DE102017203853B4 - Platinenuntersuchungsvorrichtung - Google Patents

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Abstract

Platinenuntersuchungsvorrichtung (1) zur Durchführung einer Untersuchung von sowohl einer Vorderseite als auch einer Rückseite einer Platine, wobei die Platinenuntersuchungsvorrichtung (1) umfasst:wenigstens ein vorderseitiges Bestrahlungsgerät (3A, 3B) zum Bestrahlen eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf einer Vorderseite der Platine mit vorbestimmtem Licht;eine vorderseitige Abbildungseinheit (3C) zum Aufnehmen eines Bildes des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Vorderseite der Platine, der mit dem vorbestimmten Licht bestrahlt wird;eine vorderseitige Bewegungseinheit (3D, 3E) zum Bewegen des vorderseitigen Bestrahlungsgeräts (3A, 3B) und der vorderseitigen Abbildungseinheit (3C) zu einer Position, die dem vorbestimmten Untersuchungsbereich auf der Vorderseite der Platine entspricht;wenigstens ein rückseitiges Bestrahlungsgerät (4A, 4B) zum Bestrahlen eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf einer Rückseite der Platine mit vorbestimmtem Licht;eine rückseitige Abbildungseinheit (4C) zum Aufnehmen eines Bildes des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Rückseite der Platine, der mit dem vorbestimmten Licht bestrahlt wird;eine rückseitige Bewegungseinheit (4D, 4E) zum Bewegen des rückseitigen Bestrahlungsgeräts (4A, 4B) und der rückseitigen Abbildungseinheit (4C) zu einer Position, die dem vorbestimmten Untersuchungsbereich auf der Rückseite der Platine entspricht; undeine Untersuchungseinheit zur Untersuchung des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Vorderseite der Platine auf der Grundlage von wenigstens einen Bilddaten, die durch einen durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) und die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) durchgeführten Bildermittlungsprozess des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Vorderseite der Platine gewonnen werden, und zur Untersuchung des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Rückseite der Platine auf der Grundlage von wenigstens einen Bilddaten, die durch einen durch das rückseitige Bestrahlungsgerät (4A, 4B) und die rückseitige Abbildungseinheit (4C) durchgeführten Bildermittlungsprozess des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Rückseite der Platine gewonnen werden, wobeider Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von mehreren auf der Vorderseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen und der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von mehreren auf der Rückseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen abwechselnd durchgeführt werden,bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Vorderseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) und die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem rückseitigen Bestrahlungsgerät (4A, 4B) gestoppt ist, und das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) und die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) anschließend zu einer Position bewegt werden, die einem nächsten Untersuchungsbereich entspricht, und bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Rückseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das rückseitige Bestrahlungsgerät (4A, 4B) und die rückseitige Abbildungseinheit (4C) durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem vorderseitigen Bestrahlungsgerät (3A, 3B) gestoppt ist, undbewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Rückseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das rückseitige Bestrahlungsgerät (4A, 4B) und die rückseitige Abbildungseinheit (4C) durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem vorderseitigen Bestrahlungsgerät (3A, 3B) gestoppt ist, und das Bestrahlungsgerät und die rückseitige Abbildungseinheit (4C) anschließend zu einer Position bewegt werden, die einem nächsten Untersuchungsbereich entspricht, und bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Vorderseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) und die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem rückseitigen Bestrahlungsgerät (4A, 4B) gestoppt ist,wobei der Bildermittlungsprozess durch das rückseitige Bestrahlungsgerät (4A, 4B) und die rückseitige Abbildungseinheit (4C) während einer Bewegungszeitspanne des vorderseitigen Bestrahlungsgeräts (3A, 3B) und der vorderseitigen Abbildungseinheit (3C) durchgeführt wird, undder Bildermittlungsprozess durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) und die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) während einer Bewegungszeitspanne des rückseitigen Bestrahlungsgeräts (4A, 4B) und der rückseitigen Abbildungseinheit (4C) durchgeführt wird.

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Offenbarung betrifft eine Platinenuntersuchungsvorrichtung zum Durchführen einer Untersuchung sowohl einer Vorderseite als auch einer Rückseite einer Leiterplatine oder dergleichen.
  • Stand der Technik
  • Eine Leiterplatine mit elektronischen Komponenten, die sowohl auf ihrer Vorderseite als auch ihrer Rückseite montiert sind, umfasst allgemein Elektrodenmuster, die sowohl auf einer Vorderseite als auch auf einer Rückseite eines Basissubstrats gebildet sind, das aus einem Glasepoxidharz gebildet ist, und Resistfilme, die vorgesehen sind, um diese Elektrodenmuster zu schützen.
  • In einer Fertigungsstrecke zum Montieren elektronischer Komponenten auf einer solchen Leiterplatine wird in einem Verfahren zuerst Lötpaste an vorbestimmten Positionen sowohl auf der Vorderseite als auch auf der Rückseite der Leiterplatine aufgedruckt (Lotaufdruckprozess). Das Verfahren bringt anschließend ein Klebemittel an den vorbestimmten Positionen sowohl auf der Vorderseite als auch auf der Rückseite der Leiterplatine auf (Klebemittelaufbringprozess). Das Verfahren montiert anschließend elektronische Komponenten sowohl auf der Vorderseite als auch auf der Rückseite der Leiterplatine (Montageprozess). Die elektronischen Komponenten werden durch die Viskosität der Lötpaste oder mit Hilfe des Klebemittels vorübergehend befestigt. Das Verfahren führt dann die Leiterplatine in einen Reflow-Ofen zum Lösten (Reflow-Prozess).
  • Zum Beispiel können eine Platinenuntersuchungsvorrichtung zur Durchführung einer Untersuchung des Druckzustands der Lötpaste vor dem Montieren von Komponenten (Lotdruck-Untersuchungsvorrichtung) oder eine Platinenuntersuchungsvorrichtung zur Durchführung einer Untersuchung einer Leiterplatine nach dem Montieren der Komponenten (Montageuntersuchungsvorrichtung) in dieser Fertigungsstrecke angeordnet sein.
  • Eine Untersuchungsvorrichtung zur gleichzeitigen Untersuchung sowohl der Vorderseite als auch der Rückseite der Leiterplatine ist herkömmlich als diese Platinenuntersuchungsvorrichtung bekannt.
  • So beschreibt beispielsweise DE 10 2017 202 059 A1 eine Platinenuntersuchungsvorrichtung zur Durchführung einer Untersuchung sowohl einer Vorderseite als auch einer Rückseite einer Leiterplatine.
  • Ebenfalls im Gebiet der Elektrotechnik angesiedelt, beschreibt JP 2003 - 099758 A ein Verfahren zur Prüfung des äußeren Erscheinungsbildes einer Leiterplatte, auf welcher elektronische Bauelemente wie Halbleiterbauelemente montiert sind.
  • Eine derartige Platinenuntersuchungsvorrichtung kann - wie in US 2006/0165273 A1 betreffend eine Technologie zur Inspektion des Aussehens eines Prüfstücks beschrieben - mehrere Abbildungseinheiten verwenden.
  • In der Platinenuntersuchungsvorrichtung zur gleichzeitigen Untersuchung sowohl der Vorderseite als auch der Rückseite kann es jedoch sein, dass ein Teil eines in Richtung einer Seite der Leiterplatine ausgesendeten Lichts durch ein sich durch die Leiterplatine erstreckendes Loch oder durch das Glasepoxidharz des Basissubstrats hindurchtritt und auf der anderen Seite der Leiterplatine austritt. Dadurch ist es wahrscheinlich, dass durch ein Entweichen von Licht von einer Seite die Untersuchungsgenauigkeit der Untersuchung der weiteren Seite der Leiterplatine negativ beeinflusst wird.
  • Um ein solches Problem zu verringern, platziert eine jüngst vorgeschlagene Untersuchungsvorrichtung Beleuchtungseinheiten an versetzten Positionen auf der Vorderseite und auf der Rückseite der Leiterplatine oder führt gleichzeitig eine Untersuchung sowohl der Vorderseite als auch der Rückseite der Leiterplatine durch, die mit dem Licht der gleichen Farbe bestrahlt werden (wie es zum Beispiel in der Patentliteratur 1 beschrieben ist).
  • Literaturliste
  • Patentliteratur
  • Kurzdarstellung
  • Technisches Problem
  • Jedoch ist es selbst in der Konfiguration der oben beschriebenen Patentliteratur 1 wahrscheinlich, dass eine gleichzeitige Lichtaussendung auf sowohl die Vorderseite als auch die Rückseite der Leiterplatine einen geringen Lichtaustritt zur gegenüberliegenden Seite bewirkt. Es bestehen daher nach wie vor Bedenken bezüglich des Einflusses auf die Untersuchungsgenauigkeit.
  • Zum Beispiel ist es in einer Konfiguration, die eine dreidimensionale Messung (Untersuchung) auf der Grundlage einer Differenz zwischen Helligkeitswerten von mehreren mit Lichtmustern unterschiedlicher Phasen aufgenommener Bilddaten durchführt, zum Beispiel eine dreidimensionale Messung mit Hilfe des Phasenverschiebungsverfahrens, wahrscheinlich, dass selbst ein geringfügiger Lichtaustritt selbst des Lichts der gleichen Farbe von der anderen Seite der Leiterplatine große Auswirkungen auf die Effekt auf die Untersuchungsgenauigkeit der Untersuchung einer Seite der Leiterplatine hat.
  • Eine Konfiguration, die zum Beispiel eine Untersuchung der Rückseite der Leiterplatine nach Beenden der Untersuchung der Vorderseite der Leiterplatine durchführt, verlängert wahrscheinlich die Untersuchungszeit.
  • Zum Beispiel ist es wahrscheinlich, dass, wenn eine große Anzahl von Untersuchungsbereichen auf sowohl der Vorderseite als auch der Rückseite der Leiterplatine festgelegt ist, die Untersuchungszeit beträchtlich verlängert ist (wie es in 9 gezeigt ist).
  • Unter Berücksichtigung der oben beschriebenen Umstände ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Platinenuntersuchungsvorrichtung zur Verbesserung der Untersuchungsgenauigkeit und Erhöhung der Untersuchungsgeschwindigkeit einer doppelseitigen Untersuchung einer Platine bereitzustellen.
  • Lösung der Aufgabe
  • Nachfolgend ist jeder von verschiedenen Aspekten beschrieben, die geeignet sind, die oben beschriebenen Probleme zu lösen. Funktionen und vorteilhaft Effekte, die für die einzelnen Aspekte charakteristisch sind, sind ebenfalls beschrieben.
  • Aspekt 1: Es wird eine Platinenuntersuchungsvorrichtung zur Durchführung einer Untersuchung von sowohl einer Vorderseite als auch einer Rückseite einer Platine bereitgestellt. Die Platinenuntersuchungsvorrichtung umfasst wenigstens ein vorderseitiges Bestrahlungsgerät zum Bestrahlen eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf einer Vorderseite der Platine mit vorbestimmtem Licht; eine vorderseitige Abbildungseinheit zum Aufnehmen eines Bildes des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Vorderseite der Platine, der mit dem vorbestimmten Licht bestrahlt wird; eine vorderseitige Bewegungseinheit zum Bewegen des vorderseitigen Bestrahlungsgeräts und der vorderseitigen Abbildungseinheit zu einer Position, die dem vorbestimmten Untersuchungsbereich auf der Vorderseite der Platine entspricht; wenigstens ein rückseitiges Bestrahlungsgerät zum Bestrahlen eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf einer Rückseite der Platine mit vorbestimmtem Licht; eine rückseitige Abbildungseinheit zum Aufnehmen eines Bildes des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Rückseite der Platine, der mit dem vorbestimmten Licht bestrahlt wird; eine rückseitige Bewegungseinheit zum Bewegen des rückseitigen Bestrahlungsgeräts und der rückseitigen Abbildungseinheit zu einer Position, die dem vorbestimmten Untersuchungsbereich auf der Rückseite der Platine entspricht; und eine Untersuchungseinheit zur Untersuchung des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Vorderseite der Platine auf der Grundlage von wenigstens einen Bilddaten, die durch einen durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät und die vorderseitige Abbildungseinheit durchgeführten Bildermittlungsprozess des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Vorderseite der Platine gewonnen werden, und zur Untersuchung des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Rückseite der Platine auf der Grundlage von wenigstens einen Bilddaten, die durch einen durch das rückseitige Bestrahlungsgerät und die rückseitige Abbildungseinheit durchgeführten Bildermittlungsprozess des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Rückseite der Platine gewonnen werden. Der Bildermittlungsprozess eines Untersuchungsbereichs von mehreren Untersuchungsbereichen, die auf der Vorderseite der Platine festgelegt sind, und der Bildermittlungsprozess eines Untersuchungsbereichs von mehreren Untersuchungsbereichen, die auf der Rückseite der Platine festgelegt sind, werden abwechselnd durchgeführt, indem bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs (wenigstens ein Abbildungsprozess) von den mehreren, auf der Vorderseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät und die vorderseitige Abbildungseinheit durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem rückseitigen Bestrahlungsgerät gestoppt ist, und das vorderseitige Bestrahlungsgerät und die vorderseitige Abbildungseinheit anschließend zu einer Position werden, die einem nächsten Untersuchungsbereich entspricht, und bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess (wenigstens ein Abbildungsprozess) des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Rückseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das rückseitige Bestrahlungsgerät und die rückseitige Abbildungseinheit durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem vorderseitigen Bestrahlungsgerät gestoppt ist, und bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess (wenigstens ein Abbildungsprozess) des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Rückseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das rückseitige Bestrahlungsgerät und die rückseitige Abbildungseinheit durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem vorderseitigen Bestrahlungsgerät gestoppt ist, und das Bestrahlungsgerät und die rückseitige Abbildungseinheit anschließend zu einer Position bewegt werden, die einem nächsten Untersuchungsbereich entspricht, und bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess (wenigstens ein Abbildungsprozess) des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Vorderseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät und die vorderseitige Abbildungseinheit durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem rückseitigen Bestrahlungsgerät gestoppt ist. Der Bildermittlungsprozess wird durch das rückseitige Bestrahlungsgerät und die rückseitige Abbildungseinheit während einer Bewegungszeitspanne des vorderseitigen Bestrahlungsgeräts und der vorderseitigen Abbildungseinheit durchgeführt (abgeschlossen), und der Bildermittlungsprozess wird durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät und die vorderseitige Abbildungseinheit während einer Bewegungszeitspanne des rückseitigen Bestrahlungsgeräts und der rückseitigen Abbildungseinheit durchgeführt (abgeschlossen).
  • Die Konfiguration, die es ermöglicht, dass das Bestrahlungsgerät und die Abbildungseinheit für die Vorderseite der Platine und das Bestrahlungsgerät und die Abbildungseinheit für die Rückseite der Platine getrennt angetrieben und gesteuert werden, wie gemäß dem oben beschriebenen Aspekt 1, bewirkt wahrscheinlich, dass sich die Untersuchungszeitspannen der Vorderseite und der Rückseite der Platine einander überlappen, wobei die Untersuchungseffizienz erhöht wird. In diesem Fall tritt wahrscheinlich das oben in dem Abschnitt Technisches Problem beschriebene Problem auf.
  • Die Konfiguration des oben beschriebenen Aspekts 1 bewegt jedoch das Bestrahlungsgerät und die Abbildungseinheit der Vorderseite (oder der Rückseite) zu einer Position, die einem nächsten Untersuchungsbereich entspricht, und führt den Bildermittlungsprozess der Rückseite (oder der Vorderseite) der Platine durch, und zwar nach der Durchführung des Bildermittlungsprozesses der Vorderseite (oder die Rückseite) der Platine.
  • Diese Konfiguration wiederholt somit abwechselnd den Bildermittlungsprozess der Vorderseite der Platine und den Bildermittlungsprozess der Rückseite der Platine, um so die Bildermittlungsprozesse der mehreren Untersuchungsbereiche auf der Vorderseite der Platine und die Bildermittlungsprozesse der mehreren Untersuchungsbereiche auf der Rückseite der Platine gleichzeitig durchzuführen.
  • Diese Konfiguration erhöht folglich die Untersuchungsgeschwindigkeit der doppelseitigen Untersuchung der Platine im Vergleich mit einer Konfiguration, die zum Beispiel alle Bildermittlungsprozesse der mehreren Untersuchungsbereiche auf der Rückseite der Platine nach Beenden aller Bildermittlungsprozesse der mehreren Untersuchungsbereiche auf der Vorderseite der Platine durchführt.
  • Die Konfiguration dieses Aspekts stoppt die Aussendung von Licht auf der Rückseite (oder auf der Vorderseite) während einer Bildermittlungszeitspanne auf der Vorderseite (oder der Rückseite) der Platine. Diese Konfiguration ermöglicht die Gewinnung von Bilddaten mit hoher Genauigkeit, ohne ein Austreten von Licht zur Vorderseite (oder zur Rückseite) zu bewirken. Dadurch erhöht diese Konfiguration die Untersuchungsgenauigkeit der doppelseitigen Untersuchung der Platine.
  • Dadurch wird die Untersuchungsgenauigkeit erhöht und die Untersuchungsgeschwindigkeit der doppelseitigen Untersuchung der Platine erhöht.
  • Die Konfiguration des oben beschriebenen Aspekts 1 nutzt die Bewegungszeitspanne, in der das Bestrahlungsgerät und die Abbildungseinheit für eine Seite (zum Beispiel das vorderseitige Bestrahlungsgerät und die vorderseitige Abbildungseinheit) zu einer Position bewegt werden, die einem nächsten Untersuchungsbereich entspricht, um einen Bildermittlungsprozess durch das Bestrahlungsgerät und die Abbildungseinheit von der anderen Seite (zum Beispiel das rückseitige Bestrahlungsgerät und die rückseitige Abbildungseinheit) durchzuführen.
  • Diese Konfiguration ermöglicht die Durchführung aller Bildermittlungsprozesse von mehreren Untersuchungsbereichen auf der gesamten Rückseite (oder auf der gesamten Vorderseite) der Platine, ohne die Mindestzeitspanne zu verlängern, die zum Beenden aller Bildermittlungsprozesse der mehreren Untersuchungsbereiche auf der gesamten Vorderseite (oder auf der gesamten Rückseite) der Platine (einschließlich der Bewegungszeitspannen zwischen den Bildermittlungsprozessen) erforderlich ist. Dadurch wird die Untersuchungsgeschwindigkeit der doppelseitigen Untersuchung der Platine erhöht.
  • Aspekt 2: Es wird eine Platinenuntersuchungsvorrichtung zur Durchführung einer Untersuchung von sowohl einer Vorderseite als auch einer Rückseite einer Platine bereitgestellt. Die Platinenuntersuchungsvorrichtung umfasst wenigstens ein vorderseitiges Bestrahlungsgerät zum Bestrahlen eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf einer Vorderseite der Platine mit vorbestimmtem Licht; eine vorderseitige Abbildungseinheit zum Aufnehmen eines Bildes des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Vorderseite der Platine, der mit dem vorbestimmten Licht bestrahlt wird; eine vorderseitige Bewegungseinheit zum Bewegen des vorderseitigen Bestrahlungsgeräts und der vorderseitigen Abbildungseinheit zu einer Position, die dem vorbestimmten Untersuchungsbereich auf der Vorderseite der Platine entspricht; wenigstens ein rückseitiges Bestrahlungsgerät zum Bestrahlen eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf einer Rückseite der Platine mit vorbestimmtem Licht; eine rückseitige Abbildungseinheit zum Aufnehmen eines Bildes des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Rückseite der Platine, der mit dem vorbestimmten Licht bestrahlt wird; eine rückseitige Bewegungseinheit zum Bewegen des rückseitigen Bestrahlungsgeräts und der rückseitigen Abbildungseinheit zu einer Position, die dem vorbestimmten Untersuchungsbereich auf der Rückseite der Platine entspricht; und eine Untersuchungseinheit zur Untersuchung des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Vorderseite der Platine auf der Grundlage von wenigstens einen Bilddaten, die durch einen durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät und die vorderseitige Abbildungseinheit durchgeführten Bildermittlungsprozess des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Vorderseite der Platine gewonnen werden, und zur Untersuchung des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Rückseite der Platine auf der Grundlage von wenigstens einen Bilddaten, die durch einen durch das rückseitige Bestrahlungsgerät und die rückseitige Abbildungseinheit durchgeführten Bildermittlungsprozess des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Rückseite der Platine gewonnen werden. Der Bildermittlungsprozess eines Untersuchungsbereichs von mehreren Untersuchungsbereichen, die auf der Vorderseite der Platine festgelegt sind, und der Bildermittlungsprozess eines Untersuchungsbereichs von mehreren Untersuchungsbereichen, die auf der Rückseite der Platine festgelegt sind, werden abwechselnd durchgeführt, indem bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs (wenigstens ein Abbildungsprozess) von den mehreren, auf der Vorderseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät und die vorderseitige Abbildungseinheit durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem rückseitigen Bestrahlungsgerät gestoppt ist, und das vorderseitige Bestrahlungsgerät und die vorderseitige Abbildungseinheit anschließend zu einer Position werden, die einem nächsten Untersuchungsbereich entspricht, und bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess (wenigstens ein Abbildungsprozess) des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Rückseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das rückseitige Bestrahlungsgerät und die rückseitige Abbildungseinheit durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem vorderseitigen Bestrahlungsgerät gestoppt ist, und bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess (wenigstens ein Abbildungsprozess) des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Rückseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das rückseitige Bestrahlungsgerät und die rückseitige Abbildungseinheit durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem vorderseitigen Bestrahlungsgerät gestoppt ist, und das Bestrahlungsgerät und die rückseitige Abbildungseinheit anschließend zu einer Position bewegt werden, die einem nächsten Untersuchungsbereich entspricht, und bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess (wenigstens ein Abbildungsprozess) des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Vorderseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät und die vorderseitige Abbildungseinheit durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem rückseitigen Bestrahlungsgerät gestoppt ist. Das vorderseitige Bestrahlungsgerät und die vorderseitige Abbildungseinheit werden gemäß einer vorbestimmten Untersuchungsabfolge nacheinander zu Positionen bewegt, die den mehreren, auf der Vorderseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen entsprechen, und die Bildermittlungsprozesse der mehreren Untersuchungsbereiche werden nacheinander durchgeführt. Das rückseitige Bestrahlungsgerät und die rückseitige Abbildungseinheit werden gemäß einer vorbestimmten Untersuchungsabfolge nacheinander zu Positionen bewegt, die den mehreren, auf der Rückseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen entsprechen, und die Bildermittlungsprozesse der mehreren Untersuchungsbereiche werden nacheinander durchgeführt. Die Untersuchungsabfolge der Vorderseite der Platine ist so festgelegt, dass ein Bewegungsweg des vorderseitigen Bestrahlungsgeräts und der vorderseitigen Abbildungseinheit ein kürzester Weg ausgehend von einem vorbestimmten Startpunkt ist, und/oder die Untersuchungsabfolge der Rückseite der Platine ist so festgelegt, dass ein Bewegungsweg des rückseitigen Bestrahlungsgeräts und der rückseitige Abbildungseinheit ein kürzester Weg ausgehend von einem vorbestimmten Startpunkt ist.
  • Die Konfiguration des oben beschriebenen Aspekts 2 legt die Untersuchungsabfolge so fest, dass der Bewegungsweg des Bestrahlungsgeräts und der Abbildungseinheit der kürzeste Weg ausgehend von dem vorbestimmten Startpunkt (zum Beispiel ein vorbestimmter Untersuchungsbereich oder eine zuletzt abgebildete Erkennungsmarkierung) bezüglich wenigstens entweder der Vorderseite oder der Rückseite der Platine ist. Dies erhöht die Untersuchungsgeschwindigkeit weiter.
  • Aspekt 3: Es wird eine Platinenuntersuchungsvorrichtung zur Durchführung einer Untersuchung von sowohl einer Vorderseite als auch einer Rückseite einer Platine bereitgestellt. Die Platinenuntersuchungsvorrichtung umfasst wenigstens ein vorderseitiges Bestrahlungsgerät zum Bestrahlen eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf einer Vorderseite der Platine mit vorbestimmtem Licht; eine vorderseitige Abbildungseinheit zum Aufnehmen eines Bildes des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Vorderseite der Platine, der mit dem vorbestimmten Licht bestrahlt wird; eine vorderseitige Bewegungseinheit zum Bewegen des vorderseitigen Bestrahlungsgeräts und der vorderseitigen Abbildungseinheit zu einer Position, die dem vorbestimmten Untersuchungsbereich auf der Vorderseite der Platine entspricht; wenigstens ein rückseitiges Bestrahlungsgerät zum Bestrahlen eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf einer Rückseite der Platine mit vorbestimmtem Licht; eine rückseitige Abbildungseinheit zum Aufnehmen eines Bildes des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Rückseite der Platine, der mit dem vorbestimmten Licht bestrahlt wird; eine rückseitige Bewegungseinheit zum Bewegen des rückseitigen Bestrahlungsgeräts und der rückseitigen Abbildungseinheit zu einer Position, die dem vorbestimmten Untersuchungsbereich auf der Rückseite der Platine entspricht; und eine Untersuchungseinheit zur Untersuchung des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Vorderseite der Platine auf der Grundlage von wenigstens einen Bilddaten, die durch einen durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät und die vorderseitige Abbildungseinheit durchgeführten Bildermittlungsprozess des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Vorderseite der Platine gewonnen werden, und zur Untersuchung des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Rückseite der Platine auf der Grundlage von wenigstens einen Bilddaten, die durch einen durch das rückseitige Bestrahlungsgerät und die rückseitige Abbildungseinheit durchgeführten Bildermittlungsprozess des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Rückseite der Platine gewonnen werden. Der Bildermittlungsprozess eines Untersuchungsbereichs von mehreren Untersuchungsbereichen, die auf der Vorderseite der Platine festgelegt sind, und der Bildermittlungsprozess eines Untersuchungsbereichs von mehreren Untersuchungsbereichen, die auf der Rückseite der Platine festgelegt sind, werden abwechselnd durchgeführt, indem bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs (wenigstens ein Abbildungsprozess) von den mehreren, auf der Vorderseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät und die vorderseitige Abbildungseinheit durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem rückseitigen Bestrahlungsgerät gestoppt ist, und das vorderseitige Bestrahlungsgerät und die vorderseitige Abbildungseinheit anschließend zu einer Position werden, die einem nächsten Untersuchungsbereich entspricht, und bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess (wenigstens ein Abbildungsprozess) des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Rückseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das rückseitige Bestrahlungsgerät und die rückseitige Abbildungseinheit durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem vorderseitigen Bestrahlungsgerät gestoppt ist, und bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess (wenigstens ein Abbildungsprozess) des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Rückseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das rückseitige Bestrahlungsgerät und die rückseitige Abbildungseinheit durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem vorderseitigen Bestrahlungsgerät gestoppt ist, und das Bestrahlungsgerät und die rückseitige Abbildungseinheit anschließend zu einer Position bewegt werden, die einem nächsten Untersuchungsbereich entspricht, und bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess (wenigstens ein Abbildungsprozess) des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Vorderseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät und die vorderseitige Abbildungseinheit durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem rückseitigen Bestrahlungsgerät gestoppt ist. Wenigstens ein bestimmtes Objekt zur Positionierung ist auf der Vorderseite der Platine angeordnet und wenigstens ein bestimmtes Objekt zur Positionierung ist auf der Rückseite der Platine angeordnet. Bezüglich der Vorderseite der Platine werden, nachdem das wenigstens eine bestimmte Objekt einzeln durch die vorderseitige Abbildungseinheit abgebildet ist, die Bildermittlungsprozesse der mehreren Untersuchungsbereiche, die auf der Vorderseite der Platine festgelegt sind, nacheinander durchgeführt. Bezüglich der Rückseite der Platine werden, nachdem wenigstens ein bestimmtes Objekt einzeln durch die rückseitige Abbildungseinheit abgebildet ist, die Bildermittlungsprozesse der mehreren Untersuchungsbereiche, die auf der Rückseite der Platine festgelegt sind, nacheinander durchgeführt.
  • Die Konfiguration des oben beschriebenen Aspekts 3 nimmt ein Bild des bestimmten Objekts auf und führt eine Positionierung durch. Dadurch wird die Untersuchungsgenauigkeit der doppelseitigen Untersuchung der Platine weiter erhöht.
  • Zum Beispiel kann die Konfiguration der Platinenuntersuchungsvorrichtung umfassen:
    • „einen vorderseitigen Korrektor zum Korrigieren einer relativen räumlichen Beziehung zwischen der vorderseitigen Abbildungseinheit und der Vorderseite der Platine auf der Grundlage einer Positionsinformation von mehreren der bestimmten Objekte, die durch die vorderseitige Abbildungseinheit auf der Vorderseite der Platine abgebildet werden; und
    • einen rückseitigen Korrektor zum Korrigieren einer relative räumliche Beziehung zwischen der rückseitigen Abbildungseinheit und der Rückseite der Platine auf der Grundlage Positionsinformation von mehreren der bestimmten Objekte, die durch die rückseitige Abbildungseinheit auf der Rückseite der Platine abgebildet werden‟.
  • Aspekt 4: In der in dem obigen Aspekt 3 beschriebenen Platinenuntersuchungsvorrichtung, kann bezüglich wenigstens entweder der Vorderseite oder der Rückseite der Platine ein Untersuchungsbereich in einem kürzesten Abstand von einem bestimmten Objekt, das von dem wenigstens einen bestimmten Objekt zuletzt abgebildet wird, als ein Untersuchungsbereich festgelegt werden, für den der Bildermittlungsprozess zuerst durchgeführt werden muss.
  • Die Konfiguration des oben beschriebenen Aspekts 4 startet die Untersuchung eines Untersuchungsbereich, der dem bestimmten Objekt am nächsten liegt, das von dem wenigstens einen bestimmten Objekt zuletzt aufgenommen wird. Dies verkürzt die Zeitspanne, die bis zu einem Start einer Untersuchung des ersten Untersuchungsbereichs verstreicht, und erhöht damit die Untersuchungsgeschwindigkeit.
  • Aspekt 5: Die in entweder dem obigen Aspekt 3 oder dem obigen Aspekt 4 beschriebene Platinenuntersuchungsvorrichtung kann ferner eine Speichereinheit zum Speichern einer im Voraus gewonnenen, relativen räumlichen Beziehung zwischen der vorderseitigen Abbildungseinheit und der rückseitigen Abbildungseinheit (und einer relativen räumlichen Beziehung zwischen der Vorderseite und der Rückseite der Platine); und einen Korrektor zum Korrigieren einer relativen räumlichen Beziehung zwischen der vorderseitige Abbildungseinheit und der Vorderseite der Platine und einer relativen räumlichen Beziehung zwischen der rückseitigen Abbildungseinheit und der Rückseite der Platine auf der Grundlage einer Positionsinformation eines bestimmten Objekts auf der Vorderseite der Platine, das durch die vorderseitige Abbildungseinheit abgebildet wird, einer Positionsinformation eines bestimmten Objekts auf der Rückseite der Platine, das durch die rückseitige Abbildungseinheit abgebildet wird, und der in der Speichereinheit gespeicherten relativen räumlichen Beziehung zwischen der vorderseitigen Abbildungseinheit und der rückseitigen Abbildungseinheit (und der relativen räumlichen Beziehung zwischen der Vorderseite und der Rückseite der Platine) umfassen.
  • Die Konfiguration des oben beschriebenen Aspekts 5 verwendet die Positionsinformation des bestimmten Objekts einer Seite von der Vorderseite und der Rückseite der Platine als die Positionsinformation der anderen Seite und erlaubt dadurch die Korrektur von Positionen durch Aufnehmen eines Bildes von nur einem bestimmten Objekt (d. h. ohne Bilder von mehreren bestimmten Objekten aufzunehmen) auf sowohl der Vorderseite als auch der Rückseite der Platine. Dadurch wird die Untersuchungsgenauigkeit der doppelseitigen Untersuchung der Platine weiter erhöht.
  • Diese Konfiguration startet die Untersuchung, ohne Bilder von mehreren bestimmten Objekten auf der Vorderseite und der Rückseite der Platine aufzunehmen, und erhöht dadurch die Untersuchungsgeschwindigkeit.
  • Zum Beispiel kann diese Konfiguration die oben beschrieben Korrektur auf der Grundlage der im Voraus durch Kalibrierung oder dergleichen (zum Beispiel Versetzungsbeträge beider Abbildungseinheiten) bestimmten relativen räumlichen Beziehung zwischen der vorderseitigen Abbildungseinheit und der rückseitigen Abbildungseinheit unter der Annahme durchführen, dass keine räumliche Fehlausrichtung (zum Beispiel eine Stapelabweichung oder Fehlausrichtung von Mustern) zwischen der Vorderseite und der Rückseite der Platine vorliegt.
  • Wenn eine räumliche Fehlausrichtung zwischen der Vorderseite und der Rückseite der Platine vorliegt, kann die oben beschriebene Korrektur zum Beispiel dadurch durchgeführt werden, dass im Voraus eine Information über die in einem vorherigen Prozess (zum Beispiel einem Musteruntersuchungsprozess) erfasste räumliche Fehlausrichtung zwischen der Vorderseite und der Rückseite der Platine (d. h. eine relative räumliche Beziehung zwischen der Vorderseite und der Rückseite der Platine) gewonnen wird.
  • Zum Beispiel kann ein Durchgangsloch, das sich zwischen der Vorderseite und der Rückseite durch die Platine erstreckt, als das bestimmte Objekt zur Positionierung verwendet werden. Dies erlaubt die obige Korrektur ohne Berücksichtigung der räumlichen Fehlausrichtung zwischen der Vorderseite und der Rückseite der Platine.
  • Aspekt 6: In der in einem der obigen Aspekte 1 bis 5 beschriebenen Platinenuntersuchungsvorrichtung kann wenigstens entweder das vorderseitige Bestrahlungsgerät oder das rückseitige Bestrahlungsgerät ausgelegt sein, um ein Lichtmuster mit einer streifenförmigen Lichtintensitätsverteilung als das vorbestimmte Licht auszusenden. Die Untersuchungseinheit kann ausgelegt sein, um eine dreidimensionale Messung durch ein Phasenverschiebungsverfahren auf der Grundlage mehrerer, mit dem Lichtmuster unterschiedlicher Phasen aufgenommener Bilddaten durchzuführen.
  • Im Falle einer dreidimensionalen Messung mit Hilfe des Phasenverschiebungsverfahrens, wie es oben in dem Abschnitt „Technisches Problem“ beschrieben ist, ist es wahrscheinlich, dass selbst ein geringfügiges Austreten von Licht von der anderen Seite der Platine einen deutlichen Einfluss auf die Untersuchungsgenauigkeit der Untersuchung der einen Seite der Platine hat.
  • Die dreidimensionale Messung mit Hilfe des Phasenverschiebungsverfahrens erfordert eine mehrfache Abbildung eines Untersuchungsbereichs. Daher ist es wahrscheinlich, dass eine Konfiguration zum Durchführen aller Bildermittlungsprozesse der mehreren Untersuchungsbereiche auf der Rückseite der Platine nach Beenden aller Bildermittlungsprozesse der mehreren Untersuchungsbereiche auf der Vorderseite der Platine die Untersuchungszeit beträchtlich verlängert.
  • Die Konfiguration des oben beschriebenen Aspekts 6 gewährleistet somit bessere Funktionen und bessere Effekte als diejenigen, die durch die Konfiguration des oben beschriebenen Aspekts 1 erreicht werden. Dies erhöht die Untersuchungsgenauigkeit und erhöht die Untersuchungsgeschwindigkeit der doppelseitigen Untersuchung der Platine.
  • Aspekt 7: In der in einem der obigen Aspekte 1 bis 6 beschriebenen Platinenuntersuchungsvorrichtung kann die Platine entweder eine Leiterplatine sein, auf der Lötpaste aufgedruckt ist, oder ein Wafersubstrat, auf dem ein Lötbump gebildet ist.
  • Die Konfiguration des oben beschriebenen Aspekts 7 dient der Durchführung einer Untersuchung einer auf die Leiterplatine aufgedruckte Lötpaste oder eine Untersuchung eines auf dem Wafersubstrat gebildeten Lötbumps. Daher können die Funktionen und die vorteilhaften Effekte von jedem der obigen Aspekte bei der Untersuchung der Lötpaste oder der Untersuchung der Lötbumps realisiert sein. Dies erlaubt eine sehr genaue Qualitätsbestimmung von Lötdruck oder Lötbumpbildung. Dadurch erhöht diese Konfiguration die Untersuchungsgenauigkeit und die Untersuchungsgeschwindigkeit der Untersuchung von Lötdruck oder der Untersuchung von Lötbumps.
  • Figurenliste
    • 1 ist ein schematisches Konfigurationsdiagramm, das schematisch eine Platinenuntersuchungsvorrichtung zeigt;
    • 2 ist eine Schnittansicht, die vergrößert einen Teil einer Leiterplatine zeigt;
    • 3 ist ein Blockdiagramm, das die elektrische Konfiguration der Platinenuntersuchungsvorrichtung zeigt;
    • 4 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Bildermittlungsprozess eines Untersuchungsbereichs zeigt;
    • 5A bis 5C sind Ablaufdiagramme, die Verarbeitungsoperationen einer Oberseiten-Untersuchungseinheit und einer Untersuchungseinheit zur Untersuchung sowohl einer Oberseite als auch einer Unterseite der Leiterplatine zeigt;
    • 6 ist ein Diagramm, das Abfolgen von Untersuchungen der Oberseite und der Unterseite der Leiterplatine zeigt;
    • 7 ist ein Diagramm, das Abfolgen von Untersuchungen der Oberseite und der Unterseite der Leiterplatine gemäß einer weiteren Ausführungsform zeigt;
    • 8 ist ein Diagramm, das Abfolgen von Untersuchungen der Oberseite und der Unterseite der Leiterplatine gemäß einer weiteren Ausführungsform zeigt;
    • 9 ist ein Ablaufdiagramm, das Verarbeitungsoperationen einer bekannten Oberseiten-Untersuchungseinheit und einer bekannten Unterseiten-Untersuchungseinheit zur Untersuchung sowohl der Oberseite als auch der Unterseite der Leiterplatine zeigt;
    • 10 ist ein schematisches Konfigurationsdiagramm, das schematisch eine Platinenuntersuchungsvorrichtung gemäß einer weiteren Ausführungsform zeigt;
    • 11 ist eine vergrößerte Schnittansicht, die einen Teil einer Beleuchtungsvorrichtung für eine zwei-dimensionale Untersuchung gemäß einer weiteren Ausführungsform zeigt;
    • 12 ist ein schematisches Konfigurationsdiagramm, das schematisch ein Beispiel einer Schutzabdeckung für eine Unterseiten-Untersuchungskamera und ihren Untersuchungsmechanismus;
    • 13 ist ein schematisches Konfigurationsdiagramm, das schematisch ein weiteres Beispiel der Schutzabdeckung für die Unterseiten-Untersuchungskamera und ihren Untersuchungsmechanismus zeigt;
    • 14 ist ein schematisches Konfigurationsdiagramm, das schematisch ein weiteres Beispiel der Schutzabdeckung für die Unterseiten-Untersuchungskamera und ihren Untersuchungsmechanismus zeigt; und
    • 15 ist ein schematisches Konfigurationsdiagramm, das schematisch ein weiteres Beispiel der Schutzabdeckung für die Unterseiten-Untersuchungskamera und ihren Untersuchungsmechanismus zeigt.
  • Beschreibung von Ausführungsformen
  • [Erste Ausführungsform]
  • Nachfolgend ist eine Ausführungsform mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben. Zuerst ist die Konfiguration einer Leiterplatine als ein Untersuchungsobjekt ausführlich beschrieben. Gemäß dieser Ausführungsform ist das Untersuchungsobjekt eine doppelschichtige Platine (doppelseitige Platine) mit elektronischen Komponenten, die sowohl auf ihrer Vorderseite als auch auf ihrer Rückseite montiert sind.
  • Wie es in 2 gezeigt ist, umfasst eine Leiterplatine P1 Elektrodenmuster P3, die aus einer Kupferfolie gebildet und sowohl auf der Vorderseite als auch auf der Rückseite eines flachplattigen, zum Beispiel aus einem Glasepoxidharz gebildeten Basissubstrats P2 angeordnet sind. Ferner ist eine Lötpaste P4, die ein Messobjekt ist, das auf bestimmten Bereichen (zum Beispiel Kontaktstellen und Lötaugen) des Elektrodenmusters P3 aufgedruckt und gebildet ist. Ein Bereich, auf dem die Lötpaste P4 aufgedruckt ist, ist als „Lotaufdruckbereich“ bezeichnet. Ein verbleibender Teil, der nicht der Lotaufdruckbereich ist, ist allgemein als „Hintergrundbereich“ bezeichnet. Dieser Hintergrundbereich umfasst einen Bereich, in dem das Elektrodenmuster P3 freiliegt (gezeigt durch ein Bezugszeichen Pa), einen Bereich, in dem das Basissubstrat P2 freiliegt (gezeigt durch ein Bezugszeichen Pb), einen Bereich, in dem das Basissubstrat P2 mit einem Resistfilm P5 überzogen oder beschichtet ist (gezeigt durch ein Bezugszeichen Pc) und einen Bereich, in dem das Elektrodenmuster P3 mit dem Resistfilm P5 überzogen oder beschichtet ist (gezeigt durch ein Bezugszeichen Pd). Sowohl die Vorderseite als auch die Rückseite der Leiterplatine P1 sind mit dem Resistfilm P5 beschichtet, um zu verhindern, dass die Lötpaste P4 an irgendeinem verbleibende Teil klebt oder haftet, der kein bestimmter Verdrahtungsbereich ist.
  • Erkennungsmarken sind als bestimmte Objekte zur Positionierung sowohl auf der Vorderseite als auch auf der Rückseite der Leiterplatine P1 angeordnet (wie es zum Beispiel in 6 gezeigt ist). Insbesondere sind eine erste Erkennungsmarkierung [A] und eine zweite Erkennungsmarkierung [B] an zwei Ecken angeordnet, die sich auf einer vorbestimmten Diagonale von vier Ecken auf der Vorderseite der Leiterplatine P1 befinden. Entsprechend sind eine erste Erkennungsmarkierung [a] und eine zweite Erkennungsmarkierung [b] an zwei Ecken angeordnet, die sich auf einer vorbestimmten Diagonale von vier Ecken auf der Rückseite der Leiterplatine P1 befinden.
  • Nachfolgend ist die Konfiguration einer Platinenuntersuchungsvorrichtung 1 zur Durchführung einer Untersuchung der Leiterplatine P1 ausführlich beschrieben. Die Platinenuntersuchungsvorrichtung 1 gemäß dieser Ausführungsform wird als eine Lotdruck-Untersuchungsvorrichtung zur Durchführung einer Untersuchung des Druckzustands der Lötpaste P4 in einem Stadium vor dem Montieren elektronischer Komponenten verwendet. 1 ist ein schematisches Konfigurationsdiagramm, das schematisch die Platinenuntersuchungsvorrichtung 1 zeigt.
  • Wie es gezeigt ist in 1, umfasst die Platinenuntersuchungsvorrichtung 1 einen Transportmechanismus 2, um zum Beispiel die Leiterplatine P1 zu transportieren und zu positionieren, eine Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 zur Untersuchung der Oberseite (Vorderseite) der Leiterplatine P1, eine Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 zur Untersuchung einer Unterseite (Rückseite) der Leiterplatine P1 und eine Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 (gezeigt in 3) zur Durchführung verschiedener Steuerungen bzw. Regelungen, Bildverarbeitungen und arithmetischen Verarbeitungen in der Platinenuntersuchungsvorrichtung 1, zum Beispiel einer Steuerung des Transportmechanismus 2 und der Untersuchungseinheiten 3 und 4. Gemäß dieser Ausführungsform dient die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 als die Untersuchungseinheit.
  • Der Transportmechanismus 2 umfasst ein Paar von Transportschienen 2a, die in einer Transportrichtung der Leiterplatine P1 angeordnet sind, Endlostransportbänder 2b, die relativ zu den jeweiligen Transportschienen 2a drehbar angeordnet sind, Antriebsmittel (nicht gezeigt) wie etwa Motoren zum Antreiben der jeweiligen Transportbänder 2b und einen Feststellmechanismus (nicht gezeigt) zum Positionieren der Leiterplatine P1 an einer vorbestimmten Position. Der Transportmechanismus 2 wird durch die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 angetrieben und gesteuert.
  • Die obige Konfiguration bewirkt, dass die Leiterplatine P1, die in die Platinenuntersuchungsvorrichtung 1 transportiert wird, auf den Transportbändern 2b angeordnet wird, wobei jeweilige Seitenränder der Leiterplatine P1 in einer Breitenrichtung, die senkrecht zu der Transportrichtung ist, in die jeweiligen Transportschienen 2a eingeführt werden. Die Transportbänder 2b starten anschließend einen Transport der Leiterplatine P1 zu einer vorbestimmten Untersuchungsposition. Wenn die Leiterplatine P1 die Untersuchungsposition erreicht hat, werden die Transportbänder 2b gestoppt und der Feststellmechanismus betätigt. Die Transportbänder 2b werden durch die Betätigung dieses Feststellmechanismus nach oben gedrückt, so dass die jeweiligen Seitenränder der Leiterplatine P1 zwischen den Transportbändern 2b und den oberen Abschnitten der Transportschienen 2a angeordnet sind. Dies bewirkt, dass die Leiterplatine P1 an der Untersuchungsposition positioniert und festgelegt wird. Nach Beenden der Untersuchung wird die Festlegung durch den Feststellmechanismus gelöst und werden die Transportbänder 2b gestartet. Dies bewirkt, dass die Leiterplatine P1 aus der Platinenuntersuchungsvorrichtung 1 heraustransportiert wird. Die Konfiguration des Transportmechanismus 2 ist natürlich nicht auf die Konfiguration dieser oben beschriebenen Ausführungsform begrenzt, sondern es kann jede andere Konfiguration für den Transportmechanismus 2 verwendet werden.
  • Die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 ist über den Transportschienen 2a (d. h. dem Transportweg der Leiterplatine P1) angeordnet. Die Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 ist unter den Transportschienen 2a (d. h. dem Transportweg der Leiterplatine P1) angeordnet.
  • Die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 umfasst eine erste Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A und eine zweite Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B, die als das vorderseitige Bestrahlungsgerät zum Bestrahlen eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Oberseite der Leiterplatine P1 mit einem vorbestimmten Streifenmuster zur dreidimensionale Messung, das schräg nach unten ausgesendet wird (Lichtmuster mit einer streifenförmigen Lichtintensitätsverteilung) vorgesehen sind, eine Oberseiten-Untersuchungskamera 3C, die als die vorderseitige Abbildungseinheit zum Aufnehmen eines Bildes des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Oberseite der Leiterplatine P1 von unmittelbar über dem vorbestimmten Untersuchungsbereich angeordnet ist, einen X-Achsen-Bewegungsmechanismus 3D (gezeigt in 3), die ausgelegt ist, um eine Bewegung in eine X-Achsenrichtung zu ermöglichen, und einen Y-Achsen-Bewegungsmechanismus 3E (gezeigt in 3), um eine Bewegung in einer Y-Achsenrichtung zu ermöglichen. Die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 wird durch die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 angetrieben und gesteuert.
  • Der „Untersuchungsbereich“ auf der Oberseite der Leiterplatine P1 bezeichnet einen Bereich von mehreren Bereichen, der im Voraus auf der Oberseite (Vorderseite) der Leiterplatine P1 auf der Grundlage der Größe eines Sichtfelds (Abbildungsbereichs) KU der als eine Einheit spezifizierten Oberseiten-Untersuchungskamera 3C festgelegt wird (wie es in der oberen Zeichnung von 6 gezeigt ist).
  • Die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 treibt an und steuert den X-Achsen-Bewegungsmechanismus 3D und den Y-Achsen-Bewegungsmechanismus 3E derart, dass er die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 (Sichtfeld KU) zu einer Position über einem beliebigen Untersuchungsbereich auf der Oberseite der Leiterplatine P1, die sich an der Untersuchungsposition befindet und dort festgelegt ist, bewegt. Die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 wird sukzessive zu jedem der mehreren Untersuchungsbereiche bewegt, die auf der Oberseite der Leiterplatine P1 festgelegt sind, und führt eine Untersuchung jedes Untersuchungsbereichs durch. Diese Konfiguration führt eine Untersuchung der gesamten Oberseite der Leiterplatine P1 durch (wie es in der oberen Zeichnung von 6 gezeigt ist). Der X-Achsen-Bewegungsmechanismus 3D und der Y-Achsen-Bewegungsmechanismus 3E bilden demzufolge die vorderseitige Bewegungseinheit gemäß der Ausführungsform.
  • Die erste Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A umfasst eine Lichtquelle 3Aa zum Aussenden eines vorbestimmten Lichts und eine Gitterplatte 3Ab zum Umwandeln des von der Lichtquelle 3Aa ausgesendeten Lichts in ein Streifenmuster. Die erste Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A wird angetrieben und gesteuert durch die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6. Das von der Lichtquelle 3Aa ausgesendete Licht wird in eine Kondensorlinse (nicht gezeigt) eingekoppelt, um in paralleles Licht umgewandelt zu werden, und wird anschließend über die Gitterplatte 3Ab in eine Projektionslinse (nicht gezeigt) eingekoppelt, um als Streifenmuster auf die Leiterplatine P1 projiziert zu werden.
  • Die Gitterplatte 3Ab umfasst geradlinige Lichtdurchscheinabschnitte, die für Licht durchlässig sind, und geradlinige Lichtblockierabschnitte, die Licht blockieren, die im Wechsel in einer vorbestimmten Richtung senkrecht zur optischen Achse der Lichtquelle 3Aa angeordnet sind. Diese Konfiguration ermöglicht die Projektion eines Streifenmusters mit einer Lichtintensitätsverteilung in Form einer Rechteckwelle oder in Form einer Trapezwelle auf die Leiterplatine P1. Gemäß dieser Ausführungsform erstreckt sich die Richtung der Streifen in dem projizierten Streifenmuster parallel zur X-Achsenrichtung und senkrecht zur Y-Achsenrichtung.
  • Es ist möglich, dass das Streifenmuster nicht perfekt die Form einer quadratischen Welle hat, da das durch die Gitterplatte 3Ab hindurchtretende Licht allgemein kein perfekt paralleles Licht ist und es aufgrund des Beugungseffekt oder dergleichen an einer Grenze zwischen dem Lichtdurchscheinabschnitt und dem Lichtblockierabschnitt wahrscheinlich einen Halbtonbereich an einer Grenze zwischen einem „hellen Bereich“ und einem „dunklen Bereich“ des Streifenmusters gibt.
  • Ein steiler Helligkeitsabfall des Halbtonbereichs an der Grenze zwischen dem „hellen Bereich“ und dem „dunklen Bereich“ liefert ein Streifenmuster mit einer Lichtintensitätsverteilung in Form einer Rechteckwelle. Ein sanfter Helligkeitsabfall des Halbtonbereichs hingegen liefert ein Streifenmuster mit einer Lichtintensitätsverteilung in Form einer Trapezwelle. Dies kann jedoch von der Konfiguration der Gitterplatte 3Ab, zum Beispiel von den Intervallen der Anordnung der Lichtdurchscheinabschnitte und der Lichtblockierabschnitte, abhängen.
  • Ferner umfasst die erste Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3AAntriebsmittel (nicht gezeigt) wie etwa einen Motor zum Bewegen der Gitterplatte 3Ab. Dieses Antriebsmittel wird derart von der Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 angetrieben und gesteuert, dass die Gitterplatte 3Ab kontinuierlich mit einer konstanten Geschwindigkeit in der vorbestimmten Richtung senkrecht zur optischen Achse der Lichtquelle 3Aa bewegt wird. Dadurch ist es möglich, das Streifenmuster so auf die Leiterplatine P1 zu projizieren, dass es in der Y-Achsenrichtung verschoben wird.
  • Die zweite Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B umfasst eine Lichtquelle 3Ba zum Aussenden eines vorbestimmten Lichts und eine Gitterplatte 3Bb zum Umwandeln des von der Lichtquelle 3Ba ausgesendeten Lichts in einem Streifenmuster. Die zweite Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B wird durch die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 angetrieben und gesteuert. Die Konfiguration der zweiten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B (zum Beispiel die Konfiguration der Lichtquelle 3Ba und der Gitterplatte 3Bb) ist gleich der Konfiguration der oben beschriebenen ersten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A, so dass auf eine ausführliche Beschreibung an dieser Stelle verzichtet ist.
  • Die Oberseiten-Untersuchungskamera 3C umfasst zum Beispiel eine Linse und ein Abbildungselement. Gemäß dieser Ausführungsform wird ein CCD-Sensor als das Abbildungselement verwendet.
  • Die Oberseiten-Untersuchungskamera 3C wird durch die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 angetrieben und gesteuert. Insbesondere führt die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 unter Verwendung der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C und synchron mit dem Bewegungsprozess der Gitterplatte 3Ab oder 3Bb in Antwort auf ein Signal von einem Kodierer (nicht gezeigt) des Antriebsmittels der Gitterplatte 3Ab oder 3Bb einen Abbildungsprozess durch.
  • Durch die Oberseiten-Untersuchungskamera 3C gewonnene Bilddaten werden in der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C in ein digitales Signal umgewandelt, in Form eines digitalen Signals zu der Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 übertragen und in einer weiter unten beschriebenen Bilddaten-Speichereinheit 24 gespeichert. Die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 führt zum Beispiel auf der Grundlage der Bilddaten eine Bildverarbeitung und eine arithmetische Verarbeitung durch, wie es weiter unten beschrieben ist.
  • Entsprechend er oben beschriebenen Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 umfasst die Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 eine erste Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4A und eine zweite Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4B, die das rückseitige Bestrahlungsgerät zum Bestrahlen eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Unterseite der Leiterplatine P1 mit einem vorbestimmten, schräg nach oben ausgesendeten Streifenmuster (Lichtmuster mit streifenförmiger Lichtintensitätsverteilung) zur dreidimensionale Messung bildet, eine Unterseiten-Untersuchungskamera 4C, die als die rückseitige Abbildungseinheit zum Aufnehmen eines Bildes des vorbestimmten Untersuchungsbereich auf der Unterseite der Leiterplatine P1 von unmittelbar unter dem vorbestimmten Untersuchungsbereich vorgesehen ist, einen X-Achsen-Bewegungsmechanismus 4D (gezeigt in 3) zum Bewegen in der X-Achsenrichtung und einen Y-Achsen-Bewegungsmechanismus 4E (gezeigt in 3) zum Bewegen in der Y-Achsenrichtung. Die Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 wird durch die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 angetrieben und gesteuert.
  • Der „Untersuchungsbereich“ auf der Unterseite der Leiterplatine P1 bezeichnet einen als eine Einheit definierten und im Voraus auf der Unterseite (Rückseite) der Leiterplatine P1 auf der Grundlage der Größe eines Sichtfelds (Abbildungsbereichs) KL der Unterseiten-Untersuchungskamera 4C eingestellten Bereich von mehreren Bereichen, (wie es in der unteren Zeichnung von 6 gezeigt ist).
  • Der X-Achsen-Bewegungsmechanismus 4D und der Y-Achsen-Bewegungsmechanismus 4E werden von der Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 so angetrieben und gesteuert, dass die Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 (Sichtfeld KL) zu einer Position unter einem beliebigen Untersuchungsbereich auf der Unterseite der Leiterplatine P1, die an der Untersuchungsposition positioniert und festgelegt ist, bewegt wird. Die Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 wird sukzessive zu jeder von mehrere Untersuchungsbereichen, die auf der Unterseite der Leiterplatine P1 festgelegt sind, bewegt und führt eine Untersuchung jedes Untersuchungsbereichs durch. Diese Konfiguration führt eine Untersuchung der gesamten Unterseite der Leiterplatine P1 (wie es in der unteren Zeichnung von 6 gezeigt ist) durch. Der X-Achsen-Bewegungsmechanismus 4D und der Y-Achsen-Bewegungsmechanismus 4E bilden die rückseitige Bewegungseinheit gemäß der Ausführungsform.
  • Die erste Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4A umfasst eine Lichtquelle 4Aa zum Aussenden eines vorbestimmten Lichts und eine Gitterplatte 4Ab zum Umwandeln des von der Lichtquelle 4Aa ausgesendeten Lichts in ein Streifenmuster. Die erste Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4A wird durch die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 angetrieben und gesteuert. Die Konfiguration der ersten Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4A (zum Beispiel die Konfiguration mit der Lichtquelle 4Aa und der Gitterplatte 4Ab) entspricht der Konfiguration der oben beschriebenen ersten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A, so dass auf eine ausführliche Beschreibung an dieser Stelle verzichtet ist.
  • Die zweite Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4B umfasst eine Lichtquelle 4Ba zum Aussenden eines vorbestimmten Lichts und eine Gitterplatte 4Bb zum Umwandeln des von der Lichtquelle 4Ba ausgesendeten Lichts in ein Streifenmuster. Die zweite Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4B wird durch die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 angetrieben und gesteuert. Die Konfiguration der zweiten Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4B (zum Beispiel, die Konfiguration mit der Lichtquelle 4Ba und der Gitterplatte 4Bb) entspricht der Konfiguration der oben beschriebenen ersten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A, so dass auf eine ausführliche Beschreibung an dieser Stelle verzichtet ist.
  • Die Unterseiten-Untersuchungskamera 4C umfasst zum Beispiel eine Linse und ein Abbildungselement. Gemäß dieser Ausführungsform wird ein CCD-Sensor als das Abbildungselement verwendet. Die Konfiguration der Unterseiten-Untersuchungskamera 4C entspricht der Konfiguration der oben beschriebenen Oberseiten-Untersuchungskamera 3C, so dass auf eine ausführliche Beschreibung an dieser Stelle verzichtet ist.
  • Nachfolgend ist eine elektrische Konfiguration der Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 mit Bezug auf 3 beschrieben. Wie es in 3 gezeigt ist, umfasst die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 eine CPU und Eingabe-/Ausgabe-Schnittstelle 21 zum Steuern der gesamten Platinenuntersuchungsvorrichtung 1 (nachfolgend als „CPU und dergleichen 21“ bezeichnet), eine Eingabeeinheit 22, die zum Beispiel eine Tastatur, eine Maus oder ein Touch-Panel umfasst und als „Eingabemittel“ dient, eine Anzeigeeinheit 23, die einen Anzeigebildschirm wie etwa eine Kathodenstrahlröhre oder einen Flüssigkristallbildschirm umfasst und als „Anzeigemittel“ vorgesehen ist, eine Bilddaten-Speichereinheit 24 zum Speichern von durch die Oberseiten-Untersuchungskamera 3C und die Unterseiten-Untersuchungskamera 4C aufgenommenen Bilddaten und dergleichen, eine Operationsergebnis-Speichereinheit 25 zum Speichern der Ergebnisse verschiedener arithmetischer Operationen und eine Einstelldaten-Speichereinheit 26 zum Speichern im Voraus von verschiedenen Informationen wie etwa Gerberdaten (einschließlich Informationen über die Erkennungsmarkierungen). Die Einheiten 22 bis 26 sind jeweils elektrisch mit der CPU und dergleichen 21 verbunden.
  • Teilinformationen der mehreren Untersuchungsbereiche, die auf der Oberseite bzw. der Unterseite der Leiterplatine P1 festgelegt sind, und Abfolgen von Untersuchungen dieser Untersuchungsbereiche sind in der Einstelldaten-Speichereinheit 26 gespeichert. Die „Untersuchungsabfolge“ bezeichnet hier, in welcher Abfolge oder Reihenfolge die mehreren, auf der Oberseite (oder der Unterseite) der Leiterplatine P1 festgelegten Untersuchungsbereiche untersucht werden. Mit anderen Worten, die „Untersuchungsabfolge“ bestimmt, in welcher Abfolge das Sichtfeld KU der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C (oder das Sichtfeld KL der Unterseiten-Untersuchungskamera 4C) bezüglich der mehreren Untersuchungsbereichen bewegt wird.
  • Die mehreren Untersuchungsbereiche sowohl auf der Oberseite als auch auf der Unterseite der Leiterplatine P1 und die Abfolgen der Untersuchungen dieser Untersuchungsbereiche können im Voraus gemäß einem vorbestimmten Programm automatisch oder manuell durch eine Bedienungsperson auf der Grundlage der Gerberdaten und dergleichen eingestellt werden. Insbesondere wird die Untersuchungsabfolge so eingestellt, dass die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 (oder die Unterseiten-Untersuchungseinheit 4) auf einem kürzesten Weg von einem vorbestimmten Startpunkt auf der Oberseite (oder der Unterseite) der Leiterplatine P1 bewegt wird.
  • Gemäß der Ausführungsform wird die Untersuchungsabfolge von einem vorbestimmten Untersuchungsbereich als dem Startpunkt eingestellt. Zum Beispiel wird im Falle der Oberseite der in 6 gezeigten Leiterplatine P1 die Untersuchungsabfolge ab einem Untersuchungsbereich an einer oberen, rechten Ecke als dem Startpunkt eingestellt. In dem Beispiel der Unterseite der Leiterplatine P1 wird die Untersuchungsabfolge ab einem Untersuchungsbereich an einer oberen, linken Ecke als dem Startpunkt eingestellt.
  • Gemäß einer weiteren Konfiguration kann zum Beispiel die Untersuchungsabfolge so eingestellt sein, dass die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 (oder die Unterseiten-Untersuchungseinheit 4) auf einem kürzesten Weg ab einer Erkennungsmarkierung, die später zwischen den zwei Erkennungsmarkierungen [A] und [B] (oder [a] und [b]) der Oberseite (oder der Unterseite) der Leiterplatine P1 als dem Startpunkt eingestellt wird, bewegt wird.
  • Jeder Bereich, der von einem gestrichelten Rahmen in 6 umgeben ist, repräsentiert einen Untersuchungsbereich oder ein Sichtfeld. Die Zahlen „1“ bis „15“ in den einzelnen Bereichen definieren die Untersuchungsabfolge. In 6 sind die Bewegungsrichtungen (Bewegungswege) der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 und der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 durch Pfeile gezeigt.
  • Nachfolgend ist eine Untersuchungsroutine der Leiterplatine P1 durch die Platinenuntersuchungsvorrichtung 1 beschrieben. Diese Untersuchungsroutine wird durch die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 (CPU oder dergleichen 21) durchgeführt.
  • Gemäß dieser Ausführungsform werden ein Untersuchungsprozess eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs der Oberseite der Leiterplatine P1 (ein Bildermittlungsprozess aus mehreren Abbildungsprozessen durch die Oberseiten-Untersuchungskamera 3C) und ein Untersuchungsprozess eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs der Unterseite der Leiterplatine P1 (ein Bildermittlungsprozess aus mehreren Abbildungsprozessen durch die Unterseiten-Untersuchungskamera 4C) abwechselnd durchgeführt.
  • Diese Prozesse sind ausführlich unter mit Bezug auf 5A und 6 beschrieben. 5A ist ein Ablaufdiagramm, das die Verarbeitungsoperationen der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 und der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 zum Durchführen von Untersuchungsprozessen (Bildermittlungsprozessen) des „1.‟ bis „15.“ Untersuchungsbereichs der Oberseite der Leiterplatine P1 und Untersuchungsprozessen (Bildermittlungsprozessen) des 1. bis 15. Untersuchungsbereichs der Unterseite der Leiterplatine P1 zeigt.
  • Die Buchstaben „A“ und „B“ in 5A zeigen, dass die erste Erkennungsmarkierung [A] bzw. die zweite Erkennungsmarkierung [B] auf der Oberseite der in 6 gezeigten Leiterplatine P1 als Abbildungsobjekte eingestellt sind. Entsprechend zeigen die Buchstaben „a“ und „b“ in 5A, dass die erste Erkennungsmarkierung [a] bzw. die zweite Erkennungsmarkierung [b] auf der Unterseite der in 6 gezeigten Leiterplatine P1 als Abbildungsobjekte eingestellt sind. Die Zahlen „1“ bis „15“ in 5A bedeuten, dass „1.“ bis „15“ Untersuchungsbereich auf der Oberseite und auf der Unterseite der in 6 gezeigten Leiterplatine P1 als Abbildungsobjekte eingestellt sind.
  • Wie es oben beschrieben ist, bewegt die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6, wenn die in die Platinenuntersuchungsvorrichtung 1 transportierte Leiterplatine P1 an einer vorbestimmten Untersuchungsposition positioniert und festgelegt ist, zuerst die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3, um das Sichtfeld KU der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C auf die erste Erkennungsmarkierung [A] auf der Oberseite der Leiterplatine P1 einzustellen, während sie die Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 bewegt, um das Sichtfeld KL der Unterseiten-Untersuchungskamera 4C auf die erste Erkennungsmarkierung [a] auf der Unterseite der Leiterplatine P1 einzustellen.
  • Die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 startet anschließend die Aussendung von Licht von der ersten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A oder der zweiten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B, um ein Bild der ersten Erkennungsmarkierung [A] auf der Oberseite der Leiterplatine P1 aufzunehmen, während die Aussendung von Licht von der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 (von der ersten Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4A und der zweite Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4B) gestoppt ist.
  • Wenn ein Bild der ersten Erkennungsmarkierung [A] aufgenommen wird, bestrahlt die Konfiguration die erste Erkennungsmarkierung [A] mit dem von der Lichtquelle 3Aa ausgesendeten Licht ohne die Gitterplatte 3Ab und dadurch nicht mit einem Streifenmuster, sondern mit gleichmäßigem Licht (das Gleiche gilt, wenn Bilder der weiteren Erkennungsmarkierungen in der Beschreibung weiter unten aufgenommen werden).
  • Wenn der oben beschriebene Abbildungsprozess der ersten Erkennungsmarkierung [A] beendet ist, startet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 einen Bewegungsprozess, um die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 zu einer Position zu bewegen, die der zweiten Erkennungsmarkierung [B] auf der Oberseite der Leiterplatine P1 entspricht.
  • Zur gleichen Zeit startet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 die Aussendung von Licht von der ersten Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4A oder der zweiten Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4B, um ein Bild der ersten Erkennungsmarkierung [a] auf der Unterseite der Leiterplatine P1 aufzunehmen, während die Aussendung von Licht von der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 (von der ersten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A und der zweite Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B) gestoppt ist.
  • Wenn der oben beschriebene Abbildungsprozess der ersten Erkennungsmarkierung [a] beendet ist, startet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 einen Bewegungsprozess, um die Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 zu einer Position zu bewegen, die der zweiten Erkennungsmarkierung [b] auf der Unterseite der Leiterplatine P1 entspricht.
  • Wenn der Bewegungsprozess der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 beendet und das Sichtfeld KU der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C auf die zweite Erkennungsmarkierung [B] auf der Oberseite der Leiterplatine P1 eingestellt ist, startet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 die Aussendung von Licht von der ersten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A oder der zweiten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B, um ein Bild der zweiten Erkennungsmarkierung [B] auf der Oberseite der Leiterplatine P1 aufzunehmen, während die Aussendung von Licht von der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 (von der ersten Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4A und der zweiten Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4B) gestoppt ist.
  • Wenn der oben beschriebene Abbildungsprozess der zweiten Erkennungsmarkierung [B] beendet ist, startet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 einen Bewegungsprozess, um die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 zu einer Position zu bewegen, die einem „1.“ Untersuchungsbereich auf der Oberseite der Leiterplatine P1 gemäß der in der Einstelldaten-Speichereinheit 26 gespeicherten Untersuchungsabfolge entspricht.
  • Zur gleichen Zeit startet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 die Aussendung von Licht von der ersten Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4A oder der zweiten Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4B, um ein Bild der zweiten Erkennungsmarkierung [b] auf der Unterseite der Leiterplatine P1 aufzunehmen, während die Aussendung von Licht von der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 (von der ersten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A und der zweiten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B) gestoppt ist.
  • Wenn der oben beschriebene Abbildungsprozess der zweiten Erkennungsmarkierung [b] beendet ist, startet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 einen Bewegungsprozess, um die Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 zu einer Position zu bewegen, die einem „1.“ Untersuchungsbereich auf der Unterseite der Leiterplatine P1 gemäß der in der Einstelldaten-Speichereinheit 26 gespeicherten Untersuchungsabfolge entspricht.
  • Bezüglich der Oberseite der Leiterplatine P1 berechnet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6, wenn die Abbildungsprozesse der ersten Erkennungsmarkierung [A] und der zweiten Erkennungsmarkierung [B] beendet sind, Abweichungen der mit den durch die Abbildungsprozesse gewonnenen Bilddaten in Beziehung stehenden Positionskoordinaten der ersten Erkennungsmarkierung [A] und der zweiten Erkennungsmarkierung [B] von den mit den Gerberdaten in Beziehung stehenden Positionskoordinaten der ersten Erkennungsmarkierung [A] und der zweiten Erkennungsmarkierung [B] und korrigiert die berechneten Abweichungen während des oben beschriebenen Bewegungsprozesses.
  • Dies korrigiert die Abweichung in der relativen räumlichen Beziehung zwischen der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 (Oberseiten-Untersuchungskamera 3C) und der Oberseite der Leiterplatine P1. Diese Verarbeitungsfunktion implemontiert die vorderseitige Korrektur gemäß der Ausführungsform. Gemäß einer weiteren Konfiguration kann die Korrektur der Abweichungen nicht während des Bewegungsprozesses durchgeführt werden, aber der Bewegungsprozess kann gestartet werden, um die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 zu der Position zu bewegen, die dem „1.“ Untersuchungsbereich auf der Oberseite der Leiterplatine P1 entspricht, nachdem der Abbildungsprozess der zweiten Erkennungsmarkierung [B] und die nachfolgende Korrektur der Abweichungen beendet sind.
  • Ebenso berechnet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 bezüglich der Unterseite der Leiterplatine P1, wenn die Abbildungsprozesse der ersten Erkennungsmarkierung [a] und der zweiten Erkennungsmarkierung [b] beendet sind, mit den durch die Abbildungsprozesse gewonnenen Bilddaten in Beziehung stehende Abweichungen der Positionskoordinaten der ersten Erkennungsmarkierung [a] und der zweiten Erkennungsmarkierung [b] von den mit den Gerberdaten in Beziehung stehenden Positionskoordinaten der ersten Erkennungsmarkierung [a] und der zweiten Erkennungsmarkierung [b] und korrigiert die berechneten Abweichungen während des oben beschriebenen Bewegungsprozess.
  • Dies korrigiert die Abweichung in der relativen räumlichen Beziehung zwischen der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 (Unterseiten-Untersuchungskamera 4C) und der Unterseite der Leiterplatine P1. Diese Verarbeitungsfunktion implementiert den rückseitigen Korrektor gemäß der Ausführungsform. Gemäß einer weiteren Konfiguration kann die Korrektur der Abweichungen nicht während des Bewegungsprozesses durchgeführt werden, aber der Bewegungsprozess kann gestartet werden, um die Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 zu der Position zu bewegen, die dem „1.“ Untersuchungsbereich auf der Unterseite der Leiterplatine P1 entspricht, nachdem der Abbildungsprozess der zweiten Erkennungsmarkierung [b] und die nachfolgende Korrektur der Abweichungen beendet sind.
  • Danach, wenn der Bewegungsprozess der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 beendet ist und das Sichtfeld KU der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C auf den „1.“ Untersuchungsbereich auf der Oberseite der Leiterplatine P1 eingestellt ist, startet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 die Aussendung eines Streifenmusters von der ersten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A oder der zweiten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B und führt einen Bildermittlungsprozess des „1.“ Untersuchungsbereichs auf der Oberseite der Leiterplatine P1 durch, während die Aussendung von Licht von der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 (von der ersten Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4A und der zweiten Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4B) gestoppt ist. Die Einzelheiten des Bildermittlungsprozesses sind weiter unten beschrieben (das Gleiche gilt für den Bildermittlungsprozess eines weiteren Untersuchungsbereichs).
  • In der Zwischenzeit (d. h. während der Ausführungszeitspanne des Bildermittlungsprozesses des „1.“ Untersuchungsbereichs auf der Oberseite der Leiterplatine P1) ist der oben beschriebene Bewegungsprozess der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 (insbesondere der Bewegungsprozess zur Bewegung der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 zu der Position, die dem „1.“ Untersuchungsbereich auf der Unterseite der Leiterplatine P1 entspricht) beendet, und das Sichtfeld KL der Unterseiten-Untersuchungskamera 4C wird auf den „1.“ Untersuchungsbereich auf der Unterseite der Leiterplatine P1 eingestellt.
  • Danach, wenn der Bildermittlungsprozess des „1.“ Untersuchungsbereichs auf der Oberseite der Leiterplatine P1 beendet ist, startet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 einen Bewegungsprozess, um die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 zu einer Position zu bewegen, die einem „2.“ Untersuchungsbereich auf der Oberseite der Leiterplatine P1 gemäß der in der Einstelldaten-Speichereinheit 26 gespeicherten Untersuchungsabfolge entspricht.
  • Zur gleichen Zeit startet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 die Aussendung eines Streifenmusters von der ersten Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4A oder der zweiten Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4B und führt einen Bildermittlungsprozess des „1.“ Untersuchungsbereichs auf der Unterseite der Leiterplatine P1 durch, während die Aussendung von Licht von der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 (von der ersten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A und der zweiten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B) gestoppt ist.
  • In der Zwischenzeit (d. h. während der Ausführungszeitspanne des Bildermittlungsprozesses des „1.“ Untersuchungsbereichs auf der Unterseite der Leiterplatine P1) wird der oben beschriebene Bewegungsprozess der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 (insbesondere der Bewegungsprozess zum Bewegen der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 zu der Position, die dem „2.“ Untersuchungsbereich auf der Oberseite der Leiterplatine P1 entspricht) beendet, und das Sichtfeld KU der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C wird auf den „2.“ Untersuchungsbereich auf der Oberseite der Leiterplatine P1 eingestellt.
  • Danach, wenn der Bildermittlungsprozess des „1.“ Untersuchungsbereichs auf der Unterseite der Leiterplatine P1 beendet ist, startet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 einen Bewegungsprozess, um die Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 zu einer Position zu bewegen, die einem „2.“ Untersuchungsbereich auf der Unterseite der Leiterplatine P1 gemäß der in der Einstelldaten-Speichereinheit 26 gespeicherten Untersuchungsabfolge entspricht.
  • Zur gleichen Zeit startet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 die Aussendung eines Streifenmusters von der ersten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A oder der zweiten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B und führt einen Bildermittlungsprozess des „2.“ Untersuchungsbereichs auf der Oberseite der Leiterplatine P1 durch, während die Aussendung von Licht von der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 (von der ersten Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4A und der zweiten Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4B) gestoppt ist.
  • In der Zwischenzeit (d. h. während der Ausführungszeitspanne des Bildermittlungsprozesses des „2.“ Untersuchungsbereichs auf der Oberseite der Leiterplatine P1) wird der oben beschriebene Bewegungsprozess der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 (insbesondere der Bewegungsprozess zum Bewegen der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 zu der Position, die dem „2.“ Untersuchungsbereich auf der Unterseite der Leiterplatine P1 entspricht) beendet, und das Sichtfeld KL der Unterseiten-Untersuchungskamera 4C wird auf den „2.“ Untersuchungsbereich auf der Unterseite der Leiterplatine P1 eingestellt.
  • Danach, wenn der Bildermittlungsprozess des „2.“ Untersuchungsbereichs auf der Oberseite der Leiterplatine P1 beendet ist, startet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 einen Bewegungsprozess, um die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 zu einer Position zu bewegen, die einem „3.“ Untersuchungsbereich auf der Oberseite der Leiterplatine P1 gemäß der in der Einstelldaten-Speichereinheit 26 gespeicherten Untersuchungsabfolge entspricht.
  • Zur gleichen Zeit startet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 die Aussendung eines Streifenmusters von der ersten Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4A oder der zweiten Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4B und führt einen Bildermittlungsprozess des „2.“ Untersuchungsbereichs auf der Unterseite der Leiterplatine P1 durch, während die Aussendung von Licht von der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 (von der ersten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A und der zweite Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B) gestoppt ist.
  • Anschließend werden abwechselnd Bildermittlungsprozesse des „3.“ bis „15.“ Untersuchungsbereichs auf der Oberseite der Leiterplatine P1 durch die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 und Bewegungsprozesse der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 zwischen den Bildermittlungsprozessen und Bildermittlungsprozessen des „3.“ bis „15.“ Untersuchungsbereichs auf der Unterseite der Leiterplatine P1 durch die Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 und Bewegungsprozesse der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 zwischen den Bildermittlungsprozessen in gleicher Weise durchgeführt. Damit ist die Untersuchung sowohl der Oberseite als auch der Unterseite der Leiterplatine P1 beendet.
  • Nachfolgend ist der durch die Platinenuntersuchungsvorrichtung 1 durchgeführte Bildermittlungsprozess jedes Untersuchungsbereichs auf der Oberseite und auf der Unterseite der Leiterplatine P1 beschrieben. Dieser Bildermittlungsprozess wird durch die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 (CPU und dergleichen 21) durchgeführt.
  • Gemäß dieser Ausführungsform wird ein Bildermittlungsprozess zur Untersuchung jedes der Untersuchungsbereiche auf der Oberseite der Leiterplatine P1 durchgeführt. Der Bildermittlungsprozess ändert die Phase eines Streifenmusters, das von der ersten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A ausgesendet wird, und führt vier Abbildungsprozesse mit diesem Streifenmuster unterschiedlicher Phasen durch. Der Bildermittlungsprozess ändert anschließend die Phase des Streifenmusters, das von der zweiten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B ausgesendet wird, und führt vier Abbildungsprozesse mit diesem Streifenmuster unterschiedlicher Phasen durch. Auf diese Weise wird der Bildermittlungsprozess durchgeführt, um insgesamt acht unterschiedliche Bilddaten zu gewinnen.
  • Entsprechend wird ein Bildermittlungsprozess zur Untersuchung jedes der Untersuchungsbereiche auf der Unterseite der Leiterplatine P1 durchgeführt. Der Bildermittlungsprozess ändert die Phase eines Streifenmusters, das von der ersten Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4A ausgesendet wird, und führt vier Abbildungsprozesse mit diesem Streifenmuster unterschiedlicher Phasen durch. Der Bildermittlungsprozess ändert anschließend die Phase eines Streifenmusters, das von der zweiten Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4B ausgesendet wird, und führt vier Abbildungsprozesse mit diesem Streifenmuster unterschiedlicher Phasen durch. Auf diese Weise wird der Bildermittlungsprozess durchgeführt, um insgesamt acht unterschiedliche Bilddaten zu gewinnen.
  • Nachfolgend ist die Untersuchungsroutine (der Bildermittlungsprozess), die (der) von jedem der Untersuchungsbereiche bei der Untersuchung der Oberseite der Leiterplatine P1 durchgeführt wird, als ein Beispiel mit Bezug auf 4 beschrieben.
  • Wenn das Sichtfeld KU der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C auf einen vorbestimmten Untersuchungsbereich auf der Oberseite der Leiterplatine P1 eingestellt ist, wird die erste Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A durch die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 angetrieben und gesteuert, um die Position der Gitterplatte 3Ab auf eine Voreinstellungsposition (eine Position, an der die Phase des auf eine vorbestimmte Stelle projizierten Streifenmusters gleich „0 Grad“ ist) einzustellen. Gleichzeitig wird die zweite Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B durch die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 angetrieben und ansteuert, um die Position der Gitterplatte 3Bb auf eine Voreinstellungsposition (eine Position, an der die Phase des auf die vorbestimmte Stelle projizierten Streifenmusters gleich „0 Grad“ ist) einzustellen.
  • Nach Beenden einer solchen Einstellung werden die erste Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A und die Oberseiten-Untersuchungskamera 3C durch die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 angetrieben und angesteuert, um einen ersten Abbildungsprozess (Belichtungsprozess) mit einem Streifenmuster zu starten, das von der ersten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A ausgesendet wird.
  • Insbesondere triggert die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 eine Lichtaussendung von der Lichtquelle 3Aa der ersten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A, um so eine Aussendung eines Streifenmusters zu starten, und startet ferner den Bewegungsprozess der Gitterplatte 3Ab. Dies bewirkt, dass das Streifenmuster, das auf den Untersuchungsbereich projiziert wird, kontinuierlich mit konstanter Geschwindigkeit in der Y-Achsenrichtung verschoben wird.
  • Die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 startet dann einen Abbildungsprozess unter Verwendung der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C gleichzeitig mit dem Start der Aussendung des Streifenmusters (und dem Start der Bewegung der Gitterplatte 3Ab).
  • Nach dem Start dieses ersten Abbildungsprozesses wird die Belichtung fortgesetzt, während die Phase des auf die vorbestimmte Stelle projizierten Streifenmusters von 0 Grad auf 45 Grad geändert wird.
  • Wenn der erste Abbildungsprozess beendet ist, stoppt die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 die Aussendung von Licht von der Lichtquelle 3Aa und liest durch die Oberseiten-Untersuchungskamera 3C aufgenommene Bilddaten aus. Die Bilddaten werden dann von der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C zu der Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 übertragen. Die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 speichert die ausgelesenen Bilddaten in der Bilddaten-Speichereinheit 24.
  • Der Bewegungsprozess der Gitterplatte 3Ab wird hingegen selbst nachdem der erste Abbildungsprozess beendet ist nicht beendet, sondern wird ohne Unterbrechung bis zum Ende eines vierten Abbildungsprozesses mit dem Streifenmuster, das von der Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A ausgesendet wird, fortgesetzt.
  • Bilddaten mit einer Lichtintensitätsverteilung in Form einer Sinuswelle werden durch kontinuierliches Verschieben des Streifenmusters, das auf die Leiterplatine P1 projiziert wird und die Lichtintensitätsverteilung in Form einer Rechteckwelle oder in Form einer Trapezwelle hat, und kontinuierliches Abbilden (Belichten) des Streifenmusters (wie es in der japanischen Patentanmeldung Nr. 2015 - 231661 beschrieben ist) gewonnen.
  • Nach Verstreichen einer vorbestimmten Zeitspanne seit Beenden des ersten Abbildungsprozesses, zu dem Zeitpunkt, zu dem die Phase des Streifenmusters, das auf die vorbestimmte Stelle projizierten wird, 90 Grad wird, triggert die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 erneut die Lichtaussendung von der Lichtquelle 3Aa der ersten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A so, dass die Aussendung des Streifenmusters gestartet wird, und startet ferner einen Abbildungsprozess unter Verwendung der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C. Dies startet einen zweiten Abbildungsprozess mit dem Streifenmuster, das von der ersten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A ausgesendet wird.
  • Nach dem Start dieses zweiten Abbildungsprozesses wird die Belichtung fortgesetzt, während die Phase des auf die vorbestimmte Stelle projizierten Streifenmusters von 90 Grad auf 135 Grad geändert wird.
  • Wenn der zweite Abbildungsprozess beendet ist, stoppt die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 die Aussendung von Licht von der Lichtquelle 3Aa, liest durch die Oberseiten-Untersuchungskamera 3C aufgenommene Bilddaten aus und speichert die ausgelesenen Bilddaten in der Bilddaten-Speichereinheit 24.
  • Nach Verstreichen einer vorbestimmten Zeitspanne seit Beenden des zweiten Abbildungsprozesses, zu dem Zeitpunkt, zu dem die Phase des auf die vorbestimmte Stelle projizierten Streifenmusters 180 Grad wird, triggert die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 erneut die Lichtaussendung von der Lichtquelle 3Aa der ersten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A so, dass die Aussendung des Streifenmusters gestartet wird, und startet ferner einen Abbildungsprozess unter Verwendung der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C. Dies startet einen dritten Abbildungsprozess mit dem Streifenmuster, das von der ersten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A ausgesendet wird.
  • Nach dem Start dieses dritten Abbildungsprozesses wird die Belichtung ist fortgesetzt, während die Phase des auf die vorbestimmte Stelle projizierten Streifenmusters von 180 Grad auf 225 Grad geändert wird.
  • Beim Beenden des dritten Abbildungsprozesses stoppt die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 die Aussendung von Licht von der Lichtquelle 3Aa, liest durch die Oberseiten-Untersuchungskamera 3C aufgenommene Bilddaten aus und speichert die ausgelesenen Bilddaten in der Bilddaten-Speichereinheit 24.
  • Nach Verstreichen einer vorbestimmten Zeitspanne seit Beenden des dritten Abbildungsprozesses, zu dem Zeitpunkt, zu dem die Phase des auf die vorbestimmte Stelle projizierten Streifenmusters gleich 270 Grad wird, triggert die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 erneut die Lichtaussendung von der Lichtquelle 3Aa der ersten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A so, dass die Aussendung des Streifenmusters gestartet wird, und startet ferner einen Abbildungsprozess unter Verwendung der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C. Dies startet einen vierten Abbildungsprozess mit dem Streifenmuster, das von der ersten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A ausgesendet wird.
  • Nach dem Start dieses vierten Abbildungsprozesses wird die Belichtung fortgesetzt, während die Phase des auf die vorbestimmte Stelle projizierten Streifenmusters von 270 Grad auf 315 Grad geändert wird.
  • Wenn der vierte Abbildungsprozess beendet ist, stoppt die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 die Aussendung von Licht von der Lichtquelle 3Aa, liest durch die Oberseiten-Untersuchungskamera 3C aufgenommene Bilddaten aus und speichert die ausgelesenen Bilddaten in der Bilddaten-Speichereinheit 24. Ferner beendet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 den Bewegungsprozess der Gitterplatte 3Ab.
  • Nach Verstreichen einer vorbestimmten Zeitspanne seit Beenden des vierten Abbildungsprozesses (zum Beispiel nach Beenden einer Datenübertragungszeitspanne) werden die zweite Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B und die Oberseiten-Untersuchungskamera 3C durch die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 angetrieben und gesteuert, um einen fünften Abbildungsprozess des vorbestimmten Untersuchungsbereichs (d. h. einen ersten Abbildungsprozess mit einem Streifenmuster, das von der zweiten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B ausgesendet wird) zu starten.
  • Insbesondere triggert die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 eine Lichtaussendung von der Lichtquelle 3Ba der zweiten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B, so dass eine Aussendung eines Streifenmusters gestartet wird, und startet ferner den Bewegungsprozess der Gitterplatte 3Bb. Dies bewirkt, dass das Streifenmuster, das auf den Untersuchungsbereich projiziert wird, kontinuierlich mit konstanter Geschwindigkeit in der Y-Achsenrichtung verschoben wird.
  • Die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 startet dann einen Abbildungsprozess unter Verwendung die Oberseiten-Untersuchungskamera 3C gleichzeitig mit dem Starten der Aussendung des Streifenmusters (und dem Starten der Bewegung der Gitterplatte 3Bb).
  • Nach dem Start dieses fünften Abbildungsprozesses wird die Belichtung fortgesetzt, während die Phase des auf die vorbestimmte Stelle projizierten Streifenmusters von 0 Grad auf 45 Grad geändert wird.
  • Beim Beenden des fünften Abbildungsprozesses stoppt die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 die Aussendung von Licht von der Lichtquelle 3Ba und liest durch die Oberseiten-Untersuchungskamera 3C aufgenommene Bilddaten aus. Die Bilddaten werden dann von der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C zu der Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 übertragen. Die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 speichert die ausgelesenen Bilddaten in der Bilddaten-Speichereinheit 24.
  • Der Bewegungsprozess der Gitterplatte 3Bb ist hingegen selbst, nachdem der fünfte Abbildungsprozess (d. h. der erste Abbildungsprozesses mit dem Streifenmuster, das von der zweiten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B ausgesendet wird) beendet ist, nicht beendet, sondern wird ohne Unterbrechung bis zum Ende eines achten Abbildungsprozesses des vorbestimmten Untersuchungsbereichs (d. h. eines vierten Abbildungsprozesses mit dem Streifenmuster, das von der zweiten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B ausgesendet wird) fortgesetzt.
  • Nach Verstreichen einer vorbestimmten Zeitspanne seit Beenden des fünften Abbildungsprozesses, zu dem Zeitpunkt, zu dem die Phase des auf die vorbestimmte Stelle projizierten Streifenmusters gleich 90 Grad wird, triggert die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 erneut die Lichtaussendung von der Lichtquelle 3Ba der zweiten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B, so dass die Aussendung des Streifenmusters gestartet wird, und startet ferner einen Abbildungsprozess unter Verwendung der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C. Dies startet einen sechsten Abbildungsprozess des vorbestimmten Untersuchungsbereichs (d. h. eines zweiten Abbildungsprozesses mit dem Streifenmuster, das von der zweiten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B ausgesendet wird).
  • Nach dem Start dieses sechsten Abbildungsprozesses wird die Belichtung fortgesetzt, während die Phase des auf die vorbestimmte Stelle projizierten Streifenmusters von 90 Grad auf 135 Grad geändert wird.
  • Wenn der sechste Abbildungsprozess beendet ist, stoppt die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 die Aussendung von Licht von der Lichtquelle 3Ba, liest durch die Oberseiten-Untersuchungskamera 3C aufgenommene Bilddaten aus und speichert die ausgelesenen Bilddaten in der Bilddaten-Speichereinheit 24.
  • Nach Verstreichen einer vorbestimmten Zeitspanne seit Beenden des sechsten Abbildungsprozesses, zu dem Zeitpunkt, zu dem die Phase des auf die vorbestimmte Stelle projizierten Streifenmusters gleich 180 Grad wird, triggert die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 erneut die Lichtaussendung von der Lichtquelle 3Ba der zweiten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B, so dass die Aussendung des Streifenmusters gestartet wird, und startet ferner einen Abbildungsprozess unter Verwendung der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C. Dies startet einen siebten Abbildungsprozess des vorbestimmten Untersuchungsbereichs (d. h. eines dritten Abbildungsprozesses mit dem Streifenmuster, das von der zweiten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B ausgesendet wird).
  • Nach dem Start dieses siebten Abbildungsprozesses wird die Belichtung fortgesetzt, während die Phase des auf die vorbestimmte Stelle projizierten Streifenmusters von 180 Grad auf 225 Grad geändert wird.
  • Beim Beenden des siebten Abbildungsprozesses stoppt die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 die Aussendung von Licht von der Lichtquelle 3Ba, liest durch die Oberseiten-Untersuchungskamera 3C aufgenommene Bilddaten aus und speichert die ausgelesenen Bilddaten in der Bilddaten-Speichereinheit 24.
  • Nach Verstreichen einer vorbestimmten Zeitspanne seit Beenden des siebten Abbildungsprozesses, zu dem Zeitpunkt, zu dem die Phase des auf die vorbestimmte Stelle projizierten Streifenmusters gleich 270 Grad wird, triggert die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 erneut die Lichtaussendung von der Lichtquelle 3Ba der zweiten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B, so dass die Aussendung des Streifenmusters gestartet wird, und startet ferner einen Abbildungsprozess unter Verwendung der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C. Dies startet einen achten Abbildungsprozess des vorbestimmten Untersuchungsbereichs (d. h. eines vierten Abbildungsprozesses mit dem Streifenmuster, das von der zweiten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B ausgesendet wird).
  • Nach dem Start dieser achten Abbildungsprozesses wird die Belichtung fortgesetzt, während die Phase des auf die vorbestimmte Stelle projizierten Streifenmusters von 270 Grad auf 315 Grad geändert wird.
  • Beim Beenden des achten Abbildungsprozesses stoppt die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 die Aussendung von Licht von der Lichtquelle 3Ba, liest durch die Oberseiten-Untersuchungskamera 3C aufgenommene Bilddaten aus und speichert die ausgelesenen Bilddaten in der Bilddaten-Speichereinheit 24. Ferner beendet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 den Bewegungsprozess der Gitterplatte 3Bb und beendet dann der Bildermittlungsprozess des vorbestimmten Untersuchungsbereichs.
  • Die Durchführung des oben beschriebenen Bildermittlungsprozesses (des achten Abbildungsprozesses) führt zur Gewinnung von insgesamt acht unterschiedlichen Bilddaten, die vier unterschiedliche, mit dem Streifenmuster, das von der ersten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A ausgesendet wird, aufgenommene Bilddaten und vier unterschiedliche, mit dem Streifenmuster, das von der zweiten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B ausgesendet wird, aufgenommene Bilddaten umfasst.
  • Wie es oben beschrieben ist, sind gemäß dieser Ausführungsform, die vier unterschiedlichen, mit einem jeweiligen der Streifenmuster ausgenommenen Bilddaten zu den vier unterschiedlichen, durch sukzessives Verschieben der Phase des Streifenmusters mit der Lichtintensitätsverteilung in Form einer Sinuswelle um jeweils 90 Grad aufgenommenen Bilddaten äquivalent.
  • Die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 führt anschließend eine durch dreidimensionale Messung (Höhenmessung) mit Hilfe eines bekannten Phasenverschiebungsverfahren auf der Grundlage der vier unterschiedlichen, mit den einzelnen Streifenmustern aufgenommenen Bilddaten (Helligkeitswerte jeweiliger Pixel) durch und speichert das Ergebnis dieser Messung in der Operationsergebnis-Speichereinheit 25. Gemäß dieser Ausführungsform wird die dreidimensionale Messung mit der Aussendung des Streifenmusters aus zwei unterschiedlichen Richtungen durchgeführt. Dies verhindert das Auftreten eines Schattenbereichs ohne die Aussendung des Streifenmusters.
  • Die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 führt anschließend einen Qualitätsbestimmungsprozess der Lötpaste P4 auf der Grundlage des Ergebnisses der dreidimensionalen Messung (Höhendaten bei jeder Koordinate) durch. Insbesondere erfasst die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 einen Druckbereich der Lötpaste P4, die höher als eine Referenzebene ist, auf der Grundlage des wie oben beschrieben gewonnenen Ergebnisses der Messung des vorbestimmten Untersuchungsbereichs und integriert die Höhen an jeweiligen Stellen in diesem Druckbereich, um so die aufgedruckte Menge der Lötpaste P4 zu berechnen.
  • Die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 vergleicht dann die wie oben beschrieben gewonnenen Daten der Lötpaste P4, zum Beispiel die Stelle, den Bereich und die Höhe oder die Menge der Lötpaste P4, mit im Voraus in der Einstelldaten-Speichereinheit 26 gespeicherten Referenzdaten (zum Beispiel Gerberdaten) und bestimmt, ob der Druckzustand der Lötpaste P4 in dem vorbestimmten Untersuchungsbereich gut ist oder nicht, auf der Grundlage, ob das Ergebnis des Vergleichs innerhalb eines erlaubten Bereichs liegt.
  • Nach Beenden des oben beschriebenen achten Abbildungsprozesses bewegt die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 zu einem nächsten Untersuchungsbereich, während sie den oben beschriebenen Qualitätsbestimmungsprozess durchführt. Eine Wiederholung der Abfolge der oben beschriebenen Bearbeitungen aller Untersuchungsbereiche auf der Oberseite der Leiterplatine P1 resultiert in einem Ende der Untersuchung der gesamten Oberseite der Leiterplatine P1. Der Ablauf der Untersuchung der Unterseite der Leiterplatine P1 entspricht dem Ablauf der Untersuchung der Oberseite, so dass auf eine ausführliche Beschreibung an dieser Stelle verzichtet ist.
  • Wie es oben ausführlich beschrieben ist, bewegt die Konfiguration dieser Ausführungsform nach der Durchführung des Bildermittlungsprozesses eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs der Oberseite (oder der Unterseite) der Leiterplatine P1 die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 (oder die Unterseiten-Untersuchungseinheit 4) zu einer Position, die einem nächsten Untersuchungsbereich entspricht, und führt den Bildermittlungsprozess eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs der Unterseite (oder der Oberseite) der Leiterplatine P1 durch.
  • Mit anderen Worten, diese Konfiguration wiederholt abwechselnd den Bildermittlungsprozess eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs der Oberseite der Leiterplatine P1 und den Bildermittlungsprozess eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs der Unterseite der Leiterplatine P1. Dies ermöglicht die gleichzeitige Durchführung der Bildermittlungsprozesse der mehreren Untersuchungsbereiche des Gesamtbereichs der Oberseite der Leiterplatine P1 und der Bildermittlungsprozesse der mehreren Untersuchungsbereiche des Gesamtbereichs der Unterseite der Leiterplatine P1.
  • Verglichen mit einer Konfiguration, die die Bildermittlungsprozesse von mehreren Untersuchungsbereichen des gesamten Bereichs der Unterseite der Leiterplatine P1 nach Beenden der Bildermittlungsprozesse der mehreren Untersuchungsbereiche des gesamten Bereichs der Oberseite der Leiterplatine P1 wie ein in 9 gezeigtes Beispiel des Standes der Technik durchführt, erhöht diese Konfiguration die Untersuchungsgeschwindigkeit durch eine doppelseitige Untersuchung der Leiterplatine P.
  • Die Konfiguration dieser Ausführungsform stoppt die Aussendung von Licht auf die Unterseite (oder die Oberseite) während einer Bildermittlungszeitspanne eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs der Oberseite (oder der Unterseite) der Leiterplatine P1. Diese Konfiguration ermöglicht die Gewinnung von Bilddaten mit hoher Genauigkeit, ohne ein Austreten von Licht zur Oberseite (zur Unterseite) zu bewirken. Dies führt zu einer Verbesserung der Untersuchungsgenauigkeit der doppelseitigen Untersuchung der Leiterplatine P1.
  • Dadurch wird sowohl die Untersuchungsgenauigkeit als auch die Untersuchungsgeschwindigkeit der doppelseitigen Untersuchung der Leiterplatine P1 erhöht.
  • [Zweite Ausführungsform]
  • Nachfolgend ist eine zweite Ausführungsform mit Bezug auf 5B und 7 beschrieben. 5B ist ein Ablaufdiagramm, das die Verarbeitungsoperationen der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 und der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 gemäß dieser Ausführungsform zeigt. 7 ist ein Diagramm, das Abfolgen von Untersuchungen der Oberseite und der Unterseite der Leiterplatine P1 (Bewegungswege der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 und der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4) gemäß dieser Ausführungsform zeigt. Die gleichen Komponenten wie jene der ersten Ausführungsform sind durch die gleichen Bezugszeichen bezeichnet, so dass auf eine ausführliche Beschreibung von ihnen an dieser Stelle verzichtet ist.
  • Die zweite Ausführungsform verwendet eine Untersuchungsabfolge der Oberseite der Leiterplatine P1 (Bewegungsweg der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3), die von der der ersten Ausführungsform verschieden ist. Die zweite Ausführungsform verwendet hingegen eine Untersuchungsabfolge der Unterseite der Leiterplatine P1 (Bewegungsweg der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4), die identisch mit der der ersten Ausführungsform ist.
  • Die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 bewegt zuerst die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 so, dass das Sichtfeld KU der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C auf die erste Erkennungsmarkierung [A] auf der Oberseite der Leiterplatine P1 eingestellt wird, während sie die Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 so bewegt, dass das Sichtfeld KL der Unterseiten-Untersuchungskamera 4C auf die erste Erkennungsmarkierung [a] auf der Unterseite der Leiterplatine P1 eingestellt wird.
  • Die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 nimmt anschließend ein Bild der ersten Erkennungsmarkierung [A] auf der Oberseite der Leiterplatine P1 auf. Wenn dieser Abbildungsprozess beendet ist, startet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 einen Bewegungsprozess, um die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 zu einer Position zu bewegen, die der zweiten Erkennungsmarkierung [B] auf der Oberseite der Leiterplatine P1 entspricht.
  • Gleichzeitig nimmt die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 ein Bild der ersten Erkennungsmarkierung [a] auf der Unterseite der Leiterplatine P1 auf. Wenn dieser Abbildungsprozess beendet ist, startet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 einen Bewegungsprozess, um die Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 zu einer Position zu bewegen, die der zweiten Erkennungsmarkierung [b] auf der Unterseite der Leiterplatine P1 entspricht.
  • Danach, wenn der Bewegungsprozess der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 beendet und das Sichtfeld KU der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C auf die zweite Erkennungsmarkierung [B] auf der Oberseite der Leiterplatine P1 eingestellt ist, nimmt die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 ein Bild der zweiten Erkennungsmarkierung [B] auf der Oberseite der Leiterplatine P1 auf.
  • Wenn dieser Abbildungsprozess beendet ist, startet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 einen Bewegungsprozess, um die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 zu einer Position zu bewegen, die einem „1.“ Untersuchungsbereich auf der Oberseite der Leiterplatine P1 gemäß der in der Einstelldaten-Speichereinheit 26 gespeicherten Untersuchungsabfolge entspricht.
  • Gemäß dieser Ausführungsform wird ein Untersuchungsbereich in einem kürzesten Abstand von der zweiten Erkennungsmarkierung [B], der später zwischen der ersten Erkennungsmarkierung [A] und der zweiten Erkennungsmarkierung [B] abgebildet wird, als der „1.“ Untersuchungsbereich, für den der Bildermittlungsprozess zuerst durchgeführt wird, eingestellt. In dem in 7 gezeigten Beispiel der Oberseite der Leiterplatine P1 wird ein Untersuchungsbereich an einer oberen, linken Ecke als der „1.“ Untersuchungsbereich eingestellt. Die Untersuchungsabfolge wird so eingestellt, dass der Bewegungsweg der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 von diesem „1.“ Untersuchungsbereich als dem Startpunkt ein kürzester Weg ist.
  • Gleichzeitig mit dem Start des oben beschriebenen Bewegungsprozesses der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 nimmt die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 ein Bild der zweiten Erkennungsmarkierung [b] auf der Unterseite der Leiterplatine P1 auf. Wenn dieser Abbildungsprozess beendet ist, startet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 einen Bewegungsprozess, um die Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 zu einer Position zu bewegen, die einem „1.“ Untersuchungsbereich auf der Unterseite der Leiterplatine P1 gemäß der in der Einstelldaten-Speichereinheit 26 gespeicherten Untersuchungsabfolge entspricht.
  • Gemäß dieser Ausführungsform wird bezüglich der Unterseite der Leiterplatine P1 ein Untersuchungsbereich in einem kürzesten Abstand von der zweiten Erkennungsmarkierung [b], die später zwischen der ersten Erkennungsmarkierung [a] und der zweiten Erkennungsmarkierung [b] abgebildet wird, nicht als der „1.“ Untersuchungsbereich, für den der Bildermittlungsprozess zuerst durchgeführt wird, eingestellt. Die Untersuchungsabfolge der Unterseite der Leiterplatine P1 (der Bewegungsweg der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4) ist identisch mit der Untersuchungsabfolge in der ersten Ausführungsform. Demzufolge wird in dem in 7 gezeigten Beispiel der Unterseite der Leiterplatine P1 ein Untersuchungsbereich an einer oberen, linken Ecke als der „1.“ Untersuchungsbereich eingestellt. Die Untersuchungsabfolge wird so eingestellt, dass der Bewegungsweg der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 von diesem „1.“ Untersuchungsbereich als dem Startpunkt ein kürzester Weg ist.
  • Gleichzeitig mit dem Start des oben beschriebenen Bewegungsprozesses der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 führt die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6, wenn der Bewegungsprozess der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 beendet und das Sichtfeld KU der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C auf den „1.“ Untersuchungsbereich auf der Oberseite der Leiterplatine P1 eingestellt ist, einen Bildermittlungsprozess des „1.“ Untersuchungsbereichs auf der Oberseite der Leiterplatine P1 durch.
  • Wenn dieser Bildermittlungsprozess beendet ist, startet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 einen Bewegungsprozess, um die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 zu einer Position zu bewegen, die einem „2.“ Untersuchungsbereich auf der Oberseite der Leiterplatine P1 gemäß der in der Einstelldaten-Speichereinheit 26 gespeicherten Untersuchungsabfolge entspricht.
  • Danach, wenn der Bewegungsprozess der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 beendet und das Sichtfeld KL der Unterseiten-Untersuchungskamera 4C auf den „1.“ Untersuchungsbereich auf der Unterseite der Leiterplatine P1 eingestellt ist, führt die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 einen Bildermittlungsprozess des „1.“ Untersuchungsbereichs auf der Unterseite der Leiterplatine P1 durch.
  • Anschließend werden, wie in der ersten Ausführungsform, (a) Bildermittlungsprozesse des „2.“ bis „15.“ Untersuchungsbereichs auf der Oberseite der Leiterplatine P1 durch die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 und Bewegungsprozesse der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 zwischen den Bildermittlungsprozessen sowie (b) Bildermittlungsprozesse des „2.“ bis „15.“ Untersuchungsbereichs auf der Unterseite der Leiterplatine P1 durch die Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 und Bewegungsprozesse der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 zwischen den Bildermittlungsprozessen abwechselnd durchgeführt. Damit ist die Untersuchung sowohl der Oberseite als auch der Unterseite der Leiterplatine P1 beendet.
  • Wie es oben ausführlich beschrieben ist, startet die Konfiguration dieser Ausführungsform bezüglich der Oberseite der Leiterplatine P1 eine Untersuchung an dem Untersuchungsbereich, der der zweiten Erkennungsmarkierung [B] am nächsten liegt und später zwischen der ersten Erkennungsmarkierung [A] und der zweiten Erkennungsmarkierung [B] abgebildet wird. Dies verkürzt die Zeitspanne, die bis zum Start einer Untersuchung des ersten Untersuchungsbereichs verstreicht, und erhöht damit die Untersuchungsgeschwindigkeit.
  • Wie es oben beschrieben ist, ist gemäß dieser Ausführungsform bezüglich der Unterseite der Leiterplatine P1 der Untersuchungsbereich in dem kürzesten Abstand von der zweiten Erkennungsmarkierung [b], die später zwischen der ersten Erkennungsmarkierung [a] und der zweiten Erkennungsmarkierung [b] abgebildet wird, nicht als der „1.“ Untersuchungsbereich, für den der Bildermittlungsprozess zuerst durchgeführt wird, eingestellt. Gemäß einer weiteren Ausführungsform kann bezüglich der Untersuchungsabfolge der Unterseite der Leiterplatine P1 (Bewegungsweg der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4) zusätzlich zu der Untersuchungsabfolge der Oberseite der Leiterplatine P1 eine Untersuchung von einem Untersuchungsbereich aus gestartet werden, der der zweiten Erkennungsmarkierung [b] am nächsten liegt, die später zwischen der ersten Erkennungsmarkierung [a] und der zweiten Erkennungsmarkierung [b] abgebildet wird. Zum Beispiel kann in dem Beispiel der in 7 gezeigten Unterseite der Leiterplatine P1 ein Untersuchungsbereich an einer unteren, linken Ecke als der „1.‟ Untersuchungsbereich eingestellt werden.
  • Gemäß einer weiteren Modifikation kann im Gegensatz dazu die Untersuchungsabfolge der Oberseite der Leiterplatine P1 identisch mit der Untersuchungsabfolge der ersten Ausführungsform sein. Bezüglich nur der Untersuchungsabfolge der Unterseite der Leiterplatine P1 (des Bewegungswegs der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4) kann eine Untersuchung von einem Untersuchungsbereich gestartet werden, der der zweiten Erkennungsmarkierung [b] am nächsten liegt, die später zwischen der ersten Erkennungsmarkierung [a] und der zweiten Erkennungsmarkierung [b] abgebildet wird.
  • [Dritte Ausführungsform]
  • Nachfolgend ist eine dritte Ausführungsform mit Bezug auf 5C und 8. beschrieben. 5C ist ein Ablaufdiagramm, das die Verarbeitungsoperationen der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 und der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 gemäß dieser Ausführungsform zeigt. 8 ist ein Diagramm, das Abfolgen von Untersuchungen der Oberseite und der Unterseite der Leiterplatine P1 (Bewegungswege der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 und der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4) gemäß dieser Ausführungsform zeigt. Die gleichen Komponenten wie jene der ersten Ausführungsform sind durch die gleichen Bezugszeichen bezeichnet, so dass auf ihre ausführliche Beschreibung an dieser Stelle verzichtet ist.
  • Eine Korrektur der Positionen sowohl der Oberseite als auch der Unterseite der Leiterplatine P1 und die relevanten Prozesse (zum Beispiel Verfahren der Abbildung von Erkennungsmarkierungen) der dritten Ausführungsform unterscheiden sich von jenen der ersten Ausführungsform.
  • Die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 bewegt zuerst die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3, um das Sichtfeld KU der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C auf die erste Erkennungsmarkierung [A] auf der Oberseite der Leiterplatine P1 einzustellen, während sie die Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 bewegt, um das Sichtfeld KL der Unterseiten-Untersuchungskamera 4C auf die zweite Erkennungsmarkierung [b] auf der Unterseite der Leiterplatine P1 einzustellen.
  • Die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 nimmt anschließend ein Bild der ersten Erkennungsmarkierung [A] auf der Oberseite der Leiterplatine P1 auf. Wenn dieser Abbildungsprozess beendet ist, nimmt die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 ein Bild der zweiten Erkennungsmarkierung [b] auf der Unterseite der Leiterplatine P1 auf.
  • Wenn dieser Abbildungsprozess beendet ist, startet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 einen Bewegungsprozess, um die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 zu einer Position zu bewegen, die einem „1.“ Untersuchungsbereich auf der Oberseite der Leiterplatine P1 entspricht, während sie einen Bewegungsprozess startet, um die Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 zu einer Position zu bewegen, die einem „1.“ Untersuchungsbereich auf der Unterseite der Leiterplatine P1 gemäß der in der Einstelldaten-Speichereinheit 26 gespeicherten Untersuchungsabfolge entspricht.
  • Gemäß dieser Ausführungsform wird bezüglich der Oberseite der Leiterplatine P1 ein Untersuchungsbereich in einem kürzesten Abstand von der ersten Erkennungsmarkierung [A] als der „1.“ Untersuchungsbereich, für den der Bildermittlungsprozess zuerst durchgeführt werden muss, eingestellt. In dem Beispiel der in 8 gezeigt Oberseite der Leiterplatine P1 wird ein Untersuchungsbereich an einer unteren, rechten Ecke als der „1.“ Untersuchungsbereich eingestellt. Die Untersuchungsabfolge wird so eingestellt, dass der Bewegungsweg der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 von diesem „1.“ Untersuchungsbereich als dem Startpunkt ein kürzester Weg ist.
  • Bezüglich der Unterseite der Leiterplatine P1 hingegen wird ein Untersu- chungsbereich in einem kürzesten Abstand von der zweiten Erkennungsmarkierung [b] nicht als der „1.“ Untersuchungsbereich, für den der Bildermittlungsprozess zuerst durchgeführt werden muss, eingestellt. In dem Beispiel der in 8 gezeigten Unterseite der Leiterplatine P1 wird ein Untersuchungsbereich an einer oberen, linken Ecke als der „1.“ Untersuchungsbereich eingestellt. Die Untersuchungsabfolge wird so eingestellt, dass der Bewegungsweg der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 von diesem „1.“ Untersuchungsbereich als dem Startpunkt ein kürzester Weg ist.
  • Wenn der Abbildungsprozess der ersten Erkennungsmarkierung [A] auf der Oberseite der Leiterplatine P1 und der Abbildungsprozess der zweiten Erkennungsmarkierung [b] auf der Unterseite der Leiterplatine P1 beendet sind, korrigiert die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 die Abweichung der relativen räumlichen Beziehung zwischen der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 und der Oberseite der Leiterplatine P1 und korrigiert ferner die Abweichung der relativen räumlichen Beziehung zwischen der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 und der Unterseite der Leiterplatine P1 während der oben beschriebenen Bewegungsprozesse unter Berücksichtigung der Gerberdaten auf der Grundlage der Positionskoordinaten der ersten Erkennungsmarkierung [A] auf der Oberseite der Leiterplatine P1 und der Positionskoordinaten der zweiten Erkennungsmarkierung [b] auf der Unterseite der Leiterplatine P1 bezüglich der durch die obigen Abbildungsprozesse gewonnenen Bilddaten und im Voraus in der Einstelldaten-Speichereinheit 26 gespeicherten Versetzungsbeträgen der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 und der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 (d. h. der Versetzungsbeträge der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C und der Unterseiten-Untersuchungskamera 4C). Diese Verarbeitungsfunktion implementiert den Korrektor gemäß dieser Ausführungsform. Die Versetzungsbeträge der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 und der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 werden im Voraus, d. h. vor dem Start der Untersuchung, durch Kalibrierung oder dergleichen gewonnen.
  • Danach, wenn der Bewegungsprozess der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 beendet und das Sichtfeld KU der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C auf den „1.“ Untersuchungsbereich auf der Oberseite der Leiterplatine P1 eingestellt ist, führt die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 einen Bildermittlungsprozess des „1.“ Untersuchungsbereichs auf der Oberseite der Leiterplatine P1 durch.
  • Wenn dieser Bildermittlungsprozess beendet ist, startet die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6 einen Bewegungsprozess, um die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 zu einer Position zu bewegen, die einem „2.“ Untersuchungsbereich auf der Oberseite der Leiterplatine P1 gemäß der in der Einstelldaten-Speichereinheit 26 gespeicherten Untersuchungsabfolge entspricht.
  • Gleichzeitig führt die Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung 6, wenn der Bewegungsprozess der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 beendet und das Sichtfeld KL der Unterseiten-Untersuchungskamera 4C auf den „1.“ Untersuchungsbereich auf der Unterseite der Leiterplatine P1 eingestellt ist, einen Bildermittlungsprozess des „1.“ Untersuchungsbereichs auf der Unterseite der Leiterplatine P1 durch.
  • Anschließend werden, ebenso wie in der ersten Ausführungsform, (a) Bildermittlungsprozesse des „2.“ bis „15.“ Untersuchungsbereichs auf der Oberseite der Leiterplatine P1 durch die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 und Bewegungsprozesse der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 zwischen den Bildermittlungsprozessen sowie (b) Bildermittlungsprozesse des „2.“ bis „15.“ Untersuchungsbereichs auf der Unterseite der Leiterplatine P1 durch die Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 und Bewegungsprozesse der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 zwischen den Bildermittlungsprozessen abwechselnd durchgeführt. Damit ist die Untersuchung sowohl der Oberseite als auch der Unterseite der Leiterplatine P1 beendet.
  • Wie es oben ausführlich beschrieben ist, verwendet die Konfiguration der Ausführungsform die Positionsinformation der Erkennungsmarkierung der Oberseite oder der Unterseite der Leiterplatine P1 als die Positionsinformation der weiteren Seite und ermöglicht dadurch die Korrektur von Positionen durch Aufnehmen eines Bildes von nur einer Erkennungsmarkierung (d. h. ohne eine Aufnahme von Bildern von mehreren Erkennungsmarkierungen) auf sowohl der Oberseite als auch der Unterseite der Leiterplatine P1. Dies erhöht die Untersuchungsgenauigkeit der doppelseitigen Untersuchung der Leiterplatine P1 weiter.
  • Diese Konfiguration startet eine Untersuchung, ohne Bilder von mehreren Erkennungsmarkierungen auf der Oberseite und der Unterseite der Leiterplatine P1 aufzunehmen, und erhöht dadurch die Untersuchungsgeschwindigkeit.
  • Die Konfiguration dieser Ausführungsform führt die oben beschriebene Korrektur auf der Grundlage der Versetzungsbeträge der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 und der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 unter der Annahme durch, dass keine räumliche Fehlausrichtung (zum Beispiel eine Stapelabweichung oder Fehlausrichtung von Mustern) zwischen die Oberseite und der Unterseite der Leiterplatine P1 vorliegt. Wenn eine räumliche Fehlausrichtung zwischen der Oberseite und der Unterseite der Leiterplatine P1 vorliegt, kann die oben beschriebene Korrektur zum Beispiel dadurch durchgeführt werden, dass im Voraus eine in einem vorherigen Prozess (zum Beispiel ein Musteruntersuchungsprozess) erfasste Information über die räumliche Fehlausrichtung zwischen der Vorderseite und der Rückseite der Leiterplatine P1 (d. h. eine relative räumliche Beziehung zwischen der Vorderseite und der Rückseite der Leiterplatine P1) und Managementinformation (zum Beispiel eine Seriennummer) der Leiterplatine P1 gewonnen werden.
  • Zum Beispiel kann statt der oben beschriebenen Erkennungsmarkierung ein Durchgangsloch, das sich zwischen der Vorderseite und der Rückseite durch die Leiterplatine P1 erstreckt, als das bestimmte Objekt zur Positionierung verwendet werden. Dies ermöglicht die obige Korrektur ohne Berücksichtigung der räumlichen Fehlausrichtung zwischen der Oberseite und der Unterseite der Leiterplatine P1.
  • Die vorliegende Offenbarung ist nicht auf die Beschreibung der obigen Ausführungsformen begrenzt, sondern kann zum Beispiel durch weiter unten beschriebene Aspekte implementiert sein. Die nachfolgende Beschreibung ist jedoch auch nur illustrativ, und die vorliegende Offenbarung kann natürlich durch eine beliebige weitere Anwendung und Modifikation implementiert sein.
    1. (a) Gemäß jeder der obigen Ausführungsformen ist die Platinenuntersuchungsvorrichtung als die Lotdruck-Untersuchungsvorrichtung zur Durchführung einer Untersuchung des Druckzustands der auf die Leiterplatine P1 aufgedruckten Lötpaste P4 implementiert. Die Platinenuntersuchungsvorrichtung ist jedoch nicht auf diese Konfiguration begrenzt, sondern kann ausgelegt sein, um eine Untersuchung eines weiteren Objekts, zum Beispiel eines auf eine Platine aufgedruckten Lötbumps oder einer auf eine Platine montierten elektronischen Komponente durchzuführen. Die Platinenuntersuchungsvorrichtung wird auch nicht eingeschränkt zur Untersuchung vor dem Reflow verwendet, sondern kann auch zur Untersuchung nach dem Reflow verwendet werden.
    • (b) Jede der obigen Ausführungsformen ist ausgelegt, um vier unterschiedliche Bilddaten mit einem Streifenmuster unterschiedlicher, um 90 Grad verschobener Phasen zu gewinnen, die jeweils für eine dreidimensionale Messung mit Hilfe des Phasenverschiebungsverfahrens verwendet werden. Die Anzahl der Phasenverschiebungen und der Betrag der jeweiligen Phasenverschiebungen sind jedoch nicht auf jene dieser Ausführungsform begrenzt. Jede andere erlaubte Anzahl von Phasenverschiebungen und jeder andere erlaubte Phasenverschiebungsbetrag können zur dreidimensionalen Messung mit Hilfe des Phasenverschiebungsverfahrens verwendet werden.
  • Zum Beispiel kann eine modifizierte Konfiguration zur dreidimensionalen Messung drei unterschiedliche Bilddaten unterschiedlicher, jeweils um 120 Grad (oder jeweils um 90 Grad) verschobener Phasen gewinnen. Eine andere modifizierte Konfiguration kann zur dreidimensionalen Messung zwei unterschiedliche Bilddaten unterschiedlicher, jeweils um 180 Grad (oder jeweils um 90 Grad) verschobener Phasen gewinnen.
    • (c) Jede der obigen Ausführungsformen ist ausgelegt, um das Streifenmuster, das auf die Leiterplatine P1 projiziert wird und eine Lichtintensitätsverteilung in Form einer Rechteckwelle oder in Form einer Trapezwelle hat, kontinuierlich zu verschieben und eine Abbildung (Belichtung) des Streifenmusters fortzusetzen, um so Bilddaten mit einer Lichtintensitätsverteilung in Form einer Sinuswelle zu gewinnen.
  • Die Abbildungszeitspanne, in der ein Abbilden fortgesetzt wird, ist nicht auf die Zeitspanne der obigen Ausführungsform (entsprechend der Bewegung um die Phase von 45 Grad) begrenzt, sondern es kann eine andere Konfiguration für diese Abbildungszeitspanne verwendet werden.
  • Die Konfiguration, in der ein Abbilden (Belichten) fortgesetzt wird, ist nicht notwendig. Wie im Stand der Technik kann eine modifizierte Konfiguration sukzessive die Position eines Gitters ändern und ein Streifenmuster aussenden, wenn das Gitter gestoppt ist, um so mehrere Bilddaten unterschiedlicher Phasen zu gewinnen.
  • Gemäß jeder der obigen Ausführungsformen wird die Gitterplatte als das Mittel zum Umwandeln des von einer Lichtquelle ausgesendeten Lichts in ein Streifenmuster verwendet. Dies bedeutet jedoch keine Einschränkung, sondern es kann jedes andere geeignete Mittel, zum Beispiel ein Flüssigkristallbildschirm, zum Regeln der Transmission oder der Reflexion jeder streifenförmigen Linie verwendet werden. Die Verwendung eines solchen Flüssigkristallbildschirms oder dergleichen ermöglicht die Aussendung eines Streifenmusters mit einer Lichtintensitätsverteilung in Form einer idealen Sinuswelle, ohne eine Gitterplatte kontinuierlich zu bewegen.
    • (d) Jede der obigen Ausführungsformen ist ausgelegt, um eine dreidimensionale Messung mit Hilfe des Phasenverschiebungsverfahrens durchzuführen. Das Phasenverschiebungsverfahren ist jedoch nicht notwendig, sondern es kann ein anderes Verfahren wie etwa ein Raumcodeverfahren zur dreidimensionalen Messung verwendet werden. Es ist jedoch vorteilhafter, ein Messverfahren mit hoher Messgenauigkeit wie zum Beispiel das Phasenverschiebungsverfahren zur Messung eines kleinen Messobjekts wie der Lötpaste P4 zu verwenden.
    • (e) Die Konfiguration des Bestrahlungsgeräts, zum Beispiel die Art des von jeder Beleuchtungsvorrichtung ausgesendeten Lichts, ist nicht auf die Konfiguration der obigen Ausführungsform begrenzt, sondern es kann eine andere Konfiguration verwendet werden.
  • Zum Beispiel ist jede der obigen Ausführungsformen ausgelegt, um ein Streifenmuster auszusenden und eine dreidimensionale Messung zur Untersuchung der Leiterplatine P1 durchzuführen. Eine modifizierte Konfiguration kann statt oder zusätzlich zu der Konfiguration der Ausführungsform eine zwei-dimensionale Messung durchführen.
  • Zum Beispiel kann, wie es in 10 gezeigt ist, die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 zusätzlich zu der ersten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A, der zweiten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B und der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C eine Beleuchtungsvorrichtung 71 für eine zwei-dimensionale Untersuchung umfassen. Auch die Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 kann zusätzlich zu der ersten Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4A, der zweiten Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4B und der Unterseiten-Untersuchungskamera 4C eine Beleuchtungsvorrichtung 71 für eine zwei-dimensionale Messung umfassen.
  • Wie es in den 10 und 11 gezeigt ist, umfasst die Beleuchtungsvorrichtung 71 ein erstes Ringlicht 72, das der Leiterplatine P1 am nächsten angeordnet ist, ein zweites Ringlicht 73, das der Leiterplatine P1 am zweitnächsten und in der Nähe des ersten Ringlichts 72 angeordnet ist und ein drittes Ringlicht 74, das am weitesten weg von der Leiterplatine P1 angeordnet ist.
  • Jedes der Ringlichter 72 bis 74 ist ausgelegt, um zwischen der Aussendung von drei monochromatischen Lichtern, d. h. rotem Licht, grünem Licht und blauem Licht umzuschalten. Das erste Ringlicht 72 dient zum Bestrahlen der Leiterplatine P1 mit Licht in einem großen Einfallswinkel (zum Beispiel 74 Grad). Das zweite Ringlicht 73 dient zum Bestrahlen der Leiterplatine P1 mit Licht in einem mittleren Einfallswinkel (zum Beispiel 20 Grad). Das dritte Ringlicht 74 dient zum Bestrahlen der Leiterplatine P1 mit Licht in einem kleinen Einfallswinkel (zum Beispiel 0 Grad).
  • Eine modifizierte Konfiguration, die zur Untersuchung (für einen Bildermittlungsprozess) zum Beispiel eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs der Oberseite der Leiterplatine P1 verwendet wird, kann zusätzlich zu wenigstens einem von mehreren Abbildungsprozessen mit einem von der ersten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A ausgesendeten Streifenmuster und mehreren Abbildungsprozessen mit einem von der zweiten Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B ausgesendeten Streifenmuster wenigstens einen Abbildungsprozess von einem Abbildungsprozess mit dem von allen Ringlichtern 72 bis 74 ausgesendeten roten Licht, einem Abbildungsprozess mit dem von allen Ringlichtern 72 bis 74 ausgesendeten blauen Licht, einem Abbildungsprozess mit dem von allen Ringlichtern 72 bis 74 ausgesendeten grünen Licht, einem Abbildungsprozess mit dem von dem ersten Ringlicht 72 in einem großen Einfallswinkel ausgesendeten monochromatischen Licht (zum Beispiel blauem Licht), einem Abbildungsprozess mit dem von dem zweiten Ringlicht 73 in einem mittleren Einfallswinkel ausgesendeten monochromatischen Licht (zum Beispiel grünem Licht) und einem Abbildungsprozess mit dem von dem dritten Ringlicht 74 in einem kleinen Einfallswinkel ausgesendeten monochromatischen Licht (zum Beispiel rotem Licht) durchführen (das Gleiche gilt für eine Untersuchung der Unterseite der Leiterplatine P1).
  • Die obige Konfiguration kann modifiziert sein, um, zusätzlich zu der dreidimensionalen Messung, eine von verschiedenen zwei-dimensionalen Messungen, zum Beispiel eine Extraktion von einem von verschiedenen Bereichen wie etwa einem Lotaufdruckbereich, einem Elektrodenbereich oder einem Seidendruckbereich, eine Erfassung von Fremdkörpern, eine Messung des Bereichs der Lötpaste P4, eine Erfassung einer räumlichen Fehlausrichtung oder einer Brückenerfassung durchzuführen.
  • Eine weitere modifizierte Konfiguration umfasst weder die erste Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3A, die zweite Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 3B, die erste Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4A noch die zweite Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung 4B und kann somit keine dreidimensionale Messung, sondern nur eine zwei-dimensionale Messung durchführen.
  • Jede der obigen Ausführungsformen ist ausgelegt, um mehrere Abbildungsprozesse in einem Bildermittlungsprozess eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs durchzuführen. Dies ist jedoch nicht notwendig. Eine modifizierte Konfiguration kann nur einen Abbildungsprozess in einem Bildermittlungsprozess eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs durchführen.
    • (f) Die Verarbeitungsoperationen der Oberseiten-Untersuchungseinheit und der Unterseiten-Untersuchungseinheit bei der Untersuchung sowohl der Oberseite als auch der Unterseite der Leiterplatine P1 sind nicht auf die jeweiligen, oben beschriebenen Ausführungsformen (d. h. die in den 5A bis 5C gezeigten Beispiele) begrenzt. Jede andere Konfiguration kann verwendet werden, sofern die Konfiguration die Aussendung von Licht auf die Unterseite (auf die Oberseite) wenigstens während der Ausführungszeitspanne eines Bildermittlungsprozesses eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs der Oberseite (oder der Unterseite) der Leiterplatine P1 stoppt und dadurch ein Austreten von Licht zur Oberseite (oder zur Unterseite) verhindert.
  • Zum Beispiel ist die Bewegungszeitspanne gemäß den obigen Ausführungsformen, wenn jede der Untersuchungseinheiten 3 und 4 (mit Ausnahme von einigen Teilen) bewegt wird, kürzer als die Ausführungszeitspanne eines Bildermittlungsprozesses eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs durch jede der Untersuchungskameras 3C und 4C. Gemäß einer weiteren Ausführungsform kann die Bewegungszeitspanne, wenn jede der Untersuchungseinheiten 3 und 4 bewegt wird, länger als die Ausführungszeitspanne eines Bildermittlungsprozesses sein.
  • In diesem Fall kann zum Beispiel nach Beenden eines Bildermittlungsprozesses eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs durch die Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 (Oberseiten-Untersuchungskamera 3C) eine modifizierte Konfiguration einen Bewegungsprozess der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 und einen Abbildungsprozess unter Verwendung der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 (Unterseiten-Untersuchungskamera 4C) starten. Nachdem dieser Abbildungsprozess beendet ist, kann diese modifizierte Konfiguration auf ein Ende des Bewegungsprozesses der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 warten und einen nächsten Abbildungsprozess unter Verwendung der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 starten. Eine weitere modifizierte Konfiguration kann einen Bewegungsprozess der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 nach Beenden eines Abbildungsprozesses unter Verwendung der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 und einen Abbildungsprozess unter Verwendung der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 nach Verstreichen einer vorbestimmten Zeitspanne (zum Beispiel 1 ms) starten.
  • Eine Einstellung einer relativ langen Zeitspanne, die für den Bewegungsprozess jeder der Untersuchungseinheiten 3 und 4 notwendig ist, verhindert eine Schwingung und dergleichen während der Bewegung jeder der Untersuchungseinheiten 3 und 4. Dies führt zu einer Verringerung des Einflusses der Schwingung und dergleichen auf die Abbildung und erhöht dadurch die Untersuchungsgenauigkeit.
    • (g) Die Verarbeitungsoperationen der Oberseiten-Untersuchungseinheit 3 und der Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 in dem Bildermittlungsprozess jedes Untersuchungsbereichs sind nicht auf jede der oben beschriebenen Ausführungsformen (d. h. das in 4 gezeigte Beispiel) begrenzt.
  • Zum Beispiel ist gemäß den obigen Ausführungsformen die Datenübertragungs- (Auslese-) Zeitspanne von jeder der Untersuchungskameras 3C und 4C kürzer als die Ausführungszeitspanne eines Abbildungsprozesses durch jede der Untersuchungskameras 3C und 4C. Gemäß einer weiteren Ausführungsform kann die Datenübertragungszeitspanne länger als die Ausführungszeitspanne eines Abbildungsprozesses eingestellt sein.
  • In diesem Fall kann zum Beispiel eine modifizierte Konfiguration eine Datenübertragung durch die Oberseiten-Untersuchungskamera 3C nach Beenden eines Abbildungsprozesses unter Verwendung der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C und einen Abbildungsprozess unter Verwendung der Unterseiten-Untersuchungskamera 4C starten. Wenn dieser Abbildungsprozess unter Verwendung der Unterseiten-Untersuchungskamera 4C beendet ist, kann die modifizierte Konfiguration auf ein Ende einer Datenübertragungszeitspanne durch die Oberseiten-Untersuchungskamera 3C (d. h. einer Zeitspanne, in der eine Durchführung eines Abbildungsprozesses nicht erlaubt ist) warten und einen nächsten Abbildungsprozess unter Verwendung der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C starten. Eine modifizierte Konfiguration kann eine Datenübertragung durch die Oberseiten-Untersuchungskamera 3C nach Beenden eines Abbildungsprozesses unter Verwendung der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C und einen Abbildungsprozess unter Verwendung der Unterseiten-Untersuchungskamera 4C nach Verstreichen einer vorbestimmten Zeitspanne (zum Beispiel 1 ms) starten.
  • In jeder dieser modifizierten Konfigurationen werden natürlich die Operations- und Regelungsprozesse der jeweiligen Gitterplatten wie etwa die Gitterplatte 3Ab entsprechend den Abbildungsprozessen unter Verwendung der jeweiligen Untersuchungskameras 3C und 4C durchgeführt. Mit anderen Worten, die Gitterplatte sollte gestoppt werden, damit sie bereitsteht, wenn es zu einer zeitlichen Verzögerung kommt.
    • (h) Gemäß jeder der obigen Ausführungsformen wird von jeder der Untersuchungskameras 3C und 4C ein CCD-Sensor als das Abbildungselement verwendet. Es ist jedoch nicht notwendig, dieses Abbildungselement zu verwenden, sondern es kann auch ein anderes Abbildungselement wie etwa ein CMOS-Sensor verwendet werden.
  • Eine Konfiguration unter Verwendung eines herkömmlichen CCD-Sensors oder dergleichen darf einen nächsten Abbildung- (Belichtungs-) Prozess während Datenübertragung nicht durchführen. Daher müssen der Abbildungsprozess und der Datenübertragungsprozess abwechselnd wiederholt werden, wenn mehrere Abbildungsprozesse notwendig sind.
  • Hingegen erlaubt eine Konfiguration unter Verwendung eines CMOS-Sensors oder eines CCD-Sensors mit der Funktion, die Belichtung während der Datenübertragung zu erlauben, die teilweise überlappende Durchführung des Abbildungsprozesses und des Datenübertragungsprozesses.
  • Wenn zum Beispiel die Datenübertragungszeitspanne länger als die Ausführungszeitspanne eines Abbildungsprozesses eingestellt ist, wie es oben beschrieben ist, kann die letzte Konfiguration eine Datenübertragung durch die Oberseiten-Untersuchungskamera 3C nach Beenden eines Abbildungsprozesses unter Verwendung der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C und einen Abbildungsprozess unter Verwendung der Unterseiten-Untersuchungskamera 4C starten. Ohne auf ein Ende einer Datenübertragungszeitspanne durch die Oberseiten-Untersuchungskamera 3C zu warten, kann diese Konfiguration einen nächsten Abbildungsprozess unter Verwendung der Oberseiten-Untersuchungskamera 3C gleichzeitig mit einem Beenden des Abbildungsprozesses unter Verwendung die Unterseiten-Untersuchungskamera 4C starten.
    • (i) Obwohl in keiner der obigen Ausführungsformen besonders darauf eingegangen ist, kann zum Beispiel die Unterseiten-Untersuchungskamera 4C, die unter dem Transportweg der Leiterplatine P1 angeordnet ist, eine Schutzabdeckung 50 umfassen, wie es in 12 gezeigt ist.
  • Es besteht die Möglichkeit, dass Fremdkörper wie etwa Lotreste, die von der Leiterplatine P1 nach unten fallen, auf der Unterseiten-Untersuchungskamera 4C, die unter dem Transportweg der Leiterplatine P1 angeordnet ist, haften. Die Schutzabdeckung 50 verhindert, dass Fremdkörper auf der Unterseiten-Untersuchungskamera 4C haften.
  • Die Schutzabdeckung 50 ist aus einem transparenten Element gebildet, und die untere Untersuchungskamera 4C kann ein Bild der Unterseite der Leiterplatine P1 durch die Schutzabdeckung 50 aufnehmen.
  • Eine Ablagerung von Schmutz oder ein Haften eines Fremdkörpers auf der Schutzabdeckung 50 beeinträchtigt jedoch wahrscheinlich die Untersuchung. Es ist daher vorteilhaft, dass die Platinenuntersuchungsvorrichtung 1 einen Abdeckungsuntersuchungsmechanismus zur Durchführung einer Untersuchung umfasst, um zu bestimmen, ob ein Fremdkörper oder dergleichen auf der Schutzabdeckung 50 haftet. Nachfolgend ist ein konkretes Beispiel des Abdeckungsuntersuchungsmechanismus beschrieben.
  • Wie es in 12 gezeigt ist, sind die Unterseiten-Untersuchungskamera 4C und die Schutzabdeckung 50 mittels eines Halter 51 zu einer Einheit verbunden. Die Unterseiten-Untersuchungskamera 4C und die Schutzabdeckung 50 werden durch ein nicht gezeigtes Antriebsmittel während einer Zeitspanne, nachdem eine Leiterplatine P1, deren durch die Platinenuntersuchungsvorrichtung 1 durchgeführte Untersuchung gerade beendet wurde, und bevor eine neue Leiterplatine P1 in die Platinenuntersuchungsvorrichtung 1 transportiert wird, zusammen mit dem Halter 51 zu einer Position bewegt, die von der Position unter dem Transportweg der Leiterplatine P1 (Abdeckungsuntersuchungsposition) abweicht.
  • Eine Vorrichtung 53 zur transmittierenden Beleuchtung ist an der Abdeckungsuntersuchungsposition angeordnet, die wiederum über der Schutzabdeckung 50 angeordnet sein muss. Nachdem die Kamera 4C auf die Schutzabdeckung 50 fokussiert ist, dient die Kamera 4C dazu, ein Bild des transmittierten Lichts aufzunehmen, das von der Vorrichtung 53 zur transmittierenden Beleuchtung ausgesendet wird und durch die Schutzabdeckung 50 transmittiert, um eine Untersuchung auf Fremdkörper durchzuführen.
  • Wie in einem in 13 gezeigten Beispiel kann eine Vorrichtung 55 zur transmittierenden Beleuchtung, die unter der Schutzabdeckung 50 angeordnet ist, an der Abdeckungsuntersuchungsposition angeordnet sein, und eine Kamera 56, die ausschließlich zur Untersuchung der Abdeckung verwendet wird, kann an einer Position über der Schutzabdeckung 50 angeordnet sein. Die Kamera 56 dient dazu, zur Untersuchung auf Fremdkörper ein Bild des transmittierten Lichts aufzunehmen, das von der Vorrichtung 55 zur transmittierenden Beleuchtung ausgesendet und durch die Schutzabdeckung 50 transmittiert wird.
  • Statt der Vorrichtung zur transmittierenden Beleuchtung kann zur Untersuchung auf Fremdkörper eine Vorrichtung zur reflektierenden Beleuchtung verwendet werden. Zum Beispiel kann, wie es in 14 gezeigt ist, eine Blende 60 an der Abdeckungsuntersuchungsposition über der Schutzabdeckung 50 angeordnet sein, und eine Vorrichtung zur reflektierenden Beleuchtung 61 kann vorgesehen sein, um die Schutzabdeckung 50 mit von schräg nach oben ausgesendetem Licht zu bestrahlen. Nachdem die Kamera 4C auf die Schutzabdeckung 50 fokussiert ist, dient die Kamera 4C dazu, zur Untersuchung auf Fremdkörper ein Bild des reflektierten Lichts aufzunehmen, das von der Vorrichtung zur reflektierenden Beleuchtung 61 ausgesendet und von der Schutzabdeckung 50 reflektiert wird.
  • Gemäß einem in 15 gezeigten Beispiel können eine Blende 62, die unter der Schutzabdeckung 50 angeordnet ist, eine Kamera 63, die über der Schutzabdeckung 50 angeordnet ist und ausschließlich zur Untersuchung der Abdeckung verwendet wird, und eine Vorrichtung zur reflektierenden Beleuchtung 64 zum Bestrahlen der Schutzabdeckung 50 mit schräg nach unten ausgesendetem Licht an der Abdeckungsuntersuchungsposition angeordnet sein. Die Kamera 63 dient dazu, zur Untersuchung auf Fremdkörper ein Bild des reflektierten Lichts aufzunehmen, das von der Vorrichtung zur reflektierenden Beleuchtung 64 ausgesendet und von der Schutzabdeckung 50 wird.
  • Ein Mechanismus zum Entfernen der Fremdkörper von der Schutzabdeckung 50 kann zusätzlich zu einem der verschiedenen, oben beschriebenen Abdeckungsuntersuchungsmechanismen vorgesehen sein. Wenn einen Fremdkörper oder dergleichen auf der Schutzabdeckung 50 durch einen der verschiedenen, oben beschriebenen Abdeckungsuntersuchungsmechanismen erfasst wird, kann ein vorbestimmter Fremdkörper-Entfernungsmechanismus aktiviert werden, um den Fremdkörper zu entfernen.
  • Beispiele des Fremdkörper-Entfernungsmechanismus umfassen einen Mechanismus zum Sprühen oder Blasen von Luft, um dadurch einen Fremdkörper aus der Schutzabdeckung 50 herauszublasen, einen Mechanismus zum Wegwischen eines Fremdkörpers mit Hilfe einer Bürste oder dergleichen, einen Mechanismus zum Anordnen von dünnen Filmen auf der Schutzabdeckung 50 und anschließendem Abziehen des verschmutzten dünnen Films (Abziehfunktion) und einen Mechanismus zum Anordnen einer Rolle mit dünnem Film auf der Schutzabdeckung 50 und anschließendem Aufrollen eines verschmutzten Teils der Rolle (Abrollfunktion).
  • Eine Schutzabdeckung zum Schutz der gesamten Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 kann statt der Schutzabdeckung 50 zum Schutz nur der Unterseiten-Untersuchungskamera 4C vorgesehen sein. Es ist jedoch wahrscheinlich, dass der Schutzabdeckung zum Schutz der gesamten Unterseiten-Untersuchungseinheit 4 einen Seitenuntersuchungsbereich bei der Untersuchung auf Fremdkörper mit sich bringt und die Untersuchungszeit verlängert. Diese modifizierte Konfiguration vergrößert auch die Schutzabdeckung und dadurch wahrscheinlich die gesamte Vorrichtung und das Gesamtgewicht der Vorrichtung. Vor diesem Hintergrund ist es vorteilhaft, eine Schutzabdeckung 50 zum Schutz von nur der Unterseiten-Untersuchungskamera 4C vorzusehen.
    • (j) Jede der oben beschriebenen Ausführungsformen sieht die erste Erkennungsmarkierung [A] und die zweite Erkennungsmarkierung [B] auf der Vorderseite der Leiterplatine P1 und die erste Erkennungsmarkierung [a] und die zweite Erkennungsmarkierung [b] auf der Rückseite der Leiterplatine P1 als die bestimmten Objekte zur Positionierung vor.
  • Die Konfiguration der bestimmten Objekte, zum Beispiel die Anzahl, die Form, die Größe, die Position und der Typ der bestimmten Objekte ist nicht auf die obigen Ausführungsformen begrenzt. Zum Beispiel kann eine modifizierte Konfiguration die Erkennungsmarkierung an nur einer Stelle vorsehen oder die Erkennungsmarkierung an drei oder mehr Stellen sowohl auf der Vorderseite als auch auf der Rückseite der Leiterplatine P1 vorsehen. Ein Durchgangsloch, das sich durch die Leiterplatine P1 zwischen der Vorderseite und der Rückseite erstreckt, kann als das bestimmte Objekt zur Positionierung verwendet werden. In einigen Fällen kann ein Durchgangsloch für die Schaltung auch als das bestimmte Objekt zur Positionierung verwendet werden. In einem weiteren Beispiel kann ein Teil des Elektrodenmusters P3 als das bestimmte Objekt zur Positionierung verwendet werden.
  • Bezugszeichenliste
    • 1
    Platinenuntersuchungsvorrichtung,
    2
    Transportmechanismus,
    3
    Oberseiten-Untersuchungseinheit,
    3A
    erste Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung,
    3B
    zweite Oberseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung,
    3C
    Oberseiten-Untersuchungskamera, 4 Unterseiten-Untersuchungseinheit, 4A erste Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung,
    4B
    zweite Unterseitenuntersuchungs-Beleuchtungsvorrichtung,
    4C
    Unterseiten-Untersuchungskamera,
    6
    Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung,
    P1
    Leiterplatine,
    P4
    Lötpaste

Claims (7)

  1. Platinenuntersuchungsvorrichtung (1) zur Durchführung einer Untersuchung von sowohl einer Vorderseite als auch einer Rückseite einer Platine, wobei die Platinenuntersuchungsvorrichtung (1) umfasst: wenigstens ein vorderseitiges Bestrahlungsgerät (3A, 3B) zum Bestrahlen eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf einer Vorderseite der Platine mit vorbestimmtem Licht; eine vorderseitige Abbildungseinheit (3C) zum Aufnehmen eines Bildes des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Vorderseite der Platine, der mit dem vorbestimmten Licht bestrahlt wird; eine vorderseitige Bewegungseinheit (3D, 3E) zum Bewegen des vorderseitigen Bestrahlungsgeräts (3A, 3B) und der vorderseitigen Abbildungseinheit (3C) zu einer Position, die dem vorbestimmten Untersuchungsbereich auf der Vorderseite der Platine entspricht; wenigstens ein rückseitiges Bestrahlungsgerät (4A, 4B) zum Bestrahlen eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf einer Rückseite der Platine mit vorbestimmtem Licht; eine rückseitige Abbildungseinheit (4C) zum Aufnehmen eines Bildes des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Rückseite der Platine, der mit dem vorbestimmten Licht bestrahlt wird; eine rückseitige Bewegungseinheit (4D, 4E) zum Bewegen des rückseitigen Bestrahlungsgeräts (4A, 4B) und der rückseitigen Abbildungseinheit (4C) zu einer Position, die dem vorbestimmten Untersuchungsbereich auf der Rückseite der Platine entspricht; und eine Untersuchungseinheit zur Untersuchung des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Vorderseite der Platine auf der Grundlage von wenigstens einen Bilddaten, die durch einen durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) und die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) durchgeführten Bildermittlungsprozess des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Vorderseite der Platine gewonnen werden, und zur Untersuchung des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Rückseite der Platine auf der Grundlage von wenigstens einen Bilddaten, die durch einen durch das rückseitige Bestrahlungsgerät (4A, 4B) und die rückseitige Abbildungseinheit (4C) durchgeführten Bildermittlungsprozess des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Rückseite der Platine gewonnen werden, wobei der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von mehreren auf der Vorderseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen und der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von mehreren auf der Rückseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen abwechselnd durchgeführt werden, bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Vorderseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) und die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem rückseitigen Bestrahlungsgerät (4A, 4B) gestoppt ist, und das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) und die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) anschließend zu einer Position bewegt werden, die einem nächsten Untersuchungsbereich entspricht, und bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Rückseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das rückseitige Bestrahlungsgerät (4A, 4B) und die rückseitige Abbildungseinheit (4C) durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem vorderseitigen Bestrahlungsgerät (3A, 3B) gestoppt ist, und bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Rückseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das rückseitige Bestrahlungsgerät (4A, 4B) und die rückseitige Abbildungseinheit (4C) durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem vorderseitigen Bestrahlungsgerät (3A, 3B) gestoppt ist, und das Bestrahlungsgerät und die rückseitige Abbildungseinheit (4C) anschließend zu einer Position bewegt werden, die einem nächsten Untersuchungsbereich entspricht, und bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Vorderseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) und die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem rückseitigen Bestrahlungsgerät (4A, 4B) gestoppt ist, wobei der Bildermittlungsprozess durch das rückseitige Bestrahlungsgerät (4A, 4B) und die rückseitige Abbildungseinheit (4C) während einer Bewegungszeitspanne des vorderseitigen Bestrahlungsgeräts (3A, 3B) und der vorderseitigen Abbildungseinheit (3C) durchgeführt wird, und der Bildermittlungsprozess durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) und die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) während einer Bewegungszeitspanne des rückseitigen Bestrahlungsgeräts (4A, 4B) und der rückseitigen Abbildungseinheit (4C) durchgeführt wird.
  2. Platinenuntersuchungsvorrichtung (1) zur Durchführung einer Untersuchung von sowohl einer Vorderseite als auch einer Rückseite einer Platine, wobei die Platinenuntersuchungsvorrichtung (1) umfasst: wenigstens ein vorderseitiges Bestrahlungsgerät (3A, 3B) zum Bestrahlen eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf einer Vorderseite der Platine mit vorbestimmtem Licht; eine vorderseitige Abbildungseinheit (3C) zum Aufnehmen eines Bildes des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Vorderseite der Platine, der mit dem vorbestimmten Licht bestrahlt wird; eine vorderseitige Bewegungseinheit (3D, 3E) zum Bewegen des vorderseitigen Bestrahlungsgeräts und der vorderseitigen Abbildungseinheit zu einer Position, die dem vorbestimmten Untersuchungsbereich auf der Vorderseite der Platine entspricht; wenigstens ein rückseitiges Bestrahlungsgerät (4A, 4B) zum Bestrahlen eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf einer Rückseite der Platine mit vorbestimmtem Licht; eine rückseitige Abbildungseinheit (4C) zum Aufnehmen eines Bildes des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Rückseite der Platine, der mit dem vorbestimmten Licht bestrahlt wird; eine rückseitige Bewegungseinheit (4D, 4E) zum Bewegen des rückseitigen Bestrahlungsgeräts und der rückseitigen Abbildungseinheit zu einer Position, die dem vorbestimmten Untersuchungsbereich auf der Rückseite der Platine entspricht; und eine Untersuchungseinheit zur Untersuchung des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Vorderseite der Platine auf der Grundlage von wenigstens einen Bilddaten, die durch einen durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) und die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) durchgeführten Bildermittlungsprozess des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Vorderseite der Platine gewonnen werden, und zur Untersuchung des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Rückseite der Platine auf der Grundlage von wenigstens einen Bilddaten, die durch einen durch das rückseitige Bestrahlungsgerät (4A, 4B) und die rückseitige Abbildungseinheit (4C) durchgeführten Bildermittlungsprozess des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Rückseite der Platine gewonnen werden, wobei der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von mehreren auf der Vorderseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen und der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von mehreren auf der Rückseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen abwechselnd durchgeführt werden, bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Vorderseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) und die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem rückseitigen Bestrahlungsgerät gestoppt ist, und das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) und die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) anschließend zu einer Position bewegt werden, die einem nächsten Untersuchungsbereich entspricht, und bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Rückseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das rückseitige Bestrahlungsgerät (4A, 4B) und die rückseitige Abbildungseinheit (4C) durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem vorderseitigen Bestrahlungsgerät gestoppt ist, und bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Rückseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das rückseitige Bestrahlungsgerät (4A, 4B) und die rückseitige Abbildungseinheit (4C) durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem vorderseitigen Bestrahlungsgerät gestoppt ist, und das Bestrahlungsgerät und die rückseitige Abbildungseinheit (4C) anschließend zu einer Position bewegt werden, die einem nächsten Untersuchungsbereich entspricht, und bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Vorderseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) und die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem rückseitigen Bestrahlungsgerät gestoppt ist, wobei das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) und die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) gemäß einer vorbestimmten Untersuchungsabfolge nacheinander zu Positionen bewegt werden, die den mehreren, auf der Vorderseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen entsprechen, und die Bildermittlungsprozesse der mehreren Untersuchungsbereiche nacheinander durchgeführt werden, und das rückseitige Bestrahlungsgerät (4A, 4B) und die rückseitige Abbildungseinheit (4C) gemäß einer vorbestimmten Untersuchungsabfolge nacheinander zu Positionen bewegt werden, die den mehreren, auf der Rückseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen entsprechen, und die Bildermittlungsprozesse der mehreren Untersuchungsbereiche nacheinander durchgeführt werden, wobei die Untersuchungsabfolge der Vorderseite der Platine so festgelegt ist, dass ein Bewegungsweg des vorderseitigen Bestrahlungsgeräts (3A, 3B) und der vorderseitigen Abbildungseinheit (3C) ein kürzester Weg ausgehend von einem vorbestimmten Startpunkt ist, und/oder die Untersuchungsabfolge der Rückseite der Platine so festgelegt ist, dass ein Bewegungsweg des rückseitigen Bestrahlungsgeräts (4A, 4B) und der rückseitige Abbildungseinheit (4C) ein kürzester Weg ausgehend von einem vorbestimmten Startpunkt ist.
  3. Platinenuntersuchungsvorrichtung (1) zur Durchführung einer Untersuchung von sowohl einer Vorderseite als auch einer Rückseite einer Platine, wobei die Platinenuntersuchungsvorrichtung (1) umfasst: wenigstens ein vorderseitiges Bestrahlungsgerät (3A, 3B) zum Bestrahlen eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf einer Vorderseite der Platine mit vorbestimmtem Licht; eine vorderseitige Abbildungseinheit (3C) zum Aufnehmen eines Bildes des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Vorderseite der Platine, der mit dem vorbestimmten Licht bestrahlt wird; eine vorderseitige Bewegungseinheit (3D, 3E) zum Bewegen des vorderseitigen Bestrahlungsgeräts und der vorderseitigen Abbildungseinheit zu einer Position, die dem vorbestimmten Untersuchungsbereich auf der Vorderseite der Platine entspricht; wenigstens ein rückseitiges Bestrahlungsgerät (4A, 4B) zum Bestrahlen eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf einer Rückseite der Platine mit vorbestimmtem Licht; eine rückseitige Abbildungseinheit (4C) zum Aufnehmen eines Bildes des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Rückseite der Platine, der mit dem vorbestimmten Licht bestrahlt wird; eine rückseitige Bewegungseinheit (4D, 4E) zum Bewegen des rückseitigen Bestrahlungsgeräts und der rückseitigen Abbildungseinheit zu einer Position, die dem vorbestimmten Untersuchungsbereich auf der Rückseite der Platine entspricht; und eine Untersuchungseinheit zur Untersuchung des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Vorderseite der Platine auf der Grundlage von wenigstens einen Bilddaten, die durch einen durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) und die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) durchgeführten Bildermittlungsprozess des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Vorderseite der Platine gewonnen werden, und zur Untersuchung des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Rückseite der Platine auf der Grundlage von wenigstens einen Bilddaten, die durch einen durch das rückseitige Bestrahlungsgerät (4A, 4B) und die rückseitige Abbildungseinheit (4C) durchgeführten Bildermittlungsprozess des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Rückseite der Platine gewonnen werden, wobei der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von mehreren auf der Vorderseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen und der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von mehreren auf der Rückseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen abwechselnd durchgeführt werden, bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Vorderseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) und die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem rückseitigen Bestrahlungsgerät gestoppt ist, und das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) und die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) anschließend zu einer Position bewegt werden, die einem nächsten Untersuchungsbereich entspricht, und bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Rückseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das rückseitige Bestrahlungsgerät (4A, 4B) und die rückseitige Abbildungseinheit (4C) durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem vorderseitigen Bestrahlungsgerät gestoppt ist, und bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Rückseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das rückseitige Bestrahlungsgerät (4A, 4B) und die rückseitige Abbildungseinheit (4C) durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem vorderseitigen Bestrahlungsgerät gestoppt ist, und das Bestrahlungsgerät und die rückseitige Abbildungseinheit (4C) anschließend zu einer Position bewegt werden, die einem nächsten Untersuchungsbereich entspricht, und bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Vorderseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) und die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem rückseitigen Bestrahlungsgerät gestoppt ist, wobei wenigstens ein bestimmtes Objekt zur Positionierung auf der Vorderseite der Platine angeordnet ist und wenigstens ein bestimmtes Objekt zur Positionierung auf der Rückseite der Platine angeordnet ist, wobei bezüglich der Vorderseite der Platine, nachdem das wenigstens eine bestimmte Objekt durch die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) einzeln abgebildet ist, die Bildermittlungsprozesse der mehreren, auf der Vorderseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereiche nacheinander durchgeführt werden, und bezüglich der Rückseite der Platine, nachdem das wenigstens eine bestimmte Objekt durch die rückseitige Abbildungseinheit (4C) einzeln abgebildet ist, die Bildermittlungsprozesse der mehreren, auf der Rückseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereiche nacheinander durchgeführt werden.
  4. Platinenuntersuchungsvorrichtung (1) nach Anspruch 3, wobei bezüglich wenigstens entweder der Vorderseite oder der Rückseite der Platine, ein Untersuchungsbereich in einem kürzesten Abstand von einem bestimmten Objekt, das von dem wenigstens einen bestimmten Objekt zuletzt abgebildet wird, als ein Untersuchungsbereich festgelegt wird, für den der Bildermittlungsprozess zuerst durchgeführt werden muss.
  5. Platinenuntersuchungsvorrichtung (1) nach Anspruch 3 oder Anspruch 4, die ferner umfasst: eine Speichereinheit zum Speichern einer im Voraus gewonnenen relativen räumlichen Beziehung zwischen der vorderseitigen Abbildungseinheit und der rückseitigen Abbildungseinheit; und einen Korrektor zum Korrigieren einer relativen räumlichen Beziehung zwischen der vorderseitigen Abbildungseinheit und der Vorderseite der Platine und einer relativen räumlichen Beziehung zwischen der rückseitige Abbildungseinheit (4C) und der Rückseite der Platine auf der Grundlage einer Positionsinformation eines bestimmten Objekts auf der Vorderseite der Platine, das durch die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) abgebildet wird, einer Positionsinformation eines bestimmten Objekts auf der Rückseite der Platine, das durch die rückseitige Abbildungseinheit (4C) abgebildet wird, und der in der Speichereinheit gespeicherten relativen räumlichen Beziehung zwischen der vorderseitigen Abbildungseinheit und der rückseitigen Abbildungseinheit.
  6. Platinenuntersuchungsvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei wenigstens entweder das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) oder das rückseitige Bestrahlungsgerät (4A, 4B) ausgelegt ist, um ein Lichtmuster mit einer streifenförmigen Lichtintensitätsverteilung als das vorbestimmte Licht auszusenden, und die Untersuchungseinheit ausgelegt ist, um eine dreidimensionale Messung durch ein Phasenverschiebungsverfahren auf der Grundlage mehrerer, mit dem Lichtmuster unterschiedlicher Phasen aufgenommener Bilddaten durchzuführen.
  7. Platinenuntersuchungsvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Platine entweder eine Leiterplatine ist, auf der Lötpaste aufgedruckt ist, oder ein Wafersubstrat ist, auf dem ein Lötbump gebildet ist.
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