CN107238608B - 基板检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够实现基板的两面检查涉及的检查精度的提高，并且能够实现检查的高速化的基板检查装置。基板检查装置(1)具有用于进行印刷基板(P1)的上表面侧的检查的上表面检查单元(3)、以及用于进行印刷基板(P1)的下表面侧的检查的下表面检查单元(4)。各检查单元(3、4)具有分别对印刷基板(P1)照射条纹图案的检查照明(3A、4A)等、以及拍摄印刷基板(P1)的检查相机(3C、4C)。并且，交替性进行由上表面检查单元(3)进行的印刷基板(P1)的上表面侧的检查处理、以及由下表面检查单元(4)进行的印刷基板(P1)的下表面侧的检查处理。

Description

基板检查装置

技术领域

本发明涉及用于检查印刷基板等的表面背面两面的基板检查装置。

背景技术

通常，在表面背面两面装配电子部件的印刷基板在由玻璃环氧树脂构成的基底基板的表面背面两面上具有电极图案，这些由抗蚀膜保护。

在向上述印刷基板上装配电子部件的生产线上，首先，对印刷基板的表面背面两面的预定位置印刷焊膏(焊锡印刷工序)。接着，对印刷基板的表面背面两面的预定位置涂敷粘合剂(粘合剂涂敷工序)。然后，将电子部件装配到印刷基板的表面背面两面(装配工序)。这里，电子部件变成由焊膏的粘性或者粘合剂来临时固定的状态。之后，将印刷基板导入到回焊炉，并进行焊接(回焊工序)。

在这样的生产线上，例如设置有在部件装配之前检查焊膏的印刷状态的基板检查装置(焊锡印刷检查装置)、以及进行与部件装配之后的印刷基板相关的检查的基板检查装置(装配检查装置)等。

作为上述基板检查装置，以往已知有能够同时检查印刷基板的表面背面两面的检查装置。

但是，在同时检查表面背面两面的基板检查装置中，向印刷基板的一个侧面照射的光的一部分可能透过被贯通形成在印刷基板的孔部、以及构成基底基板的玻璃环氧树脂等，泄露到印刷基板的另一侧。其结果为，在检查印刷基板的另一侧的面时，可能受到从一侧泄露的光的影响，从而降低检查精度。

为了减缓这样的问题，最近还提出如下的检查装置等：偏置印刷基板的表面背面两侧的照明单元的位置，或者在印刷基板的表面背面两侧同时由相同颜色的照明进行检查(例如，参照专利文献1)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-184022号公报。

发明内容

发明所要解决的问题

但是，即便是上述专利文献1的构成，由于从印刷基板的表面背面两侧同时照射光，因此可能发生虽然微量但光被泄露到相反的一侧的情况，因此依然担忧对于检查精度的影响。

例如，如相移法，在基于不同相位的图案光之下拍摄的多个图像数据的亮度值的不同而进行三维测量(检查)的构成中，即便是相同颜色的光，在检查印刷基板的一个侧面时，若有微量的从另一侧泄露的光，可能给检查精度带来很大的影响。

对此，假设为在结束印刷基板的表面侧的检查之后，执行背面侧的检查的构成的情况下，担忧检查时间的增加。

例如，分别在印刷基板的表面背面两面设定多个检查范围的情况下，检查时间可能显著增加(参照图9)。

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于，提供一种能够实现基板的两面检查涉及的检查精度的提高，并实现检查的高速化的基板检查装置。

用于解决问题的单元

下面，针对用于解决上述问题的各方式分项进行说明。此外，根据需要向对应的方式附记特有的作用效果。

方式1.

一种基板检查装置，所述基板检查装置检查基板的表面背面两面，其特征在于，包括：

至少一个表面侧照射单元，所述至少一个表面侧照射单元能够向所述基板的表面侧的预定的检查范围照射预定的光；

表面侧拍摄单元，所述表面侧拍摄单元能够拍摄被照射了预定的光的所述基板的表面侧的预定的检查范围；

表面侧移动单元，所述表面侧移动单元能够将所述表面侧照射单元以及所述表面侧拍摄单元移动到与所述基板的表面侧的预定的检查范围对应的位置；

至少一个背面侧照射单元，所述至少一个背面侧照射单元能够向所述基板的背面侧的预定的检查范围照射预定的光；

背面侧拍摄单元，所述背面侧拍摄单元能够拍摄被照射了预定的光的所述基板的背面侧的预定的检查范围；

背面侧移动单元，所述背面侧移动单元能够将所述背面侧照射单元以及所述背面侧拍摄单元移动到与所述基板的背面侧的预定的检查范围对应的位置；以及

检查单元，所述检查单元能够基于通过由所述表面侧照射单元及所述表面侧拍摄单元进行的所述基板的表面侧的预定的检查范围涉及的图像获取处理来获取的至少一个图像数据，执行该检查范围涉及的检查，并且能够基于通过由所述背面侧照射单元及所述背面侧拍摄单元进行的所述基板的背面侧的预定的检查范围涉及的图像获取处理来获取的至少一个图像数据，执行该检查范围涉及的检查，

在停止了来自所述背面侧照射单元的光的照射的状态下，在通过所述表面侧照射单元以及所述表面侧拍摄单元来执行所述基板的表面侧上设定的多个检查范围中的一个检查范围涉及的图像获取处理之后，

在将该表面侧照射单元以及表面侧拍摄单元移动到与下一个检查范围对应的位置的同时，停止了来自所述表面侧照射单元的光的照射的状态下，通过所述背面侧照射单元以及所述背面侧拍摄单元来执行所述基板的背面侧上设定的多个检查范围中的一个检查范围涉及的图像获取处理，

并且，

在停止了来自所述表面侧照射单元的光的照射的状态下，在通过所述背面侧照射单元以及所述背面侧拍摄单元来执行所述基板的背面侧上设定的多个检查范围中的一个检查范围涉及的图像获取处理之后，

在将该背面侧照射单元以及背面侧拍摄单元移动到与下一个检查范围对应的位置的同时，停止了来自所述背面侧照射单元的光的照射的状态下，通过所述表面侧照射单元以及所述表面侧拍摄单元来执行所述基板的表面侧上设定的多个检查范围中的一个检查范围涉及的图像获取处理，

由此，能够交替性执行所述基板的表面侧上设定的多个检查范围中的一个检查范围涉及的图像获取处理、以及所述基板的背面侧上设定的多个检查范围中的一个检查范围涉及的图像获取处理。

如上述方式1，在能够独立地驱动控制基板的表面侧涉及的照射单元及拍摄单元、以及基板的背面侧涉及的照射单元及拍摄单元的构成之下，能够实现检查效率的提高，但可能发生基板的表面背面两面的检查期间重叠的情况。在上述情况下，可能发生上述“发明所要解决的问题”中所述的问题。

关于这点，在上述方式1中，在基板的表面侧(或者背面侧)执行图像获取处理之后，将该表面侧(或者背面侧)的照射单元以及拍摄单元移动到与下一个检查范围对应的位置，并执行基板的背面侧(或者表面侧)的图像获取处理。

即，交替性反复进行基板的表面侧涉及的图像获取处理以及基板的背面侧涉及的图像获取处理，由此同步进行基板的表面侧的多个检查范围涉及的图像获取处理以及基板的背面侧的多个检查范围涉及的图像获取处理。

因此，与例如在结束基板的表面侧的多个检查范围涉及的全部图像获取处理之后，执行基板的背面侧的多个检查范围涉及的全部图像获取处理的情况相比，能够实现基板的两面检查涉及的检查的高速化。

另外，根据本方式，在基板的表面侧(或者背面侧)的图像获取期间，停止背面侧(或者表面侧)的光的照射，因此光不会泄漏至表面侧(或者背面侧)，能够获取良好精度的图像数据。由此，能够实现基板的两面检查涉及的检查精度的提高。

作为结果，能够实现基板的两面检查涉及的检查精度的提高，并能够实现检查的高速化。

方式2.

根据方式1所述的基板检查装置，其特征在于，

在所述表面侧照射单元以及所述表面侧拍摄单元的移动期间，执行由所述背面侧照射单元以及所述背面侧拍摄单元进行的图像获取处理，

并且，

在所述背面侧照射单元以及所述背面侧拍摄单元的移动期间，执行由所述表面侧照射单元以及所述表面侧拍摄单元进行的图像获取处理。

根据上述方式2，利用一者的照射单元以及拍摄单元(例如，表面侧照射单元以及表面侧拍摄单元)移动到与下一个检查范围对应的位置的期间，能够执行由另一者的照射单元以及拍摄单元(例如，背面侧照射单元以及背面侧拍摄单元)进行的图像获取处理。

由此，能够在不延长在完成基板的表面侧(或者背面侧)全区域的多个检查范围涉及的全部图像获取处理时所需的最低限度的时间(包含图像获取处理期间的移动时间)的情况下，执行基板的背面侧(或者表面侧)全区域的多个检查范围涉及的全部图像获取处理。作为结果，能够实现基板的两面检查涉及的检查的高速化。

方式3.

根据方式1或2所述的基板检查装置，其特征在于，

基于预先决定的检查顺序，向与所述基板的表面侧上设定的多个检查范围对应的位置依次移动所述表面侧照射单元以及所述表面侧拍摄单元，并依次执行该多个检查范围涉及的图像获取处理，

并且，基于预先决定的检查顺序，向与所述基板的背面侧上设定的多个检查范围对应的位置依次移动所述背面侧照射单元以及所述背面侧拍摄单元，并依次执行该多个检查范围涉及的图像获取处理，

关于所述基板的表面侧，设定所述检查顺序，使得所述表面侧照射单元以及所述表面侧拍摄单元移动的路径成为离预定的起点最短的路径，和/或

关于所述基板的背面侧，设定所述检查顺序，使得所述背面侧照射单元以及所述背面侧拍摄单元的路径成为离预定的起点最短的路径。

根据上述方式3，在基板的表面侧以及背面侧中的至少一者中，设定检查顺序，使得照射单元以及拍摄单元的移动路径成为离预定的起点(例如，预先决定的预定的检查范围、以及最后拍摄的识别标记等)最短的路径，因此能够实现进一步的检查的高速化。

方式4.

根据方式1至3中任一项所述的基板检查装置，其特征在于，

在所述基板的表面具备至少一个定位用的特定对象，并在所述基板的背面具备至少一个定位用的特定对象的构成之下，

在所述基板的表面侧，由所述表面侧拍摄单元个别拍摄所述至少一个特定对象之后，依次执行所述基板的表面侧上设定的多个检查范围涉及的图像获取处理，

并且，

在所述基板的背面侧，由所述背面侧拍摄单元个别拍摄所述至少一个特定对象之后，依次执行所述基板的背面侧上设定的多个检查范围涉及的图像获取处理。

根据上述方式4，拍摄并定位特定对象，由此能够实现基板的两面检查涉及的检查精度的进一步的提高。

例如，可以是“具备：表面侧修正单元，所述表面侧修正单元基于在所述基板的表面侧由所述表面侧拍摄单元拍摄的多个所述特定对象的位置信息，修正所述表面侧拍摄单元和所述基板的表面的相对位置关系；以及背面侧修正单元，所述背面侧修正单元基于在所述基板的背面侧由所述背面侧拍摄单元拍摄的多个所述特定对象的位置信息，修正所述基板的背面和所述基板的背面的相对位置关系”的构成。

方式5.

根据方式4所述的基板检查装置，其特征在于，

在所述基板的表面侧以及背面侧中的至少一者中，

将离所述至少一个特定对象中的最后拍摄的特定对象最短距离的检查范围作为最先执行所述图像获取处理的检查范围。

根据上述单元5，成为从位于离至少一个特定对象中最后拍摄的特定对象最近的位置的检查范围开始进行检查的构成。由此，能够缩短在最先的检查范围开始进行检查之前的时间，并能够实现检查的高速化。

方式6.

根据方式4或5所述的基板检查装置，其特征在于，包括：

存储单元，所述存储单元存储预先掌握的所述表面侧拍摄单元和所述背面侧拍摄单元的相对位置关系；以及

修正单元，所述修正单元基于在所述基板的表面侧由所述表面侧拍摄单元拍摄的一个所述特定对象的位置信息以及在所述基板的背面侧由所述背面侧拍摄单元拍摄的一个所述特定对象的位置信息，以及被存储在所述存储单元的所述表面侧拍摄单元和所述背面侧拍摄单元的相对位置关系，修正所述表面侧拍摄单元和所述基板的表面的相对位置关系、以及所述背面侧拍摄单元和所述基板的背面的相对位置关系。

根据上述方式6，将基板的表面背面两面中的一个面的特定对象的位置信息作为另一个面的位置信息而使用，由此，能够仅仅对基板的表面背面两面个别拍摄一个特定对象(无需拍摄多个特定对象)，就进行位置修正。由此，能够实现基板的两面检查涉及的检查精度的进一步的提高。

进一步地，无需分别对基板的表面背面两面拍摄多个特定对象，就能够开始进行检查，因此能够实现检查的高速化。

例如，在基板的表面背面没有位置偏离(层积偏离以及图案的偏离等)的情况下，能够基于由校准等预先求出的表面侧拍摄单元和背面侧拍摄单元的相对位置关系(两者的偏移量等)而进行上述修正。

另外，即使在基板的表面背面有位置偏离的情况下，例如能够预先掌握前工序(图案检查工序等)中检测出的基板的表面背面的位置偏离信息(基板的表面和背面的相对位置关系)，由此进行上述修正。

另外，在将贯通基板的表面背面的通孔等作为定位用的特定对象的情况下，能够在不考虑基板的表面背面的位置偏离的情况下，进行上述修正。

方式7.

根据方式1至6中任一项所述的基板检查装置，其特征在于，

所述表面侧照射单元以及所述背面侧照射单元中的至少一者构成为能够照射具有条纹状的光强度分布的图案光作为所述预定的光，

所述检查单元构成为能够基于在不同相位的所述图案光之下拍摄的多个图像数据，执行根据相移法的三维测量。

在进行利用了相移法的三维测量的情况下，如上述“发明所要解决的问题”所述，在检查基板的一侧面时，若从另一侧泄露的光即便为微量，也能够对检查精度带来很大的影响。

另外，在进行利用相移法的三维测量的情况下，需要针对一个检查范围进行多次拍摄，因此假设设置为在结束基板的表面侧的多个检查范围涉及的全部图像获取处理之后，执行基板的背面侧的多个检查范围涉及的全部图像获取处理的构成的情况下，可能显著增加检查时间。

即，在上述方式7的构成之下，进一步发挥上述方式1的作用效果，能够实现基板的两面检查涉及的检查精度的提高，并且能够实现检查的高速化。

方式8.

根据方式1至7中任一项所述的基板检查装置，其特征在于，

所述基板是印刷焊膏的印刷基板、或者形成了焊锡凸点的晶圆基板。

根据上述方式8，能够进行被印刷在印刷基板上的焊膏、或者、被形成在晶圆基板上的焊锡凸点的检查。即，在焊膏或者焊锡凸点的检查中，发挥上述各方式的作用效果，能够更精确地进行好坏判定。作为结果，能够实现在焊锡印刷检查或者焊锡凸点检查中的检查精度的提高以及检查的高速化。

附图说明

图1是示意性示出基板检查装置的简要构成图；

图2是印刷基板的部分放大剖视图；

图3是示出基板检查装置的电气构成的框图；

图4是用于说明一个检查范围涉及的图像获取处理的时序图；

图5的(a)～(c)是用于说明印刷基板的上下两面检查中的上表面检查单元以及下表面检查单元的处理动作的时序图；

图6是用于说明印刷基板的上表面侧以及下表面侧的检查顺序的说明图；

图7是用于说明其他实施方式涉及的印刷基板的上表面侧以及下表面侧的检查顺序的说明图；

图8是用于说明其他实施方式涉及的印刷基板的上表面侧以及下表面侧的检查顺序的说明图；

图9是示出印刷基板的上下两面检查中的现有的上表面检查单元以及下表面检查单元的处理动作的时序图；

图10是示出其他实施方式涉及的基板检查装置的简要构成图；

图11是示出其他实施方式涉及的二维检查用的照明装置的部分放大剖视图；

图12是示意性示出下表面检查相机的保护罩及其检查机构的一个例子的简要构成图；

图13是示意性示出下表面检查相机的保护罩及其检查机构的一个例子的简要构成图；

图14是示意性示出下表面检查相机的保护罩及其检查机构的一个例子的简要构成图；

图15是示意性示出下表面检查相机的保护罩及其检查机构的一个例子的简要构成图。

具体实施方式

〔第一实施方式〕

下面，参照附图，对一个实施方式进行说明。首先，对作为检查对象的印刷基板的构成进行详细的说明。在本实施方式中，将在表面背面两面上装配电子部件的两层基板(两面基板)作为检查对象。

如图2所示，印刷基板P1呈平板状，在由玻璃环氧树脂等构成的基底基板P2的表面背面两面上设置有由铜箔构成的电极图案P3。进一步地，在电极图案P3的预定部位(焊盘或者焊垫等)印刷形成有作为测量对象的焊膏P4。将印刷了该焊膏P4的区域称为“焊锡印刷区域”。将焊锡印刷区域以外的部分统称为“背景区域”，该背景区域包括露出了电极图案P3的区域(记号Pa)、露出了基底基板P2的区域(记号Pb)、在基底基板P2上涂布抗蚀膜P5的区域(记号Pc)、以及在电极图案P3上涂层抗蚀膜P5的区域(记号Pd)。此外，抗蚀膜P5被涂布在印刷基板P1的表面背面两面，使得除了预定布线部分以外不会焊接焊膏P4。

另外，在印刷基板P1的表面背面两面上，作为定位用的特定对象而分别附以识别标记(参照图6)。更详细地讲，在印刷基板P1的表面侧，对其四角中的预定对角线上排列的两个角落部分别附以第一识别标记〔A〕以及第二识别标记〔B〕。同样，在印刷基板P1的背面侧，在其四角中的预定对角线上排列的两个角落部分别附以第一识别标记〔a〕以及第二识别标记〔b〕。

接着，对检查印刷基板P1的基板检查装置1的构成进行详细的说明。本实施方式涉及的基板检查装置1被用作在装配电子部件的前阶段检查焊膏P4的印刷状态的焊锡印刷检查装置。图1是示意性示出基板检查装置1的简要构成图。

如图1所示，基板检查装置1具有进行印刷基板P1的运送以及定位等的运送机构2，进行印刷基板P1的上表面(表面)侧的检查的上表面检查单元3，用于进行印刷基板P1的下表面(背面)侧的检查的下表面检查单元4，以及用于实施运送机构2及两个检查单元3、4的驱动控制等基板检查装置1内的各套控制或者图像处理、运算处理的控制装置6(参照图3)。控制装置6构成本实施方式中的检查单元。

运送机构2具备沿着印刷基板P1的运送方向配置的一对运送轨道2a、被配置为相对于各运送轨道2a能够旋转的无接头的运送带2b、驱动该运送带2b的马达等的驱动单元(省略图示)、以及用于将印刷基板P1定位在预定位置的卡盘机构(省略图示)，并通过控制装置6来驱动控制。

在上述构成之下，被运入到基板检查装置1的印刷基板P1为，与运送方向正交的宽度方向的两侧边缘部分别插入到运送轨道2a，并被载置在运送带2b上。接着，运送带2b开始进行动作，印刷基板P1被运送到预定的检查位置。当印刷基板P1到达检查位置时，运送带2b停止的同时，卡盘机构工作。通过该卡盘机构的动作，运送带2b被往上推，并变成通过运送带2b和运送轨道2a的上边部来夹住印刷基板P1的两侧边缘部的状态。由此，印刷基板P1被定位固定到检查位置。当结束检查时，由卡盘机构进行的固定被解除的同时，运送带2b开始进行动作。由此，印刷基板P1从基板检查装置1运出。当然，运送机构2的构成并不限于上述方式，可以采用其他构成。

上表面检查单元3被配置在运送轨道2a(印刷基板P1的运送路)的上方，下表面检查单元4被配置在运送轨道2a(印刷基板P1的运送路)的下方。

上表面检查单元3具备：第一上表面检查照明3A及第二上表面检查照明3B，其作为向印刷基板P1的上表面的预定的检查范围从斜上方照射三维测量用的预定的条纹图案(具有条纹状的光强度分布的图案光)的表面侧照射单元；上表面检查相机3C，其作为从正上方拍摄印刷基板P1的上表面的预定的检查范围的表面侧拍摄单元；X轴移动机构3D(参照图3)，其使得能够向X轴方向的移动；以及Y轴移动机构3E(参照图3)，使得能够向Y轴方向的移动，并通过控制装置6来驱动控制。此外，“检查范围”是将上表面检查相机3C的拍摄视角(拍摄范围)的大小作为1个单位而预先设定在印刷基板P1的上表面(表面)的多个区域中的一个区域。

此外，印刷基板P1上表面的“检查范围”是将上表面检查相机3C的拍摄视角(拍摄范围)KU的大小作为1个单位而预先设定在印刷基板P1的上表面(表面)的多个区域中的一个区域(参照图6的上半部分)。

控制装置6通过驱动控制X轴移动机构3D以及Y轴移动机构3E，能够将上表面检查单元3(拍摄视角KU)移动到被定位固定在检查位置的印刷基板P1的上表面的任意检查范围的上方位置。并且，向印刷基板P1的上表面上设定的多个检查范围依次移动上表面检查单元3，并执行该检查范围涉及的检查，由此变成执行印刷基板P1的上表面全区域的检查的构成(参照图6的上半部分)。因此，由X轴移动机构3D以及Y轴移动机构3E构成本实施方式中的表面侧移动单元。

第一上表面检查照明3A具备发出预定的光的光源3Aa、以及将来自该光源3Aa的光转换为条纹图案的光栅板3Ab，并通过控制装置6来驱动控制。这里，从光源3Aa发出的光被引导到聚光镜(省略图示)，由此变成平行光之后，经由光栅板3Ab而引导到投影镜头(省略图示)，并作为条纹图案而投影到印刷基板P1。

光栅板3Ab设定为如下配置构成：在与光源3Aa的光轴正交的预定方向上交替性排列透过光的直线状的透光部以及遮挡光的直线状的遮光部的。由此，能够向印刷基板P1投影具有矩形波状或者梯形波状的光强度分布的条纹图案。在本实施方式中，投影如下条纹图案，所述条纹图案的条纹的方向与X轴方向平行、且与Y轴方向正交。

通常，通过光栅板3Ab的光不是完全的平行光，由于透光部以及遮光部的边界部中的衍射作用等，在条纹图案的“明部”以及“暗部”的边界部可能产生中间灰度区域，因此不会变成完全的矩形波。

这里，虽然根据光栅板3Ab的透光部以及遮光部的配置间隔等构成而不同，但在“明部”和“暗部”的边界部中的中间灰度区域的亮度梯度陡峭的情况下，变成具有矩形波状的光强度分布的条纹图案，在中间灰度区域的亮度梯度平缓的情况下，变成具有梯形波状的光强度分布的条纹图案。

进一步地，第一上表面检查照明3A具有移动光栅板3Ab的马达等的驱动单元(省略图示)。控制装置6通过驱动控制该驱动单元，能够进行以一定速度向与光源3Aa的光轴正交的所述预定方向连续移动光栅板3Ab的处理。由此，能够向印刷基板P1投影，使得条纹图案沿着Y轴方向移动。

第二上表面检查照明3B具备发出预定的光的光源3Ba、以及将来自该光源3Ba的光转换为条纹图案的光栅板3Bb，并通过控制装置6来驱动控制。此外，第二上表面检查照明3B(光源3Ba以及光栅板3Bb等)涉及的构成与上述第一上表面检查照明3A相同，因此省略详细的说明。

上表面检查相机3C具有镜片以及拍摄元件等。在本实施方式中，作为拍摄元件而采用CCD传感器。

上表面检查相机3C通过控制装置6来驱动控制。更详细地讲，控制装置6基于来自被设置在光栅板3Ab、3Bb的驱动单元的编码器(省略图示)的信号，与光栅板3Ab、3Bb的移动处理同步，并执行由上表面检查相机3C进行的拍摄处理。

由上表面检查相机3C拍摄的图像数据在该上表面检查相机3C内部转换成数字信号之后，以数字信号的形式传送到控制装置6，并存储到后面叙述的图像数据存储装置24。并且，控制装置6基于该图像数据，实施如后面叙述的图像处理以及运算处理等。

与上述上表面检查单元3同样，下表面检查单元4具备：第一下表面检查照明4A及第二下表面检查照明4B，其作为向印刷基板P1的下表面的预定的检查范围从斜下方照射三维测量用的预定的条纹图案(具有条纹状的光强度分布的图案光)的表面侧照射单元；下表面检查相机4C，其作为从正下方拍摄印刷基板P1的下表面的预定的检查范围的表面侧拍摄单元；X轴移动机构4D，其使得能够向X轴方向移动(参照图3)、以及Y轴移动机构4E，其使得能够向Y轴方向移动(参照图3)，并通过控制装置6来驱动控制。

此外，印刷基板P1下表面的“检查范围”是将下表面检查相4C的拍摄视角(拍摄范围)KL的大小作为1个单位而预先设定在印刷基板P1的下表面(背面)的多个区域中的一个区域(参照图6的下端)。

控制装置6通过驱动控制X轴移动机构4D以及Y轴移动机构4E，能够将下表面检查单元4(拍摄视角KL)移动到被定位固定在检查位置的印刷基板P1的下表面的任意检查范围的下方位置。并且，向印刷基板P1的下表面上设定的多个检查范围依次移动下表面检查单元4，并执行该检查范围涉及的检查，由此变成执行印刷基板P1的下表面全区域的检查的构成(参照图6的下端)。因此，由X轴移动机构4D以及Y轴移动机构4E构成本实施方式中的背面侧移动单元。

第一下表面检查照明4A具备发出预定的光的光源4Aa、以及将来自该光源4Aa的光转换为条纹图案的光栅板4Ab，并通过控制装置6来驱动控制。此外，第一下表面检查照明4A(光源4Aa以及光栅板4Ab等)涉及的构成与上述第一上表面检查照明3A相同，因此省略详细的说明。

第二下表面检查照明4B具备发出预定的光的光源4Ba、以及将来自该光源4Ba的光转换为条纹图案的光栅板4Bb，并通过控制装置6来驱动控制。此外，第二下表面检查照明4B(光源4Ba以及光栅板4Bb等)涉及的构成与上述第一上表面检查照明3A相同，因此省略详细的说明。

下表面检查相机4C具有透镜以及拍摄元件等。在本实施方式中，作为拍摄元件而采用CCD传感器。此外，下表面检查相机4C涉及的构成与上述上表面检查相机3C相同，因此省略详细的说明。

接着，参照图3，对控制装置6的电气构成进行说明。如图3所示，控制装置6具有负责基板检查装置1整体的控制的CPU以及输入输出接口21(下表面，称为“CPU等21”)，作为由键盘、鼠标以及触摸屏等构成的“输入单元”的输入装置22，作为具有CRT以及液晶等的显示画面的“显示单元”的显示装置23，用于存储由上表面检查相机3C以及下表面检查相机4C拍摄的图像数据等的图像数据存储装置24，用于存储各种运算结果的运算结果存储装置25，用于预先存储光绘文件(包含与识别标记相关的信息)等的各种信息的设定数据存储装置26等。此外，这些各装置22～26与CPU等21电连接。

在设定数据存储装置26中存储有与分别设定在印刷基板P1的上下两面的多个检查范围以及其检查顺序相关的信息。这里，“检查顺序”是指，针对印刷基板P1的上表面(或者下表面)上设定的多个检查范围进行的检查而决定的顺序。即，针对多个检查范围的上表面检查相机3C的拍摄视角KU(或者下表面检查相机4C的拍摄视角KL)的移动顺序而决定的。

此外，印刷基板P1的上下两面涉及的多个检查范围及其检查顺序的设定基于光绘文件(Gerber data)等，预先由预定的程序自动进行或者由作业者手动进行。更详细的讲，在印刷基板P1的上表面侧(或者下表面侧)设定检查顺序，使得上表面检查单元3(或者下表面检查单元4)移动的路径变成从预定的起点最短路径。

在本实施方式中，以预先决定的预定的检查范围为起点，设定检查顺序。例如，在如图6所示的印刷基板P1的上表面侧的例子中，以右上角落部的检查范围为起点，设定检查顺序，在印刷基板P1的下表面侧的例子中，以左上角落部的检查范围为起点，设定检查顺序。

代替这个，例如可以为如下构成：在印刷基板P1的上表面侧(或者下表面侧)，以两个识别标记〔A〕、〔B〕(或者〔a〕、〔b〕)中的最后拍摄的识别标记为起点，以上表面检查单元3(或者下表面检查单元4)的移动路径变得最短的方式设定检查顺序。

此外，图6中由虚线框围绕的范围示出检查范围或者拍摄视角，这里标记的数字“1”～“15”示出检查顺序。另外，在图6中，以箭头表示上表面检查单元3及下表面检查单元4的移动方向(移动路径)。

接着，对于由基板检查装置1进行的、对于印刷基板P1的检查例行程序，进行说明。上述检查例行程序由控制装置6(CPU等21)中执行。

在本实施方式中，交替性进行印刷基板P1的上表面侧的预定的检查范围涉及的检查处理(由以上表面检查相机3C进行的多次拍摄处理形成的一次图像获取处理)、以及印刷基板P1的下表面侧的预定的检查范围涉及的检查处理(由以下表面检查相机4C进行的多次拍摄处理形成的一次图像获取处理)。

下面，参照图5的(a)、图6进行详细的说明。图5的(a)是用于说明在进行印刷基板P1的上表面侧的第“1”～第“15”检查范围涉及的检查处理(图像获取处理)、以及在进行下表面侧的第“1”～第“15”检查范围涉及的检查处理(图像获取处理)时的上表面检查单元3及下表面检查单元4的处理动作的时序图。

此外，图5的(a)中的“A”以及“B”分别示出图6所示的印刷基板P1的上表面的第一识别标记〔A〕以及第二识别标记〔B〕作为拍摄对象的情况。同样，图5的(a)中的“a”以及“b”分别示出图6所示的印刷基板P1的下表面的第一识别标记〔a〕以及第二识别标记〔b〕作为拍摄对象的情况。另外，图5的(a)中的“1”～“15”分别示出图6所示的印刷基板P1的上下表面的第“1”～第“15”检查范围作为拍摄对象的情况。

如上所述，当被运入到基板检查装置1的印刷基板P1被定位在预定的检查位置时，控制装置6首先移动上表面检查单元3，将上表面检查相机3C的拍摄视角KU与印刷基板P1上表面的第一识别标记〔A〕匹配，并移动下表面检查单元4，将下表面检查相机4C的拍摄视角KL与印刷基板P1下表面的第一识别标记〔a〕匹配。

接着，控制装置6在停止来自下表面检查单元4(第一下表面检查照明4A以及第二下表面检查照明4B)的光的照射的状态下，从第一上表面检查照明3A或者第二上表面检查照明3B照射光，并拍摄印刷基板P1上表面的第一识别标记〔A〕。

此外，当拍摄第一识别标记〔A〕时，不经由光栅板3Ab而照射来自光源3Aa的光，由此变成照射不是条纹图案的、均匀的光的构成(下面，在拍摄其他识别标记时也相同)。

结束该第一识别标记〔A〕的拍摄处理的同时，控制装置6开始进行将上表面检查单元3移动到与印刷基板P1上表面的第二识别标记〔B〕对应的位置的移动处理。

同时，控制装置6在停止来自上表面检查单元3(第一上表面检查照明3A以及第二上表面检查照明3B)的光的照射的状态下，从第一下表面检查照明4A或者第二下表面检查照明4B照射光，并拍摄印刷基板P1下表面的第一识别标记〔a〕。

结束该第一识别标记〔a〕的拍摄处理的同时，控制装置6开始进行将下表面检查单元4移动到与印刷基板P1下表面的第二识别标记〔b〕对应的位置的移动处理。

之后，在上表面检查单元3的移动处理结束，并且上表面检查相机3C的拍摄视角KU与印刷基板P1上表面的第二识别标记〔B〕匹配时，控制装置6在停止来自下表面检查单元4(第一下表面检查照明4A以及第二下表面检查照明4B)的光的照射的状态下，从第一上表面检查照明3A或者第二上表面检查照明3B照射光，并拍摄印刷基板P1上表面的第二识别标记〔B〕。

结束该第二识别标记〔B〕的拍摄处理的同时，控制装置6按照被存储在设定数据存储装置26的检查顺序，开始进行将上表面检查单元3移动到与印刷基板P1上表面的第“1”检查范围对应的位置的移动处理。

同时，控制装置6在停止来自上表面检查单元3(第一上表面检查照明3A以及第二上表面检查照明3B)的光的照射的状态下，从第一下表面检查照明4A或者第二下表面检查照明4B照射光，并拍摄印刷基板P1下表面的第二识别标记〔b〕。

结束该第二识别标记〔b〕的拍摄处理的同时，控制装置6按照被存储在设定数据存储装置26的检查顺序，开始进行将下表面检查单元4移动到与印刷基板P1下表面的第“1”检查范围对应的位置的移动处理。

此外，关于印刷基板P1上表面，控制装置6在结束第一识别标记〔A〕以及第二识别标记〔B〕的拍摄处理时，在上述移动处理期间，计算出由上述拍摄处理获取的图像数据涉及的第一识别标记〔A〕以及第二识别标记〔B〕的位置坐标、以及光绘文件涉及的第一识别标记〔A〕以及第二识别标记〔B〕的位置坐标之间的偏离，并对两者的偏离进行修正。

即，对上表面检查单元3(上表面检查相机3C)和印刷基板P1上表面之间的相对位置关系的偏离进行修正。通过上述处理功能来构成本实施方式中的表面侧修正单元。当然，可以是如下构成：不是在移动处理期间进行偏离修正，而是在结束第二识别标记〔B〕的拍摄处理、且对偏离进行了修正之后，开始进行将上表面检查单元3移动到与印刷基板P1上表面的第“1”检查范围对应的位置的移动处理。

同样，关于印刷基板P1下表面，控制装置6在结束第一识别标记〔a〕以及第二识别标记〔b〕的拍摄处理时，在上述移动处理期间，计算出由上述拍摄处理获取的图像数据涉及的第一识别标记〔a〕以及第二识别标记〔b〕的位置坐标、以及光绘文件涉及的第一识别标记〔a〕以及第二识别标记〔b〕的位置坐标之间的偏离，并对两者的偏离进行修正。

即，对于下表面检查单元4(下表面检查相机4C)和印刷基板P1下表面之间的相对位置关系的偏离进行修正。通过上述处理功能来构成本实施方式中的背面侧修正单元。当然，可以是如下构成：不是在移动处理期间进行偏离修正，而是在结束第二识别标记〔b〕的拍摄处理、且对偏离进行了修正之后，开始进行将下表面检查单元4移动到与印刷基板P1下表面的第“1”检查范围对应的位置的移动处理。

之后，在结束上表面检查单元3的移动处理，并且上表面检查相机3C的拍摄视角KU与印刷基板P1上表面的第“1”检查范围匹配时，控制装置6在停止来自下表面检查单元4(第一下表面检查照明4A以及第二下表面检查照明4B)的光的照射的状态下，从第一上表面检查照明3A或者第二上表面检查照明3B照射条纹图案，并执行印刷基板P1上表面的第“1”检查范围涉及的图像获取处理。后面叙述上述图像获取处理的细节(关于其他检查范围涉及的图像获取处理也相同)。

在这期间(印刷基板P1上表面的第“1”检查范围涉及的图像获取处理的执行期间中)，结束下表面检查单元4的上述移动处理(移动到与印刷基板P1下表面的第“1”检查范围对应的位置的移动处理)，下表面检查相机4C的拍摄视角KL与印刷基板P1下表面的第“1”检查范围匹配。

之后，当结束印刷基板P1上表面的第“1”检查范围涉及的图像获取处理时，控制装置6按照被存储在设定数据存储装置26的检查顺序，开始进行将上表面检查单元3移动到与印刷基板P1上表面的第“2”检查范围对应的位置的移动处理。

同时，控制装置6在停止来自上表面检查单元3(第一上表面检查照明3A以及第二上表面检查照明3B)的光的照射的状态下，从第一下表面检查照明4A或者第二下表面检查照明4B照射条纹图案，并执行印刷基板P1下表面的第“1”检查范围涉及的图像获取处理。

在这期间(印刷基板P1下表面的第“1”检查范围涉及的图像获取处理的执行期间中)，上表面检查单元3的上述移动处理(移动到与印刷基板P1上表面的第“2”检查范围对应的位置的移动处理)结束，上表面检查相机3C的拍摄视角KU与印刷基板P1上表面的第“2”检查范围匹配。

之后，当结束印刷基板P1下表面的第“1”检查范围涉及的图像获取处理时，控制装置6按照被存储在设定数据存储装置26的检查顺序，开始进行将下表面检查单元4移动到与印刷基板P1下表面的第“2”检查范围对应的位置的移动处理。

同时，控制装置6在停止来自下表面检查单元4(第一下表面检查照明4A以及第二下表面检查照明4B)的光的照射的状态下，从第一上表面检查照明3A或者第二上表面检查照明3B照射条纹图案，并执行印刷基板P1上表面的第“2”检查范围涉及的图像获取处理。

在这期间(印刷基板P1上表面的第“2”检查范围涉及的图像获取处理的执行期间中)，结束下表面检查单元4的上述移动处理(移动到与印刷基板P1下表面的第“2”检查范围对应的位置的移动处理)，下表面检查相机4C的拍摄视角KL与印刷基板P1下表面的第“2”检查范围匹配。

之后，当结束印刷基板P1上表面的第“2”检查范围涉及的图像获取处理时，控制装置6按照被存储在设定数据存储装置26的检查顺序，开始进行将上表面检查单元3移动到与印刷基板P1上表面的第“3”检查范围对应的位置的移动处理。

同时，控制装置6在停止来自上表面检查单元3(第一上表面检查照明3A以及第二上表面检查照明3B)的光的照射的状态下，从第一下表面检查照明4A或者第二下表面检查照明4B照射条纹图案，并执行印刷基板P1下表面的第“2”检查范围涉及的图像获取处理。

以下同样，交替性进行由上表面检查单元3进行的印刷基板P1上表面的第“3”～第“15”检查范围涉及的图像获取处理以及此间的移动处理、以及由下表面检查单元4进行的印刷基板P1下表面的第“3”～第“15”次的检查范围涉及的图像获取处理以及此间的移动处理，由此结束印刷基板P1的上下两面涉及的检查。

接着，对于通过基板检查装置1来针对印刷基板P1的上下表面的各检查范围进行的图像获取处理进行说明。上述图像获取处理是由控制装置6(CPU等21)执行的。

在本实施方式中，在印刷基板P1的上表面侧的各检查范围涉及的检查中，改变从第一上表面检查照明3A照射的条纹图案的相位，并在不同相位的条纹图案之下进行四次拍摄处理之后，改变从第二上表面检查照明3B照射的条纹图案的相位，并在不同相位的条纹图案之下进行四次拍摄处理，由此执行共八次获取图像数据的图像获取处理。

同样，在印刷基板P1的下表面侧的各检查范围涉及的检查中，改变从第一下表面检查照明4A照射的条纹图案的相位，并在不同相位的条纹图案之下进行四次拍摄处理之后，改变从第二下表面检查照明4B照射的条纹图案的相位，并在不同相位的条纹图案之下进行四次拍摄处理，由此执行共八次获取图像数据的图像获取处理。

下面，将印刷基板P1的上表面侧的检查作为例子，参照图4对各检查范围进行的检查例行程序(图像获取处理)进行详细的说明。

当上表面检查相机3C的拍摄视角KU与印刷基板P1上表面的预定的检查范围匹配时，控制装置6驱动控制第一上表面检查照明3A，并将光栅板3Ab的位置设定成初始设定位置(被投影到预定位置的条纹图案的相位变成“0°”的位置)。同时，控制装置6驱动控制第二上表面检查照明3B，并将光栅板3Bb的位置设定成初始设定位置(被投影到预定位置的条纹图案的相位变成“0°”的位置)。

在结束上述设定之后，控制装置6驱动控制第一上表面检查照明3A以及上表面检查相机3C，并在从第一上表面检查照明3A照射的条纹图案之下开始进行第一次拍摄处理(曝光处理)。

详细地讲，控制装置6使第一上表面检查照明3A的光源3Aa发光，开始进行条纹图案的照射，并开始进行光栅板3Ab的移动处理。由此，被投影到检查范围的条纹图案以一定速度沿着Y轴方向连续移动。

并且，控制装置6在条纹图案的照射开始(光栅板3Ab的移动开始)的同时，开始进行由上表面检查相机3C进行的拍摄处理。

当开始进行上述第一次拍摄处理时，在被投影到所述预定位置的条纹图案的相位变化至0°～45°期间，连续进行曝光。

并且，当结束第一次拍摄处理时，控制装置6停止来自光源3Aa的光的照射，并进行由上表面检查相机3C拍摄的图像数据的读取。由此，从上表面检查相机3C向控制装置6传送图像数据。这里，控制装置6将读取的图像数据存储在图像数据存储装置24。

另一方面，光栅板3Ab的移动处理在第一次拍摄处理的结束之后也不结束，之后，直到在从第一上表面检查照明3A照射的条纹图案之下的第四次拍摄处理结束为止，没有中断地持续进行。

此外，连续移动被投影到印刷基板P1的具有矩形波状或者梯形波状的光强度分布的条纹图案，通过对其连续拍摄(曝光)，能够获取具有正弦波状的光强度分布的图像数据(参照日本专利特愿2015-231661)。

接着，在从第一次拍摄处理结束起经过预定时间之后，在能够投影到所述预定位置的条纹图案的相位变成90°的时刻，控制装置6再次使第一上表面检查照明3A的光源3Aa发光，开始进行条纹图案的照射，并开始进行由上表面检查相机3C进行的拍摄处理。由此，开始进行在从第一上表面检查照明3A照射的条纹图案之下的第二次拍摄处理。

当开始进行上述第二次拍摄处理时，在被投影到所述预定位置的条纹图案的相位变化至90°～135°的期间，连续进行曝光。

并且，当结束第二次拍摄处理时，控制装置6停止来自光源3Aa的光的照射，并进行由上表面检查相机3C拍摄的图像数据的读取，将读取的图像数据存储在图像数据存储装置24。

在从第二次拍摄处理结束起经过预定时间之后，在能够投影到所述预定位置的条纹图案的相位变成180°的时刻，控制装置6再次使第一上表面检查照明3A的光源3Aa发光，开始进行条纹图案的照射，并开始进行由上表面检查相机3C进行的拍摄处理。由此，开始进行在从第一上表面检查照明3A照射的条纹图案之下的第三次拍摄处理。

当开始进行上述第三次拍摄处理时，在被投影到所述预定位置的条纹图案的相位变化至180°～225°期间，连续进行曝光。

并且，当结束第三次拍摄处理时，控制装置6停止来自光源3Aa的光的照射，并进行由上表面检查相机3C拍摄的图像数据的读取，将读取的图像数据存储在图像数据存储装置24中。

在从第三次拍摄处理结束起经过预定时间之后，在能够投影到所述预定位置的条纹图案的相位变成270°的时刻，控制装置6再次使第一上表面检查照明3A的光源3Aa发光，开始进行条纹图案的照射，并开始进行由上表面检查相机3C进行的拍摄处理。由此，开始进行在从第一上表面检查照明3A照射的条纹图案之下的第四次拍摄处理。

当开始进行上述第四次拍摄处理时，在被投影到所述预定位置的条纹图案的相位变化至270°～315°期间，连续进行曝光。

并且，当结束第四次拍摄处理时，控制装置6停止来自光源3Aa的光的照射，并进行由上表面检查相机3C拍摄的图像数据的读取，将读取的图像数据存储在图像数据存储装置24。同时，控制装置6结束光栅板3Ab的移动处理。

在从第四次拍摄处理结束起经过预定时间之后(例如，数据传送期间的结束之后)，控制装置6驱动控制第二上表面检查照明3B以及上表面检查相机3C，并开始进行该检查范围涉及的第五次拍摄处理(在从第二上表面检查照明3B照射的条纹图案之下的第一次拍摄处理)。

详细地讲，控制装置6使第二上表面检查照明3B的光源3Ba发光，开始进行条纹图案的照射，并开始进行光栅板3Bb的移动处理。由此，被投影到检查范围的条纹图案以一定速度沿着Y轴方向连续移动。

并且，控制装置6在条纹图案的照射开始(光栅板3Bb的移动开始)的同时，开始进行由上表面检查相机3C进行的拍摄处理。

当开始进行上述第五次拍摄处理时，在被投影到所述预定位置的条纹图案的相位变化至0°～45°期间，连续进行曝光。

并且，当结束第五次拍摄处理时，控制装置6停止来自光源3Ba的光的照射，并进行由上表面检查相机3C拍摄的图像数据的读取。由此，从上表面检查相机3C向控制装置6传送图像数据。这里，控制装置6将读取的图像数据存储在图像数据存储装置24。

另一方面，光栅板3Bb的移动处理在第五次拍摄处理(在从第二上表面检查照明3B照射的条纹图案之下的第一次拍摄处理)的结束之后也不结束，之后，直到在该检查范围涉及的第八次拍摄处理(在从第二上表面检查照明3B照射的条纹图案之下的第四次拍摄处理)结束为止，没有中断地持续进行。

在从第五次拍摄处理结束起经过预定时间之后，在能够投影到所述预定位置的条纹图案的相位变成90°的时刻，控制装置6再次使第二上表面检查照明3B的光源3Ba发光，开始进行条纹图案的照射，并开始进行由上表面检查相机3C进行的拍摄处理。由此，开始进行该检查范围涉及的第六次拍摄处理(在从第二上表面检查照明3B照射的条纹图案之下的第二次拍摄处理)。

当开始进行上述第六次拍摄处理时，在被投影到所述预定位置的条纹图案的相位变化至90°～135°期间，连续进行曝光。

并且，当结束第六次拍摄处理时，控制装置6停止来自光源3Ba的光的照射，并进行由上表面检查相机3C拍摄的图像数据的读取，将读取的图像数据存储在图像数据存储装置24。

在从第六次拍摄处理结束起经过预定时间之后，在能够投影到所述预定位置的条纹图案的相位变成180°的时刻，控制装置6再次使第二上表面检查照明3B的光源3Ba发光，开始进行条纹图案的照射，并开始进行由上表面检查相机3C进行的拍摄处理。由此，开始进行该检查范围涉及的第七次拍摄处理(在从第二上表面检查照明3B照射的条纹图案之下的第三次拍摄处理)。

当开始进行上述第七次拍摄处理时，在被投影到所述预定位置的条纹图案的相位变化至180°～225°期间，连续进行曝光。

并且，当结束第七次拍摄处理时，控制装置6停止来自光源3Ba的光的照射，并进行由上表面检查相机3C拍摄的图像数据的读取，将读取的图像数据存储在图像数据存储装置24。

在从第七次拍摄处理结束起经过预定时间之后，在能够投影到所述预定位置的条纹图案的相位变成270°的时刻，控制装置6再次使第二上表面检查照明3B的光源3Ba发光，开始进行条纹图案的照射，并开始进行由上表面检查相机3C进行的拍摄处理。由此，开始进行该检查范围涉及的第八次拍摄处理(在从第二上表面检查照明3B照射的条纹图案之下的第四次拍摄处理)。

当开始进行上述第八次拍摄处理时，在被投影到所述预定位置的条纹图案的相位变化至270°～315°期间，连续进行曝光。

并且，当结束第八次拍摄处理时，控制装置6停止来自光源3Ba的光的照射，并进行由上表面检查相机3C拍摄的图像数据的读取，将读取的图像数据存储在图像数据存储装置24。同时，控制装置6结束光栅板3Bb的移动处理，并结束该检查范围涉及的图像获取处理。

通过进行上述图像获取处理(八次拍摄处理)，来获取在从第一上表面检查照明3A照射的条纹图案之下拍摄的四套图像数据、以及在从第二上表面检查照明3B照射的条纹图案之下拍摄的四套图像数据的共八套图像数据。

如上述，在本实施方式中，在各条纹图案之下拍摄的四套图像数据分别变成与以使具有正弦波状的光强度分布的条纹图案的相位各位移90°的方式拍摄的四套图像数据相同的图像数据。

并且，控制装置6基于在各条纹图案之下拍摄的四套图像数据(各像素的亮度值)，通过公知的相移法来进行三维测量(高度测量)，并将上述测量结果存储在运算结果存储装置25。此外，在本实施方式中，从两个方向照射条纹图案并进行三维测量，因此能够防止未被照射条纹图案的阴影部分的产生。

接着，控制装置6基于三维测量结果(各坐标中的高度数据)，进行焊膏P4的好坏判定处理。具体而言，控制装置6基于如上述获得的检查范围的测量结果，检测基准面变高的焊膏P4的印刷范围，并对该范围内的各部位的高度进行积分，由此计算被印刷的焊膏P4的量。

接着，控制装置6对由此求出的焊膏P4的位置、面积、高度或者量等的数据和被预先存储在设定数据存储装置26的基准数据(光绘文件等)进行比较判定，并基于该比较结果是否处于允许范围内，判定此检查范围的焊膏P4的印刷状态的好坏。

在上述第八次拍摄处理的结束之后，在进行上述好坏判定处理期间，控制装置6将上表面检查单元3移动到下一个检查范围。之后，在印刷基板P1的上表面的所有检查范围内反复进行上述一系列处理，由此结束印刷基板P1的上表面整体的检查。此外，印刷基板P1的下表面侧的检查的流程与上表面侧的检查的流程相同，因此省略详细的说明。

如上详细叙述的，根据本实施方式，变成如下构成：在印刷基板P1的上表面侧(或者下表面侧)执行预定的检查范围涉及的图像获取处理之后，将上表面检查单元3(或者下表面检查单元4)移动到与下一个检查范围对应的位置，并在印刷基板P1的下表面侧(或者上表面侧)执行预定的检查范围涉及的图像获取处理。

即，交替性反复进行印刷基板P1的上表面侧的预定的检查范围涉及的图像获取处理、以及印刷基板P1的下表面侧的预定的检查范围涉及的图像获取处理，由此能够同步进行印刷基板P1的上表面侧全区域的多个检查范围涉及的图像获取处理、以及印刷基板P1的下表面侧全区域的多个检查范围涉及的图像获取处理。

因此，如图9所示的现有例，与在结束印刷基板P1的上表面侧全区域的多个检查范围涉及的全部图像获取处理之后，执行印刷基板P1的下表面侧全区域的多个检查范围涉及的全部图像获取处理的情况相比，能够实现印刷基板P1的两面检查涉及的检查的高速化。

另外，在本实施方式中，在印刷基板P1的上表面侧(或者下表面侧)的预定的检查范围的图像获取期间中，停止下表面侧(或者上表面侧)的光的照射，因此能够在光不泄漏到上表面侧(或者下表面侧)的情况下，获取精度良好的图像数据。由此，能够实现印刷基板P1的两面检查涉及的检查精度的提高。

作为结果，能够实现印刷基板P1的两面检查涉及的检查精度的提高，并能够实现检查的高速化。

〔第二实施方式〕

下面，参照图5的(b)、图7，对第二实施方式进行说明。图5的(b)是用于说明本实施方式中的上表面检查单元3及下表面检查单元4的处理动作的时序图，图7是用于说明本实施方式中的印刷基板P1的上表面侧及下表面侧的检查顺序(上表面检查单元3及下表面检查单元4的移动路径)的说明图。此外，关于与第一实施方式相同的构成部分，附以相同符号，并省略其详细的说明。

在第二实施方式中，印刷基板P1的上表面侧的检查顺序(上表面检查单元3的移动路径)与第一实施方式不同。另一方面，印刷基板P1的下表面侧的检查顺序(下表面检查单元4的移动路径)与第一实施方式相同。

控制装置6首先移动上表面检查单元3，并将上表面检查相机3C的拍摄视角KU与印刷基板P1上表面的第一识别标记〔A〕匹配，并且，移动下表面检查单元4，并将下表面检查相机4C的拍摄视角KL与印刷基板P1下表面的第一识别标记〔a〕匹配。

接着，控制装置6拍摄印刷基板P1上表面的第一识别标记〔A〕。并且，在结束该拍摄处理的同时，控制装置6开始进行将上表面检查单元3移动到与印刷基板P1上表面的第二识别标记〔B〕对应的位置的移动处理。

同时，控制装置6拍摄印刷基板P1下表面的第一识别标记〔a〕。并且，在结束该拍摄处理的同时，控制装置6开始进行将下表面检查单元4移动到与印刷基板P1下表面的第二识别标记〔b〕对应的位置的移动处理。

之后，当结束上表面检查单元3的移动处理，并且上表面检查相机3C的拍摄视角KU与印刷基板P1上表面的第二识别标记〔B〕匹配时，控制装置6拍摄印刷基板P1上表面的第二识别标记〔B〕。

该拍摄处理的结束的同时，控制装置6按照被存储在设定数据存储装置26的检查顺序，开始进行将上表面检查单元3移动到与印刷基板P1上表面的第“1”检查范围对应的位置的移动处理。

此外，在本实施方式中，此处，将离第一识别标记〔A〕及第二识别标记〔B〕中最后拍摄的第二识别标记〔B〕最短距离的检查范围作为最先执行图像获取处理的第“1”检查范围。在图7所示的印刷基板P1的上表面侧的例子中，左上角落部的检查范围变成第“1”检查范围。并且，设定检查顺序，使得在该第“1”检查范围为起点时，上表面检查单元3的移动路径变成最短路径。

另外，上表面检查单元3的上述移动处理的开始的同时，控制装置6拍摄印刷基板P1下表面的第二识别标记〔b〕。并且，在该拍摄处理的结束的同时，控制装置6按照被存储在设定数据存储装置26的检查顺序，开始进行将下表面检查单元4移动到与印刷基板P1下表面的第“1”检查范围对应的位置的移动处理。

此外，在本实施方式中，关于印刷基板P1的下表面侧，并不是离第一识别标记〔a〕及第二识别标记〔b〕中最后拍摄的第二识别标记〔b〕最短距离的检查范围变成最先执行图像获取处理的第“1”检查范围，印刷基板P1的下表面侧的检查顺序(下表面检查单元4的移动路径)变得与第一实施方式相同。即，在图7所示的印刷基板P1的下表面侧的例子中，左上角落部的检查范围变成第“1”检查范围。并且，设定检查顺序，使得在该第“1”检查范围为起点时，下表面检查单元4的移动路径变成最短路径。

另外，在下表面检查单元4的上述移动处理的开始的同时，结束上表面检查单元3的移动处理，并且上表面检查相机3C的拍摄视角KU与印刷基板P1上表面的第“1”检查范围匹配时，控制装置6执行印刷基板P1上表面的第“1”检查范围涉及的图像获取处理。

并且，当结束该图像获取处理时，控制装置6按照被存储在设定数据存储装置26的检查顺序，开始进行将上表面检查单元3移动到与印刷基板P1上表面的第“2”检查范围对应的位置的移动处理。

之后，在结束下表面检查单元4的移动处理，并且下表面检查相机4C的拍摄视角KL与印刷基板P1下表面的第“1”检查范围匹配时，控制装置6执行印刷基板P1下表面的第“1”检查范围涉及的图像获取处理。

此后，与第一实施方式同样，交替性执行由上表面检查单元3进行的印刷基板P1上表面的第“2”～第“15”检查范围涉及的图像获取处理以及此间的移动处理、以及由下表面检查单元4进行的印刷基板P1下表面的第“2”～第“15”检查范围涉及的图像获取处理以及此间的移动处理，由此结束印刷基板P1的上下两面涉及的检查。

如上详细叙述，根据本实施方式，印刷基板P1的上表面侧可以变成如下构成：从位于离第一识别标记〔A〕以及第二识别标记〔B〕中最后拍摄的第二识别标记〔B〕最近的位置的检查范围开始进行检查。由此，能够缩短在最先的检查范围开始进行检查之前的时间，并能够实现检查的高速化。

此外，如上所述，在本实施方式中，关于印刷基板P1的下表面侧，离第一识别标记〔a〕以及第二识别标记〔b〕中最后拍摄的第二识别标记〔b〕最短距离的检查范围没有变成最先执行图像获取处理的第“1”检查范围，但除了印刷基板P1的上表面侧之外，印刷基板P1的下表面侧的检查顺序(下表面检查单元4的移动路径)也可以变成如下构成：从位于离第一识别标记〔a〕以及第二识别标记〔b〕中最后拍摄的第二识别标记〔b〕最近的位置的检查范围开始进行检查。例如，在图7所示的印刷基板P1的下表面侧的例子中，可以将左下角落部的检查范围作为第“1”检查范围。

另外，相反，还可以设为如下构成：将印刷基板P1的上表面侧的检查顺序设定成与第一实施方式相同的同时，仅对印刷基板P1的下表面侧的检查顺序(下表面检查单元4的移动路径)从位于离第一识别标记〔a〕以及第二识别标记〔b〕中最后拍摄的第二识别标记〔b〕最近的位置的检查范围开始进行检查。

〔第三实施方式〕

参照参照图5的(c)、图8，对第三实施方式进行说明。图5的(c)是用于说明本实施方式中的上表面检查单元3以及下表面检查单元4的处理动作的时序图，图8是用于说明本实施方式中的印刷基板P1的上表面侧及下表面侧的检查顺序(上表面检查单元3以及下表面检查单元4的移动路径)的说明图。此外，关于与第一实施方式相同的构成部分，附以相同的符号，并省略其详细的说明。

在第三实施方式中，印刷基板P1的上下两面涉及的位置修正以及关于它们的处理处理(识别标记的拍摄顺序等)与第一实施方式不同。

控制装置6首先移动上表面检查单元3，并将上表面检查相机3C的拍摄视角KU与印刷基板P1上表面的第一识别标记〔A〕匹配的同时，移动下表面检查单元4，并将下表面检查相机4C的拍摄视角KL与印刷基板P1下表面的第二识别标记〔b〕匹配。

接着，控制装置6拍摄印刷基板P1上表面的第一识别标记〔A〕。并且，在该拍摄处理的结束的同时，控制装置6拍摄印刷基板P1下表面的第二识别标记〔b〕。

并且，在该拍摄处理的结束的同时，控制装置6按照被存储在设定数据存储装置26的检查顺序，开始进行将上表面检查单元3移动到与印刷基板P1上表面的第“1”检查范围对应的位置的移动处理的同时，开始进行将下表面检查单元4移动到与印刷基板P1下表面的第“1”检查范围对应的位置的移动处理。

此外，在本实施方式中，关于印刷基板P1的上表面侧，此处，将离第一识别标记〔A〕最短距离的检查范围设定成最先执行图像获取处理的第“1”检查范围。在图8所示的印刷基板P1的上表面侧的例子中，右下角落部的检查范围变成第“1”检查范围。并且，设定检查顺序，使得以该第“1”检查范围为起点时，上表面检查单元3的移动路径变成最短路径。

另一方面，关于印刷基板P1的下表面侧，离第二识别标记〔b〕最短距离的检查范围没有变成最先执行图像获取处理的第“1”检查范围。在图8所示的印刷基板P1的下表面侧的例子中，左上角落部的检查范围变成第“1”检查范围。并且，设定检查顺序，使得以该第“1”检查范围为起点时，下表面检查单元4的移动路径变成最短路径。

另外，当印刷基板P1上表面的第一识别标记〔A〕的拍摄处理、以及印刷基板P1下表面的第二识别标记〔b〕的拍摄处理结束时，控制装置6在上述移动处理期间，基于由上述拍摄处理获取的图像数据涉及的印刷基板P1上表面的第一识别标记〔A〕的位置坐标以及印刷基板P1下表面的第二识别标记〔b〕的位置坐标、以及被预先存储在设定数据存储装置26的上表面检查单元3及下表面检查单元4的偏移量(上表面检查相机3C以及下表面检查相机4C的偏移量)，参考光绘文件，修正上表面检查单元3和印刷基板P1上表面之间的相对位置关系的偏离的同时，修正下表面检查单元4和印刷基板P1下表面之间的相对位置关系的偏离。通过上述处理功能来构成本实施方式中的修正单元。此外，上表面检查单元3以及下表面检查单元4的偏移量是在检查开始之前由校准等预先求出的。

之后，在结束上表面检查单元3的移动处理，并且上表面检查相机3C的拍摄视角KU与印刷基板P1上表面的第“1”检查范围匹配时，控制装置6执行印刷基板P1上表面的第“1”检查范围涉及的图像获取处理。

并且，当结束该图像获取处理时，控制装置6按照被存储在设定数据存储装置26的检查顺序，开始进行将上表面检查单元3移动到与印刷基板P1上表面的第“2”检查范围对应的位置的移动处理。

与此同时，在结束下表面检查单元4的移动处理，并且下表面检查相机4C的拍摄视角KL与印刷基板P1下表面的第“1”检查范围匹配时，控制装置6执行印刷基板P1下表面的第“1”检查范围涉及的图像获取处理。

此后，与第一实施方式同样，交替性执行由表面检查单元3进行的印刷基板P1上表面的第“2”～第“15”检查范围涉及的图像获取处理以及此间的移动处理、以及由下表面检查单元4进行的印刷基板P1下表面的第“2”～第“15”检查范围涉及的图像获取处理以及此间的移动处理，由此结束印刷基板P1的上下两面涉及的检查。

如上详细叙述，根据本实施方式，将印刷基板P1的上下两面中的一个面的识别标记的位置信息作为另一个面的位置信息而使用，由此，能够仅仅对印刷基板P1的上下两面个别拍摄一个识别标记(无需拍摄多个识别标记)，就进行位置修正。由此，能够实现印刷基板P1的两面检查涉及的检查精度的进一步的提高。

进一步地，能够在不分别对印刷基板P1的上下两面拍摄多个识别标记的情况下，开始进行检查，因此能够实现检查的高速化。

此外，在本实施方式中，以印刷基板P1的上下两面没有位置偏离(层积偏离以及图案的偏离等)为前提，基于上表面检查单元3以及下表面检查单元4的偏移量而进行上述修正，但如果印刷基板P1的上下两面有位置偏离的情况下，则例如预先与印刷基板P1的管理信息(序列号等)一同准备例如在前工序(图案检查工序等)中检测出的印刷基板P1的表面背面的位置偏离信息(印刷基板P1的表面和背面的相对位置关系)，由此能够进行上述修正。

另外，代替上述识别标记，只要将贯通印刷基板P1的表面背面的通孔等作为定位用的特定对象而利用，就能够在不考虑印刷基板P1的上下两面的位置偏离的情况下，进行上述修正。

此外，并不限于上述实施方式的记载内容，例如可以如下的方式实施。当然，也可以有下面没有例示的其他应用例、变更例。

(a)在上述实施方式中，将基板检查装置具体化为用于检查被印刷在印刷基板P1上的焊膏P4的印刷状态的焊锡印刷检查装置，但并不限于此，例如，可以具体化为用于检查被印刷在基板上的焊锡凸点、被装配在基板上的电子部件等、以及其他对象的构成。当然，并不限于回焊之前的检查，可以设为用于回焊之后的检查的构成。

(b)在上述实施方式中，在通过相移法来进行三维测量之后，获取条纹图案的相位每隔90°不同的四套图像数据，但相移次数以及相移量并不限于此。可以采用能够通过相移法来进行三维测量的其他相移次数以及相移量。

例如，可以设为获取相位每隔120°(或者90°)不同的三套图像数据并进行三维测量的构成，还可以设为获取相位每隔180°(或者90°)不同的两套图像数据并进行三维测量的构成。

(c)在上述各实施方式中，连续移动被投影到印刷基板P1的具有矩形波状或者梯形波状的光强度分布的条纹图案，通过对其连续拍摄(曝光)，能够获取具有正弦波状的光强度分布的图像数据。

这里，连续拍摄的期间并不限于上述实施方式(相当于移动相位45°的部分)，可以采用不同的构成。

另外，并不限于连续拍摄(曝光)的构成，可以设置为与以往同样，依次切换光栅的位置，并在使光栅停止的状态下照射条纹图案，由此获取不同相位的多个图像数据的构成。

另外，在上述实施方式中，作为将来自光源的光转换为条纹图案的单元而采用光栅板，但并不限于此，例如，可以采用按照每个短栅状的线而能够控制透过率或者反射率的液晶面板等其他单元。通过使用液晶面板等，能够在不连续移动光栅板的情况下，照射具有理想的正弦波状的光强度分布的条纹图案。

(d)在上述各实施方式中，设置为了通过相移法来进行三维测量的构成，但并不限于此，例如，可以采用空间编码法等、其他三维测量法。但是，在测量焊膏P4等小的测量对象的情况下，更优选采用相移法等、测量精度高的测量方法。

(e)从各照明照射的光的种类等、照射单元相关的构成并不限于上述实施方式，可以采用其他构成。

例如，在上述各实施方式中，设为在进行印刷基板P1的检查时，照射条纹图案并进行三维测量的构成，但可以设为代替这个或者除此之外，增加二维测量的构成。

例如，如图10所示，可以设为如下构成：在上表面检查单元3中，除了第一上表面检查照明3A及第二上表面检查照明3B以及上表面检查相机3C之外，还具备二维检查用的照明装置71，并且在下表面检查单元4中，除了第一下表面检查照明4A及第二下表面检查照明4B以及下表面检查相机4C之外，还具备二维检查用的照明装置71。

如图10、11所示，照明装置71具有被配置在最靠近印刷基板P1的位置的第一环形灯72、被配置在仅次于该第一环形灯72靠近印刷基板P1的位置的第二环形灯73、以及被配置在最远离印刷基板P1的位置的第三环形灯74。

各环形灯72～74被构成为能够通过分别切换红色光、绿色光以及蓝色光三种颜色的单色光来照射。另外，第一环形灯72被构成为向印刷基板P1以大入射角(例如，74°)进行光照射。第二环形灯73被构成为向印刷基板P1以中入射角(例如，20°)进行光照射。第三环形灯74构成为向印刷基板P1以小入射角(例如，0°)进行光照射。

并且，例如，在印刷基板P1的上表面侧的预定的检查范围涉及的检查(图像获取处理)中，可以构成为如下：除了在从第一上表面检查照明3A照射的条纹图案之下的多次拍摄处理、以及在从第二上表面检查照明3B照射的条纹图案之下的多次拍摄处理的至少一者之外，还可以执行在从所有环形灯72～74照射的红色光之下的一次拍摄处理、从所有环形灯72～74照射的蓝色光之下的一次拍摄处理、从所有环形灯72～74照射的绿色光之下的一次拍摄处理、从第一环形灯72以大入射角照射的单色光(例如，蓝色光)之下的一次拍摄处理、从第二环形灯73以中入射角照射的单色光(例如，绿色光)之下的一次拍摄处理、以及从第三环形灯74以小入射角照射的单色光(例如，红色光)之下的一次拍摄处理中的至少一个拍摄处理(关于印刷基板P1的下表面侧也同样)。

可以设为如下构成：在上述构成之下，除了三维测量之外，还实施焊锡印刷区域、电极区域、丝网印刷区域等各种区域的提取、异物的检测、焊膏P4的面积测量、位移判定、以及桥式检测等的各种二维测量。

另外，可以设为如下构成：省略第一上表面检查照明3A及第二上表面检查照明3B、以及第一下表面检查照明4A及第二下表面检查照明4B，不进行三维测量，仅仅实施二维测量。

另外，在上述各实施方式中，设定成在预定的检查范围涉及的1次图像获取处理中执行多个拍摄处理的构成，但并不限于此，可以设定成在预定的检查范围涉及的1次的图像获取处理中只进行一次拍摄处理的构成。

(f)印刷基板P1的上下两面检查中的上表面检查单元以及下表面检查单元的处理动作并不限于上述各实施方式(图5所示的例子)。只要是至少在印刷基板P1的上表面侧(或者下表面侧)的预定的检查范围涉及的图像获取处理的执行期间中，停止下表面侧(或者上表面侧)的光的照射，不会向上表面侧(或者下表面侧)泄露光的构成，就可以采用其他任何构成。

例如，在上述实施方式中，各检查单元3、4的移动期间(除了一部分)被设定成比由各检查相机3C、4C进行的预定的检查范围涉及的一次图像获取处理的执行期间短，但各检查单元3、4的移动期间还可以被设定成比一次图像获取处理的执行期间长。

在上述情况下，例如，可以采用采取如下构成：在由上表面检查单元3(上表面检查相机3C)进行的预定的检查范围涉及的图像获取处理的结束之后，开始进行该上表面检查单元3的移动处理的同时，开始进行由下表面检查单元4(下表面检查相机4C)进行的拍摄处理，在该拍摄处理的结束之后，等待上表面检查单元3的移动处理，并开始进行由上表面检查单元3进行的下一个图像处理。或者，在由上表面检查单元3进行的拍摄处理的结束之后，开始进行该上表面检查单元3的移动处理，并经过预定时间(例如，1msec)之后，开始进行由下表面检查单元4进行的拍摄处理。

此外，只要能够将各检查单元3、4的移动处理时所需的时间设定得较长，就能够抑制各检查单元3、4的移动时的振动等。作为结果，能够降低振动等的对于拍摄的影响，并能够实现检查精度的提高。

(g)各检查范围的图像获取处理中的上表面检查单元3及下表面检查单元4的处理动作并不限于上述实施方式(图4所示的例子)。

例如，在上述实施方式中，各检查相机3C、4C中的数据传送(读取)期间被设定成比各检查相机3C、4C的一次拍摄处理的执行期间短，但还可以是将数据传送期间设定成比一次拍摄处理的执行期间长。

在上述情况下，例如，可以采用采取如下构成：在由上表面检查相机3C进行的拍摄处理的结束之后，开始进行该上表面检查相机3C的数据传送，并开始进行由下表面检查相机4C进行的拍摄处理，在该拍摄处理的结束之后，等待上表面检查相机3C的数据传送期间(不能执行拍摄处理的期间)的结束，开始进行由该上表面检查相机3C进行的下一个拍摄处理。或者，在由上表面检查相机3C进行的拍摄处理的结束之后，开始进行该上表面检查相机3C中的数据传送，并经过预定时间(例如，1msec)之后，开始进行由下表面检查相机4C进行的拍摄处理。

当然，光栅板3Ab等各光栅板涉及的动作控制处理也与各检查相机3C、4C的拍摄处理匹配。即，在有时间滞后的情况下，暂时停止并待机。

(h)在上述各实施方式中，作为各检查相机3C、4C的拍摄元件，采用CCD传感器，但拍摄元件并不限于此，例如可以采用CMOS传感器等、其他拍摄元件。

此外，在使用一般的CCD传感器等的情况下，在数据传送中不能进行下一个拍摄(曝光)处理，因此在进行多次拍摄的情况下，交替性反复进行拍摄处理以及数据传送处理。

对此，在使用CMOS传感器、以及持有在数据传送中能够曝光的功能的CCD传感器等的情况下，能够以一部分重复的方式进行拍摄处理和数据传送处理。

通过利用这个，在如上所述的数据传送期间被设定为比一次拍摄处理的执行期间长的情况下，例如，在由上表面检查相机3C进行的拍摄处理的结束之后，开始进行由该上表面检查相机3C进行的数据传送，并且开始进行由下表面检查相机4C进行的拍摄处理，能够在不等待上表面检查相机3C的数据传送期间的结束的情况下，由下表面检查相机4C进行的拍摄处理的结束的同时，开始进行由上表面检查相机3C进行的下一个拍摄处理。

(i)虽然在上述各实施方式中没有特别提及，但例如，如图12所示，可以是在位于印刷基板P1的运送路的下方的下表面检查相机4C具备保护罩50的构成。

可能发生在位于印刷基板P1的运送路的下方的下表面检查相机4C附着从印刷基板P1落下的焊渣等的异物的情况。通过具备保护罩50，能够防止异物附着在下表面检查相机4C。

保护罩50由透明部材构成，下表面检查相机4C经由保护罩50能够拍摄印刷基板P1的下表面。

但是，当在保护罩50附着污染物或者异物时，可能给检查带来障碍，因此优选在基板检查装置1具备用于检查是否在保护罩50附着异物等的罩检查机构。下面，以罩检查机构的具体例进行说明。

如图12所示，通过支架51来一体地组装下表面检查相机4C和保护罩50。并且，在从基板检查装置1运出结束检查的印刷基板P1之后，在向基板检查装置1运入新的刷基板P1期间，通过未图示的驱动单元，将每个支架51的下表面检查相机4C以及保护罩50移动到从印刷基板P1的运送路的下方位置偏离的位置(罩检查位置)。

在罩检查位置以位于保护罩50的上方的方式设置有透过照明53。并且，在将相机4C的焦点与保护罩50匹配之后，通过相机4C来拍摄从透过照明53照射并透过保护罩50的透过光并进行异物检查。

另外，如图13所示的例子，可以是如下构成：在罩检查位置具备进入到保护罩50的下方的透过照明55，并且在保护罩50的上方位置具备罩检查专用的相机56。并且，通过相机56来拍摄从透过照明55照射且透过保护罩50的透过光，并进行异物检查。

另外，可以是代替透过照明，使用反射照明而进行异物检查的构成。例如，如图14所示，可以是在罩检查位置具备位于保护罩50的上方的黑板60，并且具备向保护罩50从斜下方照射光的反射照明61的构成。并且，在将相机4C的焦点与保护罩50匹配之后，通过相机4C来拍摄从反射照明61照射且被保护罩50反射的反射光，并进行异物检查。

另外，如图15所示的例子，可以是如下构成：在罩检查位置具备进入到保护罩50的下方的黑板62、位于保护罩50的上方的罩检查专用的相机63、以及向保护罩50从斜上方照射光的反射照明64。并且，通过相机63来拍摄从反射照明64照射且被保护罩50反射的反射光，并进行异物检查。

进一步地，可以是除了上述各种罩检查机构之外，还具备从保护罩50去除异物的机构的构成。并且，可以是如下构成：在通过上述各种罩检查机构来检测保护罩50上的异物等的情况下，使预定的异物去除机构工作，并去除异物。

作为异物去除机构，例如，作为一个例子，可以举出向保护罩50吹出空气并吹飞异物的机构，通过刷子等来扫出异物的机构，在保护罩50设置薄膜、并在污染时依次被剥离的机构(撕扯功能)，以及在保护罩50设置滚状的膜、并在污染时依次被卷取的机构(外转功能)等。

此外，可以是替代仅仅保护下表面检查相机4C的保护罩50，设置保护下表面检查单元4整体的保护罩的构成。但是，保护下表面检查单元4整体的保护罩的、在异物检查中的检查范围广，检查时间还可能变长。另外，保护罩的大小增加，因此存在装置大型化且重量变重的可能性。关于这点，更优选仅仅保护下表面检查相机4C的保护罩50。

(j)在上述各实施方式中，设定成了如下构成：作为定位用的特定对象，在印刷基板P1的表面侧附以第一识别标记〔A〕以及第二识别标记〔B〕，在印刷基板P1的背面侧附以第一识别标记〔a〕以及第二识别标记〔b〕。

特定对象的数量、形状、大小、位置、种类等、特定对象的构成并不限于上述实施方式。例如，可以设定成在印刷基板P1的表面背面两面设置1个位置或者3个位置所以上的识别标记的构成。另外，可以将贯通印刷基板P1的表面背面的通孔等作为定位用的特定对象。根据情况，可以兼用电路用的通孔。另外，还可以将电极图案P3的一部作为定位用的特定对象而利用。

符号说明

1...基板检查装置、2...运送机构、3...上表面检查单元、3A...第一上表面检查照明、3B...第二上表面检查照明、3C...上表面检查相机、4...下表面检查单元、4A...第一下表面检查照明、4B...第二下表面检查照明、4C...下表面检查相机、6...控制装置、P1...印刷基板、P4...焊膏。

Claims (8)

1.一种基板检查装置，所述基板检查装置检查基板的表面背面两面，其特征在于，包括：

至少一个表面侧照射单元，所述至少一个表面侧照射单元能够向所述基板的表面侧的预定的检查范围照射预定的光；

表面侧拍摄单元，所述表面侧拍摄单元能够拍摄被照射了预定的光的所述基板的表面侧的预定的检查范围；

表面侧移动单元，所述表面侧移动单元能够将所述表面侧照射单元以及所述表面侧拍摄单元移动到与所述基板的表面侧的预定的检查范围对应的位置；

至少一个背面侧照射单元，所述至少一个背面侧照射单元能够向所述基板的背面侧的预定的检查范围照射预定的光；

背面侧拍摄单元，所述背面侧拍摄单元能够拍摄被照射了预定的光的所述基板的背面侧的预定的检查范围；

背面侧移动单元，所述背面侧移动单元能够将所述背面侧照射单元以及所述背面侧拍摄单元移动到与所述基板的背面侧的预定的检查范围对应的位置；以及

检查单元，所述检查单元能够基于通过由所述表面侧照射单元及所述表面侧拍摄单元进行的所述基板的表面侧的预定的检查范围涉及的图像获取处理来获取的至少一个图像数据，执行该检查范围涉及的检查，并且能够基于通过由所述背面侧照射单元及所述背面侧拍摄单元进行的所述基板的背面侧的预定的检查范围涉及的图像获取处理来获取的至少一个图像数据，执行该检查范围涉及的检查，

在停止了来自所述背面侧照射单元的光的照射的状态下，在通过所述表面侧照射单元以及所述表面侧拍摄单元来执行所述基板的表面侧上设定的多个检查范围中的一个检查范围涉及的图像获取处理之后，

在将该表面侧照射单元以及表面侧拍摄单元移动到与下一个检查范围对应的位置的同时，停止了来自所述表面侧照射单元的光的照射的状态下，通过所述背面侧照射单元以及所述背面侧拍摄单元来执行所述基板的背面侧上设定的多个检查范围中的一个检查范围涉及的图像获取处理，

并且，

在停止了来自所述表面侧照射单元的光的照射的状态下，在通过所述背面侧照射单元以及所述背面侧拍摄单元来执行所述基板的背面侧上设定的多个检查范围中的一个检查范围涉及的图像获取处理之后，

在将该背面侧照射单元以及背面侧拍摄单元移动到与下一个检查范围对应的位置的同时，停止了来自所述背面侧照射单元的光的照射的状态下，通过所述表面侧照射单元以及所述表面侧拍摄单元来执行所述基板的表面侧上设定的多个检查范围中的一个检查范围涉及的图像获取处理，

由此，能够交替性执行所述基板的表面侧上设定的多个检查范围中的一个检查范围涉及的图像获取处理、以及所述基板的背面侧上设定的多个检查范围中的一个检查范围涉及的图像获取处理。

2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

在所述表面侧照射单元以及所述表面侧拍摄单元的移动期间，执行由所述背面侧照射单元以及所述背面侧拍摄单元进行的图像获取处理，

并且，

在所述背面侧照射单元以及所述背面侧拍摄单元的移动期间，执行由所述表面侧照射单元以及所述表面侧拍摄单元进行的图像获取处理。

3.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

基于预先决定的检查顺序，向与所述基板的表面侧上设定的多个检查范围对应的位置依次移动所述表面侧照射单元以及所述表面侧拍摄单元，并依次执行该多个检查范围涉及的图像获取处理，

并且，基于预先决定的检查顺序，向与所述基板的背面侧上设定的多个检查范围对应的位置依次移动所述背面侧照射单元以及所述背面侧拍摄单元，并依次执行该多个检查范围涉及的图像获取处理，

关于所述基板的表面侧，设定所述检查顺序，使得所述表面侧照射单元以及所述表面侧拍摄单元移动的路径成为离预定的起点最短的路径，和/或

关于所述基板的背面侧，设定所述检查顺序，使得所述背面侧照射单元以及所述背面侧拍摄单元移动的路径成为离预定的起点最短的路径。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板检查装置，其特征在于，

在所述基板的表面具备至少一个定位用的特定对象，并在所述基板的背面具备至少一个定位用的特定对象的构成之下，

在所述基板的表面侧，由所述表面侧拍摄单元个别拍摄至少一个特定对象之后，依次执行所述基板的表面侧上设定的多个检查范围涉及的图像获取处理，

并且，

在所述基板的背面侧，由所述背面侧拍摄单元个别拍摄所述至少一个特定对象之后，依次执行所述基板的背面侧上设定的多个检查范围涉及的图像获取处理。

5.根据权利要求4所述的基板检查装置，其特征在于，

在所述基板的表面侧以及背面侧中的至少一者中，

将离所述至少一个特定对象中的最后拍摄的特定对象最短距离的检查范围作为最先执行所述图像获取处理的检查范围。

6.根据权利要求4所述的基板检查装置，其特征在于，包括：

存储单元，所述存储单元存储预先掌握的所述表面侧拍摄单元和所述背面侧拍摄单元的相对位置关系；以及

修正单元，所述修正单元基于在所述基板的表面侧由所述表面侧拍摄单元拍摄的一个所述特定对象的位置信息以及在所述基板的背面侧由所述背面侧拍摄单元拍摄的一个所述特定对象的位置信息，

以及被存储在所述存储单元的所述表面侧拍摄单元和所述背面侧拍摄单元的相对位置关系，

修正所述表面侧拍摄单元和所述基板的表面的相对位置关系、以及所述背面侧拍摄单元和所述基板的背面的相对位置关系。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的基板检查装置，其特征在于，

所述表面侧照射单元以及所述背面侧照射单元中的至少一者构成为作为所述预定的光而能够照射具有条纹状的光强度分布的图案光，

所述检查单元构成为能够基于在不同相位的所述图案光之下拍摄的多个图像数据，执行根据相移法的三维测量。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的基板检查装置，其特征在于，

所述基板是印刷焊膏的印刷基板、或者形成了焊锡凸点的晶圆基板。

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