JP2022173585A - 三次元計測装置、及び、ワーク作業装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本明細書では、位相シフト法や光切断法に比べて短時間で計測対象の高さを計測できる技術を開示する。
このため、所定の演算式が、各波長の光の明るさの比率が同じであれば演算値が同じになるものである場合、複数波長間の相対的な明るさが所定の方向に連続して変化しているパターン光であって、当該所定の演算式の演算値が各波長の光の明るさの変化の1周期内において重複しないパターン光を無彩色の面に投影し、当該パターン光が投影された領域の各位置で反射された各波長の光の受光量から当該所定の演算式の演算値を求めると、求めた演算値は計測対象の明るさや当該パターン光自体の明るさによらず位置毎に一意の値(ユニークな値)となる。
このため、例えば予め高さの基準となる基準平面にパターン光を投影し、各位置で反射されたパターン光を波長毎に受光した受光量あるいはその受光量から所定の演算式によって求めた演算値を記憶しておけば、計測対象で反射されたパターン光を受光した受光量と、予め記憶されている受光量あるいは演算値とから、各位置の高さを判断できる。
即ち、当該パターン光を用いると計測対象の明るさやパターン光自体の明るさによらず位置毎に演算値が一意の値になるので、位相シフト法のように同一領域を複数回撮像しなくても高さを計測できる。また、光切断法のようにラインに直交する方向の画素数分ラインを移動撮像しなくても高さを計測できる。
よって上記の三次元計測装置によると、位相シフト法や光切断法に比べて短時間で計測対象の高さを計測できる。
なお、計測対象の面は無彩色に限られない。計測対象の面が有彩色である場合は可視領域外の光(言い換えると不可視領域の光)を投影すればよい。不可視領域の光を投影すれば有彩色の面で反射されても複数波長の光の明るさの比率が変化しないので同様の効果を得ることができる。
周期毎に明るさの変動幅を異ならせると、各周期で同じ演算値が求められても明るさの変動幅の違いからそれぞれがいずれの周期の演算値であるかを特定できる。このため、計測対象の高さがパターン光の1周期分の幅を超えていても一度の撮像で計測対象の高さを計測できる。
上記の三次元計測装置によると、列毎に演算値を平均した平均値を記憶部に記憶させるので、記憶部に記憶させるデータ量は基準平面マップの1行分のデータ量となる。このため、基準平面マップ全体を記憶させておく場合に比べて記憶部の記憶領域を節約できる。
しかしながら、列毎に演算値を平均した平均値を記憶部に記憶させておき、記憶されている列毎の平均値を基準平面マップとして用いると、傾いていない基準平面マップが用いられてしまう。
上記の三次元計測装置によると、列方向の一方の端部の所定数の行の列毎の平均値と他方の端部の所定数の行の列毎の平均値とを記憶部に記憶させておくので、基準平面マップ全体を記憶させておく場合に比べて記憶部の記憶領域を節約できる。そして、上記の三次元計測装置によると、それらの平均値から基準平面マップの各行を補間するので、傾いた状態の基準平面マップを復元できる。このため、第1の光源部と第1の受光部との相対角度が傾いていても高さを精度よく計測できる。
上記の三次元計測装置によると、計測対象にパターン光を投影する方向を相対的に変更して少なくとも2方向から順にパターン光を投影させるので、パターン光を投影する方向が一方向だけである場合に比べ、計測対象の高さを全面に亘って計測できる可能性が高くなる。
上記の三次元計測装置によると、計測対象に複数の方向からパターン光を投影するので、パターン光を投影する方向が一方向だけである場合に比べ、計測対象の高さを全面に亘って計測できる可能性が高くなる。
また、三次元計測装置によると、第1の光源部によって投影されるパターン光の波長と第2の光源部によって投影されるパターン光の波長とが異なっているので、これらを同時に計測対象に投影しても各波長の光を個別に受光できる。このため第1の光源部と第2の光源部とから同時にパターン光を投影して計測対象を撮像することができる。このため撮像に要する時間を短縮でき、計測対象の高さを短時間で計測できる。
実施形態1を図1乃至図13に基づいて説明する。以降の説明では同一の構成部材には一部を除いて図面の符号を省略している場合がある。
図1を参照して、部品実装ライン10について説明する。部品実装ライン10は基板W(図2参照、ワークの一例)に部品E(図2参照、計測対象及び作業に関わる対象物の一例)を実装するラインである。部品実装ライン10はローダー11、スクリーン印刷機12、印刷検査機13、ディスペンサ14、複数台の表面実装機15(ワーク作業装置の一例)、実装後外観検査機16、リフロー装置17、硬化後外観検査装置18及びアンローダー19を備えており、これらが複数のコンベア20を介して直列に接続されている。
スクリーン印刷機12は基板Wの表面に半田ペーストをスクリーン印刷することによって回路を形成する装置である。
印刷検査機13はスクリーン印刷機12によってスクリーン印刷された半田を検査する装置である。
表面実装機15は基板Wに部品Eを実装する実装作業(所定の作業の一例)を行う装置である。表面実装機15の構成については後述する。
実装後外観検査機16は表面実装機15によって部品Eが実装された後の基板Wの外観を検査する装置である。
硬化後外観検査装置18はリフロー装置17によって溶解された半田ペーストが硬化した後に基板Wの外観を検査する装置である。
アンローダー19は硬化後外観検査装置18から送り出された基板Wをラックに収納する装置である。
図2を参照して、表面実装機15の構成について説明する。以降の説明では図2に示すX方向を左右方向、Y方向を前後方向、図3に示すZ方向を上下方向という。また、以降の説明では図2に示す右側を上流側、左側を下流側という。
図6を参照して、表面実装機15の電気的構成について説明する。表面実装機15は制御部33及び操作部34を備えている。
制御部33は演算処理部50、モータ制御部51、記憶部52、画像処理部53、外部入出力部54、フィーダ通信部55などを備えている。
記憶部52はハードディスクや不揮発性のメモリなどを記憶媒体として用いる外部記憶装置である。記憶部52には表面実装機15の動作を定義した生産プログラムなどの各種のデータが記憶される。生産プログラムには生産が予定されている基板Wの生産枚数や品種に関する情報、部品Eの実装座標や実装角度に関する情報、部品Eの実装順序に関する情報等が定義されている。
なお、基板撮像カメラ38や部品撮像カメラ39が直接デジタルデータ(濃度)を出力する場合は、画像処理部53は不要である。
操作部34は液晶ディスプレイなどの表示装置や、タッチパネル、キーボード、マウスなどの入力装置を備えている。作業者は操作部34を操作して各種の設定などを行うことができる。
図4では部品Eの例としてSOP(Small Outline Package)を示している。SOPは部品本体の対向する2辺にリード電極61を有している。各リード電極61の最下面の高さにバラツキがあると部品Eを基板Wに搭載したときに一部のリード電極61が基板Wに接触しないことによって実装不良となる虞がある。
以下の説明では部品Eの下面(パターン光65が投影される面)の色は無彩色であるとする。無彩色は白と黒との混合で得られる色であり、白、黒、グレーが含まれる。無彩色に限定する理由は、RGBの3波長からなるパターン光65は有彩色の面で反射されると色相(言い換えると各波長の光の相対的な明るさ)が変化するため、高さを精度よく計測できないからである。
先ず、図7を参照して、色相について説明する。前述したように色相は色の3属性(色相、彩度、明度)の一つであり、色合い、あるいは色調とも称される。彩度は色の鮮やかさであり、明度は色の明暗(明るさ)である。色相は色から彩度の要素と明度の要素とを取り除いた残りであるということもできる。
図8及び図9を参照して、パターン光65を生成する方法について説明する。パターン光65を生成する方法としては種々の方法があるが、ここでは図8に示す台形波を用いる方法、及び、図9に示すsin波を用いる方法について説明する。
図8(A)は台形波の一例である。図8(B)は図8(A)に示す台形波を用いて生成したパターン光65を基準平面62に投影して撮像されたカラー画像を示している。ここでは光の明るさを0(黒)~255(白)の256階調で表すものとする。
青色の光の明るさは、0度~120度の区間では0、120度~180度の区間では0~255まで直線的に変化、180度~300度の区間では255、300度~360度の区間では255~0まで直線的に変化している。
図9(A)はsin波の一例である。図9(B)は図9(A)に示すsin波を用いて生成したパターン光65を基準平面62に投影して撮像されたカラー画像を示している。図9(A)に示すように、sin波を用いる方法では、RGBの各色の光の明るさをsin波で変化させ、RGBの明るさの和が常に一定となるように位相を1/3(=120度)ずつずらして重ね合わせる。
図10に示すように、便宜上、ここでは部品E1と部品E2とを同時に撮像してそれらの高さを計測する場合を例に説明する(なお、通常、実装ヘッド40に吸着されている部品Eは一つずつ撮像される)。また、ここでは1周期のパターン光65を位相接続して2周期分のパターン光65(図8に示される台形波または図9に示されるsin波)を投影する場合を例に説明する。
基準平面色相マップの作成では、1ライン分のパターン光65が投影される大きさのY方向に延びる細長い無彩色(例えば白)の基準板が基準平面62に重なるように配置される。そして、部品撮像カメラ39によってその基準板に1ライン分のパターン光65が投影され、基準板で反射されたパターン光65をラインセンサによって波長毎に受光した受光量から1ライン分の基準平面色相マップが作成される。図7に示す画像73はY方向に延びる1ライン分の基準平面色相マップを示す画像をX方向に複数並列に並べたものであり、記憶部52に記憶されている基準平面色相マップは1ライン分だけである。
更には、あえて基準平面マップとして予め記憶しておかず、対象物の高さを算出する際に演算により個々の位置の色相値を求めてもよい。
グラフ74に示すように、パターン光65は1周期内では色相が略リニア(略直線状)に変化している(即ち1周期内では色相が連続して一意に変化している)。なお、パターン光65は1周期内で色相が連続して一意に変化していればよく、必ずしもリニアに変化するものに限定されない。
グラフ77は色相変換画像76の直線78上の画素の色相値を表すグラフである。グラフ77の横軸は基準平面上の位置を示す画素数であり、縦軸は0から359度の色相値である。
グラフ80は色相差画像79の直線81上の画素の色相値を表すグラフである。グラフ80の横軸は画素数であり、縦軸は0から359度の色相値である。なお、直線75,78,81は基準平面62上の同じ直線であるものとする。
高さ=位置P1と位置P2との距離×tanθ ・・・ 式2
高さ=色相差×tanθ ・・・ 式3
図13に示すように、部品Eの下面に文字や極性マークなどの図形85が部品Eの下面の明るさ(明度)とは異なる明るさで表記されている場合がある。制御部33は、部品Eの高さを計測する過程で作成されたカラー画像70から部品Eの下面の明るさを表す多値画像を作成し、作成した多値画像を解析して図形85を認識する。
前述した図8(A)に示すように、台形波は常にRGBのいずれかの値が最大値となっている。このため、制御部33は、以下の式4に示すように、カラー画像70から画素毎にRGBの明るさ(濃度)の最大値を取得することで多値画像を作成する。図8(A)の台形波の場合、位置(画素)毎の最大値は常に最大の濃度であるので一定の明るさが得られる。
明るさ=Max(R,G,B) ・・・ 式4
前述した図9(A)に示すように、sin波はRGBの明るさの和が常に一定となっている。このため、制御部33は、以下の式5に示すように、カラー画像70から画素毎にRGBの明るさ(濃度)の和を取得することで多値画像を作成する。
明るさ=R+G+B ・・・ 式5
実施形態1に係る三次元計測装置(部品撮像カメラ39及び制御部33)によると、色相が連続して変化しているパターン光65を部品Eに投影する。パターン光65を用いると部品Eの明るさやパターン光65自体の明るさによらず位置毎に色相値が一意の値になるので、位相シフト法のように同一領域を複数回撮像しなくても高さを計測できる。また、光切断法のようにラインに直交する方向の画素数分ラインを移動撮像しなくても高さを計測できる。このため位相シフト法や光切断法に比べて短時間で部品Eの高さを計測できる。
前述した実施形態1は第1の光源部39Aがライン状のパターン光を投影するものであり、受光部39Bとしてラインセンサを用いるものである。そして、実施形態1では1ライン分の基準平面色相マップが記憶部52に記憶されている。
図14(A)を参照して、方法1について説明する。方法1では、基準板を撮像して作成された基準平面色相マップにおいて、パターン光の各波長の光の明るさが変化する方向(図14において左右方向)を行方向と定義し、当該方向に直交する方向(図14において上下方向)を列方向と定義したとき、列毎に色相値を平均した平均値(以下、代表色相値という)を記憶部52に記憶させておく。
図14(B)を参照して、方法2について説明する。基準平面62を撮像する場合、第1の光源部39Aと受光部39Bとの相対的な角度がずれていることにより、図14(B)に示すように斜めに傾いた平面部分について基準平面色相マップが作成される場合がある。この場合、方法1のように各列の代表色相値だけを記憶部52に記憶すると、基準平面色相マップ上部(列方向の一方の端部の一例)の色相値、及び、基準平面色相マップ下部(列方向の他方の端部の一例)の色相値が代表色相値と大きく異なってしまう。
制御部33は、記憶部52に記憶されている基準平面色相マップ上部の所定数の行の列毎の平均値と基準平面色相マップ下部の所定数の行の列毎の平均値とから基準平面色相マップの各行を線形補間することにより、斜めに傾いた基準平面色相マップを復元する。
方法1によると、列毎に色相値を平均した平均値(代表色相値)を記憶部52に記憶させるので、記憶部52に記憶させるデータ量は基準平面色相マップの1行分のデータ量となる。このため、基準平面色相マップ全体を記憶させておく場合に比べて記憶部52の記憶領域を節約できる。
前述した実施形態1では基準板を撮像することによって基準平面色相マップを作成する場合を例に説明した。実施形態3では基準平面色相マップを作成する他の方法について説明する。
他の方法1は計算によって基準平面色相マップを作成する方法である。具体的には例えば、制御部33は前述した図8(A)や図9(A)に示すRGB各色の光の明るさ(0~255)を角度毎に色相値に変換することによって基準平面色相マップを論理的に作成する。例えば図8(A)に示す120度の場合、制御部33は120度におけるRGB各色の光の明るさ(0,255,0)を前述した式1に代入することによって色相値に変換する。
図15を参照して、他の方法2について説明する。他の方法2では部品撮像カメラ39の撮像範囲86の左側、又は、撮像範囲86の右側、あるいはその両方にY方向に延びる細長い無彩色(例えば白)の基準板87を配置する。制御部33は基準板87で反射されたパターン光65を波長毎に受光した受光量から変換された各画素の濃度から色相値を計算することによって部分的なマップを作成する。そして、制御部33は作成した部分的なマップから前述した実施形態2の方法1や方法2と同様にして基準平面色相マップの他の部分を補間することによって基準平面色相マップを作成する。
他の方法1では基準平面色相マップを記憶部52に記憶しておかなくてよいので、記憶部52の記憶領域を節約できる。また、他の方法1では基準板を用いずに基準平面色相マップを作成するので、基準板を用いる場合に比べて簡素な構成で基準平面色相マップを作成できる。
前述した実施形態1では1周期の色相を位相接続して複数周期分のパターン光65を投影する。これに対し、実施形態4では色相が連続して且つ周期的に変化しており、且つ、周期毎に彩度値(明るさの変動幅)が異なっているパターン光を投影する。
上述したパターン光を生成する方法としては、台形波を用いる方法、sin波を用いる方法、独立波を用いる方法などがある。以下、各方法について説明する。なお、以下の説明ではパターン光の波長としてRGBを例に説明するが、波長はRGBに限定されない。
図16(A)は台形波の一例である。図16(B)は図16(A)に示す台形波を用いて生成したパターン光を基準平面62に投影して撮像されたカラー画像を示している。
図16(A)に示すように、台形波を用いる方法では、いずれの周期においても台形の上辺の明るさを255とし、1周期が経過するごとに台形の下辺の明るさを段階的に低くする。具体的には、図16(A)に示す例では、1周期目では台形の下辺の明るさが150であり、2周期目では100、3周期目では50、4周期目では0となるように下辺の明るさが段階的に低くなっている。
図17(A)はsin波の一例である。図17(B)は図17(A)に示すsin波を用いて生成したパターン光を基準平面62に投影して撮像されたカラー画像を示している。図17(A)に示すように、sin波を用いる方法では1周期が経過するごとにsin波の振幅(明るさの変動幅)を段階的に大きくする。
図18(A)は独立波の一例である。図18(B)は図18(A)に示す独立波を用いて生成したパターン光を基準平面62に投影して撮像されたカラー画像を示している。図18(A)に示すように、独立波を用いる方法では、RGB毎に互いに異なる変化パターンで明るさを変化させる。具体的には、図18(A)に示す例では、赤の明るさは255で一定である。緑の明るさは周期の始めが0であり、周期の終わりに255となるように明るさが直線的に変化している。青の明るさは1周期が経過するごとに段階的に高くなっている。
色相値=G/R ・・・ 式12
明度値=R ・・・ 式13
彩度値=B/R ・・・ 式14
図19に示す画像90は上述したパターン光が投影された基準平面62を撮像したカラー画像である。なお、便宜上、図19では部品Eを省略している。
画像91はカラー画像90から変換した画像(以下、色相変換画像91という)である。グラフ92は色相変換画像91の直線93上の画素の色相値を表すグラフである。グラフ92に示すように、色相変換画像91の画素の色相値は周期毎に0度~360度まで直線的に変化する。
S0:補正色相値=色相値+0・・・ 式15
S1:補正色相値=色相値+360・・・ 式16
S2:補正色相値=色相値+720・・・ 式17
実施形態4に係る三次元計測装置によると、パターン光は色相が連続して且つ周期的に変化しており、且つ、周期毎に彩度値(明るさの変動幅)が異なっているので、各周期で同じ演算値が計算されても彩度値の違いからそれぞれがいずれの周期の演算値であるかを特定できる。このため、部品Eの高さがパターン光の1周期分の幅を超えていても一度の撮像で計測対象の高さを計測できる。
実施形態5では、部品撮像カメラ39が部品Eにパターン光65を投影する方向を相対的に変更し、各方向で部品撮像カメラ39によって部品Eを撮像する。具体的には、前述したようにヘッドユニット36は部品Eを吸着する実装ヘッド40を軸周りに回転させるR軸サーボモータ59を備えている。制御部33は実装ヘッド40を軸周りに回転させることによって部品Eを回転させる。これにより、部品撮像カメラ39が部品Eにパターン光65を投影する方向が変更される。制御部33は複数の方向(例えば0度及び180度)で部品撮像カメラ39によって部品Eを撮像する。
図21に示すように、実施形態6に係る部品撮像カメラ39は第2の光源部101を備えている。第2の光源部101もプロジェクタとして構成されている。第2の光源部101は、複数波長間の相対的な明るさが連続して変化しているパターン光102であって第1の光源部39Aによって投影されるパターン光65とは波長が異なるパターン光102を、第1の光源部39Aとは異なる方向(例えば第1の光源部39Aから実装ヘッド40の軸回りに180度回転した方向)から部品Eに投影する。
なお、パターン光102は、第1の光源部39Aによって投影されるパターン光65と重ならない範囲であればRGBの範囲の波長であってもよい。ここで「重ならない」とは、パターン光65の複数の波長の最小値と最大値との間にパターン光102の複数の波長のいずれもが重ならないことをいう。また、パターン光102は可視光(可視領域の波長)であっても不可視光(不可視領域の波長)であってもよい。
そして、制御部33は、第1の光源部39Aによって投影されたパターン光65を受光して作成したカラー画像と、第2の光源部101によって投影されたパターン光102を受光して作成した画像とを用いて部品Eの高さを判断する。
本明細書によって開示される技術は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本明細書によって開示される技術的範囲に含まれる。
X=0.412R+0.358G+0.181B ・・・ 式19
Y=0.213R+0.715G+0.072B ・・・ 式20
Z=0.019R+0.119G+0.951B ・・・ 式21
例えば、スクリーン印刷機12の場合は、撮像面を下に向けた姿勢の撮像部と、撮像部を基板Wの上方で水平方向に搬送する搬送部とを備え、撮像部を搬送して基板Wの各部を上から撮像することにより、基板Wに印刷された半田ペーストの高さを計測してもよい。
また、ディスペンサ14の場合は、接着剤を塗布するディスペンサヘッドを上下方向に移動可能に保持しているヘッドユニット36と、ヘッドユニット36を水平方向に搬送する搬送部とを備えているので、撮像面を下に向けた姿勢の撮像部をヘッドユニット36に配置し、撮像部を搬送して基板Wの各部を上から撮像することにより、基板Wに塗布された接着剤の高さを計測してもよい。
印刷検査機13、実装後外観検査機16、硬化後外観検査装置18などについても同様である。
Claims (16)
- 計測対象の高さを計測する三次元計測装置であって、
複数波長間の相対的な明るさが所定の方向に連続して変化しているパターン光であって、各前記波長の光の明るさを変数とする所定の演算式の演算値が前記明るさの変化の1周期内において重複しないパターン光を、前記計測対象の高さの基準となる基準平面に向けて前記所定の方向から斜めに投影する第1の光源部と、
前記計測対象で反射された前記パターン光を前記波長毎に受光する第1の受光部と、
前記第1の受光部が前記波長毎に受光した光の受光量に基づいて前記計測対象の高さを求める制御部と、
を備え、
前記所定の演算式は、各前記波長の光の明るさの比率が同じであれば演算値が同じになるものであり、
前記制御部は、前記第1の受光部が前記波長毎に受光した光の受光量から前記所定の演算式の演算値を求め、当該演算値に基づいて前記計測対象の高さを求める、三次元計測装置。 - 請求項1に記載の三次元計測装置であって、
前記パターン光は前記基準平面の所定の範囲に投影される、三次元計測装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の三次元計測装置であって、
前記第1の光源部は線状の前記パターン光を投影するものであり、
前記第1の受光部は主走査方向に並列に延びる複数のラインセンサであり、
当該三次元計測装置は、前記第1の光源部及び前記ラインセンサを前記計測対象に対して前記主走査方向に直交する副走査方向に相対移動させる移動部を備える、三次元計測装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の三次元計測装置であって、
前記第1の光源部は面状の前記パターン光を投影するものであり、
前記第1の受光部はエリアセンサである、三次元計測装置。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の三次元計測装置であって、
前記複数の波長は可視領域外の波長である、三次元計測装置。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の三次元計測装置であって、
前記パターン光は前記複数波長間の相対的な明るさが連続して且つ周期的に変化しており、且つ、周期毎に前記明るさの変動幅が異なっている、三次元計測装置。 - 請求項1に記載の三次元計測装置であって、
前記制御部は、前記第1の受光部が前記波長毎に受光した光の受光量から求めた前記演算値と、前記パターン光の各前記波長の光の明るさから求めた前記演算値を表す基準平面マップとに基づいて前記計測対象の高さを求める、三次元計測装置。 - 請求項7に記載の三次元計測装置であって、
前記制御部は、前記パターン光の各前記波長の光の理論的な明るさから前記所定の演算式によって前記演算値を求めることによって前記基準平面マップを作成する、三次元計測装置。 - 請求項7に記載の三次元計測装置であって、
前記基準平面に一致するように配置されている基準板を有し、
前記制御部は、前記第1の光源部によって前記基準板に前記パターン光を投影し、前記基準板で反射されて前記第1の受光部で受光された前記パターン光の前記波長毎の光の受光量から前記所定の演算式によって前記演算値を求めることによって前記基準平面マップを作成する、三次元計測装置。 - 請求項1乃至請求項9のいずれか一項に記載の三次元計測装置であって、
前記制御部は、前記計測対象で反射されて前記第1の受光部で受光された前記パターン光の前記波長毎の光の受光量から、前記計測対象の明るさを表す多値画像を作成する、三次元計測装置。 - 請求項1乃至請求項10のいずれか一項に記載の三次元計測装置であって、
前記第1の光源部が前記計測対象に前記パターン光を投影する方向を相対的に変更する変更部を備え、
前記制御部は、前記変更部によって前記方向を相対的に変更することにより、前記第1の光源部に少なくとも2方向から順に前記パターン光を投影させる、三次元計測装置。 - ワークに対して所定の作業を行う作業部と、
前記作業に関わる対象物の高さを計測する請求項1乃至請求項11のいずれか一項に記載の三次元計測装置と、
を備えるワーク作業装置。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の三次元計測装置であって、
前記パターン光は前記複数波長間の相対的な明るさが連続して且つ周期的に変化しており、且つ、周期毎に彩度値が異なっている、三次元計測装置。 - 請求項1から請求項11のいずれか一項に記載の三次元計測装置であって、
前記演算値は色相値である、三次元計測装置。 - 請求項10に記載の三次元計測装置であって、
前記パターン光は、赤、青、緑の各色の光の明るさを台形状に変化させ、それらの位相を120度ずつずらして重ね合わせた光であって、常に赤、青、緑のいずれかの明るさが最大値となっている光であり、
前記制御部は、前記計測対象で反射されて前記第1の受光部で受光された前記パターン光の前記波長毎の光の受光量からカラー画像を作成し、作成したカラー画像から画素毎に赤、青、緑の明るさの最大値を取得することで前記多値画像を作成する、三次元計測装置。 - 請求項10に記載の三次元計測装置であって、
前記パターン光は、赤、青、緑の各色の光の明るさをsin波で変化させ、赤、青、緑の明るさの和が常に一定となるように位相を120度ずつずらして重ね合わせた光であり、
前記制御部は、前記計測対象で反射されて前記第1の受光部で受光された前記パターン光の前記波長毎の光の受光量からカラー画像を作成し、作成したカラー画像から画素毎に赤、青、緑の明るさの和を取得することで前記多値画像を作成する、三次元計測装置。
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