JP4490468B2 - 半田印刷検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、基板上に印刷された半田を検査するための半田印刷検査装置に関するものである。

一般に、プリント基板上に電子部品を実装する場合、まずプリント基板上に配設された所定の電極パターン上にクリーム半田が印刷される。ここで、クリーム半田の印刷は、電極パターンに対応する複数の孔が形成されたシルクスクリーンを用いて、スクリーン印刷をすることで行われる。クリーム半田が印刷されたプリント基板上には、該クリーム半田の粘性に基づいて電子部品が仮止めされる。その後、前記プリント基板がリフロー炉へ導かれ、所定のリフロー工程を経ることで半田付けが行われる。昨今では、リフロー炉に導かれる前段階において半田の印刷状態の検査が行われる。

ここで、シルクスクリーンには、製作誤差や経時的な伸縮等が生じてしまうおそれがあり、シルクスクリーン上に形成された孔の位置と、プリント基板上の電極パターンの位置とを完全に一致させることは困難である。このため、電極パターンからずれた位置に半田が印刷されてしまうおそれがある。そこで、設計データ上の半田の印刷位置（理想的な印刷位置）に対する基板上に印刷された全半田の平行移動ずれ量の総和が最小となるようなシルクスクリーンのシフト量を求め、当該シフト量に基づいて印刷位置の補正を行う技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００６−５２３８号公報

しかしながら、上記技術を用いた場合、半田のサイズの大小に関わらず、一様にシフト量が決定されてしまう。そのため、比較的小さな電極パターンに印刷される比較的小さな半田については、電極パターンに対して相対的に大きくずれた位置に印刷されてしまうおそれがある。その結果、電極パターン上に半田が印刷されなかったり、半田が電極パターンを連結するように印刷されてしまったりする（ブリッジ）等の不具合が発生してしまい、生産品質の低下、及び、歩留まりの低下を招いてしまうことが懸念される。また、特に電極パターンが小型化されたり、電極パターン間の距離が非常に狭められたりした昨今のプリント基板においては、ブリッジ等の発生頻度が一層増大してしまい、生産品質及び歩留まりの低下が一層懸念されるところである。

本発明は、上記事情を鑑みてなされたものであり、その目的は、半田の印刷不良を効果的に抑制することで、生産品質及び歩留まりの向上を図ることができる半田印刷検査装置を提供することにある。

以下、上記目的を解決するのに適した各手段につき、項分けして説明する。なお、必要に応じて対応する手段に特有の作用効果を付記する。

手段１．半田印刷機によって基板上に印刷された半田に対し、光を照射可能な照射手段と、
前記光の照射された前記半田を撮像可能な撮像手段と、
当該撮像手段によって撮像された画像データに基づき、前記基板上の所定の複数の半田について、実際に印刷された半田領域である実半田領域を抽出する画像処理手段と、
設計データ上又は製造データ上における半田領域である理想半田領域に基づいて、前記所定の複数の半田に対応させて、前記基板上における前記理想半田領域の位置を示す理想半田位置情報、及び、前記理想半田領域のサイズを示す理想半田サイズを生成する理想半田情報生成手段とを備えた半田印刷検査装置であって、
前記画像処理手段は、前記実半田領域に基づいて、前記基板上における前記実半田領域の位置を示す実半田位置情報を生成するとともに、
前記理想半田サイズに対する、前記理想半田位置情報と前記実半田位置情報との位置ずれ量の程度を示す印刷ずれ率を前記所定の複数の半田についてそれぞれ生成し、
当該印刷ずれ率に基づいて補正値を演算し、前記半田印刷機に対し、半田印刷位置に関する補正値信号を出力することを特徴とする半田印刷検査装置。

尚、「所定の複数の半田」とは、検査の対象としてオペレータ等により選択された複数の半田を意味するものであり、当該所定の複数の半田は、基板上に設けられる全ての半田であってもよいし、一部の半田であってもよい。また、「（実）又は（理想）半田位置情報」とは、基板に対する半田領域の相対的な位置を表すものであり、例えば、半田領域の中心や重心、半田領域に外接する矩形の中心や重心、基板に対して半田領域が占める範囲等を表すものである。加えて、「理想半田サイズ」とは、理想的な印刷状態における半田のサイズを意味するものであり、例えば、理想半田領域のＸ軸方向やＹ軸方向に沿った辺の長さ、対角線の長さ、面積、体積、輪郭長等が挙げられる。また、「位置ずれ量」としては、例えば、両半田位置情報（中心や重心）間のＸ軸方向やＹ軸方向に沿った距離、両半田位置情報間の直線距離、理想半田領域からはみ出して印刷された実半田領域の面積等が挙げられる。さらに、「印刷ずれ率」としては、例えば、位置ずれ量を理想半田サイズで除算した値の絶対値や当該絶対値を所定の関数（例えば、メンバーシップ関数等）に代入して得た値等を挙げることができる。

上記手段１によれば、単なる「理想半田位置情報」と「実半田位置情報」との「位置ずれ量」によってではなく、「印刷ずれ率」に基づいて、半田印刷機の印刷位置に関する補正値が演算される。すなわち、「位置ずれ量」という絶対的な量によってではなく、印刷される半田のサイズ（理想半田サイズ）に対するずれの程度という相対的な量によって（フィードバックの）補正値が決定される。これにより、印刷される半田のサイズを鑑みての補正を行うことができるため、各電極パターンに対して各半田をより正確に、ずれの程度が比較的少ない状態で印刷することができる。特に、比較的小さなサイズの半田については、電極パターンから大きくずれて印刷されてしまうという事態を効果的に防止することができるため、生産品質及び歩留まりの向上を図ることができる。

また、補正後において印刷される半田は、必ずしも予定された位置に印刷されるわけではなく、ある程度ずれた位置に印刷されてしまうことも懸念される。しかしながら、本手段１によれば、所定の複数の半田に関しては、電極パターンに対しての各半田のずれの程度が致命的でない程度に補正され得る。このため、ブリッジ等の不具合が発生してしまうことを効果的に抑制することができる。

手段２．前記実半田位置情報は、前記基板に対する前記実半田領域の相対位置を示す座標に関する情報であるとともに、前記理想半田位置情報は、前記基板に対する前記理想半田領域の相対位置を示す座標に関する情報であり、
前記位置ずれ量は、前記両座標間の長さ情報であるとともに、前記理想半田サイズは、前記両座標間の長さ情報に対応する前記理想半田領域の長さ情報であることを特徴とする手段１に記載の半田印刷検査装置。

尚、「前記理想半田サイズは、前記両座標間の長さ情報に対応する前記理想半田領域の長さ情報」とあるのは、例えば、前記両座標間の長さ情報として、両座標間のＸ軸（Ｙ軸）方向に沿った長さが生成される場合には、「理想半田サイズ」として、前記Ｘ軸（Ｙ軸）に対応して理想半田領域のＸ軸（Ｙ軸）方向に沿った長さが生成されるということである。

上記手段２によれば、「実半田位置情報」として、実半田領域の中心座標等の座標に関する情報が生成され、「理想半田位置情報」として、理想半田領域の中心座標等の座標に関する情報が生成される。また、「位置ずれ量」として、両座標間のＸ軸方向やＹ軸方向に沿った長さや、両座標間の距離等の長さ情報が生成される。さらに、「理想半田サイズ」としては、前記両座標間の長さ情報に対応する理想半田領域の長さ情報が生成される。これにより、「印刷ずれ率」が半田領域の長さ情報の面から特定されることとなり、上記手段１の作用効果がより確実に奏されることとなる。

手段３．前記実半田位置情報は、前記基板に対する前記実半田領域の相対的な範囲に関する情報であるとともに、前記理想半田位置情報は、前記基板に対する前記理想半田領域の相対的な範囲であり、
前記位置ずれ量は、前記実半田領域の相対的な範囲のうち、前記理想半田領域の相対的な範囲からはみ出した部分の面積であるとともに、前記理想半田サイズは、前記理想半田領域の面積であることを特徴とする手段１又は２に記載の半田印刷検査装置。

上記手段３によれば、理想半田領域の面積に対する、理想半田領域からはみ出して印刷された実半田領域の面積の程度が「印刷ずれ率」とされる。これにより、「印刷ずれ率」が半田領域の面積に着目して特定されることとなり、上記手段１等の作用効果がより確実に奏されることとなる。

手段４．前記画像処理手段は、前記理想半田位置情報を所定の更新量ずつ順次更新してシフト量を求め、かつ、
前記各シフト量に対応する前記位置ずれ量を生成するとともに、当該位置ずれ量の生成毎に、前記印刷ずれ率を前記所定の複数の半田についてそれぞれ生成し、
前記印刷ずれ率のうち、特定の条件を満たす場合の前記シフト量に基づいて、前記補正値を決定することを特徴とする手段１乃至３のいずれかに記載の半田印刷検査装置。

尚、「所定の更新量」とは、基板上の電極パターンの配置や基板の形状等に基づいてオペレータ等により任意に設定されるものであり、また、「更新」は、例えば、Ｘ軸方向やＹ軸方向へ所定の更新量ずつ更新されたり、プリント基板の中心等を回転中心として所定の更新量（角度）ずつ更新されたりすること等で行われる。加えて、「シフト量」とは、例えば、ある基準点からの更新量の総和を意味する。より詳しくは、ある基準点を「０」としたとき、Ｘ軸方向に「０．１ｍｍ」ずつ３度更新し、Ｙ軸方向に「０．１ｍｍ」ずつ２度更新したときのシフト量は、基準点から「Ｘ軸方向に０．３ｍｍ」、「Ｙ軸方向に０．２ｍｍ」移動した量或いは移動させるべき量がシフト量とされる。

上記手段４によれば、「理想半田位置情報」が所定の更新量ずつ順次更新して、その都度「シフト量」が求められる。また、各「シフト量」に対応する「位置ずれ量」が生成され、当該「位置ずれ量」から「印刷ずれ率」が生成される。換言すれば、「理想半田位置情報」が徐々に（所定更新量ずつ）更新されるとともに、更新の都度、「印刷ずれ率」が生成され、また、当該「印刷ずれ率」を生成する際の「シフト量」が求められるということである。これにより、例えば、所定の演算プログラムを設定しておくことで、いわば自動的に「シフト量」を求めることができ、制御内容のさほどの複雑化を伴うことなく、上記効果を奏せしめることができる。

尚、「特定の条件」とは、各半田の印刷ずれ率を比較的小さくすることができる条件であることを意味するものである。ここで「特定の条件」としては、例えば、後述する手段５や手段７に示す態様を挙げることができる。

手段５．前記各シフト量に対応する前記所定の複数の半田の印刷ずれ率のうち最大の印刷ずれ率について、当該最大の印刷ずれ率が最小となる際のシフト量を求め、そのシフト量に基づいて前記補正値を決定することを特徴とする手段４に記載の半田印刷検査装置。

上記手段５によれば、各「シフト量」に対応する所定の複数の半田の「印刷ずれ率」のうち「最大の印刷ずれ率」について、当該「最大の印刷ずれ率」が最小となる際の「シフト量」が求められ、その「シフト量」に基づいて前記補正値が決定される。すなわち、所定の複数の半田のうち、「印刷ずれ率」が最大の（最もずれの程度が大きい）半田に着目して、この半田のずれの程度が最も小さくなるときの「シフト量」に基づいて補正が行われる。これにより、最もずれの影響を受けやすかった半田についても、比較的小さな「印刷ずれ率」の範囲内で印刷されることとなり、ひいてはその他の半田をより小さな「印刷ずれ率」の範囲内で印刷することができる。その結果、生産品質及び歩留まりの更なる向上を図ることができる。

手段６．前記各シフト量に対応する前記所定の複数の半田の印刷ずれ率のうち最大の印刷ずれ率について、当該最大の印刷ずれ率のうちの最小値が所定数値以上である場合には、前記基板を不良として判定し、前記半田印刷機に対し不良信号を出力することを特徴とする手段５に記載の半田印刷検査装置。

上記手段６によれば、所定の複数の半田の「印刷ずれ率」のうち「最大の印刷ずれ率」について、当該「最大の印刷ずれ率」のうち最小値が所定数値以上である場合には、基板を不良として判定し、半田印刷機に対し不良信号が出力される。すなわち、たとえ半田印刷位置の補正を行ったとしても、依然として半田印刷位置が大きくずれてしまうような場合には、補正処理自体を行うことなく、半田印刷機に対して不良信号を出力する。これにより、不良基板の生産を効果的に防止することができ、ひいては歩留まりの一層の向上を図ることができる。

手段７．前記各シフト量に対応する前記所定の複数の半田の印刷ずれ率について、所定の閾値以上の前記印刷ずれ率が所定数以下となる際のシフト量を求め、そのシフト量に基づいて前記補正値を決定することを特徴とする手段４乃至６のいずれかに記載の半田印刷検査装置。

上記手段７によれば、各「シフト量」に対応する所定の複数の半田の「印刷ずれ率」について、所定の閾値以上の「印刷ずれ率」が所定数以下となる際の「シフト量」を求め、その「シフト量」に基づいて前記補正値が演算される。すなわち、印刷ずれの程度が比較的大きな半田の数が比較的少なくなるようにして補正が行われる。これにより、全体的にずれの程度が少ない状態で半田が印刷されることとなり、生産品質及び歩留まりのより一層の向上を図ることができる。

手段８．前記シフト量を求める際の前記理想半田位置情報の更新は、所定範囲内においてのみ行われることを特徴とする手段４乃至７のいずれかに記載の半田印刷検査装置。

上記手段８によれば、「理想半田位置情報」の更新は、所定範囲内においてのみ行われる。このため、無駄な範囲を更新することによって、無駄なシフト量が求められることがなくなる。その結果、処理の高速化を図ることができ、ひいては生産効率の向上を図ることができる。

手段９．前記所定の複数の半田には、前記基板を複数のブロックに区画した上で、各ブロックにおける少なくとも最小サイズの半田が含まれることを特徴とする手段１乃至８のいずれかに記載の半田印刷検査装置。

比較的小さなサイズの半田は、比較的小さな位置ずれ量であっても、電極パターンから相対的に大きくずれて印刷されてしまい、ひいては当該印刷不良によって基板全体が不良となってしまうおそれがある。このため、比較的大きなサイズの半田と比較して、比較的小さなサイズの半田は、より一層正確に電極パターンに対して印刷される必要がある。この点、本手段９によれば、所定の複数の半田として、基板を複数のブロックに区画したときの各ブロック内における少なくとも最小サイズの半田が含まれている。このため、比較的小さなサイズの半田をより正確に印刷することができるため、基板全体が不良となってしまうおそれを抑制でき、結果として、歩留まりの飛躍的な向上を図ることができる。

手段１０．前記理想半田情報生成手段は、複数種のパラメータについて、複数の前記理想半田位置情報を生成し、
前記画像処理手段は、前記複数のパラメータに対応するパラメータについて、複数の前記実半田位置情報を生成するとともに、
前記所定の複数の半田について、前記パラメータ毎に複数の前記位置ずれ量及び前記印刷ずれ率を生成することを特徴とする手段１乃至９のいずれかに記載の半田印刷検査装置。

尚「パラメータ」とは、理想（実）半田位置情報を示す各種のデータをいうものであり、例えば、上記手段１で挙げた半田領域の中心や重心等を意味するものである。

上記手段１０によれば、複数種のパラメータについて、「理想半田位置情報」及び「実半田位置情報」が生成され、各パラメータについて生成された複数の「印刷ずれ率」に基づいて半田印刷機に補正値信号が出力される。これにより、「印刷ずれ率」を種々のパラメータから多面的に評価できるため、半田のずれの程度をより正確に把握することができる。その結果、単一のパラメータで生成された「印刷ずれ率」に基づいて補正を行う場合と比較して、より正確に印刷位置の補正を行うことができ、生産品質及び歩留まりの一層の向上を図ることができる。

以下に、実施形態について図面を参照しつつ説明する。
〔第１実施形態〕
図１は、本実施形態における半田印刷検査装置１を模式的に示す概略構成図である。同図に示すように、半田印刷検査装置１は、プリント基板Ｋを載置するための載置台２と、プリント基板Ｋの表面に対し所定の光を斜め上方から照射するための照射手段３と、プリント基板Ｋ上の前記光が照射された領域を撮像するための撮像手段としてのＣＣＤカメラ４とを備えている。また、半田印刷検査装置１は、制御装置５を備えており、当該制御装置５は、前記照射手段３やＣＣＤカメラ４等の制御を行うとともに、プリント基板Ｋにクリーム半田を印刷するための半田印刷機１５（図２参照）に対して所定のフィードバック信号を出力するようになっている。

尚、本実施形態では、前記半田印刷機１５によって、プリント基板Ｋ上のサイズの種々異なる電極パターン６に対してサイズの種々異なるクリーム半田（以下、単に「半田」と称す）７が印刷される（図３参照；尚、図３はプリント基板Ｋの一部のみを示す）。すなわち、半田印刷機１５は、プリント基板Ｋ上の電極パターン６に対応する位置に複数の孔が形成されたスクリーンマスク（図示せず）を備えており、当該スクリーンマスクを用いてプリント基板Ｋに対して半田７をスクリーン印刷できるようになっている。また、プリント基板Ｋには図示しない複数のマークが設けられており、当該マークに基づいて半田７の印刷時におけるプリント基板Ｋの位置合わせ等が行われるようになっている。そして、半田印刷機１５においては、前記フィードバック信号に基づいて、スクリーンマスクとプリント基板Ｋとの間での相対位置関係が調節できるようになっている。

図１に示す半田印刷検査装置１の説明に戻り、前記載置台２には、回転軸がそれぞれ直交するモータ８，９が設けられている。当該モータ８，９が前記制御装置５によって駆動制御されることによって、載置台２に載せられたプリント基板Ｋが任意の方向（Ｘ軸方向及びＹ軸方向）へスライド移動させられるようになっている。これにより、ＣＣＤカメラ４の視野を移動させることができるようになっている。

照射手段３は、所定の光をプリント基板Ｋに対して照射可能なものであり、ＣＣＤカメラ４は、前記照射手段３によって光の照射されたプリント基板Ｋを撮像するものである。当該ＣＣＤカメラ４によって撮像された撮像データは、後述する画像処理手段１３に対して伝送されることとなっている。本実施形態において、画像データとしてプリント基板Ｋからの反射光についての輝度データが伝送される。尚、輝度データに代えて、撮像データとして、プリント基板Ｋの色データや高さデータ等を伝送することとしてもよい。

次に、図２に基づいて制御装置５について説明する。制御装置５は、記憶媒体１１と、理想半田情報生成手段１２と、画像処理手段１３とを備えている。

記憶媒体１１には、プリント基板Ｋについての設計データや製造データが記憶されている。本実施形態において、当該記憶媒体１１には、設計データや製造データとして、プリント基板Ｋ上の電極パターン６の位置や大きさ、半田７の印刷予定位置、理想的な印刷状態における半田７のサイズ（例えば、半田７の辺の長さ、面積、輪郭長、対角線の長さ、体積等）、プリント基板Ｋの大きさ、及び、プリント基板Ｋ上のマークの位置等が記憶されている。

理想半田情報生成手段１２は、前記記憶媒体１１に記憶された設計データ上或いは製造データ上の各半田の半田領域である理想半田領域から、オペレータ等が選択した所定の複数の半田について、各理想半田領域の位置を示す「理想半田位置情報」と、理想半田領域のサイズを示す「理想半田サイズ」とを生成するようになっている。ここで、理想半田情報生成手段１２は、予め設定された基準点及び座標軸（平面位置を示すＸ軸及びＹ軸）を用いて「理想半田位置情報」及び「理想半田サイズ」を生成するようになっている。また、理想半田情報生成手段１２は、設計データ上或いは製造データ上におけるプリント基板Ｋのマーク位置（「理想マーク位置」という）を抽出できるようになっている。尚、「所定の複数の半田」は、プリント基板Ｋ上の全ての半田であってもよいし、一部の半田であってもよい。

本実施形態においては、「理想半田位置情報」として、理想半田領域の中心座標（Ｌｘ，Ｌｙ）が生成されるようになっている。尚、「理想半田位置情報」として、例えば、理想半田領域の重心、理想半田領域に外接する矩形の重心や中心、或いは、理想半田領域の基板に対する相対的な範囲等を生成することとしてもよい。

加えて、本実施形態においては、「理想半田サイズ」として、理想半田領域のＸ軸方向に沿った長さ「Ｘ_L」、及び、Ｙ軸方向に沿った長さ「Ｙ_L」が生成されるようになっている。尚、「理想半田サイズ」として、例えば、理想半田領域の面積、輪郭長、対角線の長さ等を生成することとしてもよい。

加えて、理想半田情報生成手段１２は、生成された「理想半田位置情報」、「理想半田サイズ」、及び、「理想マーク位置」を前記画像処理手段１３に対して伝送するようになっている。

画像処理手段１３は、前記ＣＣＤカメラ４によって撮像された撮像データに基づいて、前記所定の複数の半田に対応（該当）する各半田７について、その半田領域である実半田領域を抽出できるようになっている。本実施形態においては、前記撮像データに対し、所定の輝度値を閾値として二値化処理を行うことで、実半田領域を抽出できるようになっている。また、画像処理手段１３は、前記撮像データからプリント基板Ｋ上のマーク位置（「実マーク位置」という）を抽出できるようになっている。

さらに、画像処理手段１３は、前記実半田領域に基づいて、当該実半田領域の位置を示す「実半田位置情報」を生成するようになっている。ここで、画像処理手段１３は、予め設定された基準点及び座標軸（平面位置を示すＸ軸及びＹ軸）を用いて「実半田位置情報」を生成するようになっており、本実施形態における「実半田位置情報」としては、実半田領域の中心座標（ｘ，ｙ）が生成されるようになっている。尚、「実半田位置情報」として、例えば、実半田領域の重心、実半田領域に外接する矩形の重心や中心、或いは、実半田領域の基板に対する相対的な範囲等を生成することとしてもよい。

さらに、画像処理手段１３は、前記「実マーク位置」及び前記「理想マーク位置」を重ね合わせることで、「実半田位置情報」及び「理想半田位置情報」の座標を整合させるようになっている。尚、座標の整合をとることによって、上述した「理想半田位置情報（Ｌｘ，Ｌｙ）」や「実半田位置情報（ｘ，ｙ）」がＸ軸方向やＹ軸方向にずれることがあるが、本実施形態ではこれ以降、説明の便宜上、整合後における「理想半田位置情報」を（Ｌｘ，Ｌｙ）として表示し、整合後における「実半田位置情報」を（ｘ，ｙ）として表示することとする。

座標の整合後において、画像処理手段１３は、「実半田位置情報」と「理想半田位置情報」との「位置ずれ量」を算出するようになっている。本実施形態においては、前記「位置ずれ量」として、「実半田位置情報（ｘ，ｙ）」及び「理想半田位置情報（Ｌｘ，Ｌｙ）」間のＸ軸方向に沿った位置ずれ量「Δｘ（＝ｘ−Ｌｘ）」と、Ｙ軸方向に沿った位置ずれ量「Δｙ（＝ｙ−Ｌｙ）」とが生成されるようになっている。尚、「位置ずれ量」としては、他にも両半田位置情報間の直線距離や、理想半田領域からはみ出して印刷された実半田領域の面積等を生成することとしてもよい。

さらに、画像処理手段１３は、前記「位置ずれ量」を前記「理想半田サイズ」で除算した数値の絶対値である「印刷ずれ率」を生成するようになっている。本実施形態においては、「位置ずれ量Δｘ」を「理想半田サイズＸ_L」で除算した数値の絶対値「｜Δｘ／Ｘ_L｜」、及び、「位置ずれ量Δｙ」を「理想半田サイズＹ_L」で除算した数値の絶対値「｜Δｙ／Ｙ_L｜」が「印刷ずれ率」として算出されるようになっている。すなわち、「Ｘ軸方向に沿った印刷ずれ率」及び「Ｙ軸方向に沿った印刷ずれ率」がそれぞれ生成されるようになっている。

また、画像処理手段１３は、「理想半田位置情報」を所定の範囲内で所定の更新量ずつ順次更新するとともに、更新毎に「シフト量」を求めるようになっている。また、各「シフト量」に対応する「位置ずれ量」及び「印刷ずれ率」をそれぞれ生成（演算、算出）可能となっている。換言すれば、「理想半田位置情報」を徐々に（所定更新量ずつ）更新しながら、更新の都度、「印刷ずれ率」を生成し、また、当該「印刷ずれ率」を生成した際の「シフト量」を求めるということである。ここでは、Ｌｘ≦Ｌｘ＋５ｍｍ、かつ、Ｌｙ−５ｍｍ＜Ｌｙ＜Ｌｙ＋５ｍｍの範囲内において、Ｘ軸方向又はＹ軸方向に「０．２ｍｍ」ずつ「理想半田位置情報」が順次更新され、更新毎に「シフト量」が求められることとする。本実施形態における「理想半田位置情報」の更新及び「シフト量」についてより具体的に説明すると、まず、Ｘ軸方向への更新は行うことなく、Ｙ軸方向に上記範囲内で前記更新量ずつ「理想半田位置情報」が更新され、更新毎に「シフト量」が求められる。すなわち、「理想半田位置情報」としては、（Ｌｘ，Ｌｙ−５）、（Ｌｘ，Ｌｙ−４．８）、（Ｌｘ，Ｌｙ−４．６）・・・（Ｌｘ，Ｌｙ＋４．８）、（Ｌｘ，Ｌｙ＋５）の順に更新される。そして、「シフト量」としては、「Ｘ軸方向に０、Ｙ軸方向に−５」、「Ｘ軸方向に０、Ｙ軸方向に−４．８」、「Ｘ軸方向に０、Ｙ軸方向に−４．６」・・・「Ｘ軸方向に０、Ｙ軸方向に＋４．８」、「Ｘ軸方向に０、Ｙ軸方向に＋５」が求められることとなる。次いで、Ｌｘを「＋０．２ｍｍ」更新した上で、上記と同様にＹ軸方向に上記範囲内で前記更新量ずつ「理想半田位置情報」が更新され、更新毎に「シフト量」が求められる。すなわち、「理想半田位置情報」としては、（Ｌｘ＋０．２，Ｌｙ−５）、（Ｌｘ＋０．２，Ｌｙ−４．８）・・・（Ｌｘ＋０．２，Ｌｙ＋４．８）、（Ｌｘ＋０．２，Ｌｙ＋５）の順に更新される。そして、「シフト量」としては、「Ｘ軸方向に＋０．２、Ｙ軸方向に−５」、「Ｘ軸方向に＋０．２、Ｙ軸方向に−４．８」・・・「Ｘ軸方向に＋０．２、Ｙ軸方向に＋４．８」、「Ｘ軸方向に＋０．２、Ｙ軸方向に＋５」が求められる。以降、Ｌｘが上記範囲外となるまで、Ｌｘを「＋０．２ｍｍ」更新する毎に、Ｙ軸方向に上記範囲内で前記更新量ずつ「理想半田位置情報」が更新され、更新毎に「シフト量」が求められる。また、求められた各「シフト量」に対応して、「位置ずれ量」及び「印刷ずれ率」が生成される。

尚、検査対象となる所定の複数の半田それぞれについて、Ｘ軸方向或いはＹ軸方向に沿った位置ずれ量が「０」である場合には、位置ずれが生じていない方向に沿った「理想半田位置情報」の更新、「位置ずれ量」や「印刷ずれ率」の生成等が行われない。これにより、位置ずれのない方向に沿った演算を省略することができ、ひいては処理の高速化が図られるようになっている。

加えて、前記所定の範囲や前記「シフト量」は、プリント基板Ｋのサイズや電極パターン６の配置等に基づいて任意に設定可能とされている。

さらに、画像処理手段１３は、各「シフト量」に対応する「印刷ずれ率」のうち、「最大の印刷ずれ率」について、当該「最大の印刷ずれ率」が最小となる際の「シフト量」を求めるようになっている。ここで、「印刷ずれ率」には、「Ｘ軸方向に沿った印刷ずれ率」と「Ｙ軸方向に沿った印刷ずれ率」とがあるが、Ｘ軸方向及びＹ軸方向それぞれについて、「最大の印刷ずれ率」が最小となる「シフト量」を求めるようになっている。本実施形態においては、「シフト量」として、当初の「理想半田位置情報」と、前記「最大の印刷ずれ率」が最小となる際の「理想半田位置情報」とのＸ軸方向に沿ったシフト量「Ｂｘ」及びＹ軸方向に沿ったシフト量「Ｂｙ」が生成されるようになっている。

併せて、画像処理手段１３は、シフト量「Ｂｘ」及び「Ｂｙ」を正負反転させた「−Ｂｘ」及び「−Ｂｙ」を補正値として算出し、当該補正値に関するフィードバック信号を前記半田印刷機１５に対して出力する。補正値に関するフィードバック信号が入力された半田印刷機１５は、スクリーンマスクをプリント基板Ｋに対し、Ｘ軸方向に沿って「−Ｂｘ」、Ｙ軸方向に沿って「−Ｂｙ」相対移動させることで半田印刷位置の補正を行うようになっている。

次に上記のように構成されてなる半田印刷検査装置１による半田印刷位置の補正処理について、図３，４，５，６を参照しつつ、図７のフローチャートに従って説明する。尚、説明の便宜上、プリント基板Ｋ上に印刷された半田７のうち、電極パターン６ａ，６ｂに印刷される半田７ａ，７ｂを前記所定の複数の半田に該当するものとして半田印刷位置の補正処理を説明する。

まず、検査対象となるプリント基板Ｋ上の半田７ａ，７ｂのサイズ、及び、半田７ａ，７ｂの印刷状態について説明する（図３参照）。

半田７ａは、比較的大きなサイズの半田であり、例えば、Ｘ軸方向に「２０ｍｍ」、Ｙ軸方向に「１０ｍｍ」の幅を有するものである。一方、半田７ｂは、比較的小さなサイズの半田であり、例えば、Ｘ軸方向に「１０ｍｍ」、Ｙ軸方向に「５ｍｍ」の幅を有するものである（但し、上記数値はあくまでも仮定上の値である）。また、半田７ａは、電極パターン６ａに対してＸ軸方向及びＹ軸方向にずれがなく正確に印刷されている一方で、半田７ｂは、電極パターン６ｂに対してＸ軸方向に「−５ｍｍ」ずれて印刷されている。但し、半田７ｂはＹ軸方向へのずれがない状態で印刷されている。尚、半田７ａ，７ｂともに、理想的なサイズで印刷されているものとする。

このようなプリント基板Ｋに対して、まず、ステップＳ１において、前記照射手段３によってプリント基板Ｋに対して光が照射される。そして、前記ＣＣＤカメラ４によって、プリント基板Ｋから反射される反射光が撮像され、撮像データが取得される。

次いで、ステップＳ２において、撮像された撮像データが画像処理手段１３に伝送され、当該撮像データが二値化処理される。これにより、図４に示すように、半田７ａ，７ｂについての実半田領域ＫＨ１，ＫＨ２がそれぞれ抽出される。また、撮像データからプリント基板Ｋの「実マーク位置」も併せて抽出される。

次に、ステップＳ３では、抽出された実半田領域ＫＨ１，ＫＨ２から半田７ａ，７ｂについて「実半田位置情報」が生成される。より詳しくは、半田７ａの「実半田位置情報」として、実半田領域ＫＨ１の中心座標（ｘ１，ｙ１）が生成され、半田７ｂの「実半田位置情報」として、実半田領域ＫＨ２の中心座標（ｘ２，ｙ２）が生成される。

併せて、ステップＳ４では、図５に示すように、半田７ａ，７ｂの設計データ上又は製造データ上の理想半田領域ＲＨ１，ＲＨ２に基づいて、半田７ａ，７ｂの「理想半田位置情報」及び「理想半田サイズ」がそれぞれ生成される。すなわち、半田７ａの「理想半田位置情報」として、理想半田領域ＲＨ１の中心座標（Ｌｘ１，Ｌｙ１）が生成され、半田７ａの「理想半田サイズ」として、理想半田領域ＲＨ１のＸ軸方向に沿った長さ「Ｘ_L１」及びＹ軸方向に沿った長さ「Ｙ_L１」が生成される。また、半田７ｂの「理想半田位置情報」として、理想半田領域ＲＨ２の中心座標（Ｌｘ２，Ｌｙ２）が生成され、半田７ｂの「理想半田サイズ」として、理想半田領域ＲＨ２のＸ軸方向に沿った長さ「Ｘ_L２」及びＹ軸方向に沿った長さ「Ｙ_L２」が生成される。尚、本実施形態において具体的には、「Ｘ_L１」として「２０ｍｍ」、「Ｙ_L１」として「１０ｍｍ」、「Ｘ_L２」として「１０ｍｍ」、「Ｙ_L２」として「５ｍｍ」がそれぞれ生成される。また、設計データ上又は製造データ上の「理想マーク位置」も併せて生成される。

尚、当該ステップＳ４の処理を、上述したステップＳ１よりも前段階に行うこととしてもよいし、ステップＳ１及びステップＳ２間、或いは、ステップＳ２及びステップＳ３間に行うこととしてもよい。また、ステップＳ４の処理を、ステップＳ１，Ｓ２，Ｓ３と並行して行うこととしてもよい。

次いで、ステップＳ５において、図６に示すように、画像処理手段１３によって、「実マーク位置」と「理想マーク位置」とが重ね合わされ、「理想半田位置情報」の座標と「実半田位置情報」の座標との整合が行われる（例えば、整合後の「実半田位置情報」に書換えられる）。

そして、ステップＳ６において、「理想半田位置情報」と「実半田位置情報」との「位置ずれ量」が生成される。本実施形態において、前述の通り半田７ａについては位置ずれが生じていないため、「実半田位置情報（ｘ１，ｙ１）」及び「理想半田位置情報（Ｌｘ１，Ｌｙ１）」は一致することとなる。このため、半田７ａの「Ｘ軸方向に沿った位置ずれ量Δｘ１」、及び、「Ｙ軸方向に沿った位置ずれ量Δｙ１」として、それぞれ「０」が生成される。一方で、半田７ｂについては、前述の通りＸ軸方向に「−５ｍｍ」ずれて印刷されているため、「Ｘ軸方向に沿った位置ずれ量Δｘ２」として「−５ｍｍ」が生成され、「Ｙ軸方向に沿った位置ずれ量Δｙ２」として「０」が生成される。

さらに、生成された「位置ずれ量」を「理想半田サイズ」で除算した値の絶対値である「印刷ずれ率」が生成される。本実施形態において、半田７ａについては、「Ｘ軸方向に沿った印刷ずれ率（｜Δｘ１／Ｘ_L１｜）」、及び、「Ｙ軸方向に沿った印刷ずれ率（｜Δｙ１／Ｙ_L１｜）」がそれぞれ「０」とされる。一方で、半田７ｂについては、「Ｘ軸方向に沿った印刷ずれ率（｜Δｘ２／Ｘ_L２｜）」が「０．５（＝｜−５／１０｜）」とされ、「Ｙ軸方向に沿った印刷ずれ率（｜Δｙ２／Ｙ_L２｜）」が「０」とされる。

次いで、ステップＳ７において、前記所定の範囲内において、Ｘ軸方向に所定の更新量ずつ「理想半田位置情報」が順次更新されるとともに、更新毎に「シフト量」が求められる。また、各「シフト量」に対応する「位置ずれ量」及び「印刷ずれ率」が生成される。尚、本実施形態において、半田７ａ，７ｂともに「Ｙ軸方向に沿った位置ずれ量」が「０」となっているため、Ｙ軸方向に沿った「理想半田位置情報」の更新や「シフト量」の算出は行われず、また、各「シフト量」に対応する「位置ずれ量」及び「印刷ずれ率」の生成も行われない。本実施形態においては、表１に示すように、各「シフト量」に対応するＸ軸方向に沿った「位置ずれ量」及び「印刷ずれ率」が半田７ａ，７ｂについてそれぞれ生成されることとなる。

次に、ステップＳ８において、各「シフト量」に対応する「印刷ずれ率」のうち「最大の印刷ずれ率」について、当該「最大の印刷ずれ率」が最小となる際の「シフト量」が求められる。本実施形態においては、「シフト量」がＸ軸方向に「＋３．４ｍｍ」のとき、「印刷ずれ率」のうち「最大の印刷ずれ率」が「０．１７」となり、他の各「シフト量」における「印刷ずれ率」のうちの「最大の印刷ずれ率」よりも小さくなっている。このため、最適な「シフト量」として「Ｘ軸方向に＋３．４ｍｍ」が求められることとなる。

そして、ステップＳ９において、当該「シフト量」を正負反転した値である「Ｘ軸方向に−３．４ｍｍ」が補正値として算出され、当該補正値に関するフィードバック信号が半田印刷機１５に対して出力される。補正値に関するフィードバック信号が入力された半田印刷機１５は、スクリーンマスクをプリント基板Ｋに対し、「Ｘ軸方向に沿って−３．４ｍｍ」相対移動させることで半田印刷位置の補正処理が行われる。

以上詳述したように、本実施形態の半田印刷検査装置１によれば、単なる「理想半田位置情報」と「実半田位置情報」との「位置ずれ量」によってではなく、「印刷ずれ率」に基づいて、半田印刷機の印刷位置に関する補正値が演算される。すなわち、「位置ずれ量」という絶対的な量によってではなく、印刷される半田のサイズ（理想半田サイズ）に対するずれの程度という相対的な量によって補正値が決定される。これにより、印刷される半田のサイズを鑑みての補正を行うことができるため、各電極パターンに対して各半田をより正確に、ずれの程度が比較的少ない状態で印刷することができる。特に、比較的小さなサイズの半田については、電極パターンから大きくずれて印刷されてしまうという事態を効果的に防止することができるため、生産品質及び歩留まりの向上を図ることができる。

また、補正後において印刷される半田は、必ずしも予定された位置に印刷されるわけではなく、ある程度ずれた位置に印刷されてしまうことも懸念される。しかしながら、本実施形態によれば、所定の複数の半田に関しては、電極パターンに対しての各半田のずれの程度が致命的でない程度に補正され得る。このため、ブリッジ等の不具合が発生してしまうことを効果的に抑制することができる。

さらに、各「シフト量」に対応する所定の複数の半田の「印刷ずれ率」のうち「最大の印刷ずれ率」について、当該「最大の印刷ずれ率」が最小となる際の「シフト量」が求められ、その「シフト量」に基づいて前記補正値が決定される。すなわち、所定の複数の半田のうち、「印刷ずれ率」が最大の（最もずれの程度が大きい）半田に着目して、この半田のずれの程度が最も小さくなるときの「シフト量」に基づいて補正が行われる。これにより、最もずれの影響を受けやすかった半田についても、比較的小さな「印刷ずれ率」の範囲内で印刷されることとなり、ひいてはその他の半田をより小さな「印刷ずれ率」の範囲内で印刷することができる。その結果、生産品質及び歩留まりの更なる向上を図ることができる。

併せて、「理想半田位置情報」の更新は、所定範囲内においてのみ行われる。このため、無駄な範囲を更新することによって、無駄な「シフト量」が求められることがなくなる。その結果、処理の高速化を図ることができ、ひいては生産効率の向上を図ることができる。

加えて、前記「シフト量」が任意に設定可能とされているため、「シフト量」を比較的小さく設定することで、より精密に印刷位置の補正を行うことができ、一方、「シフト量」を比較的大きく設定することで、比較的高速に印刷位置の補正を行うことができる。すなわち、「シフト量」を増減させるという比較的簡易な手法で、種々の基板に対してより適切な補正処理を行うことができる。
〔第２実施形態〕
次に、第２実施形態について図面を参照しつつ、特に上記第１実施形態との相違点を中心に説明する。

本実施形態においては、「実半田位置情報」、「理想半田位置情報」、及び、「理想半田サイズ」を生成する対象となる前記所定の複数の半田が、次のように設定されている。すなわち、図８に示すように、プリント基板Ｋを複数のブロックに区画し、各ブロック内の半田のうち最小サイズの半田２０が、前記所定の複数の半田に該当するものとして設定されている（尚、プリント基板Ｋは、多数の半田が印刷されているものであるが、図８中では、各ブロック内の最小サイズの半田２０のみが示されている）。そして、当該設定された半田２０に対して上述した各ステップの処理が行われることで、半田印刷機１５の印刷位置に関する補正量が演算されるようになっている。

以上、本実施形態によれば、所定の複数の半田として、プリント基板Ｋを複数のブロックに区画したときの各ブロック内における少なくとも最小サイズの半田２０が含まれている。このため、比較的小さなサイズの半田２０をより正確に印刷することができるため、プリント基板Ｋ全体が不良となってしまうおそれを抑制でき、結果として、歩留まりの飛躍的な向上を図ることができる。

尚、上記実施形態の記載内容に限定されず、例えば次のように実施してもよい。勿論、以下において例示しない他の応用例、変更例も当然可能である。

（ａ）上記実施形態では、「印刷ずれ率」として「｜Δｘ／Ｘ_L｜」及び「｜Δｙ／Ｙ_L｜」が生成されているが、「印刷ずれ率」はこれに限られるものではなく、「理想半田サイズ」に対する「位置ずれ量」の程度（割合）を表すものであればよい。例えば、両半田領域の中心座標間の距離を理想半田領域の対角線の長さで除算した値をｎ乗（２乗など）した値「｛（Δｘ²＋Δｙ² ）／（Ｘ_L ²＋Ｙ_L ²）｝ ⁿ」、理想半田領域からはみ出した実半田領域の面積「Ｓ」を理想半田領域の面積「ＬＳ」で除算した値「Ｓ／ＬＳ」、両半田領域の中心座標間の距離の２乗を理想半田領域の面積「ＬＳ」で除算した値「（Δｘ²＋Δｙ²）／ＬＳ）」等を「印刷ずれ率」として生成することとしてもよい。また、これらの数値を所定の数式（例えば、メンバーシップ関数等）に代入して得た値を「印刷ずれ率」として採用することとしてもよい。さらに、「印刷ずれ率」を２種類以上用いることとしてもよい。２種類以上の「印刷ずれ率」を用いる場合には、より一層正確な印刷位置の補正を行うことができる。

（ｂ）上記実施形態では、「理想半田位置情報」を更新する際に、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に沿って所定の更新量ずつ更新する構成とされている。これに対して、プリント基板Ｋの中心座標等を回転中心として、所定範囲内（例えば、−１０度〜＋１０度）で所定角度（例えば、０．１度）ずつ更新することで、「理想半田位置情報」を更新する構成を採用することとしてもよい。さらに、これら各構成を組み合わせて「理想半田位置情報」を更新することとしてもよい。各構成を組み合わせて「理想半田位置情報」を更新することで、所定の複数の半田についての「印刷ずれ率」をより小さくすることができる「シフト量」を生成することが可能となるため、印刷位置の補正を一層正確に行うことができる。

（ｃ）上記実施形態では、各「シフト量」に対応する所定の複数の半田の「印刷ずれ率」のうち「最大の印刷ずれ率」について、当該「最大の印刷ずれ率」が最小となる際の「シフト量」を求め、当該「シフト量」に基づいて補正値の演算が行われているが、「印刷ずれ率」のうち、２番目や３番目に大きい「印刷ずれ率」が最小となる際の「シフト量」に基づいて補正値の演算をすることとしてもよい。また、「最大の印刷ずれ率」と「２番目に大きい印刷ずれ率」とを加算した値が最小となる際の「シフト量」に基づいて補正値を演算することとしてもよい。

（ｄ）上記実施形態では、各「シフト量」に対応する所定の複数の半田の「印刷ずれ率」のうち「最大の印刷ずれ率」について、当該「最大の印刷ずれ率」が最小となる際の「シフト量」を求め、当該「シフト量」に基づいて補正値の算出が行われている。これに対して、各「シフト量」に対応する所定の複数の半田の「印刷ずれ率」について、所定の閾値以上の前記「印刷ずれ率」が所定数以下となる際の「シフト量」を求め、その「シフト量」に基づいて印刷位置の補正値の算出を行うこととしてもよい。これについて、図示しない半田Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄにおいて、各「シフト量」に対応する「位置ずれ量」及び「印刷ずれ率」がそれぞれ表２に示すように生成されている場合を例として説明する。尚、各半田の当初（理想半田位置情報更新前）の「位置ずれ量」は、半田Ａが「０ｍｍ」で、半田Ｂが「−５ｍｍ」で、半田Ｃが「３ｍｍ」で、半田Ｄが「−１０ｍｍ」であるとする。また、「理想半田サイズ」は、半田Ａが「２０ｍｍ」で、半田Ｂが「１０ｍｍ」で、半田Ｃが「２０ｍｍ」、半田Ｄが「４０ｍｍ」であるとする。

このとき、例えば、所定の閾値として「０．２」、所定数として「１」が設定された場合（すなわち、「０．２」以上の印刷ずれ率が「１つ」以下となる場合）、当該条件に当てはまる「シフト量」は「３．２ｍｍ〜３．８ｍｍ」となる。このため、当該「３．２ｍｍ〜３．８ｍｍ」内のいずれかの数値が「シフト量」として算出される。この場合には、印刷ずれの程度が比較的大きな半田の数が比較的少なくなるようにして補正が行われる。これにより、全体的にずれの程度が少ない状態で半田が印刷されることとなり、生産品質及び歩留まりのより一層の向上を図ることができる。

（ｅ）前記補正値算出の基礎となる「シフト量」を求めるに際し、前記各「シフト量」に対応する前記所定の複数の半田の「印刷ずれ率」のうち「最大の印刷ずれ率」について、当該「最大の印刷ずれ率」のうちの最小値が所定数値以上である場合には、プリント基板Ｋを不良として判定し、半田印刷機１５に対し不良信号を出力することとしてもよい。これにより、不良基板が生産されてしまうことを防止することができ、ひいては歩留まりのより一層の向上を図ることができる。

（ｆ）上記実施形態では、「実半田位置情報」及び「理想半田位置情報」として中心座標という単一のパラメータのみが生成されているが、複数種のパラメータについて、「実半田位置情報」及び「理想半田位置情報」を生成することとしてもよい。例えば、中心座標に加えて、重心座標や半田領域の基板に対する相対的な範囲等を「実半田位置情報」及び「理想半田位置情報」として生成することとしてもよい。この場合には、「印刷ずれ率」を種々のパラメータから多面的に評価できるため、半田のずれの程度をより正確に把握することができる。その結果、単一のパラメータで生成された「印刷ずれ率」に基づいて補正を行う場合と比較して、より正確に印刷位置の補正を行うことができ、生産品質及び歩留まりの一層の向上を図ることができる。

（ｇ）上記実施形態では、Ｘ軸方向及びＹ軸方向それぞれについて、「最大の印刷ずれ率」が最小となる「シフト量」を求めるようになっている。これに対して、「Ｘ軸方向に沿った印刷ずれ率」及び「Ｙ軸方向に沿った印刷ずれ率」を区別することなく、これらの印刷ずれ率のうちの「最大の印刷ずれ率」について、当該「最大の印刷ずれ率」が最小となる際の「シフト量」を求めることとしてもよい。

本実施形態における半田印刷検査装置の斜視図である。 本実施形態における制御装置等を示すブロック図である。 本実施形態におけるプリント基板の一部を示す部分拡大平面図である。 本実施形態における実半田領域等を示す部分拡大模式図である。 本実施形態における理想半田領域等を示す部分拡大模式図である。 本実施形態において、実半田位置及び理想半田位置の座標を整合したときの状態を示す部分拡大模式図である。 本実施形態における補正処理の流れを示すフローチャートである。 別の実施形態におけるプリント基板上の所定の複数の半田について説明するための平面模式図である。

符号の説明

１…半田印刷検査装置、３…照射手段、４…撮像手段としてのＣＣＤカメラ、７，７ａ，７ｂ，２０…半田、１２…理想半田情報生成手段、１３…画像処理手段、１５…半田印刷機、Ｋ…プリント基板、ＫＨ１，ＫＨ２…実半田領域、ＲＨ１，ＲＨ２…理想半田領域。

Claims (10)

1. 半田印刷機によって基板上に印刷された半田に対し、光を照射可能な照射手段と、
   前記光の照射された前記半田を撮像可能な撮像手段と、
   当該撮像手段によって撮像された画像データに基づき、前記基板上の所定の複数の半田について、実際に印刷された半田領域である実半田領域を抽出する画像処理手段と、
   設計データ上又は製造データ上における半田領域である理想半田領域に基づいて、前記所定の複数の半田に対応させて、前記基板上における前記理想半田領域の位置を示す理想半田位置情報、及び、前記理想半田領域のサイズを示す理想半田サイズを生成する理想半田情報生成手段とを備えた半田印刷検査装置であって、
   前記画像処理手段は、前記実半田領域に基づいて、前記基板上における前記実半田領域の位置を示す実半田位置情報を生成するとともに、
   前記理想半田サイズに対する、前記理想半田位置情報と前記実半田位置情報との位置ずれ量の程度を示す印刷ずれ率を前記所定の複数の半田についてそれぞれ生成し、
   当該印刷ずれ率に基づいて補正値を演算し、前記半田印刷機に対し、半田印刷位置に関する補正値信号を出力することを特徴とする半田印刷検査装置。
2. 前記実半田位置情報は、前記基板に対する前記実半田領域の相対位置を示す座標に関する情報であるとともに、前記理想半田位置情報は、前記基板に対する前記理想半田領域の相対位置を示す座標に関する情報であり、
   前記位置ずれ量は、前記両座標間の長さ情報であるとともに、前記理想半田サイズは、前記理想半田領域の長さ情報であることを特徴とする請求項１に記載の半田印刷検査装置。
3. 前記実半田位置情報は、前記基板に対する前記実半田領域の相対的な範囲に関する情報であるとともに、前記理想半田位置情報は、前記基板に対する前記理想半田領域の相対的な範囲であり、
   前記位置ずれ量は、前記実半田領域の相対的な範囲のうち、前記理想半田領域の相対的な範囲からはみ出した部分の面積であるとともに、前記理想半田サイズは、前記理想半田領域の面積であることを特徴とする請求項１又は２に記載の半田印刷検査装置。
4. 前記画像処理手段は、前記理想半田位置情報を所定の更新量ずつ順次更新して、移動した量或いは移動させるべき量であるシフト量を求め、かつ、
   前記各シフト量に対応する前記位置ずれ量を生成するとともに、当該位置ずれ量の生成毎に、前記印刷ずれ率を前記所定の複数の半田についてそれぞれ生成し、
   前記印刷ずれ率のうち、特定の条件を満たす場合の前記シフト量に基づいて、前記補正値を決定することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の半田印刷検査装置。
5. 前記各シフト量に対応する前記所定の複数の半田の印刷ずれ率のうち最大の印刷ずれ率について、当該最大の印刷ずれ率が最小となる際のシフト量を求め、そのシフト量に基づいて前記補正値を決定することを特徴とする請求項４に記載の半田印刷検査装置。
6. 前記各シフト量に対応する前記所定の複数の半田の印刷ずれ率のうち最大の印刷ずれ率について、当該最大の印刷ずれ率のうちの最小値が所定数値以上である場合には、前記基板を不良として判定し、前記半田印刷機に対し不良信号を出力することを特徴とする請求項５に記載の半田印刷検査装置。
7. 前記各シフト量に対応する前記所定の複数の半田の印刷ずれ率について、所定の閾値以上の前記印刷ずれ率が所定数以下となる際のシフト量を求め、そのシフト量に基づいて前記補正値を決定することを特徴とする請求項４乃至６のいずれか１項に記載の半田印刷検査装置。
8. 前記シフト量を求める際の前記理想半田位置情報の更新は、任意に設定された所定範囲内においてのみ行われることを特徴とする請求項４乃至７のいずれか１項に記載の半田印刷検査装置。
9. 前記所定の複数の半田には、前記基板を複数のブロックに区画した上で、各ブロックにおける少なくとも最小サイズの半田が含まれることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の半田印刷検査装置。
10. 前記理想半田情報生成手段は、理想半田位置情報および実半田位置情報を示す複数種のパラメータについて、複数の前記理想半田位置情報を生成し、
    前記画像処理手段は、前記複数種のパラメータに対応する各パラメータについて、複数の前記実半田位置情報を生成するとともに、
    前記所定の複数の半田について、前記各パラメータ毎に複数の前記位置ずれ量及び前記印刷ずれ率を生成することを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の半田印刷検査装置。
    

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