CN100527934C - 部件安装精度的检查方法及检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供部件安装精度的检查方法及检查装置。在由透光性材料制成，并且在与部件安装侧表面相对的表面上具备被朝向该部件安装侧表面配置的反射面的检查用基板的所述部件安装侧表面的部件安装位置上，安装部件，向所述检查用基板的所述部件安装侧表面照射光，并且使该光透过该部件安装侧表面而在所述反射面上反射，拍摄由穿过所述部件安装侧表面而由所述部件周围射出的反射光形成的所述部件的轮廓的图像，基于该图像来算出部件安装精度。

Description

部件安装精度的检查方法及检查装置

技术领域

本发明涉及将用部件保持构件保持的部件安装于基板上的部件安装中的部件安装精度的检查方法及检查装置。

背景技术

以往，已知有各种各样的此种部件安装精度的检测方法及检测装置。例如进行如下的方法，即，将以比在电子部件安装装置中所处理的电子部件更高的尺寸公差制作的检查用的夹具部件，在该电子部件安装装置中利用部件吸附管嘴向基板上安装，通过检测该基板上的所述夹具部件的安装位置的位置偏移量，来进行该电子部件安装装置的部件安装精度的检测(例如参照专利文献1)。

在此种检查方法中，例如在将被以高尺寸公差制成并且其表面被涂刷为全黑的夹具部件安装在白色或黄色的合成树脂基板的部件安装位置上后，通过从该夹具部件的上方照射光，拍摄由被所述基板表面反射的反射光形成的所述夹具部件的轮廓的图像，通过对该图像数据进行识别处理，进行所述安装位置的位置偏移量的检测。

更具体来说，当从安装于所述基板上的状态的所述夹具部件的上方照射光时，因所述夹具部件被涂刷为全黑，因而不会从所述夹具部件的表面(上面)反射出所述被照射的光(或者其反射量被显著地降低)，另一方面，因所述基板表面被设为白色或黄色，因而从该基板表面会反射出所述被照射的光(或者其反射量被设为比所述夹具部件表面更大)。所以，利用仅从所述基板表面反射的反射光(或者来自所述基板表面的反射光、来自所述夹具部件的表面的反射光的反射光量差)，就会形成所述夹具部件的轮廓的图像。

通过拍摄该轮廓的图像，对该图像数据进行识别处理，就可以使用所述夹具部件的轮廓来识别其安装位置，另外，通过将所识别的安装位置与预先确定的基准安装位置数据比较，就可以检测出其位置偏移量。同时，所述夹具部件因被以比所述电子部件更高的尺寸公差制成，因而该位置偏移量可以推测是由所述电子部件安装装置的安装位置精度引起而产生的，从而可以检测该电子部件安装装置的安装位置精度。

专利文献1：专利第3015144号公报

近年来，电子部件的小型化·微小化日益加强，因而有如下的情况，即，与在确保用于部件安装的最低限度所必需的刚性的同时实现了小型化的吸附管嘴的头端部分相比，所安装的电子部件更小。作为此种被小型化了的电子部件，例如对应有通称0603芯片(0.6mm×0.3mm的矩形部件)等。

在处理此种被小型化了的电子部件的电子部件安装装置中，为了进行该部件安装精度的检测，使用与该被小型化了的电子部件具有相同大小的夹具部件，然而为了将该夹具部件用吸附管嘴吸附保持，进行其吸附保持姿势的修正，即使从所述吸附管嘴的下方照射光，由于与该吸附管嘴的头端部分相比，所述夹具部件更小，因此就无法利用所述被照射的光在所述吸附管嘴的上方取得所述夹具部件的轮廓的图像。另外，由于所述夹具部件的表面为了抑制光的反射而被涂刷为全黑，因此无法使所述被照射的光在所述夹具部件的表面反射，取得由该反射光形成的所述夹具部件的图像。所以，就无法对在将所述夹具部件用所述吸附管嘴吸附保持时产生的保持姿势的位置偏移通过取得其保持姿势的图像而进行修正，本来应当利用修正动作来消除的位置偏移量就被直接加在所述夹具部件的安装位置的位置偏移量上，从而有无法施行进行所述被小型化的电子部件的安装之类的电子部件安装装置的正确的部件安装位置精度的检测的问题。

另外，有时不使用此种夹具部件，而使用实际的电子部件，通过确认由吸附管嘴吸附保持的姿势，来进行部件安装精度的检测。此种情况下，在安装头上，设有将用于识别吸附管嘴对电子部件的吸附保持姿势的光反射的所谓反射体。该反射体具有将被沿着吸附管嘴朝向上方照射的光向下方反射的反射面，其具有如下的作用，即，例如通过将所述反射面制成红色，在被照射了红色的光的情况下，在所述反射面上就反射该红色的光，在被照射了作为红色的补色的绿光的情况下，在所述反射面上就将该绿色的光吸收(即，实质上不反射)。因具有此种作用，就可以选择性地进行如下的操作，即，利用所述红色的光被反射体反射的现象，用配置于吸附管嘴的下方的部件照相机取得由吸附管嘴吸附保持的电子部件的轮廓的图像，或利用所述绿色的光被反射体吸收的现象，取得由来自被吸附保持的电子部件的表面的反射光形成的图像。

但是，即使利用使用了此种反射体的方法，也还是会受到由吸附管嘴的头端部分和电子部件的大小的关系造成的拍摄方法的选择上的制约。即，在电子部件比吸附管嘴的头端部分更小的情况下，会有无法取得使用了所述红色的光的电子部件的轮廓的图像的问题。

另外，在具有此种反射体的构成中，虽然需要使电子部件安装装置具备能够照射如上所述的红色及绿色的光的特殊的光源，但是装备于每个电子部件安装装置上的光源的种类也是各种各样的，从设备构成的观点考虑，会有难以与此种特殊的光源的装备所要求的图像取得的方法对应的问题。

另外，在使用所述的夹具部件的情况下，就会从其上方向安装了所述夹具部件的状态的所述基板表面照射光，然而因所述电子部件被小型化，因而就不仅是从该电子部件的垂直上方照射光，而且也从倾斜方向照射光。此种情况下，会有在所述基板表面形成所述夹具部件的影子的情况，此种情况下，在所取得的所述夹具部件的轮廓的图像中，会有该夹具部件的轮廓模糊的情况，从而有出现无法检测出正确的部件安装位置的情况的问题。特别是在进行此种被微细化了的芯片部件的安装的电子部件安装装置的部件安装精度的检测中，由于所述夹具部件的轮廓识别变得很重要，因此所述轮廓的模糊的产生就成为很大的问题。

发明内容

所以，本发明的目的在于解决所述问题，提供在将由部件保持构件保持的部件安装于基板上的部件安装的部件安装精度的检查中，可以检测出高精度的部件安装精度的部件安装精度的检查方法及检查装置。

为了达成所述目的，本发明如下所示地构成。

根据本发明的方式1，提供一种部件安装精度的检查方法，是将由部件保持构件保持的部件安装于基板上的部件安装的部件安装精度的检查方法，其特征是，

使用如下的检查用部件，其具有大致长方体形状，将一面设为非反射面，将与该面相对的一面作为反射面，向处于由所述部件保持构件保持了所述非反射面的状态下的所述检查用部件的所述反射面照射光，并且拍摄由利用该光照射得到的反射光形成的所述检查用部件的实像，

通过进行所述被拍摄的所述实像的图像数据的识别处理，来识别借助所述部件保持构件的所述检查用部件的保持姿势，

在由透光性材料制成，并且在与其部件安装侧表面相对的表面上具备朝向该部件安装侧表面配置的反射面的检查用基板的所述部件安装侧表面的部件安装位置上，按照配置所述检查用部件的所述反射面的方式，在对该被识别的保持姿势与基准保持姿势之间的姿势偏差进行修正的同时，利用所述部件保持构件安装该检查用部件，

向所述检查用基板的部件安装侧表面照射光，使该被照射的光透过该部件安装侧表面而在所述反射面上反射，拍摄由穿过所述部件安装侧表面而由所述检查用部件的周围射出的反射光形成的所述检查用部件的轮廓的图像，

通过进行所述被拍摄的所述轮廓的图像数据的识别处理，算出所述检查用部件的实际的安装位置，通过算出所述实际的安装位置与被预先确定的所述部件安装位置的差，来求得部件安装精度。

根据本发明的方式2，提供如下的方式1所述的部件安装精度的检查方法，即，所述透光性材料为玻璃材料。

根据本发明的方式3，提供如下的方式1所述的部件安装精度的检查方法，即，所述检查用基板的所述反射面是将所述被照射的光镜面反射的镜面反射面，

所述检查用基板具有被配置于所述部件安装侧表面和所述镜面反射面之间，使所述被镜面反射的光扩散的扩散层。

根据本发明的方式4，提供如下的方式1所述的部件安装精度的检查方法，即，所述检查用基板的所述反射面是将所述被照射的光扩散反射的扩散反射面。

根据本发明的方式5，提供如下的方式4所述的部件安装精度的检查方法，即，所述扩散反射面是通过在所述检查用基板的相对的表面上贴附扩散反射片而形成的。

根据本发明的方式6，提供一种部件安装精度的检查方法，是将由部件保持构件保持的部件安装于基板上的部件安装的部件安装精度的检查方法，其特征是，

在由透光性材料制成，并且在与部件安装侧表面相对的表面上具备被朝向该部件安装侧表面配置的反射面的检查用基板的所述部件安装侧表面的部件安装位置上，利用所述部件安装构件安装所述部件，

向所述检查用基板的所述部件安装侧表面照射光，使该光透过该部件安装侧表面而在所述反射面上反射，拍摄由穿过所述部件安装侧表面而由所述部件周围射出的反射光形成的所述部件的轮廓的图像，

通过进行利用该拍摄取得的所述轮廓的图像数据的识别处理，算出所述部件的实际的安装位置，通过算出所述实际的安装位置与被预先确定的所述部件安装位置的差，来求得部件安装精度。

根据本发明的方式7，提供一种部件安装精度的检查装置，是将由部件保持构件保持的部件安装于基板上的部件安装装置的部件安装精度的检查装置，其特征是，具备：检查用基板、检查用部件、部件拍摄装置、基板拍摄装置、保持姿势识别部、安装位置识别部、安装精度运算部，其中，

所述检查用基板不是所述基板，而是由所述部件安装装置保持，由透光性材料制成，并且在与其部件安装侧表面相对的表面上具备朝向该部件安装侧表面配置的反射面，

所述检查用部件不是所述部件，而是被向所述部件安装装置供给，形成将一面设为非反射面，并且将与该面相对的面设为反射面的大致长方体，将该被保持面作为所述非反射面而由所述部件保持构件保持，按照使所述反射面与所述检查用基板的所述部件安装侧表面相对的方式安装于所述检查用基板上，

所述部件拍摄装置向利用所述部件保持构件保持了其所述非反射面的状态的所述检查用部件的所述反射面照射光，拍摄由利用该光照射得到的反射光形成的所述检查用部件的实像，

所述基板拍摄装置向在其部件安装位置上安装了所述检查用部件的所述检查用基板的部件安装侧表面照射光，并且使该被照射的光透过该部件安装侧表面而在所述反射面上反射，拍摄由穿过所述部件安装侧表面而由所述检查用部件的周围射出的反射光形成的所述检查用部件的轮廓的图像，

所述保持姿势识别部通过对所述被保持的状态的所述检查用部件的实像的图像数据进行识别处理，来识别基于所述部件保持构件的所述检查用部件的保持姿势，从而可以修正该被识别的保持姿势与基准姿势的姿势偏差，

所述安装位置识别部通过对所述被安装的状态的所述检查用部件的轮廓的图像数据进行识别处理，来识别所述检查用部件的实际的安装位置，

所述安装精度运算部通过算出利用所述安装位置识别部识别的所述实际的安装位置、被预先确定的所述检查用部件的安装位置的差，来运算所述部件安装精度。

根据本发明的方式8，提供如下的方式7所述的部件安装精度的检查装置，即，所述透光性材料为玻璃材料。

根据本发明的方式9，提供如下的方式7或8所述的部件安装精度的检查装置，即，所述检查用基板的所述反射面是将所述被照射的光镜面反射的镜面反射面，

所述检查用基板具有使所述被镜面反射的光扩散的扩散层。

根据本发明的方式10，提供如下的方式7或8所述的部件安装精度的检查装置，即，所述检查用基板的所述反射面是将所述被照射的光扩散反射的扩散反射面。

根据本发明的方式11，提供一种部件安装精度的检查装置，是将由部件保持构件保持的部件安装于基板上的部件安装装置的部件安装精度的检查装置，其特征是，具备：检查用基板、基板拍摄装置、安装位置识别部、安装精度运算部，其中，

所述检查用基板不是所述基板，而是由所述部件安装装置保持，由透光性材料制成，并且在与其部件安装侧表面相对的表面上具备朝向该部件安装侧表面配置的反射面，

所述基板拍摄装置向在其部件安装位置上安装了所述部件的所述检查用基板的部件安装侧表面照射光，并且使该被照射的光透过该部件安装侧表面而在所述反射面上反射，拍摄由穿过所述部件安装侧表面而从所述部件的周围射出的反射光形成的所述部件的轮廓的图像，

所述安装位置识别部通过对所述被安装的状态的所述部件的轮廓的图像数据进行识别处理，来识别所述部件的实际的安装位置，

所述安装精度运算部通过算出利用所述安装位置识别部识别的所述实际的安装位置、被预先确定的所述部件的安装位置的差，来运算所述部件安装精度。

根据本发明的所述方式1，在部件安装精度的检查方法中，在识别由所述部件保持构件保持的所述检查用部件的保持姿势时，不是拍摄利用光照射得到的所述检查用部件的轮廓的图像，而是进行由利用所述光照射得到的反射光形成的所述检查用部件的实像的拍摄，因而可以不受所述部件保持构件的头端部分的形状或大小影响，而可靠地取得所述检查用部件的保持姿势的图像。特别是，在所述检查用部件的大小被小型化为比所述部件保持构件的头端部分更小的情况下，虽然难以拍摄所述的轮廓的图像，但是由于能够实现由所述反射光形成的实像获取，因此所述检查方法更为有效。

另外，通过基于像这样拍摄的图像，识别所述检查用部件的保持姿势，并且基于该识别结果，在修正其姿势偏差的同时安装于基板上，就可以减少所述姿势偏差对所述检查用部件的安装位置偏差造成的影响。所以，其后，通过向所述基板照射光，拍摄由利用该光照射得到的所述基板的所述检查用部件周围的反射光形成的所述检查用部件的轮廓的图像，进行识别处理，就可以算出安装位置偏移量，将该被算出的安装位置偏移量作为部件安装精度检测出。即，由于在所述安装位置偏移量中，不含有所述保持姿势的姿势偏差，因此就可以直接作为所述部件安装精度而进行高精度的运算。

另外，通过使用将一面作为非反射面而将与之面对的面作为反射面的所述检查用部件，在利用所述部件保持构件保持了所述非反射面的状态下进行所述检查用部件的保持姿势的图像的拍摄的情况下，就可以用所述反射面将所述被照射的光更为有效地反射而实现清晰的图像获取。另外，通过一直在该保持状态下进行所述检查用部件向所述基板上的安装，形成使所述检查用部件的所述反射面与所述基板的部件安装侧表面相对地配置的状态，就可以使朝向所述部件安装侧表面照射的光不在所述检查用部件的表面反射，而将其吸收，从而可以更为清晰地获取该检查用部件的轮廓的图像。所以，就可以实现更高精度的部件安装精度的检查。

另外，通过使用由透光性材料制成，并且在与所述部件安装侧表面相对的表面上，具备了朝向该部件安装侧表面配置的反射面的检查用基板，就可以进行由透过所述部件安装侧表面而在所述反射面上反射的反射光形成的所述检查用部件的轮廓的图像获取。在像以往那样，进行由在所述部件安装侧表面上反射的反射光形成的所述轮廓的图像获取的情况下，虽然有时因所述光的照射方向的微妙的倾斜等，在所述部件安装侧表面上形成所述检查用部件的影子，所述轮廓的图像中的所述检查用部件的轮廓模糊，但是通过像本方式那样，在与所述部件安装侧表面不同的表面上形成所述反射面，就可以使在该反射面上反射的反射光近似均一地向所述检查用基板的内部转移，即，可以向所述部件安装侧表面近似均一地转移。所以，在安装有所述检查用部件的部分上，可以与其安装表面的轮廓形状对应地清楚地将向所述部件安装侧表面转移的反射光遮挡，从而可以进行清晰的图像获取，而不会使所述轮廓的图像中的所述检查用部件的轮廓模糊。

根据本发明的所述方式2，通过使用玻璃材料作为所述透光性材料，就可以提高所述检查用基板的构造强度，可以减少其弯曲量。所以，可以减少由弯曲引起的位置偏移的发生，从而可以实现高精度的检查。

根据本发明的所述方式3，因所述检查用基板具备作为所述反射面的镜面反射面、配置于所述部件安装侧表面和该镜面反射面之间的扩散层，因而就可以使穿过所述部件安装侧表面而向所述镜面反射面照射的光被该镜面反射面反射，并且可以使该反射光在穿过所述扩散层时扩散，从而可以使在所述检查用基板的内部扩散的光的量最佳化。另外，由于在所述检查用基板的厚度的范围内，可以与扩散所需的光路长度匹配地设定所述扩散层的厚度，因此可以使所述反射光以所需的扩散量扩散，从而可以在该检查用基板内形成均一的面光源。

根据本发明的所述方式4，所述检查用基板作为所述反射面具备扩散反射面，从而可以使穿过所述部件安装侧表面向所述扩散反射面照射的光在该扩散反射面上反射，并且使其反射光扩散，可以在所述检查用基板的内部可靠地进行该反射光的扩散。另外，在使用此种所述扩散反射面的情况下，由于在所述检查用基板的内部在该扩散反射面以外的部分无法进行积极的光的扩散，因此可以使到达该扩散反射面的(即被扩散反射的)光的量更多，其结果是，可以使所述扩散反射光的光量也增多。

根据本发明的所述方式5，所述扩散反射面可以通过贴附扩散反射片而形成。

根据本发明的所述方式6，即使在将实际的所述部件安装于所述检查用基板上的情况下，也可以进行清晰的图像获取，从而可以实现高精度的检查。

根据本发明的所述方式7，通过利用所述检查用部件、所述检查用基板、部件拍摄装置、基板拍摄装置、保持姿势识别部、安装位置识别部及安装精度运算部来构成部件安装精度检查装置，就可以提供能够实现可以获得与所述方式1相同的效果的检查方法的部件安装精度检查装置。

附图说明

本发明的这些及其他的目的和特征将由与针对附图的优选的实施方式有关的如下的记述来阐明。在该附图中，

图1是本发明的一个实施方式的进行部件安装精度的检查的电子部件安装装置的半透过立体图。

图2是表示图1的电子部件安装装置的构成的示意性俯视图。

图3是电子部件安装装置的主轴装置的剖面图。

图4是表示电子部件安装装置的控制装置的构成的控制方框图。

图5A是所述部件安装精度的检查中所使用的检查用的夹具部件的外观立体图，是将非反射面作为上面配置的状态的图。

图5B是所述部件安装精度的检查中所使用的检查用的夹具部件的外观立体图，是将反射面作为上面配置的状态的图。

图6A是所述部件安装精度的检查中所使用的其他的例子的检查用的夹具部件的外观立体图，是将非反射面作为上面配置的状态的图。

图6B是所述部件安装精度的检查中所使用的其他的例子的检查用的夹具部件的外观立体图，是将反射面作为上面配置的状态的图。

图7是所述部件安装精度的检查中所使用的检查用的夹具基板的外观立体图。

图8是所述部件安装精度的检查中所使用的其他的例子的检查用的夹具基板的外观立体图。

图9是表示所述部件安装精度的检查程序中的进行夹具部件的吸附保持姿势的图像获取的状态的示意性说明图。

图10是表示所述部件安装精度的检查程序中的进行夹具部件的安装位置的图像获取的状态的示意性说明图，表示使用了具有扩散反射面的夹具基板的情况。

图11是表示所述部件安装精度的检查程序中的进行夹具部件的安装位置的图像获取的状态的示意性说明图，表示使用了具有镜面反射面的夹具基板的情况。

图12是表示所述部件安装精度的检查程序的流程图。

图13是表示测定放射亮度的方法的示意性说明图。

图14是表示比较例的吸附保持状态的电子部件的图像的图。

图15是表示所述比较例的安装于基板上的状态的电子部件的图像的图。

图16是表示所述实施方式的实施例的吸附保持状态的夹具部件的图像的图。

图17是表示所述实施例的安装于夹具基板上的状态的夹具部件的图像的图。

图18是在基板上将扩散反射面配置于部件安装侧表面的状态的示意性说明图。

图19是表示本实施方式的夹具基板的扩散反射面的配置构成的示意性说明图。

图20是说明本实施方式的变形例的部件安装精度的检查方法的示意性说明图。

其中，1 电子部件，3 基板，5 检查用的夹具部件，5a 非反射面，5b 反射面，7 检查用的夹具基板，7a 部件安装侧表面，7b 基准标记，8 扩散反射片，9 镜面反射面，10 检查用的夹具基板，11 部件供给部，12 主轴装置，13 XY台，14 搬送装置，21 管嘴组件，22 吸附管嘴，24 部件识别照相机，25 基板识别照相机，50 控制装置，63 保持姿势识别部，64 安装位置识别部，73 安装精度运算部，101 电子部件安装装置

具体实施方式

(实施方式)

在继续本发明的记述之前，在附图中对于相同部件使用相同的参照符号。

以下，将基于附图对本发明的实施方式进行详细说明。

在图1中表示实施本发明的实施方式1的部件安装精度的检查的作为部件安装装置的一个例子的电子部件安装装置101的外观的立体图。

如图1所示，电子部件安装装置101是用于进行将作为被供给的部件的一个例子的多个电子部件安装于基板上的部件安装位置上的部件安装动作的装置。电子部件安装装置101具备：部件供给部11、主轴装置12、XY台13、基板搬送装置14，其中，所述部件供给部11将多个电子部件可以取出地收容，并且进行该被收容的各个电子部件的供给，所述主轴装置12还具备多个管嘴组件，该管嘴组件设有作为进行电子部件的吸附保持/保持解除的部件保持构件的一个例子的多个吸附管嘴，所述XY台13进行安装了各个电子部件的基板的保持，并且使该被保持的基板相对于主轴装置12的各个吸附管嘴，在作为该基板的大致沿表面的方向的图示X轴方向或Y轴方向上移动，所述基板搬送装置14搬送被向电子部件供给装置101供给的基板，向XY台13上供给，并且搬送在XY台13上进行了电子部件的安装的所述基板，从电子部件供给装置101中排出。

另外，在图2中表示用于说明电子部件安装装置101的电子部件的安装动作的局部放大示意性俯视图。如图2所示，主轴装置12作为多个管嘴组件21，具备具有相同形状及功能的合计16台管嘴组件21，各个管嘴组件21在相同的圆周上被以均等的间隔间距排列。另外，在各个管嘴组件21上，设有6根吸附管嘴22，各个吸附管嘴22被绕着管嘴组件21的中心以均等的间隔间距排列。

这里，将主轴装置12的示意性剖面图表示在图3中，基于图3，对主轴装置的具体的构造进行说明。如图3所示，主轴装置12具备使各个管嘴组件21绕着配置于各个管嘴组件21的排列圆的中心的旋转轴S公转的旋转驱动装置，所述旋转驱动装置具备被与其轴心对齐地配置的旋转轴32、在该旋转轴32的图示下端被借助凸缘44固定的旋转台43。而且，虽然在图3中未图示，但是旋转轴S在其图示上方，被与具有驱动马达等的旋转驱动部连结，从而可以实现其旋转驱动。

另外，如图3所示，在旋转台43的外周面上，各个管嘴组件21被借助沿上下方向配置的导引35(例如由LM轨道或LM块等构成)可以升降地支撑。另外，在旋转轴32的外周，配置有圆筒凸轮部31，其将该旋转轴32可以旋转地配置于其内部而支撑。该圆筒凸轮部31不受旋转轴32的旋转驱动，被按照不绕旋转轴S旋转驱动的方式，固定于电子部件安装装置101的刚体框架等上。另外，在各个管嘴组件21的导引35的上端固定有凸轮从动件部34，另外，在圆筒凸轮部31的外周面上，固定有与各个凸轮从动件部34结合的滑杆部33。另外，滑杆部33和各个凸轮从动件部34的结合部分成为沿着各个管嘴组件21的公转方向形成的导引槽部33a，沿着该导引槽部33a，所述被结合了的各个凸轮从动件部34就可以滑动。另外，该导引槽部33a被可以沿着其形成方向改变其高度位置地形成。这样，当各个管嘴组件21被公转时，各个凸轮从动件部34就沿着导引槽部33a而滑动，而在其滑动之时，各自的结合位置与导引槽部33a的形成高度位置对应地可变，其结果是，能够借助导引35进行各个管嘴组件21的升降动作。

另外，如图3所示，在各个管嘴组件21中，具备驱动各个吸附管嘴22的公转的θ旋转马达36、被与θ旋转马达36连结的减速机37、被可以传递所述旋转驱动地与该减速机37连结并且夹隔罩壳41支撑各个吸附管嘴22的轴38。另外，各个管嘴组件21作为用于独立地进行各个吸附管嘴22的升降动作的机构，具备阀39及钩40，还具备反射体42。

另外，如图2所示，在主轴装置12中，利用所述旋转驱动部，借助旋转轴32及旋转台43，能够以给定的旋转角度间距间歇地将各个管嘴组件21旋转驱动。例如，在主轴装置12中，可以在图示顺时针方向上，作为所述给定的旋转角度间距，以22.5度的角度间距间歇地将合计16台管嘴组件21旋转驱动。另外，利用该旋转驱动，各个管嘴组件21被以所述旋转角度间距在其排列圆周上移动，定位于所述排列圆周上的各种各样的位置。这里，当将所述排列圆周的图示上端位置作为角度坐标0度而沿图示顺时针方向取角度坐标时，各个管嘴组件21作为所述各个位置，被以电子部件的吸附位置A(角度坐标0度)、进行被吸附保持的电子部件的厚度检测的部件厚度检测位置B(角度坐标67.5度)、拍摄所吸附保持的电子部件的图像并基于该图像来识别电子部件的吸附保持姿势的部件识别位置C(角度坐标90度)、基于所述识别结果利用喷嘴组件21的旋转进行所述吸附保持姿势的修正的旋转修正位置D(角度坐标112.5度～157.5度)、进行电子部件向基板上的安装的部件安装位置E(角度坐标180度)、进行管嘴组件21所具备的吸附管嘴22的选择的吸附管嘴选择位置F(角度坐标202.5度～225度)、进行未被安装于基板上的不良部件的排出的不良部件排出位置G(角度坐标247.5度)、通过使管嘴组件21上升而使各个吸附管嘴22回到上方的吸附管嘴返回位置H(角度坐标270度)、通过使管嘴组件21下降而使所述处于返回状态的各个吸附管嘴22位于下方的吸附管嘴伸出位置I(角度坐标315度)的各个位置依次定位地旋转驱动。而且，在定位于吸附管嘴伸出位置I后，利用所述旋转驱动，将再次被定位于吸附位置A。

另外，如图2所示，在主轴装置12的图示上方侧，配置有部件供给部11，在该部件供给部11中，沿图示X轴方向整齐地配置有多个送料器11a，其将多个电子部件可以向部件收容胶带内取出地收容。另外，在部件供给部11中，设有送料器移动部11b，其通过使各个送料器11a沿图示X轴方向进退移动，而可以使所需的送料器11a位于主轴装置12的吸附位置A的下方，从而可以将被该送料器11a收容的电子部件取出。

另外，如图2所示，在主轴装置12的安装位置E的下方，配置有XY台13，利用位于该位置的管嘴组件21，可以将各个电子部件1安装在由XY台13的基板保持台13a保持的基板3上。另外，在该XY台13上，设有使基板保持台13a沿图示X轴方向进退移动的X轴驱动部13b、使基板保持台13a沿图示Y轴方向进退移动的Y轴驱动部13c。

另外，如图2所示，在主轴装置12的部件厚度检测位置B上，设有部件厚度检测传感器23，另外，在部件识别位置C的下方，设有拍摄由配置于其上方的各个吸附管嘴22吸附保持的电子部件1的吸附保持姿势的图像的部件识别照相机24。另外，在XY台13的上方，设有从其上方拍摄安装于基板3上的电子部件1的图像的基板识别照相机25。基于由该基板识别照相机25拍摄的图像，就可以进行电子部件1向基板3上的安装位置的位置偏移量的检测(识别)。

另外，该电子部件安装装置101具备在将各个构成部的动作控制相互关联的同时作为统一的控制来进行的控制装置50。这里，将表示该控制装置50的主要的构成的控制方框图表示在图4中。如图4所示，控制装置50由主控制器65控制。主控制器65具有RAM69、ROM70、CPU71、I/O72，借助系统总线61，被与顺序控制器59、NC控制器60、图像处理控制器62及界面控制器66连接。

界面控制器66是进行与和控制装置50的外部之间的信息的交换有关的控制的控制器，连接有与操作者之间进行信息的交换的监视电视67及输入装置68。另外，NC控制器60是进行与电子部件安装装置101的各个驱动部的驱动动作有关的控制的控制器，在该NC控制器60上，借助各个伺服放大器55、56、57、58，连接有电子部件安装装置101的各驱动部的马达。例如，在NC控制器60上，借助伺服放大器55，连接有进行X轴驱动部13b的驱动的X轴伺服马达51，另外，借助伺服放大器56，连接有进行Y轴驱动部13c的驱动的Y轴伺服马达52。另外，在NC控制器60上，借助伺服放大器57，连接有进行主轴装置12的所述旋转驱动部的驱动的主轴伺服马达53，另外，借助伺服放大器58，连接有担负其他的驱动部的驱动的驱动伺服马达54。

另外，图像处理控制器62是进行与用部件识别照相机24或基板识别照相机25拍摄的图像的识别处理有关的控制的控制器，在该图像处理控制器62上，连接有通过进行由部件识别照相机24拍摄的图像的识别处理来进行吸附管嘴22对电子部件1的吸附保持姿势的识别处理的保持姿势识别部63、通过进行由基板识别照相机25拍摄的图像的识别处理来进行电子部件1向基板3上的安装位置的识别处理的安装位置识别部64。

通过用保持姿势识别部63，对进行了所述识别处理的电子部件1的吸附保持姿势与被预先设定的基准保持姿势进行对照比较，算出两者间的姿势偏移量，就能够将该姿势偏移量作为修正量输出。使用被如此输出的修正量，利用NC控制器60进行吸附管嘴22或管嘴组件21的旋转驱动，就能够修正所述姿势偏移量。

另外，在图像处理控制器62中，设有安装精度运算部73，其通过将由安装位置识别部64识别的电子部件1的实际的安装位置与被预先设定的电子部件1的设计上的安装位置对照，算出两者间的位置偏移量，将该被算出的位置偏移量作为部件安装精度运算而算出。而且，由该安装精度运算部73算出的安装精度的信息可以经过系统总线61输入界面控制器66，经过监视电视67向控制装置50的外部输出。

另外，电子部件安装装置101具备安装精度检查装置(或者有时也可以称作安装误差检测装置)。该安装精度检查装置准备有图5A及图5B所示的作为检查用部件的一个例子的检查用的夹具部件5、图7所示的作为检查用基板的一个例子的检查用的夹具基板7，并且由图2所示的部件识别照相机24及基板识别照相机25、图4所示的控制装置50之中的图像处理控制器62、保持姿势识别部63、安装位置识别部64及安装精度运算部73构成。该安装精度检查装置的硬件部分的构成实质上由电子部件安装装置构成，通过准备动作程序、夹具部件5及夹具基板7，就可以构成安装精度检查装置。

这里，对在该安装精度检查装置中所使用的夹具部件5进行说明。如图5A及图5B所示，夹具部件5具有与由电子部件安装装置101处理的电子部件1相同的形状，例如具有大致长方体形状，另外被以比电子部件1更高的尺寸公差形成。而且，图5A是将夹具部件5的一个面作为上面配置的情况的示意性立体图，图5B是将夹具部件5的与所述一个面相对的面作为上面配置(即将图5A的夹具部件5翻转配置)的情况的示意性立体图。

如图5A所示，夹具部件5的所述一个面(即，图5A的上面)为了难以反射所照射的光，而被设为制成了黑色的表面的非反射面5a。另外，如图5B所示，夹具部件5的与所述一个面相对的一侧的表面(即，图5B的上面)正相反，为了可以有效地反射所照射的光，被设为制成了白色的表面的反射面5b。这里，在本说明书中，所谓「反射面」是指，在光被向该面照射的情况下，将该光反射，在图像识别(或者图像拍摄)中该面被拍摄得比较亮的面。另外，所谓「非反射面」是指，在光被向该面照射的情况下，将该光吸收，在图像识别中该面被拍摄得比较暗的面。而且，如图5A及图5B所示，夹具部件5的作为非反射面5a及反射面5b以外的表面的图示各个侧面被设为白色的表面。此种夹具部件5例如可以在将夹具部件5主体用白色氧化铝或白色树脂等白色材料制成后，对所述的一个面涂布黑色树脂或黑色玻璃材料等而形成非反射面5a，对与所述一个面相对的一侧的表面使用原料色，或者涂布氧化铝、镀膜或者白色树脂、白色玻璃材料等而形成反射面5b。另外，也可以不是将夹具部件5主体用以白色作为基本色的材料制成，而是如图6A及图6B所示，用以黑色作为基本色的材料制成。此种情况下，例如可以在将夹具部件5主体使用黑色氧化锆等黑色陶瓷类材料或黑色树脂材料等黑色材料制成后，对所述的一个面使用原料色，或涂布黑色树脂或黑色玻璃材料等而形成非反射面5a，对与所述的一个面相对的一侧的表面镀膜或涂布白色树脂、白色玻璃材料等而形成反射面5b。

下面，对安装精度检查装置中所使用的检查用的夹具基板7进行说明。如图7所示，夹具基板7具有与由电子部件安装装置101处理的基板3相同的形状，被利用透光性的材料制成近似板状。作为此种透光性材料，例如使用无色透明的玻璃类材料(石英或碱石灰等)。另外，图7中，夹具基板7的图示上面成为作为电子部件安装夹具部件5的部件安装侧表面7a，在该部件安装侧表面7a上，在近似四角形的各个角部附近，配置有用于可靠地识别夹具基板7的配置位置的基准标记7b。另外，在夹具基板7上，在与部件安装侧表面7a相对的一侧的表面上，例如贴附有将图示上面侧作为其扩散反射面8a的扩散反射片8，该表面被作为(扩散)反射面8a形成。而且，图7中，为了容易理解夹具基板7的构成，设为将扩散反射片8贴附于夹具基板7上之前不久的状态，表示扩散反射片8与夹具基板7被分离的状态。通过像这样利用透光性材料形成夹具基板7，又在与部件安装侧表面7a相对的一侧的表面上，设有反射面8a，从夹具基板7的上方照射的光就会穿过部件安装侧表面7a，并且该光被反射面8a反射，其反射光穿过部件安装侧表面7a而被朝向上方照射。而且，作为此种扩散反射片8，例如优选使用其反射光量等受到控制的液晶背光灯用的薄片。

这里，在本说明书中，所谓「扩散」是指，与来自某个光源的光的规则的放射明显不同，是用于使打到某个表面上的光或者穿过了开口的光像从所有的方向来的光那样的光线的散射状态。此种扩散例如可以利用来自发暗面(无光泽面)的反射等来产生。但是，在扩散很充分的情况下，无法获得光源的清晰图像，进行该扩散的位置成为向所有方向均一地射出光的平均的宽范围的光源。

另外，也可以不是通过像这样使用扩散反射片8，在夹具基板7上形成反射面8a，而是如图8所示，通过对夹具基板10的与部件安装侧表面10a相对的一侧的表面(即背面)实施镜面形成加工，来形成反射面9。作为此种镜面形成加工，例如可以采用溅射、蒸镀或镀膜等加工方法。另外，也可以通过贴附反射片或镜贴纸，来形成反射面9。而且，考虑到其强度或对发生翘曲的抑制，此种夹具基板7最好被制成厚度1mm以上，另外，考虑到基板的处理性(特别是从重量的观点考虑的处理性)，最好被制成厚度4mm以下。另外，扩散反射片8优选使用厚度30～50μm左右的薄片。

下面，对利用具有此种构成的所述部件安装精度检测装置，进行电子部件安装装置101的部件安装精度的检测的程序进行说明。另外，将表示该部件安装精度的检测程序的流程图表示在图12中。另外，将用部件识别照相机24拍摄的状态来表示由吸附管嘴22吸附保持的夹具部件5的图像的示意性说明图表示在图9中。而且，以后所说明的部件安装精度的检测的电子部件安装装置101的动作控制，即所述部件安装精度检测装置的动作控制是在利用控制装置50使相互的动作关联的同时统一地进行的。

首先，在图12的步骤S1中，包含了在电子部件安装装置101中将多个夹具部件5安装于夹具基板7上时所必需的信息的NC数据被输入控制装置50而保持。具体来说，例如在图4所示的控制装置50的控制方框图中，经过输入装置68，所述NC数据被输入，该被输入了的NC数据由界面控制器66及主控制器65，从输入装置68经过系统总线61，向RAM69或ROM70输入，被能够取出地储存。而且，在该NC数据中，含有各个夹具部件5或夹具基板7的形状数据、各个夹具部件5的安装程序的数据、各个夹具部件5的向夹具基板7上的安装位置数据等信息。

另外，在与该NC数据的获取同时，或者在该获取之后，在图1所示的电子部件安装装置101中，夹具基板7被供给，该被供给的夹具基板7被搬送装置14向XY台13上搬送，由基板保持台13a保持。另外，在部件供给部11的送料器11a中，可以取出地收容有多个夹具部件5。

其后，主轴装置12的一个管嘴组件21被向图2所示的吸附位置A旋转驱动，并且进行收容各个夹具部件5的送料器11a与从所述的管嘴组件21所具备的各个吸附管嘴22之中选择的最初进行吸附保持的吸附管嘴22的位置对齐。在该位置对齐后，该吸附管嘴22被下降，进行吸附管嘴22对夹具部件5的吸附保持(步骤S2)。其后，进行所述一个管嘴组件21的各个吸附管嘴22的旋转移动，进行下一个吸附管嘴22与送料器11a的位置对齐，进行该下一个吸附管嘴22对下一个夹具部件5的吸附保持。另外，在进行下一个夹具部件5的吸附保持这样的情况下，反复进行所述的程序。而且，也可以通过再利用主轴装置12的旋转移动，将其他的管嘴组件21向送料器11a的上方移动，使该其他的管嘴组件21所具备的吸附管嘴22也吸附保持夹具部件5。

其后，在主轴装置12中，进行各个管嘴组件21的旋转移动，吸附保持了夹具部件5的管嘴组件21被定位于部件识别位置C。在部件识别位置C上，该管嘴组件21所具备的各个吸附管嘴22依次被定位于部件识别照相机24的上方，从而可以利用部件识别照相机24，拍摄所吸附保持的各个夹具部件5的吸附保持姿势的图像(步骤S3)。

如图9所示，夹具部件5将作为黑色的面的非反射面5a作为上面，将反射面5b作为下面，在该上面上由吸附管嘴22吸附保持。另外，夹具部件5的尺寸比吸附管嘴22的头端部分的大小(宽度尺寸或直径尺寸)更小，在被吸附保持的状态下，夹具部件5的端部不会从吸附管嘴22的所述头端部分的端部伸出。进行此种状态的吸附管嘴22与可以拍摄配置于其上方的物体的图像的部件识别照相机24的位置对齐，即，按照使吸附管嘴22的轴心与部件识别照相机24的拍摄的光轴一致的方式进行位置对齐。在该位置对齐之后，从部件识别照相机24向上方照射光W1，用作为夹具部件5的图示下面的反射面5b将该光W1向下方反射，利用部件识别照相机24取得由该反射光W2形成的夹具部件5的图像。此时，虽然向吸附管嘴22的头端部分照射的光W1也被作为反射光W3反射，但是由于与夹具部件5的反射面5b的反射光W2的光量相比，反射光W3的光量明显更低，因此可以利用部件识别照相机24可靠地取得由反射光W2形成的夹具部件5的实像。而且，在所述图像的拍摄后，对其他的夹具部件5也依次进行图像的拍摄。

由部件识别照相机24拍摄的各个夹具部件5的实像的图像数据被图4的控制装置50的图像处理控制器62输入保持姿势识别部63，在保持姿势识别部63中，进行该各个图像数据的识别处理(步骤S4)。另外，在保持姿势识别部63中，例如通过进行由所述NC数据等预先确定了的基准保持姿势数据、利用所述识别处理识别的保持姿势数据的比较对照，进行用于使各个吸附管嘴22对夹具部件5的吸附保持姿势与所述基准保持姿势数据吻合的各个姿势修正量的运算，即，进行姿势位置偏移量的运算。基于该被算出的各个姿势修正量(所谓的θ修正量)，在被定位于修正旋转位置D的管嘴组件21所具备的各个吸附管嘴22中，进行旋转修正(步骤S5)。

其后，如图2所示，管嘴组件21被向安装位置E旋转而定位，配置于由基板保持台13a保持的夹具基板7的上方。其后，通过利用X轴驱动部13b和Y轴驱动部13c将夹具基板5在图示X轴方向或Y轴方向上移动，进行由该管嘴组件21所具备的一个吸附管嘴22(最初进行安装动作的吸附管嘴22)吸附保持的夹具部件5、夹具基板7的部件安装侧表面7a的安装有该夹具部件5的部件安装位置的位置对齐。当进行了该位置对齐时，吸附管嘴22被下降，所吸附保持的夹具部件5被安装于夹具基板7的所述部件安装位置上。而且，该安装例如是通过借助被预先贴附于夹具基板7的部件安装侧表面7a上的双面胶等具有透光性的接合材料来进行的。其后，其他的吸附管嘴22所吸附保持的各个夹具部件5被以相同的顺序安装于各个部件安装位置上(步骤S6)。

当全部的夹具部件5的安装动作结束时，利用基板识别照相机25，拍摄设于夹具基板7的部件安装侧表面7a上的各个基准标记7b的图像，基于该图像数据，正确地识别夹具基板7的位置。像这样，通过在全部的夹具部件5的安装动作结束后，进行夹具基板7的位置识别，就可以更为正确地识别包含有可能伴随着各个夹具部件5的安装动作产生的夹具基板7的位置偏移量的实际的位置。

其后，从安装于夹具基板7上的各个夹具部件5之中，选择最初的夹具部件5(步骤S8)，利用XY台13对夹具基板7的XY移动，来进行拍摄配置于其下方的物体的图像的基板识别照相机25与该被选择了的夹具部件5的位置对齐。而且，该位置对齐是按照使作为基板识别照相机25的拍摄中心的其光轴与成为拍摄对象的夹具部件5的部件安装位置吻合的方式来进行的。

被像这样进行了位置对齐的状态为图10所示的状态。如图10所示，夹具基板7将部件安装侧表面7b作为图示上面配置，在其背面(即图示下面)，设有利用扩散反射片8的贴附形成的反射面8a。另外，在夹具基板7的部件安装侧表面7a上，以其非反射面5a作为图示上面地安装有夹具部件5。而且，在作为夹具部件5的下面的反射面5b和夹具基板7的部件安装侧表面7a之间，配置有用于夹具部件5的配置位置的固定的所述具有透光性的双面胶的接合部件，然而在图10中将其图示省略。另外，在配置于该夹具基板7的上方的基板识别照相机25上，在其拍摄侧的正面(即图示下面)的周围，设有将用于拍摄的光向图示下方照射的照明部25a。

在如图10所示的状态下，利用基板识别照相机25所具备的照明部25a，向图示下方照射光W11。所照射的光W11到达夹具基板7的部件安装侧表面7a，并且穿过(透过)该部件安装侧表面7及夹具基板7内部的透光性材料，继而到达由扩散反射片8形成的反射面(或者扩散反射面)8a。在该反射面8a上，该光W11被图示近似上方的各种各样的方向扩散反射，形成反射光(或者扩散光)W12。该反射光W12被按照向夹具基板7内部的所述透光性材料的大致全体转移光的方式透过该透光性材料，继而又透过部件安装侧表面7a，被向基板识别照相机25射出。即，通过用扩散反射片8的反射面8a将光W11扩散反射为反射光12，夹具基板7的内部整体就作为近似均一的面光源发挥作用。另一方面，在部件安装侧表面7a上，在配置有夹具部件5的区域中，利用由不透过光的材料形成的夹具部件5，将反射光W12遮挡，反射光W12就不会向基板识别照相机25射出。另外，安装于夹具基板7上的夹具部件5的图示上面被制成作为黑色的面的非反射面5a，因而由照明部25a照射的光W11不被夹具部件5的上面反射。所以，反射光W12将从部件安装侧表面7a中的除去配置了夹具部件5的区域以外的区域中，向基板识别照相机25射出，利用部件识别照相机25拍摄由该射出的反射光W12形成的夹具部件5的轮廓的图像，即剪影的图像(步骤S9)。另外，由于反射光W12在夹具基板7内被大致均一地扩散，因此也可以使该反射光W12向与配置有夹具部件5的区域相当的夹具基板7的部件安装侧表面7a转移。所以，在夹具部件5的外周的内外附近的部件安装侧表面7a上，可以明确地区分反射光W12的透过及遮挡，从而可以使夹具部件5的剪影图像十分清晰。

该被拍摄的夹具部件5的剪影的图像数据被图4所示的控制装置50的图像处理控制器62输入安装位置识别部64，用该安装位置识别部64来进行所述剪影的图像的识别处理，例如由该剪影的图像算出夹具部件5的轮廓，将该轮廓的中心作为实际的部件安装位置算出(步骤S10)。

该被算出的实际的部件安装位置的数据被图像处理控制器62输入安装精度运算部73，在安装精度运算部73中，例如通过将由NC数据所包含的预先确定了的部件安装位置的数据与所述实际的部件安装位置的数据进行比较对照，算出两者间的差，即算出位置偏移量(步骤S11)。该被算出的位置偏移量成为电子部件安装装置101的部件安装精度。而且，该被算出的部件安装精度的数据被储存于控制装置50的RAM69中，或者由界面控制器66向控制装置50的外部输出。

其后，在步骤S12中，判断是否存在下面被拍摄图像的安装完的夹具部件5，在存在的情况下，选择该夹具部件5。在该选择之后，依次进行从步骤S9到步骤S11的所述各个程序，进行利用该被选择的夹具部件5的剪影的图像获取进行的部件安装精度的运算。在步骤S12中，当判断为不存在下面被选择的安装完的夹具部件5时，安装精度检查的程序即结束。

而且，在所述部件安装精度检查的程序中，虽然对使用通过贴附图7所示的扩散反射片8而具备扩散反射面8a的夹具基板7的情况进行了说明，但是夹具基板并不仅限于使用此种基板的情况。也可以不是此神情况，而是例如使用如图8所示的形成了镜面反射面的夹具基板10的情况。将表示对此种夹具基板10进行利用基板识别照相机25的图像获取的状态的示意性说明图表示在图11中。

如图11所示，在夹具基板10的图示下侧的面上，形成有镜面反射面9，另外，在夹具基板10的内部，设有作为使由镜面反射面反射的光扩散的透光性材料的一个例子的扩散层10c。这里，所谓「扩散层」是指，当所射入的光透过该层时，使该光扩散的层。在本实施方式中，作为此种扩散层10c，例如可以使用乳白色玻璃材料，其厚度优选被制成与夹具基板10自身的厚度大致相同的1mm以上4mm以下的范围的厚度。在此种构成的夹具基板10中，如图11所示，从照射部25a向夹具基板10照射的光W21透过夹具基板10的部件安装侧表面10a，从而透过扩散层10。在透过该扩散层10时，光W21被向各种各样的方向扩散。像这样被扩散了的光W21当中的以图示下方大致作为其行进方向的光到达镜面反射面9，在镜面反射面9上，被向图示大致上方反射，作为反射光(或者扩散光)W22而再次透过扩散层10c。当该反射光W22穿过扩散层10c时被再次扩散，从部件安装侧表面10a向基板拍摄照相机25射出。另一方面，向夹具部件5的非反射面5a照射的光W21不被反射，另外，在部件安装侧表面10的配置有夹具部件5的区域中，反射光W22被遮挡，不被从部件安装侧表面10向上方射出。所以，与使用图10所示的扩散反射片8的情况相同，可以将反射光W22作为扩散光从部件安装侧表面10a中射出，从而可以利用基板识别照相机25来拍摄夹具部件5的剪影的图像。另外，在像这样使用扩散层10c的情况下，由于进行扩散的光路长度(即扩散层的厚度)变大，因此因扩散而使给定的方向的光量减少，然而由于可以增大扩散所需的光路长度，因此与使用扩散反射面8a的情况相比，可以使光进一步扩散，其结果是，有可以形成更为均一的面光源的优点。

另外，通过像这样使夹具基板7及10具备使光扩散的功能，不仅在从垂直方向朝向夹具基板7及10或夹具部件5照射光的情况下，而且例如如图20的示意性说明中所示，在从倾斜于所述垂直方向的方向照射光的情况下，也可以通过使用所述扩散功能来进行光的扩散，进行夹具部件5的剪影的图像的获取。例如，在从略微倾斜于所述垂直方向的方向照射光的情况下，可以使夹具部件5的剪影的对比度更为清楚，从而能够进行更为清楚的图像获取。特别是，由于基板识别照相机25和照明部25a的配置关系，经常难以真正地从垂直方向照射光，在此种情况下，也可以可靠地实现夹具部件5的清晰的图像获取。而且，作为此种相对于所述垂直方向的倾斜角度，例如只要是45度左右以内的范围中，就可以充分地适用。

另外，也可以通过调整扩散反射面8a或扩散层10c中的光的扩散量，来调整所获取的剪影的图像的亮度或轮廓的醒目程度等。例如，通过使用被按照使扩散反射面8a的光的扩散量达到给定的值的方式控制的扩散反射片8，可以实现此种调整。另外，通过按照具有所需的扩散中所需要的光路长度的方式来设定扩散层10c的厚度，就可以实现所述调整。

例如，最好将此种光的扩散量以扩散反射面的相对反射率表示设为4.5以上。这里，所谓相对反射率是指测定试样的相对于白色标准试样的放射亮度比，利用如图13所示的计测方法来计测。具体来说，如图13所示，从环形灯90向配置于其图示下方的测定试样91照射以给定的角度θ倾斜于垂直方向的光W98，由测定试样91向上方反射的反射光W99穿过偏光片92，使该穿过的反射光W99进入分光放射亮度计93，就可以对测定试样91的放射亮度进行测定。而且，这里所谓测定试样91例如是指具有扩散反射面8a的夹具基板7，扩散反射面8a被配置于图示下面侧，部件安装侧表面7a被配置于图示上面侧。另外，在图13的测定装置中，例如偏光片92的半径r为28.75mm，所述给定的被倾斜了的角度θ为10°。

另外，当将此种光的扩散量用夹具部件5的剪影的图像中的夹具部件5的图像和其背景的图像的对比度来表示时，例如只要有70灰度值以上的差(在256灰度值的情况下)即可。即，为了确保良好的部件的位置识别精度，最好将夹具部件5与其背景的对比度设为70灰度值以上。

另外，在所述的部件安装精度的检查程序的说明中，虽然对在夹具基板7上安装有多个夹具部件5，检测出各个夹具部件5的部件安装精度的情况进行了说明，但是并不仅限于此种情况。例如也可以不是此种情况，而是将针对各个夹具部件5算出的位置偏移量的平均值作为电子部件安装装置101的部件安装精度算出的情况。

另外，也可以不是多个夹具部件5全都为相同种类的情况，而是使用相互不同种类的夹具部件5的情况。此种情况下，可以分别算出每个种类的夹具部件5的部件安装精度，从而可以在电子部件安装装置101中多方面地进行部件安装精度的检查。

另外，在所述的部件安装精度的检查方法中，虽然对在夹具基板7上安装了各个夹具部件5的情况进行了说明，但是本检查方法并不限定于此种情况。也可以不是此神情况，而是在夹具基板7上安装实际的电子部件1，利用基板识别照相机25向夹具基板7的部件安装侧表面7a照射光，拍摄由其反射光形成的所述实际的电子部件1的剪影的图像，通过对该图像数据进行识别处理，来算出部件安装精度。此种方法中，由于不需要准备各个夹具部件5，因此有能够更为简便地进行检查的优点。

另外，也可以是将夹具部件5的反射面5b作为上面，将非反射面5a作为下面，在实际的基板3上安装夹具部件5的情况。这是因为，通过像这样安装，就可以将被向基板3的部件安装侧表面照射的光用作为夹具部件5的上面的反射面5b反射，获取由该反射光形成的夹具部件5的实像，通过对该所获取的实像的图像数据进行识别处理，就可以检测出部件安装位置。此种方法中，有不需要准备夹具基板7，可以更为简便地进行检查的优点。而且，此种情况下，所述实际的基板3的部件安装侧表面最好被设为黑色等而降低其反射效率。通过如此设置，就可以进行更为清晰的图像获取。

另外，也可以不是此种情况，而是在涂有白色或黄色等提高了其反射效率的彩色的实际的基板3的部件安装侧表面上，将非反射面5a作为上面地安装夹具部件5。通过如此设置，就可以获取由基板3的表面的反射光形成的夹具部件5的剪影的图像。

(实施例和比较例)

这里，本实施方式的部件安装精度检查方法作为实施例，将相对于该实施例的以往的检查方法作为比较例，对其识别结果的差异进行说明。

首先，对于作为以往的方法的比较例，将所谓的1608C部件作为电子部件505直接使用，将由吸附管嘴吸附保持的电子部件505的图像利用反射方式(获取由向电子部件505的表面照射的光的反射光形成的图像的方式)获取，其后，将该电子部件505安装于基板(例如黑色基板)上，利用反射方式获取该被安装的电子部件505的图像，通过进行其图像识别处理，来进行安装位置的位置偏移量的运算。

另一方面，作为本实施例，使用夹具部件5，利用反射方式获取由吸附管嘴吸附保持了非反射面5a的夹具部件5的反射面5b的图像，其后，按照使该夹具部件5的反射面5b与夹具基板7的部件安装侧表面7a接触的方式安装，通过从上方向该被安装的夹具部件5照射光，获取由被夹具基板7的扩散反射面8a反射的扩散光形成的夹具部件5的剪影的图像，通过进行该图像的识别处理，来进行安装位置的位置偏移量的运算。

作为被如此获得的各个图像，将比较例的吸附管嘴对电子部件505的吸附保持姿势的图像表示于图14中，将比较例的被向基板上安装了的电子部件505的图像表示于图15中，将实施例的吸附管嘴对夹具部件5的吸附保持姿势的图像表示于图16中，另外，将实施例的被向夹具基板7上安装了的夹具部件5的图像表示于图17中。

当比较作为吸附管嘴的吸附保持姿势的图像的图14和图16时，发现图14中所示的图像中，电子部件505的轮廓不清楚，特别是在角部，其边缘未被清晰地显示于图像中。与之相反，图16所示的本实施例的图像中，发现包括角部的夹具部件5的轮廓十分清楚。另外，当比较作为向基板或夹具基板7上安装后的状态的图像的图15和图17时，发现图15中所示的比较例的图像中，与吸附保持姿势的图像相同，其轮廓未被清楚地显示。与之相反，图17所示的本实施例中，明显地发现其轮廓被清楚地显现。

在使用像比较例那样电子部件505的轮廓未被清楚地显示的图像来进行识别处理，算出电子部件505的中心位置C1的情况下，伴随着其运算产生的误差有增大的倾向。另一方面，通过使用像本实施例那样夹具部件5的轮廓被清楚地显示的图像来进行识别处理，就可以可靠地算出夹具部件5的中心位置C2，与比较例相比，可以减小伴随着其运算产生的误差量。

这里，在本比较例和本实施例中，将基于被安装后的状态的图像检测出的部件安装位置检测的重复精度分为X轴方向、Y轴方向及θ方向，将其最大值、最小值、平均值及3σ表示在表1中。另外，对于基于所述图像检测出的安装位置精度与利用安装精度测定标准原器测定的安装后状态的电子部件或夹具部件的安装位置精度的结果的差，将在每个方向上的最大值、最小值、最大值和最小值的差、平均值及3σ表示在表2中。

[表1]

[表2]

从表1及表2中可以看到，相对于比较例，本实施例一方很明显部件安装位置检测的重复精度提高，另外，即使在与安装精度测定标准原器的比较中，也可以判断精度大幅度提高。例如，对于部件安装位置检测精度，可以从以往的大约20μm/3σ像本实施例那样提高到10μm/3σ。

根据所述实施方式，可以得到如下的各种效果。

首先，因夹具基板7由透光性材料制成，另外，在它的与部件安装侧表面7a相对的表面上，形成有被朝向部件安装侧表面7a配置的反射面8a，从而通过向安装了夹具部件5的部件安装侧表面7a照射光，使该光透过部件安装侧表面7a及所述透光性材料而在反射面8a上反射，使该反射光穿过所述透光性材料而从部件安装侧表面向上方射出，就可以获取由该反射光形成的夹具部件5的剪影的图像。

在以往的此种检查方法中，虽然将安装了夹具部件的基板的部件安装侧表面作为反射面，获取由其反射光形成的所述夹具部件的剪影的图像，然而此种夹具部件通常来说是被借助透光性的双面胶等安装于部件安装侧表面，此种双面胶被配置于所述反射面上，此种情况下，在夹具部件的周围会产生反射光的散乱，该散乱成为噪音，被显现于所述剪影的图像的轮廓附近。此种情况下，就无法正确地识别轮廓，从而阻碍正确的部件安装精度的检测。

另一方面，所述实施方式的检查方法中，由于反射面8a被形成于与部件安装侧表面7a相对一侧的表面上，被朝向部件安装侧表面7a照射的光透过所述双面胶及部件安装侧表面7a，透过夹具基板7内部，可以在反射面8a上不产生散乱地反射。所以，就难以产生如上所述的问题，从而可以实现高精度的部件安装精度的检测。

另外，因该反射面8a具备光的扩散作用，因而就可以使所反射的光在夹具基板7内大致均一地扩散，从而可以使夹具部件5的背景整体明亮而作为面光源发挥作用，因而能够实现更为清晰的剪影的图像获取。

特别是，如图18的示意性说明图所示，在将所照射的光W扩散反射的扩散反射面108a被设于作为基板107的图示上面的部件安装侧表面107a上的情况下，例如即使光W被扩散反射，在部件105的周围附近也会产生光无法到达的部分，在所拍摄的图像中产生形成影子的部分R。与之相反，通过像图19的本实施方式的示意性说明图所示那样，将扩散反射面8a不是配置于夹具基板7的部件安装侧表面7a上，而是配置于图示下面侧，就可以使所扩散的光一直到达配置有夹具部件5的图示里侧的夹具基板7的内部。通过像这样使光遍布扩散，就可以在夹具部件5的周围附近减少产生影子的部分，从而可以使夹具部件5的轮廓的图像清晰化。

另外，夹具部件5被以其上面作为非反射面5a，以其下面作为反射面5b地形成，通过用吸附管嘴22将夹具部件5以其上面吸附保持，就可以将反射面5b配置于下方侧。通过以此种配置来进行吸附保持，就可以利用部件识别照相机24，从吸附管嘴22的下方侧照射光，拍摄由夹具部件5的反射面5b反射的反射光形成的夹具部件5的实像，通过对所拍摄的图像进行识别处理，就可以可靠地识别其吸附保持姿势。特别是，在对被小型化了的其尺寸比吸附管嘴22的头端部分更小的夹具部件5的吸附保持姿势进行识别时，因难以拍摄由所述的所照射的光形成的夹具部件5的剪影的图像，因而所述的拍摄方法就更为有效。

另外，因将反射面5b侧配置于部件安装侧表面7a上而将夹具部件5安装于夹具基板7上，因而被朝向部件安装侧表面7a照射的光就被向夹具部件5的非反射面5a照射，从而可以抑制该光被夹具部件5反射的情况。所以，可以更为清楚地获取由所述的反射光形成的剪影的图像，可以进行高精度的安装位置的识别，即可以进行部件安装精度的检查。

另外，像这样将一方的面作为非反射面5a、将另一方的面作为反射面5b而形成的夹具部件5不仅可以安装于夹具基板7上，也可以安装于实际的基板3上。在安装于实际的基板3上的情况下，通过将反射面5b向上地安装，就可以拍摄由向夹具部件5的反射面5b照射的光的反射光形成的夹具部件5的实像。所以，就可以实现被多样化了的各种各样的检查方法。

另外，由于夹具基板7由透光性材料，例如由玻璃材料等形成，因此可以减少其弯曲量，可以实现更高精度的检查。

而且，通过将所述各种各样的实施方式中的任意的实施方式适当地组合，可以起到各自所具有的效果。

本发明虽然是在参照附图的同时被与优选的实施方式关联地充分地记述，但是对于熟悉该技术的人来说，各种变形或修正是显而易见的。此种变形或修正只要不脱离由所附加的技术方案形成的本发明的范围，就应当被理解为包含于其中。

2004年3月15日申请的日本国专利申请No.2004—072174号的说明书、附图及专利请求的范围的公布内容被作为整体参照而收入本说明书之中。

Claims (11)

1.一种部件安装精度的检查方法，是将由部件保持构件(22)保持的部件(1)安装于基板(3)上的部件安装装置的部件安装精度的检查方法，

使用如下的检查用部件(5)，其具有大致长方体形状，将一面设为非反射面(5a)，将与该面相对的一面作为反射面(5b)；向处于由所述部件保持构件保持了所述非反射面的状态下的所述检查用部件的所述反射面照射光(W1)，并且拍摄由利用该光照射得到的反射光(W2)所形成的所述检查用部件的实像，

通过对所述实像的图像数据进行识别处理，来识别基于所述部件保持构件的所述检查用部件的保持姿势，

在由透光性材料形成，并且在与其部件安装侧表面(7a、10a)相对的表面上具备朝向该部件安装侧表面配置的反射面(8a、9)的检查用基板(7、10)的所述部件安装侧表面中的部件安装位置上，按照配置所述检查用部件的所述反射面的方式，在对该被识别的保持姿势与基准保持姿势之间的姿势偏差进行修正的同时，利用所述部件保持构件安装该检查用部件，

向所述检查用基板的部件安装侧表面照射光(W11、W21)，并且使该照射光透过该部件安装侧表面而在所述检查用基板的所述反射面上反射，拍摄由穿过所述部件安装侧表面而由所述检查用部件的周围射出的反射光(W12、W22)所形成的所述检查用部件的轮廓的图像，

通过进行所述轮廓的图像数据的识别处理，算出所述检查用部件的实际的安装位置，通过算出所述实际的安装位置与被预先确定的所述部件安装位置的差，来求得部件安装精度。

2.根据权利要求1所述的部件安装精度的检查方法，其特征是，所述透光性材料为玻璃材料。

3.根据权利要求1所述的部件安装精度的检查方法，其特征是，所述检查用基板的所述反射面是将所述照射光进行镜面反射的镜面反射面(9)，

所述检查用基板具有被配置于所述部件安装侧表面和所述镜面反射面之间，使所述被镜面反射的光扩散的扩散层(10c)。

4.根据权利要求1所述的部件安装精度的检查方法，其特征是，所述检查用基板的所述反射面是将所述照射光进行扩散反射的扩散反射面(8a)。

5.根据权利要求4所述的部件安装精度的检查方法，其特征是，所述扩散反射面是通过在所述检查用基板的相对的表面上贴附扩散反射片(8)而形成。

6.一种部件安装精度的检查方法，是将由部件保持构件(22)保持的部件(1)安装于基板(3)上的部件安装装置的部件安装精度的检查方法，

在由透光性材料制成，并且在与部件安装侧表面(7a、10a)相对的表面上具备被朝向该部件安装侧表面配置的反射面(8a、9)的检查用基板(7、10)的所述部件安装侧表面的部件安装位置上，利用所述部件保持构件安装所述部件，

向所述检查用基板的所述部件安装侧表面照射光(W11、W21)，并且使该光透过该部件安装侧表面而在所述反射面上反射，拍摄由穿过所述部件安装侧表面而由所述部件周围射出的反射光(W12、W22)所形成的所述部件的轮廓的图像，

通过进行利用该拍摄所取得的所述轮廓的图像数据的识别处理，算出所述部件的实际的安装位置，通过算出所述实际的安装位置与被预先确定的所述部件安装位置的差，来求得部件安装精度。

7.一种部件安装精度的检查装置，是将由部件保持构件(22)保持的部件(1)安装于基板(3)上的部件安装装置(101)的部件安装精度的检查装置，具备：

检查用基板(7、10)，其代替所述基板，由所述部件安装装置所保持，由透光性材料制成，并且在与其部件安装侧表面(7a、10a)相对的表面上具备朝向该部件安装侧表面配置的反射面(8a、9)；

检查用部件(5)，其代替所述部件，被供给到所述部件安装装置，形成为将一面设为非反射面(5a)并且将与该面相对的面设为反射面(5b)的大致长方体，将所述非反射面由所述部件保持构件保持，按照使所述反射面与所述检查用基板的所述部件安装侧表面相对的方式安装于所述检查用基板上；

部件拍摄装置(24)，其向处于利用所述部件保持构件保持了其所述非反射面的状态下的所述检查用部件的所述反射面照射光(W11、W21)，并且拍摄由利用该光照射得到的反射光(W2)所形成的所述检查用部件的实像；

基板拍摄装置(25)，其向在其部件安装位置上安装了所述检查用部件的所述检查用基板上的部件安装侧表面照射光(W11、W21)，并且使该照射光透过该部件安装侧表面而在所述反射面上反射，拍摄由穿过所述部件安装侧表面而由所述检查用部件的周围射出的反射光(W12、W22)所形成的所述检查用部件的轮廓的图像；

保持姿势识别部(63)，其通过对由所述部件保持构件保持的状态下的所述检查用部件的实像的图像数据进行识别处理，来识别基于所述部件保持构件的所述检查用部件的保持姿势，从而可修正该被识别的保持姿势与基准保持姿势的姿势偏差；

安装位置识别部(64)，其通过对安装在所述检查用基板上的状态的所述检查用部件的轮廓的图像数据进行识别处理，来识别所述检查用部件的实际的安装位置；

安装精度运算部(73)，其通过算出利用所述安装位置识别部识别的所述实际的安装位置、和被预先确定的所述检查用部件的安装位置的差，来运算所述部件安装精度。

8.根据权利要求7所述的部件安装精度的检查装置，其特征是，所述透光性材料为玻璃材料。

9.根据权利要求7或8所述的部件安装精度的检查装置，其特征是，所述检查用基板的所述反射面是将所述照射光进行镜面反射的镜面反射面(9)，

所述检查用基板具有使在所述镜面反射面被镜面反射的光扩散的扩散层(10c)。

10.根据权利要求7或8所述的部件安装精度的检查装置，其特征是，所述检查用基板的所述反射面是将所述照射光扩散反射的扩散反射面(8a)。

11.一种部件安装精度的检查装置，是将由部件保持构件(22)保持的部件(1)安装于基板(3)上的部件安装装置(101)的部件安装精度的检查装置，具备：

检查用基板(7、10)，其代替所述基板，由所述部件安装装置所保持，由透光性材料制成，并且在与其部件安装侧表面(7a、10a)相对的表面上具备朝向该部件安装侧表面配置的反射面(8a、9)；

基板拍摄装置(25)，其向在其部件安装位置上安装了所述部件的所述检查用基板的部件安装侧表面照射光(W11、W21)，并且使该照射光透过该部件安装侧表面而在所述反射面上反射，拍摄由穿过所述部件安装侧表面而由所述部件的周围射出的反射光(W12、W22)所形成的所述部件的轮廓的图像；

安装位置识别部(64)，其通过对安装在所述检查用基板上的状态的所述部件的轮廓的图像数据进行识别处理，来识别所述部件的实际的安装位置；

安装精度运算部(73)，其通过算出利用所述安装位置识别部识别的所述实际的安装位置、和被预先确定的所述部件的安装位置的差，来运算所述部件安装精度。

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