JP7312579B2 - 偏心量検出装置及び偏心量検出方法 - Google Patents

Description

本発明は偏心量検出装置及び偏心量検出方法に関するものであり、特に、ウエハを載置するワークテーブルの中心とウエハの中心との偏心量を短時間で正確に検出して教示できるようにした偏心量検出装置及び偏心量検出方法に関するものである。

半導体デバイス製造工程においては、ＩＣやＬＳＩ等のデバイスが表面に形成されたウエハは、個々のチップに分割される前に、裏面が研削・研磨され、所定の厚さに加工される。

この研磨加工では、例えば、搬送ロボットを使用し、搬送ロボットがロードカセット内から研磨加工前のウエハを受け取り、その受け取ったウエハをアライナ、インテーブル、研磨ヘッド、研磨定盤、アウトテーブル等に順次搬送して研磨加工を行い、研磨加工処理を終えたウエハを更にアンロードカセットまで搬送して、アンロードカセットに格納しておく作業が行われている。

このように、複数の工程を経てウエハをワークテーブルに受け渡す場合、例えば各工程でのワークテーブルの基準位置(例えば、中心位置)とウエハの基準位置(例えば、中心位置)とが合致した状態でセットされる必要がある。

そこで、ウエハの基準位置と前記ウエハを載置するワークテーブルの基準位置を合致させてセットする従来の手法として、例えば特許文献１や、図５、図６に示すように、ワークテーブル上に載せたウエハをカメラで撮像して、ウエハの中心とワークテーブルの中心との偏心量を検出する技術等が知られている。

図５に示す手法は、ウエハＷの外径よりも大きな外径をしたワークテーブル１０１上にウエハＷを載せる。そして、ワークテーブル１０１の外周外側の上方から、ワークテーブル１０１とウエハＷに照明光１０４を同時に当てるとともに、ワークテーブル１０１の上方に配置させたカメラ１０２で、ワークテーブル１０１の外周縁とウエハＷの外周縁を同時に撮像し、その撮像された画像からワークテーブル１０１の中心位置に対するウエハＷの中心位置の偏心量を検出するようにしている。

一方、図６に示す手法は、ウエハＷの外径よりも大きな外径をしたワークテーブル１０１上に、ウエハＷを載せる。そして、ワークテーブル１０１の中心側(内側)斜め上方から照明光１０４を同時に当てるとともに、ワークテーブル１０１の上方に配置させたカメラ１０２で、ワークテーブル１０１の外周縁とウエハＷの外周縁を同時に撮像し、その撮像された画像からワークテーブル１０１の中心位置に対するウエハＷの中心位置の偏心量を検出するようにしている。

特許第５４８４８２１号公報

しかしながら、図５及び図６に示す従来の各手法では、ウエハＷの外周縁周辺に当てられた照明光１０４が、ウエハＷの外周縁やワークテーブル上で乱反射する。そのため、例えば図７に示す画像のように、ウエハＷの外周縁とワークテーブル１０１との境界部分１０３がぼやけて、境界がはっきりしなくなる。そして、光の乱反射による境界部分１０３のぼやけによって、ウエハＷを載置するワークテーブル１０１の中心とウエハＷの中心との偏心量が識別しづらく、高精度の検出ができないと言う問題点があった。

そこで、ウエハを載置するワークテーブルの基準位置とウエハの基準位置との偏心量を短時間で正確に検出できるようにした偏心量検出装置及び偏心量検出方法を提供するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。

本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１に記載の発明は、ウエハの基準位置と前記ウエハを載置するワークテーブルの基準位置との偏心量を検出する偏心量検出装置であって、前記ウエハの外形よりも大きく、かつ、光透過性の部材で形成された前記ワークテーブルと、前記ワークテーブルの裏面側に設けられ、前記ワークテーブルの外周縁が発光面内に位置するように位置決めされた照明光源体と、前記ワークテーブルの表面側に配置されて、前記ワークテーブル上の前記ウエハの外周縁と前記ワークテーブルの外周縁とを同時に撮像するカメラと、前記カメラで撮像された画像から前記ワークテーブルの基準位置及び前記ウエハの基準位置を検出し、前記ワークテーブル及び前記ウエハの基準位置に基づいて前記ワークテーブルの基準位置に対する前記ウエハの基準位置の偏心量を算出する制御部と、を備える偏心量検出装置を提供する。

この構成によれば、ウエハの外形よりも大きな外形で、かつ、光透過性を有するワークテーブル上にウエハを載置し、ワークテーブルの裏面側に配置したフラット照明光源体からワークテーブルを照明すると、フラット照明光源体からの光がワークテーブルを透過してワークテーブルの表面側に到達する。ワークテーブルの表面側では、ウエハが載置されている部分は遮光されて、遮光されていない部分は明るく見え、その明度差によってウエハの外周縁が鮮明に強調される。また、ワークテーブルの外周縁も、ワークテーブルを透過して来る光よりもフラット照明光源体から直に入射して来る光の方が明るく見え、その明度差により、鮮明に強調される。そして、このウエハの外周縁とワークテーブルの外周縁とを、ワークテーブルの表面側からカメラで撮像すると、ウエハの外周縁とワークテーブルの外周縁とが同時に画像として鮮明に映し出される。さらに、カメラで撮像された画像を制御部で解析すると、ウエハとワークテーブルの偏心量が精度良く、短時間で算出される。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の構成において、前記ウエハの基準位置を前記ウエハの中心に設定し、前記ワークテーブルの基準位置を前記ワークテーブルの中心位置に設定してなるとともに、前記制御部は、前記カメラで撮像した画像の前記ウエハの外周縁と前記ワークテーブルの外周縁から前記ワークテーブルの前記中心に対する前記ウエハの前記中心の偏心量を算出する、偏心量検出装置を提供する。

この構成によれば、制御部は、円板状をしたウエハの外周縁と同じく円板状をしたワークテーブルの外周縁から、ワークテーブルの円の中心に対するウエハの円の中心の偏心量を正確に、短時間で算出することができる。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の構成において、前記ワークテーブルは、載置された前記ウエハを全面吸着して保持する、偏心量検出装置を提供する。

この構成によれば、ウエハに反りがあったような場合でも、ワークテーブルがウエハを全面吸着することにより、ウエハの反りを直し、ウエハの反りのない状態で、カメラがウエハの外形縁とワークテーブルの外周縁とを撮像する。これにより、ウエハの反りの影響を受けることなく、常に、ワークテーブルの中心に対するウエハの中心の偏心量を正確に、短時間で算出することができる。

請求項４に記載の発明は、請求項１、２又は３に記載の構成において、前記ワークテーブルは、前記ウエハを保持して回転可能で、前記制御部は、前記ウエハを保持した前記ワークテーブルを任意の角度ずつ回転させて、その回転角度毎に得られる前記各画像から前記偏心量を算出する、偏心量検出装置を提供する。

この構成によれば、ワークテーブルを任意の角度ずつ回転させて、任意の角度毎に偏心量を検出し、各回転角度で検出された偏心量を基に、ワークテーブルの中心に対するウエハの中心の偏心量を検出するので、より正確に、また短時間で算出することができる。

請求項５に記載の発明は、ウエハの基準位置と前記ウエハを載置するワークテーブルの基準位置との偏心量を検出する偏心量検出方法であって、前記ウエハの外形よりも大きい光透過性を有する部材で形成した前記ワークテーブルの上に前記ウエハを載置し、前記ワークテーブルの裏面側に配置され、前記ワークテーブルの外周縁が発光面内に位置するように位置決めされた照明光源体から前記ワークテーブルの裏面に光を照射し、前記ワークテーブルの表面側に配置したカメラで前記ウエハの外周縁と前記ワークテーブルの外周縁とを同時に撮像し、制御部が、前記カメラで撮像された画像から前記ワークテーブルの基準位置及び前記ウエハの基準位置を検出し、前記ワークテーブル及び前記ウエハの基準位置に基づいて前記ワークテーブルの基準位置に対する前記ウエハの基準位置の偏心量を検出する、偏心量検出方法を提供する。

この方法によれば、ウエハの外形よりも大きな外形で、かつ、光透過性を有するワークテーブル上にウエハを載置し、ワークテーブルの裏面側に配置したフラット照明光源体からワークテーブルを照明すると、照明光源体からの光がワークテーブルを透過してワークテーブルの表面側に到達する。ワークテーブルの表面側では、ウエハが載置されている部分は遮光されて、遮光されていない部分は明るく見え、その明度差によってウエハの外周縁が鮮明に強調される。また、ワークテーブルの外周縁も、ワークテーブルを透過して来る光よりも照明光源体から直に入射して来る光の方が明るく見え、その明度差により、鮮明に強調される。そして、このウエハの外周縁とワークテーブルの外周縁とを同時に、ワークテーブルの表面側からカメラで撮像すると、ウエハの外周縁とワークテーブルの外周縁とが同時に画像として鮮明に映し出される。さらに、カメラで撮像された画像を制御部で解析すると、ウエハとワークテーブルの偏心量が精度良く、短時間で算出される。

請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の方法において、前記ウエハを保持した前記ワークテーブルを任意の角度ずつ回転させ、前記ワークテーブルの回転角度毎に得られる前記各画像から前記ワークテーブルの中心に対する前記ウエハの中心の偏心量を算出する、偏心量検出方法を提供する。

この方法によれば、ワークテーブルを任意の角度ずつ回転させて、任意の角度毎にそれぞれ偏心量を検出し、各回転角度で検出された偏心量を基に、ワークテーブルの中心に対するウエハの中心の偏心量を検出するので、より正確に、また短時間で算出することができる。

請求項７に記載の発明は、請求項５又は６に記載の方法において、前記ウエハの外周縁と前記ワークテーブルの外周縁の撮像は、前記ワークテーブル上に前記ウエハを全面吸着保持して行う、偏心量検出方法を提供する。

この方法によれば、ウエハに反りがあったような場合でも、ワークテーブルがウエハを全面吸着することにより、ウエハの反りを直し、ウエハに反りのない状態で、カメラがウエハの外周縁とワークテーブルの外周縁とを撮像する。これにより、ウエハの反りの影響を受けることがなく、常に、ワークテーブルの中心に対するウエハの中心の偏心量を正確に、短時間で算出することができる。

発明によれば、光透過性を有するワークテーブル上にウエハを載置するとともに、ワークテーブルの裏面側ではフラット照明光源体からワークテーブルに光を照射し、ワークテーブルの表面側ではカメラでワークテーブルの外形縁とウエハの外形縁とを同時に撮像するようにしているので、ウエハが載置されている部分とワークテーブルとの境界部分(ウエハの外周縁)と、ワークテーブルの外周縁とフラット照明光源体との境界部分(ワークテーブルの外周縁)が共に鮮明に強調された画像が得られる。また、その鮮明に強調されて撮像された状態にある画像を制御部で解析することにより、ワークテーブルの基準位置に対するウエハの基準位置の偏心量が精度良く短時間で算出される。

本実施の形態に係るアライメント装置の斜視図である。 搬送ロボットアームを省略して示す同上アライメント装置の平面図である。 図２のＡ－Ａ線に沿う方向から見た同上アライメント装置要部の側面図である。 図３で示す同上アライメント装置におけるカメラで撮像される画像の一例を示す図である。 従来のアライメント装置におけるアライメント手法の一例を説明する図である。 従来のアライメント装置におけるアライメント手法の他の一例を説明する図である。 従来のアライメント手法の問題点を説明する図である。

本発明はウエハを載置するワークテーブルの基準位置とウエハの基準位置との偏心量を短時間で正確に検出できるようにした偏心量検出装置及び偏心量検出方法を提供するという目的を達成するために、ウエハの基準位置と前記ウエハを載置するワークテーブルの基準位置との偏心量を検出する偏心量検出装置であって、前記ウエハの外形よりも大きく、かつ、光透過性の部材で形成された前記ワークテーブルと、前記ワークテーブルの裏面側に配置された照明光源体と、前記ワークテーブルの表面側に配置されて、前記ワークテーブル上の前記ウエハの外周縁と前記ワークテーブルの外周縁を撮像するカメラと、前記カメラで撮像された画像から、前記ワークテーブルの基準位置に対する前記ウエハの基準位置との偏心量を算出する制御部と、を備える構成にしたことにより実現した。

以下、本発明の実施形態に係る一実施例を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施例において、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。

また、構成要素等の形状、位置関係に言及するときは、特に明示した場合及び原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似又は類似するもの等を含む。

また、図面は、特徴を分かり易くするために特徴的な部分を拡大する等して誇張する場合があり、構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。また、断面図では、構成要素の断面構造を分かり易くするために、一部の構成要素のハッチングを省略することがある。

また、以下の説明において、上下や左右等の方向を示す表現は、絶対的なものではなく、本発明の偏心量検出装置の各部が描かれている姿勢である場合に適切であるが、その姿勢が変化した場合には姿勢の変化に応じて変更して解釈されるべきものである。また、実施例の説明の全体を通じて同じ要素には同じ符号を付している。

図１及び図３は本発明の形態に係るアライメント装置１０を示すもので、図１はその外観斜視図、図２は搬送ロボット１１を省略して示すアライメント装置１０の平面図、図３は図２のＡ－Ａ線に沿う方向から見たアライメント装置１０の要部側面図である。

図１に示すように、アライメント装置１０は、ワークテーブル１２を有する。ワークテーブル１２には、ワークテーブル１２の外形よりも小さい外形をした略円板状のウエハＷが載置される。なお、本実施例で示すワークテーブル１２の外形は円板状をしたテーブルで、またワークテーブル１２上に載置されるウエハＷの外形も円板状をしたウエハを示しているが、ワークテーブル１２及びウエハＷの外形は必ずしも円板形でない場合もある。また、ウエハＷは、シリコン、ガリウム砒素、セラミック、ガラス、サファイア系のデバイスウエハ等である。

ここで、まずウエハＷのアライメント作業の概要を説明する。ウエハＷは、ロードカセットなどの所定の位置からワークテーブル１２上に搬送される。より具体的には、ウエハＷは、搬送ロボット１１のアーム部１１ａの先端部に設けられているチャック部１１ｂで保持され、これがワークテーブル１２上まで搬送されて、ワークテーブル１２の上面１２ａ上に受け渡される。

ワークテーブル１２上に受け渡されたウエハＷは、ワークテーブル１２で保持される。ワークテーブル１２で保持されたウエハＷは、カメラ１３と制御部１４とでワークテーブル１２の中心位置(基準位置)Ｏに対するウエハＷの中心位置(基準位置)Ｏの偏心量を計測するためのアライメントが行われる。また、制御部１４は、ここで計測された偏心量を次工程に対して教示する。

すなわち、アライメントが終了すると、アライメントを終えたウエハＷは再び搬送ロボット１１のチャック部１１ｂで保持され、次の加工位置へ搬送される。次の搬送位置では、制御部１４で検出された偏心量を考慮して、ウエハＷの中心と図示しない次工程のワークテーブル１２Ｂの中心等の基準位置が互いに一致するように、次工程のワークテーブル１２Ｂ側の基準位置、または搬送ロボット１１がウエハＷを次工程のワークテーブル１２Ｂ上に搬送して受け渡す位置を調整する。したがって、次工程では、ワークテーブル１２Ｂの中心位置(基準位置)にウエハＷの中心位置(基準位置)が一致された状態で載置される。以上が、本実施例のアライメント処理である。

次に、アライメント装置１０の細部構成を図１～図３を用いて更に説明する。ワークテーブル１２は、図示しない回転駆動軸の上端部に取り付けられており、回転駆動軸の軸中心Ｏを同心として回転駆動軸と一体に水平に間欠回転する。なお、回転駆動軸は、回転駆動部１５の駆動力によりインデックス回転(間欠回転)する。

ワークテーブル１２は、ウエハＷの外径よりも大きな外径を有する円板状をした透明体又は半透明体であり、光透過性の部材、例えばポリ塩化ビニル(ＰＶＣ)、アクリル樹脂等で形成されている。また、ワークテーブル１２の内部は空洞であり、ウエハＷが載置される上面１２ａには複数の孔が設けられている。なお、図示しないが、ワークテーブル１２の空洞内部は真空源と連結されている。そして、ワークテーブル１２の上面１２ａにウエハＷが載置されると、真空源によりワークテーブル１２の内部の空気が抜かれて負圧化され、上面１２ａに負圧を作り、その負圧でウエハＷを上面１２ａに真空吸着して保持できるようになっている。この真空吸着保持により、ワークテーブル１２に搬送されて来たウエハＷに反りが有ったときは、反りの有るウエハＷは、ワークテーブル１２の上面１２ａにならって平面状に直されて配置され、安定したアライメントが行われる。

図１～図３に示すように、ワークテーブル１２の下面(裏面)側には、フラット照明光源体１６が配置されている。フラット照明光源体１６は、平面視、長四角形をした平板状に形成されている。フラット照明光源体１６の内部には、例えば複数個のＬＥＤ電球が略均等に並べられており、その前面(上面)に光拡散板を配置して、全面が略均一に発光するように形成された発光面１６ａを有するフラット照明光源体１６として形成されている。そして、フラット照明光源体１６は、その発光面１６ａをワークテーブル１２の下面と対向させて配置されている。なお、ここでのフラット照明光源体１６の配置は、ワークテーブル１２が発光面１６ａの全体を覆わず、図１及び図２に示すように、発光面１６ａ内にワークテーブル１２の外周縁(または外形縁)１２ａが位置するようにして配置されている。

一方、同じく図１～図３に示すように、ワークテーブル１２の上面(表面)側には、フラット照明光源体１６と対向する位置に、カメラ１３が配置されている。カメラ１３は、例えばＣＣＤカメラであり、図２に示すようにレンズの画角１３ａを各々結ぶ２つの対角線１３ａ１，１３ａ２のうち、一つの対角線１３ａ１が、ワークテーブル１２上とワークテーブル１２上とを横切る状態で配置されている。したがって、カメラ１３で撮像される画像は、ウエハＷの外周縁Ｗａとワークテーブル１２の外周縁１２ｂがフラット照明光源体１６の発光面１６ａと共に同時に得られ、また対角線１３aとウエハＷの外周縁Ｗａとが交わる２つの交点１３ｂ１，１３ｂ２と、対角線１３aとワークテーブル１２の外周縁１２ｂとが交わる２つの交点１３ｂ３，１３ｂ４が同時に得られるようになっている。

制御部１４は、アライメント装置１０の全体の動作を制御するものであり、例えばコンピュータである。制御部１４では、カメラ１３で撮像された画像を処理して、撮像画像上の座標からワークテーブル１２の軸中心ＯとウエハＷの中心との偏心量を算出し、その偏心量を後工程処理のために教示する。

次に、アライメント装置１０におけるアライメント処理の作用を説明する。ウエハＷが、搬送ロボット１１におけるアーム部１１ａのチャック部１１ｂで保持され、ワークテーブル１２の上面１２ａまで搬送され、その上面１２ａ上に載置されると、カメラ１３の撮像が開始される。カメラ１３では、ワークテーブル１２の外周縁１２ｂとウエハＷの外周縁Ｗａを同時に撮像し、個々で得られた画像が制御部１４に送られる。制御部１４では、撮像された画像の交点１３ｂ１，１３ｂ２，１３ｂ３，１３ｂ４の各座標からワークテーブル１２の中心位置(軸中心Ｏ)とウエハＷの中心位置との偏心量を検出する。なお、ここでは、ウエハＷはワークテーブル１２の上面１２ａに真空吸着保持される。また、カメラの撮像時には、フラット照明光源体１６の発光面１６ａの全体が発光する。そして、発光面１６ａからの照明光１７が光透過性を有するワークテーブル１２を透過して、ワークテーブル１２の上面１２ａに至る。

ワークテーブル１２の上面（表面側）１２ａでは、ウエハＷが載置されている部分は遮光され、鎖位置されていない部分は明るく、その境界部分となるウエハＷの外周縁（外形縁）Ｗａが上面１２ａとの明度差により鮮明に輪郭されて強調される。また、ワークテーブル１２の外周縁（外形縁）１２ｂもワークテーブル１２を透過して来る光よりも発光面１６ａから直に入射して来る光の方が明るく見え、その明度差により鮮明に輪郭されて強調される。そして、カメラ１３では、ウエハＷの外周縁Ｗａとワークテーブル１２の外周縁１２ｂとが同時に鮮明に撮像される。図４は、こうしてワークテーブル１２の外周縁１２ｂとウエハＷの外周縁Ｗａとの画像の一例であり、ウエハＷの外周縁Ｗａ及びワークテーブル１２の外周縁１２ｂの各部分にはぼやけが発生することなく、鮮明に映し出される。

したがって、カメラ１３で鮮明に撮像された画像が制御部１４で解析すると、ウエハＷの中心とワークテーブル１２の中心位置との偏心量が精度良く短時間で算出されて、制御部１４ではその算出された偏心量を教示することができる。

また、必要により、ワークテーブル１２をウエハＷと共に任意の位置にインデックス回転させ、その回転角度毎(例えば１２０°毎)に得られる複数(３箇所)の画像から、制御部１４では各回転角度における交点１３ｂ１，１３ｂ２，１３ｂ３，１３ｂ４の座標からワークテーブル１２の中心位置とウエハＷの中心位置を検出し、ワークテーブル１２の中心位置に対するウエハＷの中心位置の偏心量を算出すると、さらに精度の高い測定をすることができる。

なお、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変を成すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。

１０ ：アライメント装置
１１ ：搬送ロボット
１１ａ ：アーム部
１１ｂ ：チャック部
１２ ：ワークテーブル
１２Ｂ ：ワークテーブル
１２ａ ：上面
１２ｂ ：外周縁
１３ ：カメラ
１３ａ ：画角
１３a ：対角線
１３ａ１ ：対角線
１３ａ２ ：対角線
１３ｂ１ ：交点
１３ｂ２ ：交点
１３ｂ３ ：交点
１３ｂ４ ：交点
１４ ：制御部
１５ ：回転駆動部
１６ ：フラット照明光源体
１６ａ ：発光面
１７ ：照明光
Ｏ ：軸中心
Ｗ ：ウエハ
Ｗａ ：外周縁

Claims (7)

1. ウエハの基準位置と前記ウエハを載置するワークテーブルの基準位置との偏心量を検出する偏心量検出装置であって、
   前記ウエハの外形よりも大きく、かつ、光透過性の部材で形成された前記ワークテーブルと、
   前記ワークテーブルの裏面側に設けられ、前記ワークテーブルの外周縁が発光面内に位置するように位置決めされた照明光源体と、
   前記ワークテーブルの表面側に配置されて、前記ワークテーブル上の前記ウエハの外周縁と前記ワークテーブルの外周縁とを同時に撮像するカメラと、
   前記カメラで撮像された画像から前記ワークテーブルの基準位置及び前記ウエハの基準位置を検出し、前記ワークテーブル及び前記ウエハの基準位置に基づいて前記ワークテーブルの基準位置に対する前記ウエハの基準位置の偏心量を算出する制御部と、
   を備えることを特徴とする偏心量検出装置。
2. 前記ウエハの基準位置を前記ウエハの中心に設定し、前記ワークテーブルの基準位置を前記ワークテーブルの中心位置に設定してなるとともに、
   前記制御部は、前記カメラで撮像した画像の前記ウエハの外周縁と前記ワークテーブルの外周縁から前記ワークテーブルの前記中心に対する前記ウエハの前記中心の偏心量を算出する、ことを特徴とする請求項１に記載の偏心量検出装置。
3. 前記ワークテーブルは、載置された前記ウエハを全面吸着して保持する、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の偏心量検出装置。
4. 前記ワークテーブルは、前記ウエハを保持して回転可能で、
   前記制御部は、前記ウエハを保持した前記ワークテーブルを任意の角度ずつ回転させて、その回転角度毎に得られる前記各画像から前記偏心量を算出する、ことを特徴とする請求項１、２又は３に記載の偏心量検出装置。
5. ウエハの基準位置と前記ウエハを載置するワークテーブルの基準位置との偏心量を検出する偏心量検出方法であって、
   前記ウエハの外形よりも大きい光透過性を有する部材で形成した前記ワークテーブルの上に前記ウエハを載置し、
   前記ワークテーブルの裏面側に配置され、前記ワークテーブルの外周縁が発光面内に位置するように位置決めされた照明光源体から前記ワークテーブルの裏面に光を照射し、
   前記ワークテーブルの表面側に配置したカメラで前記ウエハの外周縁と前記ワークテーブルの外周縁とを同時に撮像し、
   制御部が、前記カメラで撮像された画像から前記ワークテーブルの基準位置及び前記ウエハの基準位置を検出し、前記ワークテーブル及び前記ウエハの基準位置に基づいて前記ワークテーブルの基準位置に対する前記ウエハの基準位置の偏心量を検出する、ことを特徴とする偏心量検出方法。
6. 前記ウエハを保持した前記ワークテーブルを任意の角度ずつ回転させ、前記ワークテーブルの回転角度毎に得られる前記各画像から前記ワークテーブルの中心に対する前記ウエハの中心の偏心量を算出する、ことを特徴とする請求項５に記載の偏心量検出方法。
7. 前記ウエハの外周縁と前記ワークテーブルの外周縁の撮像は、前記ワークテーブル上に前記ウエハを全面吸着保持して行う、ことを特徴とする請求項５又は６に記載の偏心量検出方法。