JP3723057B2 - 三次元計測装置 - Google Patents
三次元計測装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3723057B2 JP3723057B2 JP2000234718A JP2000234718A JP3723057B2 JP 3723057 B2 JP3723057 B2 JP 3723057B2 JP 2000234718 A JP2000234718 A JP 2000234718A JP 2000234718 A JP2000234718 A JP 2000234718A JP 3723057 B2 JP3723057 B2 JP 3723057B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- imaging
- measurement object
- light component
- irradiation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、測定対象物の三次元形状等を位相シフト法を用いて計測する三次元計測装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、プリント基板上に電子部品を実装する場合、まずプリント基板上に配設された所定の電極パターン上にクリームハンダが印刷される。次に、該クリームハンダの粘性に基づいてプリント基板上に電子部品が仮止めされる。その後、前記プリント基板がリフロー炉へ導かれ、所定のリフロー工程を経ることでハンダ付けが行われる。昨今では、リフロー炉に導かれる前段階においてクリームハンダの印刷状態を検査する必要があり、かかる検査に際して三次元計測装置が用いられることがある。
【０００３】
近年、光を用いたいわゆる非接触式の三次元計測装置が種々提案されており、中でも位相シフト法を用いた三次元計測装置に関する技術が提案されている（特開平１１−２１１４４３号公報、特許第２７１１０４２号等）。
【０００４】
上記技術における三次元計測装置においては、ＣＣＤカメラが用いられる。すなわち、光源と正弦波パターンのフィルタとの組み合わせからなる照射手段により、縞状の光強度分布を有する光パターンを測定物体（この場合プリント基板）に照射する。そして、基板上の点を真上に配置したＣＣＤカメラを用いて観測する。この場合、画面上の点Ｐの光の強度Ｉは下式で与えられる。
【０００５】
Ｉ＝ｅ＋ｆ・ｃｏｓφ ［但し、ｅ：直流光ノイズ（オフセット成分）、ｆ：正弦波のコントラスト（反射率）、φ：物体の凹凸により与えられる位相］
このとき、光パターンを移動させて、位相を４段階（φ＋０、φ＋π／２、φ＋π、φ＋３π／２）に変化させ、これらに対応する強度分布Ｉ０、Ｉ１、Ｉ２、Ｉ３をもつ画像を取り込み、下記式に基づいて位置情報θを求める。
【０００６】
θ＝ａｒｃｔａｎ｛（Ｉ３−Ｉ１）／（Ｉ０−Ｉ２）｝
この位置情報θを用いて、プリント基板（クリームハンダ）上の点Ｐの３次元座標（Ｘ，Ｙ，Ｚ）が求められ、もってクリームハンダの三次元形状、特に高さが計測される。
【０００７】
【発明が解決しょうとする課題】
ところで、上記技術における三次元計測装置においては、位相を４段階に変化させ、各段階に対応する強度分布をもつ４通りの画像を取得する必要がある。つまり、位相を変化させる度に撮像を行わなければならず、結果として１つのポイントに関し撮像を４回行う必要がある。このため、撮像に時間を要することとなり、ひいては、計測開始から終了までの時間が長いものとなってしまうおそれがある。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、計測対象物の三次元形状を位相シフト法を用いて計測するに際し、計測に要する時間の短縮を図ることの可能な三次元計測装置を提供することを主たる目的の一つとしている。
【０００９】
【課題を解決するための手段及びその効果】
上記目的を達成し得る特徴的手段について以下に説明する。また、各手段につき、特徴的な作用及び効果を必要に応じて記載する。
【００１０】
手段１．少なくとも計測対象物に対し、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係の異なる複数の光成分パターンを同時に照射可能な照射手段と、前記光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像可能な撮像手段と、前記異なる相対位相関係下において前記撮像手段にて撮像された複数通りの画像データに基づき、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さを演算する演算手段とを備えたことを特徴とする三次元計測装置。ここで、「位相シフト法」とは、被測定物（ここでは計測対象物）に対し、照明手段と撮像手段とを所定の角度をもって配置し、照明手段が所定周期の縞状の光を照射して得た映像と、同一周期で位相の異なる縞状の光を照射して得た１つ又は複数の映像とをもとにして、被測定物の高さを三角測量の原理により求める三次元計測の手法をいう。
【００１１】
手段１によれば、少なくとも計測対象物に対し、照射手段によって、複数の光成分パターンが同時に照射される。ここで、各光成分パターンは、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係が異なっている。また、光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光が、撮像手段によって各光成分毎に分離されて撮像される。そして、前記異なる相対位相関係下において撮像手段にて撮像された複数通りの画像データに基づき、演算手段では、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さが演算される。従って、相対位相関係を異ならせる毎に撮像を行う必要があった従来技術とは異なり、各光成分毎に、異なる相対位相関係下毎に、まとめて撮像を行うことができる。このため、１つのポイントに関し照射及び撮像に要する時間が著しく短縮が図られることとなり、もって、計測に要する時間の飛躍的な短縮を図ることができる。
【００１２】
手段２．少なくとも計測対象物に対し、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係の異なる少なくとも２つの光成分パターンを同時に照射可能な照射手段と、前記光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像可能な撮像手段と、前記異なる相対位相関係下において前記撮像手段にて撮像された少なくとも２通りの画像データ及び別途の補正用データに基づき、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さを演算する演算手段とを備えたことを特徴とする三次元計測装置。
【００１３】
手段２によれば、少なくとも計測対象物に対し、照射手段によって、少なくとも２つの光成分パターンが同時に照射される。ここで、各光成分パターンは、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係が異なっている。また、光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光が、撮像手段によって各光成分毎に分離されて撮像される。そして、前記異なる相対位相関係下において撮像手段にて撮像された少なくとも２通りの画像データ及び別途の補正用のデータに基づき、演算手段では、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さが演算される。従って、相対位相関係を異ならせる毎に撮像を行う必要があった従来技術とは異なり、各光成分毎に、異なる相対位相関係下毎に、まとめて撮像を行うことができる。このため、１つのポイントに関し照射及び撮像に要する時間が著しく短縮が図られることとなり、もって、計測に要する時間の飛躍的な短縮を図ることができる。
【００１４】
手段３．前記補正用データは、白色全照射された計測対象物からの反射光を撮像した画像データであることを特徴とする手段２に記載の三次元計測装置。
【００１５】
手段３によれば、白色全照射された計測対象物からの反射光を別途撮像した画像データに基づいて補正がされた上で計測対象物の所定の高さが演算される。このため、所定の波長成分の光成分パターンを照射した場合、計測対象物の色合い等によって反射率が大きく相違する場合があるが、かかる場合でも反射率による影響を補正により相殺することができる。その結果、計測の精度の向上を図ることができる。
【００１６】
手段６．少なくとも計測対象物に対し、同一振幅及び同一オフセット成分の光源からの光に基づき、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係の異なる３つの光成分パターンを同時に照射して第１の照射を行うとともに、少なくとも計測対象物に対し、前記光源からの光に基づき白色の全照射たる第２の照射を行うことの可能な照射手段と、前記第１の照射に基づく光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像する第１の撮像を行うとともに、前記第２の照射に基づく計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像する第２の撮像を行うことの可能な撮像手段と、前記異なる相対位相関係下において前記撮像手段による第１の撮像に基づく３通りの画像データ、及び、前記第２の撮像に基づく画像データに基づき、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さを演算する演算手段とを備えたことを特徴とする三次元計測装置。
【００１７】
手段６によれば、少なくとも計測対象物に対し、照射手段では、同一振幅及び同一オフセット成分の光源からの光に基づき、３つの光成分パターンが同時に照射されることで第１の照射が行われる。これら光成分パターンは、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係が異なっている。また、照射手段では、少なくとも計測対象物に対し、前記光源からの光に基づき白色の全照射たる第２の照射が行われる。これに対し、撮像手段では、前記第１の照射に基づく光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光が各光成分毎に分離されて撮像される第１の撮像が行われる。また、撮像手段では、前記第２の照射に基づく計測対象物からの反射光が各光成分毎に分離されて撮像される第２の撮像が行われる。そして、異なる相対位相関係下において前記撮像手段による第１の撮像に基づく３通りの画像データ、及び、前記第２の撮像に基づく画像データに基づき、演算手段では、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さが演算される。従って、相対位相関係を異ならせる毎に撮像を行う必要があった従来技術とは異なり、各光成分毎に、異なる相対位相関係下毎に、まとめて撮像を行うことができる。このため、１つのポイントに関し２回の照射及び２回の撮像を行えばよく、照射及び撮像に要する時間が著しく短縮が図られることとなり、もって、計測に要する時間の飛躍的な短縮を図ることができる。また、所定の波長成分の光成分パターンを照射した場合、計測対象物の色合い等によって反射率が大きく相違する場合があるが、かかる場合でも第２の撮像が行われることによって反射率による影響が相殺されることとなる。その結果、計測の精度の向上を図ることができる。
【００１８】
手段７．前記第１の撮像に際しての前記互いに異なる相対位相関係をそれぞれ０、α、βとしたときの各光成分毎の前記３通りの画像データがそれぞれＲｓ、Ｇｓ、Ｂｓであり、前記第２の撮像に際しての各光成分毎の３通りの画像データがそれぞれＲｗ、Ｇｗ、Ｂｗであるとき、前記演算手段は、下記式（２）により位置情報θを求め、該位置情報θに基づき前記所定の高さを演算するものであることを特徴とする手段６に記載の三次元計測装置。
【００１９】
【数３】
ここで、手段７に関し、３通りの相対位相関係をそれぞれ０、α、βとしたときの第１の撮像に際しての各光成分毎の３通りの画像データ（光強度）がそれぞれＲｓ、Ｇｓ、Ｂｓであり、前記第２の撮像に際しての各光成分毎の３通りの画像データ（光強度）がそれぞれＲｗ、Ｇｗ、Ｂｗであるとき、一般的には下式（２ａ），（２ｂ），（２ｃ），（２ｄ），（２ｅ），（２ｆ）が成立することとなる。
【００２０】
Ｒｓ＝Ｍｒ（Ａsinθ＋Ｂ） ・・・（２ａ）
Ｇｓ＝Ｍｇ｛Ａsin（θ＋α）＋Ｂ｝ ・・・（２ｂ）
Ｂｓ＝Ｍｂ｛Ａsin（θ＋β）＋Ｂ｝ ・・・（２ｃ）
Ｒｗ＝Ｍｒ（Ａ＋Ｂ） ・・・（２ｄ）
Ｇｗ＝Ｍｇ（Ａ＋Ｂ） ・・・（２ｅ）
Ｂｗ＝Ｍｂ（Ａ＋Ｂ） ・・・（２ｆ）
但し、Ｍｒ：ある点での赤色成分に対する反射率、Ｍｇ：ある点での緑色成分に対する反射率、Ｍｂ：ある点での青色成分に対する反射率、α≠０，β≠０，α≠β，Ａ：振幅，Ｂ：オフセット成分
これらの式（２ａ）乃至（２ｆ）により、上記式（２）が導き出される。
【００２１】
このようにさほど複雑でない数式に基づいて位置情報θを求めることができ、該位置情報θに基づき前記所定の高さを演算することができる。そのため、３通りの画像データに基づいて計測対象物の所定の高さを求めるに際し、演算が複雑になってしまうことによる遅延が生じない。
【００２２】
なお、「β＝−αとしたことを特徴とする手段７に記載の三次元計測装置」としてもよい。かかる構成によれば、β＝−αとすることで、上記式（２）から下記式（２ｇ）が導き出される。
θ＝ARCTAN［[(2Rs/Rw-Gs/Gw-Bs/Bw)sinα]／[(Gs/Gw-Bs/Bw)(１-cosα)]］ ・・・（２ｇ）
このため、演算がより容易なものとなり、より一層高速の処理が可能となる。
【００２３】
さらに、「β＝−α、かつ、α＝π／２としたことを特徴とする手段７に記載の三次元計測装置」としてもよい。かかる構成によれば、上記式（２ｇ）から下記式（２ｈ）が導き出される。
【００２４】
θ＝ARCTAN［(2Rs/Rw-Gs/Gw-Bs/Bw)／(Gs/Gw-Bs/Bw)］ ・・・（２ｈ）
このため、演算がより一層容易なものとなり、より一層高速の処理が可能となる。
【００２５】
手段８．前記互いに異なる波長成分を有する３つの光成分パターンは、それぞれ、赤色、緑色、青色の光成分パターンであることを特徴とする手段４乃至７のいずれかに記載の三次元計測装置。
【００２６】
手段８によれば、波長域がオーバーラップしにくく、しかも比較的容易に第１の撮像を行うための照射手段を構成することができる。
【００２７】
手段９．少なくとも計測対象物に対し、同一振幅及び同一オフセット成分の光源からの光に基づき、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係の異なる４つの光成分パターンを同時に照射して第１の照射を行うとともに、少なくとも計測対象物に対し、前記光源からの光に基づき白色の全照射たる第２の照射を行うことの可能な照射手段と、前記第１の照射に基づく光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像する第１の撮像を行うとともに、前記第２の照射に基づく計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像する第２の撮像を行うことの可能な撮像手段と、前記異なる相対位相関係下において前記撮像手段による第１の撮像に基づく４通りの画像データ、及び、前記第２の撮像に基づく画像データに基づき、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さを演算する演算手段とを備えたことを特徴とする三次元計測装置。
【００２８】
手段９によれば、少なくとも計測対象物に対し、照射手段では、同一振幅及び同一オフセット成分の光源からの光に基づき、４つの光成分パターンが同時に照射されることで第１の照射が行われる。これら光成分パターンは、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係が異なっている。また、照射手段では、少なくとも計測対象物に対し、前記光源からの光に基づき白色の全照射たる第２の照射が行われる。これに対し、撮像手段では、前記第１の照射に基づく光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光が各光成分毎に分離されて撮像される第１の撮像が行われる。また、撮像手段では、前記第２の照射に基づく計測対象物からの反射光が各光成分毎に分離されて撮像される第２の撮像が行われる。そして、異なる相対位相関係下において前記撮像手段による第１の撮像に基づく４通りの画像データ、及び、前記第２の撮像に基づく画像データに基づき、演算手段では、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さが演算される。従って、相対位相関係を異ならせる毎に撮像を行う必要があった従来技術とは異なり、各光成分毎に、異なる相対位相関係下毎に、まとめて撮像を行うことができる。このため、１つのポイントに関し２回の照射及び２回の撮像を行えばよく、照射及び撮像に要する時間が著しく短縮が図られることとなり、もって、計測に要する時間の飛躍的な短縮を図ることができる。また、所定の波長成分の光成分パターンを照射した場合、計測対象物の色合い等によって反射率が大きく相違する場合があるが、かかる場合でも第２の撮像が行われることによって反射率による影響が相殺されることとなる。その結果、計測の精度の向上を図ることができる。
【００２９】
手段１０．前記第１の撮像に際しての前記互いに異なる相対位相関係をそれぞれ０、α、β、γとしたときの各光成分毎の前記４通りの画像データがそれぞれＲｓ、Ｇｓ、Ｂｓ、Ｉｓであり、前記第２の撮像に際しての各光成分毎の４通りの画像データがそれぞれＲｗ、Ｇｗ、Ｂｗ、Ｉｗであるとき、前記演算手段は、下記式（３）により位置情報θを求め、該位置情報θに基づき前記所定の高さを演算するものであることを特徴とする手段９に記載の三次元計測装置。
【００３０】
【数４】
ここで、手段１０に関し、４通りの相対位相関係をそれぞれ０、α、β、γとしたときの第１の撮像に際しての各光成分毎の４通りの画像データ（光強度）がそれぞれＲｓ、Ｇｓ、Ｂｓ、Ｉｓであり、前記第２の撮像に際しての各光成分毎の３通りの画像データ（光強度）がそれぞれＲｗ、Ｇｗ、Ｂｗ、Ｉｗであるとき、一般的には下式（３ａ），（３ｂ），（３ｃ），（３ｄ），（３ｅ），（３ｆ）、（３ｇ），（３ｈ）が成立することとなる。
【００３１】
Ｒｓ＝Ｍｒ（Ａsinθ＋Ｂ） ・・・（３ａ）
Ｇｓ＝Ｍｇ｛Ａsin（θ＋α）＋Ｂ｝ ・・・（３ｂ）
Ｂｓ＝Ｍｂ｛Ａsin（θ＋β）＋Ｂ｝ ・・・（３ｃ）
Ｉｓ＝Ｍｉ｛Ａsin（θ＋γ）＋Ｂ｝ ・・・（３ｄ）
Ｒｗ＝Ｍｒ（Ａ＋Ｂ） ・・・（３ｅ）
Ｇｗ＝Ｍｇ（Ａ＋Ｂ） ・・・（３ｆ）
Ｂｗ＝Ｍｂ（Ａ＋Ｂ） ・・・（３ｇ）
Ｉｗ＝Ｍｉ（Ａ＋Ｂ） ・・・（３ｈ）
但し、Ｍｒ：ある点での赤色成分に対する反射率、Ｍｇ：ある点での緑色成分に対する反射率、Ｍｂ：ある点での青色成分に対する反射率、Ｍｉ：ある点での赤外成分に対する反射率、α≠０，β≠０，α≠β，Ａ：振幅，Ｂ：オフセット成分
これらの式（３ａ）乃至（３ｈ）により、上記式（３）が導き出される。
【００３２】
このようにさほど複雑でない数式に基づいて位置情報θを求めることができ、該位置情報θに基づき前記所定の高さを演算することができる。そのため、４通りの画像データに基づいて計測対象物の所定の高さを求めるに際し、演算が複雑になってしまうことによる遅延が生じない。
【００３３】
なお、「α＝π／２、β＝π、γ＝３π／２としたことを特徴とする手段１０に記載の三次元計測装置」としてもよい。かかる構成によれば、上記式（３）から下記式（３ｉ）が導き出される。
【００３４】
θ＝ARCTAN｛(Rs/Rw-Bs/Bw)／(Gs/Gw-Is/Iw)｝ ・・・（３ｉ）
このため、演算がより一層容易なものとなり、より一層高速の処理が可能となる。
【００３５】
手段１１．前記互いに異なる波長成分を有する４つの光成分パターンは、それぞれ、赤色、緑色、青色及び赤外線の光成分パターンであることを特徴とする手段９又は１０に記載の三次元計測装置。
【００３６】
手段１１によれば、波長域がオーバーラップしにくく、しかも比較的容易に第１の撮像を行うための照射手段を構成することができる。
【００３７】
手段１２．少なくとも計測対象物に対し、同一振幅及び同一オフセット成分の光源からの光に基づき、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係の異なる２つの光成分パターンを同時に照射して第１の照射を行うとともに、少なくとも計測対象物に対し、前記光源からの光に基づき白色の全照射たる第２の照射を行うことの可能な照射手段と、前記第１の照射に基づく光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像する第１の撮像を行うとともに、前記第２の照射に基づく計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像する第２の撮像を行うことの可能な撮像手段と、前記異なる相対位相関係下において前記撮像手段による第１の撮像に基づく２通りの画像データ、及び、前記第２の撮像に基づく画像データに基づき、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さを演算する演算手段とを備えたことを特徴とする三次元計測装置。
【００３８】
手段１２によれば、少なくとも計測対象物に対し、照射手段では、同一振幅及び同一オフセット成分の光源からの光に基づき、２つの光成分パターンが同時に照射されることで第１の照射が行われる。これら光成分パターンは、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係が異なっている。また、照射手段では、少なくとも計測対象物に対し、前記光源からの光に基づき白色の全照射たる第２の照射が行われる。これに対し、撮像手段では、前記第１の照射に基づく光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光が各光成分毎に分離されて撮像される第１の撮像が行われる。また、撮像手段では、前記第２の照射に基づく計測対象物からの反射光が各光成分毎に分離されて撮像される第２の撮像が行われる。そして、異なる相対位相関係下において前記撮像手段による第１の撮像に基づく２通りの画像データ、及び、前記第２の撮像に基づく画像データに基づき、演算手段では、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さが演算される。従って、相対位相関係を異ならせる毎に撮像を行う必要があった従来技術とは異なり、各光成分毎に、異なる相対位相関係下毎に、まとめて撮像を行うことができる。このため、１つのポイントに関し２回の照射及び２回の撮像を行えばよく、照射及び撮像に要する時間が著しく短縮が図られることとなり、もって、計測に要する時間の飛躍的な短縮を図ることができる。また、所定の波長成分の光成分パターンを照射した場合、計測対象物の色合い等によって反射率が大きく相違する場合があるが、かかる場合でも第２の撮像が行われることによって反射率による影響が相殺されることとなる。その結果、計測の精度の向上を図ることができる。
【００３９】
手段１３．前記互いに異なる相対位相関係を０、αとしたときの前記第１の撮像に際しての各光成分毎の前記２通りの画像データがそれぞれＲ０、Ｂ０であり、前記第２の撮像に際しての各光成分毎の２通りの画像データがそれぞれＲ０ｈ、Ｂ０ｈであるとき、前記演算手段は、下記式（４）により位置情報θを求め、該位置情報θに基づき前記所定の高さを演算するものであることを特徴とする手段１２に記載の三次元計測装置。
【００４０】
θ＝ＡＲＣＴＡＮ｛Ｋ・ｓｉｎα／（１−Ｋ・ｃｏｓα）｝・・・（４）
但し、α≠０，π、 Ｋ＝（Ｒ０／Ｒ０ｈ−１）／（Ｂ０／Ｂ０ｈ−１）
ここで、手段１３に関し、２通りの相対位相関係をそれぞれ０、αとしたときの第１の撮像に際しての各光成分毎の２通りの画像データ（光強度）がそれぞれＲ０、Ｂ０であり、前記第２の撮像に際しての各光成分毎の２通りの画像データ（光強度）がそれぞれＲ０ｈ、Ｂ０ｈであるとき、一般的には下式（４ａ），（４ｂ），（４ｃ），（４ｄ）が成立することとなる。
【００４１】
Ｒ０＝Ｍｒｒ（Ａｒ・sinθ＋Ｂｒ） ・・・（４ａ）
Ｂ０＝Ｍｂｂ｛Ａｂ・sin（θ＋α）＋Ｂｂ｝ ・・・（４ｂ）
Ｒ０ｈ＝Ｍｒｒ・Ｂｒ ・・・（４ｃ）
Ｂ０ｈ＝Ｍｂｂ・Ｂｂ ・・・（４ｄ）
但し、Ｍｒｒ：ある点での所定波長成分に対する反射率、Ｍｂｂ：ある点での所定波長成分に対する反射率、α≠０、Ａ：振幅、Ｂ：オフセット成分
これらの式（４ａ）乃至（４ｄ）により、上記式（４）が導き出される。
【００４２】
このようにさほど複雑でない数式に基づいて位置情報θを求めることができ、該位置情報θに基づき前記所定の高さを演算することができる。そのため、２通りの画像データに基づいて計測対象物の所定の高さを求めるに際し、演算が複雑になってしまうことによる遅延が生じない。
【００４３】
なお、「「α＝π／２としたことを特徴とする手段１３に記載の三次元計測装置」としてもよい。かかる構成によれば、上記式（４）から下記式（４ｅ）が導き出される。
【００４４】
θ＝ARCTAN｛Ｒ０／Ｒ０ｈ−１）／（Ｂ０／Ｂ０ｈ−１）｝…（４ｅ）
このため、演算がより一層容易なものとなり、より一層高速の処理が可能となる。
【００４５】
手段１４．前記互いに異なる波長成分を有する２つの光成分パターンは、それぞれ、赤色及び青色、赤外線及び緑色、又は赤外線及び青色の光成分パターンであることを特徴とする手段１２又は１３に記載の三次元計測装置。
【００４６】
手段１４によれば、波長域が一層オーバーラップしにくく、しかも比較的容易に第１の撮像を行うための照射手段を構成することができる。
【００４７】
手段１５．前記照射手段は、第１の照射に際し、光源からの光を、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係の異なる各光成分パターンに一旦分離した上で合成して照射可能な液晶プロジェクタ機構を備えていることを特徴とする手段４乃至１４のいずれかに記載の三次元計測装置。
【００４８】
手段１５によれば、縞状の光成分パターンを作成した場合に、その照度が理想的な正弦波に近いものが得られ、これにより、三次元計測の測定分解能が向上する。また、光パターンの位相シフトの制御を電気的に行うことができ、制御系のコンパクト化を図ることもできる。また、第２の照射を行うときも、正弦波パターンを解消するだけで、つまり全照射するだけで、白色光を照射することが可能となる。かかる意味で、別途白色光用の照明装置当を用意しなくても済むというメリットも生じる。
【００４９】
手段１６．前記照射手段は、第１の照射に際し、光源からの光を、所定の波長成分について縞状に遮光するとともに残りの波長成分について全面的に透光を許容するフィルタ格子縞板を用いて、互いに相対位相関係の異なる各光成分パターンを同時に照射可能なフィルタ格子縞板機構を備えていることを特徴とする手段４乃至１４のいずれかに記載の三次元計測装置。
【００５０】
手段１６によれば、液晶を使用しなくてもよい分、構成の簡素化を図ることができる。
【００５１】
手段１７．前記光成分パターンは、略正弦波状の光強度分布を有することを特徴とする手段１乃至１６のいずれかに記載の三次元計測装置。
【００５２】
手段１７によれば、光成分パターンは、略正弦波状の光強度分布を有するため、より一層の計測精度の向上を図ることができる。
【００５３】
手段１８．手段１乃至１７のいずれかに記載の三次元計測装置を備え、プリント基板又はＩＣパッケージに印刷形成されたクリームハンダの少なくとも高さを計測し、その計測値に基づいて良否判定を導出することの可能なクリームハンダ印刷検査装置。
【００５４】
手段１８によれば、プリント基板又はＩＣパッケージに印刷形成されたクリームハンダの少なくとも高さが計測され、その計測値に基づいて良否判定が行われる。このため、クリームハンダの計測に際して上記各作用効果が奏され、しかも精度よく良否判定を行うことができる。
【００５５】
手段１９．プリント基板又はＩＣパッケージにクリームハンダを印刷形成する工程と、上記手段１８に記載のクリームハンダ印刷検査装置を用いて良否判定を行う検査工程と、前記検査工程において良品判定されたものについてのみ実装を行うべくリフローを施すリフロー工程とを備えたことを特徴とする基板の製造方法。
【００５６】
手段１９によれば、検査に要する時間の短縮を図ることができることから、全体的な製造時間の低減を図ることができ、しかも不良品の発生を抑制することができる。
【００５７】
【発明の実施の形態】
（第１の実施の形態）
以下、第１の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００５８】
図１は、本実施の形態における三次元計測装置を具備する印刷状態検査装置１を模式的に示す概略構成図である。同図に示すように、印刷状態検査装置１は、クリームハンダの印刷されてなるプリント基板Ｋを載置するためのテーブル２と、プリント基板Ｋの表面に対し斜め上方から所定の光成分パターンを照射するための照射手段を構成する照明装置３と、プリント基板Ｋ上の前記照射された部分を撮像するための撮像手段を構成するＣＣＤカメラ４とを備えている。なお、本実施の形態におけるクリームハンダは、プリント基板Ｋ上に設けられた銅箔からなる電極パターン上に印刷形成されている。
【００５９】
テーブル２には、モータ５，６が設けられており、該モータ５，６によって、テーブル２上に載置されたプリント基板Ｋが任意の方向（Ｘ軸方向及びＹ軸方向）へスライドさせられるようになっている。
【００６０】
本実施の形態における照明装置３からは、赤、緑、青のそれぞれ波長の異なるカラー光パターンが照射されるようになっている。より詳しくは、図２に示すように、照明装置３は、光源１１と、光源１１からの光を集める集光レンズ１２と、照射レンズ１３と、両レンズ１２，１３間に配設された赤、緑、青色のフィルタ格子縞板１４，１５，１６とを備えている。赤色フィルタ格子縞板１４は、部位に応じて赤色の度合いが正弦波状（縞状）に変化しており、赤色の成分についてのみ縞状に遮光（透光）させ他の波長域の全透光を許容するようになっている。また、緑色フィルタ格子縞板１５は、部位に応じて緑色の度合いが正弦波状（縞状）に変化しており、緑色の成分についてのみ縞状に遮光（透光）させ他の波長域の全透光を許容するようになっている。但し、その正弦波は、赤色フィルタ格子縞板１４に比べて位相が所定ピッチ（本実施の形態では「π／２」）ずれている（図３参照）。さらに、青色フィルタ格子縞板１６は、部位に応じて青色の度合いが正弦波状（縞状）に変化しており、青色の成分についてのみ縞状に遮光（透光）させ他の波長域の全透光を許容するようになっている。但し、その正弦波は、前記緑色フィルタ格子縞板１５に比べて位相が所定ピッチ（本実施の形態では「π／２」）ずれている（図３参照）。つまり、これら赤、緑、青色のフィルタ格子縞板１４，１５，１６は、互いに位相が所定ピッチずらされた状態で張り合わされている（勿論、相互に離間していても差し支えない）。さらには、１枚の格子縞板に、赤、緑、青色の塗装（又は印刷）を施すとともに、当該塗装（又は印刷）に際し、各色の位相が互いに所定ピッチずらされるように構成してもよい。上記の場合には、各色の度合いが必ずしも正弦波状とならなくとも矩形波状となっていても差し支えない。また、さらに、一枚の透明な板に、赤、黄、シアン、青、赤、黄、シアン、青・・・・の順に縞を塗装（又は印刷）することにより、格子縞板を構成してもよい。この場合には、黄は赤と緑とを透過する塗料によって構成され、シアンは緑と青とを透過する塗料によって構成される。また、赤から黄、黄からシアン、シアンから青、青から赤は、徐々に変化してもよいし、明確に塗り分けられていてもよい。
【００６１】
そして、光源１１から放たれた光は、集光レンズ１２、前記各色フィルタ格子縞板１４，１５，１６、及び照射レンズ１２を経て図４に示すようなカラー光パターンとしてプリント基板Ｋ上に照射されるようになっている。
【００６２】
なお、後述する対比撮像に際しては、前記各色フィルタ格子縞板１４，１５，１６が取り除かれた状態で、白色光がプリント基板Ｋ上に照射されるようになっている（第２の照射）。この場合、対比撮像に際し色フィルタ格子縞板１４，１５，１６を取り除く構成としてもよいし、別途の白色光用の照明装置３を用いることとしてもよい。
【００６３】
また、前記ＣＣＤカメラ４は、第１〜第３のダイクロイックミラー２１，２２，２３及びそれらに対応する第１〜第３の撮像部２４，２５，２６を備えている。すなわち、第１のダイクロイックミラー２１は、所定の波長域内（赤色光に対応）の光を反射（それ以外の波長の光を透過）し、第１の撮像部２４はその反射光を撮像する。また、第２のダイクロイックミラー２２は、所定の波長域内（緑色光に対応）の光を反射（それ以外の波長の光を透過）し、第２の撮像部２５はその反射光を撮像する。さらに、第３のダイクロイックミラー（通常のミラーを用いてもよい）２３は、所定の波長域内（青色光に対応）の光を反射（それ以外の波長の光を透過）し、第３の撮像部２６はその反射光を撮像する。
【００６４】
本実施の形態においては、図１，２に示すように、前記ＣＣＤカメラ４、照明装置３、モータ５，６を駆動制御するとともに、ＣＣＤカメラ４により撮像された撮像データに基づき種々の演算を実行するための制御装置７が設けられている。すなわち、プリント基板Ｋがテーブル２上に載置されると、制御装置７は、まずモータ５，６を駆動制御して所定の位置に移動させ、プリント基板Ｋを初期位置に移動させる。この初期位置は、例えばＣＣＤカメラ４の視野の大きさを１単位としてプリント基板Ｋの表面を予め分割しておいた中の１つの位置である。また、制御装置７は、照明装置３を駆動制御して光成分パターンの照射を開始する。このとき、光成分パターンには、位相が所定ピッチで相違する複数の波長域のものが含まれているため、従来のように位相を所定ピッチずつシフトさせるといった処理を必要としない。さらに、このようにして各光成分パターンの位相がずらされた一斉照射が行われている間に、制御装置７はＣＣＤカメラ４を駆動制御して、これら各波長域毎に（撮像部２４〜２６）ごとに検査エリア部分を一斉に撮像し、それぞれ３画面分の画像データを得る（第１の撮像）。
【００６５】
制御装置７は画像メモリを備えており、３画面分の画像データを順次記憶する。この記憶した画像データに基づいて、制御装置７は各種画像処理を行う。かかる画像処理が行われている間に、制御装置７は、モータ５，６を駆動制御してテーブル２を次の検査エリアへと移動せしめる。制御装置７は、ここでの画像データについても画像メモリへ格納する。一方、画像メモリでの画像処理が一旦終了した場合、すでに画像メモリには次の画像データが記憶されているので、速やかに制御装置７は次の画像処理を行うことができる。つまり、検査は、一方で次なる検査エリア（ｍ＋１番目）への移動及び画像入力を行い、他方ではｍ番目の画像処理及び比較判定を行う。以降、全ての検査エリアでの検査が完了するまで、交互に同様の上記並行処理が繰り返し行われる。このように、本実施の形態の印刷状態検査装置１においては、制御装置７の制御により検査エリアを移動しながら、順次画像処理を行うことにより、プリント基板Ｋ上のクリームハンダの印刷状態を高速かつ確実に検査することができるようになっている。
【００６６】
次に、対比撮像を行う。すなわち、上述したように、照明装置３から、白色光をプリント基板Ｋ上に照射して（第２の照射）、このときの反射光をＣＣＤカメラ４を用いて上記の場合と同様に撮像する（第２の撮像）。
【００６７】
次に、制御装置７の行う画像処理及び演算処理、並びに、比較判定処理について説明する。プリント基板Ｋに投影された光パターンに関して、プリント基板Ｋ面上とクリームハンダとの間では、その高さの相違に基づく位相のずれが生じる。そこで、制御装置７では、光パターンの位相が所定ピッチずつずれた各波長域での画像データ（本実施の形態では３画面の画像データ）に基づき、位相シフト法（縞走査法）の原理に基づいて検査エリア内の各部の反射面の高さを算出するのである。
【００６８】
すなわち、本実施の形態の如く赤色、緑色、青色のぞれぞれの位相を所定ピッチ（π／２）ずつずらした場合の画面上の点Ｐの光の強度Ｒｓ、Ｇｓ、Ｂｓは、それぞれ下式で与えられる。
【００６９】
Ｒｓ＝Ｍｒ（Ａsinθ＋Ｂ） ・・・（２ａ’）
Ｇｓ＝Ｍｇ｛Ａsin（θ＋π／２）＋Ｂ｝ ・・・（２ｂ’）
Ｂｓ＝Ｍｂ｛Ａsin（θ−π／２）＋Ｂ｝ ・・・（２ｃ’）
但し、Ｍｒ：点Ｐでの赤色成分に対する反射率，Ｍｇ：点Ｐでの緑色成分に対する反射率，Ｍｂ：点Ｐでの青色成分に対する反射率、Ａ：振幅、Ｂ：オフセット成分，θ：高さを導出するための位置情報。
【００７０】
また、白色光を照射した場合の点Ｐの光の強度Ｒｗ、Ｇｗ、Ｂｗは、それぞれ下式で与えられる。
【００７１】
Ｒｗ＝Ｍｒ（Ａ＋Ｂ） ・・・（２ｄ’）
Ｇｗ＝Ｍｇ（Ａ＋Ｂ） ・・・（２ｅ’）
Ｂｗ＝Ｍｂ（Ａ＋Ｂ） ・・・（２ｆ’）
これら式（２ａ’）〜（２ｆ’）に基づき、Ｍｒ，Ｍｇ，Ｍｂを消去すると、下式（２ｇ’）が導き出される。
【００７２】
tanθ＝[(2Rs/Rw-Gs/Gw-Bs/Bw)]／[(Gs/Gw-Bs/Bw)] ・・・（２ｇ’）
かかる式（２ｇ’）より、下記式（２ｇ）が導き出される。
【００７３】
θ＝ARCTAN｛(2Rs/Rw-Gs/Gw-Bs/Bw)／(Gs/Gw-Bs/Bw)｝ ・・・（２ｇ）
このように演算された位置情報θを用いて、下記式に基づいてプリント基板Ｋ（クリームハンダ）上の点Ｐの高さＺを求める。
【００７４】
ここで、照明装置３の鉛直線と、照明装置３から点Ｐに向けて照射したときの照射光線とのなす角をεとすると、当該角εは、下式（５）により表される。
【００７５】
ε＝ｆ（θ＋２ｎπ） ・・（５）
そして、高さＺは、下記式（６）に従って導き出される。
【００７６】
Ｚ＝Ｌｐ−Ｌｐｃ／tanε＋Ｘｐ／tanε ・・（６）
（但し、Ｌｐ：照明装置３の基準面からの高さ、Ｌｐｃ：ＣＣＤカメラ４と照明装置３とのＸ軸方向の距離、Ｘｐ：点ＰのＸ座標。）
このようにして得られた点Ｐの高さデータは、撮像画面の画素Ｐ単位に演算され、制御装置７のメモリに格納される。また、当該各部のデータに基づいて、基準面より高くなったクリームハンダの印刷範囲が検出され、この範囲内での各部の高さを積分することにより、印刷されたクリームハンダの量が算出される。そして、このようにして求めたクリームハンダの位置、面積、高さ又は量等のデータが予め記憶されている基準データと比較判定され、この比較結果が許容範囲内にあるか否かによって、その検査エリアにおけるクリームハンダの印刷状態の良否が判定されるのである。
【００７７】
以上詳述したように、本実施の形態によれば、異なる相対位相関係下においてＣＣＤカメラ４による第１の撮像に基づく３通りの画像データ、及び、前記第２の撮像に基づく画像データに基づき、クリームハンダの高さを演算することとした。従って、相対位相関係を異ならせる毎に撮像を行う必要があった従来技術とは異なり、各光成分毎に、異なる相対位相関係下毎に、まとめて撮像を行うことができる。このため、１つのポイントに関し２回の照射及び２回の撮像を行えばよく、照射及び撮像に要する時間が著しく短縮が図られることとなり、その結果、計測に要する時間の飛躍的な短縮を図ることができる。また、所定の波長成分の光成分パターンを照射した場合、計測対象物の色合い等によって反射率が大きく相違する場合があるが、かかる場合でも第２の撮像が行われることによって反射率による影響が相殺されることとなる。その結果、計測の精度の向上を図ることができる。
【００７８】
また、３通りずつの画像データに基づいてクリームハンダの高さを求めることができることから、４回の撮像データに基づいて演算されていた従来技術に比べて、総合的なデータ数が少なくて済み、ひいては演算時間の著しい短縮を図ることができる。その結果、計測に要する時間の飛躍的な短縮を図ることができる。
【００７９】
特に、本実施の形態ではさほど複雑でない数式に基づいて位置情報θを求めることができ、該位置情報θに基づき高さを演算することができる。そのため、演算が複雑になってしまうことによる遅延が生じずに、上記作用効果が確実に奏される。
【００８０】
さらに、上記例において、照明装置３は、フィルタ格子縞板１４〜１６を用いて、互いに相対位相関係の異なる各光成分パターンを合成して照射可能なフィルタ格子縞板機構を備えている。このため、液晶を使用しなくてもよい分、構成の簡素化を図ることができる。
【００８１】
なお、上記例では、集光レンズ１２及び照射レンズ１３間に赤、緑、青の色フィルタ格子縞板１４，１５，１６を配設してなる照明装置３を用いることとした。これに対し、例えば図５に示すような照明装置３０を用いることとしてもよい。すなわち、照明装置３０は、第１〜第３のダイクロイックミラー３１，３２Ａ，３２Ｂ，３３Ａ，３３Ｂ及びミラー３４を備えているとともに、赤色、緑色、青色の各液晶パネル３５，３６，３７を備えている。第１のダイクロイックミラー３１は、所定の波長域内（赤色光に対応）の光を反射し、それ以外の波長域の光を透過する。また、第２のダイクロイックミラー３２Ａ，３２Ｂは、所定の波長域内（緑色光に対応）の光を反射し、それ以外の波長域の光を透過する。さらに、第３のダイクロイックミラー３３Ａ，３３Ｂは、所定の波長域内（青色光に対応）の光を反射し、それ以外の波長域の光を透過する（但し、第３の上流側のダイクロイックミラー３３Ａに代えて通常のミラーを用いてもよい）。
【００８２】
従って、光源１１から放たれた光は、集光レンズ１２を経た後、第１のダイクロイックミラー３１によってまず分光される。すなわち、赤色成分の光は、第１のダイクロイックミラー３１によって反射して赤色液晶パネル３５を透過して、ミラー３４へと導かれ、該ミラー３４にて反射して第２の下流側のダイクロイックミラー３２Ｂへと導かれる。一方、第１のダイクロイックミラー３１を透過した赤色以外の成分の光は、第２の上流側のダイクロイックミラー３２Ａの方へ導かれ、そこで、また分光される。このとき、緑色成分の光は、第２の上流側のダイクロイックミラー３２Ａによって反射して緑色液晶パネル３６を透過して、相対する第２の下流側のダイクロイックミラー３２Ｂへと導かれる。従って、第２の下流側のダイクロイックミラー３２Ｂからは、赤色成分の光と、緑色成分の光が第３の下流側ダイクロイックミラー３３Ｂの方へと導かれる。
【００８３】
一方、第２の上流側のダイクロイックミラー３２Ａを透過した緑色以外の成分の光（ここでは主として青色成分の光）は、第３の上流側のダイクロイックミラー３３Ａの方へ導かれる。該第３の上流側のダイクロイックミラー３３Ａによって反射した青色成分の光は、青色液晶パネル３７を透過して、相対する第３の下流側のダイクロイックミラー３３Ｂへと導かれる。従って、第３の下流側のダイクロイックミラー３３Ｂからは、赤色成分の光と、緑色成分の光と、青色成分の光が合成されて照射レンズ１３の方へと導かれる。
【００８４】
このとき、制御装置７は液晶パネル３５，３６，３７を適宜制御して各色成分の位相ピッチをずらすようにする。このように、赤、緑、青の光成分につき３通りの相対位相関係下において、ＣＣＤカメラ４にて撮像された３通りの画像データに基づき、位相シフト法に基づいて（上記各式に基づいて）クリームハンダの高さを演算するようにしてもよい。上記のように、照明装置３に液晶パネル３５〜３７が使用されていることによって、縞状の光パターンを作成した場合に、その照度が理想的な正弦波に近いものが得られ、これにより、三次元計測の測定分解能が向上する。また、光パターンの位相シフトの制御を電気的に行うことができ、制御系のコンパクト化を図ることもできる。また、対比撮像として白色光を照射するときも、正弦波パターンを解消するだけで、つまり全照射するだけで、白色光を照射することが可能となる。かかる意味で、別途白色光用の照明装置当を用意しなくても済むというメリットも生じる。なお、上記例において、液晶パネル３５〜３７に代えて、格子縞板を用いることとしてもよい。
【００８５】
さらに、本実施の形態及び上記例では、対比撮像として白色光を照射して、対象物体の色に基づく反射率の成分を消去することとしているが、測定物体の色に基づく反射率が問題とならないような場合（例えば測定物体が１色のような場合）には、対比撮像（第２の撮像）を行わないこととしてもよい。この場合、画素点Ｐに関し撮像回数を１回にすることができ、計測時間のさらに一層の短縮化を図ることができる。
【００８６】
（第２の実施の形態）
次に、第２の実施の形態について図６等を参照しつつ説明する。但し、上述した第１の実施の形態と重複する部分については、同一の部材名称、同一の符号を用いる等してその説明を省略するとともに、以下には第１の実施の形態と相違する部分を中心として説明することとする。
【００８７】
図６に示すように、本実施の形態における照明装置４０は、光源１１と、光源１１からの光を集める集光レンズ１２と、照射レンズ１３と、両レンズ１２，１３間に配設された赤、緑、青及び赤外のフィルタ格子縞板１４，１５，１６，４１とを備えている。赤外フィルタ格子縞板４１は、外観は無色透明ではあるが、赤外成分についてのみ縞状に減衰させるようになっている。但し、その正弦波は、青色フィルタ格子縞板１６に比べてさらに位相が所定ピッチ（本実施の形態では「π／２」）ずれている。つまり、これら赤、緑、青及び赤外のフィルタ格子縞板１４，１５，１６は、互いに位相が所定ピッチずらされた状態で張り合わされている（勿論、相互に離間していても差し支えない）。さらには、１枚の格子縞板に、赤、緑、青色及び赤外の塗装（又は印刷）を施すとともに、当該塗装（又は印刷）に際し、各色等の位相が互いに所定ピッチずらされるように構成してもよい。上記の場合には、各色の度合いが必ずしも正弦波状とならなくとも矩形波状となっていても差し支えない（後述する第３の実施の形態においても同様）。
【００８８】
そして、光源１１から放たれた光は、集光レンズ１２、前記各色フィルタ格子縞板１４，１５，１６，４１、及び照射レンズ１２を経てカラー光パターンとしてプリント基板Ｋ上に照射されるようになっている。
【００８９】
なお、対比撮像に際しては、上記第１の実施の形態と同様、フィルタ格子縞板１４，１５，１６，４１が取り除かれた状態で、白色光がプリント基板Ｋ上に照射され、撮像されるようになっている。この場合、対比撮像に際しフィルタ格子縞板１４，１５，１６，４１を取り除く構成としてもよいし、別途の白色光用の照明装置を用いることとしてもよい。
【００９０】
また、前記ＣＣＤカメラ４は、前記第１〜第３のダイクロイックミラー２１，２２，２３及びそれらに対応する第１〜第３の撮像部２４，２５，２６に加えて、第４のダイクロイックミラー４２及び第４の撮像部４３を備えている。すなわち、第４のダイクロイックミラー（通常のミラーを用いてもよい）４２は、所定の波長域内（赤外線に対応）の光を反射し、第４の撮像部４３はその透過光を撮像する。
【００９１】
次に、本実施の形態において制御装置７によって行われる画像処理及び演算処理、並びに、比較判定処理について説明する。本実施の形態においても、制御装置７では、光パターンの位相が所定ピッチずつずれた各波長域での画像データ（本実施の形態では４画面の画像データ）に基づき、位相シフト法（縞走査法）の原理に基づいて検査エリア内の各部の反射面の高さを算出する。
【００９２】
すなわち、本実施の形態の如く赤色、緑色、青色、赤外のぞれぞれの位相を所定ピッチ（π／２）ずつずらした場合の画面上の点Ｐの光の強度Ｒｓ、Ｇｓ、Ｂｓ、Ｉｓは、それぞれ下式で与えられる。
【００９３】
Ｒｓ＝Ｍｒ（Ａsinθ＋Ｂ） ・・・（３ａ’）
Ｇｓ＝Ｍｇ｛Ａsin（θ＋π／２）＋Ｂ｝ ・・・（３ｂ’）
Ｂｓ＝Ｍｂ｛Ａsin（θ＋π）＋Ｂ｝ ・・・（３ｃ’）
Ｉｓ＝Ｍｉ｛Ａsin（θ＋３π／２）＋Ｂ｝ ・・・（３ｄ’）
但し、Ｍｉ：点Ｐでの赤外成分に対する反射率。
【００９４】
また、白色光を照射した場合の点Ｐの光の強度Ｒｗ、Ｇｗ、Ｂｗは、それぞれ下式で与えられる。
【００９５】
Ｒｗ＝Ｍｒ（Ａ＋Ｂ） ・・・（３ｅ’）
Ｇｗ＝Ｍｇ（Ａ＋Ｂ） ・・・（３ｆ’）
Ｂｗ＝Ｍｂ（Ａ＋Ｂ） ・・・（３ｇ’）
Ｉｗ＝Ｍｉ（Ａ＋Ｂ） ・・・（３ｈ’）
これら式（３ａ’）〜（３ｈ’）に基づき、Ｍｒ，Ｍｇ，Ｍｂ，Ｍｉを消去すると、下式（３ｉ’）が導き出される。
【００９６】
tanθ＝(Rs/Rw-Bs/Bw)／(Gs/Gw-Is/Iw) ・・・（３ｉ’）
かかる式（３ｉ’）より、下記式（３ｉ）が導き出される。
【００９７】
θ＝ARCTAN｛(Rs/Rw-Bs/Bw)／(Gs/Gw-Is/Iw)｝ ・・・（３ｉ）
このように演算された位置情報θを用いて、上記と同様にプリント基板Ｋ（クリームハンダ）上の点Ｐの高さＺが求められ、もってクリームハンダの印刷状態の良否が判定される。
【００９８】
このように、本実施の形態においても、上述した第１の実施の形態と同様の作用効果が奏される。また特に、画像データがそれぞれ４通りであるため、演算式の簡素化を図ることができ、かかる点で処理の高速化を図ることができる。
【００９９】
なお、上記例では、集光レンズ１２及び照射レンズ１３間に赤、緑、青、赤外のフィルタ格子縞板１４，１５，１６，４１を配設してなる照明装置４０を用いることとした。これに対し、例えば図７に示すような照明装置５０を用いることとしてもよい。すなわち、照明装置５０は、第１〜第３のダイクロイックミラー３１，３２Ａ，３２Ｂ，３３Ａ，３３Ｂ及びミラー３４、並びに、赤色、緑色、青色の各液晶パネル３５，３６，３７を備えているとともに、第４のダイクロイックミラー５１Ａ，５１Ｂ及び赤外液晶パネル５２を備えている。第４のダイクロイックミラー５１Ａ，５１Ｂは、所定の波長域内（赤外光に対応）の光を反射し、それ以外の波長域の光を透過する。（但し、第４の上流側のダイクロイックミラー５１Ａに代えて通常のミラーを用いてもよい）。
【０１００】
従って、光源１１から放たれた光は、集光レンズ１２を経た後、第１のダイクロイックミラー３１によってまず分光される。すなわち、赤色成分の光は、第１のダイクロイックミラー３１によって反射して赤色液晶パネル３５を透過して、ミラー３４へと導かれ、該ミラー３４にて反射して第２の下流側のダイクロイックミラー３２Ｂへと導かれる。一方、第１のダイクロイックミラー３１を透過した赤色以外の成分の光は、第２の上流側のダイクロイックミラー３２Ａの方へ導かれ、そこで、また分光される。このとき、緑色成分の光は、第２の上流側のダイクロイックミラー３２Ａによって反射して緑色液晶パネル３６を透過して、相対する第２の下流側のダイクロイックミラー３２Ｂへと導かれる。従って、第２の下流側のダイクロイックミラー３２Ｂからは、赤色成分の光と、緑色成分の光が第３の下流側ダイクロイックミラー３３Ｂの方へと導かれる。
【０１０１】
一方、第２の上流側のダイクロイックミラー３２Ａを透過した緑色以外の成分の光は、第３の上流側のダイクロイックミラー３３Ａの方へ導かれる。該第３の上流側のダイクロイックミラー３３Ａによって反射した青色成分の光は、青色液晶パネル３７を透過して、相対する第３の下流側のダイクロイックミラー３３Ｂへと導かれる。従って、第３の下流側のダイクロイックミラー３３Ｂからは、赤色成分の光と、緑色成分の光と、青色成分の光が合成されて照射レンズ１３の方へと導かれる。
【０１０２】
さらに、第３の上流側のダイクロイックミラー３３Ａを透過した青色以外の成分の光（ここでは赤外光）は、第４の上流側のダイクロイックミラー５１Ａの方へ導かれる。該第４の上流側のダイクロイックミラー５１Ａによって反射した赤外成分の光は、赤外液晶パネル５２を透過して、相対する第４の下流側のダイクロイックミラー５１Ｂへと導かれる。従って、第４の下流側のダイクロイックミラー５１Ｂからは、赤色成分の光と、緑色成分の光と、青色成分の光と、赤外成分の光が合成されて照射レンズ１３の方へと導かれる。
【０１０３】
このとき、制御装置７は液晶パネル３５，３６，３７、５２を適宜制御して各色成分の位相ピッチをずらすようにする。このように、赤、緑、青、赤外の光成分につき４通りの相対位相関係下において、ＣＣＤカメラ４にて撮像された４通りの画像データに基づき、位相シフト法に基づいて（上記各式に基づいて）クリームハンダの高さを演算するようにしてもよい。
【０１０４】
さらに、本実施の形態及び上記例では、対比撮像として白色光を照射して、対象物体の色に基づく反射率の成分を消去することとしているが、測定物体の色に基づく反射率が問題とならないような場合（例えば測定物体が１色のような場合）には、対比撮像を行わないこととしてもよい。この場合、画素点Ｐに関し撮像回数を１回にすることができ、計測時間のさらに一層の短縮化を図ることができる。
【０１０５】
（第３の実施の形態）
次に、第３の実施の形態について図８等を参照しつつ説明する。但し、上述した各実施の形態と重複する部分については、同一の部材名称、同一の符号を用いる等してその説明を省略するとともに、以下には上記各実施の形態と相違する部分を中心として説明することとする。
【０１０６】
図８に示すように、本実施の形態における照明装置６０は、光源１１と、光源１１からの光を集める集光レンズ１２と、照射レンズ１３と、両レンズ１２，１３間に配設された赤及び青のフィルタ格子縞板１４，１６とを備えている。赤色フィルタ格子縞板１４は、部位に応じて赤色の度合いが正弦波状（縞状）に変化しており、赤色の成分についてのみ縞状に減衰させるようになっている。また、青色フィルタ格子縞板１６は、部位に応じて青色の度合いが正弦波状（縞状）に変化しており、青色の成分についてのみ縞状に減衰させるようになっている。但し、その正弦波は、赤色フィルタ格子縞板１４に比べて位相が所定ピッチ（本実施の形態では例えば「α」）ずれている。
【０１０７】
そして、光源１１から放たれた光は、集光レンズ１２、前記各色フィルタ格子縞板１４，１６及び照射レンズ１２を経てカラー光パターンとしてプリント基板Ｋ上に照射されるようになっている。なお、対比撮像に際しては、フィルタ格子縞板１４，１６が取り除かれた状態で、白色光がプリント基板Ｋ上に照射されるようになっている。この場合、対比撮像に際しフィルタ格子縞板１４，１６を取り除く構成としてもよいし、別途の白色光用の照明装置を用いることとしてもよい。
【０１０８】
また、前記ＣＣＤカメラ４は、第１の実施の形態における前記第１、第３のダイクロイックミラー２１，２３及びそれらに対応する第１、第３の撮像部２４，２６を備えている。
【０１０９】
次に、本実施の形態において制御装置７によって行われる画像処理及び演算処理、並びに、比較判定処理について説明する。本実施の形態においても、制御装置７では、光パターンの位相が所定ピッチずれた各波長域での画像データ（本実施の形態では２画面分の画像データ）に基づき、位相シフト法（縞走査法）の原理に基づいて検査エリア内の各部の反射面の高さを算出する。但し、本実施の形態では、赤及び青の光パターンに関し、それぞれの光源１１の振幅及びオフセット成分が予め同じになるよう光源１１を調整しておく必要がある。また、これとともに、オフセット成分除去用の白色光の光源１１についても同様に振幅及びオフセット成分が予め同じ（Ａｒ＝Ａｂ，Ｂｒ＝Ｂｂ）になるよう光源１１を調整しておく必要がある。
【０１１０】
そして、このように調整した上で、本実施の形態の如く赤色、青色の位相を所定ピッチ（例えばα）ずらした場合の画面上の点Ｐの光の強度Ｒ０、Ｂ０は、それぞれ下式（４ａ）、（４ｂ）で与えられる［但し、位相を所定ピッチずらしクリームハンダを撮像した場合、クリームハンダの反射率が前記調整（光源補正）を行った場合と異なることが考えられるのでこの場合の反射率をそれぞれＭｒｒ、Ｍｂｂとする］。
【０１１１】
Ｒ０＝Ｍｒｒ（Ａｒ・ｓｉｎθ＋Ｂｒ） ・・・（４ａ）
Ｂ０＝Ｍｂｂ｛Ａｂ・ｓｉｎ（θ＋α）＋Ｂｂ｝ ・・・（４ｂ）
但し、Ａｒ：光源補正時の赤色成分の振幅、Ａｂ：光源補正時の青色成分の振幅、Ｂｒ：光源補正時の赤色成分のオフセット成分、Ｂｂ：光源補正時の青色成分のオフセット成分。
【０１１２】
また、白色光を照射した場合の点Ｐの光の強度Ｒ０ｈ、Ｂ０ｈは、それぞれ下式（４ｃ）、（４ｄ）で与えられる。
【０１１３】
Ｒ０ｈ＝Ｍｒｒ・Ｂｒ ・・・（４ｃ）
Ｂ０ｈ＝Ｍｂｂ・Ｂｂ ・・・（４ｄ）
これら式（４ａ）〜（４ｄ）に基づき、下式（４）が導き出される。
【０１１４】
θ＝ＡＲＣＴＡＮ｛Ｋ・ｓｉｎα／（１−Ｋ・ｃｏｓα）｝・・・（４）
但し、α≠０，π、 Ｋ＝（Ｒ０／Ｒ０ｈ−１）／（Ｂ０／Ｂ０ｈ−１）
特に、α＝π／２とした場合、上記式（４）より下記式（４ｅ）が導き出される。
【０１１５】
θ＝ARCTAN｛（Ｒ０／Ｒ０ｈ−１）／（Ｂ０／Ｂ０ｈ−１）｝…（４ｅ）
このように演算された位置情報θを用いて、上記と同様にプリント基板Ｋ（クリームハンダ）上の点Ｐの高さＺが求められ、もってクリームハンダの印刷状態の良否が判定される。
【０１１６】
このように、本実施の形態においても、上述した第１、第２の実施の形態と同様の作用効果が奏される。また特に、画像データがそれぞれ２通りであるため、位相の異なる光成分パターンの各波長域として全く別のもの（波長域の離れたもの同士）を採用することで、波長のオーバーラップによる悪影響を防止することができ、ひいては、正確な測定を行うことができる。
【０１１７】
なお、上記例では、集光レンズ１２及び照射レンズ１３間に赤、青のフィルタ格子縞板１４，１６を配設してなる照明装置６０を用いることとした。これに対し、例えば図９に示すような照明装置７０を用いることとしてもよい。すなわち、照明装置７０は、第１、及び第３のダイクロイックミラー３１，３３Ａ，３３Ｂ及びミラー３４、並びに、赤色、青色の各液晶パネル３５，３７を備えている。
【０１１８】
従って、光源１１から放たれた光は、集光レンズ１２を経た後、第１のダイクロイックミラー３１によってまず分光される。すなわち、赤色成分の光は、第１のダイクロイックミラー３１によって反射して赤色液晶パネル３５を透過して、ミラー３４へと導かれ、該ミラー３４にて反射して第３の下流側のダイクロイックミラー３３Ｂへと導かれる。一方、第１のダイクロイックミラー３１を透過した赤色以外の成分の光は、第３の上流側のダイクロイックミラー３３Ａの方へ導かれ、そこで、また分光される。このとき、青色成分の光は、第３の上流側のダイクロイックミラー３３Ａによって反射して青色液晶パネル３７を透過して、相対する第３の下流側のダイクロイックミラー３３Ｂへと導かれる。従って、第３の下流側のダイクロイックミラー３３Ｂからは、赤色成分の光と、青色成分の光が合成されて照射レンズ１３の方へと導かれる。
【０１１９】
このとき、制御装置７は液晶パネル３５，３７を適宜制御して各色成分の位相ピッチをずらすようにする。このように、赤、青の光成分につき２通りの相対位相関係下において、ＣＣＤカメラ４にて撮像された２通りの画像データに基づき、位相シフト法に基づいて（上記各式に基づいて）クリームハンダの高さを演算するようにしてもよい。なお、本実施の形態では、赤、青の光成分パターンを採用することとしたが、赤外線及び緑色、又は赤外線及び青色の光成分パターンであってもよい。また、赤外線及び赤色、赤色及び緑色、緑色及び青色の光成分パターンであってもよい。
【０１２０】
尚、上述した実施の形態の記載内容に限定されることなく、例えば次のように実施してもよい。
【０１２１】
（ａ）上記実施の形態における光成分パターンは、正弦波状の光強度分布を有するものであったが、縞状のものであれば、例えば鋸歯状、或いは、矩形波状の光強度分布を有する光パターンであってもよい。
【０１２２】
（ｂ）上記実施の形態では特に言及してはいないが、プリント基板Ｋにクリームハンダを印刷形成する工程と、上記実施の形態における印刷状態検査装置１を用いて良否判定を行う検査工程と、前記検査工程において良品判定されたものについてのみ実装を行うべくリフローを施すリフロー工程とを備えた基板の製造方法に具現化することも可能である。該製造方法によれば、検査に要する時間の短縮を図ることができることから、全体的な製造時間の低減を図ることができ、しかも不良品の発生を抑制することができる。
【０１２３】
（ｃ）上記各実施の形態では、α＝π／２とした場合を中心に説明しているが、これ以外にも、α＝（２／３）π、α＝（１／３）π、α＝（１／４）π、α＝（１／８）π、α＝（１／１６）πとしてもよい。
【０１２４】
（ｄ）上記実施の形態ではプリント基板Ｋに印刷形成されたクリームハンダの高さ等を計測する場合に具体化したが、他にもＩＣパッケージ（例えばリード）に印刷形成されたクリームハンダの高さ等を計測する場合にも具体化できる。さらに、他の計測対象物の高さ等を計測する場合に具体化してもよい。他の計測対象物としては、基板上に印刷された印刷物、積層体等が挙げられる。
【０１２５】
（ｅ）各実施の形態における各光成分パターンは、必ずしも厳密に赤、青、緑、赤外線等に区別する必要はない。要するに、波長域が異なっていればよいという趣旨であって、黄色（ＲＧ）、シアン（青緑）色等の中間色を有する光成分パターンであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態における三次元計測装置を具備する印刷状態検査装置を模式的に示す概略斜視図である。
【図２】第１の実施の形態におけるより詳細な三次元計測装置の構成を模式的に示す概略構成図である。
【図３】相対位相関係の異なる赤、緑、青の各フィルタの光強度分布の一例を示すグラフである。
【図４】照明装置からクリームハンダに対し合成照射される光パターンの例を示す図である。
【図５】第１の実施の形態の別の例の三次元計測装置の構成を模式的に示す概略構成図である。
【図６】第２の実施の形態におけるより詳細な三次元計測装置の構成を模式的に示す概略構成図である。
【図７】第２の実施の形態の別の例の三次元計測装置の構成を模式的に示す概略構成図である。
【図８】第３の実施の形態におけるより詳細な三次元計測装置の構成を模式的に示す概略構成図である。
【図９】第３の実施の形態の別の例の三次元計測装置の構成を模式的に示す概略構成図である。
【符号の説明】
１…三次元計測装置を具備する印刷状態検査装置、２…テーブル、３，３０，４０，５０，６０，７０…照射手段を構成する照明装置、４…撮像手段としてのＣＣＤカメラ、７…演算手段を構成する制御装置、１１…光源、１４…赤色フィルタ格子縞板、１５…緑色フィルタ格子縞板、１６…青色フィルタ格子縞板、手Ｋ…プリント基板、Ｃ…計測対象物を構成するクリームハンダ。
【発明の属する技術分野】
本発明は、測定対象物の三次元形状等を位相シフト法を用いて計測する三次元計測装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、プリント基板上に電子部品を実装する場合、まずプリント基板上に配設された所定の電極パターン上にクリームハンダが印刷される。次に、該クリームハンダの粘性に基づいてプリント基板上に電子部品が仮止めされる。その後、前記プリント基板がリフロー炉へ導かれ、所定のリフロー工程を経ることでハンダ付けが行われる。昨今では、リフロー炉に導かれる前段階においてクリームハンダの印刷状態を検査する必要があり、かかる検査に際して三次元計測装置が用いられることがある。
【０００３】
近年、光を用いたいわゆる非接触式の三次元計測装置が種々提案されており、中でも位相シフト法を用いた三次元計測装置に関する技術が提案されている（特開平１１−２１１４４３号公報、特許第２７１１０４２号等）。
【０００４】
上記技術における三次元計測装置においては、ＣＣＤカメラが用いられる。すなわち、光源と正弦波パターンのフィルタとの組み合わせからなる照射手段により、縞状の光強度分布を有する光パターンを測定物体（この場合プリント基板）に照射する。そして、基板上の点を真上に配置したＣＣＤカメラを用いて観測する。この場合、画面上の点Ｐの光の強度Ｉは下式で与えられる。
【０００５】
Ｉ＝ｅ＋ｆ・ｃｏｓφ ［但し、ｅ：直流光ノイズ（オフセット成分）、ｆ：正弦波のコントラスト（反射率）、φ：物体の凹凸により与えられる位相］
このとき、光パターンを移動させて、位相を４段階（φ＋０、φ＋π／２、φ＋π、φ＋３π／２）に変化させ、これらに対応する強度分布Ｉ０、Ｉ１、Ｉ２、Ｉ３をもつ画像を取り込み、下記式に基づいて位置情報θを求める。
【０００６】
θ＝ａｒｃｔａｎ｛（Ｉ３−Ｉ１）／（Ｉ０−Ｉ２）｝
この位置情報θを用いて、プリント基板（クリームハンダ）上の点Ｐの３次元座標（Ｘ，Ｙ，Ｚ）が求められ、もってクリームハンダの三次元形状、特に高さが計測される。
【０００７】
【発明が解決しょうとする課題】
ところで、上記技術における三次元計測装置においては、位相を４段階に変化させ、各段階に対応する強度分布をもつ４通りの画像を取得する必要がある。つまり、位相を変化させる度に撮像を行わなければならず、結果として１つのポイントに関し撮像を４回行う必要がある。このため、撮像に時間を要することとなり、ひいては、計測開始から終了までの時間が長いものとなってしまうおそれがある。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、計測対象物の三次元形状を位相シフト法を用いて計測するに際し、計測に要する時間の短縮を図ることの可能な三次元計測装置を提供することを主たる目的の一つとしている。
【０００９】
【課題を解決するための手段及びその効果】
上記目的を達成し得る特徴的手段について以下に説明する。また、各手段につき、特徴的な作用及び効果を必要に応じて記載する。
【００１０】
手段１．少なくとも計測対象物に対し、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係の異なる複数の光成分パターンを同時に照射可能な照射手段と、前記光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像可能な撮像手段と、前記異なる相対位相関係下において前記撮像手段にて撮像された複数通りの画像データに基づき、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さを演算する演算手段とを備えたことを特徴とする三次元計測装置。ここで、「位相シフト法」とは、被測定物（ここでは計測対象物）に対し、照明手段と撮像手段とを所定の角度をもって配置し、照明手段が所定周期の縞状の光を照射して得た映像と、同一周期で位相の異なる縞状の光を照射して得た１つ又は複数の映像とをもとにして、被測定物の高さを三角測量の原理により求める三次元計測の手法をいう。
【００１１】
手段１によれば、少なくとも計測対象物に対し、照射手段によって、複数の光成分パターンが同時に照射される。ここで、各光成分パターンは、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係が異なっている。また、光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光が、撮像手段によって各光成分毎に分離されて撮像される。そして、前記異なる相対位相関係下において撮像手段にて撮像された複数通りの画像データに基づき、演算手段では、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さが演算される。従って、相対位相関係を異ならせる毎に撮像を行う必要があった従来技術とは異なり、各光成分毎に、異なる相対位相関係下毎に、まとめて撮像を行うことができる。このため、１つのポイントに関し照射及び撮像に要する時間が著しく短縮が図られることとなり、もって、計測に要する時間の飛躍的な短縮を図ることができる。
【００１２】
手段２．少なくとも計測対象物に対し、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係の異なる少なくとも２つの光成分パターンを同時に照射可能な照射手段と、前記光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像可能な撮像手段と、前記異なる相対位相関係下において前記撮像手段にて撮像された少なくとも２通りの画像データ及び別途の補正用データに基づき、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さを演算する演算手段とを備えたことを特徴とする三次元計測装置。
【００１３】
手段２によれば、少なくとも計測対象物に対し、照射手段によって、少なくとも２つの光成分パターンが同時に照射される。ここで、各光成分パターンは、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係が異なっている。また、光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光が、撮像手段によって各光成分毎に分離されて撮像される。そして、前記異なる相対位相関係下において撮像手段にて撮像された少なくとも２通りの画像データ及び別途の補正用のデータに基づき、演算手段では、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さが演算される。従って、相対位相関係を異ならせる毎に撮像を行う必要があった従来技術とは異なり、各光成分毎に、異なる相対位相関係下毎に、まとめて撮像を行うことができる。このため、１つのポイントに関し照射及び撮像に要する時間が著しく短縮が図られることとなり、もって、計測に要する時間の飛躍的な短縮を図ることができる。
【００１４】
手段３．前記補正用データは、白色全照射された計測対象物からの反射光を撮像した画像データであることを特徴とする手段２に記載の三次元計測装置。
【００１５】
手段３によれば、白色全照射された計測対象物からの反射光を別途撮像した画像データに基づいて補正がされた上で計測対象物の所定の高さが演算される。このため、所定の波長成分の光成分パターンを照射した場合、計測対象物の色合い等によって反射率が大きく相違する場合があるが、かかる場合でも反射率による影響を補正により相殺することができる。その結果、計測の精度の向上を図ることができる。
【００１６】
手段６．少なくとも計測対象物に対し、同一振幅及び同一オフセット成分の光源からの光に基づき、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係の異なる３つの光成分パターンを同時に照射して第１の照射を行うとともに、少なくとも計測対象物に対し、前記光源からの光に基づき白色の全照射たる第２の照射を行うことの可能な照射手段と、前記第１の照射に基づく光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像する第１の撮像を行うとともに、前記第２の照射に基づく計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像する第２の撮像を行うことの可能な撮像手段と、前記異なる相対位相関係下において前記撮像手段による第１の撮像に基づく３通りの画像データ、及び、前記第２の撮像に基づく画像データに基づき、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さを演算する演算手段とを備えたことを特徴とする三次元計測装置。
【００１７】
手段６によれば、少なくとも計測対象物に対し、照射手段では、同一振幅及び同一オフセット成分の光源からの光に基づき、３つの光成分パターンが同時に照射されることで第１の照射が行われる。これら光成分パターンは、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係が異なっている。また、照射手段では、少なくとも計測対象物に対し、前記光源からの光に基づき白色の全照射たる第２の照射が行われる。これに対し、撮像手段では、前記第１の照射に基づく光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光が各光成分毎に分離されて撮像される第１の撮像が行われる。また、撮像手段では、前記第２の照射に基づく計測対象物からの反射光が各光成分毎に分離されて撮像される第２の撮像が行われる。そして、異なる相対位相関係下において前記撮像手段による第１の撮像に基づく３通りの画像データ、及び、前記第２の撮像に基づく画像データに基づき、演算手段では、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さが演算される。従って、相対位相関係を異ならせる毎に撮像を行う必要があった従来技術とは異なり、各光成分毎に、異なる相対位相関係下毎に、まとめて撮像を行うことができる。このため、１つのポイントに関し２回の照射及び２回の撮像を行えばよく、照射及び撮像に要する時間が著しく短縮が図られることとなり、もって、計測に要する時間の飛躍的な短縮を図ることができる。また、所定の波長成分の光成分パターンを照射した場合、計測対象物の色合い等によって反射率が大きく相違する場合があるが、かかる場合でも第２の撮像が行われることによって反射率による影響が相殺されることとなる。その結果、計測の精度の向上を図ることができる。
【００１８】
手段７．前記第１の撮像に際しての前記互いに異なる相対位相関係をそれぞれ０、α、βとしたときの各光成分毎の前記３通りの画像データがそれぞれＲｓ、Ｇｓ、Ｂｓであり、前記第２の撮像に際しての各光成分毎の３通りの画像データがそれぞれＲｗ、Ｇｗ、Ｂｗであるとき、前記演算手段は、下記式（２）により位置情報θを求め、該位置情報θに基づき前記所定の高さを演算するものであることを特徴とする手段６に記載の三次元計測装置。
【００１９】
【数３】
【００２０】
Ｒｓ＝Ｍｒ（Ａsinθ＋Ｂ） ・・・（２ａ）
Ｇｓ＝Ｍｇ｛Ａsin（θ＋α）＋Ｂ｝ ・・・（２ｂ）
Ｂｓ＝Ｍｂ｛Ａsin（θ＋β）＋Ｂ｝ ・・・（２ｃ）
Ｒｗ＝Ｍｒ（Ａ＋Ｂ） ・・・（２ｄ）
Ｇｗ＝Ｍｇ（Ａ＋Ｂ） ・・・（２ｅ）
Ｂｗ＝Ｍｂ（Ａ＋Ｂ） ・・・（２ｆ）
但し、Ｍｒ：ある点での赤色成分に対する反射率、Ｍｇ：ある点での緑色成分に対する反射率、Ｍｂ：ある点での青色成分に対する反射率、α≠０，β≠０，α≠β，Ａ：振幅，Ｂ：オフセット成分
これらの式（２ａ）乃至（２ｆ）により、上記式（２）が導き出される。
【００２１】
このようにさほど複雑でない数式に基づいて位置情報θを求めることができ、該位置情報θに基づき前記所定の高さを演算することができる。そのため、３通りの画像データに基づいて計測対象物の所定の高さを求めるに際し、演算が複雑になってしまうことによる遅延が生じない。
【００２２】
なお、「β＝−αとしたことを特徴とする手段７に記載の三次元計測装置」としてもよい。かかる構成によれば、β＝−αとすることで、上記式（２）から下記式（２ｇ）が導き出される。
θ＝ARCTAN［[(2Rs/Rw-Gs/Gw-Bs/Bw)sinα]／[(Gs/Gw-Bs/Bw)(１-cosα)]］ ・・・（２ｇ）
このため、演算がより容易なものとなり、より一層高速の処理が可能となる。
【００２３】
さらに、「β＝−α、かつ、α＝π／２としたことを特徴とする手段７に記載の三次元計測装置」としてもよい。かかる構成によれば、上記式（２ｇ）から下記式（２ｈ）が導き出される。
【００２４】
θ＝ARCTAN［(2Rs/Rw-Gs/Gw-Bs/Bw)／(Gs/Gw-Bs/Bw)］ ・・・（２ｈ）
このため、演算がより一層容易なものとなり、より一層高速の処理が可能となる。
【００２５】
手段８．前記互いに異なる波長成分を有する３つの光成分パターンは、それぞれ、赤色、緑色、青色の光成分パターンであることを特徴とする手段４乃至７のいずれかに記載の三次元計測装置。
【００２６】
手段８によれば、波長域がオーバーラップしにくく、しかも比較的容易に第１の撮像を行うための照射手段を構成することができる。
【００２７】
手段９．少なくとも計測対象物に対し、同一振幅及び同一オフセット成分の光源からの光に基づき、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係の異なる４つの光成分パターンを同時に照射して第１の照射を行うとともに、少なくとも計測対象物に対し、前記光源からの光に基づき白色の全照射たる第２の照射を行うことの可能な照射手段と、前記第１の照射に基づく光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像する第１の撮像を行うとともに、前記第２の照射に基づく計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像する第２の撮像を行うことの可能な撮像手段と、前記異なる相対位相関係下において前記撮像手段による第１の撮像に基づく４通りの画像データ、及び、前記第２の撮像に基づく画像データに基づき、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さを演算する演算手段とを備えたことを特徴とする三次元計測装置。
【００２８】
手段９によれば、少なくとも計測対象物に対し、照射手段では、同一振幅及び同一オフセット成分の光源からの光に基づき、４つの光成分パターンが同時に照射されることで第１の照射が行われる。これら光成分パターンは、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係が異なっている。また、照射手段では、少なくとも計測対象物に対し、前記光源からの光に基づき白色の全照射たる第２の照射が行われる。これに対し、撮像手段では、前記第１の照射に基づく光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光が各光成分毎に分離されて撮像される第１の撮像が行われる。また、撮像手段では、前記第２の照射に基づく計測対象物からの反射光が各光成分毎に分離されて撮像される第２の撮像が行われる。そして、異なる相対位相関係下において前記撮像手段による第１の撮像に基づく４通りの画像データ、及び、前記第２の撮像に基づく画像データに基づき、演算手段では、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さが演算される。従って、相対位相関係を異ならせる毎に撮像を行う必要があった従来技術とは異なり、各光成分毎に、異なる相対位相関係下毎に、まとめて撮像を行うことができる。このため、１つのポイントに関し２回の照射及び２回の撮像を行えばよく、照射及び撮像に要する時間が著しく短縮が図られることとなり、もって、計測に要する時間の飛躍的な短縮を図ることができる。また、所定の波長成分の光成分パターンを照射した場合、計測対象物の色合い等によって反射率が大きく相違する場合があるが、かかる場合でも第２の撮像が行われることによって反射率による影響が相殺されることとなる。その結果、計測の精度の向上を図ることができる。
【００２９】
手段１０．前記第１の撮像に際しての前記互いに異なる相対位相関係をそれぞれ０、α、β、γとしたときの各光成分毎の前記４通りの画像データがそれぞれＲｓ、Ｇｓ、Ｂｓ、Ｉｓであり、前記第２の撮像に際しての各光成分毎の４通りの画像データがそれぞれＲｗ、Ｇｗ、Ｂｗ、Ｉｗであるとき、前記演算手段は、下記式（３）により位置情報θを求め、該位置情報θに基づき前記所定の高さを演算するものであることを特徴とする手段９に記載の三次元計測装置。
【００３０】
【数４】
【００３１】
Ｒｓ＝Ｍｒ（Ａsinθ＋Ｂ） ・・・（３ａ）
Ｇｓ＝Ｍｇ｛Ａsin（θ＋α）＋Ｂ｝ ・・・（３ｂ）
Ｂｓ＝Ｍｂ｛Ａsin（θ＋β）＋Ｂ｝ ・・・（３ｃ）
Ｉｓ＝Ｍｉ｛Ａsin（θ＋γ）＋Ｂ｝ ・・・（３ｄ）
Ｒｗ＝Ｍｒ（Ａ＋Ｂ） ・・・（３ｅ）
Ｇｗ＝Ｍｇ（Ａ＋Ｂ） ・・・（３ｆ）
Ｂｗ＝Ｍｂ（Ａ＋Ｂ） ・・・（３ｇ）
Ｉｗ＝Ｍｉ（Ａ＋Ｂ） ・・・（３ｈ）
但し、Ｍｒ：ある点での赤色成分に対する反射率、Ｍｇ：ある点での緑色成分に対する反射率、Ｍｂ：ある点での青色成分に対する反射率、Ｍｉ：ある点での赤外成分に対する反射率、α≠０，β≠０，α≠β，Ａ：振幅，Ｂ：オフセット成分
これらの式（３ａ）乃至（３ｈ）により、上記式（３）が導き出される。
【００３２】
このようにさほど複雑でない数式に基づいて位置情報θを求めることができ、該位置情報θに基づき前記所定の高さを演算することができる。そのため、４通りの画像データに基づいて計測対象物の所定の高さを求めるに際し、演算が複雑になってしまうことによる遅延が生じない。
【００３３】
なお、「α＝π／２、β＝π、γ＝３π／２としたことを特徴とする手段１０に記載の三次元計測装置」としてもよい。かかる構成によれば、上記式（３）から下記式（３ｉ）が導き出される。
【００３４】
θ＝ARCTAN｛(Rs/Rw-Bs/Bw)／(Gs/Gw-Is/Iw)｝ ・・・（３ｉ）
このため、演算がより一層容易なものとなり、より一層高速の処理が可能となる。
【００３５】
手段１１．前記互いに異なる波長成分を有する４つの光成分パターンは、それぞれ、赤色、緑色、青色及び赤外線の光成分パターンであることを特徴とする手段９又は１０に記載の三次元計測装置。
【００３６】
手段１１によれば、波長域がオーバーラップしにくく、しかも比較的容易に第１の撮像を行うための照射手段を構成することができる。
【００３７】
手段１２．少なくとも計測対象物に対し、同一振幅及び同一オフセット成分の光源からの光に基づき、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係の異なる２つの光成分パターンを同時に照射して第１の照射を行うとともに、少なくとも計測対象物に対し、前記光源からの光に基づき白色の全照射たる第２の照射を行うことの可能な照射手段と、前記第１の照射に基づく光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像する第１の撮像を行うとともに、前記第２の照射に基づく計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像する第２の撮像を行うことの可能な撮像手段と、前記異なる相対位相関係下において前記撮像手段による第１の撮像に基づく２通りの画像データ、及び、前記第２の撮像に基づく画像データに基づき、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さを演算する演算手段とを備えたことを特徴とする三次元計測装置。
【００３８】
手段１２によれば、少なくとも計測対象物に対し、照射手段では、同一振幅及び同一オフセット成分の光源からの光に基づき、２つの光成分パターンが同時に照射されることで第１の照射が行われる。これら光成分パターンは、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係が異なっている。また、照射手段では、少なくとも計測対象物に対し、前記光源からの光に基づき白色の全照射たる第２の照射が行われる。これに対し、撮像手段では、前記第１の照射に基づく光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光が各光成分毎に分離されて撮像される第１の撮像が行われる。また、撮像手段では、前記第２の照射に基づく計測対象物からの反射光が各光成分毎に分離されて撮像される第２の撮像が行われる。そして、異なる相対位相関係下において前記撮像手段による第１の撮像に基づく２通りの画像データ、及び、前記第２の撮像に基づく画像データに基づき、演算手段では、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さが演算される。従って、相対位相関係を異ならせる毎に撮像を行う必要があった従来技術とは異なり、各光成分毎に、異なる相対位相関係下毎に、まとめて撮像を行うことができる。このため、１つのポイントに関し２回の照射及び２回の撮像を行えばよく、照射及び撮像に要する時間が著しく短縮が図られることとなり、もって、計測に要する時間の飛躍的な短縮を図ることができる。また、所定の波長成分の光成分パターンを照射した場合、計測対象物の色合い等によって反射率が大きく相違する場合があるが、かかる場合でも第２の撮像が行われることによって反射率による影響が相殺されることとなる。その結果、計測の精度の向上を図ることができる。
【００３９】
手段１３．前記互いに異なる相対位相関係を０、αとしたときの前記第１の撮像に際しての各光成分毎の前記２通りの画像データがそれぞれＲ０、Ｂ０であり、前記第２の撮像に際しての各光成分毎の２通りの画像データがそれぞれＲ０ｈ、Ｂ０ｈであるとき、前記演算手段は、下記式（４）により位置情報θを求め、該位置情報θに基づき前記所定の高さを演算するものであることを特徴とする手段１２に記載の三次元計測装置。
【００４０】
θ＝ＡＲＣＴＡＮ｛Ｋ・ｓｉｎα／（１−Ｋ・ｃｏｓα）｝・・・（４）
但し、α≠０，π、 Ｋ＝（Ｒ０／Ｒ０ｈ−１）／（Ｂ０／Ｂ０ｈ−１）
ここで、手段１３に関し、２通りの相対位相関係をそれぞれ０、αとしたときの第１の撮像に際しての各光成分毎の２通りの画像データ（光強度）がそれぞれＲ０、Ｂ０であり、前記第２の撮像に際しての各光成分毎の２通りの画像データ（光強度）がそれぞれＲ０ｈ、Ｂ０ｈであるとき、一般的には下式（４ａ），（４ｂ），（４ｃ），（４ｄ）が成立することとなる。
【００４１】
Ｒ０＝Ｍｒｒ（Ａｒ・sinθ＋Ｂｒ） ・・・（４ａ）
Ｂ０＝Ｍｂｂ｛Ａｂ・sin（θ＋α）＋Ｂｂ｝ ・・・（４ｂ）
Ｒ０ｈ＝Ｍｒｒ・Ｂｒ ・・・（４ｃ）
Ｂ０ｈ＝Ｍｂｂ・Ｂｂ ・・・（４ｄ）
但し、Ｍｒｒ：ある点での所定波長成分に対する反射率、Ｍｂｂ：ある点での所定波長成分に対する反射率、α≠０、Ａ：振幅、Ｂ：オフセット成分
これらの式（４ａ）乃至（４ｄ）により、上記式（４）が導き出される。
【００４２】
このようにさほど複雑でない数式に基づいて位置情報θを求めることができ、該位置情報θに基づき前記所定の高さを演算することができる。そのため、２通りの画像データに基づいて計測対象物の所定の高さを求めるに際し、演算が複雑になってしまうことによる遅延が生じない。
【００４３】
なお、「「α＝π／２としたことを特徴とする手段１３に記載の三次元計測装置」としてもよい。かかる構成によれば、上記式（４）から下記式（４ｅ）が導き出される。
【００４４】
θ＝ARCTAN｛Ｒ０／Ｒ０ｈ−１）／（Ｂ０／Ｂ０ｈ−１）｝…（４ｅ）
このため、演算がより一層容易なものとなり、より一層高速の処理が可能となる。
【００４５】
手段１４．前記互いに異なる波長成分を有する２つの光成分パターンは、それぞれ、赤色及び青色、赤外線及び緑色、又は赤外線及び青色の光成分パターンであることを特徴とする手段１２又は１３に記載の三次元計測装置。
【００４６】
手段１４によれば、波長域が一層オーバーラップしにくく、しかも比較的容易に第１の撮像を行うための照射手段を構成することができる。
【００４７】
手段１５．前記照射手段は、第１の照射に際し、光源からの光を、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係の異なる各光成分パターンに一旦分離した上で合成して照射可能な液晶プロジェクタ機構を備えていることを特徴とする手段４乃至１４のいずれかに記載の三次元計測装置。
【００４８】
手段１５によれば、縞状の光成分パターンを作成した場合に、その照度が理想的な正弦波に近いものが得られ、これにより、三次元計測の測定分解能が向上する。また、光パターンの位相シフトの制御を電気的に行うことができ、制御系のコンパクト化を図ることもできる。また、第２の照射を行うときも、正弦波パターンを解消するだけで、つまり全照射するだけで、白色光を照射することが可能となる。かかる意味で、別途白色光用の照明装置当を用意しなくても済むというメリットも生じる。
【００４９】
手段１６．前記照射手段は、第１の照射に際し、光源からの光を、所定の波長成分について縞状に遮光するとともに残りの波長成分について全面的に透光を許容するフィルタ格子縞板を用いて、互いに相対位相関係の異なる各光成分パターンを同時に照射可能なフィルタ格子縞板機構を備えていることを特徴とする手段４乃至１４のいずれかに記載の三次元計測装置。
【００５０】
手段１６によれば、液晶を使用しなくてもよい分、構成の簡素化を図ることができる。
【００５１】
手段１７．前記光成分パターンは、略正弦波状の光強度分布を有することを特徴とする手段１乃至１６のいずれかに記載の三次元計測装置。
【００５２】
手段１７によれば、光成分パターンは、略正弦波状の光強度分布を有するため、より一層の計測精度の向上を図ることができる。
【００５３】
手段１８．手段１乃至１７のいずれかに記載の三次元計測装置を備え、プリント基板又はＩＣパッケージに印刷形成されたクリームハンダの少なくとも高さを計測し、その計測値に基づいて良否判定を導出することの可能なクリームハンダ印刷検査装置。
【００５４】
手段１８によれば、プリント基板又はＩＣパッケージに印刷形成されたクリームハンダの少なくとも高さが計測され、その計測値に基づいて良否判定が行われる。このため、クリームハンダの計測に際して上記各作用効果が奏され、しかも精度よく良否判定を行うことができる。
【００５５】
手段１９．プリント基板又はＩＣパッケージにクリームハンダを印刷形成する工程と、上記手段１８に記載のクリームハンダ印刷検査装置を用いて良否判定を行う検査工程と、前記検査工程において良品判定されたものについてのみ実装を行うべくリフローを施すリフロー工程とを備えたことを特徴とする基板の製造方法。
【００５６】
手段１９によれば、検査に要する時間の短縮を図ることができることから、全体的な製造時間の低減を図ることができ、しかも不良品の発生を抑制することができる。
【００５７】
【発明の実施の形態】
（第１の実施の形態）
以下、第１の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００５８】
図１は、本実施の形態における三次元計測装置を具備する印刷状態検査装置１を模式的に示す概略構成図である。同図に示すように、印刷状態検査装置１は、クリームハンダの印刷されてなるプリント基板Ｋを載置するためのテーブル２と、プリント基板Ｋの表面に対し斜め上方から所定の光成分パターンを照射するための照射手段を構成する照明装置３と、プリント基板Ｋ上の前記照射された部分を撮像するための撮像手段を構成するＣＣＤカメラ４とを備えている。なお、本実施の形態におけるクリームハンダは、プリント基板Ｋ上に設けられた銅箔からなる電極パターン上に印刷形成されている。
【００５９】
テーブル２には、モータ５，６が設けられており、該モータ５，６によって、テーブル２上に載置されたプリント基板Ｋが任意の方向（Ｘ軸方向及びＹ軸方向）へスライドさせられるようになっている。
【００６０】
本実施の形態における照明装置３からは、赤、緑、青のそれぞれ波長の異なるカラー光パターンが照射されるようになっている。より詳しくは、図２に示すように、照明装置３は、光源１１と、光源１１からの光を集める集光レンズ１２と、照射レンズ１３と、両レンズ１２，１３間に配設された赤、緑、青色のフィルタ格子縞板１４，１５，１６とを備えている。赤色フィルタ格子縞板１４は、部位に応じて赤色の度合いが正弦波状（縞状）に変化しており、赤色の成分についてのみ縞状に遮光（透光）させ他の波長域の全透光を許容するようになっている。また、緑色フィルタ格子縞板１５は、部位に応じて緑色の度合いが正弦波状（縞状）に変化しており、緑色の成分についてのみ縞状に遮光（透光）させ他の波長域の全透光を許容するようになっている。但し、その正弦波は、赤色フィルタ格子縞板１４に比べて位相が所定ピッチ（本実施の形態では「π／２」）ずれている（図３参照）。さらに、青色フィルタ格子縞板１６は、部位に応じて青色の度合いが正弦波状（縞状）に変化しており、青色の成分についてのみ縞状に遮光（透光）させ他の波長域の全透光を許容するようになっている。但し、その正弦波は、前記緑色フィルタ格子縞板１５に比べて位相が所定ピッチ（本実施の形態では「π／２」）ずれている（図３参照）。つまり、これら赤、緑、青色のフィルタ格子縞板１４，１５，１６は、互いに位相が所定ピッチずらされた状態で張り合わされている（勿論、相互に離間していても差し支えない）。さらには、１枚の格子縞板に、赤、緑、青色の塗装（又は印刷）を施すとともに、当該塗装（又は印刷）に際し、各色の位相が互いに所定ピッチずらされるように構成してもよい。上記の場合には、各色の度合いが必ずしも正弦波状とならなくとも矩形波状となっていても差し支えない。また、さらに、一枚の透明な板に、赤、黄、シアン、青、赤、黄、シアン、青・・・・の順に縞を塗装（又は印刷）することにより、格子縞板を構成してもよい。この場合には、黄は赤と緑とを透過する塗料によって構成され、シアンは緑と青とを透過する塗料によって構成される。また、赤から黄、黄からシアン、シアンから青、青から赤は、徐々に変化してもよいし、明確に塗り分けられていてもよい。
【００６１】
そして、光源１１から放たれた光は、集光レンズ１２、前記各色フィルタ格子縞板１４，１５，１６、及び照射レンズ１２を経て図４に示すようなカラー光パターンとしてプリント基板Ｋ上に照射されるようになっている。
【００６２】
なお、後述する対比撮像に際しては、前記各色フィルタ格子縞板１４，１５，１６が取り除かれた状態で、白色光がプリント基板Ｋ上に照射されるようになっている（第２の照射）。この場合、対比撮像に際し色フィルタ格子縞板１４，１５，１６を取り除く構成としてもよいし、別途の白色光用の照明装置３を用いることとしてもよい。
【００６３】
また、前記ＣＣＤカメラ４は、第１〜第３のダイクロイックミラー２１，２２，２３及びそれらに対応する第１〜第３の撮像部２４，２５，２６を備えている。すなわち、第１のダイクロイックミラー２１は、所定の波長域内（赤色光に対応）の光を反射（それ以外の波長の光を透過）し、第１の撮像部２４はその反射光を撮像する。また、第２のダイクロイックミラー２２は、所定の波長域内（緑色光に対応）の光を反射（それ以外の波長の光を透過）し、第２の撮像部２５はその反射光を撮像する。さらに、第３のダイクロイックミラー（通常のミラーを用いてもよい）２３は、所定の波長域内（青色光に対応）の光を反射（それ以外の波長の光を透過）し、第３の撮像部２６はその反射光を撮像する。
【００６４】
本実施の形態においては、図１，２に示すように、前記ＣＣＤカメラ４、照明装置３、モータ５，６を駆動制御するとともに、ＣＣＤカメラ４により撮像された撮像データに基づき種々の演算を実行するための制御装置７が設けられている。すなわち、プリント基板Ｋがテーブル２上に載置されると、制御装置７は、まずモータ５，６を駆動制御して所定の位置に移動させ、プリント基板Ｋを初期位置に移動させる。この初期位置は、例えばＣＣＤカメラ４の視野の大きさを１単位としてプリント基板Ｋの表面を予め分割しておいた中の１つの位置である。また、制御装置７は、照明装置３を駆動制御して光成分パターンの照射を開始する。このとき、光成分パターンには、位相が所定ピッチで相違する複数の波長域のものが含まれているため、従来のように位相を所定ピッチずつシフトさせるといった処理を必要としない。さらに、このようにして各光成分パターンの位相がずらされた一斉照射が行われている間に、制御装置７はＣＣＤカメラ４を駆動制御して、これら各波長域毎に（撮像部２４〜２６）ごとに検査エリア部分を一斉に撮像し、それぞれ３画面分の画像データを得る（第１の撮像）。
【００６５】
制御装置７は画像メモリを備えており、３画面分の画像データを順次記憶する。この記憶した画像データに基づいて、制御装置７は各種画像処理を行う。かかる画像処理が行われている間に、制御装置７は、モータ５，６を駆動制御してテーブル２を次の検査エリアへと移動せしめる。制御装置７は、ここでの画像データについても画像メモリへ格納する。一方、画像メモリでの画像処理が一旦終了した場合、すでに画像メモリには次の画像データが記憶されているので、速やかに制御装置７は次の画像処理を行うことができる。つまり、検査は、一方で次なる検査エリア（ｍ＋１番目）への移動及び画像入力を行い、他方ではｍ番目の画像処理及び比較判定を行う。以降、全ての検査エリアでの検査が完了するまで、交互に同様の上記並行処理が繰り返し行われる。このように、本実施の形態の印刷状態検査装置１においては、制御装置７の制御により検査エリアを移動しながら、順次画像処理を行うことにより、プリント基板Ｋ上のクリームハンダの印刷状態を高速かつ確実に検査することができるようになっている。
【００６６】
次に、対比撮像を行う。すなわち、上述したように、照明装置３から、白色光をプリント基板Ｋ上に照射して（第２の照射）、このときの反射光をＣＣＤカメラ４を用いて上記の場合と同様に撮像する（第２の撮像）。
【００６７】
次に、制御装置７の行う画像処理及び演算処理、並びに、比較判定処理について説明する。プリント基板Ｋに投影された光パターンに関して、プリント基板Ｋ面上とクリームハンダとの間では、その高さの相違に基づく位相のずれが生じる。そこで、制御装置７では、光パターンの位相が所定ピッチずつずれた各波長域での画像データ（本実施の形態では３画面の画像データ）に基づき、位相シフト法（縞走査法）の原理に基づいて検査エリア内の各部の反射面の高さを算出するのである。
【００６８】
すなわち、本実施の形態の如く赤色、緑色、青色のぞれぞれの位相を所定ピッチ（π／２）ずつずらした場合の画面上の点Ｐの光の強度Ｒｓ、Ｇｓ、Ｂｓは、それぞれ下式で与えられる。
【００６９】
Ｒｓ＝Ｍｒ（Ａsinθ＋Ｂ） ・・・（２ａ’）
Ｇｓ＝Ｍｇ｛Ａsin（θ＋π／２）＋Ｂ｝ ・・・（２ｂ’）
Ｂｓ＝Ｍｂ｛Ａsin（θ−π／２）＋Ｂ｝ ・・・（２ｃ’）
但し、Ｍｒ：点Ｐでの赤色成分に対する反射率，Ｍｇ：点Ｐでの緑色成分に対する反射率，Ｍｂ：点Ｐでの青色成分に対する反射率、Ａ：振幅、Ｂ：オフセット成分，θ：高さを導出するための位置情報。
【００７０】
また、白色光を照射した場合の点Ｐの光の強度Ｒｗ、Ｇｗ、Ｂｗは、それぞれ下式で与えられる。
【００７１】
Ｒｗ＝Ｍｒ（Ａ＋Ｂ） ・・・（２ｄ’）
Ｇｗ＝Ｍｇ（Ａ＋Ｂ） ・・・（２ｅ’）
Ｂｗ＝Ｍｂ（Ａ＋Ｂ） ・・・（２ｆ’）
これら式（２ａ’）〜（２ｆ’）に基づき、Ｍｒ，Ｍｇ，Ｍｂを消去すると、下式（２ｇ’）が導き出される。
【００７２】
tanθ＝[(2Rs/Rw-Gs/Gw-Bs/Bw)]／[(Gs/Gw-Bs/Bw)] ・・・（２ｇ’）
かかる式（２ｇ’）より、下記式（２ｇ）が導き出される。
【００７３】
θ＝ARCTAN｛(2Rs/Rw-Gs/Gw-Bs/Bw)／(Gs/Gw-Bs/Bw)｝ ・・・（２ｇ）
このように演算された位置情報θを用いて、下記式に基づいてプリント基板Ｋ（クリームハンダ）上の点Ｐの高さＺを求める。
【００７４】
ここで、照明装置３の鉛直線と、照明装置３から点Ｐに向けて照射したときの照射光線とのなす角をεとすると、当該角εは、下式（５）により表される。
【００７５】
ε＝ｆ（θ＋２ｎπ） ・・（５）
そして、高さＺは、下記式（６）に従って導き出される。
【００７６】
Ｚ＝Ｌｐ−Ｌｐｃ／tanε＋Ｘｐ／tanε ・・（６）
（但し、Ｌｐ：照明装置３の基準面からの高さ、Ｌｐｃ：ＣＣＤカメラ４と照明装置３とのＸ軸方向の距離、Ｘｐ：点ＰのＸ座標。）
このようにして得られた点Ｐの高さデータは、撮像画面の画素Ｐ単位に演算され、制御装置７のメモリに格納される。また、当該各部のデータに基づいて、基準面より高くなったクリームハンダの印刷範囲が検出され、この範囲内での各部の高さを積分することにより、印刷されたクリームハンダの量が算出される。そして、このようにして求めたクリームハンダの位置、面積、高さ又は量等のデータが予め記憶されている基準データと比較判定され、この比較結果が許容範囲内にあるか否かによって、その検査エリアにおけるクリームハンダの印刷状態の良否が判定されるのである。
【００７７】
以上詳述したように、本実施の形態によれば、異なる相対位相関係下においてＣＣＤカメラ４による第１の撮像に基づく３通りの画像データ、及び、前記第２の撮像に基づく画像データに基づき、クリームハンダの高さを演算することとした。従って、相対位相関係を異ならせる毎に撮像を行う必要があった従来技術とは異なり、各光成分毎に、異なる相対位相関係下毎に、まとめて撮像を行うことができる。このため、１つのポイントに関し２回の照射及び２回の撮像を行えばよく、照射及び撮像に要する時間が著しく短縮が図られることとなり、その結果、計測に要する時間の飛躍的な短縮を図ることができる。また、所定の波長成分の光成分パターンを照射した場合、計測対象物の色合い等によって反射率が大きく相違する場合があるが、かかる場合でも第２の撮像が行われることによって反射率による影響が相殺されることとなる。その結果、計測の精度の向上を図ることができる。
【００７８】
また、３通りずつの画像データに基づいてクリームハンダの高さを求めることができることから、４回の撮像データに基づいて演算されていた従来技術に比べて、総合的なデータ数が少なくて済み、ひいては演算時間の著しい短縮を図ることができる。その結果、計測に要する時間の飛躍的な短縮を図ることができる。
【００７９】
特に、本実施の形態ではさほど複雑でない数式に基づいて位置情報θを求めることができ、該位置情報θに基づき高さを演算することができる。そのため、演算が複雑になってしまうことによる遅延が生じずに、上記作用効果が確実に奏される。
【００８０】
さらに、上記例において、照明装置３は、フィルタ格子縞板１４〜１６を用いて、互いに相対位相関係の異なる各光成分パターンを合成して照射可能なフィルタ格子縞板機構を備えている。このため、液晶を使用しなくてもよい分、構成の簡素化を図ることができる。
【００８１】
なお、上記例では、集光レンズ１２及び照射レンズ１３間に赤、緑、青の色フィルタ格子縞板１４，１５，１６を配設してなる照明装置３を用いることとした。これに対し、例えば図５に示すような照明装置３０を用いることとしてもよい。すなわち、照明装置３０は、第１〜第３のダイクロイックミラー３１，３２Ａ，３２Ｂ，３３Ａ，３３Ｂ及びミラー３４を備えているとともに、赤色、緑色、青色の各液晶パネル３５，３６，３７を備えている。第１のダイクロイックミラー３１は、所定の波長域内（赤色光に対応）の光を反射し、それ以外の波長域の光を透過する。また、第２のダイクロイックミラー３２Ａ，３２Ｂは、所定の波長域内（緑色光に対応）の光を反射し、それ以外の波長域の光を透過する。さらに、第３のダイクロイックミラー３３Ａ，３３Ｂは、所定の波長域内（青色光に対応）の光を反射し、それ以外の波長域の光を透過する（但し、第３の上流側のダイクロイックミラー３３Ａに代えて通常のミラーを用いてもよい）。
【００８２】
従って、光源１１から放たれた光は、集光レンズ１２を経た後、第１のダイクロイックミラー３１によってまず分光される。すなわち、赤色成分の光は、第１のダイクロイックミラー３１によって反射して赤色液晶パネル３５を透過して、ミラー３４へと導かれ、該ミラー３４にて反射して第２の下流側のダイクロイックミラー３２Ｂへと導かれる。一方、第１のダイクロイックミラー３１を透過した赤色以外の成分の光は、第２の上流側のダイクロイックミラー３２Ａの方へ導かれ、そこで、また分光される。このとき、緑色成分の光は、第２の上流側のダイクロイックミラー３２Ａによって反射して緑色液晶パネル３６を透過して、相対する第２の下流側のダイクロイックミラー３２Ｂへと導かれる。従って、第２の下流側のダイクロイックミラー３２Ｂからは、赤色成分の光と、緑色成分の光が第３の下流側ダイクロイックミラー３３Ｂの方へと導かれる。
【００８３】
一方、第２の上流側のダイクロイックミラー３２Ａを透過した緑色以外の成分の光（ここでは主として青色成分の光）は、第３の上流側のダイクロイックミラー３３Ａの方へ導かれる。該第３の上流側のダイクロイックミラー３３Ａによって反射した青色成分の光は、青色液晶パネル３７を透過して、相対する第３の下流側のダイクロイックミラー３３Ｂへと導かれる。従って、第３の下流側のダイクロイックミラー３３Ｂからは、赤色成分の光と、緑色成分の光と、青色成分の光が合成されて照射レンズ１３の方へと導かれる。
【００８４】
このとき、制御装置７は液晶パネル３５，３６，３７を適宜制御して各色成分の位相ピッチをずらすようにする。このように、赤、緑、青の光成分につき３通りの相対位相関係下において、ＣＣＤカメラ４にて撮像された３通りの画像データに基づき、位相シフト法に基づいて（上記各式に基づいて）クリームハンダの高さを演算するようにしてもよい。上記のように、照明装置３に液晶パネル３５〜３７が使用されていることによって、縞状の光パターンを作成した場合に、その照度が理想的な正弦波に近いものが得られ、これにより、三次元計測の測定分解能が向上する。また、光パターンの位相シフトの制御を電気的に行うことができ、制御系のコンパクト化を図ることもできる。また、対比撮像として白色光を照射するときも、正弦波パターンを解消するだけで、つまり全照射するだけで、白色光を照射することが可能となる。かかる意味で、別途白色光用の照明装置当を用意しなくても済むというメリットも生じる。なお、上記例において、液晶パネル３５〜３７に代えて、格子縞板を用いることとしてもよい。
【００８５】
さらに、本実施の形態及び上記例では、対比撮像として白色光を照射して、対象物体の色に基づく反射率の成分を消去することとしているが、測定物体の色に基づく反射率が問題とならないような場合（例えば測定物体が１色のような場合）には、対比撮像（第２の撮像）を行わないこととしてもよい。この場合、画素点Ｐに関し撮像回数を１回にすることができ、計測時間のさらに一層の短縮化を図ることができる。
【００８６】
（第２の実施の形態）
次に、第２の実施の形態について図６等を参照しつつ説明する。但し、上述した第１の実施の形態と重複する部分については、同一の部材名称、同一の符号を用いる等してその説明を省略するとともに、以下には第１の実施の形態と相違する部分を中心として説明することとする。
【００８７】
図６に示すように、本実施の形態における照明装置４０は、光源１１と、光源１１からの光を集める集光レンズ１２と、照射レンズ１３と、両レンズ１２，１３間に配設された赤、緑、青及び赤外のフィルタ格子縞板１４，１５，１６，４１とを備えている。赤外フィルタ格子縞板４１は、外観は無色透明ではあるが、赤外成分についてのみ縞状に減衰させるようになっている。但し、その正弦波は、青色フィルタ格子縞板１６に比べてさらに位相が所定ピッチ（本実施の形態では「π／２」）ずれている。つまり、これら赤、緑、青及び赤外のフィルタ格子縞板１４，１５，１６は、互いに位相が所定ピッチずらされた状態で張り合わされている（勿論、相互に離間していても差し支えない）。さらには、１枚の格子縞板に、赤、緑、青色及び赤外の塗装（又は印刷）を施すとともに、当該塗装（又は印刷）に際し、各色等の位相が互いに所定ピッチずらされるように構成してもよい。上記の場合には、各色の度合いが必ずしも正弦波状とならなくとも矩形波状となっていても差し支えない（後述する第３の実施の形態においても同様）。
【００８８】
そして、光源１１から放たれた光は、集光レンズ１２、前記各色フィルタ格子縞板１４，１５，１６，４１、及び照射レンズ１２を経てカラー光パターンとしてプリント基板Ｋ上に照射されるようになっている。
【００８９】
なお、対比撮像に際しては、上記第１の実施の形態と同様、フィルタ格子縞板１４，１５，１６，４１が取り除かれた状態で、白色光がプリント基板Ｋ上に照射され、撮像されるようになっている。この場合、対比撮像に際しフィルタ格子縞板１４，１５，１６，４１を取り除く構成としてもよいし、別途の白色光用の照明装置を用いることとしてもよい。
【００９０】
また、前記ＣＣＤカメラ４は、前記第１〜第３のダイクロイックミラー２１，２２，２３及びそれらに対応する第１〜第３の撮像部２４，２５，２６に加えて、第４のダイクロイックミラー４２及び第４の撮像部４３を備えている。すなわち、第４のダイクロイックミラー（通常のミラーを用いてもよい）４２は、所定の波長域内（赤外線に対応）の光を反射し、第４の撮像部４３はその透過光を撮像する。
【００９１】
次に、本実施の形態において制御装置７によって行われる画像処理及び演算処理、並びに、比較判定処理について説明する。本実施の形態においても、制御装置７では、光パターンの位相が所定ピッチずつずれた各波長域での画像データ（本実施の形態では４画面の画像データ）に基づき、位相シフト法（縞走査法）の原理に基づいて検査エリア内の各部の反射面の高さを算出する。
【００９２】
すなわち、本実施の形態の如く赤色、緑色、青色、赤外のぞれぞれの位相を所定ピッチ（π／２）ずつずらした場合の画面上の点Ｐの光の強度Ｒｓ、Ｇｓ、Ｂｓ、Ｉｓは、それぞれ下式で与えられる。
【００９３】
Ｒｓ＝Ｍｒ（Ａsinθ＋Ｂ） ・・・（３ａ’）
Ｇｓ＝Ｍｇ｛Ａsin（θ＋π／２）＋Ｂ｝ ・・・（３ｂ’）
Ｂｓ＝Ｍｂ｛Ａsin（θ＋π）＋Ｂ｝ ・・・（３ｃ’）
Ｉｓ＝Ｍｉ｛Ａsin（θ＋３π／２）＋Ｂ｝ ・・・（３ｄ’）
但し、Ｍｉ：点Ｐでの赤外成分に対する反射率。
【００９４】
また、白色光を照射した場合の点Ｐの光の強度Ｒｗ、Ｇｗ、Ｂｗは、それぞれ下式で与えられる。
【００９５】
Ｒｗ＝Ｍｒ（Ａ＋Ｂ） ・・・（３ｅ’）
Ｇｗ＝Ｍｇ（Ａ＋Ｂ） ・・・（３ｆ’）
Ｂｗ＝Ｍｂ（Ａ＋Ｂ） ・・・（３ｇ’）
Ｉｗ＝Ｍｉ（Ａ＋Ｂ） ・・・（３ｈ’）
これら式（３ａ’）〜（３ｈ’）に基づき、Ｍｒ，Ｍｇ，Ｍｂ，Ｍｉを消去すると、下式（３ｉ’）が導き出される。
【００９６】
tanθ＝(Rs/Rw-Bs/Bw)／(Gs/Gw-Is/Iw) ・・・（３ｉ’）
かかる式（３ｉ’）より、下記式（３ｉ）が導き出される。
【００９７】
θ＝ARCTAN｛(Rs/Rw-Bs/Bw)／(Gs/Gw-Is/Iw)｝ ・・・（３ｉ）
このように演算された位置情報θを用いて、上記と同様にプリント基板Ｋ（クリームハンダ）上の点Ｐの高さＺが求められ、もってクリームハンダの印刷状態の良否が判定される。
【００９８】
このように、本実施の形態においても、上述した第１の実施の形態と同様の作用効果が奏される。また特に、画像データがそれぞれ４通りであるため、演算式の簡素化を図ることができ、かかる点で処理の高速化を図ることができる。
【００９９】
なお、上記例では、集光レンズ１２及び照射レンズ１３間に赤、緑、青、赤外のフィルタ格子縞板１４，１５，１６，４１を配設してなる照明装置４０を用いることとした。これに対し、例えば図７に示すような照明装置５０を用いることとしてもよい。すなわち、照明装置５０は、第１〜第３のダイクロイックミラー３１，３２Ａ，３２Ｂ，３３Ａ，３３Ｂ及びミラー３４、並びに、赤色、緑色、青色の各液晶パネル３５，３６，３７を備えているとともに、第４のダイクロイックミラー５１Ａ，５１Ｂ及び赤外液晶パネル５２を備えている。第４のダイクロイックミラー５１Ａ，５１Ｂは、所定の波長域内（赤外光に対応）の光を反射し、それ以外の波長域の光を透過する。（但し、第４の上流側のダイクロイックミラー５１Ａに代えて通常のミラーを用いてもよい）。
【０１００】
従って、光源１１から放たれた光は、集光レンズ１２を経た後、第１のダイクロイックミラー３１によってまず分光される。すなわち、赤色成分の光は、第１のダイクロイックミラー３１によって反射して赤色液晶パネル３５を透過して、ミラー３４へと導かれ、該ミラー３４にて反射して第２の下流側のダイクロイックミラー３２Ｂへと導かれる。一方、第１のダイクロイックミラー３１を透過した赤色以外の成分の光は、第２の上流側のダイクロイックミラー３２Ａの方へ導かれ、そこで、また分光される。このとき、緑色成分の光は、第２の上流側のダイクロイックミラー３２Ａによって反射して緑色液晶パネル３６を透過して、相対する第２の下流側のダイクロイックミラー３２Ｂへと導かれる。従って、第２の下流側のダイクロイックミラー３２Ｂからは、赤色成分の光と、緑色成分の光が第３の下流側ダイクロイックミラー３３Ｂの方へと導かれる。
【０１０１】
一方、第２の上流側のダイクロイックミラー３２Ａを透過した緑色以外の成分の光は、第３の上流側のダイクロイックミラー３３Ａの方へ導かれる。該第３の上流側のダイクロイックミラー３３Ａによって反射した青色成分の光は、青色液晶パネル３７を透過して、相対する第３の下流側のダイクロイックミラー３３Ｂへと導かれる。従って、第３の下流側のダイクロイックミラー３３Ｂからは、赤色成分の光と、緑色成分の光と、青色成分の光が合成されて照射レンズ１３の方へと導かれる。
【０１０２】
さらに、第３の上流側のダイクロイックミラー３３Ａを透過した青色以外の成分の光（ここでは赤外光）は、第４の上流側のダイクロイックミラー５１Ａの方へ導かれる。該第４の上流側のダイクロイックミラー５１Ａによって反射した赤外成分の光は、赤外液晶パネル５２を透過して、相対する第４の下流側のダイクロイックミラー５１Ｂへと導かれる。従って、第４の下流側のダイクロイックミラー５１Ｂからは、赤色成分の光と、緑色成分の光と、青色成分の光と、赤外成分の光が合成されて照射レンズ１３の方へと導かれる。
【０１０３】
このとき、制御装置７は液晶パネル３５，３６，３７、５２を適宜制御して各色成分の位相ピッチをずらすようにする。このように、赤、緑、青、赤外の光成分につき４通りの相対位相関係下において、ＣＣＤカメラ４にて撮像された４通りの画像データに基づき、位相シフト法に基づいて（上記各式に基づいて）クリームハンダの高さを演算するようにしてもよい。
【０１０４】
さらに、本実施の形態及び上記例では、対比撮像として白色光を照射して、対象物体の色に基づく反射率の成分を消去することとしているが、測定物体の色に基づく反射率が問題とならないような場合（例えば測定物体が１色のような場合）には、対比撮像を行わないこととしてもよい。この場合、画素点Ｐに関し撮像回数を１回にすることができ、計測時間のさらに一層の短縮化を図ることができる。
【０１０５】
（第３の実施の形態）
次に、第３の実施の形態について図８等を参照しつつ説明する。但し、上述した各実施の形態と重複する部分については、同一の部材名称、同一の符号を用いる等してその説明を省略するとともに、以下には上記各実施の形態と相違する部分を中心として説明することとする。
【０１０６】
図８に示すように、本実施の形態における照明装置６０は、光源１１と、光源１１からの光を集める集光レンズ１２と、照射レンズ１３と、両レンズ１２，１３間に配設された赤及び青のフィルタ格子縞板１４，１６とを備えている。赤色フィルタ格子縞板１４は、部位に応じて赤色の度合いが正弦波状（縞状）に変化しており、赤色の成分についてのみ縞状に減衰させるようになっている。また、青色フィルタ格子縞板１６は、部位に応じて青色の度合いが正弦波状（縞状）に変化しており、青色の成分についてのみ縞状に減衰させるようになっている。但し、その正弦波は、赤色フィルタ格子縞板１４に比べて位相が所定ピッチ（本実施の形態では例えば「α」）ずれている。
【０１０７】
そして、光源１１から放たれた光は、集光レンズ１２、前記各色フィルタ格子縞板１４，１６及び照射レンズ１２を経てカラー光パターンとしてプリント基板Ｋ上に照射されるようになっている。なお、対比撮像に際しては、フィルタ格子縞板１４，１６が取り除かれた状態で、白色光がプリント基板Ｋ上に照射されるようになっている。この場合、対比撮像に際しフィルタ格子縞板１４，１６を取り除く構成としてもよいし、別途の白色光用の照明装置を用いることとしてもよい。
【０１０８】
また、前記ＣＣＤカメラ４は、第１の実施の形態における前記第１、第３のダイクロイックミラー２１，２３及びそれらに対応する第１、第３の撮像部２４，２６を備えている。
【０１０９】
次に、本実施の形態において制御装置７によって行われる画像処理及び演算処理、並びに、比較判定処理について説明する。本実施の形態においても、制御装置７では、光パターンの位相が所定ピッチずれた各波長域での画像データ（本実施の形態では２画面分の画像データ）に基づき、位相シフト法（縞走査法）の原理に基づいて検査エリア内の各部の反射面の高さを算出する。但し、本実施の形態では、赤及び青の光パターンに関し、それぞれの光源１１の振幅及びオフセット成分が予め同じになるよう光源１１を調整しておく必要がある。また、これとともに、オフセット成分除去用の白色光の光源１１についても同様に振幅及びオフセット成分が予め同じ（Ａｒ＝Ａｂ，Ｂｒ＝Ｂｂ）になるよう光源１１を調整しておく必要がある。
【０１１０】
そして、このように調整した上で、本実施の形態の如く赤色、青色の位相を所定ピッチ（例えばα）ずらした場合の画面上の点Ｐの光の強度Ｒ０、Ｂ０は、それぞれ下式（４ａ）、（４ｂ）で与えられる［但し、位相を所定ピッチずらしクリームハンダを撮像した場合、クリームハンダの反射率が前記調整（光源補正）を行った場合と異なることが考えられるのでこの場合の反射率をそれぞれＭｒｒ、Ｍｂｂとする］。
【０１１１】
Ｒ０＝Ｍｒｒ（Ａｒ・ｓｉｎθ＋Ｂｒ） ・・・（４ａ）
Ｂ０＝Ｍｂｂ｛Ａｂ・ｓｉｎ（θ＋α）＋Ｂｂ｝ ・・・（４ｂ）
但し、Ａｒ：光源補正時の赤色成分の振幅、Ａｂ：光源補正時の青色成分の振幅、Ｂｒ：光源補正時の赤色成分のオフセット成分、Ｂｂ：光源補正時の青色成分のオフセット成分。
【０１１２】
また、白色光を照射した場合の点Ｐの光の強度Ｒ０ｈ、Ｂ０ｈは、それぞれ下式（４ｃ）、（４ｄ）で与えられる。
【０１１３】
Ｒ０ｈ＝Ｍｒｒ・Ｂｒ ・・・（４ｃ）
Ｂ０ｈ＝Ｍｂｂ・Ｂｂ ・・・（４ｄ）
これら式（４ａ）〜（４ｄ）に基づき、下式（４）が導き出される。
【０１１４】
θ＝ＡＲＣＴＡＮ｛Ｋ・ｓｉｎα／（１−Ｋ・ｃｏｓα）｝・・・（４）
但し、α≠０，π、 Ｋ＝（Ｒ０／Ｒ０ｈ−１）／（Ｂ０／Ｂ０ｈ−１）
特に、α＝π／２とした場合、上記式（４）より下記式（４ｅ）が導き出される。
【０１１５】
θ＝ARCTAN｛（Ｒ０／Ｒ０ｈ−１）／（Ｂ０／Ｂ０ｈ−１）｝…（４ｅ）
このように演算された位置情報θを用いて、上記と同様にプリント基板Ｋ（クリームハンダ）上の点Ｐの高さＺが求められ、もってクリームハンダの印刷状態の良否が判定される。
【０１１６】
このように、本実施の形態においても、上述した第１、第２の実施の形態と同様の作用効果が奏される。また特に、画像データがそれぞれ２通りであるため、位相の異なる光成分パターンの各波長域として全く別のもの（波長域の離れたもの同士）を採用することで、波長のオーバーラップによる悪影響を防止することができ、ひいては、正確な測定を行うことができる。
【０１１７】
なお、上記例では、集光レンズ１２及び照射レンズ１３間に赤、青のフィルタ格子縞板１４，１６を配設してなる照明装置６０を用いることとした。これに対し、例えば図９に示すような照明装置７０を用いることとしてもよい。すなわち、照明装置７０は、第１、及び第３のダイクロイックミラー３１，３３Ａ，３３Ｂ及びミラー３４、並びに、赤色、青色の各液晶パネル３５，３７を備えている。
【０１１８】
従って、光源１１から放たれた光は、集光レンズ１２を経た後、第１のダイクロイックミラー３１によってまず分光される。すなわち、赤色成分の光は、第１のダイクロイックミラー３１によって反射して赤色液晶パネル３５を透過して、ミラー３４へと導かれ、該ミラー３４にて反射して第３の下流側のダイクロイックミラー３３Ｂへと導かれる。一方、第１のダイクロイックミラー３１を透過した赤色以外の成分の光は、第３の上流側のダイクロイックミラー３３Ａの方へ導かれ、そこで、また分光される。このとき、青色成分の光は、第３の上流側のダイクロイックミラー３３Ａによって反射して青色液晶パネル３７を透過して、相対する第３の下流側のダイクロイックミラー３３Ｂへと導かれる。従って、第３の下流側のダイクロイックミラー３３Ｂからは、赤色成分の光と、青色成分の光が合成されて照射レンズ１３の方へと導かれる。
【０１１９】
このとき、制御装置７は液晶パネル３５，３７を適宜制御して各色成分の位相ピッチをずらすようにする。このように、赤、青の光成分につき２通りの相対位相関係下において、ＣＣＤカメラ４にて撮像された２通りの画像データに基づき、位相シフト法に基づいて（上記各式に基づいて）クリームハンダの高さを演算するようにしてもよい。なお、本実施の形態では、赤、青の光成分パターンを採用することとしたが、赤外線及び緑色、又は赤外線及び青色の光成分パターンであってもよい。また、赤外線及び赤色、赤色及び緑色、緑色及び青色の光成分パターンであってもよい。
【０１２０】
尚、上述した実施の形態の記載内容に限定されることなく、例えば次のように実施してもよい。
【０１２１】
（ａ）上記実施の形態における光成分パターンは、正弦波状の光強度分布を有するものであったが、縞状のものであれば、例えば鋸歯状、或いは、矩形波状の光強度分布を有する光パターンであってもよい。
【０１２２】
（ｂ）上記実施の形態では特に言及してはいないが、プリント基板Ｋにクリームハンダを印刷形成する工程と、上記実施の形態における印刷状態検査装置１を用いて良否判定を行う検査工程と、前記検査工程において良品判定されたものについてのみ実装を行うべくリフローを施すリフロー工程とを備えた基板の製造方法に具現化することも可能である。該製造方法によれば、検査に要する時間の短縮を図ることができることから、全体的な製造時間の低減を図ることができ、しかも不良品の発生を抑制することができる。
【０１２３】
（ｃ）上記各実施の形態では、α＝π／２とした場合を中心に説明しているが、これ以外にも、α＝（２／３）π、α＝（１／３）π、α＝（１／４）π、α＝（１／８）π、α＝（１／１６）πとしてもよい。
【０１２４】
（ｄ）上記実施の形態ではプリント基板Ｋに印刷形成されたクリームハンダの高さ等を計測する場合に具体化したが、他にもＩＣパッケージ（例えばリード）に印刷形成されたクリームハンダの高さ等を計測する場合にも具体化できる。さらに、他の計測対象物の高さ等を計測する場合に具体化してもよい。他の計測対象物としては、基板上に印刷された印刷物、積層体等が挙げられる。
【０１２５】
（ｅ）各実施の形態における各光成分パターンは、必ずしも厳密に赤、青、緑、赤外線等に区別する必要はない。要するに、波長域が異なっていればよいという趣旨であって、黄色（ＲＧ）、シアン（青緑）色等の中間色を有する光成分パターンであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態における三次元計測装置を具備する印刷状態検査装置を模式的に示す概略斜視図である。
【図２】第１の実施の形態におけるより詳細な三次元計測装置の構成を模式的に示す概略構成図である。
【図３】相対位相関係の異なる赤、緑、青の各フィルタの光強度分布の一例を示すグラフである。
【図４】照明装置からクリームハンダに対し合成照射される光パターンの例を示す図である。
【図５】第１の実施の形態の別の例の三次元計測装置の構成を模式的に示す概略構成図である。
【図６】第２の実施の形態におけるより詳細な三次元計測装置の構成を模式的に示す概略構成図である。
【図７】第２の実施の形態の別の例の三次元計測装置の構成を模式的に示す概略構成図である。
【図８】第３の実施の形態におけるより詳細な三次元計測装置の構成を模式的に示す概略構成図である。
【図９】第３の実施の形態の別の例の三次元計測装置の構成を模式的に示す概略構成図である。
【符号の説明】
１…三次元計測装置を具備する印刷状態検査装置、２…テーブル、３，３０，４０，５０，６０，７０…照射手段を構成する照明装置、４…撮像手段としてのＣＣＤカメラ、７…演算手段を構成する制御装置、１１…光源、１４…赤色フィルタ格子縞板、１５…緑色フィルタ格子縞板、１６…青色フィルタ格子縞板、手Ｋ…プリント基板、Ｃ…計測対象物を構成するクリームハンダ。
Claims (18)
- 少なくとも計測対象物に対し、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係の異なる少なくとも２つの光成分パターンを同時に照射可能な照射手段と、
前記光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像可能な撮像手段と、
前記異なる相対位相関係下において前記撮像手段にて撮像された少なくとも２通りの画像データ、及び、計測対象物の色合い等による反射率の影響を補正するための別途の補正用データに基づき、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さを演算する演算手段とを備え、
前記補正用データは、白色全照射された計測対象物からの反射光を撮像した画像データであることを特徴とする三次元計測装置。 - 少なくとも計測対象物に対し、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係の異なる少なくとも２つの光成分パターンを同時に照射可能な照射手段と、
前記光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像可能な撮像手段と、
前記異なる相対位相関係下において前記撮像手段にて撮像された少なくとも２通りの画像データ、及び、計測対象物の色合い等による反射率の影響を補正するための別途の補正用データに基づき、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さを演算する演算手段とを備え、
前記補正用データは、白色全照射された計測対象物からの反射光を、各光成分毎に分離して撮像した画像データであることを特徴とする三次元計測装置。 - 少なくとも計測対象物に対し、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係の異なる少なくとも２つの光成分パターンを同時に照射可能な照射手段と、
前記光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像可能な撮像手段と、
前記異なる相対位相関係下において前記撮像手段にて撮像された少なくとも２通りの画像データ、及び、計測対象物の色合い等による反射率の影響を補正するための別途の補正用データに基づき、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さを演算する演算手段とを備え、
前記照射手段は、前記少なくとも２つの光成分パターンの同時照射に際し、光源からの光を、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係の異なる各光成分パターンに一旦分離した上で合成して照射可能な液晶プロジェクタ機構を備えていることを特徴とする三次元計測装置。 - 前記補正用データは、白色全照射された計測対象物からの反射光を撮像した画像データであることを特徴とする請求項３に記載の三次元計測装置。
- 前記補正用データは、白色全照射された計測対象物からの反射光を、各光成分毎に分離して撮像した画像データであることを特徴とする請求項３に記載の三次元計測装置。
- 前記補正用データは、計測対象物からの反射光を、光成分毎に分離して撮像した画像データであることを特徴とする請求項１、３又は４に記載の三次元計測装置。
- 少なくとも計測対象物に対し、同一振幅及び同一オフセット成分の光源からの光に基づき、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係の異なる３つの光成分パターンを同時に照射して第１の照射を行うとともに、少なくとも計測対象物に対し、前記光源からの光に基づき白色の全照射たる第２の照射を行うことの可能な照射手段と、
前記第１の照射に基づく光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像する第１の撮像を行うとともに、前記第２の照射に基づく計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像する第２の撮像を行うことの可能な撮像手段と、
前記異なる相対位相関係下において前記撮像手段による第１の撮像に基づく３通りの画像データ、及び、前記第２の撮像に基づく画像データに基づき、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さを演算する演算手段と
を備えたことを特徴とする三次元計測装置。 - 前記第１の撮像に際しての前記互いに異なる相対位相関係をそれぞれ０、α、βとしたときの各光成分毎の前記３通りの画像データがそれぞれＲｓ、Ｇｓ、Ｂｓであり、前記第２の撮像に際しての各光成分毎の３通りの画像データがそれぞれＲｗ、Ｇｗ、Ｂｗであるとき、前記演算手段は、下記式（２）により位置情報θを求め、該位置情報θに基づき前記所定の高さを演算するものであることを特徴とする請求項７に記載の三次元計測装置。
- 前記互いに異なる波長成分を有する３つの光成分パターンは、それぞれ、赤色、緑色、青色の光成分パターンであることを特徴とする請求項７又は８に記載の三次元計測装置。
- 少なくとも計測対象物に対し、同一振幅及び同一オフセット成分の光源からの光に基づき、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係の異なる４つの光成分パターンを同時に照射して第１の照射を行うとともに、少なくとも計測対象物に対し、前記光源からの光に基づき白色の全照射たる第２の照射を行うことの可能な照射手段と、
前記第１の照射に基づく光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像する第１の撮像を行うとともに、前記第２の照射に基づく計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像する第２の撮像を行うことの可能な撮像手段と、
前記異なる相対位相関係下において前記撮像手段による第１の撮像に基づく４通りの画像データ、及び、前記第２の撮像に基づく画像データに基づき、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さを演算する演算手段と
を備えたことを特徴とする三次元計測装置。 - 前記第１の撮像に際しての前記互いに異なる相対位相関係をそれぞれ０、α、β、γとしたときの各光成分毎の前記４通りの画像データがそれぞれＲｓ、Ｇｓ、Ｂｓ、Ｉｓであり、前記第２の撮像に際しての各光成分毎の４通りの画像データがそれぞれＲｗ、Ｇｗ、Ｂｗ、Ｉｗであるとき、前記演算手段は、下記式（３）により位置情報θを求め、該位置情報θに基づき前記所定の高さを演算するものであることを特徴とする請求項１０に記載の三次元計測装置。
- 前記互いに異なる波長成分を有する４つの光成分パターンは、それぞれ、赤色、緑色、青色及び赤外線の光成分パターンであることを特徴とする請求項１０又は１１に記載の三次元計測装置。
- 少なくとも計測対象物に対し、同一振幅及び同一オフセット成分の光源からの光に基づき、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係の異なる２つの光成分パターンを同時に照射して第１の照射を行うとともに、少なくとも計測対象物に対し、前記光源からの光に基づき白色の全照射たる第２の照射を行うことの可能な照射手段と、
前記第１の照射に基づく光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像する第１の撮像を行うとともに、前記第２の照射に基づく計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像する第２の撮像を行うことの可能な撮像手段と、
前記異なる相対位相関係下において前記撮像手段による第１の撮像に基づく２通りの画像データ、及び、前記第２の撮像に基づく画像データに基づき、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さを演算する演算手段と
を備えたことを特徴とする三次元計測装置。 - 前記互いに異なる相対位相関係をαとしたときの前記第１の撮像に際しての各光成分毎の前記２通りの画像データがそれぞれＲ０、Ｂ０であり、前記第２の撮像に際しての各光成分毎の２通りの画像データがそれぞれＲ０ｈ、Ｂ０ｈであるとき、前記演算手段は、下記式（４）により位置情報θを求め、該位置情報θに基づき前記所定の高さを演算するものであることを特徴とする請求項１３に記載の三次元計測装置。
θ＝ＡＲＣＴＡＮ｛Ｋ・ｓｉｎα／（１−Ｋ・ｃｏｓα）｝・・・（４）
但し、α≠０，π、 Ｋ＝（Ｒ０／Ｒ０ｈ−１）／（Ｂ０／Ｂ０ｈ−１） - 前記互いに異なる波長成分を有する２つの光成分パターンは、それぞれ、赤色及び青色、赤外線及び緑色、又は赤外線及び青色の光成分パターンであることを特徴とする請求項１３又は１４に記載の三次元計測装置。
- 前記照射手段は、第１の照射に際し、光源からの光を、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係の異なる各光成分パターンに一旦分離した上で合成して照射可能な液晶プロジェクタ機構を備えていることを特徴とする請求項７乃至１５のいずれかに記載の三次元計測装置。
- 前記照射手段は、第１の照射に際し、光源からの光を、所定の波長成分について縞状に遮光するとともに残りの波長成分について全面的に透光を許容するフィルタ格子縞板を用いて、互いに相対位相関係の異なる各光成分パターンを同時に照射可能なフィルタ格子縞板機構を備えていることを特徴とする請求項７乃至１５のいずれかに記載の三次元計測装置。
- 前記光成分パターンは、略正弦波状の光強度分布を有することを特徴とする請求項１乃至１７のいずれかに記載の三次元計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000234718A JP3723057B2 (ja) | 2000-08-02 | 2000-08-02 | 三次元計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000234718A JP3723057B2 (ja) | 2000-08-02 | 2000-08-02 | 三次元計測装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002048523A JP2002048523A (ja) | 2002-02-15 |
| JP3723057B2 true JP3723057B2 (ja) | 2005-12-07 |
Family
ID=18727052
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000234718A Expired - Fee Related JP3723057B2 (ja) | 2000-08-02 | 2000-08-02 | 三次元計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3723057B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009092485A (ja) * | 2007-10-06 | 2009-04-30 | Djtech Co Ltd | 印刷半田検査装置 |
| WO2022209151A1 (ja) | 2021-03-30 | 2022-10-06 | 株式会社デンソーウェーブ | 三次元計測装置 |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3878033B2 (ja) * | 2002-02-28 | 2007-02-07 | シーケーディ株式会社 | 三次元計測装置 |
| JP4641889B2 (ja) * | 2005-07-19 | 2011-03-02 | シーケーディ株式会社 | 検査装置及び検査方法 |
| JP2007051893A (ja) * | 2005-08-16 | 2007-03-01 | Ricoh Co Ltd | 三次元形状計測方法及び三次元形状計測装置 |
| KR100612933B1 (ko) | 2005-12-14 | 2006-08-14 | 주식회사 고영테크놀러지 | 3차원 형상 측정장치 및 방법 |
| KR100612932B1 (ko) | 2005-12-14 | 2006-08-14 | 주식회사 고영테크놀러지 | 3차원 형상 측정장치 및 방법 |
| JP4808072B2 (ja) * | 2006-05-19 | 2011-11-02 | シーケーディ株式会社 | フィルタ格子縞板、三次元計測装置及び照明手段 |
| JP2009074970A (ja) * | 2007-09-21 | 2009-04-09 | Ryusyo Industrial Co Ltd | レンズメータ |
| KR101207198B1 (ko) | 2010-01-18 | 2012-12-03 | 주식회사 고영테크놀러지 | 기판 검사장치 |
| JP5443303B2 (ja) * | 2010-09-03 | 2014-03-19 | 株式会社サキコーポレーション | 外観検査装置及び外観検査方法 |
| JP2012202771A (ja) * | 2011-03-24 | 2012-10-22 | Fujitsu Ltd | 計測対象の３次元表面形状算出方法及び３次元表面形状計測装置 |
| JP5790446B2 (ja) * | 2011-11-28 | 2015-10-07 | 富士通株式会社 | 表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査装置 |
| JP2014202492A (ja) * | 2013-04-01 | 2014-10-27 | 株式会社ヒカリ | 光投影装置 |
| JP6364777B2 (ja) * | 2014-01-10 | 2018-08-01 | 凸版印刷株式会社 | 画像データ取得システム及び画像データ取得方法 |
| CN103837123B (zh) * | 2014-03-17 | 2016-05-18 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种光学元件偏心测量装置 |
| JP7294026B2 (ja) * | 2019-09-24 | 2023-06-20 | 株式会社デンソーウェーブ | 縞パターン画像決定方法 |
| JP7276166B2 (ja) * | 2020-01-14 | 2023-05-18 | 株式会社デンソーウェーブ | 三次元計測装置 |
| CN116839509A (zh) * | 2023-09-01 | 2023-10-03 | 南京信息工程大学 | 一种二值编码结合误差扩散算法的三维测量方法 |
-
2000
- 2000-08-02 JP JP2000234718A patent/JP3723057B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009092485A (ja) * | 2007-10-06 | 2009-04-30 | Djtech Co Ltd | 印刷半田検査装置 |
| WO2022209151A1 (ja) | 2021-03-30 | 2022-10-06 | 株式会社デンソーウェーブ | 三次元計測装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2002048523A (ja) | 2002-02-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3723057B2 (ja) | 三次元計測装置 | |
| JP3878033B2 (ja) | 三次元計測装置 | |
| JP3878023B2 (ja) | 三次元計測装置 | |
| US20100195114A1 (en) | Three-dimensional shape measuring apparatus, three-dimensional shape measuring method, three-dimensional shape measuring program, and recording medium | |
| JP3878165B2 (ja) | 三次元計測装置 | |
| WO2017010110A1 (ja) | 三次元計測装置 | |
| JP5847568B2 (ja) | 三次元計測装置 | |
| KR101659302B1 (ko) | 3차원 형상 측정장치 | |
| JP4011561B2 (ja) | 三次元計測装置 | |
| JP4808072B2 (ja) | フィルタ格子縞板、三次元計測装置及び照明手段 | |
| JP4256059B2 (ja) | 三次元計測装置 | |
| JP4030726B2 (ja) | はんだ印刷検査装置 | |
| JP3609325B2 (ja) | 三次元計測装置 | |
| JP3597484B2 (ja) | はんだ印刷検査装置 | |
| JP2014534420A (ja) | 基板検査装置の高さ情報生成方法 | |
| JP3723139B2 (ja) | 三次元計測装置 | |
| KR20080088946A (ko) | 입체 형상 검사 장치 및 그를 이용한 입체 형상 검사 방법 | |
| JP3906990B2 (ja) | 外観検査装置及び三次元計測装置 | |
| JP2002081924A (ja) | 三次元計測装置 | |
| KR20080089314A (ko) | 입체 형상 검사 장치 및 그를 이용한 입체 형상 검사 방법 | |
| WO2012073981A1 (ja) | 外観検査装置及び印刷半田検査装置 | |
| WO2020116028A1 (ja) | 投影装置及び三次元計測装置 | |
| JPH05249050A (ja) | 部品の外観検査装置 | |
| JPS63298105A (ja) | スリット光源装置 | |
| JP2000258119A (ja) | 位置測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040216 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040316 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040506 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050531 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050714 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050913 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050914 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3723057 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080922 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090922 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090922 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100922 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110922 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120922 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120922 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130922 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130922 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140922 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |