JP4746991B2 - 被検査体の検査装置 - Google Patents
被検査体の検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4746991B2 JP4746991B2 JP2006009322A JP2006009322A JP4746991B2 JP 4746991 B2 JP4746991 B2 JP 4746991B2 JP 2006009322 A JP2006009322 A JP 2006009322A JP 2006009322 A JP2006009322 A JP 2006009322A JP 4746991 B2 JP4746991 B2 JP 4746991B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- image
- unit
- imaging
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Description
図1は、第1の実施形態に係る基板検査装置200Aの構成を示す。基板検査装置200Aは、検査テーブル10、基板搬送テーブル50、撮像システム80A、および後述する画像処理部、スレーブPC、マスターPCなどを有している。基板搬送テーブル50は、支持プレート52および2本の搬送レール54などを有し、搬送レール54は支持プレート52により支持される。
図6は、第2の実施形態に係る撮像システム80Bの構成を示す図である。撮像システム80Bは、第1撮像システム80cおよび第2撮像システム80dを有する。第1撮像システム80cは、第1照明ユニット100a、マイクロフォーカスX線源120、上部フレーム36a、および上部フレーム36aに設けられた複数(本実施形態では5つ)のCCDセンサ172および複数(本実施形態では5つ)のレンズ174を有する。また、第2撮像システム80dは、第2照明ユニット100b、下部フレーム36b、および下部フレーム36b上に設けられた複数(本実施形態では5つ)のCCDセンサ172および複数(本実施形態では5つ)のレンズ174を有する。なお、第1照明ユニット100a、第2照明ユニット100b、およびマイクロフォーカスX線源120については第1の実施形態と同様であることから説明を省略する。CCDセンサ172は、二次元の領域を一括して撮像し、画像データに変換する。
Claims (4)
- 光源から照射され、基板の被撮像面に反射される反射光を検出することにより光学画像を撮像する光学画像撮像部と、
X線源から照射され、前記基板の被撮像面を透過するX線を所定の波長の可視光に変換するシンチレータと、
前記変換された可視光を反射するミラーと、
前記反射された可視光を検出することによりX線画像を撮像するX線画像撮像部と、を備え、
前記光学画像撮像部および前記X線画像撮像部は、同一のラインセンサにより構成され、
前記ミラーは、前記光学画像を撮像するための光の経路と前記X線画像を撮像するための光の経路とが一致するように前記シンチレータと前記ラインセンサとの間に配置され、
前記ラインセンサは、前記光学画像および前記X線画像の両方の撮像を行うことを特徴とする被検査体の検査装置。 - 前記ラインセンサは、前記光学画像および前記X線画像のうちの一方の撮像を行った後に他方の撮像を行うことを特徴とする請求項1に記載の被検査体の検査装置。
- 前記ラインセンサは、前記光学画像および前記X線画像の撮像を走査単位毎に交互に行うことを特徴とする請求項1に記載の被検査体の検査装置。
- 前記シンチレータは、前記光学画像を撮像するための光の波長と前記X線画像を撮像するための光の波長とが異なるように前記基板の被撮像面を透過するX線を所定の波長の可視光に変換することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の被検査体の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006009322A JP4746991B2 (ja) | 2006-01-17 | 2006-01-17 | 被検査体の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006009322A JP4746991B2 (ja) | 2006-01-17 | 2006-01-17 | 被検査体の検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007194302A JP2007194302A (ja) | 2007-08-02 |
JP4746991B2 true JP4746991B2 (ja) | 2011-08-10 |
Family
ID=38449774
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006009322A Active JP4746991B2 (ja) | 2006-01-17 | 2006-01-17 | 被検査体の検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4746991B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107592910A (zh) * | 2015-04-15 | 2018-01-16 | 依科视朗国际有限公司 | 用于检查电子器件的方法 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4828234B2 (ja) * | 2006-01-17 | 2011-11-30 | 株式会社サキコーポレーション | 被検査体の検査装置 |
JP5051083B2 (ja) * | 2008-09-26 | 2012-10-17 | パナソニック株式会社 | 電子部品実装装置および電子部品実装装置における画像読取り装置 |
JP5361336B2 (ja) | 2008-11-06 | 2013-12-04 | キヤノン株式会社 | X線乳房撮影装置 |
JP5697726B2 (ja) * | 2013-09-06 | 2015-04-08 | キヤノン株式会社 | 検出装置 |
JP6655779B2 (ja) * | 2016-03-07 | 2020-02-26 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 電子部品実装装置における撮像用の照明装置および電子部品実装装置 |
JP7254327B2 (ja) * | 2018-06-25 | 2023-04-10 | 株式会社キーレックス | プレス部品用検査装置及びプレス部品の検査方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001241932A (ja) * | 2000-03-02 | 2001-09-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 接合検査装置、方法、及び接合検査方法を実行するプログラムを記録した記録媒体 |
JP2004226128A (ja) * | 2003-01-20 | 2004-08-12 | Saki Corp:Kk | 外観検査装置および外観検査方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0252246A (ja) * | 1988-08-15 | 1990-02-21 | Tokyo Electron Ltd | X線検査装置 |
JPH02183147A (ja) * | 1989-01-09 | 1990-07-17 | Nikon Corp | 微小異物検査装置 |
JP3203766B2 (ja) * | 1992-05-15 | 2001-08-27 | ソニー株式会社 | X線位置合わせ確認方法、x線位置合わせ確認・位置合わせ方法、及びx線検査装置 |
-
2006
- 2006-01-17 JP JP2006009322A patent/JP4746991B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001241932A (ja) * | 2000-03-02 | 2001-09-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 接合検査装置、方法、及び接合検査方法を実行するプログラムを記録した記録媒体 |
JP2004226128A (ja) * | 2003-01-20 | 2004-08-12 | Saki Corp:Kk | 外観検査装置および外観検査方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107592910A (zh) * | 2015-04-15 | 2018-01-16 | 依科视朗国际有限公司 | 用于检查电子器件的方法 |
CN107592910B (zh) * | 2015-04-15 | 2021-08-13 | 依科视朗国际有限公司 | 用于检查电子器件的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007194302A (ja) | 2007-08-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4746991B2 (ja) | 被検査体の検査装置 | |
US20100289891A1 (en) | Apparatus for inspecting object under inspection | |
JP4560514B2 (ja) | 部品装着精度の検査方法及び検査装置 | |
US7751611B2 (en) | Apparatus for inspecting appearance of inspection piece | |
CN107238608B (zh) | 基板检查装置 | |
TWI663381B (zh) | 電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置 | |
JP2009175035A (ja) | 検査方法及び検査装置 | |
JP2013033419A (ja) | Tdiセンサ、撮像装置、部品実装装置、部品試験装置および基板検査装置 | |
JP2012002601A (ja) | 画像検査装置、画像検査方法、及び画像形成装置 | |
JP4828234B2 (ja) | 被検査体の検査装置 | |
JP2009080088A (ja) | 基板外観検査装置 | |
JP2007093258A (ja) | 外観検査装置 | |
JP2008128811A (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP2009180601A (ja) | パターン検査方法および装置 | |
KR101311251B1 (ko) | 검사장치 | |
JP2007192598A (ja) | 被検査体の検査装置 | |
KR20150022352A (ko) | 솔더 조인트 검사 방법 | |
JP2006184022A (ja) | 外観検査装置 | |
JP4714462B2 (ja) | 被検査体の外観検査装置 | |
JP2009128268A (ja) | パターン検査装置 | |
JP2006184019A (ja) | 外観検査装置 | |
JP5296490B2 (ja) | 被検査体の検査装置 | |
JP6339849B2 (ja) | 検査装置 | |
KR20200112639A (ko) | 반도체 제조 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 | |
JP6456726B2 (ja) | 検査装置、検査方法および検査プログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090116 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110104 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110307 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110419 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110516 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140520 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4746991 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |