JP2007173430A - 電子部品の画像処理方法および電子部品の画像処理装置 - Google Patents

電子部品の画像処理方法および電子部品の画像処理装置 Download PDF

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Abstract

【課題】簡易な構成において電子部品の外形を精度良く短時間で認識できる電子部品の画像処理装置および電子部品の画像処理方法を提供する。
【解決手段】電子部品の外形を認識する画像処理装置1であって、電子部品の外形を認識する際に電子部品が配置される部品認識位置2を通る光軸19を有する撮像手段7と、撮像手段7の光軸19に対して傾斜する角度をなす光軸を有し、部品認識位置2の斜め下方から照射する照明手段9,11と、部品認識位置2より上方に配置され、照明手段9,11からの光線を下方へ反射する反射部材17と、を備え、部品認識位置2に配置された電子部品は、照明手段9,11から照射された光線の照射範囲外にあり、反射部材17により反射された光線により形成される電子部品の陰影を撮像手段7により撮像し電子部品の外形を認識する画像処理装置1。
【選択図】図1

Description

本発明は、電子部品を位置決めする際に用いられる電子部品の画像処理装置及び画像処理方法に関し、特に微小な電子部品に対して背面から光を照射し、電子部品の陰影を撮像することにより外形を認識する画像処理装置及び画像処理方法に関する。
従来から電子部品の位置決めをする際に、電子部品に光線を照射して電子部品に反射した光を撮像することにより電子部品の外形を認識する反射型の電子部品画像処理装置や、電子部品の背面側から光線を透過させて撮像することにより、電子部品の位置を認識する透過型の電子部品の画像処理装置が知られている。以下に、従来の電子部品の画像処理装置について図面を参照して説明する。
図3は、従来の透過型の電子部品の画像処理装置の一部を示す断面図である。この画像処理装置201は、電子部品203の上方から光線を照射し、電子部品の透過像を撮像し、電子部品203の外形を認識する装置である。
画像処理装置201は、吸引力を付与することにより電子部品を把持する、独楽型の電子部品把持部239と、電子部品把持部239に装着され2つの光源241を備える円環部材243と、電子部品把持部239の外周側面に装着された第1反射部材245と、円環部材243のテーパ側面に配置されている第2反射部材247と、電子部品203の下方に配置され、電子部品203を透過した光線を反射させるための反射鏡249と、反射鏡249から電子部品203の陰影を撮像する撮像装置251と、を備える。
上記構成において、光源241の光は、第1反射部材247を反射し、反射した光線は、第2反射部材245に反射され、電子部品203に到達し、電子部品203を透過した光線による陰影が形成される。その陰影に基づき電子部品203の外形が認識される。
図4は、従来の反射型の電子部品の画像処理装置の一部を示す正面図である。この電子部品の画像処理装置301は、電子部品303を保持するための吸着ノズル339と、吸着ノズル339の周囲に配置された円筒状の光吸収板321と、吸着された電子部品303を照明するための第1の光源341及び第2の光源342と、撮像装置343と、を備え、吸着ノズル339の先端には、光拡散用のテーパ面315が設けられている。さらに、第1の光源341及び第2の光源342から適宜光線を照射し、電子部品303を反射した光線を撮像装置343で撮像し、電子部品303の形状を認識する。
特開平10−313197号公報 特開平11−74699号公報
上記した図3の電子部品の画像処理装置では、電子部品の吸着部材239に光源241を有する環状部材243が装着されている。従って、電子部品203を吸着保持する吸着部材239を移動し、電子部品203を次の工程に搬送する場合には、まず、環状部材243を吸着部材239から離間させた後に吸着部材239を移動させるか、照明部材241を備える環状部材243と共に吸着部材239を移動させる必要がある。
従って、前者の場合には吸着部材239を移動する際、環状部材243を離間させる工程が不可欠であるため、電子部品203の外形を認識し、次の工程に搬送するために要する時間を短縮することが難しい。後者の場合のように、環状部材243が吸着部材239に固定されている場合には、光源241の配線部材の存在により吸着部材239の移動が制限されることや、吸着部材の構成が複雑化する傾向がある。
他方、図4の電子部品の画像処理装置では、第2の光源342を用いて反射照明方式により電子部品303を撮像する場合には、電子部品303の表面に接着剤351やワックス等が付着していると、接着剤351やワックス等により光線が乱反射し、撮像装置343により撮像された電子部品303の外形画像が安定しない。
本発明は、上記従来の電子部品の位置決め装置の課題を鑑み、簡易な構成において電子部品の外形を精度良く短時間で認識できる構成の電子部品の画像処理装置および電子部品の画像処理方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の画像処理装置の第1の態様は、前記電子部品の外形を認識する際に電子部品が配置される部品認識位置を通る光軸を有する撮像手段と、前記撮像手段の光軸に対して傾斜する角度をなす光軸を有し、部品認識位置の斜め下方から照射する照明手段と、前記部品認識位置より上方に配置され、前記照明手段からの光線を下方へ反射する反射部材と、を備え、前記部品認識位置に配置された前記電子部品は、前記照明手段から照射された光線の照射範囲外にあり、前記反射部材により反射された光線により形成される前記電子部品の陰影を撮像手段により撮像し電子部品の外形を認識する画像処理装置である。
本発明の画像処理装置の第2の態様によれば、前記電子部品を吸着保持するための吸着部材を備え、前記反射部材は前記吸着部材に設けられている。
本発明の画像処理装置の第3の態様によれば、前記照明手段の光軸が傾斜する角度は、約29度〜約33度の範囲である。
本発明の画像処理装置の第4の態様によれば、前記吸着部材を移動する駆動手段を備え、前記吸着部材を吸着保持する前記吸着部材が前記駆動手段により移動する際、前記電子部品及び前記吸着部材の移動範囲外に前記撮像手段及び前記照明手段が配置されている。
上記課題を解決するために、本発明の画像処理方法の態様は、電子部品の上面から光線を照射し、前記電子部品の陰影により前記電子部品の外形を撮像装置で認識する画像処理方法であって、前記電子部品の外形を認識する際に電子部品が配置される部品認識位置に前記電子部品を配置し、前記撮像手段の光軸に対して傾斜する光軸を有する照射部材を用い、前記部品認識位置の斜め下方から照射し、前記部品認識位置の上方に配置された反射部材により、前記照明手段からの光線を下方へ反射し、前記反射部材により反射された光線により形成される前記電子部品の陰影を撮像手段により撮像し、前記部品認識位置に配置された前記電子部品は、前記照明手段から照射された光線の照射範囲外にある。
本発明の電子部品の画像処理装置及び電子部品の画像処理方法によれば、電子部品が位置する部品認識位置より下方に、照射手段を配置しているので、画像認識を行う工程へ搬送したり、次の工程へ搬送することが容易かつ短時間でできる。また、透過式の照射方法を採用しているので、電子部品の表面に接着剤等が残存している場合であっても、接着剤の影響を排除し、電子部品の外形を正確に認識できる。
以下、本発明による電子部品の画像処理装置及び電子部品の画像処理方法の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図1は、本発明の実施形態による画像処理装置の要部を示す正面図である。電子部品である磁気ヘッドスライダ(以下、スライダと称す。)5の外形を認識する画像処理装置1は、スライダ5が撮像される際にスライダ5の中心が位置付けられる部品認識位置2から鉛直方向下方に所定距離離れて配置され、スライダ5を撮像する撮像手段、すなわち撮像カメラ7と、部品認識位置2の斜め下方に配置され、光線を照射する照明手段、すなわち第1及び第2の光源9、11と、第1及び第2の光源9、11からの光線を反射させ、吸着ノズル3に吸着保持されたスライダ5の上面へ光線を導く反射部材と、を備える。本実施形態の反射部材は、後述するノズル先端部13の外周面13aと反射板17から構成される。なお、反射板17はアルミナ板などの、明度が高く、表面が適度に乱反射するものが好ましい。
さらに、本発明の必須の構成ではないが、本実施形態では、スライダ5を保持し搬送する保持手段として吸着ノズル3を使用する。吸着ノズル3を用いてスライダ5を部品認識位置2に搬送し、吸着ノズル3にスライダ5を保持した状態で、本実施形態の画像処理装置によりスライダ5の画像認識を行った後、次の工程にスライダ5が搬送される。
吸着ノズル3は、先端に開口を有するノズル先端部13と、ノズル先端部13を支持するノズル本体部15と、ノズル先端部13の開口に連通し、スライダ5に対して吸引力を付与する真空源(不図示)と、を備える。ノズル先端部13は先細りの円筒形状である。さらに、吸着ノズルは3は、不図示の駆動手段(図2の65、71、75参照。)により、x方向(図1の左右方向)、y方向(図1の表裏方向)及び、z方向(図1の上下方向)に移動可能な構成である。従って、前工程においてスライダ5を吸着保持し、画像処理装置による位置認識工程にスライダ5を導入し、また、位置認識工程から次の工程にスライダ5を移動することが可能である。
反射部材を構成する円環状の反射板17は、ノズル本体部15の図中下端部に装着されている。反射板17は、第1及び第2の光源9、11からの光線を反射させてノズル先端部5に吸着保持されているスライダ5の上面5a(ノズル先端部13に当接する面)に光線を導くためのものである。さらに、ノズル先端部13のテーパ形状の外周面13aも、第1及び第2の光源9、11からの光線を反射させ、スライダ5の上面5aに構成を導くことができる材料及び形状からなる。
本実施形態では、反射部材を、ノズル先端部13の外周面13aと反射板17から構成したが、この構成に本発明の画像処理装置が限定されるものではない。すなわち、部品認識位置2に位置付けられたスライダ5の上面5aに第1及び第2の光源9、11からの光線を反射することができる材料及び形状からなる反射部材であればよい。
撮像手段である撮像カメラ7は、部品認識位置2から鉛直方向(z方向)下方に配置され、鉛直方向において下方から上方を撮像する構成である。また、本実施形態では、撮像装置の光軸19が部品認識位置2を通るように配置され、さらに光軸19と部品認識位置2を通る鉛直方向線とが一致するような位置関係である。また、本実施形態では、反射部材13、17、部品認識位置2、撮像カメラ7は、光軸19に沿って配置されている。
2つの光源9、11は、撮像カメラ7の光軸19に対して、線対称になるように配置されている。光源9、11の光軸22は、撮像カメラ7の光軸19に対して約30度傾斜するように配置されている。
なお、光源9、11の光軸が傾斜する角度(θ)は、撮像する対象の寸法や形状により異なるが、光線の照射領域内に、スライダ5の表面5b(撮像カメラ7に対面している面)が存在しないよう規定すればよい。
さらに、部品認識位置2を通る水平線20より下方に第1及び第2光源9、11が配置されている。すなわち、第1及び第2光源9、11や撮像カメラ7が、スライダ5を吸着保持した吸着ノズル3が移動(Y方向やX方向)する移動範囲の外に配置されている。よって、第1及び第2光源9、11や撮像カメラ7がスライダ5と干渉することがなく、吸着ノズル3の搬送方向の自由度を大きくできる。
上記構成の電子部品認識装置1における画像処理方法は、第1及び第2の光源9、11から、所定の指向角(D)で照射された光線は、反射部材である反射板17及びノズル先端部13の外周面13aを反射し、吸着ノズル3により吸着保持される(部品認識位置2に位置決めされた)スライダ5の方向へ方向付けられる。そして、スライダ5を透過した光線が撮像カメラ7に到達し、スライダ5の外形が陰影として認識される。
ここで、スライダ5が配置される部品認識位置2は、第1及び第2の光源9、11からの光線の照射範囲外にあり、スライダ5には、光源9、11から直接光線が照射されないような位置関係である。
上記構成のように、透過型の構成を採用することにより、接着剤等がスライダ5の下面5bに残留している場合であっても、スライダ5の上面5a側から透過した光線により形成される陰影に影響を及ぼさない。よって、確実にスライダの外形を撮像に認識することができる。特に撮像カメラ7で得られた情報を2値化処理する場合、スライダ5の下面5bを反射した光線により撮像する反射型では、下面5bに付着したごみ、接着剤等により乱反射が生じ、スライダの領域とその他の領域において光強度に関するコントラストが得られない。しかし、上記実施形態によれば、撮像カメラ7に入射する透過光についての光強度に関しスライダに対応する領域とその他の領域との間で十分なコントラストが得られ、所定の閾値で2値化処理した場合でもスライダの外形を正確に識別できる。
なお、ここで言うコントラストは、単なる光線同士の干渉による明暗差だけではなく、光源の光強度のムラによる明暗差を含む。従って、光源の光強度ムラに起因し、反射光の光強度にムラがあると、ムラの暗部が撮像状態に影響を与えることになるので、反射光の光強度の平均値を上げてムラの発生を抑えると、スライダの外形をより正確に識別することができる。
以下に、上記実施形態によるスライダ保持状態保持ユニットの実施例について説明する。図1(b)は、撮像カメラの光軸19に対して光源の光軸22が傾斜する傾斜角θを横軸にとり、コントラストの値を縦軸にとり、両者の関係を示す。
本実施例におけるスライダの撮像試験は以下の条件で行った。第1及び第2光源9、11からスライダ5の下面5bまでの鉛直方向距離aを約3mmとし、スライダ5の下面5bと反射板17との距離bを約7mm程度にした。なお、光源としては、指向角Dが約70度のライトガイドを使用した。また、幅が約0.8mm、高さが約0.2mm、奥行きが約1.2mmの外形寸法であるスライダを使用した。
上記条件では、撮像カメラの光軸19と光源の光軸22との間の傾斜角θの角度は、29度〜33度が望ましい(図1(b)参照)。傾斜角が29度より小さい場合には、反射部材により反射された光線がスライダ5の上面5aに十分に到達しないため、スライダ5のコントラストが得られない。また、傾斜角が33度より大きい場合には、スライダ5の下面5bを反射する光線の量が多くなり、反射部材により反射してスライダ5を透過する光線の量が比較的少なくなり、透過する光線の光強度のコントラストが得られない。
(スライダ分離・選別装置)
以下に、図1に示した画像処理装置を適用したスライダ分離・選別装置の実施例について説明する。図2は、スライダ分離・選別装置を上面から見た概略構成図である。
スライダ分離・選別装置51は、治具に固定されたスライダを分離し、スライダの品質に従ってトレイに収納するための装置である。
なお、スライダはセラミックからなるウエハ上の基板に対して半導体製造工程に類似する薄膜形成・加工処理を施すことにより、複数個が同時に製造されるものである。複数個のスライダとしてウエハから切り出されて、複数個のスライダが所定方向に並んだ棒状の中間体と作成する。中間体は所定の治具に接着剤等で固定し、成形処理等がなされる。そして、治具に固定された中間体を、単一のスライダを含む個片へと切断した後に、スライダの治具からの分離と、スライダの品質に従って選別が行われ、磁気ヘッド装置の組立工程に供せられる。
従来、スライダの治具からの分離は、いわゆるケミカル法を用い、スライダが接着されている治具を溶剤中に浸漬し、接着剤を溶解してその粘着力を低下させ、手作業により治具からスライダを取り外していた。さらに、治具より取り外されたスライダは、洗浄工程により洗浄される。その後、スライダの電気的特性が判断され、そのスライダの品質に従って選別され手作業により所定のトレイに載置される。
このように、従来の分離・選別工程の速度および選別精度は、この操作を行う作業者の能力に依存している。よって、分離・選別工程の高速化や正確性を高めることが困難であった。また、分離・選別工程では、手作業が介在するため静電気によりスライダが破損する恐れがある。
実施例は、上記課題を解決するためのものであり、図1の画像処理装置を分離・選別装置に適用することにより、分離・選別工程の高速化や高精度化、そして自動化に寄与する。具体的には、分離・選別工程内において、選別されたスライダを所定のトレイ内に収容する際に、スライダを搬送する前に吸着部材によるスライダの保持状態を認識するために、図1の画像処理装置を用いた実施例である。
以下に、スライダ分離・選別装置51について説明する。スライダ分離・選別装置51は、スライダ分離装置52と、2つのピックアップ装置53、55と、スライダ保持状態検知装置(画像処理装置)57と、スライダ選別ユニット59と、マーク認識カメラ61がスライダ分離・選別装置の基台63上に配置されている。
分離装置52は、後述する第1吸着ノズル63の下方に配置され、スライダを固定している接着剤を溶融するまで加熱する加熱手段と、スライダを押圧し、治具からスライダを分離する押圧部材とを備える。
第1のピックアップ装置53は、吸着ノズル63と、Z方向駆動源65、吸着ノズル支持アーム67、Y方向駆動レール69、Y方向駆動源71、X方向駆動レール73、X方向駆動源75を有している。吸着ノズル63は、Z方向駆動源65に連結され、Z方向(図面の表裏方向)に吸着ノズル63が移動可能である。また、吸着ノズル63は、吸着ノズル支持アーム67上に載置され、さらに、吸着ノズル支持アーム67は、Y方向駆動レール69に摺動可能に装着され、Y方向駆動源71によりY方向駆動レール69上を移動できる。Y方向駆動レール69、及びY方向駆動源71は、X方向駆動レール73に摺動可能に装着され、X方向駆動源75によりX方向駆動レール73上を移動する。
また、第2のピックアップ装置55は、Y方向に関し第1のピックアップ装置53に対向して配置され、その構成も第1のピックアップ装置55とほぼ同様の構成であり、第2のピックアップ装置55は、吸着ノズル77と、Z方向駆動源79と、吸着ノズル支持アーム81と、Y方向駆動レール83と、Y方向駆動源85と、X方向駆動レール87と、Y方向駆動源89と、を有している。
また、第1の及び第2のピックアップ装置53、55のY方向駆動レール69、83は、互いにほぼ平行に延在し、さらに、X方向駆動レール73、87も互いにほぼ平行に延在する。
吸着ノズル63、77は、不図示の吸引源に連結され、吸引力をスライダ5に付与することでスライダを吸着保持する。
トレイ載置ステージ89は、基台62のほぼ中央において、Y方向に関し第1及び第2のピックアップユニット間に挟まれるように配置されている。
本実施例において、治具に固定されたスライダ2の各々については、予め電気特性、寸法精度等が測定されており、スライダとしての品質が、治具上の配置と共に管理番号に関連付けされ不図示の記憶装置に記録されている。スライダは、その品質により、上級品、中級品、及び下級品の三種類に選別することとしており、選別用トレイとして、上級用トレイ89a、中級用トレイ89b、及び下級用トレイ89cが用いられる。これらのトレイ89a〜89cは、トレイ載置ステージ89上の所定に位置に配置されている。
また、図示していないが、これらのトレイ89a〜89cの上面には、各々のスライダ5を個別に収容できる凹部が複数設けられている。
マーク認識カメラ61は、基台62に固定され、治具に固定された状態にあるスライダ5を側方から撮影し、スライダの側面に印字された管理番号を撮影する。マーク認識カメラ61は、微小な文字を認識する必要性から、顕微機能を備えたOCRカメラから構成されることが好ましい。
スライダ保持状態検知装置1(図1の画像処理装置に対応)は、第1のピックアップユニットの吸着ノズル63に保持されたスライダ5を下方から撮影可能とする撮像カメラ7と、スライダ5を異なる方向から照射する光源9、11を備える。スライダ5を吸着保持した吸着ノズル63は、スライダ5を上記トレイ89a〜89cへ搬送する過程において、撮像カメラ7上にて一旦停止する。図1に関して説明したように、吸着ノズル63が停止した状態で撮像カメラ7によりスライダ5の陰影を撮像し、撮像カメラ7により得られた画像と、所望の保持状態とのずれを検出する。ずれが検出された場合、第1のピックアップユニットは、検出されたずれを補正した上で、所定のトレイ89a〜89cの所定の凹部に載置する。
次に、以上のスライダ分離・選別装置を用いて、スライダの分離及び選別を行う工程について説明する。なお、本実施例では、2つのピックアップユニット53、55を備えるが、両者の動作は同じであるので、第1のピックアップユニット53を用いて、スライダの分離及び選別の工程を述べる。
まず、分離工程では、治具が、分離装置52の加熱手段6の所定位置に載置され、スライダ5を治具に固定している接着剤を溶融するまで接着剤が加熱される。また、押圧部材により、治具とスライダの接着面と平行な方向にスライダが押圧され、スライダが治具から分離される。
分離されたスライダは、ピックアップユニット53、55によりスライダ保持状態検知装置1に搬送される。吸引ノズル63は、X方向駆動源75、Y方向駆動源69、Z方向駆動源65を適宜作動させることにより、吸着ノズル63をスライダの上面に当接させる。吸着ノズル63に連結された不図示の吸引源を作動することにより、吸引力をスライダに作用させることにより、スライダを吸着する(図1を参照。)。
さらに、X方向駆動源75、Y方向駆動源71、Z方向駆動源65を作動することにより、スライダ保持状態検知装置(図1の画像処理装置に対応)1の撮像カメラ7から所定距離離れた部品認識位置(図1の参照符号2を参照。)に吸着ノズル63を移動させる。実施形態において詳述したように、第1及び第2光源9、11から光線を吸着ノズル63に設けられた反射部材(図1の13a、17参照)に照射させ、その反射光により形成されるスライダ5の陰影を撮像カメラ7により撮影する。撮影された陰影と、スライダの所望の位置を比較し、ずれ量を求める。求めたずれ量を補正すべく、不図示のθ方向駆動機構、X方向駆動源75、Y方向駆動源71を作動することにより、スライダのずれ量を補正し、スライダの姿勢の制御を行う。
さらに、スライダ5をトレイ載置ステージ89の所定のトレイ89a〜89cに搬送する。先に、吸着されたスライダ5の管理番号に関連付けされた品質に基づき、所定のトレイ89a〜89cの所定位置に載置され、トレイへの収納が完了する。また、治具に固定されている他のスライダに対しても、上記した分離・選別の手順を行う。
上記した分離・選別工程によれば、従来のケミカル法を利用する必要がなく、スライダの分離から選別完了までに要する時間を短縮できる。また、ケミカル法において、人手によって行われていた選別・分離作業を、画像処理を用いて完全に自動化することが可能となる。これにより、生産速度が増し、均一な品質のスライダを得ることができる。
また、図3、図4に示す画像処理装置に比べても、吸着ノズルによる搬送に要する時間を短縮化できるとともに、画像処理を高精度に行うことができる。
なお、上述の実施例では、2つのピックアップユニット53、55を備え、3つのトレイにより選別する構成とした。しかし、ピックアップユニットの数や、選別する種類は、適宜変更できることは言うまでもない。
本実施形態及び実施例において、照明手段として、電球、LED、EL、蛍光ランプ、メタルハライドランプ等を利用できる。
本実施形態及び実施例においては、画像処理の対象物としてスライダを用いたが、スライダに限定されることはなく、セラミックコンデンサ等の電子部品についても画像処理を行うことができる。
本実施形態及び実施例においては、反射部材としての代表例としてアルミナ板を挙げたが、明度が高く、表面が適度に乱反射するものであれば、白色樹脂や梨地アルミ、セラミックなども利用できる。
この発明は、その本質的特性から逸脱することなく数多くの形式のものとして具体化することができる。よって、上述した実施形態は専ら説明上のものであり、本発明を制限するものではないことは言うまでもない。
(a)は本発明の画像処理装置の実施形態であり、(b)は、光源の光軸の傾斜角度と、コントラストとの関係を示すグラフである。 図1の画像処理装置をスライダ分離・選別装置に適用した実施例の概略構成図である。 従来の透過型の電子部品位置決め装置の部分的断面図である。 従来の反射型の電子部品位置決め装置の部分的断面図である。
符号の説明
1 画像処理装置
2 部品認識位置
3 吸着ノズル
5 スライダ
7 撮像カメラ
9、11 光源
17 反射板

Claims (6)

  1. 電子部品の外形を認識する画像処理装置であって、
    前記電子部品の外形を認識する際に電子部品が配置される部品認識位置を通る光軸を有する撮像手段と、
    前記撮像手段の光軸に対して傾斜する角度をなす光軸を有し、部品認識位置の斜め下方から照射する照明手段と、
    前記部品認識位置より上方に配置され、前記照明手段からの光線を下方へ反射する反射部材と、を備え、
    前記部品認識位置に配置された前記電子部品は、前記照明手段から照射された光線の照射範囲外にあり、前記反射部材により反射された光線により形成される前記電子部品の陰影を撮像手段により撮像し電子部品の外形を認識する画像処理装置。
  2. さらに、前記電子部品を吸着保持するための吸着部材を備え、前記反射部材は前記吸着部材に設けられている請求項1に記載の画像処理装置。
  3. 前記照明手段の光軸が傾斜する角度は、約29度〜約33度の範囲である請求項1又は2に記載の画像処理装置。
  4. 前記吸着部材を移動する駆動手段を備え、前記電子部品を吸着保持する前記吸着部材が前記駆動手段により移動する際、前記電子部品及び前記吸着部材の移動範囲外に前記撮像手段及び前記照明手段が配置されている請求項2に記載の画像処理装置。
  5. 電子部品の上面から光線を照射し、前記電子部品の陰影により前記電子部品の外形を撮像装置で認識する画像処理方法であって、
    前記電子部品の外形を認識する際に電子部品が配置される部品認識位置に前記電子部品を配置し、
    前記撮像手段の光軸に対して傾斜する光軸を有する照射部材を用い、前記部品認識位置の斜め下方から照射し、
    前記部品認識位置の上方に配置された反射部材により、前記照明手段からの光線を下方へ反射し、
    前記反射部材により反射された光線により形成される前記電子部品の陰影を撮像手段により撮像し、
    前記部品認識位置に配置された前記電子部品は、前記照明手段から照射された光線の照射範囲外にあることを特徴とする電子部品の外形を認識する画像処理方法。
  6. さらに、吸着部材に吸着保持された前記電子部品を移動し、
    前記吸着部材に吸着された電子部品及び前記吸着部材の移動範囲外に前記撮像手段及び前記照明手段が配置されている電子部品の外形を認識する画像処理方法。
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