TW202117313A - 攝像裝置 - Google Patents

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TW202117313A
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島田真稔
谷口慎也
佐藤祐介
小池泰弘
佐伯和人
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日商斯庫林集團股份有限公司
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Abstract

本發明之課題，在於提供可容易地對已充分拍到具有各種形狀之對象物之影像進行攝像的技術。 本發明之攝像裝置，其具備有載置部、第一攝像單元、第一移動機構、第二攝像單元、及第二移動機構。載置部係用以載置攝像對象物者。第一攝像單元包含有一個以上的第一攝像部及一個以上的第一照明部。第一移動機構可使第一攝像單元相對於載置部相對地移動。第二攝像單元包含有一個以上的第二攝像部及一個以上的第二照明部。第二移動機構可使第二攝像單元相對於載置部相對地移動。

Description

攝像裝置
本發明係關於攝像裝置。
過去以來，對於被使用在汽車等之驅動部及其周邊之具有立體形狀的鍛造零件，藉由人們從各種角度觀察鍛造零件來進行發現缺陷之目視檢查。該目視檢查例如可置換為使用包含照相機與照明之光學機器的檢查。
而且，例如可存在一種缺陷檢查裝置，其藉由於具有與人類之手臂相似之構造之產業用機器手臂的前端安裝光學機器，而可自由地對檢查對象物(亦稱為工件)之期望的部分進行攝像(例如專利文獻1等)。藉由如此之缺陷檢查裝置，即便為例如由人所進行之目視檢查也難以處理的大型工件，亦可進行檢查。 [先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本專利特開2006-208259號公報
(發明所欲解決之問題)
然而，在上述專利文獻1之技術中，自一方向對工件照明而進行攝像。因此，例如，若工件具有凹凸部及孔部等非平坦之各種外形，則針對工件之一部分，存在有自照明被照射至工件之光不會朝向攝影機反射，而無法得到充分地拍到工件之影像的情形。
本發明係鑑於上述課題所完成者，其目的在於提供可容易地對已充分地拍到具有各種形狀之對象物之影像進行攝像的技術。 (解決問題之技術手段)
為了解決上述課題，第1態樣之攝像裝置具備有載置部、第一攝像單元、第一移動機構、第二攝像單元、及第二移動機構。上述載置部係用以載置攝像對象物者。上述第一攝像單元包含一個以上的第一攝像部及一個以上的第一照明部。上述第一移動機構使上述第一攝像單元相對於上述載置部相對地移動。上述第二攝像單元包含有一個以上的第二攝像部及一個以上的第二照明部。上述第二移動機構使上述第二攝像單元相對於上述載置部相對地移動。
第2態樣之攝像裝置係第1態樣之攝像裝置，其中，上述第一移動機構與上述第二移動機構以夾著上述載置部之方式配置。
第3態樣之攝像裝置係第1或第2態樣之攝像裝置，其中，上述第一移動機構及上述第二移動機構中之至少一個移動機構包含有多軸機器手臂。
第4態樣之攝像裝置係第1至第3之任一態樣之攝像裝置，其中，藉由上述第一移動機構所進行上述第一攝像單元的移動與上述第二移動機構所進行上述第二攝像單元的移動，上述第一攝像單元及上述第二攝像單元可遍及全周地對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行攝像。
第5態樣之攝像裝置係第1至第4之任一態樣之攝像裝置，其中，其具備控制部，該控制部以上述第一攝像單元與上述第二攝像單元交互地移動之方式，來控制上述第一移動機構及上述第二移動機構的動作。
第6態樣之攝像裝置係第1至第5之任一態樣之攝像裝置，其中，上述一個以上的第一照明部包含有第一A照明部、及第一B照明部。上述第一A照明部朝向第一A照明方向，對被載置於上述載置部之上述攝像對象物照射光。上述第一B照明部朝向第一B照明方向，對被載置於上述載置部之上述攝像對象物照射光。
第7態樣之攝像裝置係第6態樣之攝像裝置，其中，上述第一攝像部包含有光學系統。沿著自上述第一攝像部朝向被載置於上述載置部之上述攝像對象物之上述光學系統之光軸的攝像方向，較上述第一B照明方向更靠近上述第一A照明方向。
第8態樣之攝像裝置係第6或第7態樣之攝像裝置，其中，上述一個以上的第一攝像部，包含有第一A攝像部、第一B攝像部、及第一C攝像部，而上述一個以上的第一照明部，包含有上述第一A照明部、上述第一B照明部、及第一C照明部。在上述第一A照明部自上方對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行照明之狀態下，上述第一A攝像部自上方對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行攝像。在上述第一B照明部自斜上方對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行照明之狀態下，上述第一B攝像部自斜上方對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行攝像。在上述第一C照明部朝向水平方向對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行照明之狀態下，上述第一C攝像部朝向水平方向對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行攝像。
第9態樣之攝像裝置係第8態樣之攝像裝置，其中，上述第一C照明部具有水平方向上之寬度較鉛直方向上之高度更大的發光區域。
第10態樣之攝像裝置係第8或第9態樣之攝像裝置，其中，上述第一B照明部具有斜上方向上之長度較水平方向上之寬度更大的發光區域。
為了解決上述課題，第11態樣之攝像裝置具備有載置部、攝像單元、移動機構。上述載置部係用以載置攝像對象物者。上述攝像單元具有一個以上的攝像部以及包含第一A照明部及第一B照明部之兩個以上的照明部。上述移動機構使上述攝像單元相對於上述載置部相對地移動。上述第一A照明部朝向第一A照明方向，對被載置於上述載置部之上述攝像對象物照射光。上述第一B照明部朝向第一B照明方向而對被載置於上述載置部之上述攝像對象物照射光。
第12態樣之攝像裝置係第11態樣之攝像裝置，其中，上述一個以上之攝像部中之第一A攝像部包含有光學系統。沿著自上述第一A攝像部朝向被載置於上述載置部之上述攝像對象物之上述光學系統之光軸的攝像方向，較上述第一B照明方向更靠近上述第一A照明方向。
第13態樣之攝像裝置係第12態樣之攝像裝置，其中，上述一個以上的攝像部包含有上述第一A攝像部、第一B攝像部、及第一C攝像部，上述兩個以上的照明部包含有上述第一A照明部、上述第一B照明部、及第一C照明部。在上述第一A照明部自上方對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行照明之狀態下，上述第一A攝像部自上方對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行攝像。在上述第一B照明部自斜上方對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行照明之狀態下，上述第一B攝像部自斜上方對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行攝像。在上述第一C照明部朝向水平方向對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行照明之狀態下，上述第一C攝像部朝向水平方向對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行攝像。
第14態樣之攝像裝置係第13態樣之攝像裝置，其中，上述第一C照明部具有水平方向上之寬度較鉛直方向上之高度更大的發光區域。
第15態樣之攝像裝置係第13或第14態樣之攝像裝置，其中，上述第一B照明部具有斜上方向上之長度較水平方向上之寬度更大的發光區域。 (對照先前技術之功效)
根據第1態樣之攝像裝置，對於攝像對象物，可一邊使第一攝像單元與第二攝像單元分別地移動，一邊到第一攝像部及第二攝像部對由第一照明部及第二照明部之各者所照明之攝像對象物進行攝像。藉此，例如可以複數個照明條件對攝像對象物之各部分進行攝像。因此，例如，可容易地對已充分地拍到具有各種形狀之攝像對象物之影像進行攝像。
根據第2態樣之攝像裝置，例如，對於攝像對象物之表面之較廣的區域，可以複數個照明條件容易地對攝像對象物之各部分進行攝像。
根據第3態樣之攝像裝置，例如，可以複數個照明條件自任意角度對攝像對象物之各部分進行攝像。
根據第4態樣之攝像裝置，例如，對於攝像對象物之表面之更廣的區域，可以複數個照明條件容易地對攝像對象物之各部分進行攝像。
根據第5態樣之攝像裝置，例如，對於攝像對象物之複數個部位，可縮短在複數個照明條件下攝像所需要的時間。因此，例如，可使每單位時間能使攝像完成之攝像對象物的數量增加。
根據第6態樣之攝像裝置，例如，可以較少之動作進行複數個照明條件下之攝像。
根據第7態樣之攝像裝置，例如，藉由進行在以接近攝像方向之角度的照明方向進行照明之照明條件下的攝像、及在以離開攝像方向之角度的照明方向進行照明之照明條件下的攝像，可改變能捕捉到來自攝像對象物之正反射光的條件。藉此，可容易地對已充分地拍到攝像對象物之凹凸等各種形狀之影像進行攝像。
根據第8態樣之攝像裝置，例如，可以更少之動作進行複數個照明條件下之攝像。因此，例如，可更容易地對已充分地拍到具有各種形狀之攝像對象物之影像進行攝像。
根據第9態樣之攝像裝置，例如，由對即便使第一C照明部移動至載置部上，第一C照明部亦難以接觸於載置部，因此會為了進行符合攝像對象物之尺寸之距離及焦點的調整等而變得容易使第一C照明部移動。
根據第10態樣之攝像裝置，例如，可寬廣地對自斜上方觀察時深度方向較長之攝像對象物進行照明。又，例如，可在沿著鉛直方向之假想軸之周圍的不同角度上容易地配置能自斜上方對攝像對象物進行照明之複數個發光區域。
根據第11態樣之攝像裝置，例如，可以較少之動作進行複數個照明條件下之攝像。因此，例如，可容易地對已充分地拍到具有各種形狀之攝像對象物之影像進行攝像。
根據第12態樣之攝像裝置，例如，藉由進行在以接近攝像方向之角度的照明方向進行照明之照明條件下的攝像、及在以離開攝像方向之角度的照明方向進行照明之照明條件下的攝像，可改變能捕捉到來自攝像對象物之正反射光的條件。藉此，可容易地對已充分地拍到攝像對象物之凹凸等各種形狀之影像進行攝像。
根據第13態樣之攝像裝置，例如，可以更少之動作進行複數個照明條件下之攝像。因此，例如，可更容易地對已充分地拍到具有各種形狀之攝像對象物之影像進行攝像。
根據第14態樣之攝像裝置，例如，即便使第一C照明部移動至載置部上，第一C照明部亦難以接觸於載置部，因此會為了進行符合攝像對象物之尺寸之距離及焦點的調整等而變得容易使第一C照明部移動。
根據第15態樣之攝像裝置，例如，可較廣地對自斜上方觀察時深度方向較長之攝像對象物進行照明。又，例如，可在沿著鉛直方向之假想軸之周圍的不同角度上容易地配置能自斜上方對攝像對象物進行照明之複數個發光區域。
以下，一邊參照隨附之圖式，一邊對本發明之各實施形態進行說明。各實施形態所記載之構成元件僅為例示，其主旨並非將本發明之範圍僅限定於該等構成元件者。圖式僅為示意性地表示者。於圖式中，為了可容易地理解，存在有各部分之尺寸及數量會視需要而被誇張或簡化地圖示之情形。又，於圖式中，對具有相同構成及功能之部分標示相同的符號，並適當地省略重複之說明。於圖1(a)至圖2(a)、圖9至圖13、圖15及圖19(a)至圖20(c)中，標示有右手系統之XYZ座標系。在該XYZ座標系中，工件W0藉由投入裝置11之搬送部Cv1而沿著水平面被搬送之方向，被設為+X方向，與工件W0沿著水平面被搬送之方向垂直之方向，被設為+Y方向，而垂直於+X方向與+Y方向雙方之重力方向，被設為-Z方向。
又，於本說明書中，表示相對或絕對之位置關係的詞句(例如「平行」、「正交」、「中心」等)，除非特別強調，否則不僅用於準確地表示其位置關係，而亦表示包含公差之狀態，並且亦設為表示在可得到相同程度之功能的範圍內角度或距離被相對地位移的狀態者。表示兩個以上的物體相等之狀態的詞句(例如「同一」、「相等」、「均質」等)，除非特別強調，否則不僅用於表示在定量上準確地相等的狀態，而亦表示存在有公差或可得到相同程度之功能之差的狀態。表示形狀的詞句(例如「四邊形」或「圓筒形」等)，除非特別強調，否則不僅用於準確嚴謹地表示幾何學上之形狀，而在可得到相同程度之功效的範圍內，亦表示例如具有凹凸或倒角等的形狀。「所具備」、「所具有」、「具備有」、「包含有」或「具有」一個構成元件的詞句並非為將其他構成元件之存在加以排除的排他性詞句。所謂「連結」之詞句，除非特別強調，否則除了兩個元件相接之狀態以外，亦可為包含兩個元件夾著其他元件而分離之狀態的詞句。
＜1. 第一實施形態＞ ＜1-1. 檢查系統之構成＞ 一邊參照圖1(a)至圖8，一邊對第一實施形態之檢查系統1進行說明。圖1(a)係示意性地表示第一實施形態之檢查系統1之外觀的立體圖。圖1(b)係表示第一實施形態之檢查系統1之概略構成的圖。
如圖1(a)及圖1(b)所示，檢查系統1例如具備有投入裝置11、四個攝像裝置12、翻轉裝置13、及排出裝置14。更具體而言，在檢查系統1中，例如投入裝置11、第一個攝像裝置(亦稱為第一攝像裝置)121、第二個攝像裝置(亦稱為第二攝像裝置)122、翻轉裝置13、第三個攝像裝置(亦稱為第三攝像裝置)123、第四個攝像裝置(亦稱為第四攝像裝置)124、及排出裝置14係在+X方向上以上述記載之順序所連結之狀態配置。投入裝置11、攝像裝置12、翻轉裝置13及排出裝置14可適當地被簡稱為「裝置」。此處，例如藉由於+X方向上將個別所製作之複數個裝置11、12、13、14相互地加以連結，而可製造檢查系統1。換言之，例如可藉由適當地組合包含一個或兩個以上之攝像裝置12之兩個以上的裝置，來製造檢查系統。裝置11、12、13、14例如可使用連結用之構件及螺絲等之固接構件等來相互地加以連結。
各裝置11、12、13、14例如於上部具有供檢查之對象物(亦稱為工件)W0載置及搬送之內部空間之筒狀的部分(亦稱為筒狀部)。該筒狀部例如以貫通+X方向之方式配置。具體而言，例如投入裝置11具有筒狀部11tb，攝像裝置12具有筒狀部12tb，翻轉裝置13具有筒狀部13tb，而排出裝置14具有筒狀部14tb。而且，例如，複數個裝置11、12、13、14以形成一個筒狀的部分(筒狀部)1tb之方式被相互地連結，而該一個筒狀的部分係成為可在複數個裝置11、12、13、14之間進行工件W0之搬送的路徑(亦稱為搬送路徑)Rt1。在圖1(b)中，兩點鏈線之箭頭係沿著沿+X方向之搬送路徑Rt1被描繪。
此處，例如，筒狀部1tb係以如下之狀態所構成：投入裝置11之筒狀部11tb、第一攝像裝置121之筒狀部12tb、第二攝像裝置122之筒狀部12tb、翻轉裝置13之筒狀部13tb、第三攝像裝置123之筒狀部12tb、第四攝像裝置124之筒狀部12tb、及排出裝置14之筒狀部14tb在+X方向上依上述順序被連結。檢查系統1例如可將工件W0自投入裝置11起，依第一攝像裝置121、第二攝像裝置122、翻轉裝置13、第三攝像裝置123、第四攝像裝置124及排出裝置14之順序進行搬送，並對工件W0進行檢查。此處，各筒狀部11tb、12tb、13tb、14tb之位於+Z方向的上表面部及位於±Y方向的側面部，例如既可為透明亦可為不透明。
＜1-1-1. 投入裝置之構成＞ 投入裝置11係供工件W0自檢查系統1之外部投入的裝置。該投入裝置11例如位於檢查系統1所包含之複數個裝置中之工件W0之搬送路徑Rt1上的最前的部分。
在圖1(a)及圖1(b)之例子中，投入裝置11具有作為可搬送工件W0之搬送部Cv1的帶式輸送機，各攝像裝置12具有作為可搬送工件W0之搬送部Cv2的帶式輸送機，翻轉裝置13具有作為可搬送工件W0之搬送部Cv3的帶式輸送機，而排出裝置14具有作為可搬送工件W0之搬送部Cv4的帶式輸送機。投入裝置11之搬送部Cv1例如可在投入裝置11與該投入裝置11的外部之間搬送工件W0。攝像裝置12之搬送部Cv2例如可在攝像裝置12與該攝像裝置12的外部之間搬送工件W0。翻轉裝置13之搬送部Cv3例如可在翻轉裝置13與該翻轉裝置13的外部之間搬送工件W0。排出裝置14之搬送部Cv4例如既可在排出裝置14與該排出裝置14的外部之間搬送工件W0，亦可將工件W0搬送至排出裝置14內之既定位置。
例如，投入裝置11於筒狀部11tb中之與攝像裝置12相反側之-X方向的端部具有可進行開閉之部分(亦稱為開閉部)11oc。開閉部11oc例如具有可進行開閉之門或閘門等。例如，可經由開閉部11oc將工件W0投入投入裝置11。例如，可存在有作業員Op0將工件W0投入投入裝置11之態樣。於該情形時，例如可存在有作業員Op0配合被描繪或投影至作為搬送部Cv1之帶式輸送機之帶體上之標記而將工件W0載置於帶式輸送機之帶體上的態樣。投入裝置11例如亦可為工件W0已被投入至投入裝置11之情形藉由偵測會被載置於帶體上之工件W0之感測器所偵測。又，例如亦可為藉由被設於檢查系統1之外部的機器人等將工件W0載置於帶式輸送機的帶體上，來將工件W0投入投入裝置11。此處，例如搬送部Cv1可將被載置於作為搬送部Cv1之帶式輸送機之帶體上的工件W0交接至位於投入裝置11之+X方向之外部之第一攝像裝置121的搬送部Cv2(亦稱為搬送部Cv21)。
＜1-1-2. 攝像裝置之構成＞ 攝像裝置12例如可進行以工件W0作為攝像之對象物(亦稱為攝像對象物)之作為檢查用之處理的攝像。
此處，第一攝像裝置121例如可以自投入裝置11之搬送部Cv1被交接至第一攝像裝置121之搬送部Cv21的工件W0作為對象，來進行作為檢查用之處理的攝像。已由第一攝像裝置121所攝像之工件W0，例如可藉由搬送部Cv21自第一攝像裝置121被交接至位於該第一攝像裝置121之+X方向之外部之第二攝像裝置122的搬送部Cv2(亦稱為搬送部Cv22)。第二攝像裝置122例如可以自第一攝像裝置121之搬送部Cv21被交接至第二攝像裝置122之搬送部Cv22的工件W0作為對象，來進行作為檢查用之處理的攝像。已由第二攝像裝置122所攝像之工件W0，例如可藉由搬送部Cv22自第二攝像裝置122被交接至位於該第二攝像裝置122之+X方向之外部之翻轉裝置13的搬送部Cv3。第三攝像裝置123例如可以自翻轉裝置13之搬送部Cv3被交接至第三攝像裝置123之搬送部Cv2(亦稱為搬送部Cv23)的工件W0作為對象，來進行作為檢查用之處理的攝像。已由第三攝像裝置123所攝像之工件W0，例如可藉由搬送部Cv23自第三攝像裝置123被交接至位於該第三攝像裝置123之+X方向之外部之第四攝像裝置124的搬送部Cv2(亦稱為搬送部Cv24)。第四攝像裝置124例如可以自第三攝像裝置123之搬送部Cv23被交接至第四攝像裝置124之搬送部Cv24的工件W0作為對象，來進行作為檢查用之處理的攝像。已由第四攝像裝置124所攝像之工件W0，例如可藉由搬送部Cv24自第四攝像裝置124被交接至位於該第四攝像裝置124之+X方向之外部之排出裝置14的搬送部Cv4。
圖2(a)係表示第一實施形態之攝像裝置12之主要物理性構成之一例的圖。圖2(b)係表示第一實施形態之攝像單元12s之物理性構成之一例的圖。此處，第一攝像裝置121、第二攝像裝置122、第三攝像裝置123及第四攝像裝置124分別具有相同的構成。
如圖2(a)所示，攝像裝置12例如具有搬送部Cv2、攝像單元12s、及移動機構12t。
搬送部Cv2例如具有作為用以載置作為攝像對象物之工件W0之部分(亦稱為載置部)Sg2的功能。
攝像單元12s例如可進行以作為攝像對象物之工件W0作為對象的攝像。在第一實施形態中，攝像裝置12具有兩個攝像單元12s。具體而言，如圖2(a)所示般，攝像裝置12作為兩個攝像單元12s而具有第一攝像單元12s1、及第二攝像單元12s2。如圖2(b)所示，攝像單元12s例如具有攝像部I1及照明部F1。更具體而言，第一攝像單元12s1包含有第一攝像部I11及第一照明部F11。第二攝像單元12s2包含有第二攝像部I12及第二照明部F12。
第一攝像部I11及第二攝像部I12之各者例如具有電荷耦合元件(Charge Coupled Device：CCD)等攝像元件、及作為用以使工件W0之光像成像於該攝像元件之光學系統的透鏡部Lz1。第一照明部F11及第二照明部F12之各者，例如可應用複數個發光二極體(Light Emitting Diode：LED)被二維地排列之面狀的照明等。於該情形時，例如可藉由第一照明部F11及第二照明部F12之各者而遍及廣範圍地對工件W0進行照明。在圖2(b)之例子中，透鏡部Lz1係以被插通於照明部F1之孔部H1的狀態配置。若自不同觀點而言，透鏡Lz1之光軸Pi1被設定為會通過孔部H1。具體而言，第一攝像部I11之第一透鏡部Lz11係以被插通於第一照明部F11之第一孔部H11的狀態配置。若自不同觀點而言，第一透鏡Lz11之光軸(亦稱為第一光軸)Pi11被設定為會通過第一孔部H11。又，第二攝像部I12之第二透鏡部Lz12係以被插通於第二照明部F12之第二孔部H12的狀態配置。若自不同觀點而言，第二透鏡Lz12之光軸(亦稱為第二光軸)Pi12被設定為會通過第二孔部H12。藉此，例如第一攝像部I11可以藉由第一照明部F11所照明之工件W0的至少一部分作為被攝像體來進行攝像。又，例如第二攝像部I12可以藉由第二照明部F12所照明之工件W0的至少一部分作為被攝像體來進行攝像。
移動機構12t例如可使攝像單元12s相對於被載置在載置部Sg2之工件W0相對地移動。若自不同觀點而言，移動機構12t例如可使攝像單元12s相對於用以載置工件W0之載置部Sg2相對地移動。在第一實施形態中，攝像裝置12具有兩個移動機構12t。具體而言，如圖2(a)所示般，攝像裝置12作為兩個移動機構12t而具有第一移動機構12t1、及第二移動機構12t2。第一移動機構12t1例如可使第一攝像單元12s1相對於被載置在載置部Sg2之工件W0相對地移動。若自不同觀點而言，第一移動機構12t1例如可使第一攝像單元12s1相對於用以載置工件W0之載置部Sg2相對地移動。第二移動機構12t2例如可使第二攝像單元12s2相對於被載置在載置部Sg2之工件W0相對地移動。若自不同觀點而言，第二移動機構12t2例如可使第二攝像單元12s2相對於用以載置工件W0之載置部Sg2相對地移動。
若採用如此之構成，例如對於工件W0，可一邊使第一攝像單元12s1與第二攝像單元12s2個別地移動，一邊利用第一攝像部I11及第二攝像部I12對由第一照明部F11及第二照明部F12之各者所照明之工件W0進行攝像。例如，第一攝像部I11可對於由第一照明部F11所照明之工件W0、由第二照明部F12所照明之工件W0、以及由第一照明部F11及第二照明部F12雙方所照明之工件W0之各者進行攝像。又，例如第二攝像部I12亦可對於由第一照明部F11所照明之工件W0、由第二照明部F12所照明之工件W0、以及由第一照明部F11及第二照明部F12雙方所照明之工件W0之各者進行攝像。藉此，例如可利用複數個照明條件對工件W0之各部分進行攝像。因此，例如可容易地對已充分地拍到具有各種形狀之工件W0的影像。
移動機構12t例如可應用機器手臂等。機器手臂例如可應用可以多個軸作為基準進行驅動之機器手臂(亦稱為多軸機器手臂)。此處，例如第一移動機構12t1及第二移動機構12t2中之至少一移動機構亦可為多軸機器手臂。如此，例如若移動機構12t應用多軸機器手臂，便可利用複數個照明條件自任意角度對工件W0之各部分進行攝像。
多軸機器手臂例如可應用具有可利用基準部Pt0、第一可動部Pt1、第二可動部Pt2、第三可動部Pt3、第四可動部Pt4、第五可動部Pt5、及第六可動部Pt6之六軸進行轉動的機器手臂(亦稱為六軸機器手臂)。於該情形時，基準部Pt0例如被固定於攝像裝置12之基座部Bs12等。於該基座部Bs12例如亦可固定有搬送部Cv2之帶式輸送機。基準部Pt0例如具有以沿著+Z方向之第一軸Pl1作為中心而可轉動地保持第一可動部Pt1之轉動部Pr1。第一可動部Pt1例如具有以沿著水平方向之第二軸Pl2作為中心而可轉動地保持第二可動部Pt2之第二轉動部Pr2。第二可動部Pt2例如具有以沿著水平方向之第三軸Pl3作為中心而可轉動地保持第三可動部Pt3之第三轉動部Pr3。第三可動部Pt3例如具有以垂直於第三軸Pl3之第四軸Pl4作為中心而可轉動地保持第四可動部Pt4之第四轉動部Pr4。第四可動部Pt4例如具有以垂直於第四軸Pl4之第五軸Pl5作為中心而可轉動地保持第五可動部Pt5之第五轉動部Pr5。第五可動部Pt5例如具有以垂直於第五軸Pl5之第六軸Pl6作為中心而可轉動地保持第六可動部Pt6之第六轉動部Pr6。而且，攝像單元12s以被固定之狀態位在第六可動部Pt6。
又，在第一實施形態中，第一移動機構12t1與第二移動機構12t2以夾著作為載置部Sg2之搬送部Cv2的方式配置。藉此，例如對於工件W0之表面更廣的區域，可利用複數個照明條件容易地對工件W0之各部分進行攝像。此處，例如可存在第一移動機構12t1與第二移動機構12t2以夾著載置部Sg2而對向之方式配置的態樣。若採用如此之態樣，例如可容易地實現如下之照明條件：於俯視的情形時自隔著工件W0位於與第一攝像部I11相反側之第二照明部F12所發出之光中在工件W0上被反射之光，會被入射至第一攝像部I11。
此處，例如亦可為第一攝像單元12s1及第二攝像單元12s2可藉由第一移動機構12t1所進行之第一攝像單元12s1的移動與第二移動機構12t2所進行之第二攝像單元12s2的移動，而遍及全周地對被載置於載置部Sg2上之工件W0進行攝像。於該情形時，例如對於工件W0之表面更廣的區域，可利用複數個照明條件容易地對工件W0之各部分進行攝像。此處，可遍及全周地對工件W0進行攝像之態樣，例如包含如下之態樣：可對被載置在載置部Sg2上之工件W0，自以沿著通過該工件W0之鉛直方向(Z方向)的假想軸作為中心之圓周方向上360度的任何角度進行攝像。又，可遍及全周地對工件W0進行攝像之態樣，例如亦可對被載置在載置部Sg2上之工件W0，自除了載置部Sg2側以外之周圍上的任何角度進行攝像。
＜1-1-3. 翻轉裝置之構成＞ 翻轉裝置13例如可使工件W0翻轉。對於工件W0之翻轉，例如包含有工件W0之上下的翻轉。此處，翻轉裝置13例如可使自第二攝像裝置122之搬送部Cv22被交接至搬送部Cv3之工件W0翻轉。翻轉裝置13例如具有為了使工件W0翻轉而可保持工件W0之保持部13h(參照圖6)、及可藉由在使保持部13h保持工件W0之狀態下使保持部13h移動而使工件W0翻轉之移動機構13t(參照圖6)。保持部13h例如可應用具有可夾持工件W0之兩根以上之指部的機械手等。翻轉裝置13之移動機構13t例如可與攝像裝置12之移動機構12t同樣地應用機器手臂等。此處，翻轉裝置13例如只要相對於一個保持部13h具有一個移動機構13t即可。更具體而言，翻轉模組13例如在有一個保持部13h存在之情形時，只要具有一個移動機構13t即可，而在有兩個以上之保持部13h存在之情形時，只要具有兩個以上的移動機構13t即可。
＜1-1-4. 排出裝置之構成＞ 排出裝置14例如為用以自檢查系統1之內部將工件W0排出至檢查系統1之外部的裝置。該排出裝置14例如位於檢查系統1所含有之包含有一個或兩個以上之攝像裝置12之兩個以上的模組中之工件W0的搬送路徑Rt1上的最後的部分。排出裝置14例如於筒狀部14tb中之與攝像裝置12相反側之+X方向的端部具有可進行開閉的部分(開閉部)14oc。開閉部14oc例如具有可進行開閉之門或閘門等。工件W0例如經由開閉部14oc被排出至排出裝置14之外部。例如，可存在有作業員Op0將工件W0排出至排出裝置14之外部的態樣。又，例如亦可為被設於檢查系統1之外部的機器人等，自排出裝置14之內部將工件W0排出至外部。
＜1-2. 檢查系統之功能性構成＞ 圖3至圖7係表示第一實施形態之檢查系統1之功能性構成之一例的方塊圖。圖3係示意性地表示檢查系統1之整體之功能性構成之一例的方塊圖。圖4係表示檢查系統1整體之功能性構成中之投入裝置11之功能性構成之一例的方塊圖。圖5係表示檢查系統1整體之功能性構成中之攝像裝置12之功能性構成之一例的方塊圖。圖6係表示檢查系統1整體之功能性構成中之翻轉裝置13之功能性構成之一例的方塊圖。圖7係表示檢查系統1整體之功能性構成中之排出裝置14之功能性構成之一例的方塊圖。
＜1-2-1. 投入裝置之功能性構成＞ 如圖4所示，投入裝置11例如具有整合控制部C0、輸入部11i、搬送控制部Cc1、及連接部11h，而該等係經由配線Wr1被電性連接。又，投入裝置11例如具有被連接於整合控制部C0之輸出部11d、及被連接於搬送控制部Cc1之搬送部Cv1。
整合控制部C0例如可整合地控制檢查系統1之動作。整合控制部C0例如具有運算部、記憶體及儲存部等。運算部例如由一個以上的中央運算單元(Central Processing Unit：CPU)等所構成。記憶體例如由RAM(Random Access Memory；隨機存取記憶體)等之揮發性之儲存媒體所構成。儲存部例如由硬碟驅動器(Hard Disk Drive：HDD)或固態硬碟(Solid State Drive：SSD)等之非揮發性之儲存媒體所構成。儲存部例如可儲存程式及各種資訊等。運算部例如藉由讀入並執行被儲存在儲存部之程式，而可實現各種功能。此時，RAM例如作為工作空間而被使用，儲存被暫時地生成或取得之資訊等。可由整合控制部C0所實現之功能性構成之至少一部分，例如亦可由專用之電子電路等之硬體所實現。
輸入部11i例如可回應作業員Op0之動作而輸入各種資訊。輸入部11i例如可應用按鈕或觸控面板等之操作部或可進行聲音輸入之麥克風部等。作業員Op0之動作例如包含有操作及發聲等之動作。
輸出部11d例如可根據來自整合控制部C0之資訊，而以作業員Op0可辨識之態樣來輸出資訊。輸出部11d例如可應用可視覺辨識地輸出資訊之顯示部或燈、及可聽覺辨識地輸出資訊之揚聲器等。
搬送控制部Cc1例如可控制搬送部Cv1之動作。搬送控制部Cc1例如具有與包含有運算部、記憶體及儲存部之電腦相同的構成。搬送控制部Cc1例如可藉由利用運算部執行儲存部內之程式，來實現搬送控制部Cc1之功能。搬送控制部Cc1例如可藉由控制使帶式輸送機中之至少一個滑輪旋轉之馬達等之驅動部的動作，來控制搬送部Cv1之動作。由搬送控制部Cc1所實現之功能性構成之至少一部分，例如亦可由專用之電子電路等之硬體所實現。
連接部11h例如為與構成檢查系統1之複數個裝置中之投入裝置11以外的裝置電性地連接之部分。連接部11h例如既可為複數個裝置之配線Wr2分別地被電性連接之集線方式者，亦可為複數個裝置之配線Wr2被電性地串聯連接之方式者。
＜1-2-2. 攝像裝置之功能性構成＞ 第一攝像裝置121、第二攝像裝置122、第三攝像裝置123及第四攝像裝置124分別具有同一之功能性構成。
如圖5(a)所示，攝像裝置12例如具有搬送控制部Cc2、攝像控制部Cs2、及移動控制部Ct2，該等經由配線Wr2相互地被電性連接。又，攝像裝置12例如具有被連接於搬送控制部Cc2之搬送部Cv2、被連接於攝像控制部Cs2之攝像單元12s、及被連接於移動控制部Ct2之移動機構12t。
在圖5(a)之例子中，攝像裝置12具有兩個攝像控制部Cs2、及兩個移動控制部Ct2。兩個攝像控制部Cs2例如包含有第一個攝像控制部Cs2(亦稱為第一攝像控制部Cs21)、及第二個攝像控制部Cs2(亦稱為第二攝像控制部Cs22)。兩個移動控制部Ct2例如包含有第一個移動控制部Ct2(亦稱為第一移動控制部Ct21)及第二個移動控制部Ct2(亦稱為第二移動控制部Ct22)。而且，攝像裝置12具有包含有第一攝像單元12s1與第二攝像單元12s2之兩個攝像單元12s，並具有包含有第一移動機構12t1與第二移動機構12t2之兩個移動機構12t。此處，例如於第一攝像控制部Cs21連接有第一攝像單元12s1，而於第二攝像控制部Cs22連接有第二攝像單元12s2。又，例如於第一移動控制部Ct21連接有第一移動機構12t1，而於第二移動控制部Ct22連接有第二移動機構12t2。此處，如圖5(b)所示般，第一攝像單元12s1包含有第一攝像部I11與第一照明部F11，而如圖5(c)所示般，第二攝像單元12s2包含有第二攝像部I12與第二照明部F12。
搬送控制部Cc2、攝像控制部Cs2及移動控制部Ct2之各者例如具有與包含運算部、記憶體及儲存部之電腦相同的構成。
搬送控制部Cc2例如可藉由利用運算部執行儲存部內之程式，來實現搬送控制部Cc2之功能。搬送控制部Cc2例如可藉由控制使帶式輸送機中之至少一個滑輪旋轉之馬達等驅動部的動作，來控制搬送部Cv2之動作。由搬送控制部Cc2所實現之功能性構成之至少一部分，例如亦可由專用之電子電路等之硬體所構成。
攝像控制部Cs2例如可藉由利用運算部執行儲存部內之程式，來實現攝像控制部Cs2之功能。攝像控制部Cs2例如可控制攝像單元12s之動作，並且可取得藉由攝像單元12s所進行之工件W0的攝像而可得到之資訊(亦稱為攝像資訊)。例如，第一攝像控制部Cs21可控制第一攝像單元12s1之動作，並且可取得藉由第一攝像單元12s1所進行之工件W0的攝像而可得到之攝像資訊。具體而言，第一攝像控制部Cs21例如可控制第一照明部F11之發光及第一攝像部I11之攝像的各時間點。又，例如第二攝像控制部Cs22可控制第二攝像單元12s2之動作，並且可取得藉由第二攝像單元12s2所進行之工件W0的攝像而可得到之攝像資訊。具體而言，例如第二攝像控制部Cs22可控制第二照明部F12之發光及第二攝像部I12之攝像的各時間點。此處，例如藉由來自整合控制部C0對於第一攝像控制部Cs21及第二攝像控制部Cs22之控制信號，第一攝像單元12s1與第二攝像單元12s2可同步地動作。例如，亦可為藉由第一攝像控制部Cs21與第二攝像控制部Cs22之間之信號的收發，第一攝像單元12s1與第二攝像單元12s2同步地動作。
攝像控制部Cs2例如可將工件W0之攝像資訊直接或者在施以各種資訊處理後，經由配線Wr2及配線Wr1等輸出至整合控制部C0。藉此，可取得作為以工件W0作為對象之攝像之結果的攝像資訊。此處，例如既可為整合控制部C0使輸出部11d顯示基於攝像資訊之影像，並藉由作業員Op0目視該影像來檢查工件W0之外觀，亦可為整合控制部C0藉由對攝像資訊之影像與工件W0之至少一部分之標準的影像進行比較，來進行檢查工件W0之外觀的運算。此處，例如亦可為攝像控制部Cs2進行檢查工件W0之外觀的運算，而將表示該運算結果之資訊輸送至整合控制部C0。由攝像控制部Cs2所實現之功能性構成之至少一部分，例如亦可由專用之電子電路等之硬體所構成。
移動控制部Ct2例如可藉由利用運算部執行儲存部內之程式，來實現移動控制部Ct2之功能。移動控制部Ct2例如可控制移動機構12t之動作。例如，第一移動控制部Ct21可控制第一移動機構12t1之動作。又，例如第二移動控制部Ct22可控制第二移動機構12t2之動作。此處，例如第一移動控制部Ct21可以如下之方式進行控制：藉由使第一攝像單元12s1相對於被載置在載置部Sg2上之工件W0之相對位置移動，而利用第一攝像單元12s1對於工件W0之複數個部位進行攝像。又，例如第二移動控制部Ct22可以如下之方式進行控制：藉由使第二攝像單元12s2相對於被載置在載置部Sg2上之工件W0之相對位置移動，而利用第二攝像單元12s2對於工件W0之複數個部位進行攝像。由移動控制部Ct2所實現之功能性構成之至少一部分，例如亦可由專用之電子電路等之硬體所構成。
＜1-2-3. 翻轉裝置之功能性構成＞ 如圖6所示，翻轉裝置13例如具有搬送控制部Cc3、及翻轉控制部Cr3，而該等經由配線Wr2被相互地電性連接。又，翻轉裝置13例如具有被連接於搬送控制部Cc3之搬送部Cv3、以及被連接於翻轉控制部Cr3之保持部13h及移動機構13t。在圖6之例子中，翻轉裝置13具有一個翻轉控制部Cr3。此處，例如亦可為翻轉裝置13具有兩個保持部13h及兩個移動機構13t、以及兩個翻轉控制部Cr3。
搬送控制部Cc3及翻轉控制部Cr3之各者，例如具有與包含有運算部、記憶體及儲存部之電腦相同的構成。
搬送控制部Cc3例如可藉由利用運算部執行儲存部內之程式，來實現搬送控制部Cc3之功能。搬送控制部Cc3例如可藉由控制使帶式輸送機之至少一個滑輪旋轉之馬達等之驅動部的動作，來控制搬送部Cv3的動作。由搬送控制部Cc3所實現之功能性構成之至少一部分，例如亦可由專用之電子電路等之硬體所構成。
翻轉控制部Cr3例如可藉由利用運算部執行儲存部內之程式，來實現翻轉控制部Cr3之功能。翻轉控制部Cr3例如可控制保持部13h及移動機構13t之動作。具體而言，例如翻轉控制部Cr3使保持部13h以夾持等來保持工件W0等，並藉由移動機構13t使保持有工件W0之狀態的保持部13h移動，藉此可使工件W0上下翻轉。藉此，例如可在第一攝像裝置121及第二攝像裝置122進行以工件W0之正面作為對象之攝像，並於第三攝像裝置123及第四攝像裝置124進行以工件W0之背面作為對象之攝像。
＜1-2-4. 排出裝置之功能性構成＞ 如圖7所示，排出裝置14例如具有被電性地連接於配線Wr2之搬送控制部Cc4、及被連接於該搬送控制部Cc4之搬送部Cv4。搬送控制部Cc4例如具有與包含有運算部、記憶體及儲存部之電腦相同的構成。搬送控制部Cc4例如可藉由利用運算部執行儲存部內之程式，來實現搬送控制部Cc4之功能。搬送控制部Cc4例如可藉由控制使帶式輸送機之至少一個滑輪旋轉之馬達等之驅動部的動作，來控制搬送部Cv4的動作。由搬送控制部Cc4所實現之功能性構成之至少一部分，例如亦可由專用之電子電路等之硬體所構成。
＜1-3. 攝像裝置之動作＞ 圖8係表示攝像裝置12之動作之一例的時序圖。在圖8中，橫軸表示時刻，而顯示有第一攝像單元12s1及第二攝像單元12s2之各者之動作的時間點。此處，列舉如下的例子進行說明：以工件W0中表示X方向上之位置的座標值為X1、X2、X3、…的部分可以上述記載之順序在攝像影像之大致中央被拍到的方式，第一攝像單元12s1及第二攝像單元12s2之各者之表示在X方向上之位置的座標值會藉由第一移動機構12t1及第二移動機構12t2而被變更為X1、X2、X3、…的順序。此處，對時刻自時刻t0至時刻t9之順序經過的期間進行說明。
首先，於時刻t0至時刻t1之期間中，在第一攝像單元12s1之表示X方向上之位置的座標值為X1之狀態下，第一攝像單元12s1一邊藉由第一照明部F11對工件W0進行照明，一邊進行利用第一攝像部I11所進行之工件W0的攝像(亦稱為攝像1a)。
其次，於時刻t1至時刻t2之期間中，在第一攝像單元12s1及第二攝像單元12s2之各者之表示X方向上之位置的座標值為X1之狀態下，一邊藉由第一照明部F11及第二照明部F12雙方對工件W0進行照明，一邊第一攝像單元12s1進行利用第一攝像部I11所進行之工件W0的攝像(亦稱為攝像1b)，並且第二攝像單元12s2進行利用第二攝像部I12所進行之工件W0的攝像(亦稱為攝像1c)。又，於時刻t1至時刻t2之期間中，在第一攝像單元12s1及第二攝像單元12s2之各者之表示X方向上之位置的座標值為X1之狀態下，一邊藉由第二照明部F12對工件W0進行照明，一邊進行利用第一攝像部I11所進行之工件W0的攝像(亦稱為攝像1d)，並且一邊藉由第一照明部F11對工件W0進行照明，一邊進行利用第二攝像部I12所進行之工件W0的攝像(亦稱為攝像1e)。
其次，於時刻t2至時刻t4之期間中，第一攝像單元12s1藉由第一移動機構12t1以表示X方向上之位置的座標值會自X1被變更為X2之方式沿著X方向移動。
此時，於時刻t2至時刻t3之期間中，在第二攝像單元12s2之表示X方向上之位置的座標值為X1之狀態下，第二攝像單元12s2一邊藉由第二照明部F12對工件W0進行照明，一邊進行利用第二攝像部I12所進行之工件W0的攝像(亦稱為攝像1f)。
然後，於時刻t3至時刻t5之期間中，第二攝像單元12s2藉由第二移動機構12t2以表示X方向上之位置的座標值會自X1被變更為X2之方式沿著X方向移動。
此時，於時刻t4至時刻t5之期間中，在第一攝像單元12s1之表示X方向上之位置的座標值為X2之狀態下，第一攝像單元12s1一邊藉由第一照明部F11對工件W0進行照明，一邊進行利用第一攝像部I11所進行之工件W0的攝像(亦稱為攝像2a)。
其次，於時刻t5至時刻t6之期間中，在第一攝像單元12s1及第二攝像單元12s2之各者之表示X方向上之位置的座標值為X2之狀態下，一邊藉由第一照明部F11及第二照明部F12雙方對工件W0進行照明，一邊第一攝像單元12s1進行利用第一攝像部I11所進行之工件W0的攝像(亦稱為攝像2b)，並且第二攝像單元12s2進行利用第二攝像部I12所進行之工件W0的攝像(亦稱為攝像2c)。又，於時刻t5至時刻t6之期間中，在第一攝像單元12s1及第二攝像單元12s2之各者之表示X方向上之位置的座標值為X2之狀態下，一邊藉由第二照明部F12對工件W0進行照明，一邊進行利用第一攝像部I11所進行之工件W0的攝像(亦稱為攝像2d)，並且一邊藉由第一照明部F11對工件W0進行照明，一邊進行利用第二攝像部I12所進行之工件W0的攝像(亦稱為攝像2e)。
其次，於時刻t6至時刻t8之期間中，第一攝像單元12s1藉由第一移動機構12t1，以表示X方向上之位置的座標值會自X2被變更為X3之方式沿著X方向移動。
此時，於時刻t6至時刻t7之期間中，在第二攝像單元12s2之表示X方向上之位置的座標值為X2之狀態下，第二攝像單元12s2一邊藉由第二照明部F12對工件W0進行照明，一邊進行利用第二攝像部I12所進行之工件W0的攝像(亦稱為攝像2f)。
然後，於時刻t7至時刻t9之期間中，第二攝像單元12s2藉由第二移動機構12t2，以表示X方向上之位置的座標值會自X2被變更為X3之方式沿著X方向移動。
此時，於時刻t8至時刻t9之期間中，在第一攝像單元12s1之表示X方向上之位置的座標值為X3之狀態下，第一攝像單元12s1一邊藉由第一照明部F11對工件W0進行照明，一邊進行利用第一攝像部I11所進行之工件W0的攝像(亦稱為攝像3a)。
此處，例如整合控制部C0以第一攝像單元12s1與第二攝像單元12s2會交互地移動之方式，控制第一移動機構12t1及第二移動機構12t2之動作。具體而言，例如以如下之方式進行控制：使第一攝像單元12s1及第二攝像單元12s2中已完成攝像及照明之第一攝像單元12s1先移動，並在完成第二攝像單元12s2之攝像及照明之時間點使第二攝像單元12s2移動。根據如此之控制，例如可相較於在使用第一攝像單元12s1及第二攝像單元12s2之攝像及照明全部完成後才使第一攝像單元12s1及第二攝像單元12s2雙方同時地移動的控制，縮短對於工件W0之複數個部位在複數個照明條件下之攝像所需要之時間。因此，例如可使每單位時間能使攝像完成之工件W0的數量增加。
＜1-4. 第一實施形態之總結＞ 如以上所述般，根據第一實施形態之攝像裝置12，例如對於工件W0，可一邊使第一攝像單元12s1與第二攝像單元12s2個別地移動，一邊利用第一攝像部I11及第二攝像部I12對由第一照明部F11及第二照明部F12之各者所照明之工件W0進行攝像。藉此，例如可以複數個照明條件對工件W0之各部分進行攝像。因此，例如可容易地對已充分地拍到具有各種形狀之工件W0之影像進行攝像。
＜2. 其他實施形態＞ 本發明並非被限定於上述之第一實施形態者，在不脫離本發明主旨之範圍內，可進行各種變更、改良等。
＜2-1. 第二實施形態＞ 於上述第一實施形態中，例如第一攝像單元12s1既可包含有兩個以上的第一攝像部I11，亦可包含有兩個以上的第一照明部F11。又，例如第二攝像單元12s2既可包含有兩個以上的第二攝像部I12，亦可包含有兩個以上的第二照明部F12。亦即，例如第一攝像單元12s1亦可包含有一個以上的第一攝像部I11及一個以上的第一照明部F11，而第二攝像單元12s2亦可包含有一個以上的第二攝像部I12及一個以上的第二照明部F12。
＜2-1-1. 攝像單元之構成＞ 圖9係示意性地表示第二實施形態之第一攝像單元12s1之物理性構成之一例的圖。
例如，如圖9所示，第一攝像單元12s1亦可具有：包含有第一A攝像部I11a、第一B攝像部I11b、及第一C攝像部I11c之一個以上的第一攝像部I11；以及包含有第一A照明部F11a、第一B照明部F11b、及第一C照明部F11c之一個以上的第一照明部F11。此處，例如可在第一A照明部F11a自上方對被載置在載置部Sg2上之工件W0進行照明的狀態下，第一A攝像部I11a自上方對被載置在載置部Sg2上之工件W0進行攝像。又，例如可在第一B照明部F11b自斜上方對被載置在載置部Sg2上之工件W0進行照明的狀態下，第一B攝像部I11b自斜上方對被載置在載置部Sg2上之工件W0進行攝像。又，例如可在第一C照明部F11c朝向水平方向對被載置在載置部Sg2上之工件W0進行照明的狀態下，第一C攝像部I11c朝向水平方向對被載置在載置部Sg2上之工件W0進行攝像。於該情形時，例如，可不使第一攝像單元12s1移動，而以較少之動作在複數個照明條件下進行工件W0之攝像。因此，例如可更容易地對已充分地拍到具有各種形狀之工件W0之影像進行攝像。
在圖9之例子中，第一A攝像部I11a中作為光學系統之第一A透鏡部Lz11a之光軸(亦稱為第一A光軸)Pi11a與通過工件W0之假想之水平面Pn0所成的角度(亦稱為第一A俯角)θ1a，被設為90度。因此，第一A攝像部I11a係作為可自上方對工件W0進行攝像之照相機(亦稱為上方照相機)而發揮功能。又，第一B攝像部I11b中作為光學系統之第一B透鏡部Lz11b之光軸(亦稱為第一B光軸)Pi11b與通過工件W0之假想之水平面Pn0所成的角度(亦稱為第一B俯角)θ1b，被設為45度。因此，第一B攝像部I11b係作為可自斜上方對工件W0進行攝像之照相機(亦稱為傾斜照相機)而發揮功能。又，第一C攝像部I11c中作為光學系統之第一C透鏡部Lz11c之光軸(亦稱為第一C光軸)Pi11c與通過工件W0之假想之水平面Pn0所成的角度(亦稱為第一C俯角)θ1c，被設為5度。因此，第一C攝像部I11c係作為可沿著水平方向對工件W0進行攝像之照相機(亦稱為水平照相機)而發揮功能。此處，例如可存在如下之形態：在工件W0之大致中央，第一A光軸Pi11a、第一B光軸Pi11b、及第一C光軸Pi11c交叉。
又，在圖9之例子中，第一A光軸Pi11a、第一B光軸Pi11b、及第一C光軸Pi11c係沿著沿YZ平面之假想平面配置。而且，第一A攝像部I11a之第一A透鏡部Lz11a係以被插通於第一A照明部F11a中之作為第一孔部H11之第一A孔部H11a的狀態配置。若自不同觀點而言，第一A透鏡Lz11a之第一A光軸Pi11a被設定為會通過第一A孔部H11a。第一B攝像部I11b之第一B透鏡部Lz11b係以被插通於第一B照明部F11b中之作為第一孔部H11之第一B孔部H11b的狀態配置。若自不同觀點而言，第一B透鏡Lz11b之第一B光軸Pi11b被設定為會通過第一B孔部H11b。第一C攝像部I11c之第一C透鏡部Lz11c係以被插通於第一C照明部F11c中之作為第一孔部H11之第一C孔部H11c的狀態配置。若自不同觀點而言，第一C透鏡Lz11c之第一C光軸Pi11c被設定為會通過第一C孔部H11c。
又，在圖9中，當藉由第一A攝像部I11a對工件W0進行攝像時第一A攝像部I11a所朝向之方向(亦稱為第一A攝像方向)以沿著第一A光軸Pi11a之兩點鏈線的箭頭Dc1a描繪。由第一B攝像部I11b對工件W0進行攝像時第一B攝像部I11b所朝向之方向(亦稱為第一B攝像方向)，係以沿著第一B光軸Pi11b之兩點鏈線的箭頭Dc1b所描繪。 當藉由第一C攝像部I11c對工件W0進行攝像時第一C攝像部I11c所朝向之方向(亦稱為第一C攝像方向)以沿著第一C光軸Pi11c之兩點鏈線的箭頭Dc1c描繪。此外，在圖9中，第一A照明部F11a可朝向被載置在載置部Sg2上之工件W0照射光之方向(亦稱為第一A照明方向)，係以一點鏈線的箭頭Df1a所描繪。第一B照明部F11b可朝向被載置在載置部Sg2上之工件W0照射光之方向(亦稱為第一B照明方向)，係以一點鏈線的箭頭Df1b所描繪。第一C照明部F11c可朝向被載置在載置部Sg2上之工件W0照射光之方向(亦稱為第一C照明方向)，係以一點鏈線的箭頭Df1c所描繪。此處，第一A照明部F11a係作為自上方對工件W0照射光之照明部(亦稱為上部照明部)而發揮功能。第一B照明部F11b係作為自斜上方對工件W0照射光之照明部(亦稱為傾斜照明部)而發揮功能。第一C照明部F11c係作為沿著水平方向對工件W0照射光之照明部(亦稱為水平照明部)而發揮功能。
圖10(a)係示意性地表示第一A照明部F11a之一例的圖。圖10(b)係示意性地表示第一B照明部F11b之一例的圖。圖10(c)係示意性地表示第一C照明部F11c之一例的圖。圖11係表示第二實施形態之第一攝像單元12s1之外觀之一例的側視圖。圖12係表示第二實施形態之第一攝像單元12s1之外觀之一例的俯視圖。圖13係表示第二實施形態之第一攝像單元12s1之外觀之一例的前視圖。圖14係表示第二實施形態之第一攝像單元12s1之功能性構成之一例的方塊圖。
此處，例如如圖10(a)及圖14所示般，第一A照明部F11a作為能朝向工件W0照射光之一個區域，可採用包含有上部發光區域F11a1的構成。例如，如圖10(b)及圖14所示般，第一B照明部F11b作為能朝向工件W0照射光之五個區域，可採用包含有第一傾斜發光區域F11b1、第二傾斜發光區域F11b2、第三傾斜發光區域F11b3、第四傾斜發光區域F11b4及第五傾斜發光區域F11b5的構成。例如，如圖10(c)及圖14所示般，第一C照明部F11c作為能朝向工件W0照射光之三個區域，可採用包含有第一水平發光區域F11c1、第二水平發光區域F11c2及第三水平發光區域F11c3的構成。
在圖10(a)至圖13之例子中，例如，上部發光區域F11a1具有第一A孔部H11a，第三傾斜發光區域F11b3具有第一B孔部H11b，而第二水平發光區域F11c2具有第一C孔部H11c。此處，例如在自正上方朝-Z方向俯視而透視第一B照明部F11b之情形時，第一傾斜發光區域F11b1、第二傾斜發光區域F11b2、第三傾斜發光區域F11b3、第四傾斜發光區域F11b4及第五傾斜發光區域F11b5具有會以上述記載之順序而以第一A攝像部I11a之第一A光軸Pi11a為中心各旋轉45度之位置關係。換言之，例如若以第三傾斜發光區域F11b3作為基準，第二傾斜發光區域F11b2便在以第一A光軸Pi11a為中心而自第三傾斜發光區域F11b3順時針地旋轉45度的狀態下配置，第一傾斜發光區域F11b1便在以第一A光軸Pi11a為中心而自第三傾斜發光區域F11b3順時針地旋轉90度的狀態下配置，第四傾斜發光區域F11b4便在以第一A光軸Pi11a為中心而自第三傾斜發光區域F11b3逆時針地旋轉45度的狀態下配置，而第五傾斜發光區域F11b5便在以第一A光軸Pi11a為中心而自第三傾斜發光區域F11b3逆時針地旋轉90度的狀態下配置。又，例如在自正上方朝-Z方向俯視而透視第一C照明部F11c之情形時，第一水平發光區域F11c1、第二水平發光區域F11c2及第三水平發光區域F11c3具有會以上述記載之順序而以第一A攝像部I11a之第一A光軸Pi11a為中心各旋轉45度之位置關係。換言之，例如，若以第二水平發光區域F11c2作為基準，第一水平發光區域F11c1便在以第一A光軸Pi11a為中心而自第二水平發光區域F11c2順時針地旋轉45度的狀態下配置，而第三水平發光區域F11c3便在以第一A光軸Pi11a為中心而自第二水平發光區域F11c2逆時針地旋轉45度的狀態下配置。
具有上述構成之第一A攝像部I11a、第一B攝像部I11b、第一C攝像部I11c、第一A照明部F11a、第一B照明部F11b及第一C照明部F11c，例如如圖11至圖13所示般，具有藉由連結構件Cn1被相互地連結而一體之構成。於該情形時，例如，藉由利用第一移動機構12t1使連結構件Cn1移動，可使第一攝像單元12s1移動。
如此，例如若第一A照明部F11a包含有作為一個發光區域之上部發光區域F11a1，第一B照明部F11b包含有作為五個發光區域之第一至五傾斜發光區域F11b1~F11b5，而第一C照明部F11c具有作為三個發光區域之第一至三水平發光區域F11c1~F11c3，則藉由針對每個發光區域個別地切換對工件W0之光之照射的有無，可不使第一攝像單元12s1移動，便以更少之動作來進行複數個照明條件下之攝像。因此，例如可更容易地對已充分地拍到具有各種形狀之工件W0之影像進行攝像。
又，此處例如如圖11至圖13所示般，若第一C照明部F11c之各水平發光區域F11c1~F11c3係沿著XY平面之水平方向上之寬度大於沿著Z方向之鉛直方向上之高度的區域，則即便使第一C照明部F11c移動至作為載置部Sg2之搬送部Cv2上，第一C照明部F11c亦難以接觸於作為載置部Sg2之搬送部Cv2。因此，例如會為了進行配合工件W0之尺寸之第一攝像單元12s1相對於工件W0之距離及第一C攝像部I11c之焦點的調整等，而使第一C照明部F11c變得容易移動。此處，例如亦可為第一C照明部F11c不具有作為兩個發光區域之第一水平發光區域F11c1及第三水平發光區域F11c3，而具有作為一個發光區域之第二水平發光區域F11c2。換言之，例如第一C照明部F11c只要具有一個以上的發光區域即可。
又，此處例如如圖10(b)及圖11至圖13所示般，若第一B照明部F11b之各傾斜發光區域F11b1~F11b5係斜上方向上之長度大於水平方向上之寬度的區域，則即便為自斜上方觀察時深度方向較長之工件W0，亦可寬廣地進行照明。又，例如，可在作為沿著鉛直方向(Z方向)之假想軸的第一A光軸Pi11a之周圍不同的角度上，容易地配置可自斜上方對工件W0進行照明之複數個發光區域(例如，第一至五傾斜發光區域F11b1~F11b5)。此處，例如亦可為第一B照明部F11b不具有作為兩個發光區域之第一傾斜發光區域F11b1及第五傾斜發光區域F11b5，而具有作為三個發光區域之第二傾斜發光區域F11b2、第三傾斜發光區域F11b3及第四傾斜發光區域F11b4。又，例如第一B照明部F11b亦可採用具有包含有第三傾斜發光區域F11b3之一個以上之發光區域的構成。
＜2-1-2. 攝像影像的例子＞ 圖15係表示工件W0之外觀之一例的圖。在圖15之例子中，工件W0具有具第一至六面Sf1~Sf6之正六面體狀的形狀。然而，朝向+Z方向之作為上表面的第一面Sf1具有第一凹部Dp1，而朝向+Y方向之作為側面的第二面Sf2具有第二凹部Dp2。此處，以具有圖15所示之形狀的工件W0作為對象，藉由利用如圖9所示般被配置之第一攝像單元12s1來進行照明及攝像而可得到之工件W0之攝像影像的例子係如圖16(a)至圖18(c)所示者。在圖16(a)至圖18(c)之各者中，於工件W0之表面中即便藉由照明亦無法被明亮地捕捉之部分，會被標示斜線之陰影，而藉由照明可被明亮地捕捉的部分則未被標示陰影。
圖16(a)係表示藉由利用第一A攝像部I11a對由第一C照明部F11c之第二水平發光區域F11c2所照明之工件W0進行攝像而可得到之已拍到工件W0之攝像影像之一例的圖。圖16(b)係表示藉由利用第一B攝像部I11b對由第一C照明部F11c之第二水平發光區域F11c2所照明之工件W0進行攝像而可得到之已拍到工件W0之攝像影像之一例的圖。圖16(c)係表示藉由利用第一C攝像部I11c對由第一C照明部F11c之第二水平發光區域F11c2所照明之工件W0進行攝像而可得到之已拍到工件W0之攝像影像之一例的圖。
此處，若利用第一A攝像部I11a自上方對由第二水平發光區域F11c2所照明之工件W0進行攝像，便如圖16(a)所示般，可得到朝向+Z方向之作為上表面的第一面Sf1且連同第一凹部Dp1亦包含在內而以昏暗之狀態被拍下之工件W0的攝像影像。若利用第一B攝像部I11b自斜上方對由第二水平發光區域F11c2所照明之工件W0進行攝像，便如圖16(b)所示般，可得到第一面Sf1且連同第一凹部Dp1亦包含在內而以昏暗之狀態被拍下，並且朝向+Y方向之作為側面的第二面Sf2之除了第二凹部Dp2的一部分以外之大致整個以昏暗之狀態被拍下之工件W0的攝像影像。若利用第一C攝像部I11c自側方對由第二水平發光區域F11c2所照明之工件W0進行攝像，便如圖16(c)所示般，可得到第二面Sf2之除了第二凹部Dp2以外之大致整個以明亮之狀態被拍下之工件W0的攝像影像。
圖17(a)係表示利用第一A攝像部I11a對由第一B照明部F11b之第三傾斜發光區域F11b3所照明之工件W0進行攝像而可得到之已拍到工件W0之攝像影像之一例的圖。圖17(b)係表示利用第一B攝像部I11b對由第一B照明部F11b之第三傾斜發光區域F11b3所照明之工件W0進行攝像而可得到之掌握工件W0之攝像影像之一例的圖。圖17(c)係表示利用第一C攝像部I11c對由第一B照明部F11b之第三傾斜發光區域F11b3所照明之工件W0進行攝像而可得到之已拍到工件W0之攝像影像之一例的圖。
此處，若利用第一A攝像部I11a自上方對由第三傾斜發光區域F11b3所照明之工件W0進行攝像，便如圖17(a)所示般，可得到第一面Sf1之除了第一凹部Dp1以外之大致整個以昏暗之狀態被拍下之工件W0的攝像影像。若利用第一B攝像部I11b自斜上方對由第三傾斜發光區域F11b3所照明之工件W0進行攝像，便如圖17(b)所示般，可得到第一面Sf1之除了第一凹部Dp1的一部分以外之大致整個以昏暗之狀態被拍下，並且第二面Sf2之除了第二凹部Dp2的一部分以外之大致整個以昏暗之狀態被拍下之工件W0的攝像影像。若利用第一C攝像部I11c自側方對由第三傾斜發光區域F11b3所照明之工件W0進行攝像，便如圖17(c)所示般，可得到第二面Sf2之除了第二凹部Dp2以外之大致整個以昏暗之狀態被拍下之工件W0的攝像影像。
圖18(a)係表示利用第一A攝像部I11a對由第一A照明部F11a之上部發光區域F11a1所照明之工件W0進行攝像而可得到之已拍到工件W0之攝像影像之一例的圖。圖18(b)係表示利用第一B攝像部I11b對由第一A照明部F11a之上部發光區域F11a1所照明之工件W0進行攝像而可得到之已拍到工件W0之攝像影像之一例的圖。圖18(c)係表示利用第一C攝像部I11c對由第一A照明部F11a之上部發光區域F11a1所照明之工件W0進行攝像而可得到之已拍到工件W0之攝像影像之一例的圖。
此處，若利用第一A攝像部I11a自上方對由上部發光區域F11a1所照明之工件W0進行攝像，便如圖18(a)所示般，可得到第一面Sf1之除了第一凹部Dp1以外之大致整個以明亮之狀態被拍下之工件W0的攝像影像。若利用以第一B攝像部I11b自斜上方對由上部發光區域F11a1所照明之工件W0進行攝像，便如圖18(b)所示般，可得到第一面Sf1之除了第一凹部Dp1的一部分以外之大致整個以昏暗之狀態被拍下，並且第二面Sf2且連同第二凹部Dp2亦包含在內而以昏暗之狀態被拍下之工件W0的攝像影像。若利用第一C攝像部I11c自側方對由上部發光區域F11a1所照明之工件W0進行攝像，便如圖18(c)所示般，可得到第二面Sf2且連同第二凹部Dp2亦包含在內而以昏暗之狀態被拍下之工件W0的攝像影像。
如此，例如可不使第一攝像單元12s1移動，便以更少之動作進行複數個照明條件下之攝像。因此，例如可更容易地對已充分地拍到具有各種形狀之工件W0之影像進行攝像。
＜2-1-3. 攝像裝置之動作＞ 於具有上述構成之第二實施形態之攝像裝置12中，例如亦可為整合控制部C0以第一攝像單元12s1與第二攝像單元12s2交互地移動之方式，來控制第一移動機構12t1及第二移動機構12t2之動作。具體而言，例如亦可以如下之方式來進行控制：使第一攝像單元12s1及第二攝像單元12s2中之已完成攝像及照明之第一攝像單元12s1先移動，並在第二攝像單元12s2之完成攝像及照明之時間點使第二攝像單元12s2移動。藉由如此之控制，例如可相較於在使用第一攝像單元12s1及第二攝像單元12s2之攝像及照明全部完成後，才使第一攝像單元12s1及第二攝像單元12s2雙方同時地移動的控制，縮短對於工件W0之複數個部位在複數個照明條件下之攝像所需要之時間。因此，例如可使每單位時間能使攝像完成之工件W0的數量增加。
此處，例如第二攝像單元12s2亦可具有與第一攝像單元12s1相同之構成。於該情形時，例如可存在有如下之態樣：第一攝像單元12s1之構成與第二攝像單元12s2之構成具有以XZ平面作為基準而面對稱之關係。
＜2-2. 第三實施形態＞ 於上述第一實施形態及上述第二實施形態之任一者中，例如第一移動機構12t1所進行之第一攝像單元12s1之移動、及第二移動機構12t2所進行之第二攝像單元12s2之移動中之至少一移動，亦可為至少一方向上之移動。即便採用如此之構成，例如對於工件W0，亦可一邊使第一攝像單元12s1與第二攝像單元12s2個別地移動，一邊利用第一攝像部I11及第二攝像部I12對由第一照明部F11及第二照明部F12之各者所照明之工件W0進行攝像。藉此，例如可以複數個照明條件對工件W0之各部分進行攝像。因此，例如可容易地對已充分地拍到具有各種形狀之工件W0之影像進行攝像。
圖19(a)係表示第三實施形態之攝像裝置12之主要物理性構成之一例的圖。圖19(b)係表示第三實施形態之攝像裝置12之主要物理性構成之一例之一部分的俯視圖。在圖19(a)及圖19(b)之例子中，第一移動機構12t1具有位於基座部Bs12上之第一基準部Sl1、及可沿著±X方向移動地由該第一基準部Sl1所保持之第一臂部Am1。而且，處於第一攝像單元12s1被安裝在第一臂部Am1之狀態。又，在圖19(a)及圖19(b)之例子中，第二移動機構12t2具有位於基座部Bs12上之第二基準部Sl2、及可沿著±X方向移動地由該第二基準部Sl2所保持之第二臂部Am2。而且，處於第二攝像單元12s2被安裝在第二臂部Am2之狀態。第一臂部Am1相對於第一基準部Sl1之移動及第二臂部Am2相對於第二基準部Sl2之移動，例如可藉由線性導件、與產生直線性之驅動力之汽缸或將馬達的旋轉驅動力轉換為直線性之驅動力之滾珠螺桿的組合所實現。
此處，例如，若第一移動機構12t1所進行之第一攝像單元12s1之移動、及第二移動機構12t2所進行之第二攝像單元12s2之移動中之至少一移動被設為至少兩方向上之移動，便可以更多之照明條件對工件W0之各部分進行攝像。藉此，例如可容易地對已充分地拍到具有各種形狀之工件W0之影像進行攝像。
＜2-3. 其他實施形態＞ 於上述各實施形態中，例如亦可為第一移動機構12t1與第二移動機構12t2不以夾著作為載置部Sg2之搬送部Cv2之方式配置。例如，既可為第一移動機構12t1及第二移動機構12t2中之至少一者位於作為載置部Sg2之搬送部Cv2之上方，亦可為第一移動機構12t1及第二移動機構12t2雙方位於作為載置部Sg2之搬送部Cv2之一側方。然而，例如若第一移動機構12t1與第二移動機構12t2以夾著作為載置部Sg2之搬送部Cv2之方式配置，例如便可對於較工件W0之表面更廣的區域，以複數個照明條件容易地對工件W0之各部分進行攝像。
於上述各實施形態中，例如亦可存在具有與組合第一移動機構12t1與第一攝像單元12s1的第一個構成或組合第二移動機構12t2與第二攝像單元12s2的第二個構成相同之構成的第三個以後之構成。
於上述各實施形態中，例如既可為第一攝像單元12s1具有兩個以上的照明部與一個以上的攝像部，亦可為第二攝像單元12s2具有兩個以上的照明部與一個以上的攝像部。即便採用如此之構成，例如亦可藉由兩個以上之照明部之點燈之有無的組合，而不使第一攝像單元12s1及第二攝像單元12s2移動，便進行複數個照明條件下之攝像。亦即，例如，可以較少之動作進行複數個照明條件下之攝像。因此，例如可容易地對已充分地拍到具有各種形狀之工件W0之影像進行攝像。
此處，例如一個以上的照明部既可為包含有第一A照明部F11a與第一B照明部F11b之兩個以上的照明部，亦可為包含有第一A照明部F11a與第一C照明部F11c之兩個以上的照明部。又，例如一個以上的攝像部亦可包含有第一A攝像部I11a、第一B攝像部I11b及第一C攝像部I11c中之一個以上的攝像部。具體而言，可存在有如下之構成：於上述第二實施形態中，例如不存在第一B照明部F11b及第一C照明部F11c中之任一照明部，且不存在第一A攝像部I11a、第一B攝像部I11b及第一C攝像部I11c中之兩個攝像部。在如此之構成中，例如第一A照明部F11a亦可為，沿著作為朝向被載置在載置部Sg2上之工件W0照射光之方向之第一A照射方向的假想線與通過被載置在載置部Sg2上之工件W0之假想的水平面Pn0所成的角度，被適當地設定為0度至90度之間。又，例如第一B照明部F11b亦可為，沿著作為朝向被載置在載置部Sg2上之工件W0照射光之方向之第一B照射方向的假想線與通過被載置在載置部Sg2上之工件W0之假想的水平面Pn0所成的角度，被適當地設定為0度至90度之間。又，例如第一C照明部F11c亦可為，沿著作為朝向被載置在載置部Sg2上之工件W0照射光之方向的第一C照射方向之假想線與通過被載置在載置部Sg2上之工件W0之假想的水平面Pn0所成之角度，被適當地設定為0度至90度之間。
此處，例如亦可採用如下之構成：自一個攝像部朝向被載置在載置部Sg2上之工件W0之沿著作為該一個攝像部所包含之光學系統之透鏡部之光軸的攝像方向，會較第一B照明部F11b之第一B照明方向更靠近第一A照明部F11a之第一A照明方向。更具體而言，例如亦可採用如下之構成：沿著自第一A攝像部I11a朝向被載置在載置部Sg2上之工件W0之第一A透鏡部Lz11a之第一A光軸Pi11a的第一A攝像方向，會較第一B照明部F11b之第一B照明方向更靠近第一A照明部F11a之第一A照明方向。
又，此處例如亦可採用如下之構成：自一個攝像部朝向被載置在載置部Sg2上之工件W0之沿著作為該一個攝像部所包含之光學系統之透鏡部之光軸的攝像方向，會較第一C照明部F11c之第一C照明方向更靠近第一A照明部F11a之第一A照明方向。更具體而言，例如亦可採用如下之構成：沿著自第一A攝像部I11a朝向被載置在載置部Sg2上之工件W0之第一A透鏡部Lz11a之第一A光軸Pi11a的第一A攝像方向，會較第一C照明部F11c之第一C照明方向更靠近第一A照明部F11a之第一A照明方向。
若採用該等構成，例如，藉由進行在靠近攝像方向之角度的照明方向上進行照明之照明條件下之工件W0的攝像、及在離開攝像方向之角度的照明方向進行照明之照明條件下之工件W0的攝像，可改變在攝像部中可捕捉到來自工件W0之正反射光的條件。藉此，可容易地對已充分地拍到工件W0上之凹凸等之各種形狀之影像進行攝像。更具體而言，例如可假想為如下之案例：在靠近攝像方向之角度的照明方向進行照明之照明條件下之工件W0的攝像中，正反射光過強而無法拍到之傷痕，可藉由在離開攝像方向之角度的照明方向進行照明之照明條件下之工件W0的攝像而拍到。
於上述第二實施形態中，例如亦可為第一A攝像部I11a之第一A光軸Pi11a自工件W0之中心稍微偏移。即便於該情形時，例如若自第一A照明部F11a之上部發光區域F11a1朝向工件W0被照射之光的光束具有某程度之擴散，亦可藉由第一A照明部F11a之上部發光區域F11a1充分地對工件W0進行照明。又，例如藉由適當地使第一A攝像部I11a之第一A光軸Pi11a自工件W0之中心偏移，可實現第一攝像單元12s1與第二攝像單元12s2難以接觸之構成。
於上述各實施形態中，攝像部I1雖已經由照明部F1之孔部H1來對被載置在載置部Sg2上之工件W0進行攝像，但不限於此。例如，亦可為攝像部I1對被載置在載置部Sg2上之工件W0進行攝像之攝像方向、與照明部F1對被載置在載置部Sg2上之工件W0照射光之照明方向所成之角度，在容許範圍(亦稱為容許角度範圍)內偏移。例如，既可為第一攝像部I11對被載置在載置部Sg2上之工件W0進行攝像之攝像方向、與第一照明部F11對被載置在載置部Sg2上之工件W0照射光之照明方向所成之角度，在容許範圍(容許角度範圍)內偏移，亦可為第二攝像部I12對被載置在載置部Sg2上之工件W0進行攝像之攝像方向、與第二照明部F12對被載置在載置部Sg2上之工件W0照射光之照明方向所成之角度，在容許範圍(容許角度範圍)內偏移。又，例如亦可為第一A攝像部I11a對被載置在載置部Sg2上之工件W0之第一A攝像方向、與第一A照明部F11a(具體而言為上部發光區域F11a1)對被載置在載置部Sg2上之工件W0照射光之第一A照明方向所成之角度，在容許範圍(容許角度範圍)內偏移。又，例如亦可為第一B攝像部I11b對被載置在載置部Sg2上之工件W0進行攝像之第一B攝像方向、與第一B照明部F11b(具體而言為第三傾斜發光區域F11b3)對被載置在載置部Sg2上之工件W0照射光之第一B照明方向所成之角度，在容許範圍(容許角度範圍)內偏移。又，例如亦可為第一C攝像部I11c對被載置在載置部Sg2上之工件W0進行攝像之第一C攝像方向、與第一C照明部F11c(具體而言為第二水平發光區域F11c2)對被載置在載置部Sg2上之工件W0照射光之第一C照明方向所成之角度，在容許範圍(容許角度範圍)內偏移。此處，各容許角度範圍，例如依存於各照明部之發光區域的形狀及尺寸、以及工件W0之形狀及尺寸等。
此處，對上部發光區域F11a1之形狀及尺寸以及工件W0之形狀及尺寸、與容許角度範圍的關係，列舉兩個例子來進行說明。圖20(a)係表示第一A照明部F11a之上部發光區域F11a1之形狀及尺寸之一例的圖。圖20(b)係表示第一工件W0之形狀及尺寸之一例的圖。圖20(c)係表示第二工件W0之形狀及尺寸之一例的圖。在圖20(a)之例子中，上部發光區域F11a1係長方形的區域，其具有沿著X方向之寬度W1之相互地對向的一對邊、及沿著Y方向之長度L1之相互地對向的一對邊。在圖20(b)之例子中，第一工件W0係具有長方形之底面、及高度H2之長方體狀者，而該長方形之底面具有沿著X方向之寬度W2之相互地對向的一對邊及沿著Y方向之長度L2之相互地對應的一對邊。在圖20(c)之例子中，第二工件W0係一圓柱狀者，其具有沿著YZ平面之直徑ϕ3之正圓狀之相互地對向的一對面、及沿著X方向之寬度W3。此處，第一A攝像部I11a之攝像元件與工件W0之距離、以及上部發光區域F11a1與工件W0之距離，係皆設為260公釐(mm)者。對於上部發光區域F11a1，寬度W1係設為180mm，而長度L1係設為120mm者。又，第一A攝像部I11a之第一A光軸Pi11a係被設定為會通過工件W0之中心者。
此處，例如對於第一工件W0係假設為如下之情形：寬度W2為50mm，長度L2為30mm，而高度H2為50mm。於該情形時，若第一A攝像部I11a之第一A攝像方向與上部發光區域F11a1之第一A照明方向所成之角度為約30度以下，第一A攝像部I11a便可對應於來自上部發光區域F11a1之光的照射而自第一工件W0之朝向+Z方向之上表面Su2的整體接收正反射光。因此，在如此之條件中，容許角度範圍會成為約30度。
又，此處例如對於第二工件W0假設為如下之情形：直徑ϕ3為50mm，而寬度W3為40mm。於該情形時，若第一A攝像部I11a之第一A攝像方向與上部發光區域F11a1之第一A照明方向所成之角度為約12度以下，第一A攝像部I11a便可對應於來自上部發光區域F11a1之光的照射而自第二工件W0之側面Ss3中之朝-Z方向俯視時可看見之區域的整體接收正反射光。因此，在如此之條件中，容許角度範圍為約12度。
於上述各實施形態中，對於搬送部Cv1、Cv2、Cv3、Cv4，例如亦可取代帶式輸送機而應用能搬送工件W0之機器人等之不同構成。於該情形時，例如攝像裝置12除了能搬送工件W0之機器人以外，另採用具有作為用以載置工件W0之載置部之平台等的構成。
於上述各實施形態中，例如檢查系統1之動作亦可藉由整合控制部C0等之一個以上的控制部而被控制。此處，例如檢查系統1亦可視為進行工件W0之攝像的一個攝像裝置。
於上述第二實施形態中，例如組合第一移動機構12t1與第一攝像單元12s1之第一個構成、及組合第二移動機構12t2與第二攝像單元12s2之第二個構成中之一構成。亦可不存在。
再者，當然可在不矛盾之範圍內適當地將分別構成上述各實施形態及各種變形例之全部或一部分加以組合。
1:檢查系統 1tb、11tb、12tb、13tb、14tb:筒狀部 11:投入裝置 11d:輸出部 11h:連接部 11i:輸入部 11oc、14oc:開閉部 12:攝像裝置 12s:攝像單元 12s1:第一攝像單元 12s2:第二攝像單元 12t:移動機構 12t1:第一移動機構 12t2:第二移動機構 13:翻轉裝置 13h:保持部 13t:移動機構 14:排出裝置 121~124:第一至四攝像裝置 Am1:第一臂部 Am2:第二臂部 Bs12:基座部 C0:整合控制部 Cc1、Cc2、Cc3、Cc4:搬送控制部 Cn1:連結構件 Cr3:翻轉控制部 Cs2:攝像控制部 Cs21:第一攝像控制部 Cs22:第二攝像控制部 Ct2:移動控制部 Ct21:第一移動控制部 Ct22:第二移動控制部 Cv1、Cv2、Cv3、Cv4、Cv21、Cv22、Cv23、Cv24:搬送部 Dc1a、Dc1b、Dc1c、Df1a、Df1b、Df1c:箭頭 Dp1:第一凹部 Dp2:第二凹部 F1:照明部 F11:第一照明部 F11a:第一A照明部 F11a1:上部發光區域 F11b:第一B照明部 F11b1~F11b5:第一至五傾斜發光區域 F11c:第一C照明部 F11c1~F11c3:第一至三水平發光區域 F12:第二照明部 H1:孔部 H11:第一孔部 H11a:第一A孔部 H11b:第一B孔部 H11c:第一C孔部 H12:第二孔部 H2:高度 I1:攝像部 I11:第一攝像部 I11a:第一A攝像部 I11b:第一B攝像部 I11c:第一C攝像部 I12:第二攝像部 L1、L2:長度 Lz1:透鏡部 Lz11:第一透鏡部 Lz11a:第一A透鏡部 Lz11b:第一B透鏡部 Lz11c:第一C透鏡部 Lz12:第二透鏡部 Op0:作業員 Pi1:光軸 Pi11:第一光軸 Pi11a:第一A光軸 Pi11b:第一B光軸 Pi11c:第一C光軸 Pi12:第二光軸 Pl1~Pl6:第一至第六軸 Pn0:水平面 Pr1:轉動部 Pr2~Pr6:第二至第六轉動部 Pt0:基準部 Pt1~Pt6:第一至第六可動部 Rt1:搬送路徑 Sf1~Sf6:第一至六面 Sg2:載置部 Sl1:第一基準部 Sl2:第二基準部 Ss3:側面 Su2:上表面 t0~t9:時刻 W0:工件 W1、W2、W3:寬度 Wr1、Wr2:配線 θ1a:第一A俯角 θ1b:第一B俯角 θ1c:第一C俯角 ϕ3:直徑
圖1(a)係示意性地表示第一實施形態之檢查系統之外觀的立體圖。圖1(b)係表示第一實施形態之檢查系統之概略構成的圖。 圖2(a)係表示第一實施形態之攝像裝置之主要物理性構成之一例的圖。圖2(b)係表示第一實施形態之攝像單元之物理性構成之一例的圖。 圖3係表示檢查系統之功能性構成之一例的方塊圖。 圖4係表示投入裝置之功能性構成之一例的方塊圖。 圖5(a)係表示攝像裝置之功能性構成之一例的方塊圖。圖5(b)係表示第一攝像單元之功能性構成之一例的方塊圖。圖5(c)係表示第二攝像單元之功能性構成之一例的方塊圖。 圖6係表示翻轉裝置之功能性構成之一例的方塊圖。 圖7係表示排出裝置之功能性構成之一例的方塊圖。 圖8係表示攝像裝置之動作之一例的時序圖。 圖9係示意性地表示第二實施形態之第一攝像單元之物理性構成的圖。 圖10(a)係示意性地表示第一A照明部之一例的圖。圖10(b)係示意性地表示第一B照明部之一例的圖。圖10(c)係示意性地表示第一C照明部之一例的圖。 圖11係表示第二實施形態之第一攝像單元之外觀之一例的側視圖。 圖12係表示第二實施形態之第一攝像單元之外觀之一例的俯視圖。 圖13係表示第二實施形態之第一攝像單元之外觀之一例的前視圖。 圖14係表示第二實施形態之第一攝像單元之功能性構成之一例的方塊圖。 圖15係表示工件之外觀之一例的圖。 圖16(a)係表示藉由利用第一A攝像部對由第一C照明部所照明之工件進行攝像而可得到之已拍到工件之攝像影像之一例的圖。圖16(b)係表示藉由利用第一B攝像部對由第一C照明部所照明之工件進行攝像而可得到之已拍到工件之攝像影像之一例的圖。圖16(c)係表示藉由利用第一C攝像部對由第一C照明部所照明之工件進行攝像而可得到之已拍到工件之攝像影像之一例的圖。 圖17(a)係表示藉由利用第一A攝像部對由第一B照明部所照明之工件進行攝像而可得到之已拍到工件之攝像影像之一例的圖。圖17(b)係表示藉由利用第一B攝像部對由第一B照明部所照明之工件進行攝像而可得到之已拍到工件之攝像影像之一例的圖。圖17(c)係表示藉由利用第一C攝像部對由第一B照明部所照明之工件進行攝像而可得到之已拍到工件之攝像影像之一例的圖。 圖18(a)係表示藉由利用第一A攝像部對由第一A照明部所照明之工件進行攝像而可得到之已拍到工件之攝像影像之一例的圖。圖18(b)係表示藉由利用第一B攝像部對由第一A照明部所照明之工件進行攝像而可得到之已拍到工件之攝像影像之一例的圖。圖18(c)係表示藉由利用第一C攝像部對由第一A照明部所照明之工件進行攝像而可得到之已拍到工件之攝像影像之一例的圖。 圖19(a)係表示第三實施形態之攝像裝置之主要物理性構成之一例的圖。圖19(b)係表示第三實施形態之攝像裝置之主要物理性構成之一例之一部分的俯視圖。 圖20(a)係表示第一A照明部之上部發光區域之形狀及尺寸之一例的圖。圖20(b)係表示第一工件之形狀及尺寸之一例的圖。圖20(c)係表示第二工件之形狀及尺寸之一例的圖。
12:攝像裝置
12s:攝像單元
12s1:第一攝像單元
12s2:第二攝像單元
12t:移動機構
12t1:第一移動機構
12t2:第二移動機構
12tb:筒狀部
Bs12:基座部
Cv2:搬送部
F1:照明部
F11:第一照明部
F12:第二照明部
H1:孔部
H11:第一孔部
H12:第二孔部
I1:攝像部
I11:第一攝像部
I12:第二攝像部
Lz1:透鏡部
Lz11:第一透鏡部
Lz12:第二透鏡部
Pi1:光軸
Pi11:第一光軸
Pi12:第二光軸
P11~P16:第一至第六軸
Pr1:轉動部
Pr2~Pr6:第二至第六轉動部
Pt0:基準部
Pt1~Pt6:第一至第六可動部
Sg2:載置部
W0:工件

Claims (15)

  1. 一種攝像裝置，其具備有： 載置部，其用以載置攝像對象物； 第一攝像單元，其包含有一個以上的第一攝像部及一個以上的第一照明部； 第一移動機構，其使上述第一攝像單元相對於上述載置部相對地移動； 第二攝像單元，其包含有一個以上的第二攝像部及一個以上的第二照明部；以及 第二移動機構，其使上述第二攝像單元相對於上述載置部相對地移動。
  2. 如請求項1之攝像裝置，其中， 上述第一移動機構與上述第二移動機構以夾著上述載置部之方式配置。
  3. 如請求項1或2之攝像裝置，其中， 上述第一移動機構及上述第二移動機構中之至少一個移動機構包含有多軸機器手臂。
  4. 如請求項1或2之攝像裝置，其中， 藉由上述第一移動機構所進行上述第一攝像單元的移動與上述第二移動機構所進行上述第二攝像單元的移動，上述第一攝像單元及上述第二攝像單元可遍及全周地對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行攝像。
  5. 如請求項1或2之攝像裝置，其中，其具備有： 控制部，其以上述第一攝像單元與上述第二攝像單元交互地移動之方式，來控制上述第一移動機構及上述第二移動機構的動作。
  6. 如請求項1或2之攝像裝置，其中， 上述一個以上的第一照明部包含有第一A照明部、及第一B照明部， 上述第一A照明部朝向第一A照明方向，對被載置於上述載置部之上述攝像對象物照射光， 上述第一B照明部朝向第一B照明方向，對被載置於上述載置部之上述攝像對象物照射光。
  7. 如請求項6之攝像裝置，其中， 上述第一攝像部包含有光學系統， 沿著自上述第一攝像部朝向被載置於上述載置部之上述攝像對象物之上述光學系統之光軸的攝像方向，較上述第一B照明方向更靠近上述第一A照明方向。
  8. 如請求項6之攝像裝置，其中， 上述一個以上的第一攝像部，包含有第一A攝像部、第一B攝像部、及第一C攝像部， 上述一個以上的第一照明部，包含有上述第一A照明部、上述第一B照明部、及第一C照明部， 在上述第一A照明部自上方對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行照明之狀態下，上述第一A攝像部自上方對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行攝像， 在上述第一B照明部自斜上方對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行照明之狀態下，上述第一B攝像部自斜上方對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行攝像， 在上述第一C照明部朝向水平方向對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行照明之狀態下，上述第一C攝像部朝向水平方向對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行攝像。
  9. 如請求項8之攝像裝置，其中， 上述第一C照明部具有水平方向上之寬度較鉛直方向上之高度更大的發光區域。
  10. 如請求項8之攝像裝置，其中， 上述第一B照明部具有斜上方向上之長度較水平方向上之寬度更大的發光區域。
  11. 一種攝像裝置，其具備有： 載置部，其用以載置攝像對象物； 攝像單元，其具有一個以上的攝像部以及包含第一A照明部及第一B照明部之兩個以上的照明部；以及 移動機構，其使上述攝像單元相對於上述載置部相對地移動； 上述第一A照明部朝向第一A照明方向，對被載置於上述載置部之上述攝像對象物照射光， 上述第一B照明部朝向第一B照明方向，對被載置於上述載置部之上述攝像對象物照射光。
  12. 如請求項11之攝像裝置，其中， 上述一個以上之攝像部中之第一A攝像部包含有光學系統， 沿著自上述第一A攝像部朝向被載置於上述載置部之上述攝像對象物之上述光學系統之光軸的攝像方向，較上述第一B照明方向更靠近上述第一A照明方向。
  13. 如請求項12之攝像裝置，其中， 上述一個以上的攝像部包含有上述第一A攝像部、第一B攝像部、及第一C攝像部， 上述兩個以上的照明部包含有上述第一A照明部、上述第一B照明部、及第一C照明部， 在上述第一A照明部自上方對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行照明之狀態下，上述第一A攝像部自上方對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行攝像， 在上述第一B照明部自斜上方對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行照明之狀態下，上述第一B攝像部自斜上方對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行攝像， 在上述第一C照明部朝向水平方向對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行照明之狀態下，上述第一C攝像部朝向水平方向對被載置於上述載置部之上述攝像對象物進行攝像。
  14. 如請求項13之攝像裝置，其中， 上述第一C照明部具有水平方向上之寬度較鉛直方向上之高度更大的發光區域。
  15. 如請求項13或14之攝像裝置，其中， 上述第一B照明部具有斜上方向上之長度較水平方向上之寬度更大的發光區域。
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