JP3878165B2 - 三次元計測装置 - Google Patents
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- ベース基板と、該ベース基板の表面を被覆し、平面をなす被膜と、被計測物とを備えた基板に対し、青色光及び紫外線のうち少なくとも一方のみを照射可能な照射手段と、
前記光の照射された基板からの反射光のうち、少なくとも前記照射手段にて照射された波長を撮像可能な撮像手段と、
該撮像手段にて撮像された画像データに基づき、前記被膜によって形成された平面を高さ基準とし、少なくとも被計測物の高さを演算する演算手段とを備えたことを特徴とする三次元計測装置。 - ベース基板と、該ベース基板の表面を被覆し、平面をなす被膜と、被計測物とを備えた基板に対し、紫外線のみを照射可能な照射手段と、
前記光の照射された基板からの反射光のうち、紫外線のみを撮像可能な撮像手段と、
該撮像手段にて撮像された画像データに基づき、前記被膜によって形成された平面を高さ基準とし、少なくとも被計測物の高さを演算する演算手段とを備えたことを特徴とする三次元計測装置。 - 前記基板はプリント基板であり、
前記演算手段は、前記被膜としてのレジスト膜の表面を高さ基準として、少なくとも前記被計測物としてのクリームはんだの高さを演算するものであり、
該クリームはんだの高さに基づき、その印刷状態の良否を判定する判定手段を設けたことを特徴とする請求項1または2に記載の三次元計測装置。 - 前記基板はウエハ基板であり、
前記演算手段は、前記被膜としての酸化膜の表面を高さ基準として、少なくとも前記被計測物としてのはんだバンプの高さを演算するものであり、
該はんだバンプの高さに基づき、その形状の良否を判定する判定手段を設けたことを特徴とする請求項1または2に記載の三次元計測装置。 - 前記演算手段は、1回の高さ演算に複数の画像データを用いるものであって、
前記照射手段は、前記複数の画像データを得るための撮像の度に、同一波長の光を照射することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の三次元計測装置。 - 前記照射手段は、250nm以上、かつ、430nm以下の波長の光を照射することを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の三次元計測装置。
- 前記照射手段は、60nm以内の波長域の光を照射することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の三次元計測装置。
- ベース基板と、該ベース基板上に形成された電極パターンと、前記ベース基板及び電極パターンの表面を被覆する被膜と、被計測物とを備えた基板に対し、赤色光及び赤外線のうち少なくとも一方のみを照射可能な照射手段と、前記光の照射された基板からの反射光のうち、少なくとも前記照射手段にて照射された波長を撮像可能な撮像手段と、該撮像手段にて撮像された画像データに基づき、前記電極パターンまたはベース基板を高さ基準とし、少なくとも被計測物の高さを演算する演算手段とを備えたことを特徴とする三次元計測装置。
- ベース基板と、該ベース基板上に形成された電極パターンと、前記ベース基板及び電極パターンの表面を被覆する被膜と、被計測物とを備えた基板に対し、赤外線のみを照射可能な照射手段と、前記光の照射された基板からの反射光のうち、赤外線のみを撮像可能な撮像手段と、該撮像手段にて撮像された画像データに基づき、前記電極パターンまたはベース基板を高さ基準とし、少なくとも被計測物の高さを演算する演算手段とを備えたことを特徴とする三次元計測装置。
- 前記基板はプリント基板であり、前記演算手段は、前記被膜としてのレジスト膜下の電極パターンまたはベース基板を高さ基準として、少なくとも前記被計測物としてのクリームはんだの高さを演算するものであり、該クリームはんだの高さに基づき、その印刷状態の良否を判定する判定手段を設けたことを特徴とする請求項8または9に記載の三次元計測装置。
- 前記基板はウエハ基板であり、前記演算手段は、前記被膜としての酸化膜の下のウエハ面を基準として、少なくとも前記被計測物としてのはんだバンプの高さを演算するものであり、該はんだバンプの高さに基づき、その形状の良否を判定する判定手段を設けたことを特徴とする請求項8または9に記載の三次元計測装置。
- 前記演算手段は、1回の高さ演算に複数の画像データを用いるものであって、前記照射手段は、前記複数の画像データを得るための撮像の度に、同一波長の光を照射することを特徴とする請求項8乃至11のいずれかに記載の三次元計測装置。
- 前記照射手段は、680nm以上、かつ、1500nm以下の波長の光を照射することを特徴とする請求項8乃至12のいずれかに記載の三次元計測装置。
- 前記照射手段は、60nm以内の波長域の光を照射することを特徴とする請求項8乃至13のいずれかに記載の三次元計測装置。
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