り出し可能に収容するとともに、当該収容された夫々の電子部品の供給を行なう部品供給部１１と、電子部品の吸着保持／保持解除を行なう部品保持部材の一例である複数の吸着ノズルを備えるノズルユニットをさらに複数備える主軸装置１２と、夫々の電子部品が装着される基板の保持を行なうとともに、当該保持された基板を主軸装置１２の夫々の吸着ノズルに対して、当該基板の大略表面沿いの方向である図示Ｘ軸方向又はＹ軸方向に移動させるＸＹテーブル１３と、電子部品供給装置１０１に対して供給される基板を搬送してＸＹテーブル１３上に供給するとともに、ＸＹテーブル１３上にて電子部品の装着が行なわれた上記基板を搬送して、電子部品供給装置１０１から排出する基板搬送装置１４とを備えている。

また、電子部品装着装置１０１における電子部品の装着動作を説明するための部分拡大模式平面図を図２に示す。図２に示すように、主軸装置１２は、複数のノズルユニット２１として、同じ形状及び機能を有する合計１６台のノズルユニット２１を備えており、夫々のノズルユニット２１は、同じ円周上に均等な間隔ピッチでもって配列されている。また、夫々のノズルユニット２１には、６本の吸着ノズル２２が備えられており、夫々の吸着ノズル２２は、ノズルユニット２１の中心周りに均等な間隔ピッチにて配列されている。

ここで、主軸装置１２の模式断面図を図３に示し、図３に基づいて、主軸装置１２の詳細な構造について説明する。図３に示すように、主軸装置１２は、夫々のノズルユニット２１の配列円の中心に配置された回転軸Ｓ周りに夫々のノズルユニット２１を公転させる回転駆動装置を備えており、上記回転駆動装置は、回転軸Ｓがその軸心と合致するように配置された回転軸３２と、この回転軸３２の図示下端においてフランジ４４を介して固定された回転テーブル４３とを備えている。なお、図３においては図示しないが、回転軸Ｓはその図示上方において、駆動モータ等を有する回転駆動部に連結され、その回転駆動が可能となっている。

また、図３に示すように、回転テーブル４３の外周面には、夫々のノズルユニット２１が、上下方向に配置されたガイド３５（例えば、ＬＭレールとＬＭブロック等により構成される）を介して昇降可能に支持されている。さらに、回転軸３２の外周には、この回転軸３２をその内部において回転可能に配置させて支持する円筒カム部３１を配置されている。この円筒カム部３１は、回転軸３２の回転駆動に拘らず、回転軸Ｓ周りに回転駆動されないように、電子部品装着装置１０１の剛体フレーム等に固定されている。また、夫々のノズルユニット２１のガイド３５の上端にはカムフォロア部３４が固定されており、さらに、円筒カム部３１の外周面には、夫々のカムフォロア部３４と係合されるスライダ部３３が固定されている。また、スライダ部３３と夫々のカムフォロア部３４との係合部分は、夫々のノズルユニット２１の公転方向に沿って形成された案内溝部３３ａとなっており、この案内溝部３３ａに沿って、上記係合された夫々のカムフォロア部３４が摺動可能となっている。さらに、この案内溝部３３ａは、その形成方向に沿ってその高さ位置が可変されて形成されている。これにより、夫々のノズルユニット２１が公転されると、夫々のカムフォロア部３４が案内溝部３３ａに沿って摺動されることとなるが、その摺動の際に、夫々の係合位置が、案内溝部３３ａの形成高さ位置に応じて可変されることとなり、その結果として、ガイド３５を介して夫々のノズルユニット２１の昇降動作が行なわれることとなる。

また、図３に示すように、夫々のノズルユニット２１においては、夫々の吸着ノズル２２の公転を駆動するθ回転モータ３６と、θ回転モータ３６に連結された減速機３７と、上記回転駆動が伝達可能にこの減速機３７に連結されるとともに、夫々の吸着ノズル２２をケーシング４１を介して支持するシャフト３８とを備えている。さらに、夫々のノズルユニット２１は、各々の吸着ノズル２２の昇降動作を個別に行なうための機構として、バルブ３９及びフック４０を備えており、さらにリフレクタ４２を備えている。

また、図２に示すように、主軸装置１２においては、上記回転駆動部により回転軸３２及び回転テーブル４３を介して、夫々のノズルユニット２１を、所定の回転角度ピッチでもって間欠的に回転駆動させることが可能となっている。例えば、主軸装置１２において、合計１６台のノズルユニット２１を図示時計方向に上記所定の回転角度ピッチとして２２．５度の角度ピッチにて間欠的に回転駆動させることができる。また、この回転駆動により、夫々のノズルユニット２１は、その配列円周上を上記回転角度ピッチでもって移動され、上記配列円周上における様々な位置に位置されることとなる。ここで、上記配列円周における図示上端位置を角度座標０度として図示時計方向に角度座標を取ると、夫々のノズルユニット２１は、上記夫々の位置として、電子部品の吸着位置Ａ（角度座標０度）、吸着保持された電子部品の厚み検出が行なわれる部品厚み検出位置Ｂ（角度座標６７．５度）、吸着保持された電子部品の画像が撮像され、当該画像に基づいて電子部品の吸着保持姿勢が認識される部品認識位置Ｃ（角度座標９０度）、上記認識結果に基づき、ノズルユニット２１の回転により上記吸着保持姿勢の補正が行なわれる回転補正位置Ｄ（角度座標１１２．５度〜１５７．５度）、基板への電子部品の装着が行なわれる部品装着位置Ｅ（角度座標１８０度）、ノズルユニット２１が備える吸着ノズル２２の選択が行なわれる吸着ノズル選択位置Ｆ（角度座標２０２．５度〜２２５度）、基板に装着されなかった不良部品の排出が行なわれる不良部品排出位置Ｇ（角度座標２４７．５度）、ノズルユニット２１が上昇されることで、夫々の吸着ノズル２２が上方に戻される吸着ノズル戻し位置Ｈ（角度座標２７０度）、さらに、ノズルユニット２１が下降されることで、上記戻された状態にある夫々の吸着ノズル２２を下方に位置させる吸着ノズル出し位置Ｉ（角度座標３１５度）の夫々の位置に順次位置されるように回転駆動される。なお、吸着ノズル出し位置Ｉに位置された後は、上記回転駆動により、再び吸着位置Ａに位置されることとなる。

また、図２に示すように、主軸装置１２の図示上方側には、部品供給部１１が配置されており、この部品供給部１１には、多数の電子部品を部品収容テープ内に取り出し可能に収容する複数のパーツフィーダ１１ａが、図示Ｘ軸方向に整列配置されて備えられている。さらに、部品供給部１１には、夫々のパーツフィーダ１１ａを図示Ｘ軸方向に沿って進退移動させることで、所望のパーツフィーダ１１ａを主軸装置１２における吸着位置Ａの下方に位置させて、当該パーツフィーダ１１ａより収容された電子部品を取り出し可能とさせるフィーダ移動部１１ｂが備えられている。

また、図２に示すように、主軸装置１２における装着位置Ｅの下方には、ＸＹテーブル１３が配置されており、ＸＹテーブル１３の基板保持テーブル１３ａに保持された基板３に対して、当該位置に位置されたノズルユニット２１により、夫々の電子部品１を装着することが可能とされている。また、このＸＹテーブル１３には、基板保持テーブル１３ａを図示Ｘ軸方向に進退移動させるＸ軸駆動部１３ｂと、基板保持テーブル１３ａを図示Ｙ軸方向に進退移動させるＹ軸駆動部１３ｃとが備えられている。

また、図２に示すように、主軸装置１２における部品厚み検出位置Ｂには、部品厚み検出センサ２３が備えられており、また、部品認識位置Ｃの下方には、その上方に配置された夫々の吸着ノズル２２により吸着保持された電子部品１の吸着保持姿勢の画像を、撮像する部品認識カメラ２４が備えられている。さらに、ＸＹテーブル１３の上方には、基板３に装着された電子部品１の画像を、その上方から撮像する基板認識カメラ２５が備えられている。この基板認識カメラ２５により撮像された画像に基づいて、電子部品１の基板３への装着位置の位置ズレ量の検出（認識）が行なわれる。

また、この電子部品装着装置１０１は、夫々の構成部の動作制御を互いに関連付けながら統括的な制御として行なう制御装置５０を備えている。ここで、この制御装置５０の主要な構成を示す制御ブロック図を図４に示す。図４に示すように、制御装置５０は、メインコントローラ６５により制御される。メインコントローラ６５は、ＲＡＭ６９、ＲＯＭ７０、ＣＰＵ７１、Ｉ／Ｏ７２を有しており、システムバス６１を介して、シーケンスコントローラ５９、ＮＣコントローラ６０、画像処理コントローラ６２、及びインターフェースコントローラ６６と接続されている。

インターフェースコントローラ６６は、制御装置５０の外部との間での情報の受渡しに関する制御を行なうコントローラであり、オペレータとの間で情報の受渡しを行なうモニターテレビ６７及び入力装置６８が接続されている。また、ＮＣコントローラ６０は、電子部品装着装置１０１における夫々の駆動部の駆動動作に関する制御を行なうコントローラであり、このＮＣコントローラ６０には、夫々のサーボアンプ５５、５６、５７、５８を介して、電子部品装着装置１０１における各駆動部のモータが接続されている。例えば、ＮＣコントローラ６０には、サーボアンプ５５を介して、Ｘ軸駆動部１３ｂの駆動を行なうＸ軸サーボモータ５１が接続されており、また、サーボアンプ５６を介して、Ｙ軸駆動部１３ｃの駆動を行なうＹ軸サーボモータ５２が接続されている。さらに、ＮＣコントローラ６０には、サーボアンプ５７を介して、主軸装置１２における上記回転駆動部の駆動を行なう主軸サーボモータ５３が接続されており、また、サーボアンプ５８を介して、その他の駆動部における駆動を担う駆動サーボモータ５４が接続されている。

また、画像処理コントローラ６２は、部品認識カメラ２４や基板認識カメラ２５にて撮像された画像の認識処理に関する制御を行なうコントローラであり、この画像処理コントローラ６２には、部品認識カメラ２４にて撮像された画像の認識処理を行なうことで、吸着ノズル２２による電子部品１の吸着保持姿勢の認識処理が行なわれる保持姿勢認識部６３と、基板認識カメラ２５にて撮像された画像の認識処理を行なうことで、基板３への電子部品１の装着位置の認識処理が行なわれる装着位置認識部６４とが接続されている。

保持姿勢認識部６３では、上記認識処理が行なわれた電子部品１の吸着保持姿勢と、予め設定されている基準保持姿勢とを照合比較することで、両者間の姿勢ズレ量を算出して、当該姿勢ズレ量を補正量として出力することが可能となっている。このように出力された補正量を用いて、ＮＣコントローラ６０にて、吸着ノズル２２あるいはノズルユニット２１の回転駆動を行なうことで、上記姿勢ズレ量を補正することが可能となっている。

さらに、画像処理コントローラ６２には、装着位置認識部６４にて認識された電子部品１の実際の装着位置を、予め設定されている電子部品１の設計上の装着位置と照合することで、両者間の位置ズレ量を算出し、当該算出された位置ズレ量を部品装着精度として演算して算出する装着精度演算部７３が備えられている。なお、この装着精度演算部７３にて算出された装着精度の情報は、システムバス６１を介してインターフェースコントローラ６６に入力されて、モニターテレビ６７を介して制御装置５０の外部に出力することが可能となっている。

また、電子部品装着装置１０１は、装着精度検査装置（あるいは装着誤差検出装置というような場合であってもよい）を備えている。この装着精度検査装置は、図５Ａ及び図５Ｂに示す検査用部品の一例である検査用の治具部品５と、図７に示す検査用基板の一例である検査用の治具基板７とが準備して備えられるとともに、図２に示す部品認識カメラ２４及び基板認識カメラ２５と、図４に示す制御装置５０の中の画像処置コントローラ６２、保持姿勢認識部６３、装着位置認識部６４、及び装着精度演算部７３とにより構成されている。この装着精度検査装置におけるそのハードウエア部分の構成は、実質的に電子部品装着装置により構成されており、動作プログラムと、治具部品５及び治具基板７を準備することで、装着精度検査装置を構成することができる。

ここで、この装着精度検査装置において用いられる治具部品５について説明する。図５Ａ及び図５Ｂに示すように、治具部品５は、電子部品装着装置１０１にて取り扱われる電子部品１と同じ形状、例えば略直方体形状を有しており、さらに電子部品１よりも高い寸法公差にて形成されている。なお、図５Ａは、治具部品５における一の面を上面として配置させた場合の模式斜視図であり、図５Ｂは、治具部品５における上記一の面に対向する面を上面として配置（すなわち、図５Ａの治具部品５を裏返して配置）させた場合の模式斜視図である。

図５Ａに示すように、治具部品５における上記一の面（すなわち、図５Ａにおける上面）は、照射された光が反射され難くなるように、黒色の表面とされた非反射面５ａとされている。また、図５Ｂに示すように、治具部品５における上記一の面に対向する側の表面（すなわち、図５Ｂにおける上面）は、逆に照射された光を有効に反射することができるように、白色の表面とされた反射面５ｂとされている。ここで、本明細書において、「反射面」とは、光が当該面に照射された場合に、当該光を反射し、画像認識（あるいは画像撮像）において当該面が比較的明るく撮像されるような面のことである。また、「非反射面」とは、光が当該面に照射された場合に、当該光を吸収し、画像認識において当該面が比較的暗く撮像されるような面のことである。なお、図５Ａ及び図５Ｂに示すように、治具部品５の非反射面５ａ及び反射面５ｂ以外の表面である図示それぞれの側面は、白色の表面とされている。このような治具部品５は、例えば、治具部品５本体を、白色アルミナや白色樹脂等の白色材料にて形成した後、上記一の面を黒色樹脂あるいは黒色ガラス材料等を塗布することで非反射面５ａを形成し、上記一の面と対向する側の表面を、素材色を用いるか、あるいは、アルミナやメッキ、若しくは白色樹脂や白色ガラス材料等を塗布することで反射面５ｂを形成することができる。また、治具部品５本体が、白色を基本とした材料で形成されるような場合に代えて、図６Ａ及び図６Ｂに示すように、黒色を基本とした材料で形成されるような場合であってもよい。このような場合にあっては、例えば、治具部品５本体を、黒色ジルコニア等の黒色セラミック系材料や黒色樹脂材料等の黒色材料を用いて形成した後、上記一の面を、素材色を用いるか、あるいは、黒色樹脂や黒色ガラス材料等を塗布することで非反射面５ａを形成し、上記一の面と対向する側の表面を、メッキあるいは白色樹脂や白色ガラス材料等を塗布することで反射面５ｂを形成することができる。

次に、装着精度検査装置において用いられる検査用の治具基板７について説明する。図７に示すように、治具基板７は、電子部品装着装置１０１にて取り扱われる基板３と同じ形状を有しており、光透過性の材料により略板状に形成される。このような光透過性材料としては、例えば、無色透明のガラス系材料（石英やソーダライム等）が用いられる。また、図７において、治具基板７における図示上面が、電子部品として治具部品５が装着される部品装着側表面７ａとなっており、この部品装着側表面７ａにおいては、治具基板７の配置位置を確実に認識することを可能とする基準マーク７ｂが、略四角形状の夫々の隅部近傍に配置されている。さらに、治具基板７において、部品装着側表面７ａに対向する側の表面には、例えば、図示上面側をその拡散反射面８ａとする拡散反射シート８が貼着されて、当該表面が（拡散）反射面８ａとして形成されている。なお、図７においては、治具基板７の構成の理解を容易なものとするために、拡散反射シート８が治具基板７に貼着される直前の状態として、拡散反射シート８と治具基板７とが分離された状態を示している。このように治具基板７が光透過性材料により形成され、さらに部品装着側表面７ａと対向する側の表面に、反射面８ａが設けられていることにより、治具基板７の上方から照射された光が、部品装着側表面７ａを通過するとともに、当該光が反射面８ａにて反射されることで、その反射光が部品装着側表面７ａを通過して上方に向けて照射されることが可能となっている。なお、このような拡散反射シート８としては、例えば、その反射光量等が管理されている液晶バックライト用のシートを用いることが望ましい。

ここで、本明細書において、「拡散」とは、ある光源からの光の規則的な放射とは著しく異なり、ある表面に当たった光、若しくは開口を通過する光を、あらゆる方向から来た光のようにするための光線の散乱状態のことである。このような拡散は、例えば、マット面（無光沢面）からの反射などにより発生させることができる。ただし、拡散が完全であるような場合にあっては、光源の鮮鋭画像を取得することはできず、当該拡散が行われる位置は、あらゆる方向に均一に光を出射する平均的に広範囲な光源となる。

また、このように拡散反射シート８を用いることで、治具基板７に反射面８ａを形成するような場合に代えて、図８に示すように、治具基板１０における部品実装側表面１０ａと対向する側の表面（すなわち、裏面）に対して鏡形成加工を施すことで、反射面９を形成するような場合であってもよい。このような鏡形成加工としては、例えば、スパッタリング、蒸着、又は、メッキ等の加工方法を採用し得る。また、反射シートや鏡シール等を貼り付けることで、反射面９を形成するような場合であってもよい。なお、このような治具基板７は、その強度や反り発生抑制を考慮して、厚さ１ｍｍ以上に形成されることが好ましく、また、基板の取り扱い性（特に重量的な観点での取り扱い性）を考慮して、厚さ４ｍｍ以下に形成されることが好ましい。また、拡散反射シート８は、厚さ３０〜５０μｍ程度のものを用いることが好ましい。

次に、このような構成を有する上記部品装着精度検出装置により、電子部品装着装置１０１における部品装着精度の検出を行なう手順について説明する。また、この部品装着精度の検出手順を示すフローチャートを図１２に示す。さらに、吸着ノズル２２により吸着保持された治具部品５の画像を、部品認識カメラ２４にて撮像している状態を示す模式説明図を図９に示し、また、治具基板７に装着された治具部品５の装着位置の画像を、基板認識カメラ２５にて撮像している状態を示す模式説明図を図１０に示す。なお、以降に説明する部品装着精度の検出における電子部品装着装置１０１の動作制御、すなわち、上記部品装着精度検出装置の動作制御は、制御装置５０により互いの動作が関連付けられながら統括的に行なわれている。

まず、図１２のステップＳ１において、電子部品装着装置１０１において治具基板７に複数の治具部品５を装着する際に必要な情報が含まれたＮＣデータが、制御装置５０に入力されて保持される。具体的には、例えば、図４に示す制御装置５０の制御ブロック図において、入力装置６８を通して、上記ＮＣデータが入力され、この入力されたＮＣデータは、インターフェースコントローラ６６及びメインコントローラ６５により、入力装置６８からシステムバス６１を介して、ＲＡＭ６９若しくはＲＯＭ７０に入力されて取り出し可能に記憶される。なお、このＮＣデータには、夫々の治具部品５や治具基板７の形状データ、夫々の治具部品５の装着順序のデータ、夫々の治具部品５の治具基板７への装着位置データ等の情報が含まれている。

また、このＮＣデータの取得とともにあるいはこの取得の後に、図１に示す電子部品装着装置１０１においては、治具基板７が供給され、当該供給された治具基板７が搬送装置１４によりＸＹテーブル１３上に搬送されて、基板保持テーブル１３ａに保持される。また、部品供給部１１のパーツフィーダ１１ａには、複数の治具部品５が取り出し可能に収容されている。

その後、主軸装置１２の一のノズルユニット２１が、図２に示す吸着位置Ａに回転移動されるとともに、夫々の治具部品５が収容されているパーツフィーダ１１ａと、上記一のノズルユニット２１が備える夫々の吸着ノズル２２の中から選択された最初に吸着保持が行なわれる吸着ノズル２２との位置合わせが行なわれる。この位置合わせの後、当該吸着ノズル２２が下降されて、吸着ノズル２２による治具部品５の吸着保持が行なわれる（ステップＳ２）。その後、上記一のノズルユニット２１における夫々の吸着ノズル２２の回転移動が行なわれて、次の吸着ノズル２２とパーツフィーダ１１ａとの位置合わせが行なわれ、この次の吸着ノズル２２による次の治具部品５の吸着保持が行なわれる。さらに、次の治具部品５の吸着保持が行なわれるような場合にあっては、上述の手順が繰り返して行なわれる。なお、さらに、主軸装置１２における回転移動により、別のノズルユニット２１がパーツフィーダ１１ａの上方に移動させることで、当該別のノズルユニット２１が備える吸着ノズル２２にも治具部品５を吸着保持させるような場合であってもよい。

その後、主軸装置１２において、夫々のノズルユニット２１の回転移動が行なわれて、治具部品５を吸着保持したノズルユニット２１が、部品認識位置Ｃに位置される。部品認識位置Ｃにおいては、当該ノズルユニット２１が備える夫々の吸着ノズル２２が、部品認識カメラ２４の上方に順次位置されることで、部品認識カメラ２４により、吸着保持された夫々の治具部品５の吸着保持姿勢の画像が撮像されることとなる（ステップＳ３）。

図９に示すように、治具部品５は、黒色の面である非反射面５ａを上面、反射面５ｂを下面として、当該上面にて吸着ノズル２２により吸着保持されている。また、治具部品５のサイズは、吸着ノズル２２の先端部分の大きさ（幅寸法、あるいは直径寸法）よりも小さくなっており、吸着保持された状態では、治具部品５の端部は、吸着ノズル２２の上記先端部分の端部よりはみ出されていない。このような状態の吸着ノズル２２と、その上方に配置された物体の画像を撮像可能な部品認識カメラ２４との位置合わせ、すなわち、吸着ノズル２２の軸心と、部品認識カメラ２４の撮像の光軸とを一致させるように位置合わせを行なう。当該位置合わせの後、部品認識カメラ２４より上方に向けて光Ｗ１を照射し、治具部品５の図示下面である反射面５ｂにて当該光Ｗ１を下方に向けて反射させ、この反射光Ｗ２により形成される治具部品５の画像を部品認識カメラ２４により取得する。この場合、吸着ノズル２２の先端部分に照射された光Ｗ１も反射光Ｗ３として反射されることとなるが、治具部品５の反射面５ｂによる反射光Ｗ２の光量に比して、反射光Ｗ３の光量は明らかに低くなるため、反射光Ｗ２により形成される治具部品５の実像を部品認識カメラ２４により確実に取得することができる。なお、上記画像の撮像後、その他の治具部品５に対しても順次画像の撮像が行なわれる。

部品認識カメラ２４により撮像された夫々の治具部品５の実像の画像データは、図４の制御装置５０における画像処理コントローラ６２により保持姿勢認識部６３に入力されて、保持姿勢認識部６３において、当該夫々の画像データの認識処理が行なわれる（ステップＳ４）。さらに、保持姿勢認識部６３では、例えば、上記ＮＣデータ等で予め定められた基準保持姿勢データと、上記認識処理により認識された保持姿勢データとの比較照合が行なわれることにより、夫々の吸着ノズル２２による治具部品５の吸着保持姿勢を、上記基準保持姿勢データに合致させるための夫々の姿勢補正量の算出、すなわち、姿勢位置ズレ量の算出が行なわれる。この算出された夫々の姿勢補正量（いわゆるθ補正量）のデータに基づいて、補正回転位置Ｄに位置されたノズルユニット２１が備える夫々の吸着ノズル２２において、回転補正が行なわれる（ステップＳ５）。

その後、図２に示すように、ノズルユニット２１が装着位置Ｅに回転移動されて位置され、基板保持テーブル１３ａに保持された治具基板７の上方に配置される。その後、当該ノズルユニット２１が備える一の吸着ノズル２２（最初に装着動作が行なわれる吸着ノズル２２）により吸着保持された治具部品５と、治具基板７の部品装着側表面７ａにおけるこの治具部品５が装着される部品装着位置との位置合わせが、Ｘ軸駆動部１３ｂとＹ軸駆動部１３ｃとにより治具基板５が図示Ｘ軸方向又はＹ軸方向に移動されることにより行なわれる。この位置合わせが行なわれると、吸着ノズル２２が下降されて、吸着保持されている治具部品５が治具基板７における上記部品装着位置に装着される。なお、この装着は、例えば、治具基板７の部品装着側表面７ａに予め貼着された両面テープ等の光透過性を有する接合材料を介させることで行なわれる。その後、その他の吸着ノズル２２が吸着保持する夫々の治具部品５が、同様な手順で、夫々の部品装着位置に装着される（ステップＳ６）。

全ての治具部品５の装着動作が完了すると、基板認識カメラ２５により、治具基板７の部品装着側表面７ａに設けられた夫々の基準マーク７ｂの画像が撮像され、当該画像データに基づいて、治具基板７の位置が正確に認識される。このように、全ての治具部品５の装着動作が完了した後に、治具基板７の位置認識を行なうことで、夫々の治具部品５の装着動作に伴って生じる可能性がある治具基板７の位置ズレ量が含められた実際の位置をより正確に認識することができる。

その後、治具基板７に装着された夫々の治具部品５の中から、最初の治具部品５が選択されて（ステップＳ８）、その下方に配置された物体の画像を撮像する基板認識カメラ２５とこの選択された治具部品５との位置合わせが、ＸＹテーブル１３による治具基板７のＸＹ移動により行なわれる。なお、この位置合わせは、基板認識カメラ２５の撮像中心であるその光軸と、撮像対象となる治具部品５の部品装着位置とが合致するように行なわれる。

このように位置合わせが行なわれた状態が、図１０に示す状態である。図１０に示すように、治具基板７は、部品装着側表面７ａを図示上面として配置されており、その裏面（すなわち、図示下面）には、拡散反射シート８の貼着により形成された反射面８ａが備えられている。また、治具基板７の部品装着側表面７ａには、治具部品５がその非反射面５ａを図示上面として装着されている。なお、治具部品５の下面である反射面５ｂと、治具基板７の部品装着側表面７ａとの間には、治具部品５の配置位置の固定のための上記光透過性を有する両面テープの接合部材が配置されているが、図１０においてはその図示を省略している。また、この治具基板７の上方に配置された基板認識カメラ２５には、その撮像側の正面（すなわち、図示下面）の周囲に、撮像のための光を図示下向きに照射する照明部２５ａが備えられている。

図１０に示すような状態において、基板認識カメラ２５が備える照明部２５ａより、図示下向きに光Ｗ１１を照射する。照射された光Ｗ１１は、治具基板７の部品装着側表面７ａに到達するとともに、当該部品装着側表面７ａおよび治具基板７内部の光透過性材料を通過（透過）して、さらに、拡散反射シート８により形成されている反射面（あるいは拡散反射面）８ａに到達する。この反射面８ａにおいては、この光Ｗ１１が、図示大略上方における様々な方向に拡散反射されて、反射光（あるいは拡散光）Ｗ１２が形成される。この反射光Ｗ１２は、治具基板７内部の上記光透過性材料の略全体に均等に光が行き渡るように当該光透過性材料を透過して、さらに、部品装着側表面７ａも透過して、基板認識カメラ２５に向けて出射されることとなる。すなわち、拡散反射シート８の反射面８ａにて光Ｗ１１が反射光１２へと拡散反射されることにより、治具基板７の内部全体が略均一な面光源として機能することとなる。一方、部品装着側表面７ａにおいて、治具部品５が配置されている領域においては、光を透過しない材料で形成されている治具部品５により、反射光Ｗ１２が遮られて、基板撮像カメラ２５に向けて反射光Ｗ１２が出射されることはない。さらに、治具基板７に装着されている治具部品５の図示上面は、黒色の面である非反射面５ａとされていることにより、照明部２５ａから照射された光Ｗ１１が、治具部品５の上面にて反射されることはない。従って、部品装着側表面７ａにおける治具部品５が配置された領域を除く領域より、反射光Ｗ１２が基板認識カメラ２５に向けて出射されることとなり、この出射された反射光Ｗ１２により治具部品５の輪郭の画像、すなわち、シルエットの画像が部品認識カメラ２５にて撮像される（ステップＳ９）。また、反射光Ｗ１２は治具基板７内において略均一に拡散されているため、治具部品５が配置されている領域に相当する治具基板７の部品装着側表面７ａにも当該反射光Ｗ１２が行き渡らせることができる。従って、治具部品５の外周の内外近傍における部品装着側表面７ａにおいて、反射光Ｗ１２の透過及び遮断を明確に区分することができ、治具部品５のシルエットの画像を明瞭なものとすることができる。

この撮像された治具部品５のシルエットの画像データは、図４に示す制御装置５０における画像処理コントローラ６２により装着位置認識部６４に入力されて、この装着位置認識部６４にて、上記シルエットの画像の認識処理を行ない、例えば、当該シルエットの画像より治具部品５の輪郭を算出し、この輪郭の中心を実際の部品装着位置として算出する（ステップＳ１０）。

この算出された実際の部品装着位置のデータは、画像処理コントローラ６２により装着精度演算部７３に入力されて、装着制度演算部７３において、例えば、ＮＣデータに含まれる予め定められた部品装着位置のデータと、上記実際の部品装着位置のデータとを比較照合することで、両者間の差、すなわち、位置ズレ量を算出する（ステップＳ１１）。この算出された位置ズレ量が、電子部品装着装置１０１における部品装着精度となる。なお、この算出された部品装着精度のデータは、制御装置５０におけるＲＡＭ６９に記憶されるか、あるいは、インターフェースコントローラ６６により制御装置５０の外部へ出力される。

その後、ステップＳ１２において、次に画像が撮像される装着済みの治具部品５が存在するかどうかが判断されて、存在する場合には、当該治具部品５が選択される。この選択の後、ステップＳ９からＳ１１までの上述した夫々の手順が順次行なわれて、当該選択された治具部品５のシルエットの画像取得による部品装着精度の算出が行なわれる。ステップＳ１２において、次に選択される装着済みの治具部品５が存在しないと判断されると、装着制度検査の手順が終了する。

なお、上記部品装着精度検査の手順においては、図７に示す拡散反射シート８が貼着されることで、拡散反射面８ａを備えるような治具基板７が用いられるような場合について説明したが、治具基板はこのようなものが用いられるような場合にのみ限定されるものではない。このような場合に代えて、例えば、図８に示すような鏡面反射面９が形成された治具基板１０が用いられるような場合であってもよい。このような治具基板１０に対して基板認識カメラ２５による画像取得が行なわれている状態を示す模式説明図を図１１に示す。

図１１に示すように治具基板１０の図示下側の面には、鏡面反射面９が形成されており、さらに治具基板１０の内部には鏡面反射面で反射された光を拡散させる光透過性材料の一例である拡散層１０ｃが備えられている。ここで、「拡散層」とは、入射された光が当該層を透過する際に、当該光を拡散させる層のことである。本実施形態においては、このような拡散層１０ｃとして、例えば、乳白色ガラス材料を用いることができ、その厚さは、治具基板１０自体の厚さと略同じの１ｍｍ以上４ｍｍ以下の範囲の厚さにて形成されることが好ましい。このような構成の治具基板１０においては、図１１に示すように、照射部２５ａから治具基板１０に向けて照射された光Ｗ２１は、治具基板１０の部品装着側表面１０ａを透過して、拡散層１０ｃを透過することとなる。この拡散層１０ｃを透過する際に、光Ｗ２１は様々な方向へと拡散されることとなる。このように拡散された光Ｗ２１のうちの図示下方を大略その進行方向とする光は、鏡面反射面９へと到達し、鏡面反射面９にて、図示大略上方に向けて反射され、反射光（あるいは拡散光）Ｗ２２として、再び拡散層１０ｃを透過することとなる。この反射光Ｗ２２が拡散層１０ｃを通過する際に再び拡散されて、部品装着側表面１０ａより基板撮像カメラ２５に向けて出射される。一方、治具部品５の非反射面５ａに照射された光Ｗ２１は反射されることなく、さらに、部品装着側表面１０ａにおける治具部品５が配置されている領域においては、反射光Ｗ２２が遮られて、部品装着側表面１０ａより上方に向けて出射されることはない。従って、図１０に示す拡散反射シート８が用いられる場合と同様に、反射光Ｗ２２を拡散光として部品装着側表面１０ａより出射することができ、治具部品５のシルエットの画像を基板認識カメラ２５にて撮像することができる。また、このように拡散層１０ｃを用いるような場合にあっては、拡散が行われる光路長（すなわち拡散層の厚さ）が大きくなるため、拡散により所定の方向における光量が減少することとなるものの、拡散に要する光路長を大きく取ることができるため、拡散反射面８ａを用いる場合よりも光をより拡散させることができ、その結果、より均一な面光源を形成することができるという利点がある。

また、このように光を拡散させる機能が治具基板７及び１０に備えられていることにより、治具基板７及び１０あるいは治具部品５に対して、鉛直方向から光を照射させる場合だけでなく、例えば、図２０の模式説明図に示すように、上記鉛直方向から傾斜された方向より光を照射させる場合であっても、上記拡散機能を用いて光の拡散を行なうことで、治具部品５のシルエットの画像の取得を行なうことができる。例えば、上記鉛直方向から僅かに傾斜された方向より光を照射するような場合にあっては、治具部品５のシルエットのコントラストをより明確にすることができ、より明確な画像取得を行なうことが可能となる。特に、基板認識カメラ２５と照明部２５ａとの配置関係により、現実的には鉛直方向から光を照射させることは困難な場合が多いが、このような場合であっても、治具部品５の明瞭な画像取得を確実に実現することができる。なお、このような上記鉛直方向に対する傾斜角度としては、例えば４５度程度以内の範囲であれば、十分に適用することができる。

また、拡散反射面８ａや拡散層１０ｃでの光の拡散量を調整することで、取得されるシルエットの画像の明度や輪郭の際立ち度合い等を調整することもできる。例えば、拡散反射面８ａにおける光の拡散量が所定の値となるように管理された拡散反射シート８を用いることで、このような調整を実現可能とすることができる。また、所望の拡散に要する光路長を有するように拡散層１０ｃの厚さを設定することで、上記調整を実現することができる。

例えば、このような光の拡散量を、拡散反射面における相対反射率で４．５以上とすることが好ましい。ここで、相対反射率とは、白色標準試料に対する測定試料の放射輝度比のことであり、図１３に示すような計測方法にて計測される。具体的には、図１３に示すように、リングライト９０よりその図示下方に配置された測定試料９１に対して、鉛直方向より所定の角度θだけ傾斜された光Ｗ９８を照射し、測定試料９１にて上方に向けて反射された反射光Ｗ９９が偏光板９２を通過し、この通過された反射光Ｗ９９を分光放射輝度計９３に入光させることで、測定試料９１の放射輝度を測定することができる。なお、ここで測定試料９１とは、例えば、拡散反射面８ａを有する治具基板７のことであり、図示下面側に拡散反射面８ａが、図示上面側に部品装着側表面７ａが配置される。また、図１３の測定装置において、例えば、偏光板９２の半径ｒは２８．７５ｍｍであり、上記所定の傾斜された角度θは１０°となっている。

また、このような光の拡散量を治具部品５のシルエットの画像における治具部品５の画像とその背景の画像とのコントラストで表わすと、例えば、７０階調以上の差（２５６階調の場合において）があればよい。すなわち、良好な部品の位置認識精度を確保するためには、治具部品５とその背景のコントラストを７０階調以上とすることが望ましい。

また、上述の部品装着精度の検査手順の説明においては、複数の治具部品５が治具基板７上に装着されて、夫々の治具部品５の部品装着精度が検出されるような場合について説明したが、このような場合にのみ限られるものではない。例えば、このような場合に代えて、夫々の治具部品５について算出された位置ズレ量の平均値を、電子部品装着装置１０１における部品装着精度として算出するような場合であってもよい。

また、複数の治具部品５が全て同じ種類であるような場合に代えて、互いに異なる種類の治具部品５が用いられるような場合であってもよい。このような場合にあっては、夫々の種類ごとの治具部品５における部品装着精度を算出することができ、電子部品装着装置１０１において多面的に部品装着精度の検査を行なうことができる。

また、上述の部品装着精度の検査方法においては、治具基板７に夫々の治具部品５を装着させるような場合について説明したが、このような場合のみに本検査方法が限定されるものではない。このような場合に代えて、治具基板７上に実際の電子部品１を装着させ、基板認識カメラ２５により治具基板７の部品装着側表面７ａに光を照射することで、その反射光により形成される上記実際の電子部品１のシルエットの画像を撮像し、当該画像データを認識処理することで、部品装着精度を算出するような場合であってもよい。このような手法では、夫々の治具部品５を準備する必要がないため、より簡便に検査を行なうことができるという利点がある。

また、治具部品５の反射面５ｂを上面とし、非反射面５ａを下面として、実際の基板３上に治具部品５を装着するような場合であってもよい。このように装着することで、基板３の部品装着側表面に向けて照射された光を、治具部品５の上面である反射面５ｂにて反射することができ、当該反射光により形成される治具部品５の実像を取得し、この取得された実像の画像データを認識処理することで、部品装着位置を検出することができるからである。このような手法においては、治具基板７を用意する必要がなく、より簡便に検査を行なうことができるという利点がある。なお、このような場合にあっては、上記実際の基板３の部品装着側表面は、黒色等とされてその反射効率が低減されていることが望ましい。このようにすることで、より明確な画像取得を行なうことができるからである。

また、このような場合に代えて、白色や黄色等、その反射効率が高められた彩色が施されている実際の基板３の部品装着側表面に、非反射面５ａを上面として治具部品５を装着するような場合であってもよい。このようにすることで、基板３の表面における反射光により形成される治具部品５のシルエットの画像を取得することができる。

（実施例と比較例）
ここで、本実施形態の部品装着精度検査方法の実施例と、この実施例に対する従来の検査方法を比較例として、その認識結果の差について説明する。

まず、従来の手法である比較例としては、いわゆる１６０８Ｃ部品を電子部品５０５としてそのまま用い、吸着ノズルにより吸着保持された電子部品５０５の画像を反射方式（電子部品５０５の表面に照射された光の反射光により形成される画像を取得する方式）にて取得し、その後、この電子部品５０５を基板（例えば、黒色基板）上に装着し、この装着された電子部品５０５の画像を反射方式にて取得し、その画像認識処理を行なうことで、装着位置の位置ズレ量の算出が行なわれる。

一方、本実施例としては、治具部品５を用いて、吸着ノズルにより非反射面５ａを吸着保持された治具部品５の反射面５ｂにおける画像を反射方式にて取得し、その後、この治具部品５の反射面５ｂを治具基板７の部品装着側表面７ａに接するように装着して、この装着された治具部品５に対して上方より光を照射することで、治具基板７の拡散反射面８ａにて反射された拡散光により形成される治具部品５のシルエットの画像を取得し、当該画像の認識処理を行なうことで、装着位置の位置ズレ量の算出が行なわれる。

このようにして取得された夫々の画像として、比較例における吸着ノズルによる電子部品５０５の吸着保持姿勢の画像を図１４に示し、比較例における基板へ装着された電子部品５０５の画像を図１５に示し、実施例における吸着ノズルによる治具部品５の吸着保持姿勢の画像を図１６に示し、さらに、実施例における治具基板７に装着された治具部品５の画像を図１７に示す。

吸着ノズルによる吸着保持姿勢の画像である図１４と図１６とを比較すると、図１４に示す比較例の画像では、電子部品５０５の輪郭が明確ではなく、特に角部分においてはそのエッジが明確に画像に表われていないことが分かる。これに対して、図１６に示す本実施例の画像では、角部分も含めて治具部品５の輪郭が明確となっていることが分かる。また、基板又は治具基板７へ装着された状態の画像である図１５と図１７とを比較すると、図１５に示す比較例の画像では、吸着保持姿勢の画像と同様に、その輪郭が明確に表わされていないことが分かる。これに対して、図１７に示す本実施例の画像では、明らかにその輪郭が明確に表わされていることが分かる。

比較例のように電子部品５０５の輪郭が明確に表わされないような画像を用いて認識処理を行ない、電子部品５０５の中心位置Ｃ１を算出するような場合にあっては、その算出に伴う誤差が大きくなってしまう傾向にある。一方、本実施例のように治具部品５の輪郭が明確に表わされた画像を用いて認識処理を行なうことで、治具部品５の中心位置Ｃ２を確実に算出することができ、比較例に比してその算出に伴う誤差量を小さくすることができる。

ここで、本比較例と本実施例とにおいて、装着された状態の画像に基づいて検出された部品装着位置検出の繰り返し精度を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びθ方向に分けて、最大値、最小値、平均値、及び３σについて、表１に示す。さらに、上記画像に基づいて検出された装着位置精度と、装着された状態の電子部品又は治具部品の装着位置精度を装着精度測定原器により測定した結果との差を、夫々の方向毎に、最大値、最小値、最大値と最小値との差、平均値、及び３σについて、表２に示す。

表１及び表２に示すように、比較例に対して本実施例の方が、明らかに部品装着位置検出の繰り返し精度が向上していることが判り、また、装着精度測定原器との比較においても精度が大幅に向上していることが判る。例えば、部品装着位置検出精度については、従来の約２０μｍ／３σから、本実施例にように１０μｍ／３σと、向上させることができる。

上記実施形態によれば、以下のような種々の効果を得ることができる。

まず、治具基板７が光透過性材料で形成され、さらに、その部品実装側表面７ａと対向する表面において、部品実装側表面７ａに向けて配置された反射面８ａが形成されていることにより、治具部品５が装着された部品装着側表面７ａに光を照射し、この光を部品装着側表面７ａ及び上記光透過性材料を透過させて反射面８ａにて反射させ、この反射光を上記光透過性材料を通して部品装着側表面より上方に出射させることで、当該反射光により形成された治具部品５のシルエットの画像を取得することができる。

従来におけるこのような検査方法においては、治具部品が装着された基板の部品装着側表面を反射面として、その反射光により形成される上記治具部品のシルエットの画像を取得していたが、このような治具部品は通常光透過性の両面テープ等を介して部品装着側表面に装着されるが、このような両面テープが上記反射面上に配置されることとなり、このような場合にあっては、治具部品の周囲において反射光の乱れが生じ、この乱れがノイズとなって、上記シルエットの画像における輪郭付近に現われることとなる。このような場合にあっては、正確に輪郭を認識することができず、正確な部品装着精度の検出が阻害されることとなる。

一方、上記実施形態の検査方法では、反射面８ａは、部品装着側表面７ａと対向する側の表面に形成されているため、部品装着側表面７ａに向けて照射された光は、上記両面テープ及び部品装着側表面７ａを透過して、治具基板７内部を透過し、反射面８ａにて乱れを生じさせることなく反射することができる。従って、上述のような問題を発生し難くすることができ、高精度な部品装着精度の検出を可能とすることができる。

さらに、この反射面８ａが光の拡散機能を備えていることで、反射された光を治具基板７内に略均一に拡散させることができ、治具部品５の背景全体を明るくして面光源として機能させることができ、より明確なシルエットの画像取得を可能とすることができる。

特に、図１８の模式説明図に示すように、照射される光Ｗを拡散反射させる拡散反射面１０８ａが、基板１０７の図示上面である部品装着側表面１０７ａに設けられているような場合にあっては、例え光Ｗが拡散反射されたとしても、部品１０５の周囲近傍に光が行き届かない部分が生じて、撮像された画像において影が発生する部分Ｒが生じることとなる。これに対して、図１９の本実施形態の模式説明図に示すように、拡散反射面８ａを、治具基板７の部品装着側表面７ａではなく、図示下面側に配置させることにより、治具部品５が配置されている図示裏側における治具基板７の内部にまで、拡散された光Ｗを行き渡らせることができる。このように光を行き渡らせることにより、治具部品５の周囲近傍において影が生じる部分を減少させることができ、治具部品５の輪郭の画像を明瞭なものとすることができる。

また、治具部品５は、その上面を非反射面５ａ、その下面を反射面５ｂとして形成されていることにより、吸着ノズル２２にて治具部品５をその上面で吸着保持させることで、反射面５ｂを下方側に配置させることができる。このような配置にて吸着保持が行なわれることにより、部品認識カメラ２４により、吸着ノズル２２の下方側より光を照射して、治具部品５の反射面５ｂにて反射された反射光により形成された治具部品５の実像を撮像し、撮像された画像を認識処理することで、その吸着保持姿勢を確実に認識することができる。特に、小型化され、吸着ノズル２２の先端部分よりもそのサイズが小さな治具部品５の吸着保持姿勢を認識する際には、上記照射された光により形成される治具部品５のシルエットの画像を撮像することが困難であることより、上述の撮像方法がより有効なものとなる。

さらに、反射面５ｂ側を部品装着側表面７ａに配置させて治具部品５を治具基板７に装着していることにより、部品装着側表面７ａに向けて照射された光が、治具部品５の非反射面５ａに対して照射されることとなり、当該光が治具部品５にて反射されることを抑制することができる。従って、上述の反射光により形成されるシルエットの画像をより明確に取得することができ、高精度な装着位置の認識、すなわち、部品装着精度の検査を行なうことができる。

また、このように一方の面を非反射面５ａ、他方の面を反射面５ｂとして形成される治具部品５は、治具基板７に装着される場合だけでなく、実際の基板３にも装着することができる。実際の基板３に装着される場合には、反射面５ｂを上向きとして装着することで、治具部品５の反射面５ｂに照射された光の反射光により形成される治具部品５の実像を撮像することができる。従って、多様化された様々な検査方法を実現することができる。

また、治具基板７は、光透過性材料、例えばガラス材料等で形成されるため、そのたわみ量を低減することができ、より光精度な検査を実現することができる。

なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。

本発明は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。

２００４年３月１５日に出願された日本国特許出願Ｎｏ．２００４−０７２１７４号の明細書、図面、及び特許請求の範囲の開示内容は、全体として参照されて本明細書の中に取り入れられるものである。

本発明の一の実施形態にかかる部品装着精度の検査が行なわれる電子部品装着装置の半透過斜視図である。 図１の電子部品装着装置の構成を示す模式平面図である。 電子部品装着装置における主軸装置の断面図である。 電子部品装着装置における制御装置の構成を示す制御ブロック図である。 上記部品装着精度の検査にて用いられる検査用の治具部品の外観斜視図であって、非反射面を上面として配置した状態の図である。 上記部品装着精度の検査にて用いられる検査用の治具部品の外観斜視図であって、反射面を上面として配置した状態の図である。 上記部品装着精度の検査にて用いられる別の例にかかる検査用の治具部品の外観斜視図であって、非反射面を上面として配置した状態の図である。 上記部品装着精度の検査にて用いられる別の例にかかる検査用の治具部品の外観斜視図であって、反射面を上面として配置した状態の図である。 上記部品装着精度の検査にて用いられる検査用の治具基板の外観斜視図である。 上記部品装着精度の検査にて用いられる別の例にかかる検査用の治具基板の外観斜視図である。 上記部品装着精度の検査手順における治具部品の吸着保持姿勢の画像取得を行なっている状態を示す模式説明図である。 上記部品装着精度の検査手順における治具部品の装着位置の画像取得を行なっている状態を示す模式説明図であり、拡散反射面を有する治具基板を用いた場合を示す図である。 上記部品装着精度の検査手順における治具部品の装着位置の画像取得を行なっている状態を示す模式説明図であり、鏡面反射面を有する治具基板を用いた場合を示す図である。 上記部品装着精度の検査手順を示すフローチャートである。 放射輝度を測定する方法を示す模式説明図である。 比較例における吸着保持状態の電子部品の画像を示す図である。 上記比較例における基板に装着された状態の電子部品の画像を示す図である。 上記実施形態の実施例における吸着保持状態の治具部品の画像を示す図である。 上記実施例における治具基板に装着された状態の治具部品の画像を示す図である。 基板において拡散反射面が部品装着側表面に配置された状態の模式説明図である。 本実施形態の治具基板における拡散反射面の配置構成を示す模式説明図である。 本実施形態の変形例にかかる部品装着精度の検査方法を説明する模式説明図である。

符号の説明

１ 電子部品
３ 基板
５ 検査用の治具部品
５ａ 非反射面
５ｂ 反射面
７ 検査用の治具基板
７ａ 部品装着側表面
７ｂ 基準マーク
８ 拡散反射シート
８ａ 拡散反射面
９ 鏡面反射面
１０ 検査用の治具基板
１１ 部品供給部
１２ 主軸装置
１３ ＸＹテーブル
１４ 搬送装置
２１ ノズルユニット
２２ 吸着ノズル
２４ 部品認識カメラ
２５ 基板認識カメラ
５０ 制御装置
６３ 保持姿勢認識部
６４ 装着位置認識部
７３ 装着精度演算部
１０１ 電子部品装着装置

Claims (11)

1. 部品保持部材（２２）で保持した部品（１）を基板（３）に装着する部品装着における部品装着精度の検査方法であって、
   略直方体を有し、一面を非反射面（５ａ）、当該一面と対向した面を反射面（５ｂ）として有する検査用部品（５）を用いて、上記部品保持部材により上記非反射面が保持された状態の上記検査用部品の上記反射面に光（Ｗ１）を照射するとともに、当該光照射により得られる反射光（Ｗ２）により形成される上記検査用部品の実像を撮像し、
   上記撮像された上記実像の画像データの認識処理を行なうことで、上記部品保持部材による上記検査用部品の保持姿勢を認識し、
   光透過性材料により形成され、かつ、その部品装着側表面（７ａ、１０ａ）と対向する表面に当該部品装着側表面に向けて配置された反射面（８ａ、９）を備える検査用基板（７、１０）の上記部品装着側表面における部品装着位置に対して、上記検査用部品の上記反射面が配置されるように、当該認識された保持姿勢と基準保持姿勢との間の姿勢ズレを補正しながら、上記部品保持部材により当該検査用部品を装着し、
   上記検査用基板の部品装着側表面に光（Ｗ１１、Ｗ２１）を照射するとともに、当該照射された光を、当該部品装着側表面を透過させて上記反射面にて反射させ、上記部品装着側表面を通して上記検査用部品の周囲より出射される反射光（Ｗ１２、Ｗ２２）により形成される上記検査用部品の輪郭の画像を撮像し、
   上記撮像された上記輪郭の画像データの認識処理を行なうことで、上記検査用部品の実際の装着位置を算出して、上記実際の装着位置と予め定められた上記部品装着位置との差を算出することで部品装着精度を求める部品装着精度の検査方法。
2. 上記光透過性材料は、ガラス材料である請求項１に記載の部品装着精度の検査方法。
3. 上記検査用基板の上記反射面は、上記照射された光を鏡面反射させる鏡面反射面（９）であって、
   上記検査用基板は、上記部品装着側表面と上記鏡面反射面との間に配置され、上記鏡面反射された光を拡散させる拡散層（１０ｃ）を有する請求項１に記載の部品装着精度の検査方法。
4. 上記検査用基板の上記反射面は、上記照射された光を拡散反射させる拡散反射面（８ａ）である請求項１に記載の部品装着精度の検査方法。
5. 上記拡散反射面は、上記検査用基板の対向する表面に拡散反射シート（８）を貼着することで形成される請求項４に記載の部品装着精度の検査方法。
6. 部品保持部材（２２）で保持した部品（１）を基板（３）に装着する部品装着における部品装着精度の検査方法であって、
   光透過性材料により形成され、かつ、部品装着側表面（７ａ、１０ａ）と対向する表面に当該部品装着側表面に向けて配置された反射面（８ａ、９）を備える検査用基板（７、１０）における上記部品装着側表面の部品装着位置に、上記部品保持部材により上記部品を装着し、
   上記検査用基板の上記部品装着側表面に光（Ｗ１１、Ｗ１２）を照射するとともに、当該光を当該部品装着側表面を透過させて上記反射面にて反射し、上記部品装着側表面を通して上記部品周囲より出射された反射光（Ｗ１２、Ｗ２２）により形成される上記部品の輪郭の画像を撮像し、
   当該撮像により取得された上記輪郭の画像データの認識処理を行なうことで、上記部品の実際の装着位置を算出して、上記実際の装着位置と予め定められた上記部品装着位置との差を算出することで部品装着精度を求める部品装着精度の検査方法。
7. 部品保持部材（２２）で保持した部品（１）を基板（３）に装着する部品装着装置（１０１）における部品装着精度の検査装置であって、
   上記基板に代えて上記部品装着装置に保持され、光透過性材料により形成され、かつ、その部品装着側表面（７ａ、１０ａ）と対向する表面において当該部品装着側表面に向けて配置された反射面（８ａ、９）を備える検査用基板（７、１０）と、
   上記部品に代えて上記部品装着装置に供給され、一面を非反射面（５ａ）としかつ当該一面と対向する面を反射面（５ｂ）とする略直方体をなし、その被保持面を上記非反射面として上記部品保持部材により保持され、上記反射面が上記検査用基板の上記部品装着側表面と対向するように上記検査用基板に装着される検査用部品（５）と、
   上記部品保持部材によりその上記非反射面が保持された状態の上記検査用部品の上記反射面に光（Ｗ１）を照射するとともに、当該光照射により得られる反射光（Ｗ２）にて形成される上記検査用部品の実像を撮像する部品撮像装置（２４）と、
   その部品装着位置に上記検査用部品が装着された上記検査用基板における部品装着側表面に光（Ｗ１１、Ｗ２１）を照射するとともに、当該照射された光を、当該部品装着側表面を透過させて上記反射面にて反射させ、上記部品装着側表面を通して上記検査用部品の周囲より出射される反射光（Ｗ１２、Ｗ２２）により形成される上記検査用部品の輪郭の画像を撮像する基板撮像装置（２５）と、
   上記保持された状態の上記検査用部品の実像の画像データを認識処理することで、上記部品保持部材による上記検査用部品の保持姿勢を認識し、当該認識された保持姿勢と基準保持姿勢との姿勢ズレを補正可能とする保持姿勢認識部（６３）と、
   上記装着された状態の上記検査用部品の輪郭の画像データを認識処理することで、上記検査用部品の実際の装着位置を認識する装着位置認識部（６４）と、
   上記装着位置認識部により認識された上記実際の装着位置と、予め定められた上記検査用部品の装着位置との差を算出することで上記部品装着精度を演算する装着精度演算部（７３）とを備える部品装着精度の検査装置。
8. 上記光透過性材料は、ガラス材料である請求項７に記載の部品装着精度の検査装置。
9. 上記検査用基板の上記反射面は、上記照射された光を鏡面反射させる鏡面反射面（９）であって、
   上記検査用基板は、上記鏡面反射された光を拡散させる拡散層（１０ｃ）を有する請求項７又は８に記載の部品装着精度の検査装置。
10. 上記検査用基板の上記反射面は、上記照射された光を拡散反射させる拡散反射面（８ａ）である請求項７又は８に記載の部品装着精度の検査装置。
11. 部品保持部材（２２）で保持した部品（１）を基板（３）に装着する部品装着装置（１０１）における部品装着精度の検査装置であって、
    上記基板に代えて上記部品装着装置に保持され、光透過性材料により形成され、かつ、その部品装着側表面（７ａ、１０ａ）と対向する表面において当該部品装着側表面に向けて配置された反射面（８ａ、９）を備える検査用基板（７、１０）と、
    その部品装着位置に上記部品が装着された上記検査用基板における部品装着側表面に光（Ｗ１１、Ｗ２１）を照射するとともに、当該照射された光を、当該部品装着側表面を透過させて上記反射面にて反射させ、上記部品装着側表面を通して上記部品の周囲より出射される反射光（Ｗ１２、Ｗ２２）により形成される上記部品の輪郭の画像を撮像する基板撮像装置（２５）と、
    上記装着された状態の上記部品の輪郭の画像データを認識処理することで、上記部品の実際の装着位置を認識する装着位置認識部（６４）と、
    上記装着位置認識部により認識された上記実際の装着位置と、予め定められた上記部品の装着位置との差を算出することで上記部品装着精度を演算する装着精度演算部（７３）とを備える部品装着精度の検査装置。

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