JP6952160B1 - スクリーンマスク検査装置、半田印刷検査装置及びスクリーンマスクの検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】スクリーンマスクがクリーム半田を適切に印刷可能な状態であるか否かをより正確に検査することができるスクリーンマスクの検査装置などを提供する。【解決手段】プリント基板１上に印刷されたクリーム半田３の位置情報を検出し、その検出結果に基づいて、印刷時におけるスクリーンマスクに関する良否判定を行う。クリーム半田３の位置情報を利用することで、スクリーンマスク自体のみならず、プリント基板１に対する押し当て力やスキージから加わる力など、印刷時にスクリーンマスクに影響を及ぼす外的要因をも考慮して、印刷時におけるスクリーンマスクに関する良否を判定することができる。従って、スクリーンマスクがクリーム半田３を適切に印刷可能な状態であるか否かをより正確に検査することができる。【選択図】 図８

Description

本発明は、基板上にクリーム半田を印刷する際に用いられるスクリーンマスクの検査装置及びその検査方法、並びに、スクリーンマスクの検査機能を備えた半田印刷検査装置に関する。

基板上に電子部品を実装する製造ラインにおいては、まず基板に配設されたランド上に、半田印刷機によりクリーム半田が印刷される。次に、該クリーム半田の粘性に基づいて基板上に電子部品が仮止めされる。その後、基板がリフロー炉へ導かれ、所定のリフロー工程を経ることで半田付けが行われる。

また、半田印刷機によってクリーム半田を印刷する際には、スクリーンマスクが用いられる。スクリーンマスクは、例えばステンレス等の金属からなり、印刷パターンを形成するためのスクリーン開口（孔）が形成されている。クリーム半田の印刷は、基板にスクリーンマスクを押し当てつつ、該スクリーンマスクの表面にクリーム半田を載せた上で、所定のスキージを該スクリーンマスクの表面に押し当てつつ移動させて、クリーム半田をスクリーン開口に入り込ませることによってなされる。尚、弛み防止などを図るべく、スクリーンマスクは、所定のフレーム等によって張力を付与された状態で保持される。

また、スクリーンマスクを用いてクリーム半田を印刷するにあたって、印刷されたクリーム半田の印刷ずれ率に係る補正値に基づき、基板に対するスクリーンマスクの相対位置を調節することで、クリーム半田の印刷位置を補正する技術が提案されている（例えば、特許文献１等参照）。

特開２００９−９２５５７号公報

ところで、クリーム半田の印刷時には、付与される張力や基板に対する押し当て力、スキージから加わる力などの影響によって、スクリーンマスクに変形（伸び）や位置ずれが生じ得る。尚、この変形には、恒久的な変形のみならず、一時的な変形も含まれる。ここで、印刷時におけるスクリーンマスクの変形量や位置ずれ量が許容範囲を超えると、上記のように基板に対するスクリーンマスクの相対位置を調節したとしても、クリーム半田を適正位置に印刷することが困難又は不可能となって、歩留まりの低下や良品の製造不可といった事態を招くおそれがある。

例えば、図１３に示すように、クリーム半田の印刷時に、プリント基板１（「基板」に相当する）上のランドＲ１，Ｒ２（図１４参照）に対応するスクリーン開口Ｓ１，Ｓ２を有するスクリーンマスクＳＭにおいて、スクリーン開口Ｓ１，Ｓ２間における変形量（伸び量）ｓがランドＲ１，Ｒ２の幅Ｗと同程度になっていたとする。この場合、プリント基板１に対するスクリーンマスクＳＭの相対位置を適切に調節したとしても、図１４に示すように、ランドＲ１，Ｒ２に対するクリーム半田３の位置ずれ量ｔは「Ｗ／２」となり、クリーム半田３を適正位置に印刷することが困難となる。また、例えば、図１５，１６に示すように、変形量ｓが幅Ｗの２倍程度になってしまった場合には、プリント基板１に対するスクリーンマスクＳＭの相対位置を適切に調節したとしても、位置ずれ量ｔが「Ｗ」となり、ランドＲ１，Ｒ２上にクリーム半田３を印刷することができなくなる。尚、ランドの幅Ｗは小さなものでは０．１ｍｍ以下であるため、スクリーンマスクの変形等が僅かなものであっても、上記のような不具合が生じ得る。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、スクリーンマスクがクリーム半田を適切に印刷可能な状態であるか否かをより正確に検査することができるスクリーンマスクの検査装置などを提供することにある。

以下、上記目的を解決するのに適した各手段につき、項分けして説明する。なお、必要に応じて対応する手段に特有の作用効果を付記する。

手段１．印刷パターンを形成するスクリーン開口を有し、該スクリーン開口を介して基板上にクリーム半田を印刷するためのスクリーンマスクを検査するスクリーンマスク検査装置であって、
基板上のランドに対応して印刷されたクリーム半田の位置情報を検出する半田位置情報検出手段と、
前記半田位置情報検出手段により検出された位置情報に基づいて、印刷時における前記スクリーンマスクに関する良否判定を行う使用時対応判定手段とを備え、
前記半田位置情報検出手段は、前記位置情報として、所定の基準位置である前記ランドの位置に対する実際に印刷されたクリーム半田の位置ずれ量に基づく情報を検出することを特徴とするスクリーンマスク検査装置。

上記手段１によれば、印刷されたクリーム半田の位置情報が検出され、その検出された位置情報に基づいて、印刷時におけるスクリーンマスクに関する良否判定が行われる。このように印刷されたクリーム半田の位置情報を利用することで、スクリーンマスク自体のみならず、基板に対する押し当て力やスキージから加わる力など、印刷時にスクリーンマスクに影響を及ぼす外的要因をも考慮して、印刷時におけるスクリーンマスクに関する良否を判定することができる。従って、スクリーンマスクがクリーム半田を適切に印刷可能な状態であるか否かをより正確に検査することができる。

尚、クリーム半田の位置情報としては、スキージ（クリーム半田を広げるために使用される部品）の移動方向に沿った成分を有する情報を用いることが好ましい。この場合には、移動するスキージの影響が強く反映された、スクリーンマスクにおける変形や位置ずれの程度がより明確に表れやすい位置情報を得ることができる。そのため、スクリーンマスクがクリーム半田を適切に印刷可能な状態であるか否かを精度よく検査することができる。

尚、「基準位置」としては、基板上に設けられたランド（クリーム半田の印刷対象）の位置を挙げることができる（手段６においても同様）。

また、上記手段１によれば、位置情報として、クリーム半田の位置ずれ量に基づく情報が検出される。従って、良否判定を行うために必要な位置情報を容易に得ることができ、検査処理に係る負担の低減を図ることができる。

また、スクリーンマスク検査装置が、クリーム半田の位置ずれ量に基づき該クリーム半田の良否を判定する機能を備えた半田印刷検査装置に設けられる場合には、該機能により検出された位置ずれ量を利用して、スクリーンマスクの検査を行うことができる。従って、スクリーンマスクやクリーム半田の検査に係る処理の効率化を図ることができる。

手段２．前記半田位置情報検出手段は、前記位置情報として、基板上におけるスキージの移動方向に沿った一方の端に位置するクリーム半田に関する前記移動方向に沿った前記位置ずれ量と、基板上における前記移動方向に沿った他方の端に位置するクリーム半田に関する前記移動方向に沿った前記位置ずれ量とに基づく情報を検出することを特徴とする手段１に記載のスクリーンマスク検査装置。

基板上に対するクリーム半田の印刷は、所定のスキージをスクリーンマスクの表面に押し当てつつ該表面に沿って移動させることでなされるところ、上記手段２によれば、クリーム半田の位置情報として、スキージの移動方向に沿ったクリーム半田の位置ずれ量に基づく情報が検出される。従って、移動するスキージの影響が強く反映された、スクリーンマスクにおける変形や位置ずれの程度がより明確に表れやすい情報に基づき、スクリーンマスクに関する良否判定を行うことができる。これにより、スクリーンマスクがクリーム半田を適切に印刷可能な状態であるか否かをより精度よく検査することができる。

また、上記手段２によれば、クリーム半田の位置情報として、スキージの移動方向に沿った一方の端に位置するクリーム半田に関する位置ずれ量と、該移動方向に沿った他方の端に位置するクリーム半田に関する位置ずれ量とに基づく情報（例えば、両位置ずれ量の差など）が用いられる。すなわち、クリーム半田の位置情報として、スキージの移動方向に沿って離れた位置にある両クリーム半田の各位置ずれ量に基づく情報が用いられる。従って、クリーム半田の位置情報はスクリーンマスクにおける変形や位置ずれの程度をより把握しやすいものとなり、検査精度を一層高めることができる。

手段３．クリーム半田の非印刷時における前記スクリーン開口の位置情報を検出する開口位置情報検出手段と、
前記半田位置情報検出手段により検出されたクリーム半田の位置情報、及び、前記開口位置情報検出手段により検出された前記スクリーン開口の位置情報に基づき、前記スクリーンマスク自体の良否、及び、印刷時に前記スクリーンマスクに影響を与える外的要因の良否を判定可能な個別良否判定手段とを備えることを特徴とする手段１又は２に記載のスクリーンマスク検査装置。

尚、「スクリーン開口の位置情報」とは、所定のマスク基準位置〔例えば、理想的な（設計上の）スクリーン開口の位置〕に対する実際のスクリーン開口の相対位置に関する情報（例えば、位置ずれ量）や、複数のスクリーン開口同士の距離を示す情報などを挙げることができる。また、「スクリーン開口の位置情報」として、スクリーン開口の位置を間接的に示す情報（例えば、スクリーンマスクに付された所定のマークの位置に関する情報など）を用いてもよい（手段８においても同様）。

上記手段３によれば、クリーム半田の位置情報及びスクリーン開口の位置情報に基づき、スクリーンマスク自体の良否、及び、印刷時にスクリーンマスクに影響を与える外的要因の良否を判定することができる。例えば、クリーム半田の位置情報及びスクリーン開口の位置情報の双方が所定の良条件を満たさない場合には、スクリーンマスク自体が不良であると判定することができる。一方で、クリーム半田の位置情報が良条件を満たさない一方、スクリーン開口の位置情報が良条件を満たす場合には、スクリーンマスク自体は良品であり、印刷時にスクリーンマスクに影響を及ぼす外的要因〔例えば、基板に対する押し当て力やスキージから加わる力（スキージ圧）など〕に問題があると判定することができる。従って、スクリーンマスクがクリーム半田を適切に印刷可能な状態でないことの原因をより正確に把握することができる。その結果、印刷不良への対応処理として考えられる複数の手法（例えば、スクリーンマスクの交換や印刷条件の変更など）の中から適切な手法をより容易に選択・決定することができ、対応処理をより迅速に行うことが可能となる。

手段４．前記個別良否判定手段による判定結果に基づき、前記スクリーンマスクの交換を促す情報、又は、前記スクリーンマスクに影響を与える印刷条件の変更を促す情報を発信可能な情報発信手段を備えることを特徴とする手段３に記載のスクリーンマスク検査装置。

上記手段４によれば、個別良否判定手段による判定結果に基づき、スクリーンマスクの交換を促す情報、又は、スクリーンマスクに影響を与える印刷条件（例えばスキージ圧や基板に対する押し付け圧力など）の変更を促す情報が発信（教示）される。これにより、印刷時におけるスクリーンマスクが不良と判定されたときに、作業者は実行すべき対応処理を早期かつ正確に把握することができる。その結果、対応処理を一層迅速に行うことができ、生産効率を向上させることができる。

手段５．手段１乃至４のいずれかに記載のスクリーンマスク検査装置と、
基板上に印刷されたクリーム半田を検査する半田検査手段とを有する半田印刷検査装置。

上記手段５によれば、上記手段１等と同様の作用効果が奏されることとなる。

手段６．印刷パターンを形成するスクリーン開口を有し、該スクリーン開口を介して基板上にクリーム半田を印刷するためのスクリーンマスクの検査に用いられるスクリーンマスクの検査方法であって、
基板上のランドに対応して印刷されたクリーム半田の位置情報を検出するとともに、その検出結果に基づいて、印刷時における前記スクリーンマスクに関する良否判定を行い、
前記位置情報として、所定の基準位置である前記ランドの位置に対する実際に印刷されたクリーム半田の位置ずれ量に基づく情報を検出することを特徴とするスクリーンマスクの検査方法。

上記手段６によれば、上記手段１と同様の作用効果が奏されることとなる。

手段７．前記位置情報として、基板上におけるスキージの移動方向に沿った一方の端に位置するクリーム半田に関する前記移動方向に沿った前記位置ずれ量と、基板上における前記移動方向に沿った他方の端に位置するクリーム半田に関する前記移動方向に沿った前記位置ずれ量とに基づく情報を検出することを特徴とする手段６に記載のスクリーンマスクの検査方法。

上記手段７によれば、上記手段２と同様の作用効果が奏されることとなる。

手段８．クリーム半田の非印刷時における前記スクリーン開口の位置情報を検出し、
クリーム半田の位置情報及び前記スクリーン開口の位置情報に基づき、前記スクリーンマスク自体の良否、及び、印刷時に前記スクリーンマスクに影響を与える外的要因の良否を判定することを特徴とする手段６又は７に記載のスクリーンマスクの検査方法。

上記手段８によれば、上記手段３と同様の作用効果が奏されることとなる。

プリント基板の平面模式図である。 製造ラインの概略構成を示すブロック図である。 半田印刷機の概略構成を示す斜視模式図である。 半田印刷機の概略構成を示す側面模式図である。 半田印刷機による印刷動作を説明するための模式図である。 半田印刷検査装置等の電気的構成を示すブロック図である。 半田印刷検査装置の概略構成を示す斜視模式図である。 クリーム半田の位置情報を説明するためのプリント基板の平面模式図である。 スクリーン開口の位置情報を説明するためのスクリーンマスクの平面模式図である。 スクリーンマスクの検査方法を示すフローチャートである。 別の実施形態において、クリーム半田の位置情報を説明するためのプリント基板の平面模式図である。 別の実施形態において、スクリーン開口の位置情報を説明するためのスクリーンマスクの平面模式図である。 従来技術を説明するためのスクリーンマスクの平面模式図である。 従来技術を説明するためのプリント基板の平面模式図である。 従来技術を説明するためのスクリーンマスクの平面模式図である。 従来技術を説明するためのプリント基板の平面模式図である。

以下、一実施形態について図面を参照しつつ説明する。まず、図１を参照してプリント基板１の構成について説明する。本実施形態では、プリント基板１が「基板」に相当する。

図１に示すように、プリント基板１は、ガラスエポキシ樹脂等からなる平板状のベース基板７上に、銅箔からなる配線パターン（図示略）や複数のランド２が形成されている。ベース基板７におけるランド２を除く部分には、レジスト膜８（図５参照）がコーティングされている。各ランド２上には、粘性を有するクリーム半田３（図１等にて、散点模様で示す部位）が印刷されている。そして、クリーム半田３に対し、チップ等の電子部品４が接合された状態となっている。尚、図１では、複数のランド２などのうちのごく一部のみを模式的に示している。

次に、プリント基板１を製造するための製造ラインについて図２を参照して説明する。図２は、プリント基板１の製造ライン１０の概略構成を示すブロック図である。製造ライン１０には、その上流側から順に、半田印刷機２０、半田印刷検査装置４０、部品実装機７０及びリフロー装置８０が設置されている。まず、部品実装機７０及びリフロー装置８０について簡単に説明し、その後、半田印刷機２０及び半田印刷検査装置４０について詳しく説明する。

部品実装機７０は、半田印刷機２０により印刷されたクリーム半田３に電子部品４（図１参照）を搭載する。電子部品４は、複数の電極やリード（それぞれ不図示）を備えており、該電極やリードがそれぞれ所定のクリーム半田３に対し仮止めされる。

リフロー装置８０は、クリーム半田３を加熱溶融させて、ランド２と、電子部品４の電極やリードとを半田接合（半田付け）する。

次いで、半田印刷機２０について説明する。半田印刷機２０は、プリント基板１のランド２上に所定量のクリーム半田３を印刷する。半田印刷機２０は、図３，４に示すように、印刷用移動機構２２、印刷用レール機構２３、チャック機構２４、基板支持装置２５、スクリーンマスク２６、スキージ２７、マスク用カメラ２８、印刷用表示装置２９（図６参照）、印刷用入力装置３０（図６参照）及び印刷制御装置３１を備えている。

印刷用移動機構２２は、クリーム半田３の印刷工程においてプリント基板１を移動させるための機構であり、所定の基台２１上に設置されている。印刷用移動機構２２は、Ｘ軸移動機構２２１、Ｙ軸移動機構２２２及びＺ軸移動機構２２３を備えている。Ｘ軸移動機構２２１及びＹ軸移動機構２２２が作動することで、印刷用レール機構２３及びＺ軸移動機構２２３がＸ軸方向及びＹ軸方向に沿ってスライド移動する。Ｚ軸移動機構２２３が作動することで、印刷用レール機構２３がＺ軸方向（高さ方向）に沿って移動する。

印刷用レール機構２３は、クリーム半田３の印刷対象となるプリント基板１が載置される機構である。印刷用レール機構２３は、平行に配設された一対のレールを備えている。これらレールの間隔は変更可能に構成されており、該間隔を変更することによって幅の異なる各種プリント基板１に対応可能となっている。また、印刷用レール機構２３は、印刷用移動機構２２の動作によってＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に沿って移動する。印刷用レール機構２３を移動させることで、該印刷用レール機構２３に載置されたプリント基板１を任意の方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向）に移動させることが可能である。

チャック機構２４は、プリント基板１を保持することで、クリーム半田３の印刷時におけるプリント基板１の移動を抑制するための機構である。チャック機構２４は、接離移動可能な一対の把持部を備えており、これら把持部によってプリント基板１を把持することで印刷用レール機構２３に載置されたプリント基板１を保持する。

基板支持装置２５は、下方からプリント基板１を支持することで、クリーム半田３の印刷時における該プリント基板１の変形を抑制する。基板支持装置２５は、印刷用レール機構２３の前記両レール間に配置されており、棒状の支持ピン２５ａを多数備えている。これら支持ピン２５ａの先端部がプリント基板１の下面と接触した状態となることで、プリント基板１が支持される。

スクリーンマスク２６は、プリント基板１に対しクリーム半田３の印刷パターンを形成するために用いられる。スクリーンマスク２６は、薄肉平板状をなしており、例えば所定の金属（ステンレス等）により形成されている。尚、スクリーンマスク２６の構成材料については適宜変更してもよい。

スクリーンマスク２６は、その厚さ方向に貫通し、印刷パターンに対応する形状をなすスクリーン開口２６１を複数備えている。クリーム半田３の印刷時には、スクリーン開口２６１にクリーム半田３を入り込ませることで、該スクリーン開口２６１を介して（通して）プリント基板１上にクリーム半田３が印刷される。尚、図３等では、複数のスクリーン開口２６１のうちの一部のみを模式的に示している。

また、スクリーンマスク２６の外周部全周は、矩形状のフレーム２６２によって保持されている。スクリーンマスク２６は、該フレーム２６２から張力が付与されることで、弛みなく張られた状態となっている。

スキージ２７は、スクリーンマスク２６上に載せられたクリーム半田３を広げるためのへら状の部品である。スキージ２７は、所定のスキージ保持部（不図示）によって保持されており、該スキージ保持部は、所定の駆動手段（不図示）によって任意の方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向）に移動可能とされている。

マスク用カメラ２８は、例えばＣＣＤカメラ等の所定の撮像装置により構成されており、スクリーンマスク２６を撮像するために用いられる。本実施形態において、マスク用カメラ２８は、スクリーンマスク２６の全域を撮像可能に構成されている。従って、マスク用カメラ２８によって、スキージ２７の移動方向（本実施形態では、Ｙ軸方向）に沿った一端に位置するスクリーン開口２６１（「一端側スクリーン開口２６１ａ」という）と、該移動方向に沿った他端に位置するスクリーン開口２６１（「他端側スクリーン開口２６１ｂ」という）とを撮像可能である。

また、マスク用カメラ２８による撮像は、プリント基板１からスクリーンマスク２６が離間しており、該プリント基板１に対するクリーム半田３の印刷を行っていないタイミングで行われるようになっている。これにより、印刷に係る影響を受けていない状態のスクリーンマスク２６が撮像される。マスク用カメラ２８により得られた撮像データは、印刷制御装置３１や後述する検査制御装置５０に出力される。尚、本実施形態において、マスク用カメラ２８は、スクリーンマスク２６の上方に配置されているが、スクリーンマスク２６の下方に配置されていてもよい。

また、本実施形態において、半田印刷機２０は、マスク用カメラ２８に加えて、プリント基板１を撮像するためのカメラ（不図示）を備えている。

印刷用表示装置２９は、例えば液晶ディスプレイ等からなり、印刷制御装置３１に記憶された各種情報を表示するための装置である。

印刷用入力装置３０は、例えばキーボード等からなり、印刷制御装置３１に対し情報を入力するための装置である。

印刷制御装置３１は、半田印刷機２０の各部（例えば、印刷用移動機構２２やマスク用カメラ２８など）の動作を制御する。印刷制御装置３１は、例えば、演算手段としてのＣＰＵや、各種プログラムを記憶するＲＯＭ、演算データや入出力データなどの各種データを一時的に記憶するＲＡＭ、情報を長期記憶するための記憶装置（例えばハードディスク等）を備えた、いわゆるコンピュータシステムにより構成されている。

印刷制御装置３１には、各種情報が記憶されている。各種情報には、クリーム半田３の印刷に係る各種パラメータが含まれる。各種パラメータとしては、例えば、スキージ２７の移動速度や移動方向、スクリーンマスク２６に対するスキージ２７の傾斜角度、スクリーンマスク２６に対するスキージ２７の接触圧力（スキージ圧）、クリーム半田３の印刷時におけるＸ軸方向及びＹ軸方向に沿ったプリント基板１（印刷用レール機構２３）の位置、プリント基板１に対するスクリーンマスク２６の押し当て力などを挙げることができる。尚、Ｚ軸移動機構２２３の動作を調節することで、プリント基板１に対するスクリーンマスク２６の押し当て力を変化させることができる。

また、印刷制御装置３１は、図６に示すように、スキージ制御部３１１及び印刷用移動制御部３１２を備えている。

スキージ制御部３１１は、印刷制御装置３１に記憶された各種パラメータに基づき、スキージ２７を動作させるための前記駆動手段を制御することで、スキージ２７の動作を制御する。スキージ制御部３１１によって、スキージ２７の移動方向や移動速度、スキージ圧などが調節される。これにより、本実施形態では、クリーム半田３を印刷する際に、スキージ２７は、設定されたスキージ圧でスクリーンマスク２６の上面に接触しつつ、該スクリーンマスク２６における幅方向一方側から幅方向他方側にかけてＹ軸方向に沿って直動する。尚、半田印刷機２０においては、順次供給される複数のプリント基板１へとクリーム半田３が順次印刷されていくところ、本実施形態において、クリーム半田３を印刷する際におけるスキージ２７の移動方向は、各プリント基板１で変わることなく、同一となるように構成されている。尚、クリーム半田３を印刷する際におけるスキージ２７の移動方向は、Ｙ軸方向に限定されるものではなく、Ｙ軸方向以外の方向（例えばＸ軸方向）であってもよい。

加えて、スキージ２７の移動方向に関する情報は、印刷制御装置３１から後述する検査制御装置５０へと出力される。

印刷用移動制御部３１２は、印刷制御装置３１に記憶された各種パラメータに基づき、印刷用移動機構２２の動作を制御する。本実施形態では、印刷用移動制御部３１２による印刷用移動機構２２の動作制御によって、クリーム半田３の印刷前に、ランド２及びスクリーン開口２６１の位置が極力合うようにして、プリント基板１及びスクリーンマスク２６のＸ−Ｙ方向の位置合わせが行われる。この位置合わせは、プリント基板１を撮像するための前記カメラによって得られたプリント基板１の撮像データと、マスク用カメラ２８によって得られたスクリーンマスク２６の撮像データとに基づき行われる。

また、印刷用移動制御部３１２は、プリント基板１及びスクリーンマスク２６の位置合わせを行った後、Ｚ軸移動機構２２３の動作を制御することで、所定の押し当て力でプリント基板１に対しスクリーンマスク２６を押し当てた状態とする。

クリーム半田３の印刷工程では、まず、印刷用移動制御部３１２や印刷用移動機構２２によって、スクリーンマスク２６及びプリント基板１のＸ−Ｙ方向の位置合わせが行われるとともに、該プリント基板１が上動させられて、所定の押し当て力で該プリント基板１に対しスクリーンマスク２６が押し当てられる。また、所定の半田供給装置（不図示）によって、スクリーンマスク２６の上面にクリーム半田３が供給される。

続いて、スキージ制御部３１１によって、設定されたスキージ圧でスキージ２７をスクリーンマスク２６の上面に接触させつつ所定方向（本実施形態ではＹ軸方向）に沿って移動させる（図５参照）。これにより、スクリーン開口２６１にクリーム半田３が入り込んで、プリント基板１にクリーム半田３が印刷される。クリーム半田３の印刷後には、印刷用移動機構２２等によってプリント基板１が下動させられて、プリント基板１とスクリーンマスク２６とが離間させられる。尚、クリーム半田３の印刷されたプリント基板１は、所定のコンベア（不図示）等によって半田印刷検査装置４０へと送られる。

次いで、半田印刷検査装置４０について説明する。半田印刷検査装置４０は、半田印刷機２０により印刷されたクリーム半田３やスクリーンマスク２６の検査を行う。半田印刷検査装置４０は、図６，７に示すように、検査用移動機構４２、検査用レール機構４３、照明装置４４、検査用カメラ４５、検査用表示装置４６、検査用入力装置４７及び検査制御装置５０を備えている。

検査用移動機構４２は、クリーム半田３等を検査する工程においてプリント基板１を移動させるための機構であり、所定の基台４１上に設置されている。検査用移動機構４２は、Ｘ軸移動機構４２１及びＹ軸移動機構４２２を備えている。Ｘ軸移動機構４２１及びＹ軸移動機構４２２が作動することで、検査用レール機構４３はＸ軸方向及びＹ軸方向に沿ってスライド移動する。尚、本実施形態において、半田印刷検査装置４０におけるＸ軸方向及びＹ軸方向と、半田印刷機２０におけるＸ軸方向及びＹ軸方向とは同一である。

検査用レール機構４３は、検査対象となるプリント基板１が載置される機構である。検査用レール機構４３は、平行に配設された一対のレールを備えており、これらレールの間隔を変更することで、幅の異なる各種プリント基板１に対応可能となっている。検査用レール機構４３は、検査用移動機構４２の動作によってＸ軸方向及びＹ軸方向に沿って移動する。検査用レール機構４３が移動することで、該検査用レール機構４３に載置されたプリント基板１を任意の方向（Ｘ軸方向及びＹ軸方向）に移動させることが可能である。

照明装置４４は、プリント基板１の上面に対し斜め上方から所定の光成分パターンを照射する。

検査用カメラ４５は、照明装置４４から所定の光成分パターンの照射されたプリント基板１を撮像する。検査用カメラ４５は、プリント基板１の真上に配置されており、プリント基板１の全域を撮像可能に構成されている。従って、検査用カメラ４５によって、スキージ２７の移動方向（本実施形態では、Ｙ軸方向）に沿った一端に位置するクリーム半田３と、該移動方向に沿った他端に位置するクリーム半田３とを撮像可能である。検査用カメラ４５によって得られた撮像データは、検査制御装置５０に入力される。

検査用表示装置４６は、例えば液晶ディスプレイ等からなり、検査制御装置５０に記憶された各種情報を表示するために用いられる。尚、１の表示装置が、印刷用表示装置２９及び検査用表示装置４６を兼ねるように構成してもよい。

検査用入力装置４７は、例えばキーボード等からなり、検査制御装置５０に対し情報を入力するための装置である。尚、１の入力装置が、印刷用入力装置３０及び検査用入力装置４７を兼ねるように構成してもよい。

検査制御装置５０は、半田印刷検査装置４０の各部（例えば、検査用移動機構４２や検査用カメラ４５など）の動作を制御したり、クリーム半田３やスクリーンマスク２６の検査に係る処理を行ったりするための装置である。検査制御装置５０は、印刷制御装置３１と同様に、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ及び記憶装置を備えた、いわゆるコンピュータシステムにより構成されている。

検査制御装置５０の記憶装置には、各種情報が記憶されている。各種情報には、検査実行時における半田印刷検査装置４０の動作制御に係るパラメータ、検査用カメラ４５やマスク用カメラ２８により得られた撮像データ、クリーム半田３やスクリーンマスク２６の検査を行うときに利用される検査用情報、撮像データに基づき得られた計測情報、及び、検査結果を示す検査結果情報などが含まれる。

検査用情報としては、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向における設計上の（理想的な）クリーム半田３の位置、クリーム半田３の基準体積値や基準面積値、変形や位置ずれに係るスクリーンマスク２６の許容量などを挙げることができる。また、計測情報としては、クリーム半田３の高さ（ピーク高さや平均高さ）、面積、体積値及び三次元形状、並びに、それぞれ後述する「スクリーン開口２６１の位置情報」や「クリーム半田３の位置情報」などを挙げることができる。さらに、検査結果情報としては、スクリーンマスク２６自体の良否に関する判定結果、及び、印刷時にスクリーンマスク２６に影響を及ぼす外的要因（プリント基板１に対するスクリーンマスク２６の押し当て力やスキージ圧など）の良否に関する判定結果などを挙げることができる。

検査制御装置５０は、検査用移動制御部５１、半田位置情報検出部５２、使用時対応判定部５３、開口位置情報検出部５４、非使用時対応判定部５５及び個別良否判定部５６を備えている。本実施形態では、半田位置情報検出部５２が「半田位置情報検出手段」を構成し、同様に、使用時対応判定部５３が「使用時対応判定手段」を、開口位置情報検出部５４が「開口位置情報検出手段」を、個別良否判定部５６が「個別良否判定手段」を構成する。尚、検査制御装置５０は、照明装置４４を制御するための照明制御部や、検査用カメラ４５の動作を制御するための撮像制御部なども備えている（それぞれ不図示）。

検査用移動制御部５１は、検査制御装置５０に記憶された前記パラメータに基づき、検査用移動機構４２の動作を制御する。検査用移動機構４２の動作が制御されることで、検査の実行に適した位置にプリント基板１が配置される。

半田位置情報検出部５２は、検査用カメラ４５により得られた撮像データに基づき、印刷されたクリーム半田３の位置やサイズなどを計測する。具体的には、半田位置情報検出部５２は、プリント基板１における各クリーム半田３における、ランド２に対するＸ軸方向及びＹ軸方向に沿った位置ずれ量を計測する。また、半田位置情報検出部５２は、予め設定された三次元計測手法（例えば位相シフト法など）などを用いて、クリーム半田３の高さ（ピーク高さや平均高さ）、面積、体積値及び三次元形状を計測する。半田位置情報検出部５２によって得られた情報は、計測情報として、検査制御装置５０に記憶される。

また、半田位置情報検出部５２は、計測した位置ずれ量と、スキージ制御部３１１から入力されたスキージ２７の移動方向に関する情報とを利用して、プリント基板１における「クリーム半田３の位置情報」を検出する。

本実施形態では、「クリーム半田３の位置情報」として、図８に示すように、プリント基板１上におけるスキージ２７の移動方向に沿った一方の端に位置するクリーム半田３（「一端側クリーム半田３ａ」という）に関する位置ずれ量ａと、プリント基板１上における前記移動方向に沿った他方の端に位置するクリーム半田３（「他端側クリーム半田３ｂ」という）に関する位置ずれ量ｂとの前記移動方向に沿った差（ｂ−ａ）が検出される。すなわち、「クリーム半田３の位置情報」として、スキージ２７の移動方向に沿って最も離れた位置にあるクリーム半田３ａ，３ｂの各位置ずれ量ａ，ｂの該移動方向に沿った差が検出される。この差（ｂ−ａ）は、クリーム半田３の印刷時における、スキージ２７の移動方向に沿ったスクリーンマスク２６の変形量や位置ずれ量に相当する。

尚、位置ずれ量ａ，ｂとあるのは、より詳しくは、スキージ２７の移動方向に沿った、所定の「基準位置」に対する実際に印刷されたクリーム半田３の位置ずれ量である。本実施形態では、「基準位置」としてプリント基板１上に設けられたランド２の中心（又は重心）が利用されている。そして、位置ずれ量ａ，ｂとして、ランド２の中心（又は重心）と、該ランド２が印刷対象となるクリーム半田３の中心（又は重心）とのスキージ２７の移動方向に沿った位置ずれ量が検出されている。尚、本実施形態では、スキージ２７の移動方向に沿って「基準位置」から一方側（図８では右側）に向けた位置ずれ量が「＋」とされ、該移動方向に沿って「基準位置」から他方側（図８では左側）に向けた位置ずれ量が「−」とされる。「クリーム半田３の位置情報」は、計測情報として、検査制御装置５０に記憶される。

使用時対応判定部５３は、半田位置情報検出部５２により検出された「クリーム半田３の位置情報」に基づいて、印刷時におけるスクリーンマスク２６の良否判定を行う。より詳しくは、使用時対応判定部５３は、半田位置情報検出部５２により検出された前記差（ｂ−ａ）の絶対値と、検査用情報として記憶された前記許容量とを比較する。そして、前記差（ｂ−ａ）の絶対値が前記許容量を上回る場合、つまり、印刷時におけるスクリーンマスク２６の変形量などが許容範囲外である場合、使用時対応判定部５３は、印刷時におけるスクリーンマスク２６が不良である（クリーム半田３を適切に印刷可能な状態ではない）と判定する。一方、前記差（ｂ−ａ）の絶対値が前記許容量以下である場合、つまり、印刷時におけるスクリーンマスク２６の変形量などが許容範囲内である場合、使用時対応判定部５３は、印刷時におけるスクリーンマスク２６が良であると判定する。この判定結果は、検査結果情報として、検査制御装置５０に記憶される。

開口位置情報検出部５４は、マスク用カメラ２８により得られた撮像データに基づき、クリーム半田３の非印刷時における「スクリーン開口２６１の位置情報」を検出する。本実施形態では、「スクリーン開口２６１の位置情報」として、図９に示すように、スクリーンマスク２６におけるスキージ２７の移動方向に沿った一方の端に位置するスクリーン開口２６１（一端側スクリーン開口２６１ａ）に関する位置ずれ量ｘと、スクリーンマスク２６における前記移動方向に沿った他方の端に位置するスクリーン開口２６１（他端側スクリーン開口２６１ｂ）に関する位置ずれ量ｙとの前記移動方向に沿った差（ｙ−ｘ）が検出される。この差（ｙ−ｘ）は、クリーム半田３の非印刷時における、スキージ２７の移動方向に沿ったスクリーンマスク２６の変形量に相当する。

尚、位置ずれ量ｘ，ｙとあるのは、より詳しくは、スキージ２７の移動方向に沿った、所定の「マスク基準位置」に対する実際のスクリーン開口２６１の位置ずれ量である。本実施形態では、「マスク基準位置」として、設計上の（理想的な）スクリーン開口２６１の中心（又は重心）が利用されている。そして、位置ずれ量ｘ，ｙとして、設計上のスクリーン開口２６１の中心（又は重心）と、実際のスクリーン開口２６１の中心（又は重心）とのスキージ２７の移動方向に沿った位置ずれ量が検出されている。尚、本実施形態では、スキージ２７の移動方向に沿って「マスク基準位置」から一方側（図９では右側）に向けた位置ずれ量が「＋」とされ、該移動方向に沿って「マスク基準位置」から他方側（図９では左側）に向けた位置ずれ量が「−」とされる。「スクリーン開口２６１の位置情報」は、計測情報として、検査制御装置５０の前記記憶装置に記憶される。

非使用時対応判定部５５は、開口位置情報検出部５４により検出された「スクリーン開口２６１の位置情報」に基づいて、非印刷時（つまり、スキージ２７やプリント基板１に接していない状態）におけるスクリーンマスク２６の良否判定を行う。より詳しくは、非使用時対応判定部５５は、開口位置情報検出部５４により検出された前記差（ｙ−ｘ）の絶対値と、検査用情報として記憶された前記許容量とを比較する。そして、前記差（ｙ−ｘ）の絶対値が前記許容量を上回る場合、つまり、非印刷時におけるスクリーンマスク２６の変形量が許容範囲外である場合、非使用時対応判定部５５は、非印刷時におけるスクリーンマスク２６は不良であると判定する。一方、前記差（ｙ−ｘ）の絶対値が前記許容量以下である場合、つまり、非印刷時におけるスクリーンマスク２６の変形量が許容範囲内である場合、非使用時対応判定部５５は、非印刷時におけるスクリーンマスク２６は良であると判定する。非印刷時におけるスクリーンマスク２６の良否判定結果は、検査結果情報として、検査制御装置５０の前記記憶装置に記憶される。

個別良否判定部５６は、半田位置情報検出部５２により検出された「クリーム半田３の位置情報」、及び、開口位置情報検出部５４により検出された「スクリーン開口２６１の位置情報」に基づいて、スクリーンマスク２６自体の良否と、印刷時にスクリーンマスク２６に影響を及ぼす外的要因（プリント基板１に対するスクリーンマスク２６の押し当て力やスキージ圧など）の良否とを判定する。本実施形態において、個別良否判定部５６は、使用時対応判定部５３及び非使用時対応判定部５５のそれぞれによる判定結果に基づき、スクリーンマスク２６自体の良否と、前記外的要因の良否とを判定する。

詳述すると、個別良否判定部５６は、使用時対応判定部５３及び非使用時対応判定部５５による判定結果がそれぞれ良である場合、スクリーンマスク２６自体が良であるとともに、前記外的要因も良であると判定する。

また、個別良否判定部５６は、使用時対応判定部５３及び非使用時対応判定部５５の判定結果がそれぞれ不良である場合、スクリーンマスク２６自体が不良であると判定する。

一方、個別良否判定部５６は、使用時対応判定部５３による判定結果が不良であり、非使用時対応判定部５５による判定結果が良である場合、スクリーンマスク２６自体は良であるが、スキージ圧などの前記外的要因が不良であると判定する。

尚、使用時対応判定部５３による判定結果が良であり、非使用時対応判定部５５による判定結果が不良である場合、個別良否判定部５６は、所定の異常判定（例えば「クリーム半田３の位置の検出に異常が生じている」といった判定）を行う。個別良否判定部５６による判定結果は、検査結果情報として、検査制御装置５０に記憶される。

さらに、個別良否判定部５６は、スクリーンマスク２６自体が不良であると判定した場合、スクリーンマスク２６の交換を促す情報を生成して、該情報に係る信号を検査用表示装置４６へと出力する。これにより、検査用表示装置４６において、スクリーンマスク２６の交換を促す情報が発信（表示）される。

一方、個別良否判定部５６は、印刷時にスクリーンマスク２６に影響を及ぼす外的要因が不良であると判定した場合、クリーム半田３の印刷に係る条件の変更を促す情報を生成して、該情報に係る信号を検査用表示装置４６へと出力する。これにより、検査用表示装置４６において、スクリーンマスク２６に影響を与える印刷条件（例えば、プリント基板１に対するスクリーンマスク２６の押し当て力やスキージ圧など）の変更を促す情報が発信（表示）される。本実施形態では、検査用表示装置４６が「情報発信手段」を構成する。

尚、「情報発信手段」として、音声によって情報を出力可能な装置を用いてもよい。また、「情報発信手段」として、無線通信により上記各情報に係る信号を受信して、作業者に対しこれら情報を発信する機能を備えた携帯端末を用いてもよい。

本実施形態では、検査用移動機構４２、照明装置４４、検査用カメラ４５、検査用表示装置４６、検査用入力装置４７、検査用移動制御部５１、半田位置情報検出部５２、使用時対応判定部５３、開口位置情報検出部５４、非使用時対応判定部５５及び個別良否判定部５６によって、スクリーンマスク２６の検査を行うためのスクリーンマスク検査装置６０（図６参照）が構成されている。

また、検査制御装置５０は、半田良否判定部５８を備えている。半田良否判定部５８は、半田位置情報検出部５２により得られたクリーム半田３に係る計測情報と、前記検査用情報とを比較して、ランド２毎にクリーム半田３の印刷状態（複数のランド間に形成される半田ブリッジ等を含む）の良否判定を行う。本実施形態では、例えば、ピーク高さ、平均高さ、面積、体積、Ｘ軸方向に沿った位置ずれ量及びＹ軸方向に沿った位置ずれ量（位置ずれ量ａ，ｂを含む）がそれぞれ基準を満たしているか、クリーム半田３のかすれがないか、クリーム半田３が存在しない「無半田」状態となっていないかなどについての判定が行われる。良否判定結果は、検査結果情報として検査制御装置５０に記憶され、検査用表示装置４６にて表示可能とされる。尚、クリーム半田３の印刷状態が正常であったプリント基板１は、その下流の部品実装機７０へ案内される一方、クリーム半田３の印刷状態が不良であったプリント基板１は、所定の不良品排出装置（不図示）により排出される。

本実施形態では、検査用移動機構４２、照明装置４４、検査用カメラ４５、検査用移動制御部５１、半田位置情報検出部５２及び半田良否判定部５８によって、プリント基板１上に印刷されたクリーム半田３を検査するための半田検査部６１が構成されている。半田検査部６１が「半田検査手段」に相当する。

次いで、スクリーンマスク２６の検査方法について、図１０を参照して説明する。まず、ステップＳ１のマスク撮像ステップにおいて、マスク用カメラ２８により、クリーム半田３の非印刷時であってプリント基板１から離間した状態におけるスクリーンマスク２６が撮像される。スクリーンマスク２６に関する撮像データは、検査制御装置５０などに出力される。

次に、ステップＳ２の開口位置情報検出ステップにおいて、開口位置情報検出部５４によって、ステップＳ１で得られた撮像データに基づき、クリーム半田３の非印刷時における「スクリーン開口２６１の位置情報」（ｙ−ｘ）が検出される。

続くステップＳ３の非使用時対応判定ステップでは、ステップＳ２で得られた検出結果に基づいて、非使用時対応判定部５５によって、非印刷時におけるスクリーンマスク２６に関する良否判定が行われる。つまり、スクリーンマスク２６単体の良否が判定される。

ステップＳ４の基板撮像ステップでは、検査用カメラ４５により、クリーム半田３の印刷されたプリント基板１が撮像される。得られたプリント基板１に関する撮像データは、検査制御装置５０に出力される。

次に、ステップＳ５の半田位置情報検出ステップにおいて、半田位置情報検出部５２によって、ステップＳ４で得られた撮像データに基づき、「クリーム半田３の位置情報」（ｂ−ａ）が検出される。

ステップＳ６の使用時対応判定ステップでは、ステップＳ５で得られた検出結果に基づいて、使用時対応判定部５３によって、印刷時におけるスクリーンマスク２６に関する良否判定が行われる。つまり、印刷時における外的要因を加味したスクリーンマスク２６の良否が判定される。尚、ステップＳ１〜Ｓ３に係る処理は、ステップＳ４〜Ｓ６に係る処理と同時期又は後に行われてもよい。

次いで、ステップＳ７の個別良否判定工程では、個別良否判定部５６によって、印刷時及び非印刷時におけるスクリーンマスク２６に関するそれぞれの判定結果、つまり、ステップＳ３，Ｓ６における各判定結果に基づき、スクリーンマスク２６自体の良否と、印刷時にスクリーンマスク２６に影響を及ぼす外的要因の良否とが判定される。

そして、ステップＳ８の出力ステップでは、ステップＳ７における判定結果に応じて、該判定結果に対応する信号が検査用表示装置４６へと出力される。該信号の出力によって、検査用表示装置４６では、スクリーンマスク２６の交換を促す情報、又は、スクリーンマスク２６に影響を与える印刷条件の変更を促す情報が発信（表示）される。

以上詳述したように、本実施形態によれば、「クリーム半田３の位置情報」が検出され、その検出された位置情報に基づいて、印刷時におけるスクリーンマスク２６に関する良否判定が行われる。このように印刷されたクリーム半田３の位置情報を利用することで、スクリーンマスク２６自体のみならず、プリント基板１に対する押し当て力やスキージ２７から加わる力など、印刷時にスクリーンマスク２６に影響を及ぼす外的要因をも考慮して、印刷時におけるスクリーンマスク２６に関する良否を判定することができる。従って、スクリーンマスク２６がクリーム半田３を適切に印刷可能な状態であるか否かをより正確に検査することができる。

また、「クリーム半田３の位置情報」として、クリーム半田３の位置ずれ量ａ，ｂに基づく情報が検出される。従って、良否判定を行うために必要な位置情報を容易に得ることができ、検査処理に係る負担の低減を図ることができる。

さらに、「クリーム半田３の位置情報」として、スキージ２７の移動方向に沿った位置ずれ量ａ，ｂの差が用いられる。すなわち、スキージ２７の移動方向に沿った成分を有する情報が用いられる。従って、移動するスキージ２７の影響が強く反映された、スクリーンマスク２６における変形や位置ずれの程度がより明確に表れやすい位置情報を得ることができる。そのため、スクリーンマスク２６がクリーム半田３を適切に印刷可能な状態であるか否かを精度よく検査することができる。

特に本実施形態では、「クリーム半田３の位置情報」として、スキージ２７の移動方向に沿って離れた位置にある一端側クリーム半田３ａ及び他端側クリーム半田３ｂの各位置ずれ量ａ，ｂの差が用いられる。従って、「クリーム半田３の位置情報」はスクリーンマスク２６における変形や位置ずれの程度をより把握しやすいものとなり、検査精度を一層高めることができる。

さらに、スクリーンマスク検査装置６０は、位置ずれ量ａ，ｂに基づきクリーム半田３の良否を判定する半田検査部６１を備えた半田印刷検査装置４０に設けられるところ、半田検査部６１による良否判定に利用される位置ずれ量ａ，ｂに基づき、スクリーンマスク２６の検査を行うことができる。従って、スクリーンマスク２６やクリーム半田３の検査に係る処理の効率化を図ることができる。

また、「クリーム半田３の位置情報」及び「スクリーン開口２６１の位置情報」に基づき、スクリーンマスク２６自体の良否、及び、印刷時にスクリーンマスク２６に影響を与える外的要因の良否を判定することができる。従って、スクリーンマスク２６がクリーム半田３を適切に印刷可能な状態でないことの原因をより正確に把握することができる。その結果、印刷不良への対応処理として考えられる複数の手法（例えば、スクリーンマスク２６の交換や印刷条件の変更など）の中から適切な手法をより容易に選択・決定することができ、対応処理をより迅速に行うことが可能となる。

さらに、本実施形態では、個別良否判定部５６による判定結果に基づき、スクリーンマスク２６の交換を促す情報、又は、スクリーンマスク２６に影響を与える印刷条件の変更を促す情報が発信される。これにより、印刷時におけるスクリーンマスク２６が不良と判定されたときに、作業者は実行すべき対応処理を早期かつ正確に把握することができる。その結果、対応処理を一層迅速に行うことができ、生産効率を向上させることができる。

尚、上記実施形態の記載内容に限定されず、例えば次のように実施してもよい。勿論、以下において例示しない他の応用例、変更例も当然可能である。

（ａ）上記実施形態では、一端側クリーム半田３ａの位置ずれ量ａ及び他端側クリーム半田３ｂの位置ずれ量ｂに基づく情報として、両位置ずれ量の差（ｂ−ａ）を挙げているが、両位置ずれ量ａ，ｂに基づく情報は、これに限定されるものではない。従って、両位置ずれ量ａ，ｂに基づく情報として、各位置ずれ量ａ，ｂの絶対値の和や、これら絶対値の平均値などを用いてもよい。

また、「クリーム半田３の位置情報」として、プリント基板１上における両クリーム半田３ａ，３ｂ以外の任意の２つのクリーム半田３の位置ずれ量に基づく情報（例えば、任意の２つのクリーム半田３のそれぞれの位置ずれ量の差）を用いてもよい。加えて、「クリーム半田３の位置情報」として、任意の１つのクリーム半田３に関する位置ずれ量に基づく情報を用いてもよい。勿論、３つ以上のクリーム半田３に関する位置ずれ量に基づく情報を用いてもよい。

さらに、「クリーム半田３の位置情報」として、プリント基板１上におけるクリーム半田３同士の距離を示す情報を検出するように構成してもよい。例えば、図１１に示すように、「クリーム半田３の位置情報」として、スキージ２７の移動方向に沿った、一端側クリーム半田３ａ及び他端側クリーム半田３ｂ間の距離Ｌ（例えば、各クリーム半田３ａ，３ｂの各中心間の距離）を検出するように構成してもよい。このように構成した場合においても、良否判定を行うために必要な位置情報を容易に得ることができ、検査処理に係る負担の低減を図ることができる。尚、上記クリーム半田３ａ，３ｂとは異なる複数のクリーム半田３同士の距離を「クリーム半田３の位置情報」として検出してもよい。

また、上記実施形態では、位置ずれ量ａ，ｂを算出するための「基準位置」として、プリント基板１上に設けられたランド２の中心（又は重心）を挙げている。これに対し、「基準位置」として、理想的な（設計上の）クリーム半田３の印刷位置や、プリント基板１における選択された任意の位置（例えば、プリント基板１の外縁部における任意の一辺やプリント基板１に付されたマーク、スキージ２７の移動方向に沿ったプリント基板１の中心）などを用いてもよい。

（ｂ）上記実施形態では、「スクリーン開口２６１の位置情報」として、スキージ２７の移動方向に沿った、一端側スクリーン開口２６１ａに関する位置ずれ量ｘと他端側スクリーン開口２６１ｂに関する位置ずれ量ｙとの差（ｙ−ｘ）が検出されるように構成されているが、「スクリーン開口２６１の位置情報」はこれに限定されるものではない。

従って、「スクリーン開口２６１の位置情報」として、スクリーンマスク２６における両スクリーン開口２６１ａ，２６１ｂ以外の任意の２つのスクリーン開口２６１の位置ずれ量に基づく情報（例えば、任意の２つのスクリーン開口２６１における各位置ずれ量の差）を用いてもよい。また、「スクリーン開口２６１の位置情報」として、１つ又は３つ以上のスクリーン開口２６１の位置ずれ量に基づく情報を用いてもよい。

さらに、「スクリーン開口２６１の位置情報」として、スクリーンマスク２６における複数のスクリーン開口２６１同士の距離を示す情報を検出するように構成してもよい。例えば、「スクリーン開口２６１の位置情報」として、図１２に示すように、スキージ２７の移動方向に沿った、一端側スクリーン開口２６１ａ及び他端側スクリーン開口２６１ｂ間の距離Ｍ（例えば、各スクリーン開口２６１ａ，２６１ｂの各中心間の距離）を検出するように構成してもよい。勿論、上記スクリーン開口２６１ａ，２６ｂとは異なる複数のスクリーン開口２６１同士の距離を「スクリーン開口２６１の位置情報」として検出してもよい。

また、上記実施形態では、設計上のスクリーン開口２６１の中心（又は重心）を「マスク基準位置」として、「スクリーン開口２６１の位置情報」が検出されている。これに対し、スクリーンマスク２６における選択された任意の位置（例えば、スクリーンマスク２６の中心やスクリーンマスク２６に付された所定のマーク）、スクリーンマスク２６を保持するフレーム２６２の所定位置（例えば、フレーム２６２の外縁部における任意の一辺）などを「マスク基準位置」として、「スクリーン開口２６１の位置情報」を検出してもよい。

加えて、「スクリーン開口２６１の位置情報」として、スクリーン開口２６１の位置を間接的に示す情報を利用してもよい。例えば、「スクリーン開口２６１の位置情報」として、スクリーンマスク２６に付された任意の２つのマークの間隔などを利用してもよい。

尚、上記実施形態のように、「スクリーン開口２６１の位置情報」として、スキージ２７の移動方向に沿った成分を有する情報を用いることが好ましい。この場合には、移動するスキージ２７の影響が強く反映された、スクリーンマスク２６における変形の程度がより明確に表れやすい位置情報を得ることができる。そのため、スクリーンマスク２６自体の良否をより精度よく検査することができる。

（ｃ）上記実施形態において、個別良否判定部５６は、使用時対応判定部５３及び非使用時対応判定部５５によるそれぞれの判定結果に基づき、スクリーンマスク２６自体の良否などを判定するように構成されている。これに対し、個別良否判定部５６は、両判定部５３，５５による判定結果を用いることなく、半田位置情報検出部５２により得られた「クリーム半田３の位置情報」及び開口位置情報検出部５４により得られた「スクリーン開口２６１の位置情報」に基づき、スクリーンマスク２６自体の良否などを判定するものであってもよい。例えば、「クリーム半田３の位置情報」及び「スクリーン開口２６１の位置情報」を比較して良否判定を行ってもよい。

（ｄ）上記実施形態では、個別良否判定部５６によって、印刷時にスクリーンマスク２６に影響を及ぼす外的要因が不良であると判定された場合、検査用表示装置４６において、クリーム半田３の印刷に係る条件の変更を促す情報が発信（表示）されるように構成されている。

これに対し、印刷時にスクリーンマスク２６に影響を及ぼす外的要因が不良であると判定された場合に、クリーム半田３の印刷に係る条件を自動的に変更する機能を設けてもよい。例えば、外的要因が不良である場合、スキージ圧やプリント基板１に対するスクリーンマスク２６の押し当て力を一定の適正範囲内で自動的に調節する機能を設けてもよい。この場合には、作業者がスキージ圧などの調節する必要がなくなり、生産効率の向上をより図ることができる。

（ｅ）使用時対応判定部５３により不良判定が行われていない状態（つまり、スクリーンマスク２６がクリーム半田３を適切に印刷可能な状態）であって、「クリーム半田３の位置情報」が一定の条件を満たしたときに、スクリーンマスク２６に影響を与える印刷条件の変更を促す情報が発信されるように構成してもよい。この場合には、スクリーンマスク２６がクリーム半田３を適切に印刷することができない状態となる前に、印刷条件を前もって変更することができる。従って、不良品のプリント基板１の製造を抑えることができ、製造コストの低減を図ることができる。尚、「クリーム半田３の位置情報」が一定の条件を満たしたときに、印刷条件を自動的に調節するように構成してもよい。

（ｆ）上記実施形態において、クリーム半田３を印刷する際におけるスキージ２７の移動方向は、各プリント基板１で同一となるように構成されているが、プリント基板１ごとに、スキージ２７の移動方向が適宜変化する構成としてもよい。例えば、あるプリント基板１にクリーム半田３を印刷する際には、スキージ２７がＸ軸方向に移動し、次のプリント基板１にクリーム半田３を印刷する際には、スキージ２７がＹ軸方向に移動するように構成してもよい。

１…プリント基板（基板）、３…クリーム半田、２６…スクリーンマスク、２７…スキージ、４０…半田印刷検査装置、５２…半田位置情報検出部（半田位置情報検出手段）、５３…使用時対応判定部（使用時対応判定手段）、５４…開口位置情報検出部（開口位置情報検出手段）、５６…個別良否判定部（個別良否判定手段）、６０…スクリーンマスク検査装置、２６１…スクリーン開口。

Claims (8)

1. 印刷パターンを形成するスクリーン開口を有し、該スクリーン開口を介して基板上にクリーム半田を印刷するためのスクリーンマスクを検査するスクリーンマスク検査装置であって、
   基板上のランドに対応して印刷されたクリーム半田の位置情報を検出する半田位置情報検出手段と、
   前記半田位置情報検出手段により検出された位置情報に基づいて、印刷時における前記スクリーンマスクに関する良否判定を行う使用時対応判定手段とを備え、
   前記半田位置情報検出手段は、前記位置情報として、所定の基準位置である前記ランドの位置に対する実際に印刷されたクリーム半田の位置ずれ量に基づく情報を検出することを特徴とするスクリーンマスク検査装置。
2. 前記半田位置情報検出手段は、前記位置情報として、基板上におけるスキージの移動方向に沿った一方の端に位置するクリーム半田に関する前記移動方向に沿った前記位置ずれ量と、基板上における前記移動方向に沿った他方の端に位置するクリーム半田に関する前記移動方向に沿った前記位置ずれ量とに基づく情報を検出することを特徴とする請求項１に記載のスクリーンマスク検査装置。
3. クリーム半田の非印刷時における前記スクリーン開口の位置情報を検出する開口位置情報検出手段と、
   前記半田位置情報検出手段により検出されたクリーム半田の位置情報、及び、前記開口位置情報検出手段により検出された前記スクリーン開口の位置情報に基づき、前記スクリーンマスク自体の良否、及び、印刷時に前記スクリーンマスクに影響を与える外的要因の良否を判定可能な個別良否判定手段とを備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のスクリーンマスク検査装置。
4. 前記個別良否判定手段による判定結果に基づき、前記スクリーンマスクの交換を促す情報、又は、前記スクリーンマスクに影響を与える印刷条件の変更を促す情報を発信可能な情報発信手段を備えることを特徴とする請求項３に記載のスクリーンマスク検査装置。
5. 請求項１乃至４のいずれか１項に記載のスクリーンマスク検査装置と、
   基板上に印刷されたクリーム半田を検査する半田検査手段とを有する半田印刷検査装置。
6. 印刷パターンを形成するスクリーン開口を有し、該スクリーン開口を介して基板上にクリーム半田を印刷するためのスクリーンマスクの検査に用いられるスクリーンマスクの検査方法であって、
   基板上のランドに対応して印刷されたクリーム半田の位置情報を検出するとともに、その検出結果に基づいて、印刷時における前記スクリーンマスクに関する良否判定を行い、
   前記位置情報として、所定の基準位置である前記ランドの位置に対する実際に印刷されたクリーム半田の位置ずれ量に基づく情報を検出することを特徴とするスクリーンマスクの検査方法。
7. 前記位置情報として、基板上におけるスキージの移動方向に沿った一方の端に位置するクリーム半田に関する前記移動方向に沿った前記位置ずれ量と、基板上における前記移動方向に沿った他方の端に位置するクリーム半田に関する前記移動方向に沿った前記位置ずれ量とに基づく情報を検出することを特徴とする請求項６に記載のスクリーンマスクの検査方法。
8. クリーム半田の非印刷時における前記スクリーン開口の位置情報を検出し、
   クリーム半田の位置情報及び前記スクリーン開口の位置情報に基づき、前記スクリーンマスク自体の良否、及び、印刷時に前記スクリーンマスクに影響を与える外的要因の良否を判定することを特徴とする請求項６又は７に記載のスクリーンマスクの検査方法。

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