JP5191089B2 - 基板の検査装置 - Google Patents
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Description
前記検査手段は、前記長波長可視光の照射によって取得される画像データに基づき、前記基板上に設けられ前記ハンダ相当物周囲に位置する電極領域を抽出しマスキングした上で、前記ハンダ相当物の領域抽出を実行することを特徴とする基板の検査装置。
前記長波長可視光照射手段は、590nm以上680nm以下の範囲にピーク波長をもつ橙色乃至赤色光を照射することを特徴とする基板の検査装置。
前記長波長可視光照射手段は、520nm以上570nm以下の範囲にピーク波長をもつ緑色光を照射することを特徴とする基板の検査装置。
前記紫色光照射手段は、430nmを上回り440nmを下回る範囲にピーク波長をもつ紫色光を照射することを特徴とする基板の検査装置。
前記紫色光照射手段は、435nmにピーク波長をもつ紫色光を照射することを特徴とする基板の検査装置。
前記検査手段は、前記画像データに基づき、前記ハンダ相当物の領域を抽出した上で、その面積計測、及び、計測値の判定、位置ずれ判定、ブリッジの有無判定のうち少なくとも1つの判定を実行可能であることを特徴とする基板の検査装置。
前記検査手段は、さらに、前記画像データに基づき、前記ハンダ相当物の領域を抽出した上で、その高さ計測を行うことにより三次元計測を実行する三次元計測手段を具備し、当該三次元計測結果に基づき、前記ハンダ相当物の量及び高さのうち少なくとも一方について良否判定を実行することを特徴とする基板の検査装置。
Claims (9)
- ハンダ相当物の設けられてなる基板に対し、ハンダ相当物とレジストとを区別してハンダ相当物を抽出するために、斜め方向から420nmを上回り450nmを下回る範囲にピーク波長をもつ紫色光を照射可能な紫色光照射手段と、前記基板のほぼ真上に設けられ、前記紫色光の照射された前記基板からの反射光に基づく撮像を行う撮像手段と、前記撮像手段による撮像において取得される画像データに基づき、前記ハンダ相当物の領域を抽出した上で所定の検査を行う検査手段とを具備することを特徴とする基板の検査装置。
- ハンダ相当物の設けられてなる基板に対し、ハンダ相当物とレジストとを区別してハンダ相当物を抽出するために、斜め方向から420nmを上回り450nmを下回る範囲にピーク波長をもつ紫色光を照射可能な紫色光照射手段と、前記基板に対し、前記紫色光照射手段よりも小さな入射角で、520nm以上680nm以下の範囲にピーク波長をもつ長波長可視光を照射可能な長波長可視光照射手段と、前記基板のほぼ真上に設けられ、前記紫色光の照射された前記基板からの反射光、及び、前記長波長可視光の照射された前記基板からの反射光に基づく撮像を行う撮像手段と、前記撮像手段による撮像において取得される画像データに基づき、前記ハンダ相当物の領域を抽出した上で所定の検査を行う検査手段とを具備することを特徴とする基板の検査装置。
- 請求項2に記載の検査装置において、
前記検査手段は、前記長波長可視光の照射によって取得される画像データに基づき、前記基板上に設けられ前記ハンダ相当物周囲に位置する電極領域を抽出しマスキングした上で、前記ハンダ相当物の領域抽出を実行することを特徴とする基板の検査装置。 - 請求項2又は3に記載の検査装置において、
前記長波長可視光照射手段は、590nm以上680nm以下の範囲にピーク波長をもつ橙色乃至赤色光を照射することを特徴とする基板の検査装置。 - 請求項2又は3に記載の検査装置において、
前記長波長可視光照射手段は、520nm以上570nm以下の範囲にピーク波長をもつ緑色光を照射することを特徴とする基板の検査装置。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載の検査装置において、
前記紫色光照射手段は、430nmを上回り440nmを下回る範囲にピーク波長をもつ紫色光を照射することを特徴とする基板の検査装置。 - 請求項1乃至6のいずれかに記載の検査装置において、
前記紫色光照射手段は、435nmにピーク波長をもつ紫色光を照射することを特徴とする基板の検査装置。 - 請求項1乃至7のいずれかに記載の検査装置において、
前記検査手段は、前記画像データに基づき、前記ハンダ相当物の領域を抽出した上で、その面積計測、及び、計測値の判定、位置ずれ判定、ブリッジの有無判定のうち少なくとも1つの判定を実行可能であることを特徴とする基板の検査装置。 - 請求項1乃至8のいずれかに記載の検査装置において、
前記検査手段は、さらに、前記画像データに基づき、前記ハンダ相当物の領域を抽出した上で、その高さ計測を行うことにより三次元計測を実行する三次元計測手段を具備し、当該三次元計測結果に基づき、前記ハンダ相当物の量及び高さのうち少なくとも一方について良否判定を実行することを特徴とする基板の検査装置。
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